DE10326040A1 - Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile Download PDFInfo
- Publication number
- DE10326040A1 DE10326040A1 DE10326040A DE10326040A DE10326040A1 DE 10326040 A1 DE10326040 A1 DE 10326040A1 DE 10326040 A DE10326040 A DE 10326040A DE 10326040 A DE10326040 A DE 10326040A DE 10326040 A1 DE10326040 A1 DE 10326040A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ceramic
- dispersion
- binder
- homogenizing
- plasticizer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 10
- 239000011888 foil Substances 0.000 title abstract description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011877 solvent mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZFOZVQLOBQUTQQ-UHFFFAOYSA-N Tributyl citrate Chemical compound CCCCOC(=O)CC(O)(C(=O)OCCCC)CC(=O)OCCCC ZFOZVQLOBQUTQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Substances OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 claims description 3
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 3
- CLLLODNOQBVIMS-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)acetic acid Chemical compound COCCOCC(O)=O CLLLODNOQBVIMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YHBWXWLDOKIVCJ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]acetic acid Chemical compound COCCOCCOCC(O)=O YHBWXWLDOKIVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HJZZQNLKBWJYPD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(carboxymethoxy)ethoxy]ethoxy]acetic acid Chemical compound OC(=O)COCCOCCOCC(O)=O HJZZQNLKBWJYPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PXRKCOCTEMYUEG-UHFFFAOYSA-N 5-aminoisoindole-1,3-dione Chemical compound NC1=CC=C2C(=O)NC(=O)C2=C1 PXRKCOCTEMYUEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KJTZGGMVRFZKOA-UHFFFAOYSA-N 6-(7-methyloctoxy)-6-oxohexanoic acid Chemical compound CC(C)CCCCCCOC(=O)CCCCC(O)=O KJTZGGMVRFZKOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QZCLKYGREBVARF-UHFFFAOYSA-N Acetyl tributyl citrate Chemical compound CCCCOC(=O)CC(C(=O)OCCCC)(OC(C)=O)CC(=O)OCCCC QZCLKYGREBVARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- DOOTYTYQINUNNV-UHFFFAOYSA-N Triethyl citrate Chemical compound CCOC(=O)CC(O)(C(=O)OCC)CC(=O)OCC DOOTYTYQINUNNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 claims description 2
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000001069 triethyl citrate Substances 0.000 claims description 2
- VMYFZRTXGLUXMZ-UHFFFAOYSA-N triethyl citrate Natural products CCOC(=O)C(O)(C(=O)OCC)C(=O)OCC VMYFZRTXGLUXMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000013769 triethyl citrate Nutrition 0.000 claims description 2
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 claims 1
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 claims 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 abstract 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 5
- 239000007857 degradation product Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000036541 health Effects 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005479 Lucite® Polymers 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 235000021323 fish oil Nutrition 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920003009 polyurethane dispersion Polymers 0.000 description 1
- 239000004540 pour-on Substances 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000518 rheometry Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- -1 trichlorethylene Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62625—Wet mixtures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62625—Wet mixtures
- C04B35/6264—Mixing media, e.g. organic solvents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
- C04B35/632—Organic additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
- C04B35/632—Organic additives
- C04B35/634—Polymers
- C04B35/63404—Polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C04B35/63424—Polyacrylates; Polymethacrylates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
- C04B35/638—Removal thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/44—Metal salt constituents or additives chosen for the nature of the anions, e.g. hydrides or acetylacetonate
- C04B2235/449—Organic acids, e.g. EDTA, citrate, acetate, oxalate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
- C04B2235/602—Making the green bodies or pre-forms by moulding
- C04B2235/6025—Tape casting, e.g. with a doctor blade
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
- C04B2235/721—Carbon content
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile, insbesondere keramische Mehrlagenbauteile, vorgestellt. Zunächst wird eine Dispergatorlösung durch Homogenisieren eines Dispergators in einem Lösungsmittelgemisch hergestellt. Anschließend wird eine Binderlösung durch Homogenisieren eines Lösungsmittelgemisches, einem Binder aus Acrylatmethacrylatcopolymer und einem Weichmacher gebildet. Nach dem Herstellen einer ersten Dispersion durch Homogenisieren eines kermaischen Pulvers und der Dispergatorlösung und anschließendes Deagglomerieren wird eine zweite Dispersion durch Homogenisierung der ersten Dispersion und der Binderlösung und anschließendes Entfernen von Luft und leichtflüchtigen Lösungsmittelanteilen aus der zweiten Dispersion gebildet.
