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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Reinigen von bei der Herstellung
von Halbleitern verwendeten Gegenständen, in der die Gegenstände in einer
Behandlungskammer mittels einer Flüssigkeit gereinigt und anschließend getrocknet
werden, und in der Behandlungskammer Mittel zum Bewegen eines Gases
innerhalb der Behandlungskammer vorgesehen sind.
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Die
Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Reinigen von bei der
Herstellung von Halbleitern verwendeten Gegenständen, bei dem die Gegenstände in einer
Behandlungskammer mittels einer Flüssigkeit gereinigt und anschließend getrocknet werden,
wobei innerhalb der Behandlungskammer ein Gas bewegt wird.
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Eine
Vorrichtung und ein Verfahren der vorstehend genannten Art sind
aus der
US 5 562 113
A bekannt.
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In
der Halbleiterindustrie ist es notwendig, verschiedenartige Gegenstände, die
bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden, vor, zwischen
oder nach bestimmten Behandlungsschritten zu reinigen. Zu diesen
Gegenständen
zählen
Hilfsmittel, bspw. Körbe,
in denen Halbleitererzeugnisse, insbesondere Wafer, in größerer Zahl
gehandhabt werden, aber auch Halbleitererzeugnisse selbst, also z.B.
Wafer, LCD-Substrate oder Fotomasken.
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Da
die Reinigung dieser Gegenstände
mittels Flüssigkeit
vorgenommen wird, ist innerhalb des Reinigungsprozesses auch ein
Trocknen dieser Gegenstände
erforderlich. Dabei ist von herausragender Bedeutung, dass die Gegenstände während der Reinigung
tatsächlich
vollkommen gereinigt und nicht etwa während des Trocknens wieder
mit Fremdpartikeln kontaminiert werden.
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Es
ist daher bekannt, die genannten Gegenstände in Vorrichtungen zu reinigen
und zu trocknen, die eine Behandlungskammer für die Gegenstände aufweisen.
In der Behandlungskammer werden die Gegenstände mittels einer Flüssigkeit
gereinigt, indem die Gegenstände
z.B. auf einem Rotor in der Behandlungskammer angeordnet und dann
während der
Reinigung gedreht werden. In der Behandlungskammer sind dann Sprühdüsen für eine Reinigungsflüssigkeit
vorgesehen, um die Gegenstände
während
des Reinigungs vorganges mit einer Reinigungsflüssigkeit und ggf. mit einer
Spülflüssigkeit
zu besprühen.
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Um
die auf diese Weise gereinigten, jedoch nassen Gegenstände anschließend zu
trocknen, sind verschiedene Vorgehensweisen bekannt.
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Bei
der aus der eingangs genannten
US
5 562 113 bekannten Vorrichtung wird die Trocknung der
Gegenstände über einen
Heißluftstrom
bewirkt. Zu diesem Zweck wird Umgebungsluft angesaugt, aufgeheizt,
gefiltert und in die Behandlungskammer eingeleitet. Durch die Rotation
der Gegenstände
auf dem sich in der Behandlungskammer drehenden Rotor wird diese
aufgeheizte Trocknungsluft in der Behandlungskammer umgewälzt. Sie
wird anschließend
aus der Behandlungskammer ausgeleitet.
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Diese
Vorgehensweise hat den Nachteil, dass in Folge der externen Aufheizung
der Trocknungsluft nur ein begrenzter Wirkungsgrad beim Trocknen
erreicht werden kann. Weiterhin hat die Zufuhr von Außenluft
immer den Nachteil, dass Fremdpartikel in den Behandlungsraum eingebracht
werden können,
obwohl die Luft gefiltert wird. Beim Filtern muss man nämlich immer
einen Kompromiss zwischen der Wirksamkeit des Filters einerseits
und der durchsetzbaren Luftmenge andererseits schließen.
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Bei
anderen bekannten Vorrichtungen, wie sie von der Anmelderin unter
den Typenbezeichnungen 300 und 310 vertrieben werden, wird Außenluft über einen
entsprechenden Filter in die Behandlungskammer eingeleitet, ohne
dass eine Aufheizung der Luft stattfindet. Stattdessen sind innerhalb
der Behandlungskammer Infrarot-Strahler angeordnet, mit denen im
Wesentlichen die zu reinigenden Gegenstände aufgeheizt werden, wodurch
die Trocknungswirkung verbessert wird.
