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DE10297714T5 - Prüfgerät für elektronische Bauelemente - Google Patents

Prüfgerät für elektronische Bauelemente Download PDF

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DE10297714T5
DE10297714T5 DE10297714T DE10297714T DE10297714T5 DE 10297714 T5 DE10297714 T5 DE 10297714T5 DE 10297714 T DE10297714 T DE 10297714T DE 10297714 T DE10297714 T DE 10297714T DE 10297714 T5 DE10297714 T5 DE 10297714T5
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Withdrawn
Application number
DE10297714T
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiko Ito
Hiroto Nakamura
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks

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Abstract

Prüfgerät zur Prüfung elektronischer Bauelemente (20) durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der Bauelemente gegen Kontaktbereiche (110a; 600a) eines Prüfkopfes (100) mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung (201, 202), während die zu prüfenden Bauelemente (20) auf ein Fördermedium (10; 701, 702) geladen sind, mit:
einer oder mehreren Bewegungseinrichtungen (201, 202), die in der Lage sind, mehrere der mit zu prüfenden Bauelementen (20) beladenen Fördermedien (10; 701, 702) auf einmal aufzunehmen und zu den Kontaktbereichen (110a; 600a) zuzuführen und von diesen abzutransportieren.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente sowie ein Prüfgerät, das in der Lage ist, Prüfungen mit hoher Effizienz durchzuführen, durch Bereitstellung mehrerer Bewegungseinrichtungen für die Durchführung einer Prüfung, bei der mehrere mit zu prüfenden Bauelementen beladene Fördermedien auf einmal aufgenommen werden.
  • STAND DER TECHNIK
  • In einem Prüfgerät für elektronische Bauelemente, das auch als "Handler" bezeichnet wird, wird eine große Anzahl elektronischer Bauelemente, die auf einem Tablar gehalten sind, in das Prüfgerät hineintransportiert, und die einzelnen Bauelmente werden mit einem Prüfkopf in elektronischen Kontakt gebracht, zur Durchführung einer Prüfung mit Hilfe eines Prüfgerätekörpers (im folgenden auch als "Tester" bezeichnet). Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, werden die elektronischen Bauelemente vom Prüfkopf abgenommen und in Übereinstimmung mit den Prüfungsergebnissen so auf Tablare umgeladen, daß sie nach Kategorien von guten und schadhaften Elementen etc. klassifiziert sind.
  • Unter den herkömmlichen Prüfgeräten gibt es eine Bauform, bei der Tablare zum Halten ungeprüfter Bauelemente oder geprüfter Bauelemente (im folgenden als Kundentablare bezeichnet) und Tablare, die innerhalb des Prüfgerätes umlaufen (im folgenden als Prüftablare bezeichnet) von einander verschieden sind. Bei Prüfgeräten dieser Art werden die Bauelemente vor und nach der Prüfung zwischen den Kundentablaren und den Prüftablaren umgeladen, und in einem Prüfschritt werden die Bauelemente in einem Zustand, in dem sie auf dem Prüftablar gehalten sind, gegen den Prüfkopf angedrückt, um eine Prüfung auszuführen, indem die Bauelemente mit dem Prüfkopf in Kontakt gebracht werden.
  • Andererseits ist eine Bauform bekannt, bei der die auf einem Kundentablar gehaltenen Bauelemente mit Hilfe einer Heizplatte oder dergleichen einer thermischen Beanspruchung ausgesetzt werden, dann mehrere von ihnen auf einmal durch Saugköpfe aufgenommen, zum Prüfkopf transportiert und damit in elektronischen Kontakt gebracht werden. In einem Prüfschritt mit einem Prüfgerät dieser Art werden die Bauelemente in einem Zustand, in dem sie von den Saugköpfen gehalten sind, gegen den Prüfkopf angedrückt.
  • Der Prüfkopf, gegen den die Bauelemente angedrückt werden, weist einen große Anzahl von Kontaktbereichen auf, und durch gleichzeitige Ausführung der Prüfung an einer großen Anzahl von Bauelementen können die Prüfungen mit hohem Durchsatz vorgenommen werden (normalerweise ist die Anzahl der Prüfpositionen und der Messungen, die gleichzeitig durchgeführt werden können, für ein einzelnes Prüfgerät auf 2n begrenzt, beispielsweise auf 32 oder 64, wobei n eine natürliche Zahl ist).
  • Bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente wurde bisher die Prüfung in einem letzten Schritt in der Folge der Fertigungsschritte für die Bauelemente vorgenommen, d. h., die Prüfung erfolgte an fertigen Bauelementen, nach Abschluß von Schritten zum Gießformen, zur Drahtkontaktierung und dergleichen.
  • Wenn jedoch erst nach Abschluß der Fertigungsschritte ein Fehler festgestellt wird, so sind einige der vorher durchgeführten Schritte vergeblich, und es ist deshalb vorzuziehen, daß die Prüfung vorgenommen wird, sobald die Bauelemente einen Zustand erreicht haben, in dem sie geprüft werden können, und die schadhaften Bauelemente in diesem Stadium auszusondern.
  • Aufgrund von Einschränkungen hinsichtlich der Natur der Bauelemente werden, wie in 24 gezeigt ist, die zu prüfenden Bauelemente 20 auf ein Fördermedium 10 in Streifenformat oder dergleichen geladen (im Fall der 24 ein Streifenformat mit vier Zeilen und elf Spalten), um zu verhindern, daß die Bauelemente 20 beim Transport in und zwischen den einzelnen Schritten auseinanderfallen. Um eine Prüfung an den Bauelementen in einem Zustand auszuführen, in dem sie für die Prüfung bereit sind, bevor der letzte Fertigungsschritt erreicht ist, muß somit die Prüfung durchgeführt werden, während die Bauelemente 20 auf das Fördermedium 10 geladen sind, und außerdem muß die Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 für den Transport zum nächsten Schritt beibehalten werden. Es sind beliebige Anzahlen und Anordnungen der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 möglich.
  • Bei dem herkömmlichen Prüfgerät bilden außerdem die Kontaktbereiche 110a des Prüfkopfes nur eine einzige Kontaktgruppe 110, und die Anzahl der Kontaktbereiche 110a entspricht der bei dem Prüfgerät maximal möglichen Anzahl gleichzeitiger Messungen, wie in 25 und 26 gezeigt ist. 25 zeigt eine Kontaktgruppe 110, die so konfiguriert ist, daß die Anzahl der Kontaktbereiche 110a auf 32 begrenzt ist, und 26 zeigt eine Kontaktgruppe 110, bei der die Anzahl der Kontaktbereiche 110a auf 64 begrenzt ist.
  • Wenn, wie z. B. in 27 gezeigt ist, bei dem Prüfgerät Prüfpositionen für 32 gleichzeitige Messungen an den auf das Fördermedium 10 geladenen Bauelementen 20 vorgesehen sind, lassen sich beim ersten Prüfdurchgang 32 Prüfpositionen festlegen (die 32 geprüften Bauelemente 21 sind in 27 sämtlich als schwarze Rechtecke dargestellt), während beim zweiten Prüfdurchgang nur die verbleibenden 16 Prüfpositionen festgelegt werden können (die in 16 ungeprüften Bauelemente 22 sind in 27 sämtlich als weiße Rechtecke dargestellt). Somit wird im zweiten Prüfdurchgang nur die Hälfte der 32 Kontaktbereiche benutzt, und es bestand das Problem, daß die Prüfeffizienz abnimmt.
  • Im Hinblick auf dieses Problem, immer 32 regelmäßig angeordnete Prüfpositionen auf dem Fördermedium 10 für die gleichzeitige Messung festzulegen, ist es z. B. denkbar, daß eine Kontaktgruppe 110, die durch 32 Kontaktbereiche 110a gebildet wird, in 32 Kontaktgruppen aufgeteilt wird und daß 32 Fördermedien 10 auf einmal zugeführt werden, um die Bauelemente 20 auf diesen Fördermedien 10 gleichzeitig zu prüfen. In diesem Fall wird das Gerät jedoch sehr groß und kompliziert, so daß es vorzuziehen ist, die Anzahl gleichzeitiger Messung mit so wenig Fördermedien 10 wie möglich zu erreichen.
  • Alternativ ist z. B. ein Verfahren denkbar, bei dem 32 Kontaktbereiche 110a in mehrere Kontaktgruppen 110 aufgeteilt werden und für jede der Kontaktgruppen eine unabhängige Bewegungseinrichtung vorgesehen wird, um mit so wenig Fördermedien 10 wie möglich sicherzustellen, daß immer die Anzahl gleichzeitiger Messungen erreicht wird. Wenn jedoch die Anzahl der Kontaktgruppen ein bestimmtes Maß übersteigt, kann dies eine Zunahme der Anlagekosten verursachen.
  • Weiterhin ist z. B. auch ein Verfahren denkbar, bei dem 32 Kontaktbereiche 110a auf einige Kontaktgruppen 110 aufgeteilt werden, alle Fördermedien 10 kollektiv mit einer Bewegungseinrichtung erfaßt werden und eine Bewegungseinrichtung für die Durchführung der Prüfung vorgesehen wird, um immer die Anzahl gleichzeitiger Messungen zu erreichen. Da jedoch eine große Anzahl von Fördermedien 10 kollektiv erfaßt wird, entsteht das Problem, daß es um so schwieriger wird, die Ausrichtgenauigkeit für die einzelnen Bauelemente 20 und die Kontaktbereiche 110a sicherzustellen, je größer die Anzahl der Fördermedien 10 ist.
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf diese Probleme beim Stand der Technik gemacht und hat die Aufgabe, ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente zu schaffen, das in der Lage ist, eine Prüfung an Bauelementen, die in beliebiger Anzahl und Anordnung auf mehrere Fördermedien geladen sind, mit hoher Effizienz durchzuführen.
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Prüfgerät der vorliegenden Erfindung ein Prüfgerät für die Durchführung einer Prüfung durch Andrücken von Eingangs-/Ausgangskontakten von zu prüfenden Bauelementen gegen Kontaktbereiche eines Prüfkopfes mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung, während die zu prüfenden Bauelemente auf ein Fördermedium geladen sind, mit einer oder mehreren Bewegungseinrichtungen, die in der Lage sind, mehrere mit den zu prüfenden Bauelementen beladene Fördermedien gleichzeitig zu erfassen und zu den Kontaktbereichen zuzuführen und von diesen abzutransportieren.
  • Bei dem Prüfgerät nach der vorliegenden Erfindung ist weder eine Bewegungseinrichtung unabhängig für jede der Kontaktgruppen vorgesehen, noch eine Bewegungseinrichtung zum kollektiven Erfassen sämtlicher Kontaktgruppen, sondern mehrere Bewegungseinrichtungen, die in der Lage sind, mehrere mit den zu prüfende Bauelementen beladene Fördermedien gleichzeitig zu erfassen und sie zu den Kontaktbereichen zuzuführen und von diesen abzutransportieren, so daß die Zunahme der Anlagekosten und die Vergrößerung des Platzbedarfs begrenzt wird und bei hoher Ausrichtgenauigkeit die Anzahl gleichzeitiger Messungen erreicht wird und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden kann.
  • Das Prüfgerät gemäß der vorliegenden Erfindung ist außerdem ein Prüfgerät, bei dem die Bewegungseinrichtung in der Lage ist, die Anzahl der erfaßten Fördermedien bis zu einer Höchstzahl frei zu wählen.
  • Durch geeignete Auswahl der Anzahl der erfaßten Fördermedien bis zur Höchstzahl, in Übereinstimmung mit einer beliebigen Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente auf dem Fördermedium, kann die Anzahl gleichzeitiger Messungen erreicht und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • Weiter ist bei dem Prüfgerät die eine Bewegungseinrichtung in der Lage, die Anzahl der erfaßten Fördermedien unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen frei zu wählen.
  • Durch freie Auswahl der Anzahl der von der Bewegungseinrichtung an einem Prüfkopf erfaßten Fördermedien und Kombination mit mehreren Bewegungseinrichtungen an dem Prüfkopf kann das Bewegungsschema flexibel an Änderungen eines Produktionsplans oder anderer Bedingungen angepaßt werden, wobei stets die Anzahl gleichzeitiger Messungen erreicht werden kann und flexible Gegenmaßnahmen möglich werden, um eine hohe Prüfeffizienz zu erreichen.
  • Unter der Vielzahl der Bewegungseinrichtungen haben außerdem je zwei oder mehr einen im wesentlichen überlappenden Arbeitsbereich an einer Kontaktgruppe in Gestalt eines Satzes von Kontaktbereichen.
  • Dadurch wird die Kontaktgruppe von den betreffenden Bewegungseinrichtungen abwechselnd bedient, so daß ein Teil der Rüstzeit für die eine Bewegungseinrichtung in der Prüfzeit für die andere Bewegungseinrichtung untergebracht werden kann.
  • Die Prüfzeit bezeichnet die Zeit zwischen der Ausgabe eines Start-Anforderungssignals an einen Kontaktbereich, an welchen die ungeprüften Bauelemente auf dem Fördermedium angelegt sind, bis zur Ausgabe eines Prüfungsende-Signals nach der Ausführung der Prüfung. Die Rüstzeit ist die Zeit von der Ausgabe des Prüfungsende-Signals von dem Kontaktbereich bis zur Ausgabe eines Start-Anforderungssignals von der Bewegungseinrichtung, nachdem das mit den geprüften Bauelementen beladenen Fördermedium abtransportiert worden ist und ungeprüfte Bauelemente auf dem nächsten Fördermedium zu dem Kontaktbereich gebracht worden sind. Eine Zykluszeit ist definiert als die Summe aus der Prüfzeit und der Rüstzeit und ist die kürzeste Zeit zwischen der Ausgabe eines Start-Anforderungssignals durch die Bewegungseinrichtung bis zur Ausgabe des nächsten Anforderungssignals.