Description
- Die Erfindung betrifft allgemein ein Verfahren zur Herstellung von Grünfolien für keramische Bauteile, insbesondere Mehrlagenbauteile nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Ein Schwerpunkt in der keramischen Produktionstechnologie liegt in der Entwicklung neuer Verfahren zur Grünlingsherstellung. Beispiele hierfür sind der keramische Spritzguß, das Gel-Casting oder die Near-Net Shape Technologie. Alle Prozesse erfordern den Einsatz großer Mengen organischer Hilfsmittel, wie z.B. Binder, Gleitmittel oder Stabilisatoren, die vor oder während des Sinterprozesses aus den Grünteilen entfernt werden müssen. Dieser Entbinderungsprozess ist zum einen zeit- und kostenintensiv, zum anderen bedingt er Umweltbelastungen durch die entstehenden, zum Teil gesundheitsschädlichen Abbauprodukte.
- Bindersysteme für keramische Grünfolien auf Basis von Polyacrylaten und -methacrylaten sind bekannt und werden beispielsweise in der Kondensatorindustrie verwendet. Üblicherweise werden hierbei wässrige Dispersionen von Polyacrylaten für die sehr dünnen Kondensatorfolien (2–20 μm) verwendet. Bei Schichtdicken ab etwa 100 μm sind wässrige Systeme wegen der langen Trocknungszeiten nicht mehr wirtschaftlich. Soweit hier Rezepturen mit Acrylatharzen zum Einsatz kommen, leiten sie sich von Polyvinylbutyral (PVB)-Rezepturen ab und es werden die entsprechenden bekannten Dispergatoren wie zum Beispiel Fischöl oder Phosphorsäureester, und Lösungsmittelmischungen wie Ethanol/Toluol eingesetzt.
- Keramische, insbesondere piezokeramische Bauelemente umfassen mehrere, insbesondere viele Schichten (Vielschicht- oder Mehrlagenbauelemente), sie sind beispielsweise als Aktoren in Piezostapeln (Piezostacks) nutzbar, indem durch Spannungsansteuerung eine trägheitsarme mechanische Auslenkung vergleichsweise hoher Kraft erreicht wird, oder als Biegeelement einsetzbar, indem die Spannungsansteuerung eine hohe mechanische Auslenkung geringerer Kraft hervorruft, oder sie gestatten die Erzeugung hoher elektrischer Spannungen beziehungsweise dienen in entsprechenden Vorrichtungen der Detektion mechanischer oder der Erzeugung akustischer Schwingungen.
- Bisherige technische Lösungen basieren vorwiegend auf Keramikmassen vom Strukturtyp der Perowskite der allgemeinen Formel ABO3, wobei die piezoelektrischen Eigenschaften im ferroelektrischen Zustand zum Tragen kommen. Als besonders vorteilhaft haben sich durch bestimmte Zusätze modifizierte Bleizirkonattitanat-Keramiken, Pb(Zr1-xTix)O3(PZT), erwiesen. Zwischen den nach typischen Verfahren der Keramik-Folientechnologie hergestellten Keramikschichten befinden sich mittels Siebdruck aufgebrachte Edelmetall-Innenelektroden. Die Edelmetallelektroden gestatten, die im Prozess der Keramikfolienherstellung angewandten Dispergatoren und Binder sowie die weiteren organischen Additive und ebenso die organischen Bestandteile der Siebdruck-Metallpaste aus den Vielschichtstapeln an der Luft durch Depolymeristion und Oxidation thermisch zu eliminieren, so dass anschließend eine Sinterverdichtung bei ca. 1100 bis 1150°C ermöglicht wird, ohne dass Reduktionseffekte, etwa bedingt durch verbliebene Kohlenstoffreste, wirksam werden, die die Eigenschaften der Keramik infolge von Reduktionsreaktionen negativ beeinflussen.
