-
Die Erfindung betrifft ein organisches lichtemittierendes Bauelement, das eine polymere Streufolie aufweist, und ein Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements, das eine polymere Streufolie aufweist.
-
In organischen lichtemittierenden Bauelementen, insbesondere in organischen Leuchtdioden (OLEDs) wird die generierte Strahlung nur zum Teil direkt ausgekoppelt. Es können folgende Verlustkanäle beobachtet werden: Wellenleitende Effekte des transparenten, im Strahlengang der emittierten Strahlung angeordneten Substrats, wellenleitende Effekte in den organischen Schichten und der transparenten, im Strahlengang der emittierten Strahlung angeordneten Elektrode, Absorptionsverluste aufgrund von Materialien, durch die die emittierte Strahlung hindurch tritt, und die Ausbildung von Oberflächenplasmonen, insbesondere an einer metallischen Elektrode, beispielsweise der Kathode. Ohne technische Hilfe kann solches Licht nicht aus der OLED ausgekoppelt werden.
-
Bislang werden zur Erhöhung der Lichtauskopplung beispielsweise Streupartikel auf der von Licht generierenden Schichten abgewandten Außenseite des Substrats aufgebracht oder Folien mit Oberflächenstrukturen wie beispielsweise Mikrolinsen auf die Substratseite aufgebracht. Damit kann jedoch nur eine Auskoppeleffizienz von circa 60 bis 70% des im Substrat geleiteten Lichts erreicht werden. Weiterhin ist das Erscheinungsbild der OLED wesentlich beeinflusst, da sich durch die Streuung eine milchige beziehungsweise diffus reflektierende Oberfläche im Aus-Zustand-Erscheinungsbild („Off-state-appearance”) ergibt.
-
Aufgabe einer Ausführungsform der Erfindung ist es, ein organisches lichtemittierendes Bauelement bereitzustellen, das eine verbesserte Effizienz bei der Lichtauskopplung aufweist. Aufgabe einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements mit verbesserter Effizienz der Lichtauskopplung. Diese Aufgaben werden durch ein organisches lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 1 sowie durch ein Verfahren gemäß Anspruch 10 gelöst. Weitere Ausführungsformen und Weiterbildungen des Bauelements und des Verfahrens sind Gegenstand abhängiger Ansprüche sowie der Beschreibung und der Zeichnungen.
-
Es wird ein organisches lichtemittierendes Bauelement angegeben, das ein Licht auskoppelndes Substrat und einen Licht erzeugenden Schichtstapel auf dem Licht auskoppelnden Substrat aufweist, wobei das Licht auskoppelnde Substrat eine polymere Streufolie umfasst.
-
Unter einem Licht auskoppelnden Substrat ist im Folgenden die Schicht zu verstehen, die die, optional mit einem transparentem Träger bedeckte Oberfläche des Bauelements bildet, aus der das emittierte Licht austritt und – für den Fall, dass das Bauelement sichtbares Licht erzeugt – für einen äußeren Betrachter sichtbar wird.
-
Das Licht auskoppelnde Substrat kann aus der polymeren Streufolie gebildet sein. Somit weist das Licht auskoppelnde Substrat ein polymeres Material mit Streueigenschaften auf.
-
Im Folgenden werden die Ausdrücke Licht auskoppelndes Substrat und polymere Streufolie synonym verwendet, wenn nichts anderes angegeben ist. Unter Streufolie kann auch ein Streufilm verstanden werden. Die Streufolie bzw. der Streufilm können freitragend ausgebildet sein.
-
Mit dem Begriff ”auf” wird im Folgenden sowohl die direkte Anordnung von Elementen mit einer gemeinsamen Grenzfläche verstanden als auch eine mittelbare Anordnung, bei der weitere Elemente zwischen den aufeinander angeordneten Elementen vorhanden sein können. Beispielsweise können weitere Schichten zwischen dem Licht auskoppelnden Substrat und dem Licht erzeugenden Schichtstapel vorhanden sein.
-
Durch die polymere Streufolie, auf der der Licht erzeugende Schichtstapel angeordnet ist, kann die Lichteinkopplung aus dem Licht erzeugenden Schichtstapel in die polymere Streufolie verbessert werden. Somit wird der Verlustkanal der wellenleitenden Effekte in dem Licht erzeugenden Schichtstapel verringert oder vermieden. Durch die Streueigenschaften der polymeren Streufolie kann weiterhin der Verlustkanal der wellenleitenden Effekte in dem Licht auskoppelnden Substrat selbst verringert beziehungsweise vermieden werden.