  • Insbesondere dann, wenn die Prüfzeit kurz ist, wird der Anteil der Rüstzeit an der Zykluszeit groß sein, so daß ein hoher Durchsatz realisiert werden kann, indem Prüfungen in einem Bereich an einer Kontaktgruppe abwechselnd mit mehreren Bewegungseinrichtungen durchgeführt werden.
  • Bei der vorliegenden Erfindung umfaßt das Fördermedium für die elektronischen Bauelemente alle Medien, die mit zu prüfenden Bauelementen beladen werden können.
  • Zum Beispiel hat das Fördermedium bei dem Prüfgerät nach Anspruch 5 die Gestalt eines Streifens oder eines Wafers. Wenn eine Prüfung an Bauelementen auf einem Wafer vorgenommen wird, so wird eine hohe Prüfeffizienz in der Nähe des äußeren Umfangs erreicht, wo Prüfpositionen für die Anzahl gleichzeitiger Messungen nur schwer einzurichten sind.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie oben erläutert wurde, ist es möglich, die optimale Anzahl von Kontaktgruppen an einem Prüfkopf, die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche in jeder Kontaktgruppe und die Anzahl der unabhängigen Bewegungseinrichtungen optimal zu bestimmen, auf der Grundlage der Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente auf einem Fördermedium, auf der Grundlage eines Produktionsplans usw., und es wird möglich, eine Kontaktgruppe für jede Bewegungseinrichtung, die Anzahl der Fördermedien, die mit jeder Bewegungseinrichtung gleichzeitig erfaßt werden können, und bis zur Höchstzahl frei gewählte Anzahl der Fördermedien, die mit jeder Bewegungseinrichtung gleichzeitig erfaßt werden, optimal zu bestimmen, wobei die bis zur Höchstzahl frei gewählte Anzahl der von jeder Bewegungseinrichtung erfaßten Fördermedien von anderen Bewegungseinrichtungen unabhängig ist. Infolgedessen kann die Anzahl gleichzeitigter Messungen stets erreicht werden, und Bauelemente, die auf mehrere Fördermedien geladen sind, können mit hoher Effizienz geprüft werden.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt schematisch eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist eine Darstellung eines Prüfkopfes 100, der detaillierten Konfiguration in seiner Umgebung und eines Steuersystems in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 3 zeigt schematisch die Beziehung zwischen einem Fördermedium für elektronische Bauelemente und jeder Kontaktgruppe bei der Durchführung einer Prüfung an Bauelementen auf einem Fördermedium entsprechend der Anzahl gleichzeitiger Messungen von 32.
  • 4 zeigt eine Anordnung jeder Kontaktgruppe bei der Prüfung von Bauelementen auf einem Fördermedium entsprechend der Anzahl gleichzeitiger Messungen von 32.
  • 5 zeigt Prüfpositionen bei einem ersten Prüfdurchgang an Bauelementen auf einem Fördermedium bei 32 gleichzeitigen Messungen.
  • 6 zeigt schematisch die entsprechende Beziehung zwischen einem Fördermedium und jeder Kontaktgruppe bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien unter Verwendung derselben Bewegungseinrichtung, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 7 zeigt eine Anordnung jeder Kontaktgruppe bei der Prüfung der Bauelemente auf zwei Fördermedien mit Hilfe derselben Bewegungseinrichtung, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 8 zeigt Prüfpositionen in einem ersten Durchgang bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien mit Hilfe derselben Bewegungseinrichtung, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 9 zeigt schematisch die entsprechende Beziehung zwischen Fördermedien und jeder Kontaktgruppe bei einer Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien mit Hilfe verschiedener Bewegungseinrichtungen, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 10 zeigt eine Anordnung der jeweiligen Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien mit Hilfe verschiedener Bewegungseinrichtungen, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 11 zeigt Prüfpositionen beim ersten Prüfdurchgang bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien mit Hilfe verschiedener Bewegungseinrichtungen, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 12 zeigt eine entsprechende Beziehung zwischen Fördermedien und jeweiligen Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf drei Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 13 zeigt die Anordnung jeweiliger Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf drei Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 14 zeigt Prüfpositionen im ersten Prüfdurchgang bei der Prüfung von Bauelementen auf drei Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 15 zeigt eine entsprechende Beziehung zwischen Fördermedien und jeweiligen Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf vier Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 16 zeigt die Anordnung jeweiliger Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf vier Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 17 zeigt Prüfpositionen im ersten Prüfdurchgang bei der Prüfung von Bauelementen auf vier Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen.
  • 18 zeigt die detaillierte Konfiguration eines Prüfkopfteils und seiner Umgebung in einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 19 zeigt eine Anordnung jeweiliger Kontaktgruppen bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen, bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 20 zeigt Prüfpositionen auf Fördermedien im ersten Prüfdurchgang bei der Prüfung von Bauelementen auf zwei Fördermedien, für 32 gleichzeitige Messungen, bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 21 zeigt Anordnungen von jeweiligen Prüfgruppen entsprechend einer Prüfung von Bauelementen, die auf einem Wafer angeordnet sind, bei einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 22 zeigt Prüfpositionen in einer ersten Prüfgruppe und einer zweiten Prüfgruppe.
  • 23 zeigt Prüfpositionen in einer dritten und einer vierten Prüfgruppe.
  • 24 zeigt ein Streifenformat, auf dem elektronische Bauelemente in 4 Zeilen und 11 Spalten angeordnet sind.
  • 25 zeigt eine Anordnung einer herkömmlichen Kontaktgruppe mit Kontaktbereichen für 32 gleichzeitige Messungen (4 Zeilen und 8 Spalten).
  • 26 zeigt eine Anordnung einer herkömmlichen Kontaktgruppe mit Kontaktbereichen für 64 gleichzeitige Messungen (4 Zeilen und 16 Spalten).
  • 27 zeigt Positionen, in denen bei einer ersten Prüfung und einer zweiten Prüfung gleichzeitig gemessen werden kann, für den Fall eines Fördermediums (3 Zeilen × 16 Spalten).
  • BESTER WEG ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Nachstehend werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert.
  • [Ausführungsform 1]
  • 1 zeigt schematisch ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, und 2 zeigt einen Prüfkopf 100, eine detaillierte Konfiguration in seiner Umgebung sowie ein Steuersystem für ein Prüfgerät gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Das Prüfgerät 1 in der vorliegenden Ausführungsform ist ein Gerät zur Ausführung einer Prüfung (Untersuchung) ob elektronische Bauelemente 20 einwandfrei arbeiten, und zwar in einem Zustand, in dem die zu prüfenden Bauelemente einer thermischen Beanspruchung mit hoher Temperatur oder tiefer Temperatur ausgesetzt sind, und zum Klassifizieren der Bauelemente 20 entsprechend den Prüfungsergebnissen, wobei ein Funktionstest im Zustand unter thermischer Beanspruchung ausgeführt wird, indem ein Fördermedium 10, das mit den zu prüfenden Bauelementen 20 als Prüfobjekte beladen ist, zu dem Prüfgerät 1 zugeführt wird.
  • Deshalb umfaßt das Prüfgerät 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 1 gezeigt ist, ein Lager 800 für ungeprüfte und geprüfte Bauelemente 20, eine Ladesektion LD zum Überführen von zu prüfenden Bauelementen 20 vom Lager 800 zu einer Kammer 900, die Kammer 900 mit einem Prüfkopf 100 zur Ausführung der Prüfung und eine Entladesektion UL zum Abtransport der geprüften Bauelemente 20, die in der Kammer 900 geprüft wurden.
  • Lager 800 für elektronische Bauelemente
  • Das Lager 800 hat einen Stapler 801 für ungeprüfte Bauelemente 20, einen Stapler 802 für geprüfte Bauelemente 20 und einen Stapler 803 für Bauelemente 20, für die die Notwendigkeit einer Nachprüfung festgestellt wurde.
  • Der Stapler 801 hat eine Zufuhrposition LS1 für Magazine MG aus dem vorherigen Schritt, eine nicht gezeigte Fördereinrichtung für die X-Richtung, um mehrere Magazine MG zu lagern und nacheinander zu einer Zufuhrposition LS2 zu bewegen, zur Zufuhr der Fördermedien 10 zur Ladesektion LD, die genannte Zufuhrposition LS2 und eine nicht gezeigte Positionssteuereinrichtung für die Z-Richtung zur Unterstützung der Zufuhr zu der Ladesektion LD.
  • Im Stapler 801 wird eine bestimmte Anzahl der mit den ungeprüften Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 in dem Magazin MG zu der Zufuhrposition LS1 gebracht.
  • Das Magazin MG, das eine bestimmte Anzahl von Fördermedien 10 enthält, die mit ungeprüften Bauelementen beladen sind, wird danach mit der nicht gezeigten Fördereinrichtung für die X-Richtung in die Nähe der Zufuhrposition LS2 gebracht und zusammen mit mehreren so zugeführten Magazinen MG gelagert (in 1 werden z. B. 6 Magazine MG gelagert).
  • In dem Magazin MG, das die Zufuhrposition LS2 erreicht hat, nachdem es mit der Fördereinrichtung für die X-Achse bewegt wurde, nimmt eine erste Fördereinrichtung 401 der Ladesektion LD jeweils eines der Fördermedien 10 vom oberen Ende aus dem Magazin MG heraus und überführt es zur Ladesektion LD.
  • In der Zufuhrposition LS2 wird dabei z. B. von den mehreren Fördermedien 10, die mit ungeprüften Bauelementen 20 beladen und in dem Magazin MG enthalten sind, jeweils das oberste zugeführt. Die Anordnung ist so gewählt, daß jedes Mal, wenn ein Fördermedium 10 zugeführt wird, das Magazin MG mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs um einen bestimmten Hub in Z-Richtung angehoben wird und jeweils das oberste Fördermedium 10 in dem Magazin MG auf der gleichen Höhe gehalten wird. Dies unterstützt die Zufuhr der mit Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 aus dem Magazin MG zu der Ladesektion LD mit Hilfe der ersten Fördereinrichtung 401.
  • Im Stapler 801 für ungeprüfte Bauelemente und im Stapler 802 für geprüfte Bauelemente wird das gleiche Magazin MG verwendet. Wie in 1 gezeigt ist, wird ein leeres Magazin MG, nachdem alle Fördermedien 10 daraus mit Hilfe der ersten Fördereinrichtung 401 zur Ladesektion LD im Stapler 801 zugeführt worden sind, aus der Zufuhrposition LS2 in eine Zufuhrposition US1 für die Übernahme von Fördermedien 10 aus der Entladesektion UL im Stapler 802 gebracht und dort weiter benutzt. Das Magazin MG wird also fortlaufend vom Stapler 801 zum Stapler 802 benutzt.
  • Der Stapler 802 für geprüfte Bauelemente umfaßt die Zufuhrposition US1, eine nicht gezeigte Fördereinrichtung für die X-Richtung, zur Lagerung mehrerer Magazine MG und zum anschließenden Überführen der Magazine zu einer Austragposition US2 zum nächsten Schritt, die genannte Austragposition US2 und eine nicht gezeigte Positionssteuereinrichtung für die Z-Richtung, die an der Austragposition US2 angeordnet ist, um den Transport von der Entladesektion UL zu unterstützen.
  • In dem Stapler 802 für geprüfte Bauelemente wird jeweils ein Fördermedium 10, das mit geprüften Bauelementen 20 beladen ist, mit einer dritten Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL in der Zufuhrposition US1 in ein leeres, vom Stapler 801 zugeführtes Magazin MG geladen.
  • In der Zufuhrposition US1 beginnt dabei z. B. das Beladen am unteren Ende des Magazins, so daß ein Fördermedium 10, das mit geprüften Bauelementen 20 beladen ist, auf das Fördermedium 10 aufgesetzt wird, das schon in dem Magazin MG enthalten ist. Die Anordnung ist so gewählt, daß jedes Mal, wenn ein Fördermedium 10 zugeführt wird, das Magazin MG mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs um einen bestimmten Hub in Z-Richtung abgesenkt wird und jeweils das oberste Fördermedium 10 in dem Magazin MG auf der gleichen Höhe gehalten wird, wodurch die Zufuhr der mit geprüften Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 in das Magazin MG mit Hilfe der dritten Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL unterstützt wird.
  • Eine bestimmte Anzahl von mit geprüften Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 wird in ein Magazin MG geladen. Dann wird das so beladene Magazin MG in die Nähe der Austragposition US2 gebracht, indem es mit Hilfe der nicht gezeigten Fördereinrichtung für die X-Richtung bewegt wird, und mehrere der zugeführten Magazine MG werden mit der nicht gezeigten Fördereinrichtung für die X-Richtung gelagert (in 1 werden z. B. 6 Magazine MG gelagert). Ein Magazin MG, das die Austragposition US2 erreicht hat, wird im nächsten Schritt ausgetragen.
  • Der Stapler 801 weist auch den Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente auf, und dieser Stapler 803 enthält ein leeres Magazin MG. Ein Fördermedium 10 mit Bauelementen 20, für die bei der Prüfung die Notwendigkeit einer Nachprüfung festgestellt wurde, wird von einem später beschriebenen Träger CR1 oder CR2 mit Hilfe der dritten Fördereinrichtung 403 in das leere Magazin MG geladen.
