DE10222134A1

DE10222134A1 - Schaltplattentisch für ein Ausrichtgerät

Info

Publication number: DE10222134A1
Application number: DE10222134A
Authority: DE
Inventors: Ryoichi Ida
Original assignee: Adtec Engineering Co Ltd
Current assignee: Adtec Engineering Co Ltd
Priority date: 2001-05-24
Filing date: 2002-05-17
Publication date: 2002-12-05
Also published as: US20020176064A1; US6597432B2; TW522289B; JP2002351082A; KR20020090115A; KR100847997B1

Abstract

Es wird ein Schaltplattentisch eines Ausrichtgeräts vorgeschlagen, das ein Verbiegen einer zu belichtenden Leiterplatte vermeiden kann und eine hochgenaue Belichtung erzielt. In einer bevorzugten Ausführungsform ist eine Saugplatte (2) mit mehreren kleinen Löchern (20) an einem Tragkörper (3, 3') befestigt, in dem wenigstens ein Saugraum (30, 30') vorgesehen ist, der größer als die kleinen Löcher ist. Die Löcher (20) sind mit dem Saugraum (30, 30') und einer Vakuumvorrichtung (11) über wenigstens einen Luftdurchgang (31) und einen Bodendurchgang (32) verbunden. Der Durchmesser der Sauglöcher (20) ist bevorzugt kleiner als 0,4 mm, um an der Leiterplatte keine solchen Verbiegungen zu bewirken, die Belichtungsprobleme verursachen können.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG UND STAND DER TECHNIK Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft einen Schaltplattentisch für ein Ausrichtgerät, auf dem ein zu belichtendes Objekt platziert wird, um ausgerichtet und belichtet zu werden.

Stand der Technik

Leiterplatten werden dünner, da elektrische Geräte kleiner und dünner werden. Zum Beispiel wurde eine biegsame Leiterplatte entwickelt und wird zu einem üblichen Bauteil, da sie biegsam und nachgiebig ist, so dass sie sich der Form der Gehäuse der elektrischen Geräte anpassen kann. Diese dünnen Leiterplatten haben typischerweise eine Schicht dicke von 50 µm oder weniger bis etwa 25 µm.

Diese Leiterplatten werden durch Photolithographieverfahren hergestellt, bei denen Ausrichtgeräte, die ähnlich den bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen benutzten sind, zum Belichten von Schaltungsmustern auf den Schaltplatten verwendet werden. Bei dem Gebrauch der Ausrichtgeräte ist es erforderlich, die Leiterplatten auf einem Belichtungstisch zu halten. Typischerweise besitzt der Tisch ein Loch, um die darauf gelegte Schaltplatte anzusaugen und sie festzuhalten.

AUFGABE DER ERFINDUNG

Da jedoch die Schaltplatten wie oben beschrieben dünner gemacht wurden, besteht ein Problem darin, dass die dünnen Schaltplatten dazu neigen, sich in dem Abschnitt, der das Vakuumloch auf dem Tisch berührt, zu verbiegen. Ein solches Verbiegen der Schalt platten verursacht zwischen einer Photomaske und dem Tisch einen Spalt, der zu vielen Belichtungsschwierigkeiten und einer falschen Auflösung führt. Die Aufgabe der Erfindung ist es, derartige Probleme zu lösen.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die obige Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung durch einen Schaltplatten tisch für ein Ausrichtgerät mit den Merkmalen von Patentanspruch 1, 2 oder 3 gelöst. Der erfindungsgemäße Schaltplattentisch ist gekennzeichnet durch mehrere Löcher zum Ansaugen der Schaltplatte mit einer Öffnung an einer Oberfläche des Schaltplattentisches und eine mit den Löchern verbundene Saugvorrichtung zum Ansaugen der Schaltplatte, wobei die mehreren Löcher eine derartige Größe aufweisen, dass sie kein Verbiegen der Schaltplatte bewirken, das beim Ansaugen der Schaltplatte Belichtungsprobleme verur sachen kann.

Gemäß den Untersuchungen des Erfinders sollte der Durchmesser der Sauglöcher kleiner als 0,4 mm sein, um ein derartiges Verbiegen zu verhindern, das Belichtungsprobleme für die Schaltplatte mit einer Dicke von 50 µm, was ein Durchschnittswert für dünne Leiterplatten ist, verursachen kann. Derart kleine Löcher können einfach und kosten günstig durch ein Photolithographieverfahren gefertigt werden.

Bei der Erzeugung der kleinen Löcher durch das Photolithographieverfahren ist es von Vorteil, die Löcher in einer Metallplatte vorzusehen und diese als Saugplatte zu ver wenden.