-
Gemäß einer Ausführungsform kann das Lichtauskoppelnde Substrat mit der von dem Licht erzeugenden Schichtstapel abgewandten Seite auf einem transparenten Träger aufgebracht sein. Der transparente Träger kann ein Material umfassen, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Glas und Kunststoffe umfasst. Der transparente Träger kann für von dem Licht erzeugenden Schichtstapel emittiertes Licht weitgehend oder vollständig durchlässig sein. Er kann weiterhin zur Stabilisierung und/oder zu besseren Handhabung des Bauelements dienen.
-
Damit wird eine Anordnung bereitgestellt, bei der eine Streufolie polymeres Material aufweist und innerhalb des Bauelements, also innerhalb des transparenten Trägers angeordnet ist. Somit wird vermieden, dass die äußere Oberfläche des transparenten Trägers, die für einen äußeren Betrachter sichtbar ist, im Aus-Zustand des Bauelements milchig oder diffus erscheint, da die Streueigenschaften aufweisende polymere Streufolie innerhalb des einen transparenten Träger umfassenden Bauelements und nicht an seiner Oberfläche vorhanden sind.
-
Es wird somit ein Bauelement bereitgestellt, das sowohl eine verbesserte Lichtauskopplung als auch ein hochwertigeres Aussehen aufweist. Trotz der verbesserten Lichtauskopplung durch die polymere Streufolie wird dem äußeren Betrachter eine glatte, glänzende Oberfläche des transparenten Trägers geboten, wodurch das Erscheinungsbild des Bauelements für einen äußeren Betrachter ansprechender wird. Dadurch, dass die Einkopplung des emittierten Lichts in das Licht auskoppelnde Substrat sowie die Auskopplung aus dem Licht auskoppelnden Substrat gegenüber herkömmlichen Substraten verbessert sind, kann eine höhere Auskoppeleffizienz erreicht werden.
-
Der Licht erzeugende Schichtstapel weist zumindest eine transparente erste Elektrode, die auf der polymeren Streufolie angeordnet ist, eine lichtemittierende Schicht, die beispielsweise auf der transparenten ersten Elektrode angeordnet ist, und eine zweite Elektrode, die beispielsweise auf der lichtemittierenden Schicht angeordnet ist, auf. Weitere organische Schichten, wie beispielsweise Lochinjektionsschichten, Lochtransportschichten, Elektroneninjektionsschichten, Elektronentransportschichten oder zusätzliche lichtemittierende Schichten, die beispielsweise Licht unterschiedlicher Wellenlängen emittieren, können ebenfalls in dem Licht erzeugenden Schichtstapel vorhanden sein.
-
Die transparente erste Elektrode kann beispielsweise eine Anode umfassen. Das Material der ersten Elektrode kann ein leitendes transparentes Oxid sein. Transparente leitende Oxide (transparent conductive oxides, kurz TCO) sind transparente, leitende Materialien, in der Regel Metalloxide, wie beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO). Ein weiteres Beispiel ist Aluminiumzinkoxid (AZO) oder Indiumzinkoxid (IZO). Neben binären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise ZnO, SnO2 oder In2O3 gehören auch ternäre Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder Mischungen unterschiedlicher transparenter leitender Oxide zu der Gruppe der TCOs. Weiterhin entsprechen die TCOs nicht zwingend einer stöchiometrischen Zusammensetzung und können auch p- oder n-dotiert sein. Ferner kann beispielsweise auch eine transparente Elektrodenschicht vorliegen, die aus einer dünnen Metallschicht, beispielsweise aus Aluminium, Barium, Indium, Silber, Gold, Magnesium, Calcium und Lithium sowie Kombinationen derselben besteht beziehungsweise, die ein derartiges Metall oder eine derartige Legierung enthält. Die transparente Elektrode kann weiterhin mehrere übereinander angeordnete Schichten umfassen, wobei abwechselnd dünne Metallfilme und TCO-Schichten übereinander angeordnet sind. Ein Beispiel für eine solche Schichtenfolge ist ITO-Ag-ITO. Weitere mögliche Materialien einer transparenten ersten Elektrode können ausgewählt sein aus Netzwerken aus metallischen Nanodrähten, beispielsweise aus Silber, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, Netzwerken aus Kohlenstoff-Nanoröhren, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, und aus Graphen-Schichten und Kompositen.
-
Die zweite Elektrode, die beispielsweise als Kathode ausgebildet ist, kann ein Metall aufweisen, das ausgewählt ist aus einer Gruppe, die Silber, Aluminium, Cadmium, Barium, Indium, Magnesium, Calcium, Lithium oder Gold umfasst. Die Kathode kann auch mehrschichtig ausgebildet sein. Die zweite Elektrode kann reflektierend ausgebildet sein. Soll die zweite Elektrode ebenfalls transparent ausgebildet sein, kann sie ebenso die in Bezug auf die transparente erste Elektrode genannten Materialien umfassen.