  • Dabei beginnt im Stapler 803 das Beladen vom Boden des Magazins MG aus, so daß ein Beladen des Fördermediums 10, das als nächstes in das Magazin zu laden ist, stets oben auf einem Fördermedium 10 liegt, das bereits in das Magazin MG geladen wurde. Die Anordnung ist so getroffen, daß jedes Mal, wenn ein Fördermedium 10 mit nachzuprüfenden Bauelementen in das Magazin geladen wird, ein nicht gezeigter Z-Achsen-Antrieb das Magazin MG um einen bestimmten Hub in Z-Richtung absenkt, so daß die Position, in der das nächste Fördermedium 10 in das Magazin geladen wird, stets auf gleicher Höhe gehalten wird. Dies erleichtert das Beladen des Magazins MG mit den Fördermedien 10 für nachzuprüfende Bauelemente mit Hilfe der dritten Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL.
  • Das Magazin MG, das die Fördermedien mit nachzuprüfenden Bauelementen 20 enthält, wird vom Stapler 803 wieder zur Zufuhrposition LS1 im Stapler 801 überführt.
  • Ladesektion LD
  • Die Ladesektion LD enthält die erste Fördereinrichtung 401 zur Entnahme der mit ungeprüften Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 aus dem Stapler 801 und zur Zufuhr derselben in die Kammer 900.
  • Die erste Fördereinrichtung 401 ist z. B. dazu ausgebildet, Greifköpfe zum Aufnehmen eines Fördermediums 10 sowie das aufgenommene Fördermedium in X-, Y- und Z-Richtung zu bewegen.
  • Von den mit ungeprüften Bauelementen 20 beladenen Fördermedien 10 in einem Magazin MG, das die Zufuhrposition LS2 im Stapler 801 erreicht hat, wird das oberste mit der ersten Fördereinrichtung 401 aufgenommen und in ein Pufferabteil 901 einer Thermostatkammer gebracht.
  • Kammer 900
  • Die Kammer 900 umfaßt eine Thermostatkammer, in der die zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 einer Temperaturbeanspruchung mit hoher Temperatur oder tiefer Temperatur ausgesetzt werden, das Pufferabteil 901, das eine ausreichende Zeit für die Ausübung der thermischen Beanspruchung ermöglicht, eine zweite Fördereinrichtung 402 zum Überführen des mit den zu prüfenden Bauelementen 20 beladenen Fördermediums 10 im Zustand thermischer Beanspruchung zu dem ersten Träger CR1 oder dem zweiten Träger CR2, die ersten und zweiten Träger CR1, CR2 zum Ausrichten der Position eines oder mehrerer Fördermedien 10 und zum Überführen des Fördermediums zu dem Prüfkopf 100 sowie den Prüfkopf zur Ausführung der Prüfung.
  • Die Thermostatkammer nimmt das gesamte Pufferabteil 901, die zweite Fördereinrichtung 401, die Träger CR1 und CR2 und den Prüfkopf 100 auf, so daß die thermische Beanspruchung auf die zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 ausgeübt und aufrecht erhalten wird.
  • Um die Bauelemente 20 der thermischen Beanspruchung auszusetzen, wird eine bestimmte Zeit benötigt, und hierzu ist das Pufferabteil 901 in der Thermostatkammer vorgesehen. Wie in 1 gezeigt ist, ist das Pufferabteil 901 so konfiguriert, daß eine bestimmte Anzahl der Fördermedien 10 (9 Fördermedien gleichzeitig in 1) aufgenommen werden kann, so daß die thermische Beanspruchung auf mehrere Fördermedien 10 gleichzeitig ausgeübt werden kann.
  • Das Fördermedium 10, das mit Bauelementen 20 beladen ist, die im Pufferabteil 901 einer ausreichenden thermischen Beanspruchung ausgesetzt wurden, wird mit der zweiten Fördereinrichtung 402 zu dem ersten Träger CR1 oder dem zweiten Träger CR2 überführt.
  • Die zweite Fördereinrichtung 402 ist z. B. dazu ausgebildet, Greifköpfe zum Aufnehmen eines oder mehrerer Fördermedien 10 mit ungeprüften Bauelementen 20 oder eines oder mehrerer Fördermedien 10 mit geprüften Bauelementen 20 sowie das oder die aufgenommenen Fördermedien 10 in X-, Y- und Z-Richtung zu bewegen.
  • Die Arbeitsbereiche der ersten Fördereinrichtung 401, der zweiten Fördereinrichtung 402 und der dritten Fördereinrichtung 403 überlappen teilweise miteinander, doch können gegenseitige Störungen bei der Arbeit der Fördereinrichtungen dadurch vermieden werden, daß Schienen und bewegliche Arme für die Bewegung in X- und Y-Richtung in unterschiedlicher Höhe angeordnet sind, sowie durch geeignete Steuerung.
  • Der erste Träger CR1 ist z. B. dazu ausgebildet, sich in Y-Richtung zwischen einem Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 und einem Bereich oberhalb einer ersten Kamera CM1 im Arbeitsbereich einer ersten Bewegungseinrichtung 201 hin und her zu bewegen und dabei die Lage des Fördermediums 10 beizubehalten.
  • Die obere Oberfläche des Trägers CR1 hat z. B. eine Konfiguration mit einem konkaven Bereich längs des Umrisses mehrerer Fördermedien 10, so daß diese von der ersten Bewegungseinrichtung 201 erfaßt werden können, und der Umfang des konkaven Bereichs ist von geneigten Flächen umgeben. Wenn ein Fördermedium 10, das mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen ist und von Greifköpfen der zweiten Fördereinrichtung 402 gehalten wird, in den konkaven Bereich fallen gelassen wird, wird somit die Position des Fördermediums 10 im Fallen durch die geneigten Flächen korrigiert. Folglich werden die Positionen der mehreren Fördermedien 10 (2 Fördermedien 10 in 1) korrekt relativ zueinander ausgerichtet, und die so korrigierten Positionen der Fördermedien 10 können genau mit den Teilungen mehrerer Greifköpfe 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 in Übereinstimmung gebracht werden.
  • Der erste Träger CR1 richtet die Positionen der mehreren Fördermedien 10 aus, um die Fördermedien 10, die mit ungeprüften Bauelementen 20 beladen sind und einzeln bis zu dem Pufferabteil 901 transportiert wurden, zu mehreren zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 zu überführen, und bewegt sich außerdem in eine Position über der ersten Kamera CM1 im Arbeitsbereich der ersten Bewegungseinrichtung 201.
  • Nachdem sich der erste Träger CR1 über die erste Kamera CM1 bewegt hat, wird ein Startbefehl an die erste Bewegungseinrichtung 201 übermittelt, wenn die erste Kamera CM1 das Vorhandensein des Fördermediums 10 erkennt.
  • Der zweite Träger CR2 ist z. B. dazu ausgebildet, sich in Y-Richtung zwischen einem Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 und einem Bereich oberhalb einer zweiten Kamera CM2 im Arbeitsbereich einer zweiten Bewegungseinrichtung 202 hin und her zu bewegen und dabei die Lage des Fördermediums 10 beizubehalten.
  • Die obere Oberfläche des Trägers CR2 hat z. B. eine Konfiguration mit einem konkaven Bereich längs des Umrisses mehrerer Fördermedien 10, so daß diese von der zweiten Bewegungseinrichtung 202 erfaßt werden können, und der Umfang des konkaven Bereichs ist von geneigten Flächen umgeben. Wenn ein Fördermedium 10, das mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen ist und von Greifköpfen der zweiten Fördereinrichtung 402 gehalten wird, in den konkaven Bereich fallen gelassen wird, wird somit die Position des Fördermediums 10 im Fallen durch die geneigten Flächen korrigiert. Folglich werden die Positionen der mehreren Fördermedien 10 (2 Förder medien 10 in 1) korrekt relativ zueinander ausgerichtet, und die so korrigierten Positionen der Fördermedien 10 können genau mit den Teilungen mehrerer Greifköpfe 202d der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in Übereinstimmung gebracht werden.
  • Der zweite Träger CR2 richtet die Positionen der mehreren Fördermedien 10 aus, um die Fördermedien 10, die mit ungeprüften Bauelementen 20 beladen sind und einzeln bis zu dem Pufferabteil 901 transportiert wurden, zu mehreren zu der zweiten Bewegungseinrichtung 202 zu überführen, und bewegt sich außerdem in eine Position über der zweiten Kamera CM2 im Arbeitsbereich der zweiten Bewegungseinrichtung 202.
  • Nachdem sich der zweite Träger CR2 über die zweite Kamera CM2 bewegt hat, wird ein Startbefehl an die zweite Bewegungseinrichtung 202 übermittelt, wenn die zweite Kamera CM2 das Vorhandensein des Fördermediums 10 erkennt.
  • Das Fördermedium 10, das mit Bauelementen 20 beladen ist, die vom Prüfkopf 100 geprüft wurden, wird von der ersten Bewegungseinrichtung 201 auf den ersten Träger CR1 über der ersten Kamera CM1 umgeladen und in den Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 bewegt.
  • In gleicher Weise wird das Fördermedium 10, das mit Bauelementen 20 beladen ist, die vom Prüfkopf 100 geprüft wurden, durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 auf dem zweiten Träger CR2 über der zweiten Kamera CM2 umgeladen und in den Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 bewegt.
  • Wenn sich die zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 auf hoher Temperatur befinden, werden sie auf Zimmertemperatur abgekühlt, indem sie mit Luft angeblasen werden, während sie sich auf dem Fördermedium 10 auf dem ersten Träger CR1 oder dem zweiten Träger CR2 befinden, und wenn sie eine tiefe Temperatur haben, werden sie durch Anblasen mit Heißluft oder mit Hilfe einer Heizung wieder auf eine solche Temperatur gebracht, bei der keine Kondenswasserbildung eintritt, während sie sich auf dem Fördermedium 10 befinden. Das Fördermedium 10 mit den Bauelementen 20, deren Temperatur eingestellt wurde, wird zur Entladesektion UL heraustransportiert.
  • Die Bewegungseinrichtungen 201 und 202 sind zwar in der Lage, frei zu bestimmen, wie viele Fördermedien 10 aufgenommen werden können, unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen und der Anzahl von aufgenommenen Fördermedien innerhalb der Höchstzahl, doch muß die Anzahl der Fördermedien 10, die von der ersten Bewegungseinrichtunge 201 aufgenommen werden können, nicht immer mit der Anzahl der Fördermedien 10 übereinstimmen, die von dem ersten Träger CR1 aufgenommen werden können, oder die Anzahl der Fördermedien 10, die von der zweiten Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen werden können, muß nicht immer mit der Anzahl der Fördermedien 10 übereinstimmen, die von dem zweiten Träger CR2 aufgenommen werden können. Zum Beispiel wird ein Verfahren in Betracht gezogen, bei dem zur Verkürzung der Rüstzeit die Anzahl der Fördermedien 10, die von dem ersten Träger CR1 aufgenommen werden können, doppelt so groß gewählt wird wie die Anzahl der Fördermedien 10, die von der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen werden können. Dabei wird die Rüstzeit dadurch verkürzt, daß, während die erste Bewegungseinrichtung 201 eine Prüfung ausführt, der erste Träger CR1 in den Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 zurückkehrt, das nächste Fördermedium 10, das mit ungeprüften Bauelementen 20 beladen ist, von der dritten Fördereinrichtung 403 aus dem Pufferabteil 901 übernimmt und über die erste Kamera CM1 im Arbeitsbereich der ersten Bewegungseinrichtung 201 bringt, das Fördermedium 10, das mit geprüften Bauelementen 20 beladen ist, aufnimmt, und das nächste Fördermedium 10, das mit ungeprüften Bauelementen 20 beladen ist, sofort zuführt.
  • Der Prüfkopf 100 wird später näher erläutert werden.
  • Entladlesektion U1
  • Die Entladesektion U1 umfaßt die dritte Fördereinrichtung 403 für den Transport eines Fördermediums 10, das mit geprüften Bauelementen 10 beladen ist, von dem ersten Träger CR1 oder dem zweiten Träger CR2 zum Stapler 802 oder 803 im Lager 800.
  • Die dritte Fördereinrichtung 403 ist z.B. dazu ausgebildet, Greifköpfe zur Aufnahme eines Fördermediums 10 sowie das aufgenommene Fördermedium 10 in X-, Y-, und Z-Richtung zu bewegen.
  • Das mit geprüften Bauelementen 20 beladene Fördermedium 10 wird mit der dritten Fördereinrichtung 403 vom ersten Träger CR1 oder vom zweiten Träger CR2 im Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung 403 zur Zufuhrposition US1 im Stapler 802 gebracht, und das Fördermedium 10 wird in ein Magazin MG in der Zufuhrposition US1 geladen.
  • Wenn für ein Bauelement auf dem Fördermedium 10 bei der Prüfung festgestellt wird, daß es eine Nachprüfung erfordert, so wird das Fördermedium 10 durch die dritte Fördereinrichtung 403 vom ersten Träger CR1 oder vom zweiten Träger CR2 im Arbeitsbereich der dritten Fördereinrichtung zum Stapler 803 im Lager 800 gebracht und dort in das Magazin MG geladen.
  • Prüfkopf 100
  • Das Fördermedium 10 wird vom ersten Träger CR1 oder vom zweiten Träger CR2 zu dem Prüfkopf 100 gebracht, und die Prüfung wird ausgeführt, während die zu prüfenden Bauelemente 20 auf das Fördermedium 10 geladen sind.