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Auch
bei dieser bekannten Vorgehensweise wird jedoch Außenluft
in die Behandlungskammer eingeleitet und nach dem Trocknungsvorgang
wieder ausgeleitet, so dass sich auch hier die vorstehend erwähnten Probleme
einstellen.
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Der
Erfindung liegt demgegenüber
die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs
genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass die vorstehend genannten
Nachteile vermieden werden. Insbesondere soll eine optimale Trocknung
der Gegenstände
ermöglicht
werden, ohne dass eine Kontaminierung in Folge der Zufuhr von Außenluft
stattfindet.
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Bei
einer Vorrichtung der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe
erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass die Behandlungskammer abschließbar ist, dass die Mittel das
Gas in der geschlossenen Behandlungskammer umwälzen, und dass in der Behandlungskammer
ferner ein Kondensationstrockner für das Gas vorgesehen ist.
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Bei
dem Verfahren der eingangs genannten Art wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass die Behandlungskammer abgeschlossen wird und dass das Gas innerhalb
der geschlossenen Behandlungskammer umgewälzt und mittels Kondensation
getrocknet wird.
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Die
der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird auf diese Weise vollkommen
gelöst.
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Dadurch,
dass im Gegensatz zu den im Stand der Technik bekannten Vorgehensweisen
der gesamte Trocknungsvorgang innerhalb der geschlossenen Behandlungskammer
stattfindet, wird die Eintragung von Fremdpartikeln und damit eine Kontamination
der zu trocknenden Gegenstände vollkommen
vermieden. Dies wird erfindungsgemäß dadurch ermöglicht,
dass in der geschlossenen Behandlungskammer ein Kondensationstrockner
vorgesehen ist, der dem in der Behandlungskammer umgewälzten Gas
die Feuchtigkeit entzieht, so dass die Gegenstände effektiv getrocknet werden.
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Bei
einer bevorzugten Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist neben der Behandlungskammer ein Wärmetauscher angeordnet und der
Kondensationstrockner ist über
einen geschlossenen Kreislauf an den Wärmetauscher angeschlossen.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass unter Inkaufnahme eines gewissen apparativen
Mehraufwandes die Vorrichtung insgesamt autark arbeitet und nicht
auf die Zu- und Abführung
externer Kühlmittel
angewiesen ist.
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Gemäß einer
alternativen Ausführungsform der
Erfindung kann jedoch der Kondensationstrockner auch über einen
Zuleitungsanschluss mit einer externen Kühlmittelquelle verbunden sein.
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Dies
hat im Gegensatz zur vorgenannten Alternative den Vorteil, dass
der apparative Aufwand minimal, andererseits aber eine externe Zufuhr
von Kühlmittel
erforderlich ist.
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Je
nach Einsatzdauer und Kosten des zuzuführenden Kühlmittels (bspw. Kühlwasser)
wird daher die eine oder die andere Variante im Einzelfall vorteilhafter
sein.
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Bei
weiteren Ausführungsbeispielen
der Erfindung weist der Kondensationstrockner mindestens eine Kondensatorplatte
auf.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass die mit Feuchtigkeit beladene, umgewälzte Luft
innerhalb der Behandlungskammer an einer relativ großen Fläche der
Kondensatorplatte entlangstreichen kann, so dass eine effektive
Kondensation und damit Trocknung möglich ist.
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Bevorzugt
ist dabei, wenn mehrere Kondensatorplatten verwendet werden, die
in Parallelschaltung an eine Zuleitung bzw. an eine Ableitung für ein Kühlmittel
angeschlossen sind.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass einerseits eine größere Kondensationsfläche zur
Verfügung
steht, andererseits in Folge der Parallelschaltung alle Kondensatorplatten
gleichermaßen
gekühlt werden.
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In
diesem Zusammenhang wird ferner eine gute Wirkung dadurch erzielt,
dass die Gegenstände in
der Behandlungskammer auf einem um eine Achse drehbaren Rotor angeordnet
sind, und die mindestens eine Kondensatorplatte um einen vorbestimmten
Winkel zu einer Radialebene der Achse geneigt angeordnet ist.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass dem in der Behandlungskammer umgewälzten Gas
eine schraubenförmige
Bewegung aufgeprägt
wird, so dass eine definierte Zirkulation entsteht. Diese kann je
nach räumlicher
Anordnung der Kondensatorplatten zu einer laminaren Strömung über die
zu trocknenden Gegenstände
hinweg führen,
bspw. dann, wenn die schräg
angeordneten Kondensatorplatten sich im Bandbereich der Behandlungskammer
befinden.