Die Metall-Saugplatte, in der die kleinen Löcher ausgebildet sind, wird bevorzugt durch einen Tragkörper getragen, der wenigstens einen mit den Löchern verbundenen Saugraum aufweist. Der Saugraum kann an der einen Seite des Tragkörpers offen sein, und die Saugplatte kann auf diese Seite durch eine Klebeverbindung oder dergleichen gesetzt sein.

Die Öffnung, des wenigstens einen Saugraums muss im wesentlichen so klein sein, dass sie an der Metallplatte keine solchen Verbiegungen bewirkt, die beim Ansaugen Belichtungsprobleme verursachen können. Da jedoch die Metall-Saugplatte dicker als die Leiterplatten sein kann, zum Beispiel kann sie etwa 1 mm dick sein, ist es einfach, die Öffnung des Saugraums in einer solchen Größe auszubilden, dass sich die Saugplatte nicht verbiegt.

Der Tragkörper kann mit wenigstens einem Luftdurchgang versehen sein, der mit dem wenigstens einen Saugraum und der Vorrichtung zum Ansaugen der Schaltplatte ver bunden ist. Der Durchmesser des Luftdurchgangs ist vorzugsweise kleiner als der Saugraum, um die Festigkeit des Tragkörpers zu erhalten.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung;

Fig. 2 zeigt eine schematische Explosionsdarstellung eines wesentlichen Teils des Ausführungsbeispiels der Erfindung;

Fig. 3 zeigt eine ausschnittweise Schnittdarstellung des Ausführungsbeispiels der Erfindung; und

Fig. 4 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung eines weiteren Ausführungs beispiels der Erfindung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGS- BEISPIELE

Die Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen be schrieben. Fig. 1 zeigt den Entwurf eines Ausrichtgeräts.

Eine Schaltplatte W, die mit einem Schaltungsmuster bedruckt werden soll, ist auf einem Tisch 1 platziert. Die Schaltplatte W wird auf dem Tisch 1 durch Ansaugen an Saug löchern 20 einer in Fig. 2 dargestellten Saugplatte 2 gehalten. Bezugsziffer 10 bezeichnet ein Solenoid und Bezugsziffer 11 bezeichnet eine Vakuumvorrichtung.

Der Tisch 1 ist mit einer Transportvorrichtung 15 ausgerüstet, durch die er in XYZ- Achsenrichtungen bewegbar und in eine θ-Richtung drehbar ist.

Eine Maske 5 ist mit einem auf die Schaltplatte W zu druckenden Maskenmuster versehen. Die Maske 5 wird mit der Schaltplatte W ausgerichtet, indem der Tisch 1 durch die Transportvorrichtung 15 bewegt wird, welcher durch einen Bildprozessor 9 gesteuert wird, der Signale von einer CCD-Kamera 7 empfängt. Nach der Ausrichtung werden die Maske 5 und die Schaltplatte W einander angenähert, so dass sie sich berühren oder sehr nahe kommen. Bei solchen Positionen der Maske 5 und der Schaltplatte W sendet eine Belichtungs-Lichtquelle 6 Belichtungslicht aus und belichtet das Schaltungsmuster auf der Schaltplatte W.

Wie in Fig. 2 dargestellt, weist der Tisch 1 eine Saugplatte 2 und einen Tragkörper 3 auf. Die Platte 2 ist eine dünne Metallplatte, auf deren gesamter Oberfläche Sauglöcher 20 ausgebildet sind. Die Sauglöcher 20 werden vorzugsweise durch ein Photolithographie verfahren ausgebildet, weil das Verfahren die Löcher 20 bei geringen Kosten präzisen formen kann.

Der Durchmesser der Sauglöcher 20 beträgt vorzugsweise weniger als 0,4 µm. Die Lochgröße von weniger als 0,4 µm für eine Dicke von etwa 50 µm der Schaltplatte W bewirkt an der Schaltplatte W keine solchen Verbiegungen, die Belichtungsprobleme verursachen.

Der Tragkörper 3 weist (Hohl-)Räume 30 auf. Die Öffnungen der Räume 30 sind an einer Seite des Tragkörpers 3 offen, an der die Saugplatte 2 befestigt ist. Die Saugplatte 2 ist an der Seite des Tragkörpers 3 durch Kleben oder dergleichen befestigt.

Wie in Fig. 3 dargestellt, durchdringen die Räume 30 nicht den Tragkörper 3, sondern sind über Luftdurchgänge 31, die einen kleineren Durchmesser als die Räume 30 haben, mit einem Bodendurchgang 32 verbunden. Der Bodendurchgang 32 ist mit einem Anschlussdurchgang 33 verbunden, der mit dem Solenoid 10 und der Vakuumvorrichtung 11 verbunden ist, die in Fig. 1 dargestellt sind.