  • Der Prüfkopf 100 umfaßt vier Kontaktgruppen, nämlich eine erste Kontaktgruppe 111, eine zweite Kontaktgruppe 112, eine dritte Kontaktgruppe 113 und eine vierte Kontaktgruppe 114, zur Prüfung von Bauelementen 20, die auf einem Fördermedium 10 angeordnet sind, das vom ersten Träger CR1 oder vom zweiten Träger CR2 zugeführt wurde, die erste Bewegungseinrichtung 201 zur Steuerung der Position und Lage des mit den zu prüfenden Bauelementen 20 beladenen Fördermediums 10 in einem ersten Bereich 301, der sich oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und oberhalb der zweiten Kontaktgruppe 112 befindet, und einem Bereich, der den ersten Träger CR1 über der ersten Kamera CM1 einschließt, und die zweite Bewegungseinrichtung 202 zur Steuerung der Position und Lage eines Fördermediums, das mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen ist, in einem zweiten Bereich 302, der sich oberhalb der dritten Kontaktgruppe 113 und der vierten Kontaktgruppe 114 erstreckt und einem Bereich, der den zweiten Träger CR2 über der zweiten Kamera CM2 einschließt.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 dient zur Steuerung der Positionen mehrerer Fördermedien 10 (zwei Fördermedien in 1) in X-, Y- und Z-Richtung und zur Steuerung der Winkellage θ bezüglich Drehungen um die Z-Achse. Zum Beispiel ist sie konfiguriert für die Bewegung in dem ersten Bereich 301 oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 und einem Bereich, der den ersten Träger CR1 oberhalb der ersten Kamera CM1 einschließt, mit Hilfe einer in X-Richtung verlaufenden Schiene 201a, eines beweglichen Arms 201b, der sich längs der Schiene 201a in X-Richtung bewegt, und eines beweglichen Kopfes 201c, der an dem beweglichen Arm 201b gehalten ist und sich längs dieses Armes 201b in Y-Richtung bewegen kann.
  • Der bewegliche Kopf 201c ist auch in Z-Richtung beweglich (also in vertikaler Richtung), mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs, und ist außerdem mit Hilfe einer nicht gezeigten Lagesteuerungsfunktion in der Winkellage θ in Bezug auf die Z-Achse steuerbar. Es ist möglich, mit mehreren Greifköpfen 201d (z.B. acht Saugköpfen) an dem beweglichen Kopf 201c mehrere Fördermedien 10 (zwei im Fall der 1) auf einmal aufzunehmen, zu transportieren und freizugeben.
  • Ein zu prüfendes Bauelement 20 auf dem Fördermedium 10 entspricht einem Kontaktbereich 110a, und die einzelnen zu prüfenden Bauelemente 20, die auf das Fördermedium 10 geladen sind, das von den Greifköpfen 201d gehalten ist, werden durch Abwärtsbewegung des Kopfes 201c in Z-Richtung mit geeignetem Druck gegen nicht gezeigte Kontaktstifte im Kontaktbereich 110a angedrückt, so daß die Prüfung ausgeführt wird. Das Prüfungsergebnis wird z.B. unter einer Adresse abgelegt, die durch eine an dem Fördermedium 10 angebrachte Identifizierungsnummer und eine Nummer des Bauelements innerhalb des Fördermediums 10 bestimmt ist.
  • Die erste Kontaktgruppe 111 wird durch einen Satz von Kontaktbereichen 110a für die Ausführung der Prüfung an den Bauelementen 20 gebildet, und die zweiten, dritten und vierten Kontaktgruppen 112, 113 und 114 werden in gleicher Weise durch Sätze von Kontaktbereichen 110a gebildet.
  • Unter der Bedingung, daß die Gesamtzahl der Kontaktbereiche 110a des Prüfgerätes 1 der für das Prüfgerät 1 gegebenen maximalen Anzahl gleichzeitiger Messungen entspricht (normalerweise ist die Anzahl der Prüfpositionen, d.h., die Anzahl gleichzeitiger Messungen für ein einzelnes Prüfgerät 1 auf 2n begrenzt, etwa auf 32 oder 64, wobei n eine natürliche Zahl ist), ist es möglich, die optimale Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in den einzelnen Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 je nach Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, nach Produktionsplan, etc. zu bestimmen. Sofern die Gesamtzahl der Kontaktbereiche 110a der vier Kontaktgruppen gleich der maximalen Anzahl gleich zeitiger Messungen, also 32 oder 64 ist, kann die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in den einzelnen Kontaktgruppen 110 frei gewählt werden.
  • Auch die Teilungen zwischen den einzelnen Kontaktbereichen 110a in den Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 stimmen überein mit Vielfachen (einschließlich 1) der Teilungen zwischen den einzelnen Bauelementen 20 auf dem Fördermedium 10, das der betreffenden Kontaktgruppe 111, 112, 113 bzw. 114 entspricht.
  • Wie in 4, 7, 10, 13 und 16 gezeigt ist, kann die Anzahl der Kontaktgruppen 110 des Prüfgerätes 1 optimiert sein im Hinblick auf die Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf einem Fördermedium 10, einen Produktionsplan und dergleichen. Da voneinander unabhängige Bewegungseinrichtungen vorgesehen sind, wobei die erste Bewegungseinrichtung 201 den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111, 112 zugeordnet ist und die zweite Bewegungseinrichtung 202 den dritten und vierten Kontaktgruppen 113, 114, können je zwei Kontaktgruppen, nämlich die beiden Kontaktgruppen 111 und 112 einerseits und die beiden Kontaktgruppen 113 und 114 andererseits, unabhängig voneinander arbeiten.
  • Da außerdem mehrere Fördermedien 10 (zwei im Fall der 1) durch eine Bewegungseinrichtung gehalten werden, können die Anlagekosten und der Platzbedarf in Grenzen gehalten werden, und die Anzahl gleichzeitiger Messungen kann erreicht werden, wobei die Anzahl der Bewegungseinrichtungen auf dem Prüfkopf 100 so klein wie möglich ist.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 dient hinsichtlich ihrer grundlegenden Konfiguration und Arbeitsweise zur Steuerung der Positionen mehrerer Fördermedien 10 (zwei Fördermedien in 1) in X-, Y- und Z-Richtung und zur Steuerung der Winkellage θ bezüglich Drehungen um die Z-Achse, ebenso wie die erste Bewegungseinrichtung 201, und ist zum Beispiel konfiguriert für die Bewegung in dem zweiten Bereich 302 oberhalb der dritten Kontaktgruppe 113 und der vierten Kontaktgruppe 114 und einem Bereich, der den zweiten Träger CR2 oberhalb der zweiten Kamera CM2 einschließt, mit Hilfe einer in X-Richtung verlaufenden Schiene 202a, eines beweglichen Arms 202b, der sich längs der Schiene 202a in X-Richtung bewegt, und eines beweglichen Kopfes 202c, der an dem beweglichen Arm 202b gehalten ist und sich längs dieses Armes 202b in Y-Richtung bewegen kann.
  • Der bewegliche Kopf 202c ist auch in Z-Richtung beweglich (also in vertikaler Richtung), mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs, und ist außerdem mit Hilfe einer nicht gezeigten Lagesteuerungsfunktion in der Winkellage θ in Bezug auf die Z-Achse steuerbar. Es ist möglich, mit mehreren Greifköpfen 202d (z.B. acht Saugköpfen) an dem beweglichen Kopf 202c mehrere Fördermedien 10 (zwei im Fall der 1) auf einmal aufzunehmen, zu transportieren und freizugeben.
  • Im oberen Teil der 2 ist in Umrissen ein Steuersystem für das Prüfgerät 1 gezeigt, und dieses Steuersystem umfaßt eine Hauptsteuerung MC sowie erste und zweite Untersteuerungen SC1 und SC2.
  • Die Hauptsteuerung MC verwaltet kollektiv die ersten und zweiten Untersteuerungen SC1 und SC2, um eine Steuerung in Z-Richtung auszuführen, für Prüfungen mit den ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201, 202, sowie zur Steuerung der Ausgabe eines Start-Anforderungssignals an die Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114. So werden die Prüfungszeitpunkte in den Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 miteinander synchronisiert, so daß eine gleichzeitige Ausführung der Messungen sichergestellt werden kann.
  • Die erste Untersteuerung SC1 führt Steuerungsfunktionen aus bezüglich der Bewegung der ersten Bewegungseinrichtung 201 in X-, Y- und Z-Richtung und der Steuerung des Lagewinkels θ mit Ausnahme der Steuerungen, die von der Hauptsteuerung MC ausgeführt werden, und die zweite Untersteuerung SC2 führt Steuerungsfunktionen aus, die sich auf die Bewegung der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in X-, Y- und Z-Richtung sowie die Winkellage θ beziehen, mit Ausnahme der Steuerungsfunktionen, die von der Hauptsteuerung MC ausführt werden. Somit können die drei Bewegungseinrichtungen unabhängig voneinander gesteuert werden.
  • In dem obigen Beispiel wurde angenommen, daß vier Kontaktgruppen 110 und zwei Bewegungseinrichtungen vorhanden sind und die beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 jeweils zwei Fördermedien 10 aufnehmen können. Die Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt, sondern die Anzahl der Kontaktgruppen 110 (z. B. ein bis drei oder fünf oder mehr Kontaktgruppen) sowie die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in jeder Kontaktgruppe 110 können optimal bestimmt werden im Hinblick auf die Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 10, den Produktionsplan und dergleichen. Auch die Anzahl der unabhängig arbeitenden Bewegungseinrichtungen (z. B. eine oder drei oder mehr Bewegungseinrichtungen), die zu jeder Bewegungseinrichtung gehörende Kontaktgruppe 110, die Anzahl der Fördermedien 10, die von jeder Bewegungseinrichtung erfaßt werden können (z. B. eine Bewegungseinrichtung, die ein oder drei oder mehr Fördermedien 10 aufnehmen kann), und die Anzahl der Fördermedien 10, die bis zur Höchstzahl frei und unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen von den jeweiligen Bewegungseinrichtungen aufgenommen werden, lassen sich für jede Bewegungseinrichtung optimal wählen.
  • Wenn die Anzahl der Kontaktgruppen 110 zunimmt, nimmt auch der Platzbedarf für die Anlage zu, während, wenn die Anzahl der Kontaktgruppen 110 abnimmt, es schwieriger wird, die Anzahl gleichzeitiger Messungen zu erreichen.
  • Wenn die Anzahl der Bewegungseinrichtungen zunimmt, steigen die Anlagekosten und der Platzbedarf, und wenn die Anzahl der Fördermedien 10 zunimmt, die von einer Bewegungseinrichtung erfaßt werden können, wird es schwerer, die Positionsgenauigkeit zu erreichen. Deshalb ist es notwendig, den Platzbedarf, die Anlagekosten, die Ausrichtgenauigkeit und dergleichen in Betracht zu ziehen und zu vergleichen, um die Anzahl der Kontaktgruppen 110, die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in den Kontaktgruppen 110, die Anzahl der unabhängig arbeitenden Bewegungseinrichtungen, die zu jeder Bewegungseinrichtung gehörenden Kontaktgruppe 110, die Anzahl der Fördermedien, die von einer Bewegungseinrichtung erfaßt werden können, und die Anzahl der Fördermedien 10, die von jeder Bewegungseinrichtung bis zur Höchstzahl frei und unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen erfaßt werden, in Abhängigkeit von der Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf einem Fördermedium 10, einem Produktionsplan und dergleichen optimal zu bestimmen.
  • Als nächstes wird die Arbeitsweise erläutert werden.
  • Der Prüfkopf 100 des Prüfgerätes 1 umfaßt die erste Bewegungseinrichtung 201 für Bewegungen in einem ersten Bereich 301, der sich über die erste Kontaktgruppe 111 und die zweite Kontaktgruppe 112 erstreckt, und einem Bereich, der den ersten Träger CR1 über der ersten Kamera CM1 einschließt, und die zweite Bewegungseinrichtung 202 für Bewegungen in einem zweiten Bereich 202, der sich über die dritte Kontaktgruppe 113 und die vierte Kontaktgruppe 114 erstreckt, und einem Bereich, der den zweiten Träger CR2 über der zweiten Kamera CM2 einschließt. Die Anzahl der Fördermedien 10, die erfaßt werden kann, beträgt bei jeder der Bewegungseinrichtungen 201 und 202 zwei.
  • Das mit ungeprüften Bauelementen 20 beladene Fördermedium 10, das von dem ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird mit der ersten Bewegungseinrichtung 201 an der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft.
  • Das mit ungeprüften Bauelementen 20 beladene Fördermedium 10, das vom zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der dritten Kontaktgruppe 113 und der vierten Kontaktgruppe 114 geprüft.
  • Nachstehend wird ein flexibles Prüfverfahren erläutert werden, mit dem es bei dem Prüfgerät 1, insbesondere wenn mit dem Prüfkopf 32 Messungen gleichzeitig ausgeführt werden können, möglich ist, die Anzahlen der Fördermedien, die von den einzelnen Bewegungseinrichtungen aufgenommen werden, je nach Situation frei zu kombinieren, wobei es für jede Bewegungseinrichtung eine Höchstzahl von Fördermedien gibt, die aufgenommen werden können, einschließlich eines speziellen Prüfverfahrens für den Fall, daß die Anzahl der Fördermedien 10 eins, zwei, drei oder vier beträgt, sowie eines weiteren Beispiels für den Fall von zwei Fördermedien.
  • Nachstehend ist mit 11 ein Fördermedium bezeichnet, auf dem 32 zu prüfende Bauelemente 20 in 4 Zeilen und 8 Spalten angeordnet sind, die an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden sollen, mit 12 ist ein Fördermedium bezeichnet, auf dem 32 Bauelemente 20 in 4 Zeilen und 8 Spalten angeordnet sind, die an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft werden sollen, mit 13 ist ein Fördermedium bezeichnet, auf dem 32 Bauelemente 20 in 4 Zeilen und 8 Spalten angeordnet sind, die an der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft werden sollen, und mit 14 ist ein Fördermedium bezeichnet, auf dem Bauelemente in 4 Zeilen und 8 Spalten angeordnet sind, die an der vierten Kontaktgruppe 114 geprüft werden sollen.