- Die
DE 100 62 672 A1 beschreibt piezoelektrische Bauelemente in monolithischer Vielschichtbauweise mit einem Stapel aus mindestens zwei Keramikschichten und einer zwischen zwei Keramikschichten angeordneten Elektrodenschicht, bei dem die Elektrodenschicht Kupfer enthält. Mit diesen kupferhaltigen Innenelektroden gelingt eine praktisch vollständige Entbinderung vor dem Einsetzen der Sinterverdichtung unter Inertbedingungen dadurch, dass man der Inertatmosphäre bei der Entbinderung reichlich Wasserdampf zuführt und nur einen bestimmtemn Sauerstoffpartialdruck zulässt, der die kupferhaltigen Innenelektroden unversehrt lässt. Dadurch werden die Voraussetzungen geschaffen, dass im Prozess der anschließenden Sinterverdichtung Piezoaktoren mit optimalen Eigenschaftswerten der Keramik erhalten werden, die denen einer unter analogen Bedingungen getrennt von der kupferhaltigen Elektrodenschicht oder auch an der Luft gesinterten Piezokeramikschicht der betreffenden Zusammensetzung nicht nachstehen bzw. diese sogar noch übertreffen. Als Binder wird in derDE 100 62 672 A1 eine Polyurethandispersion verwendet. - Rezepturen für Gießschlicker basierend auf Lösungsmittelmischungen ohne Aromaten, wie zum Beispiel Toluol oder Xylol, und ohne chlorierte Kohlenwasserstoffe, wie zum Beispiel Trichlorethylen, sind insbesondere in Kombination mit bleihaltigen Pulvern (z.B. PZT) bisher nicht bekannt.
- Vorteile der Erfindung
- Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass sich keramische Mehrlagenbauelemente wesentlich zeitsparender, bei geringeren Temperaturen und somit wesentlich kostengünstiger entbindern lassen.
- Ein weiterer Vorteil liegt darin, dass mit den erfindungsgemäß hergestellten keramischen Grünfolien aufgebaute keramische Mehrlagenbauelemente mit Kupfer-Innenelektroden in Luft entbindert werden können.
- Weiterhin ist vorteilhaft, dass der Austrag der beim thermischen Entbindern entstehenden Abbauprodukte schädigungsfrei und vollständig erfolgen kann.
- Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.
- Ausführungsbeispiele
- Es wird eine verbesserte Rezeptur für einen Gießschlicker auf der Basis von Acrylatmethacrylatcopolymeren zur Herstellung keramischer Grünfolien für keramische Mehrlagenbauteile, insbesondere für Piezovielschichtaktoren, vorgestellt, die ein zeitsparendes, einfaches und vollständiges thermisches Entbindern von grünen, keramischen Mehrlagenbauteilen ermöglicht, wobei die maximale Entbinderungstemperatur 350°C nicht übersteigt. In Verbindung mit der PZT-Keramik ist der vollständige Abbau des Binders bei diesen Temperaturen abgeschlossen. Dies liegt an der katalysierenden Wirkung der PZT-Oberfläche auf dem Acrylat-Binder. Dabei wird ein Restkohlenstoffgehalt erhalten, der weniger als 100 pppm beträgt. Der Abbaumechanismus ist überwiegend eine Depolymerisation. Dabei wird die Struktur der Kohlenstoffkette („backbone") angegriffen, so dass hauptsächlich Monomere gebildet und ausgetragen werden. Es kommt dabei kaum zur Bildung von Pyrolyse-Kohlenstoff.
- Die erfindungsgemäße Rezeptur erlaubt weiterhin, keramische Mehrlagenbauteile mit oxidationsanfälligen, aber kostengünstigen Innenelektrodenmaterialien, wie zum Beispiel Kupfer, in Luft statt in sauerstoffarmer Atmosphäre schnell und fehlerfrei zu entbindern, ohne dass eine inakzeptable Oxidation der Elektrodenschichten auftritt.