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Bei
einer bevorzugten Weiterbildung dieser Variante können zusätzlich auf
einer Innenwand der Behandlungskammer zu der Radialebene geneigte Leitelemente
angeordnet sein.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass die gesamte Innenwand der Behandlungskammer
durch die geneigten Kondensatorplatten und die geneigten Leitelemente
gewindeartig ausgebildet sein kann. Dies bewirkt eine schraubenförmige Gasströmung im Bereich
der Kammer, die sich über
eine im Zentrum der Kammer axial gerichtete Gegenströmung schließt.
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Bei
Ausführungsformen
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
sind an einer Innenwand der Behandlungskammer Sprühdüsen für eine Reinigungs- oder
Spülflüssigkeit
angeordnet.
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Diese
an sich bekannte Maßnahme
hat den Vorteil, dass die Gegenstände in der Behandlungskammer
effektiv gereinigt werden können.
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Bei
einer Behandlungskammer, die im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet
ist, sind die Sprühdüsen vorzugsweise
im Bereich von Ecken der Behandlungskammer angeordnet.
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Wenn
in weiter bevorzugter, ebenfalls an sich bekannter Weise die Gegenstände in der
Behandlungskammer auf einem um eine Achse drehbaren Rotor angeordnet
sind und die Achse im Wesentlichen im Zentrum der Behandlungskammer
verläuft, sind
die Sprühdüsen vorzugsweise
auf die Achse gerichtet.
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Bei
einer erfindungsgemäßen Weiterbildung der
letztgenannten Variante ist mindestens eine weitere Sprühdüse vorgesehen,
die bei rotierendem Rotor in einer zurückgezogenen Stellung außerhalb
des Rotors gehalten und bei stillstehendem Rotor in Radialrichtung
in eine vorgefahrene Stellung im Bereich der im Rotor gehaltenen
Gegenstände
hinein verfahrbar ist.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass auch bei sehr großvolumigen Gegenständen eine
perfekte Reinigung möglich
ist. Dies gilt bspw. bei sogenannten „Körben", wie sie bei der Halbleiterfertigung
zum Transportieren einer Vielzahl von Wafers oder anderen Halbleitererzeugnissen
benutzt werden. Diese „Körbe" sind auf ihrer Innenfläche nicht
so einfach mittels einer Sprühdüse erreichbar,
wenn sich die Körbe
auf einem Rotor an mehreren stationären Sprühdüsen vorbeibewegen. Wenn jedoch
bei stillstehendem Rotor die weitere Sprühdüse in den Korb hinein verfahren
wird, so kann die gesamte Innenfläche des Korbes wirksam gereinigt
werden.
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Bei
weiteren Ausführungsformen
der Erfindung sind in an sich bekannter Weise in der Behandlungskammer
Infrarot-Strahler zum Trocknen der Gegenstände vorgesehen.
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Alternativ
oder nebeneinander können
ein oder mehrere Infrarot-Strahler
im Zentrum der Behandlungskammer oder an einer Innenwand der Behandlungskammer
angeordnet sein.
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Bevorzugt
ist jedenfalls, wenn die Infrarot-Strahler nicht auf den Kondensationstrockner
gerichtet sind.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass eine unnötige
Aufheizung des Kondensationstrockners vermieden wird, die zu einer
Verminderung von dessen Wirkungsgrad führen würde.
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Bei
weiteren bevorzugten Ausführungsformen
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist der Behandlungsraum im Horizontalschnitt im Wesentlichen rechteckförmig und über zwei,
in einander gegenüberliegenden
Seitenwänden
angeordnete Türen
zugänglich.
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Diese
Maßnahme
hat den an sich bekannten Vorteil, dass die Gegenstände von
der einen Seite der Vorrichtung hin beladen und von der anderen
Seite der Vorrichtung her entladen werden können.