  • 3 zeigt die Beziehung zwischen dem Fördermedium 11 und den Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 für den Fall eines einzigen Fördermediums, das mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen ist. In diesem Fall wird das einzige Fördermedium 11 von der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen, die die Greifköpfe 201d hat, die zwei Fördermedien 11 und 12 halten können. Folglich führt der erste Träger CR1 der ersten Bewegungseinrichtung 201 kein Fördermedium 12 zu, und der zweite Träger CR2 führt der zweiten Bewegungseinrichtung 202 keine Fördermedien 13 und 14 zu.
  • 4 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppe 110 für den Fall von 32 gleichzeitigen Messungen entsprechend 3, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111 gleich 32 ist (4 Zeilen und 8 Spalten) und die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der zweiten Kontaktgruppe 112, der dritten Kontaktgruppe 113 und der vierten Kontaktgruppe 114 jeweils null beträgt.
  • 5 zeigt die Prüfpositionen 21 im ersten Durchgang (als schwarze Rechtecke, ebenso in 8, 11, 14, 17 und 20), für eine Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf einem Fördermedium 11 entsprechend 4, wobei das erste Fördermedium 11 mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden sollen. Da die Anzahl der Kontaktbereiche 110a bei allen anderen Kontaktgruppen 112 – 114 null ist, sind die zugehörigen Fördermedien 12, 13 und 14 in 5 nicht gezeigt.
  • Das erste Fördermedium 11, das durch den Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird durch die erste Bewegungseinrichtung 201 in einen Bereich über der ersten Kontaktgruppe 111 gebracht.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 bringt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 5 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, über die erste Kontaktgruppe 111.
  • Dann führt die erste Bewegungseinrichtung 201 eine Prüfung an diesen 32 Bauelementen aus, und für das Fördermedium 11 findet insgesamt nur ein einziger Durchgang statt.
  • Nach Abschluß dieses einzigen Prüfdurchgangs wird das zuerst kommende Fördermedium 11 mit geprüften Bauelementen mit Hilfe des ersten Trägers CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zu dem Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder dem Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und das nächste Fördermedium 11 wird von dem ersten Träger CR1 zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 überführt.
  • Da, wie oben erläutert wurde, 32 gleichzeitige Messungen mit der ersten Kontaktgruppe 111 erreicht werden und die Anzahl der Kontaktbereiche 110a bei allen anderen Kontaktgruppe 112 – 114 auf null eingestellt ist, kann die maximal mögliche Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen bei dem Prüfgerät stets erreicht werden und es wird eine hohe Prüfeffizienz erreicht.
  • 6 zeigt die Beziehung zwischen den Fördermedien 11 und 12 und den jeweiligen Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 für den Fall, daß zwei Fördermedien 11 und 12 mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen sind. In diesem Fall werden die beiden Fördermedien 11 und 12 von der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen, deren Greifköpfe 201d beide Fördermedien 11 und 12 aufnehmen können. Deshalb führt der zweite Träger CR2 der zweiten Bewegungseinrichtung 202 keine Fördermedien 13 und 14 zu.
  • 7 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppe 110 für den Fall von 32 gleichzeitigen Messungen entsprechend 6, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 jeweils auf 16 eingestellt ist (4 Zeilen und 4 Spalten) und die Anzahlen der Kontaktbereiche 110a für die dritten und vierten Kontaktgruppen 113 und 114 jeweils auf 0 eingestellt sind.
  • 8 zeigt die Prüfposition 21 im ersten Durchgang für eine Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 11 und 12 entsprechend 7, wobei das erste Fördermedium 11 mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden sollen, und das zweite Fördermedium 12 mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft werden sollen. Da die Anzahl der Kontaktbereiche 110a für die dritten und vierten Kontaktgrupppen 113 und 114 auf 0 umgestellt ist, sind die zugehörigen Fördermedien 13 und 14 in 8 nicht gezeigt.
  • Die beiden Fördermedien 11 und 12, die durch den Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden gleichzeitig von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen und durch sie in den ersten Bereich 301 über der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 bewegt.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 bringt dann die zu prüfenden Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung auf dem ersten Fördermedium 11 in 8 über die erste Kontaktgruppe 111 und gleichzeitig die zu prüfenden Bauelemente 20 in einen Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung auf dem zweiten Fördermedium 12 über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Dann führt die erste Bewegungseinrichtung 201 im ersten Durchgang gleichzeitig eine Messung an diesen 16 Bauelementen 20 auf dem ersten Fördermedium 11 und den 16 Bauelementen 20 auf dem zweiten Fördermedium 12 aus.
  • Nach Abschluß dieser Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d, die die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 halten, angehoben und dann durch die erste Bewegungseinrichtung 201 um 4 Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 führt dann im zweiten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an den 16 Bauelementen 20 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte auf dem ersten Fördermedium 11 und an den 16 Bauelementen 20 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte auf dem zweiten Fördermedium 12 aus, und die Prüfungen erfolgen insgesamt in zwei Durchgängen.
  • Nach Abschluß dieser insgesamt zwei Prüfdurchgänge werden die zuerst kommenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 mit geprüften Bauelementen mit Hilfe des ersten Trägers CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zu dem Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder dem Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente überführt, und die nächsten beiden Fördermedien 11 und 12 werden von dem ersten Träger CR1 zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 zugeführt.
  • Somit werden Prüfungen insgesamt zwei Mal an einem der ersten Fördermedien 11 und einem der zweiten Fördermedien 12 ausgeführt, und die Prüfungen an einem der zweiten Fördermedien 12 können abgeschlossen werden, bevor die Prüfungen an einem der ersten Fördermedien 11 abgeschlossen sind.
  • Indem, wie oben erläutert wurde, 16 Prüfpositionen an der ersten Kontaktgruppe 111 und auch 16 Prüfpositionen an der zweiten Kontaktgruppe 112 festgelegt werden, kann die maximale Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen stets erreicht und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • Wenn, wie in 7 gezeigt ist, eine Anordnung der Kontaktbereiche 110a wie bei den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 für ein Fördermedium verwendet wird, das einen Symmetriepunkt um die Z-Achse hat, wie bei den Fördermedien 11 und 12, ist auch ein anderes Bewegungsschema möglich als das oben beschriebene.
  • Die beiden Fördermedien 11 und 12, die durch den ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 gleichzeitig aufgenommen und mit dieser in den ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111, 112 gebracht.
  • Dann bringt die erste Bewegungseinrichtung 201 die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 8 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte liegen, über die Kontaktgruppe 111 und die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem zweiten Fördermedium 12 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte liegen, gleichzeitig über die Kontaktgruppe 112.
  • Dann führt die erste Bewegungseinrichtung 201 im ersten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an diesen 16 Bauelementen 20 auf dem ersten Fördermedium 11 und den 16 Bauelementen 20 auf dem zweiten Fördermedium 12 aus.
  • Nach Abschluß dieser Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d, die die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 halten, angehoben und dann mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 um 180° um die Z-Achse gedreht.
  • Danach erfolgt mit der ersten Bewegungseinrichtung 201 eine gleichzeitige Prüfung an den 16 Bauelementen 20, die im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte auf dem ersten Fördermedium 11 liegen, und an den 16 Bauelementen 20, die im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte auf dem zweiten Fördermedium 12 liegen.
  • 9 zeigt die Beziehung zwischen den Fördermedien 11 und 12 und den einzelnen Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 in einem anderen Beispiel für den Fall, daß zwei Fördermedien 11 und 12 mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen sind. In diesem Fall wird ein Fördermedium 12 von der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen, die Greifköpfe 201d für zwei Fördermedien 11 und 12 hat, und gleichzeitig wird ein Fördermedium 13 von der zweiten Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen, die Greifköpfe 202d für zwei Fördermedien 13 und 14 hat. Somit führt der erste Träger CR1 der ersten Bewegungseinrichtung 201 kein Fördermedium 11 zu, und der zweite Träger CR2 führt der zweiten Bewegungseinrichtung 202 kein Fördermedium 14 zu.
  • 10 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppe 110 für 32 gleichzeitige Messungen entsprechend 9, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der zweiten Kontaktgruppe 112 auf 16 eingestellt ist (vier Zeilen und vier Spalten) und die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der dritten Kontaktgruppe 113 ebenfalls auf 16 eingestellt ist (vier Zeilen und vier Spalten), während die Anzahl der Kontaktbereiche 110a für die erste Kontaktgruppe 111 und die vierte Kontaktgruppe 114 jeweils auf 0 eingestellt ist.
  • 11 zeigt die Prüfpositionen 21 im ersten Durchgang bei einer Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 12 und 13 gemäß 10, wobei das zweite Fördermedium 12 mit Bauelementen 20, die an der zweiten Kontaktgruppe 112 zu prüfen sind, und das dritte Fördermedium 13 mit Bauelementen 20, die an der dritten Kontaktgruppe 113 zu prüfen sind, gezeigt sind. Da die Anzahl der Kontaktbereiche 110a für die erste Kontaktgruppe 111 und die vierte Kontaktgruppe 114 jeweils auf 0 eingestellt ist, sind die zugehörigen Fördermedien 11 und 14 in 11 nicht gezeigt.
  • Das Fördermedium 12, das von dem ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen und von dieser Bewegungseinrichtung in den ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111, 112 gebracht.
  • Dann bringt die erste Bewegungseinrichtung 201 die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem zweiten Fördermedium 12 in 11 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte liegen, über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Danach werden diese 16 Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 12 mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 im ersten Durchgang an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für das zweite Fördermedium 12 durch die erste Bewegungseinrichtung 201 angehoben und dann um vier Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden durch die erste Bewegungseinrichtung 201 im zweiten Durchgang 16 Bauelemente 20, die auf dem zweiten Fördermedium 12 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte liegen, an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft, und die Prüfungen für das zweite Fördermedium 12 werden insgesamt in zwei Durchgängen ausgeführt.
  • Wenn die beiden Durchgänge abgeschlossen sind, wird das zuerst kommende Fördermedium 12 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des ersten Trägers CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zu dem Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder dem Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und das nächste Fördermedium 12 wird von dem ersten Träger CR1 der ersten Bewegungseinrichtung 201 zugeführt.
  • Das dritte Fördermedium 13, das von dem zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird von den Greifköpfen 202d der zweiten Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen und von dieser Bewegungseinrichtung in den zweiten Bereich 302 über den dritten und vierten Kontaktgruppen 113, 114 gebracht, und die zweite Bewegungseinrichtung 202 bringt die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem dritten Fördermedium 13 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte liegen, über die dritte Kontaktgruppe 113.
  • Danach werden diese 16 Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 13 mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 im ersten Durchgang an der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 202c mit den Greifköpfen 202d für das dritte Fördermedium 13 durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 angehoben und dann um vier Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 im zweiten Durchgang 16 Bauelemente 20, die auf dem dritten Fördermedium 13 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte liegen, an der drit ten Kontaktgruppe 113 geprüft, und die Prüfungen für das dritte Fördermedium 13 werden insgesamt in zwei Durchgängen ausgeführt.
  • Wenn die beiden Durchgänge abgeschlossen sind, wird das zuerst kommende Fördermedium 13 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des zweiten Trägers CR2 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zu dem Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder dem Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und das nächste Fördermedium 13 wird von dem zweiten Träger CR2 der zweiten Bewegungseinrichtung 202 zugeführt.
  • Somit wird die Prüfung insgesamt zweimal an einem der zweiten Fördermedien 12 und einem der dritten Fördermedien 13 ausgeführt, und Prüfungen an einem der dritten Fördermedien 13 können abgeschlossen werden, bevor die Prüfungen an einen der zweiten Fördermedien 12 abgeschlossen sind.
  • Die Prüfzeiten für die ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201 und 202 werden durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig ausgeführt.
  • Aufgrund der unabhängigen Steuerung der beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 durch die jeweiligen Untersteuerungen SC1 und SC2, wobei 16 Prüfpositionen in der zweiten Kontaktgruppe 112 und auch 16 Prüfpositionen in der dritten Kontaktgruppe 113 festgelegt sind, kann die Maximale Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen stets erreicht und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • 12 zeigt die Beziehung zwischen den Fördermedien 11, 12 und 13 und den Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 in einem Beispiel, bei dem drei Fördermedien 11, 12, 13 mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen sind.
  • In diesem Fall werden zwei Fördermedien 11 und 12 von der Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen, deren Greifköpfe 201d zwei Fördermedien 11 und 12 gleichzeitig erfassen können, und ein Fördermedium 13 wird von der Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen, deren Greifköpfe 202d in der Lage sind, zwei Fördermedien 13 und 14 gleichzeitig zu erfassen. Somit führt der zweite Träger CR2 der zweiten Bewegungseinrichtung 202 kein Fördermedium 14 zu.
  • 13 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppe 110 für 32 gleichzeitige Messungen entsprechend 12, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111 auf 8 eingestellt ist (zwei Zeilen und vier Spalten), in der zweiten Kontaktgruppe 112 ebenfalls auf 8 (zwei Spalten und vier Zeilen), in der dritten Kontaktgruppe 113 auf 16 (vier Zeilen und vier Spalten) und in der vierten Kontaktgruppe 114 auf 0.
  • 14 zeigt die Prüfpositionen 21 im ersten Durchgang bei einer Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 11, 12 und 13 entsprechend 13, wobei die Fördermedien 11 bis 13 gezeigt sind, die jeweils mit Bauelementen 20 beladen sind, die an den entsprechenden Kontaktgruppen 111, 112 und 113 zu prüfen sind. Da die vierte Kontaktgruppe 114 keine Kontaktbereiche 110a hat, ist das zugehörige Fördermedium 14 in 14 nicht gezeigt.
  • Die Fördermedien 11 und 12, die mit dem ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 gleichzeitig erfaßt und mit dieser Bewegungseinrichtung in den ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 gebracht.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 bewegt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 14 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die erste Kontaktgruppe 111, und gleichzeitig die Bauelemente, die auf dem zweiten Fördermedium 12 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Die 8 Bauelemente 20 auf dem ersten Fördermedium 11 und die 8 Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 12 werden dann im ersten Durchgang gleichzeitig mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 geprüft.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 durch die erste Bewegungseinrichtung 201 angehoben und dann um zwei Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Im nächsten Durchgang werden dann 8 Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Zeile bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 11 mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft und gleichzeitig 8 Bauelemente im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 12 an der zweiten Kontaktgruppe 112.