-
Die Licht emittierende Schicht kann weiterhin organisches oder organometallisches lichtemittierendes Material aufweisen, das beispielsweise aus phosphoreszenten oder fluoreszenten Metallkomplexen oder polymeren Materialien ausgewählt ist. Es kann weiterhin ein Matrixmaterial in der lichtemittierenden Schicht vorhanden sein, in dem das lichtemittierende Material eingelagert ist.
-
Gemäß einer Ausführungsform kann die polymere Streufolie einen größeren Brechungsindex aufweisen als Glas. Unter Glas soll hier Fensterglas oder gewöhnliches Displayglas verstanden werden. Mit Brechungsindex ist hier der Lichtbrechungsindex n gemeint, also der Brechungsindex im Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichts. Die Formulierung, dass eine Schicht einen Brechungsindex aufweist, bedeutet, dass diese Schicht ein Material aufweist, welches einen bestimmten Brechungsindex n aufweist. Glas weist einen Brechungsindex von etwa 1,52 auf. Da der Licht erzeugende Schichtstapel einen Brechungsindex von etwa 1,7 ≤ n ≤ 1,8, und die transparente Elektrode, beispielsweise eine aus TCOs gebildete Elektrode von etwa 1,8 ≤ n ≤ 2,0 aufweist, kann das emittierte Licht des Licht erzeugenden Schichtstapels schlecht oder nur teilweise in ein Substrat eingekoppelt werden, wenn das Substrat selbst einen wesentlich geringeren Brechungsindex, beispielsweise von ungefähr n = 1,52 im Fall von Glas aufweist. Aufgrund dieses Sprunges der Brechungsindizes wird emittiertes Licht zumindest teilweise an der Grenzfläche zwischen der transparenten Elektrode des Licht erzeugenden Schichtstapels und dem Substrat reflektiert und nicht in das Licht auskoppelnde Substrat eingekoppelt.
-
Das Licht auskoppelnde Substrat gemäß einer Ausführungsform umfasst die polymere Streufolie, die einen höheren Brechungsindex aufweist als herkömmliche Substrate, und bewirkt somit, dass emittiertes Licht des Licht erzeugenden Schichtstapels leichter in die polymere Streufolie eingekoppelt, dort gestreut und dann ausgekoppelt werden kann. Somit können Verlustkanäle aufgrund von Reflexion in dem Licht auskoppelnden Substrat selbst sowie aufgrund von Reflexion an der Grenzfläche zwischen Licht auskoppelndem Substrat und transparenter Elektrode vermindert beziehungsweise vermieden werden.
-
Der Brechungsindex n der polymeren Streufolie kann beispielsweise größer als 1,52 sein, vorzugsweise größer als 1,56, insbesondere größer als 1,65.
-
Die polymere Streufolie kann ein Material aufweisen, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Polyurethane, Polycarbonate, Polyimide, Polyolefine, Polyester, Polyethersulfon, Polyvinylchlorid, Polystyrol, Ethylen-Vinyl-Acetat-Copolymere, Fluorpolymere, Polyamide und Celluloseester umfasst. Diese Materialien können weiterhin Additive aufweisen. Beispielhafte Polyolefine sind Polyethylen, Polypropylen und Cycloolefin-Copolymere. Beispielhafte Polyester sind Polyethylenterephthalat und Polyethylennaphthalat. Geeignete Additive sind beispielsweise hochbrechende Nanopartikel, wie Zirkoniumoxid, Titandioxid oder Aluminiumoxid. Die polymere Streufolie kann aus diesen Materialien bestehen oder diese enthalten. Die polymere Streufolie kann auch mehrere Schichten aufweisen, die jeweils eines oder mehrere der oben genannten Polymere und gegebenenfalls Additive enthalten.
-
Werden Polycarbonate als Polymer der polymeren Streufolie gewählt, ist eine bessere Lichtauskopplung aus dem Licht erzeugenden Schichtstapel in das Licht auskoppelnde Substrat ermöglicht, da Polycarbonat einen Brechungsindex von etwa 1,56 bis 1,59 aufweist. Dieser ist höher als beispielsweise der Brechungsindex von Glas, aus dem herkömmliche Substrate beispielsweise gebildet sein können. Polyurethane weisen einen Brechungsindex n von bis zu 1,7 auf, der damit dem Brechungsindex der transparenten Elektrode noch näher kommt, womit eine sehr effiziente Lichtauskopplung aus dem Licht erzeugenden Schichtstapel in die polymere Streufolie ermöglicht wird.
-
Die Dicke der polymeren Streufolie kann gemäß einer Ausführungsform aus dem Bereich 20 μm bis 500 μm, beispielsweise aus dem Bereich 100 bis 150 μm, ausgewählt sein.