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Alternativ
dazu ist es aber auch möglich, dass
der Behandlungsraum im Horizontalschnitt im Wesentlichen rechteckförmig und
nur über
eine, in einer Seitenwand angeordnete Tür zugänglich ist.
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Diese
Maßnahme
hat den Vorteil, dass ein geringerer apparativer Aufwand bei der
Vorrichtung erforderlich ist.
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Wie
bereits erwähnt
wurde, lässt
sich die erfindungsgemäße Vorrichtung
zum Reinigen unterschiedlicher Gegenstände einsetzen. Bevorzugt sind dabei
Körbe für Halbleitererzeugnisse
oder Halbleitererzeugnisse selbst zu nennen. Halbleitererzeugnisse
sind dabei vorzugsweise Wafer, LCD-Substrate oder Fotomasken, ohne
dass die Anwendung der Erfindung auf diese speziellen Halbleitererzeugnisse beschränkt ist.
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Weitere
Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.
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Es
versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend
noch zu erläuternden Merkmale
nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in
anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne
den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der
nachfolgenden Beschreibung näher
erläutert.
Es zeigens
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1 ein erstes Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
in einer Seitenansicht, und zwar einer Schnittdarstellung entlang
der Linie I-I von 3;
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2 die Vorrichtung gemäß 1 in einer 90°-gedrehten
Seitenansicht, ebenfalls im Schnitt, entlang der Linie II-II von 3;
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3 eine Draufsicht auf die
Vorrichtung gemäß 1 und 2, gleichfalls im Schnitt, entlang der Linie
III-III von 2;
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4 eine Darstellung ähnlich 3, jedoch für ein zweites
Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
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In
den 1 bis 3 bezeichnet 10 insgesamt eine
Reinigungsvorrichtung für
Gegenstände,
wie sie in der Halbleiterindustrie beim Herstellen von Halbleitern
verwendet werden.
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Die
Reinigungsvorrichtung 10 weist ein quaderförmiges Gehäuse 12 auf,
das über
Füße 14 auf einem
Boden 16 angeordnet ist. Das Gehäuse 12 erstreckt sich
in Vertikalrichtung entlang einer Achse 17. Es weist eine
vordere Seitenwand 18, eine hintere Seitenwand 20,
eine rechte Seitenwand 22 sowie eine linke Seitenwand 24 auf.
Innen ist das Gehäuse 12 durch
eine obere Zwischenwand 26 sowie eine untere Zwischenwand 28 unterteilt.
Hierdurch entsteht ein oberer Gehäuseteil 30, ein mittlerer
Gehäuseteil 32 sowie
ein unterer Gehäuseteil 34.
Die Darstellung in den Figuren ist dabei selbstverständlich nur
schematisch zu verstehen. Die Einzelheiten des Gehäuses 12,
Verbindungsmittel und dergleichen sind der Übersichtlichkeit halber nicht
dargestellt.
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Beim
Ausführungsbeispiel
gemäß den 1 bis 3 ist das Gehäuse 12 mit zwei Türen versehen, nämlich mit
einer rechten Tür 36 in
der rechten Seitenwand 22 sowie einer gegenüberliegenden
linken Tür 38 in
der linken Seitenwand 24. Mit Pfeilen 37 und 39 ist
angedeutet, dass bei geöffneten
Türen, wie
mit 36' und 38' für den Zustand
teilweiser Öffnung angedeutet,
eine Beladung der Reinigungsvorrichtung 10 im Durchsatzverfahren
möglich
ist. Hierzu werden bspw. die zu reinigenden Gegenstände in Richtung
des Pfeils 37 durch die geöffnete Tür 36 zugeführt und
die gereinigten Gegenstände
in Richtung des Pfeils 39 durch die geöffnete Tür 38 abgeführt.
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Der
mittlere Gehäuseteil 32 umgibt
eine Behandlungskammer 40. In der Behandlungskammer 40 befindet
sich ein Rotor 42, der mittels einer Welle 44 antreibbar
ist. Die Welle 44 erstreckt sich entlang der Vertikalachse 17.
Der Rotor 42 weist einen oberen Halter 46 sowie
einen unteren Halter 48 auf, zwischen denen die zu reinigenden
Gegenstände
mittels geeigneter Haltemittel gehalten werden.