- Bei den verwendeten Bindersystemen erfolgt die thermische Zersetzung des Polymers in erster Linie durch Depolymerisation, was zur Bildung von leichtflüchtigen Monomeren führt, während beim Abbau von bisher verwendeten PVB-basierten Systemen zunächst die Seitengruppen abgespalten und die zurückbleibende Kohlenstoffkette („backbone") erst bei höheren Temperaturen oxidativ zersetzt wird.
- Der bei Verwendung der erfindungsgemäßen Rezeptur erzielte niedrige Restkohlenstoffgehalt von weniger als 100 ppm ist deshalb besonders wichtig, weil Kohlenstoff bei PZT-basierten Keramiken als Reduktionsmittel für PbO wirkt. Zusammen mit Kupfer bildet Blei eine niedrig schmelzende Legierung und kann beispielsweise bei PZT-Aktoren mit kupferhaltigen Innenelektroden zum Aufschmelzen der Elektroden und somit zur Zerstörung des Bauteils führen.
- Die erfindungsgemäßen keramischen Grünfolien für keramische Mehrlagenbauteile werden durch die Verwendung einer neuartigen Rezeptur eines Gießschlickers erhalten, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
- 1) Herstellen einer Dispergatorlösung
- Die Dispergatorlösung wird durch Einwiegen und Homogenisieren von Dispergatoren und eines Lösungsmittelgemisches mit einem Anteil von ungefähr 50% Gew.-%, bezogen auf den Gesamtlösungsmittelanteil des Schlickers, hergestellt.
- Als Dispergatoren haben sich polymere Dispergatoren mit Säuregruppen als vorteilhaft herausgestellt, die ohne aromatische Kohlenwasserstoffe, d.h., ohne unpolare Lösungsmittelanteile eine ausreichende dispergierende Wirkung entfalten. Solche Dispergatoren sind aus der Lackindustrie bekannt, beispielsweise als Disperbyk 102, 110, 111, 140, 142 und 180 (Fa. BYK-Chemie). Die Verwendung von organischen Säuren, vorzugsweise sogenannter Oxasäuren, wie beispielsweise 3,6-Dioxaheptansäure, 3,6,9-Trioxadecansäure, 3,6,9-Trioxaundecandisäure oder Polyglycoldisäuren in Kombination mit den oben genannten komplexen Dispergatoren ist notwendig, um eine optimale Dispergierwirkung zu erzielen. Die Zugabemengen sind abhängig von der BET-Oberfläche des verwendeten PZT-Pulvers (je höher die BET-Oberfläche, desto höher der Anteil an Oxasäure) und bewegen sich im Bereich von 0,5–2,0% Gew.-% Wirkstoff, bezogen auf das PZT-Pulver.
- Der mit der Verwendung der o.g. Dispergatoren einhergehende Verzicht auf aromatische Kohlenwasserstoffe als Lösungsmittel ist ein entscheidender Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens, da diese Substanzen gesundheitsschädlich und somit kennzeichnungspflichtig sind.
- Als Lösungsmittel haben sich Mischungen aus niederen Alkoholen, Estern und Ketonen, zum Beispiel Ethanol, Isopropanol, n-Propanol, n-Butanol, Ethylacetat, Butylacetat, 1-Methoxy-2-propylacetat, Methylethylketon, als vorteilhaft herausgestellt, die in ihrer Flüchtigkeit und ihren Anteilen so aufeinander abgestimmt sind, dass sie während des Gießprozesses bei der Trocknung nacheinander schonend ausgetrieben werden können. Ein Beispiel einer solchen Mischung ist die Mischung Ethanol : Butylacetat : Butanol im Verhältnis (Gew.-%) 40 : 30 : 30. Andere Mischungen sind jedoch ebenfalls möglich. Der Anteil an Alkoholen ist wegen der Unterstützung der Dispergatorwirkung und der günstigen Beeinflussung des Fließverhaltens des Schlickers unverzichtbar. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn mindestens ein Alkohol in der Mischung enthalten ist.