Die Festigkeit des Tragkörpers 3 kann erhalten werden, indem der Durchmesser der Luftdurchgänge 31 kleiner als der der Räume 30 gemacht wird. Die Durchmesser der Räume 30 können größer als die Sauglöcher 20 sein, solange die Größe nicht an der Platte 2 eine solche Verbiegung verursacht, die Belichtungsprobleme verursachen kann. Bei diesem Ausführungsbeispiel beträgt der Durchmesser der Räume 20 etwa 3 mm, während die Dicke der Saugplatte 2 etwa 1 mm beträgt.

Fig. 4 zeigt einen Tragkörper 3' eines weiteren Ausführungsbeispiels. Die Räume 30' sind nicht rund, sondern quadratisch. Für die Räume 30' kann grundsätzlich eine beliebige Form verwendet werden.

Bei den oben erläuterten Konstruktionen wird die Schaltplatte W, wenn die Schaltplatte W auf der Saugplatte 2 platziert ist und darauf durch Ansaugen mit der Vakuum vorrichtung 11 gehalten wird, nicht so gebogen, dass Belichtungsprobleme auftreten können, weil die Sauglöcher 20 so klein sind. Demzufolge kann der Belichtungsvorgang mit hoher Präzision durchgeführt werden.

Wie oben erläutert, bewirkt der erfindungsgemäße Schaltplattentisch für ein Ausricht gerät keine solchen Verbiegungen an der zu belichtenden Schaltplatte, die Belichtungs probleme verursachen können, und er kann die hochgenaue Belichtung erzielen.

Claims

1. Schaltplattentisch für ein Ausrichtgerät zur Herstellung von Leiterplatten, mit mehreren Löchern (20) zum Ansaugen der Schaltplatte (W) mit einer Öffnung an einer Oberfläche des Schaltplattentisches (1) und einer mit den Löchern verbundenen Saugvorrichtung (11) zum Ansaugen der Schaltplatte über die Löcher, wobei die mehreren Löcher (20) eine derartige Größe aufweisen, dass sie kein Verbiegen der Schaltplatte bewirken, das beim Ansaugen der Schaltplatte Belichtungsprobleme verursachen kann.

2. Schaltplattentisch für ein Ausrichtgerät zur Herstellung von Leiterplatten, mit einer Saugplatte (2) mit mehreren Löchern (20) zum Ansaugen der Schaltplatte (W) und einer mit den Löchern verbundenen Saugvorrichtung (11) zum Ansaugen der Schaltplatte über die Löcher, wobei die mehreren Löcher (20) eine derartige Größe aufweisen, dass sie kein Verbiegen der Schaltplatte bewirken, das beim Ansaugen der Schaltplatte Belichtungsprobleme verursachen kann.

3. Schaltplattentisch für ein Ausrichtgerät zur Herstellung von Leiterplatten, mit einer Saugplatte (2) mit mehreren Löchern (20) zum Ansaugen der Schaltplatte (W), einem Tragkörper (3, 3') mit wenigstens einem Saugraum (30, 30'), der mit den Löchern der Saugplatte zum Ansaugen der Schaltplatte verbunden ist, und einer mit den Löchern verbundenen Saugvorrichtung (11) zum Ansaugen der Schaltplatte über die Löcher, wobei die mehreren Löcher (20) eine derartige Größe aufweisen, dass sie kein Verbiegen der Schaltplatte bewirken, das beim Ansaugen der Schaltplatte Belichtungsprobleme verursachen kann.

4. Schaltplattentisch nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei der Durchmesser der Löcher (20) weniger als 0,4 mm beträgt.

5. Schaltplattentisch nach Anspruch 3 oder 4, wobei der wenigstens eine Saugraum (30, 30') an einer Seite des Tragkörpers (3, 3') offen ist und die Saugplatte (2) an dieser Seite des Tragkörpers befestigt ist.

6. Schaltplattentisch nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei die Größe des wenigstens einen Saugraums (30, 30') so klein ist, dass sie keine solche Verbiegung der Saugplatte (2) bewirkt, die Belichtungsprobleme verursachen kann.

7. Schaltplattentisch nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei der Tragkörper (3, 3') wenigstens einen mit dem wenigstens einen Saugraum (30, 30') verbundenen Luftdurchgang (31) aufweist, dessen Durchmesser kleiner als der Durchmesser des Saugraums ist.