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Im
dargestellten Ausführungsbeispiel
sind drei Ebenen von Körben 50 zwischen
den Haltern 46 und 48 gehalten. In jeder Ebene
sind insgesamt vier Körbe 50 vorgesehen,
die jeweils um 90° versetzt
um die Welle 44 herum angeordnet sind. Bei den Körben 50 handelt
es sich um solche Körbe,
wie sie zum Handhaben und Transportieren von Wafern oder anderen
Halbleitererzeugnissen verwendet werden.
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Wie
mit einem Pfeil 52 angedeutet, kann der Rotor 42 in
Rotation versetzt werden. Hierzu ist er über eine Antriebswelle 54 mit
einem Motor 56 verbunden, der sich in einem Antriebsraum 58 im
oberen Gehäuseteil 30 befindet.
Die Drehrichtung des Motors 56 ist vorzugsweise umschaltbar.
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Wie
man deutlich aus 3 erkennen
kann, ist das Gehäuse 12 zumindest
im Bereich der Behandlungskammer 40 im Wesentlichen rechteckig bzw.
quadratisch. In den Ecken 61a, 61b, 61c, 61d der
Behandlungskammer 40, im dargestellten Ausführungsbeispiel
in den drei Ecken 61a, 61b und 61c, befinden
sich Sprühdüsen 60a, 60b und 60c.
Die Sprühdüsen 60a bis 60c sind
zum Zentrum der Behandlungskammer 40 hin gerichtet, also
zu Achse 17 bzw. zur Welle 44. Die Zuleitungen
und Versorgungseinrichtungen der Sprühdüsen 60a bis 60c sind
an sich bekannt und der Übersichtlichkeit
halber nicht dargestellt.
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Weiterhin
befinden sich innerhalb der Behandlungskammer 40 Infrarot-Strahler 62a, 62b, 62c.
Der Infrarot-Strahler 62a ist dabei im Bereich der Welle 44 angeordnet,
während
die Infrarot-Strahler 62b und 62c sich
an der vorderen Seitenwand 18 befinden. Die Infrarot-Strahler 62a bis 62c sind
ebenfalls an sich bekannt und daher nicht in weiteren Einzelheiten
dargestellt.
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Erfindungsgemäß ist nun
in der Behandlungskammer 40, und zwar im Bereich der hinteren Seitenwand 20,
ein Kondensationstrockner 64 vorgesehen. Der Kondensationstrockner 64 enthält vorzugsweise
mehrere Kondensatorplatten, im dargestellten Ausführungsbeispiel
insgesamt neun Kondensatorplatten 66a, 66b, 66c, 66d, 66e, 66f, 66g, 66h und 66i.
Die Kondensatorplatten 66a bis 66i sind bezüglich einer
Radialebene zur Achse 17 unter einem vorbestimmten Winkel α geneigt
angeordnet, wie deutlich aus 2 erkennbar
ist. Der Winkel α liegt
bspw. zwischen 10° und
30°, vorzugsweise
bei 20°.
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Die
Kondensatorplatten 66a bis 66i sind auf der einen
Seite, im dargestellten Ausführungsbeispiel
auf ihrer jeweils unteren Seite, an eine gemeinsame Zuleitung 68 sowie
an ihrer gegenüberliegenden
Seite an eine gemeinsame Ableitung 70 angeschlossen, so
dass sie strömungstechnisch
parallel geschaltet sind.
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Gemäß einer
ersten Variante sind die Zuleitung 68 und die Ableitung 70 im
geschlossenen Kreislauf mit einem Wärmetauscher 72 verbunden. Gemäß einer
zweiten Variante sind die Zuleitung 68 und die Ableitung 70 jeweils
an einen externen Zuleitungsanschluss 74 bzw. einen Ableitungsanschluss 76 angeschlossen,
so dass das Kühlmittel
extern zugeführt
bzw. abgeführt
werden kann.
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Die
Wirkungsweise der Reinigungsvorrichtung 10 ist wie folgt:
Zu
Beginn des Reinigungsverfahrens wird der leere Rotor 42 über die
rechte Tür 36 beladen.
Hierzu wird der Rotor 42 zweckmäßigerweise in vier Schritten
zu je 90° gedreht,
so dass jeweils drei Körbe 50 übereinander
geladen werden können.