  • Im folgenden werden 8 elektronische Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und die Prüfungen werden insgesamt viermal ausgeführt.
  • Wenn die vier Prüfdurchgänge abgeschlossen sind, werden die zuerst kommenden Fördermedien 11 und 12 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des ersten Trägers CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und durch den ersten Träger CR1 werden die nächsten Fördermedien 11 und 12 zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 zugeführt.
  • Das dritte Fördermedium 13, das mit dem zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird von den Greifköpfen 202d der zweiten Bewegungseinrichtung 202 erfaßt und mit dieser Bewegungseinrichtung in den zweiten Bereich 302 über den dritten und vierten Kontaktgruppen 113 und 114 gebracht.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 bewegt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem dritten Fördermedium 13 in 14 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte liegen, über die dritte Kontaktgruppe 113.
  • Die 16 Bauelemente 20 auf dem dritten Fördermedium 13 werden dann im ersten Durchgang gleichzeitig mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 geprüft.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 202c mit den Greifköpfen 202d, die das dritte Fördermedium halten, durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 angehoben und dann um vier Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Im zweiten Durchgang werden dann 16 Bauelemente 20 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 13 mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft.
  • Wenn die insgesamt zwei Prüfdurchgänge abgeschlossen sind, wird die zuerst kommenden Fördermedium 13 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des zweiten Trägers CR2 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und durch den zweiten Träger CR2 wird die nächsten Fördermedium 13 zu der zweiten Bewegungseinrichtung 202 zugeführt.
  • Somit erfolgt die Prüfung insgesamt viermal an einem der ersten Fördermedien 11 und einem der zweiten Fördermedien 12 und insgesamt zweimal an einem der dritten Fördermedien 13. Die Prüfungen an zwei der dritten Fördermedien 13 können abgeschlossen werden, bevor die Prüfungen an einem der ersten Fördermedien 11 und einem der zweiten Fördermedien 12 abgeschlossen sind.
  • Die Prüfzeitpunkte für die ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201 und 202 werden durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
  • Durch unabhängige Steuerung der beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 mit Hilfe der jeweiligen Untersteuerungen SC1 und SC2, wodurch 8 Prüfpositionen an der ersten Kontaktgruppe 111, acht Prüfpositionen an der zweiten Kontaktgruppe 112 und 16 Prüfpositionen an der dritten Kontaktgruppe 113 bedient werden, kann stets die maximale Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen erreicht und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • 15 zeigt die Beziehung zwischen den Fördermedien 11, 12, 13 und 14 und den Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 in einem Beispiel, bei dem vier Fördermedien 11, 12, 13, 14 mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen sind.
  • In diesem Fall werden zwei Fördermedien 11 und 12 von der Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen, deren Greifköpfe 201d zwei Fördermedien 11 und 12 gleichzeitig erfassen können, und zwei Fördermedien 13 und 14 werden von der Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen, deren Greifköpfe 202d in der Lage sind, zwei Fördermedien 13 und 14 gleichzeitig zu erfassen.
  • 16 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppe 110 für 32 gleichzeitige Messungen entsprechend 15, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111 auf 8 eingestellt ist (zwei Zeilen und vier Spalten), in der zweiten Kontaktgruppe 112 ebenfalls auf 8 (zwei Spalten und vier Zeilen), in der dritten Kontaktgruppe 113 auf 8 (zwei Zeilen und vier Spalten) und in der vierten Kontaktgruppe 114 auf 8 (zwei Zeilen und vier Spalten).
  • 17 zeigt die Prüfpositionen 21 im ersten Durchgang bei einer Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 11, 12, 13 und 14 entsprechend 15, wobei die Fördermedien 11 bis 14 gezeigt sind, die jeweils mit Bauelementen 20 beladen sind, die an den entsprechenden Kontaktgruppen 111, 112, 113 und 114 zu prüfen sind.
  • Die Fördermedien 11 und 12, die mit dem ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 gleichzeitig erfaßt und mit dieser Bewegungseinrichtung in den ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 gebracht.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 bewegt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 17 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die erste Kontaktgruppe 111, und gleichzeitig die Bauelemente, die auf dem zweiten Fördermedium 12 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Die 8 Bauelemente 20 auf dem ersten Fördermedium 11 und die 8 Bauelemente 20 auf dem zweiten Fördermedium 12 werden dann im ersten Durchgang gleichzeitig mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 an den Kontaktgruppen 111 und 112 geprüft.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 durch die erste Bewegungseinrichtung 201 angehoben und dann um zwei Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Im zweiten Durchgang werden dann 8 Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 11 mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft und gleichzeitig 8 Bauelemente im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 12 an der zweiten Kontaktgruppe 112.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 durch die erste Bewegungseinrichtung 201 angehoben und dann um zwei Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach wird die Operation wiederholt, und die Prüfungen werden von der ersten Bewegungseinrichtung 201 insgesamt viermal an den beiden Fördermedien 12 und 12 ausgeführt.
  • Wenn die vier Prüfdurchgänge abgeschlossen sind, werden die zuerst kommenden Fördermedien 11 und 12 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des ersten Trägers CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und durch den ersten Träger CR1 werden die nächsten Fördermedien 11 und 12 zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 zugeführt.
  • Das dritte Fördermedium 13, das mit dem zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird von den Greifköpfen 202d der zweiten Bewegungseinrichtung 202 erfaßt und mit dieser Bewegungseinrichtung in den zweiten Bereich 302 über den dritten und vierten Kontaktgruppen 113 und 114 gebracht.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 bewegt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem dritten Fördermedium 13 in 17 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die dritte Kontaktgruppe 113 und gleichzeitig die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem vierten Fördermedium 14 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte liegen, über die vierte Kontaktgruppe 114.
  • Die 8 Bauelemente 20 auf dem dritten Fördermedium 13 werden dann im ersten Durchgang mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft, und gleichzeitig werden die 8 Bauelemente 20 auf dem vierten Fördermedium 14 an der vierten Kontaktgruppe 114 geprüft.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 202c mit den Greifköpfen 202d, die das dritte und vierte Fördermedium halten, durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 angehoben und dann um zwei Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Im zweiten Durchgang werden dann 8 Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 13 mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft, und gleichzeitig werden 8 Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte auf dem Fördermedium 14 mit Hilfe der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der vierten Kontaktgruppe 114 geprüft.
  • Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 202c mit den Greifköpfen 202d, die das dritte und vierte Fördermedium halten, durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 angehoben und dann um zwei Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach wird die Operation wiederholt, und die Prüfungen werden von der zweiten Bewegungseinrichtung 202 insgesamt viermal an den beiden Fördermedien 13 und 14 ausgeführt.
  • Wenn die insgesamt vier Prüfdurchgänge abgeschlossen sind, werden die zuerst kommenden Fördermedien 13 und 14 mit den geprüften Bauelementen mit Hilfe des zweiten Trägers CR2 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und durch den zweiten Träger CR2 werden die nächsten Fördermedien 13 und zu der zweiten Bewegungseinrichtung 202 zugeführt.
  • Somit erfolgt die Prüfung insgesamt viermal an einem der ersten Fördermedien 11, einem der zweiten Fördermedien 12, einem der dritten Fördermedien 13 und einem der vierten Fördermedien 14. Die Prüfungen an einem der zweiten Fördermedien 12, einem der dritten Fördermedien 13 und einem der vierten Fördermedien 14 können abgeschlossen werden, bevor die Prüfungen an einem der ersten Fördermedien 11 abgeschlossen sind.
  • Die Prüfzeitpunkte für die ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201 und 202 werden durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
  • Durch unabhängige Steuerung der beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 mit Hilfe der jeweiligen Untersteuerungen SC1 und SC2, wodurch acht Prüfpositionen an der ersten Kontaktgruppe 111, acht Prüfpositionen an der zweiten Kontakt gruppe 112, acht Prüfpositionen an der dritten Kontaktgruppe 113 und acht Prüfpositionen an der vierten Kontaktgruppe 114 bedient werden, kann stets die maximale Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen erreicht und eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • Wie oben erläutert wurde, kann durch optimale Bestimmung der Anzahl der Kontaktgruppen 110, der Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in der Kontaktgruppe 110 in Abhängigkeit von der Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, einem Produktionsplan und dergleichen und durch optimale Bestimmung der Anzahl der voneinander unabhängigen Bewegungseinrichtungen, der zu den einzelnen Bewegungseinrichtungen gehörenden Kontaktgruppen, der Höchstzahl der Fördermedien 10, die von den einzelnen Bewegungseinrichtungen aufgenommen werden können, und der Anzahl der frei und unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen aufgenommenen Fördermedien bis zur Höchstzahl stets die Anzahl gleichzeitiger Messungen sichergestellt werden, mit Berücksichtigung des Platzbedarfs, optimaler Anlagekosten und optimaler Ausrichtgenauigkeit, und es kann eine hohe Prüfeffizienz realisiert werden.
  • Insbesondere kann durch Kombinieren der Anzahl unabhängiger Bewegungseinrichtungen, der den einzelnen Bewegungseinrichtungen entsprechenden Kontaktgruppen 110, der Höchstzahl der von einer Bewegungseinrichtung aufnehmbaren Fördermedien und der Anzahl der frei und unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen aufgenommenen Fördermedien 10 bis zur Höchstzahl das Zu- und Abtransportverfahren flexibel an geänderte Bedingungen, etwa an den geänderten Produktionsplan, angepaßt werden, in gleicher Weise wie bei der ersten Ausführungsform.
  • Die Erfindung ist nicht auf die Prüfungsreihenfolge der zu prüfenden Bauelemente auf einem Fördermedium beschränkt, wie sie oben in der ersten Ausführungsform erläutert wurde, sondern umfaßt auch andere effiziente Prüfungsreihenfolgen.
  • [Ausführungsform 2]
  • 18 zeigt schematisch einen Prüfkopf 100 und eine detaillierte Konfiguration seiner Umgebung bei einem Prüfgerät 1 gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
  • Das Prüfgerät 1 in der vorliegenden Ausführungsform ist ein Gerät zur Ausführung einer Prüfung (Untersuchung) ob elektronische Bauelemente 20 einwandfrei arbeiten, und zwar in einem Zustand, in dem die zu prüfenden Bauelemente einer thermischen Beanspruchung mit hoher Temperatur oder tiefer Temperatur ausgesetzt sind, und zum Klassifizieren der Bauelemente 20 entsprechend den Prüfungsergebnissen. ein Funktionstest wird im Zustand unter thermischer Beanspruchung ausgeführt, indem ein Fördermedium 10, das mit den zu prüfenden Bauelementen 20 als Prüfobjekte beladen ist, in das Prüfgerät 1 zugeführt wird.
  • Die Konfiguration des Prüfgerätes 1 nach der vorliegenden Ausführungsform ist die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform, mit Ausnahme der Konfiguration des Prüfkopfes 100.
  • Prüfkopf 100
  • Das Fördermedium 10 wird vom ersten Träger CR1 oder vom zweiten Träger CR2 zu dem Prüfkopf 100 gebracht, und die Prüfung wird ausgeführt, während die zu prüfenden Bauelemente 20 auf das Fördermedium 10 geladen sind.
  • Der Prüfkopf 100 umfaßt zwei Kontaktgruppen, nämlich eine erste Kontaktgruppe 111 und eine zweite Kontaktgruppe 112, zur Prüfung von Bauelementen 20, die auf einem Fördermedium 10 angeordnet sind, das von der Ladesektion LD zugeführt wurde, eine erste Bewegungseinrichtung 201 zur Steuerung der Position und Lage des mit den zu prüfenden Bauelementen 20 beladenen Fördermediums 10 in einem ersten Bereich 301, der sich oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und oberhalb der zweiten Kontaktgruppe 112 befindet, und einem Bereich, der den ersten Träger CR1 über der ersten Kamera CM1 einschließt, und eine zweite Bewegungseinrichtung 202 zur Steuerung der Position und Lage eines Fördermediums, das mit zu prüfenden Bauelementen 20 beladen ist, in einem ersten Bereich 301, der sich oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 erstreckt und einem Bereich, der den zweiten Träger CR2 über der zweiten Kamera CM2 einschließt teilweise überlappend mit dem Bereich der ersten Bewegungseinrichtung 201.
  • Obgleich die Arbeitsbereiche der beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 einander teilweise überlappen, werden diese Bewegungseinrichtungen so gesteuert, daß sie sich nicht gegenseitig stören.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 dient zur Steuerung der Positionen mehrerer Fördermedien 10 (zwei Fördermedien in 18) in X-, Y- und Z-Richtung und zur Steuerung der Winkellage θ bezüglich Drehungen um die Z-Achse. Zum Beispiel ist sie konfiguriert für die Bewegung in dem ersten Bereich 301 oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 und einem Bereich, der den ersten Träger CR1 oberhalb der ersten Kamera CM1 einschließt, mit Hilfe einer in X-Richtung verlaufenden Schiene 201a, eines beweglichen Arms 201b, der sich längs der Schiene 201a in X-Richtung bewegt, und eines beweglichen Kopfes 201c, der an dem beweglichen Arm 201b gehalten ist und sich längs dieses Armes 201b in Y-Richtung bewegen kann.
  • Der bewegliche Kopf 201c ist auch in Z-Richtung beweglich (also in vertikaler Richtung), mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs, und ist außerdem mit Hilfe einer nicht gezeigten Lagesteuerungsfunktion in der Winkellage θ in Bezug auf die Z-Achse steuerbar. Es ist möglich, mit mehreren Greifköpfen 201d (z.B. acht Saugköpfen) an dem beweglichen Kopf 201c mehrere Fördermedien 10 auf einmal aufzunehmen, zu transportieren und freizugeben.