- 2) Herstellen einer Binderlösung
- Die Binderlösung wird durch Einwiegen und Homogenisieren von Lösungsmittelgemisch, Binder und Weichmacher vorzugsweise im Verhältnis 70 : 20 : 10 hergestellt. Allgemein liegt der Anteil an Lösungsmittel im Bereich von 60-80 Gew.-%, und das Verhältnis zwischen Binder und Weichmacher liegt im Bereich von 55 : 45 bis 75 : 25 Gew.-%.
- Als Binder werden erfindungsgemäß Acrylatmethacrylatcopolymere, wie zum Beispiel Paraloid B-72 (Fa. Rohm & Haas), Elvacite 2014, 2042, 2043, 4021 (Fa. Lucite International) verwendet, die die o.g. Vorteile (Entbinderungstemperatur < 350°C, Restkohlenstoffgehalt < 100 ppm) aufweisen.
- Als Weichmacher werden bevorzugt esterbasierte, phthalatfreie Weichmacher eingesetzt, da diese ein günstiges Abbauverhalten beziehungsweise einen günstigen Einfluss auf das thermische Entbinderungsverhalten der keramischen Mehrlagenbauteile ausüben. Darüber hinaus sind phthalatfreie Weichmacher gesundheitlich unbedenklich. Als besonders vorteilhaft haben sich Ester der Zitronen- und Adipinsäure, beispielsweise Tributlycitrat, Triethylcitrat, Acetyltributylcitrat, Bis-2-Ethylhexyladipat und Isononyladipat erwiesen.
- 3) Herstellen eines Vorschlickers (erste Dispersion)
- Durch Einwiegen eines keramischen Pulvers, insbesondere eines PZT-Pulvers und der in Schritt 1 hergestellten Dispergatorlösung im Verhältnis 70 : 30 bis 90 : 10 Gew.-%, abhängig von der Konzentration der Binderlösung, vorzugsweise 85 : 15 Gew.-%, Homogenisieren und Deagglomerieren in einer Schwing- oder einer Ringspaltmühle mit ZrO2-Mahlkörpern über eine Zeitdauer von 0, 1 bis 10 Stunden, vorzugsweise 3 Stunden, wird eine erste Dispersion (Vorschlicker) hergestellt.
- 4) Herstellen des Gießschlickers (zweite Dispersion)
- Die in Schritt 3 hergestellte erste Dispersion (Vorschlicker) und die Binderlösung aus Schritt 2 werden im Verhältnis von 70 : 30 bis 90 : 10 Gew.-%, vorzugsweise 80 : 20 Gew.-% eingewogen, homogenisiert und in einer Schwing- oder einer Ringspaltmühle mit ZrO2-Mahlkörpern über eine Zeitdauer von 0,1 bis 5 Stunden, vorzugsweise 1 Stunde deagglomeriert.
- 5) Fertigstellen des Gießschlickers (zweite Dispersion) und Einstellen der Rheologie
- Mit einer Vakuumpumpe werden aus dem in Schritt 4 hergestellten Gießschlicker (zweite Dispersion) Luft und leichtflüchtige Lösungsmittelanteile gleichzeitig entfernt und die Viskosität für das Gießen auf einer konventionellen Foliengießanlage, vorzugsweise nach dem bekannten Doctor-Blade-Verfahren, eingestellt. Dabei wird ein Rührbehälter evakuiert unter Bewegen des Schlickers mit einem Rührwerk und Temperieren auf Raumtemperatur. Die Viskosität wird bei einer Scherrate von 6,8 l/S auf einen Wert von 1500 bis 4000 mPas eingestellt, vorzugsweise auf 2000 mPas.
- Der Vorteil der mit den nach dem obigen Verfahren erhaltenen Grünfolien aufgebauten Mehrlagenbauteile liegt vor allem darin, dass sie sich im Vergleich zum Stand der Technik wesentlich zeitsparender, bei geringeren Temperaturen und somit wesentlich kostengünstiger entbindern lassen.