Dies kann manuell oder über
eine entsprechende Handhabungsvorrichtung geschehen, bis schließlich alle
drei Ebenen mit je vier Körben
bestückt
sind. Es versteht sich dabei, dass selbstverständlich auch andere Gegenstände als
Körbe 50 geladen
werden können,
oder dass eine Mischladung vorgesehen werden kann, bei der z.B. die
beiden unteren Ebenen mit Körben
und die obere Ebene mit flächigen
Gegenständen
beladen wird.
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Nach
Abschluss des Beladungsvorganges wird die rechte Tür 36 geschlossen.
Der Rotor 42 wird nun durch Einschalten des Motors 56 in
Rotation versetzt. Gleichzeitig wird über die Sprühdüsen 60a bis 60c eine
Reinigungsflüssigkeit
auf die zu reinigenden Gegenstände,
bspw. die Körbe 50,
gerichtet. An diesen Reinigungsvorgang kann sich ein Spülvorgang
anschließen,
in dem über
die Sprühdüsen 60a bis 60c eine
Spülflüssigkeit
zugesprüht
wird. Es versteht sich, dass für
die Zuführung
der Reinigungsflüssigkeit
und einer Spülflüssigkeit
auch unterschiedliche Sprühdüsen eingesetzt
werden können.
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Bei
einem praktischen Ausführungsbeispiel weist
die erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung 10 eine
quaderförmige
Behandlungskammer 40 mit einer Kantenlänge 125 cm auf. Das Reinigen/Spülen vollzieht
sich in zwei Schritten von z.B. 20 und 40 Sekunden Dauer, wobei
gereinigtes Wasser mit einer Temperatur von 50° verwendet und der Rotor 42 mit 20
min–1 gedreht
wird.
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An
den vorstehend erläuterten
Reinigungs- und ggf. Spülvorgang
schließt
sich nur der im vorliegenden Zusammenhang besonders interessierende Trocknungsvorgang
an.
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Um
die Körbe 50 in
der Behandlungskammer 40 effektiv zu trocknen, wird der
Rotor 42 zunächst
in schnelle Rotation von z.B. 200 min–1 versetzt,
und zwar während
zweier Intervalle von jeweils 30 Sekunden Dauer. Diese schnelle
Rotation des Rotors 42 bewirkt, dass die auf den Körben 50 befindliche
Reinigungs- oder
Spülflüssigkeit
durch Fliehkraft teilweise abgeschleudert wird.
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Es
schließen
sich nun mehrere Intervalle an, während derer der Rotor 42 mit
verminderter Drehzahl zwischen 30 und 60 min–1 gedreht
wird. Dies geschieht während
aufeinander folgender Interwalle von bspw. sechzig Sekunden Dauer,
wobei zwischen den einzelnen Intervallen die Drehrichtung des Rotors 42 umgekehrt
wird. Insgesamt können
z.B. zwölf derartige
Intervalle vorgesehen werden, wobei die Drehzahl des Rotors 42 zwischenzeitlich
je nach Bedarf auch angehoben oder abgesenkt werden kann. Während dieser
Intervalle werden die Infrarot-Strahler 62a, 62b und 62c eingeschaltet.
Diese sind vorzugsweise so ausgerichtet, dass sie nicht auf den Kondensationstrockner 64 strahlen
und somit nicht aufwärmen.
Die Infrarot-Strahlung bewirkt eine Aufheizung der Körbe 50,
die dadurch effektiv getrocknet werden.
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Die
Temperatur in der Behandlungskammer 40 wird während des
gesamten Reinigungs- und Trocknungsvorganges vorzugsweise auf konstanter Temperatur
gehalten, bspw. auf 55°C.
Die Gesamtdauer des Vorganges liegt vorzugsweise bei zehn bis zwölf Minuten.
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Während des
Trocknungsvorganges bewirkt die Rotation des Rotors 42,
dass das Gas, bspw. die Luft, innerhalb der geschlossenen Behandlungskammer 40 umgewälzt wird.
Durch die Schrägstellung der Kondensatorplatten 66a bis 66i (vgl. 2) wird der Gasströmung im
Bereich der hinteren Seitenwand 20 eine schraubenförmige Bewegungskomponente
aufgeprägt.