  • Ein zu prüfendes Bauelement 20 auf dem Fördermedium 10 entspricht einem Kontaktbereich 110a, und die einzelnen zu prüfenden Bauelemente 20, die auf das Fördermedium 10 geladen sind, das von den Greifköpfen 201d gehalten ist, werden durch Abwärtsbewegung des Kopfes 201c in Z-Richtung mit geeignetem Druck gegen nicht gezeigte Kontaktstifte im Kontaktbereich 110a angedrückt, so daß die Prüfung ausgeführt wird. Das Prüfungsergebnis wird z.B. unter einer Adresse abgelegt, die durch eine an dem Fördermedium 10 angebrachte Identifizierungsnummer und eine Nummer des Bauelements innerhalb des Fördermediums 10 bestimmt ist.
  • Die erste Kontaktgruppe 111 wird durch einen Satz von Kontaktbereichen 110a für die Ausführung der Prüfung an den Bauelementen 20 gebildet, und die zweite Kontaktgruppen 112 wird in gleicher Weise durch einen Satz von Kontaktbereichen 110a gebildet. Unter der Bedingung, daß die Gesamtzahl der Kontaktbereiche 110a des Prüfgerätes 1 der für das Prüfgerät 1 gegebenen maximalen Anzahl gleichzeitiger Messungen entspricht (normalerweise ist sie begrenzt auf 32 oder 64), ist es möglich, die optimale Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in den einzelnen Kontaktgruppen je nach Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 zu bestimmen.
  • Sofern die Gesamtzahl der Kontaktbereiche 110a der vier Kontaktgruppen gleich der maximalen Anzahl gleichzeitiger Messungen, also 32 oder 64 ist, kann die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in den einzelnen Kontaktgruppen 110 frei gewählt werden.
  • Auch die Teilungen zwischen den einzelnen Kontaktbereichen 110a in den Kontaktgruppen 111, 112 stimmen überein mit Vielfachen (einschließlich 1) der Teilungen zwischen den einzelnen Bauelementen 20 auf dem Fördermedium 10, das der betreffenden Kontaktgruppe 111, 112 entspricht.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 dient hinsichtlich ihrer grundlegenden Konfiguration und Arbeitsweise zur Steuerung der Positionen mehrerer Fördermedien 10 in X-, Y- und Z-Richtung und zur Steuerung der Winkellage θ bezüglich Drehungen um die Z-Achse, und ist zum Beispiel konfiguriert für die Bewegung in dem ersten Bereich 301 oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 und einem Bereich, der den zweiten Träger CR2 oberhalb der zweiten Kamera CM2 einschließt, mit Hilfe einer in X-Richtung verlaufenden Schiene 202a, eines beweglichen Arms 202b, der sich längs der Schiene 202a in X-Richtung bewegt, und eines beweglichen Kopfes 202c, der an dem beweglichen Arm 202b gehalten ist und sich längs dieses Armes 202b in Y-Richtung bewegen kann, ebenso wie bei der ersten Bewegungseinrichtung 201.
  • Der bewegliche Kopf 202c ist auch in Z-Richtung beweglich (also in vertikaler Richtung), mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs, und ist außerdem mit Hilfe einer nicht gezeigten hagesteuerungsfunktion in der Winkellage θ in Bezug auf die Z-Achse steuerbar. Es ist auch möglich, mit Greifköpfen 202d (z.B. acht Saugköpfen) an dem beweglichen Kopf 202c mehrere Fördermedien 10 auf einmal aufzunehmen, zu transportieren und freizugeben.
  • In dem obigen Beispiel wurde angenommen, daß zwei Kontaktgruppen 110 und zwei Bewegungseinrichtungen vorhanden sind und die beiden Bewegungseinrichtungen 201 und 202 jeweils zwei Fördermedien 10 aufnehmen können. Die Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt, sondern die Anzahl der Kontaktgruppen 110 sowie die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in jeder Kontaktgruppe 110 können optimal bestimmt werden (z. B. eine oder drei oder mehr Kontaktgruppen), im Hinblick auf die Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf den Fördermedien 10, den Produktionsplan und dergleichen. Auch die Anzahl der unabhängig arbeitenden Bewegungseinrichtungen (z. B. eine oder drei oder mehr Be wegungseinrichtungen), die zu jeder Bewegungseinrichtung gehörende Kontaktgruppe 110, die Anzahl der Fördermedien 10, die von jeder Bewegungseinrichtung erfaßt werden können, und die Anzahl der Fördermedien 10, die bis zur Höchstzahl frei und unabhängig von anderen Bewegungseinrichtungen von den jeweiligen Bewegungseinrichtungen aufgenommen werden, lassen sich für jede Bewegungseinrichtung optimal wählen.
  • Als nächstes wird die Arbeitsweise erläutert werden. Das mit ungeprüften Bauelementen 20 beladene Fördermedium 10, das von dem ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird mit der ersten Bewegungseinrichtung 201 an der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft.
  • Das beladene Fördermedium 10, das vom zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 an der ersten Kontaktgruppe 111 und der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft.
  • In diesem Fall haben die erste Bewegungseinrichtung 201 und die zweite Bewegungseinrichtung 202 Arbeitsbereiche, die sich teilweise überlappen, doch werden die Arbeitsvorgänge so gesteuert, daß sie sich nicht stören.
  • Nachstehend wird, wie in 18 gezeigt ist, ein spezielles Prüfverfahren für den Fall erläutert werden, daß mit dem Prüfgerät 1 32 Messungen gleichzeitig durchgeführt werden, wobei zwei Fördermedien 11 und 12 von der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen werden, deren Greifköpfe 201d in der Lage sind, zwei Fördermedien 11 und 12 zu erfassen, und zwei Fördermedien 11 und 12 von der zweiten Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen werden, deren Greifköpfe 202d in der Lage sind, zwei Fördermedien 11 und 12 zu erfassen.
  • Mit 11 is ein Fördermedium bezeichnet, das mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden sollen, und mit 12 ist ein Fördermedium bezeichnet, das mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft werden sollen.
  • 19 zeigt die Anordnung der Kontaktgruppen 110 für den Fall von 32 gleichzeitigen Messungen entsprechend 18, wobei die Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 11 auf 16 eingestellt ist (vier Zeilen und vier Spalten) und die Anzahl der Kontaktgruppen 110a in der zweiten Kontaktgruppe 112 auf 16 (vier Zeilen und vier Spalten).
  • 20 zeigt Prüfpositionen 21 im ersten Durchgang für zu prüfende Bauelemente 20, die auf dem Fördermedium 11 entsprechend 19 angeordnet sind, wobei das erste Fördermedium 11 mit Bauelementen 20 beladen ist, die an der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden sollen, und das zweite Fördermedium 12 mit Bauelementen 20, die an der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft werden sollen.
  • Zwei Fördermedien, also die zuerst eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12, die durch den ersten Träger CR1 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden auf einmal von den Greifköpfen 201d der ersten Bewegungseinrichtung 201 aufgenommen und von dieser Bewegungseinrichtung zu dem ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 transportiert.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 bringt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, über die erste Kontaktgruppe 111 und gleichzeitig die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem zweiten Fördermedium 12 in einen Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Die erste Bewegungseinrichtung 201 führt dann im ersten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an den 16 Bauelementen 20 in dem genannten Bereich auf dem ersten Fördermedium 11 und den 16 Bauelementen 20 in dem genannten Bereich auf dem zweiten Fördermedium 12 aus.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 durch die erste Bewegungseinrichtung 201 angehoben und um vier Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach führt die erste Bewegungseinrichtung 201 im zweiten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an den 16 Bauelementen 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, und an den 16 Bauelementen 20 aus, die auf dem zweiten Fördermedium 12 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, so daß die Prüfung in insgesamt zwei Durchgängen erfolgt.
  • Somit wird die Prüfung insgesamt zweimal an dem zuerst eintreffenden ersten Fördermedium 11 und gleichzeitig insgesamt zweimal an dem zuerst eintreffenden zweiten Fördermedium 12 ausgeführt.
  • Während die oben beschriebene erste Bewegungseinrichtung 201 insgesamt zwei Prüfdurchgänge ausführt, werden ein als zweites eintreffendes erstes Fördermedium 11 und ein als zweites eintreffendes zweites Fördermedium 12 aus dem Pufferabteil 901 über die zweite Fördereinrichtung 402 zu dem zweiten Träger CR2 zugeführt, und der zweite Träger CR2 bewegt sich über die zweite Kamera CM2, und so werden die als zweites eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 zur Zufuhr zu der zweiten Bewegungseinrichtung 202 vorbereitet.
  • Nachdem die Prüfungen in den insgesamt zwei Durchgängen an den zuerst eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 abgeschlossen sind, werden diese Fördermedien 11 und 12 mit geprüften Bauelementen durch den ersten Träger CR1 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und die auf dem zweiten Träger CR2 bereitstehenden, als zweites eingetroffenen ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 werden zugeführt.
  • Die als als zweites eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12, die durch den zweiten Träger CR2 ausgerichtet und zugeführt wurden, werden dann gleichzeitig von den Greifköpfen 202d der zweiten Bewegungseinrichtung 202 aufgenommen und durch diese zweite Bewegungseinrichtung 202 in den ersten Bereich 301 über den ersten und zweiten Kontaktgruppen 111 und 112 transportiert.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 bringt dann die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 in 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, über die erste Kontaktgruppe 111 und gleichzeitig die zu prüfenden Bauelemente 20, die auf dem zweiten Fördermedium 12 in einen Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur vierten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, über die zweite Kontaktgruppe 112.
  • Die zweite Bewegungseinrichtung 202 führt dann im ersten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an den 16 Bauelementen 20 in dem genannten Bereich auf dem ersten Fördermedium 11 und den 16 Bauelementen 20 in dem genannten Bereich auf dem zweiten Fördermedium 12 aus.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 201c mit den Greifköpfen 201d für die ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 durch die zweite Bewegungseinrichtung 202 angehoben und um vier Zeilen in Y-Richtung bewegt.
  • Danach führt die zweite Bewegungseinrichtung 202 im zweiten Durchgang gleichzeitig eine Prüfung an den 16 Bauelementen 20, die auf dem ersten Fördermedium 11 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, und an den 16 Bauelementen 20 aus, die auf dem zweiten Fördermedium 12 im Bereich von der fünften Zeile und ersten Spalte bis zur achten Zeile und vierten Spalte angeordnet sind, so daß die Prüfung in insgesamt zwei Durchgängen erfolgt.
  • Somit wird die Prüfung insgesamt zweimal an dem zuerst eintreffenden ersten Fördermedium 11 und gleichzeitig insgesamt zweimal an dem zuerst eintreffenden zweiten Fördermedium 12 ausgeführt.
  • Während die oben beschriebene zweite Bewegungseinrichtung 202 insgesamt zwei Prüfdurchgänge ausführt, werden ein als drittes eintreffendes erstes Fördermedium 11 und ein als drittes eintreffendes zweites Fördermedium 12 aus dem Pufferabteil 901 über die zweite Fördereinrichtung 402 zu dem ersten Träger CR1 zugeführt, und der erste Träger CR1 bewegt sich über die erste Kamera CM1, und so werden die als dritte eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 zur Zufuhr zu der ersten Bewegungseinrichtung 201 vorbereitet.
  • Nachdem die Prüfungen in den insgesamt zwei Durchgängen an den als zweite eintreffenden ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 abgeschlossen sind, werden diese Fördermedien 11 und 12 mit geprüften Bauelementen durch den zweiten Träger CR2 über die dritte Fördereinrichtung 403 der Entladesektion UL zum Stapler 802 für geprüfte Bauelemente oder zum Stapler 803 für nachzuprüfende Bauelemente ausgetragen, und die auf dem ersten Träger CR1 bereitstehenden, als dritte eingetroffenen ersten und zweiten Fördermedien 11 und 12 werden zugeführt.
  • Danach werden die Arbeitsprozesse der ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201 und 202 abwechselnd wiederholt.
  • Indem, wie oben erläutert wurde, 16 Prüfpositionen in der ersten Kontaktgruppe 111 und 16 Prüfpositionen in der zweiten Kontaktgruppe 112 bereitgestellt werden, ist es möglich, stets die maximale Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen mit dem Prüfgerät 1 sicherzustellen und eine hohe Prüfeffizienz zu erreichen.
  • Da außerdem die ersten und zweiten Bewegungseinrichtungen 201 und 202 abwechselnd auf dem gleichen ersten Bereich 301 arbeiten, kann die Rüstzeit, die einen Teil der Zykluszeit für eine Bewegungseinrichtung ausmacht (kürzeste Zeit zwischen der Ausgabe eines Start-Anforderungssignals von dem Handler bis zur Ausgabe des nächsten Start-Anforderungssignals) mit der Prüfzeit für die andere Bewegungseinrichtung verschachtelt werden. Insbesondere wenn die Prüfzeit kurz ist und somit der Anteil der Rüstzeit an der Zykluszeit groß wird, kann ein hoher Durchsatz erreicht werden, indem die Prüfung wie in dem obigen Beispiel abwechselnd mit mehreren Bewegungseinrichtungen durchgeführt wird, die auf einem Bereich arbeiten, in dem sich die Kontaktgruppe 110 befindet.