- Ein weiterer Vorteil liegt darin, dass Mehrlagenbauteile, insbesondere Piezovielschichtaktoren auf PZT-Basis, mit im Vergleich zu Edelmetallen (Pt, Ag, Pd und Kombinationen daraus) oxidationsanfälligeren, aber kostengünstigeren Innenelektroden, biespielsweise aus passiviertem Kupfer, wegen der geringeren Entbinderungsdauer und -temperatur in Luft entbindert werden können. Bisher sind hier lange (3 Tage und mehr), komplizierte, regelaufwendige und somit teure Entbinderungsprozesse unter Inertbedingungen (Stickstoff und/oder H2 und/oder H2O) erforderlich. Der Prozessaufwand wird aufgrund des erfindungsgemäßen Verfahrens wesentlich geringer.
- Noch ein weiterer Vorteil besteht darin, dass beim thermischen Entbindern unschädliche Abbauprodukte entstehen, die vollständig ausgetragen werden können. Es resultieren damit Restkohlenstoffgehalte von weniger als 100 ppm.
Claims (15)
- Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile, insbesondere Mehrlagenbauteile, gekennzeichnet durch die Schritte: a) Herstellen einer Dispergatorlösung durch Homogenisieren eines oder mehrerer Dispergatoren in Kombination mit einer organischen Säure in einem Lösungsmittelgemisch; b) Herstellen einer Binderlösung durch Homogenisieren des Lösungsmittelgemisches aus Schritt a), einem oder mehreren Acrylatmethacrylatcopolymeren als Binder und einem oder mehreren Weichmachern; c) Herstellen einer ersten Dispersion durch Homogenisieren eines keramischen Pulvers und der Dispergatorlösung und anschließendes Deagglomerieren; d) Herstellen einer zweiten Dispersion durch Homogenisierung der ersten Dispersion und der Binderlösung; und e) Entfernen von Luft und leichtflüchtigen Lösungsmittelanteilen aus der zweiten Dispersion.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Dispergatoren polymere Dispergatoren mit Säuregruppen verwendet werden.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als organische Säure Oxasäuren verwendet werden.
- Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxasäuren ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend aus 3,6-Dioxaheptansäure, 3,6,9-Trioxadecansäure, 3,6,9- Trioxaundecandisäure und Polyglycoldisäure.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Lösungsmittelgemisch ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Alkoholen, Estern und Ketonen, wobei das Lösungsmittelgemisch mindestens einen Alkohol enthält.
- Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Lösungsmittelgemisch ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Ethanol, Isopropanol, n-Propanol, n-Butanol, Ethylacetat, Butylacetat, 1-Methoxy-2-propylacetat und Methylethylketon.
- Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine thermische Zersetzung des Binderpolymers durch Depolymerisation erfolgt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Weichmacher ein esterbasierter, phthalatfreier Weichmacher ist.
- Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Weichmacher ein Ester der Zitronen- oder Adipinsäure ist.
- Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Weichmacher ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Tributlycitrat, Triethylcitrat, Acetyltributylcitrat, Bis-2-Ethylhexyladipat und Isononyladipat. 11 Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das keramische Pulver ein PZT-Pulver ist.
- Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das keramische Pulver und die Dispergatorlösung im Verhältnis zwischen 70 : 30 bis 90 : 10, vorzugsweise im Verhältnis 85 : 15 homogenisiert werden.
- Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Dispersion und die Binderlösung im Verhältnis zwischen 70 : 30 und 90 : 10, vorzugsweise im Verhältnis 80 : 20 homogenisiert werden.
- Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Entfernen von Luft und leichtflüchtigen Lösungsmittelanteilen aus der zweiten Dispersion gleichzeitig mit Hilfe einer Vakuumpumpe erfolgt.
- Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Binder zu Weichmacher im Bereich von 55 : 45 und 75 : 25, vorzugsweise bei 67:33 liegt.