Dies ist in 2 mit Pfeilen 80 angedeutet. Diese
schraubenförmige
Bewegung des Gases im Wandbereich führt zu einer radial gerichteten
Strömung
im Boden- und Deckenbereich, wie mit einem Pfeil 82 in 1 angedeutet. Die Strömung schließt sich
dann durch eine axiale Strömung
im Bereich der Welle 44, wie in 1 mit einem Pfeil 84 verdeutlicht.
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Eine
Umkehrung der Drehrichtung des Rotors 42 hat dabei auch
eine Umkehrung der Strömungsrichtung
(Pfeile 80, 82 und 84) zur Folge. Die Umkehrung
der Drehrichtung des Rotors 42 bewirkt insbesondere auch,
dass während
des momentanen Stillstandes des Rotors 42 im Nulldurchgang
der Bewegung diejenigen Flüssigkeitsanteile,
die sich in Ecken, Sackbohrungen und dergleichen der Körbe 50 befinden,
durch Schwerkrafteinfluss auslaufen können, um dann im anschließenden Trocknungsintervall
abgetrocknet zu werden.
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In 1 ist mit 86 noch
angedeutet, dass eine Innenwand 85 der vorderen Seitenwand 18 mit Leitelementen 86 versehen
sein kann, um die schraubenförmige
Leitung des Gases innerhalb der Behandlungskammer 40 zu
unterstützen.
Derartige Leitelemente 86 können selbstverständlich auch
auf den anderen Innenwänden
der Behandlungskammer 40 vorgesehen sein.
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4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der
Erfindung mit einer Reinigungsvorrichtung 90 und einer
in der Draufsicht rechteckigen Behandlungskammer 91. Auch
hier ist ein Rotor 92 für
Körbe 94 vorgesehen,
ebenso wie ein Kondensationstrockner 95 in der Behandlungskammer 91.
Insofern besteht Übereinstimmung
mit dem Ausführungsbeispiel gemäß den 1 bis 3.
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Das
Besondere beim Ausführungsbeispiel gemäß 4 besteht in Folgendem:
Zum
einen ist die Reinigungsvorrichtung 90 mit einer weiteren
Sprühdüse 96 versehen.
Diese Sprühdüse 96 befindet
sich in der in 4 durchgezogen
eingezeichneten Stellung in einer zurückgezogenen Position außerhalb
der Bewegungsbahn des Rotors 92, so dass dieser ungestört von der
Sprühdüse 96 rotieren
kann.
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Um
nun auch Innenseiten 98 der Körbe 94 effektiv reinigen
zu können,
kann der Rotor 92 während
oder am Ende des Reinigungsvorganges angehalten werden, und zwar
in einer Drehlage, in der jeweils ein Korb 94 oder mehrere übereinander
angeordnete Körbe 94 sich
unmittelbar vor der Sprühdüse 96 bzw.
mehreren übereinander
angeordneten Sprühdüsen 96 befindet.
Die Sprühdüse 96 fährt nun in
die in 4 strichpunktiert
eingezeichnete vorgefahrene Stellung vor, um bei stillstehendem
Rotor 92 die Innenseite 98 des Korbes 94 auszusprühen. Die Sprühdüse 96 fährt dann
wieder zurück,
der Rotor 92 dreht sich um 90° und die Sprühdüse 96 fährt wieder vor,
um den nächsten
Korb 94 derselben Ebene auf dessen Innenseite auszusprühen, usw.
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Auf
diese Weise werden daher die Körbe 94 nicht
nur außen,
sondern auch innen höchst
effektiv gereinigt und ggf. gespült.
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Die
zweite Besonderheit beim Ausführungsbeispiel
gemäß 4 besteht darin, dass lediglich eine
Tür 100 in
einer Seitenwand vorgesehen ist. Ein Doppelpfeil 102 symbolisiert
in 4, dass sowohl die
Beladung wie auch die Entladung der Körbe 94 in diesem Fall
durch dieselbe Tür 100 in
deren geöffnetem
Zustand 100' geschieht.
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Es
versteht sich, dass die Erfindung nicht auf die vorstehend dargelegten
Ausführungsbeispiele beschränkt ist.
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So
kann alternativ vorgesehen sein, den Kondensationstrockner nicht
in einer Seitenwand unterzubringen, sondern z.B. am Boden oder der
Decke der Behandlungskammer. Ferner ist nicht zwingend, dass der
Rotor um eine vertikale Achse drehbar ist, weil auch horizontale
Drehachsen denkbar sind.