  • Die zweite Ausführungsform wurde erläutert mit zwei Kontaktgruppen 111 und 112, zwei Bewegungseinrichtungen 201 und 202, die in dem sich über die beiden Kontaktgruppen 111, 112 erstreckenden ersten Bereich 301 bewegbar sind und in der Lage sind, zwei Fördermedien aufzunehmen, und die unabhängig steuerbar sind, und zwei Trägern CR1 und CR2 zur unabhängigen Zufuhr eines Fördermediums 10 zu den betreffenden Bewegungseinrichtungen. Die Erfindung ist jedoch nicht auf diese Anzahlen beschränkt und schließt ein Prüfgerät ein, das zwei oder mehr Kontaktgruppen 110 und zwei oder mehr Bewegungseinrichtungen aufweist, die in der Lage sind, jeweils zwei oder mehr Fördermedien aufzunehmen und unabhängig steuerbar sind, wobei die zwei oder mehr Bewegungseinrichtungen einen im wesentlichen überlappenden Arbeitsbereich auf irgendeiner der Kontaktgruppen haben.
  • Die Erfindung ist auch nicht auf die Prüfungsreihenfolge der zu prüfenden Bauelemente auf dem Fördermedium beschränkt, wie sie oben in der zweiten Ausführungsform erläutert wurde, sondern schließt auch andere effiziente Prüfungsreihenfolgen für die Bauelemente auf dem Fördermedium ein.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • Bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen 20 auf Wafern 701 und 702 gibt es einige Fälle, in denen die Prüfpositionen in der Nähe des äußeren Randes der Wafer 701 und 702 es nicht erlauben, die Anzahl gleichzeitiger Messungen auszunutzen, so daß unter den gegebenen Umständen nur weniger Prüfpositionen für die gleichzeitigen Messungen zur Verfügung stehen.
  • Die Erfindung ist nicht nur auf den Fall anwendbar, daß die Prüfung an Bauelementen auf einem Fördermedium 10, etwa im Streifenformat, erfolgt, wie in der ersten und zweiten Ausführungsform beschrieben wurde, sondern auch auf den Fall, daß Bauelemente auf den Wafern 701 und 702 geprüft werden, und erlaubt eine effiziente Bereitstellung der Prüfpositionen für die Anzahl gleichzeitiger Messungen.
  • Wie in 21 gezeigt ist, umfaßt der Prüfkopf 100 vier Prüfgruppen, eine erste Prüfgruppe 601 und eine zweite Prüfgruppe 602 mit je 28 Prüfeinheiten 600a und dritte und vierte Prüfgruppen 603 und 604 mit je vier Prüfeinheiten 600a, so daß die Anzahl gleichzeitiger Messungen in diesem Fall 64 beträgt.
  • Die Prüfgruppen 601, 602, 603 und 604 haben jeweils einen Satz von Prüfeinheiten 600a zur Ausführung der Prüfung an den Bauelementen 20 auf den Wafern 701 und 702.
  • Von den jeweils 72 zu prüfenden Bauelementen 20 auf den ersten und zweiten Wafern 701, 702, die von einer (nicht gezeigten) Ladesektion zugeführt wurden und auf denen die Bauelemente in sieben Zeilen und zwölf Spalten angeordnet sind (wobei am äußeren Rand einige Bauelemente fehlen: in der ersten und siebten Zeile jeweils in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte und in der zweiten und sechsten Zeile jeweils in der ersten und zwölften Spalte), werden im ersten Durchgang 28 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und dritten Spalte bis zur siebten Zeile und sechsten Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der ersten Prüfgruppe 601 geprüft und gleichzeitig 28 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und dritten Spalte bis zur siebten Zeile und sechsten Spalte auf dem zweiten Wafer 702 an der zweiten Prüfgruppe 602, wie in 22 gezeigt ist.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird ein (nicht gezeigter) beweglicher Kopf mit Greifköpfen, die die beiden Wafer 701 und 702 auf einmal aufnehmen, angehoben und um vier Spalten in X-Richtung bewegt.
  • Danach werden im zweiten Durchgang 28 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und siebten Spalte bis zur siebten Zeile und zehnten Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der ersten Prüfgruppe 601 geprüft und gleichzeitig 28 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und siebten Spalte bis zur siebten Zeile und zehnten Spalte auf den zweiten Wafer 702 an der zweiten Prüfgruppe 602. Die Prüfungen an den insgesamt 56 Bauelementen 20 in den Prüfpositionen 23 und 24 (die Prüfpositionen 23 und 24 für die erste Prüfgruppe 601 und die zweite Prüfgruppe 602 sind in 22 Gruppen von gemusterten Rechtecken) an den ersten und zweiten Prüfgruppen 601 und 602 erfolgen in insgesamt zwei Durchgängen, und die beiden Wafer 701 und 702 werden an die dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 übergeben.
  • Die Erfindung ist nicht auf ein Verfahren beschränkt, bei dem die beiden Wafer 701 und 702, für die die Prüfung an den ersten und zweiten Prüfgruppen 601 und 602 abgeschlossen ist, (direkt) an die dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 übergeben werden, sondern schließt auch ein Verfahren ein, bei dem sie an Ladesektionen übergeben werden, die von den jeweiligen Prüfgruppen unabhängig sind.
  • Nach Abschluß der Prüfung an der ersten Prüfgruppe 601 und der zweiten Prüfgruppe 602 werden die beiden Wafer 701 und 702 zu der dritten Prüfgruppe 603 und der vierten Prüfgruppe 604 überführt, zwei Bauelemente 20 in der zweiten Zeile und zweiten und elften Spalte auf dem ersten Wafer 701 werden an der dritten Prüfgruppe 603 geprüft, und gleichzeitig werden im ersten Durchgang zwei Bauelemente 20 in der zweiten Zeile und der zweiten und elften Spalte auf dem zweiten Wafer 702 an der vierten Prüfgruppe 604 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der (nicht gezeigte) bewegliche Kopf, der die beiden Wafer 701 und 702 hält, angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden im zweiten Durchgang vier Bauelemente 20 in der dritten Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der dritten Prüfgruppe 603 geprüft, und gleichzeitig werden vier Bauelemente 20 in der dritten Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem Wafer 702 an der vierten Prüfgruppe 604 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der die beiden Wafer 701 und 702 haltende bewegliche Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden im dritten Durchgang vier Bauelemente 20 in der vierten Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der dritten Prüfgruppe 603 geprüft, und gleichzeitig werden vier Bauelemente 20 in der vierten Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem Wafer 702 an der vierten Prüfgruppe 604 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der die beiden Wafer 701 und 702 haltende bewegliche Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden im vierten Durchgang vier Bauelemente 20 in der fünften Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der dritten Prüfgruppe 603 geprüft, und gleichzeitig werden vier Bauelemente 20 in der fünften Zeile und ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte auf dem Wafer 702 an der vierten Prüfgruppe 604 geprüft.
  • Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der die beiden Wafer 701 und 702 haltende bewegliche Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt.
  • Danach werden zwei Bauelemente 20 in der sechsten Zeile und zweiten und elften Spalte auf dem ersten Wafer 701 an der dritten Prüfgruppe 603 geprüft, und gleichzeitig werden zwei Bauelemente 20 in der sechsten Zeile und zweiten und elften Spalte auf dem Wafer 702 an der vierten Prüfgruppe 604 geprüft. Die Prüfungen an insgesamt 16 Bauelementen 20 in den Prüfpositionen 25 und 26 (die Prüfpositionen 25 und 26 der dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 sind Sätze von gemusterten Rechtecken in 23) an den dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 werden in insgesamt fünf Durchgängen abgeschlossen.
  • Nach Abschluß der Prüfung an den dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 werden die beiden Wafer 701 und 702 an die (nicht gezeigte) Entladesektion übergeben, und die nächsten Wafer 701 und 702 werden von den ersten und zweiten Prüfgruppen 601 und 602 oder von davon unabhängigen Ladesektionen zugeführt.
  • Die Prüfzeitpunkte in den ersten und zweiten Prüfgruppen 601 und 602 sowie die Prüfzeitpunkte in den dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 werden in den jeweiligen Bewegungseinrichtungen durch die (nicht gezeigte) Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen erfolgen gleichzeitig.
  • Wie oben erläutert wurde, können bei der Prüfung von Bauelementen 20 auf den Wafern 701 und 702 durch Aufteilung in die ersten und zweiten Prüfgruppen 601 und 602 zum Prüfen der Bauelemente 20 in der Mitte der Wafer 701 und 702 und die dritten und vierten Prüfgruppen 603 und 604 zum Prüfen der Bauelemente 20 in der Nähe des äußeren Randes Prüfpositionen in der Nähe der maximalen Anzahl von 64 gleichzeitigen Messungen festgelegt werden, und eine hohe Prüfeffizienz kann auch bei der Prüfung an Bauelementen 20 auf den Wafer 701 und 702 erreicht werden, die in der Nähe des äußeren Randes liegen, wo Prüfpositionen für die Anzahl gleichzeitiger Messungen sich nur schwer bereitstellen lassen.
  • Bei der obigen Ausführungsform wurde ein Verfahren angewandt, bei dem ein Wafer mit Greifköpfen aufgenommen und ein beweglicher Kopf eingesetzt wird, der diese Greifköpfe trägt, doch ist die Erfindung nicht auf dieses Verfahren beschränkt, sondern es kann z.B. auch ein Verfahren in Betracht gezogen werden, bei dem die Wafer festgehalten werden und eine Ausrichtsteuerung für die Prüfgruppen relativ zu den elektronischen Bauelementen vorgenommen wird.
  • Bei der dritten Ausführungsform wurden vier Prüfgruppen 601, 602, 603 und 604 sowie eine Bewegungseinrichtung erläutert, die in der Lage ist, zwei Wafer 701 und 702 aufzunehmen, doch ist die Erfindung nicht auf diese Anzahlen beschränkt, sondern schließt auch ein Prüfgerät mit ein bis drei Prüfgruppen oder fünf oder mehr Prüfgruppen und eine Bewegungseinrichtung ein, die in der Lage ist, zwei oder mehr Wafer aufzunehmen. Sie ist auch nicht auf die Reihenfolge der Prüfung der Bauelemente auf dem Fördermedium beschränkt, wie sie im dritten Ausführungsbeispiel erläutert wurde, sondern schließt auch andere effiziente Prüfungsreihenfolgen ein.
  • Die oben erläuterten und beschriebenen Ausführungsformen dienen zur Erleichterung des Verständnisses der Erfindung und sind nicht als Beschränkung zu verstehen. Somit schließen die in den obigen Ausführungsformen angegebenen Elemente alle konstruktiven Abwandlungen und Äquivalente ein, die zum technischen Rahmen der Erfindung gehören.
  • Zum Beispiel kann im Fall der ersten Ausführungsform anstelle des Verfahrens, bei dem sich eine Kammer für die Durchführung der Prüfung unter thermischer Beanspruchung über den gesamten Prüfkopf 100 erstreckt, auch ein Verfahren angewandt werden, bei dem eine Heizplatte im Pufferabteil benutzt wird, oder andere Verfahren, und das Prüfgerät gemäß der Erfindung schließt diese Verfahren ein.
  • Die Anzahl gleichzeitiger Messungen ist gemäß der Erfindung nicht auf die oben angegebenen Anzahlen beschränkt, sondern kann 2n betragen.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Prüfgerät zur Prüfung elektronischer Bauelemente durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der Bauelemente gegen Kontaktbereiche eines Prüfkopfes (100) mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung (X, Y, Z, θ), während die zu prüfenden Bauelemente auf Fördermedien (11, 12, 13, 14) geladen sind, bei dem zwei der mit zu prüfenden Bauelementen beladenen Fördermedien (11, 12) von einer der Bewegungseinrichtung aufgenommen werden und gleichzeitig zwei andere Fördermedien (13, 14) von einer anderen, und die Bewegungseinrichtungen voneinander unabhängig arbeiten.

Claims (10)

  1. Prüfgerät zur Prüfung elektronischer Bauelemente (20) durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der Bauelemente gegen Kontaktbereiche (110a; 600a) eines Prüfkopfes (100) mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung (201, 202), während die zu prüfenden Bauelemente (20) auf ein Fördermedium (10; 701, 702) geladen sind, mit: einer oder mehreren Bewegungseinrichtungen (201, 202), die in der Lage sind, mehrere der mit zu prüfenden Bauelementen (20) beladenen Fördermedien (10; 701, 702) auf einmal aufzunehmen und zu den Kontaktbereichen (110a; 600a) zuzuführen und von diesen abzutransportieren.
  2. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Bewegungseinrichtung (201, 202) in der Lage ist, die Anzahl der aufgenommenen Fördermedien bis zu einer Höchstzahl frei zu wählen.
  3. Prüfgerät nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die eine Bewegungseinrichtung (201) in der Lage ist, die Anzahl der aufgenommenen Fördermedien unabhängig von der anderen Bewegungseinrichtung (202) zu wählen.
  4. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem zwei oder mehr der mehreren Bewegungseinrichtungen (201, 202) einen im wesentlichen überlappenden Arbeitsbereich (301) auf einer durch einen Satz von Kontaktbereichen (110a) gebildeten Kontaktgruppe (110) besitzen.
  5. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das Fördermedium (10; 701, 702) die Form eines Streifens oder Wafers hat.
  6. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem jede der Bewegungseinrichtungen (201, 202) das mit zu prüfenden Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10) aufnimmt und von einer Ladeposition (LD) für ungeprüfte Bauelemente zu den Kontaktbereichen überführt.
  7. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem jede der Bewegungseinrichtungen (201, 202) das mit geprüften Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10) aufnimmt und von den Kontaktbereichen zu einer Ladeposition (UL) für geprüfte Bauelemente überführt.
  8. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die Summe der Anzahlen der Kontaktbereiche des Prüfkopfes 2n ist, wobei n eine natürliche Zahl ist.
  9. Prüfgerät nach einem der Anspruch 8, bei dem dem n gleich fünf ist.
  10. Prüfgerät nach einem der Anspruch 8, bei dem dem n gleich sechs ist.
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