- Verwendung der keramischen Grünfolien nach einem der Ansprüche 1 bis 15 zur Herstellung von Piezovielschichtaktoren.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10326040A DE10326040A1 (de) | 2003-06-10 | 2003-06-10 | Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile |
| PCT/DE2004/000777 WO2004110954A1 (de) | 2003-06-10 | 2004-04-14 | Verfahren zur herstellung von keramischen grünfolien für keramische bauteile |
| JP2006515648A JP2006527154A (ja) | 2003-06-10 | 2004-04-14 | セラミックデバイス用のセラミックグリーンシートの製造方法 |
| EP04727226A EP1633686A1 (de) | 2003-06-10 | 2004-04-14 | Verfahren zur herstellung von keramischen grünfolien für keramische bauteile |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10326040A DE10326040A1 (de) | 2003-06-10 | 2003-06-10 | Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10326040A1 true DE10326040A1 (de) | 2004-12-30 |
Family
ID=33482734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE10326040A Withdrawn DE10326040A1 (de) | 2003-06-10 | 2003-06-10 | Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1633686A1 (de) |
| JP (1) | JP2006527154A (de) |
| DE (1) | DE10326040A1 (de) |
| WO (1) | WO2004110954A1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1881024A1 (de) * | 2006-07-18 | 2008-01-23 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Verwendung eines Weichmachers in einer elektroaktiven Polymerzusammensetzung |
| CN112142480A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-29 | 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司(国营第四三二六厂) | 一种湿法工艺多层片式瓷介电容器的瓷浆及其制备方法 |
| DE102022114964A1 (de) | 2022-06-14 | 2023-12-14 | Technische Universität Darmstadt Körperschaft des öffentlichen Rechts | Verfahren zur Herstellung eines Kondensatorelements mit einer dielektrischen keramischen Folie, Schlicker zur Herstellung einer dielektrischen keramischen Folie und Kondensatorelement mit einer dielektrischen keramischen Folie |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9056801B2 (en) * | 2009-03-31 | 2015-06-16 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Method for producing slurry composition |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61146753A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-04 | 株式会社東芝 | 回路基板用グリ−ンシ−トの製造方法 |
| JPS62283858A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-09 | 株式会社東芝 | セラミツク用有機バインダ |
| KR930011269B1 (ko) | 1987-10-23 | 1993-11-29 | 닛뽕쇼꾸바이가가꾸고오교 가부시끼가이샤 | 세라믹 그린 시이트 |
| DE4233518C1 (de) | 1992-10-06 | 1994-08-25 | Hoechst Ag | Wäßrige Gießmasse zur Herstellung von grünen Keramikfolien und daraus hergestellte Keramikformteile |
| DE59304114D1 (de) | 1992-12-05 | 1996-11-14 | Hoechst Ag | Aufbereitungsmischung anorganischer Pulver mit polymeren Hilfsmitteln und ihre Verwendung |
| JPH0826832A (ja) * | 1994-05-09 | 1996-01-30 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | セラミックスグリーンシート用スラリーの製造方法 |
| JPH09295870A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-18 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | セラミックスグリーンシート用スラリーの製造方法 |
| JP3743588B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2006-02-08 | Tdk株式会社 | 誘電体材料成形用バインダー |
| JP3397753B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2003-04-21 | ティーディーケイ株式会社 | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
| JP3767362B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2006-04-19 | 株式会社村田製作所 | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
| DE20023051U1 (de) | 1999-12-16 | 2003-01-09 | EPCOS AG, 81669 München | Piezoelektrisches Bauelement |
| JP3823759B2 (ja) | 2000-06-29 | 2006-09-20 | 株式会社村田製作所 | セラミックスラリー組成物の製造方法 |
| FR2835828B1 (fr) * | 2002-02-08 | 2006-07-14 | Ct De Transfert De Technologie | Procede et composition pour la fabrication de pieces ceramiques par stereo-lithophotographie et application au domaine dentaire |
-
2003
- 2003-06-10 DE DE10326040A patent/DE10326040A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-04-14 EP EP04727226A patent/EP1633686A1/de not_active Withdrawn
- 2004-04-14 WO PCT/DE2004/000777 patent/WO2004110954A1/de not_active Ceased
- 2004-04-14 JP JP2006515648A patent/JP2006527154A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1881024A1 (de) * | 2006-07-18 | 2008-01-23 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Verwendung eines Weichmachers in einer elektroaktiven Polymerzusammensetzung |
| WO2008010713A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Use of a plasticizer in an electroactive polymer composition |
| CN112142480A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-29 | 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司(国营第四三二六厂) | 一种湿法工艺多层片式瓷介电容器的瓷浆及其制备方法 |
| DE102022114964A1 (de) | 2022-06-14 | 2023-12-14 | Technische Universität Darmstadt Körperschaft des öffentlichen Rechts | Verfahren zur Herstellung eines Kondensatorelements mit einer dielektrischen keramischen Folie, Schlicker zur Herstellung einer dielektrischen keramischen Folie und Kondensatorelement mit einer dielektrischen keramischen Folie |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006527154A (ja) | 2006-11-30 |
| WO2004110954A1 (de) | 2004-12-23 |
| EP1633686A1 (de) | 2006-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102007013874A1 (de) | Mehrschichtiges piezoelektrisches Element | |
| EP1863104B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines keramischen Vielschicht-Bauelements | |
| DE4443365A1 (de) | Brenn- und Sinterverfahren für ein keramisches elektronisches Bauteil | |
| DE10326040A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile | |
| EP1636147A1 (de) | Verfahren zur herstellung von pzt-basierten keramiken mit niedriger sintertemperatur | |
| DE102017106421A1 (de) | Piezoelektrisches keramik-sputtertarget, bleifreier piezoelektrischer dünnfilm und piezoelektrisches dünnfilmelement unter verwendung desselben | |
| EP0750597B1 (de) | Verfahren zur herstellung von keramischen verbundkörpern | |
| EP3030537A1 (de) | Piezokeramischer werkstoff mit reduziertem bleigehalt | |
| US7713896B2 (en) | Method for producing ceramic green compacts for ceramic components | |
| EP2147469B1 (de) | Piezoelektrisches vielschichtbauelement | |
| DE68906981T2 (de) | Zusammensetzung zum Strangpressen eines zu sinternden Grünkörpers. | |
| EP1774603A1 (de) | Vielschichtbauelement und verfahren zu dessen herstellung | |
| EP0441219B1 (de) | Giessmasse zur Herstellung keramischer Grünfolien und ihre Verwendung | |
| DE102007028094B4 (de) | Blei-Zirkonat-Titanat-Keramik mit Texturierung, Verfahren zum Herstellen der Keramik und eines piezokeramischen Bauteils und dessen Verwendung | |
| DE102005061528B4 (de) | Piezokeramisches Bauteil mit Bleizirkonattitanat mit Eisen-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen des piezokeramischen Bauteils und seine Verwendung | |
| DE102016206345B4 (de) | Verfahren zum Herstellen von dreidimensionalen Strukturen oder Strukturelementen auf Substratoberflächen | |
| DE19935271C2 (de) | Matrixmaterial für Brennstoffzellen sowie Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung | |
| WO2006000491A1 (de) | Verfahren zur herstellung von pzt-basierten hochleistungs-piezokeramiken | |
| DE102004005528A1 (de) | Laminated piezoelectric elements | |
| DE102005061529B4 (de) | Bleizirkonattitanat mit Nickel-Molybdän-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils | |
| DE102010029096B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements | |
| DE19817482A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Dickschichten aus ferroelektrischen Keramiken | |
| WO2002004379A2 (de) | Gesinterter, elektrisch leitfähiger werkstoff, keramisches mehrlagenbauteil mit diesem werkstoff, und verfahren zu dessen herstellung | |
| DE19828168A1 (de) | Verfahren zum Aufbringen einer keramischen Schicht auf einen keramischen Grünkörper | |
| DE10145728A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von dielektrischer Kondensatorkeramik |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8141 | Disposal/no request for examination |