-
In der polymeren Streufolie können weiterhin Streupartikel vorhanden sein und/oder die von dem Licht erzeugenden Schichtstapel abgewandte Oberfläche der polymeren Streufolie kann Streustrukturen aufweisen. Streupartikel können beispielsweise aus Acrylaten, Lufteinschlüssen, Silikonen oder Siliziumdioxid gebildet sein. Weiterhin können Streupartikel Titandioxid, Zirkoniumoxid oder Aluminiumoxid Partikel umfassen. Weitere Materialien sind denkbar, solange sie einen von der polymeren Matrix oder der polymeren Matrix, die mit Additiven versehen ist, verschiednen Brechungsindex aufweisen. Streustrukturen können beispielsweise aus Linsen oder Pyramiden ausgewählt sein. Nichtperiodische Streustrukturen können beispielsweise mittels einer Walze, die eine Rauheit aufweist, in die polymere Streufolie eingebracht werden, bevor diese auf einen transparenten Träger aufgebracht wird. Streustrukturen und/oder Streupartikel verbessern die Streueigenschaften der polymeren Streufolie und somit die Auskopplung des Lichts aus dem Licht auskoppelnden Substrat.
-
Zwischen der polymeren Streufolie und dem Licht erzeugenden Schichtstapel kann mindestens eine weitere Schicht angeordnet sein, die aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Barriereschichten und Planarisierungsschichten umfasst.
-
Eine Planarisierungsschicht, die auf der polymeren Streufolie auf der dem Licht erzeugenden Schichtstapel zugewandten Seite der polymeren Streufolie aufgebracht ist, kann einen größeren oder gleichen Brechungsindex wie die polymere Streufolie aufweisen. Somit vermindert sie nicht die Funktion der polymeren Streufolie und kann gleichzeitig die Oberfläche der Streufolie planarisieren. Materialien einer Planarisierungsschicht können aus den Materialien der polymeren Streuschicht ausgewählt sein, wobei der Planarisierungsschicht vorzugsweise keine Streupartikel zugesetzt sind.
-
Auf der polymeren Streufolie kann zusätzlich oder alternativ zu der Planarisierungsschicht eine Barriereschicht angeordnet sein. Diese verhindert das Eindringen von Wasser und/oder Sauerstoff zu den organischen Schichten des Licht erzeugenden Schichtstapels. Eine Barriereschicht kann ein Material aufweisen, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Oxide, Nitride, Oxinitride, Siliziumoxide, Siliziumnitride und/oder Siliziumoxinitride umfasst, beispielsweise Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titandioxid, Hafniumoxid, Lanthaniumoxid umfasst. Die Barriereschicht kann beispielsweise mittels eines Atomlagenabscheidungsverfahrens (ALD) oder mittels Plasma enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) auf die polymere Streufolie oder auf die Planarisierungsschicht aufgebracht werden.
-
Auf der von der polymeren Streufolie abgewandten Seite des Licht erzeugenden Schichtstapels kann eine weitere Barriereschicht angeordnet sein, die den Licht erzeugenden Schichtstapel vor Sauerstoff und/oder Wasser schützt, indem sie deren Eindringen in den Licht erzeugenden Schichtstapel verhindert oder vermindert.
-
Der Schichtstapel und optional die weitere Barrierenschicht kann gemäß einer Ausführungsform von einer Deckschicht verkapselt sein. Die Deckschicht kann beispielsweise Glas aufweisen oder daraus bestehen.
-
Das organische lichtemittierende Bauelement kann beispielsweise eine organische Leuchtdiode (OLED) sein. Damit kann das organische lichtemittierende Bauelement Licht, beispielsweise in Längenwellen des sichtbaren Bereichs, emittieren.
-
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird ein Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements, das ein Licht auskoppelndes Substrat, das eine polymere Streufolie umfasst, aufweist, bereit gestellt. Das Verfahren umfasst die Verfahrensschritte
- A) Bereitstellen der polymeren Streufolie, und
- B) Aufbringen eines Licht erzeugenden Schichtstapels auf der polymeren Streufolie.
-
Mit dem Verfahren kann beispielsweise ein organisches lichtemittierendes Bauelement, beispielsweise eine OLED, gemäß den obigen Ausführungen hergestellt werden.
-
Mit den Ausdrücken „vor” und ”nach” wird im Folgenden eine zeitliche Reihenfolge der Verfahrensschritte angegeben.
-
Der Licht erzeugende Schichtstapel, der im Verfahrensschritt B) auf die polymere Streufolie aufgebracht wird, weist zumindest eine transparente erste Elektrode, die auf der polymeren Streufolie angeordnet ist, eine lichtemittierende Schicht, die beispielsweise auf der transparenten ersten Elektrode angeordnet ist, und eine zweite Elektrode, die beispielsweise auf der lichtemittierenden Schicht angeordnet ist, auf. Weitere organische Schichten, wie beispielsweise Lochinjektionsschichten, Lochtransportschichten, Elektroneninjektionsschichten, Elektronentransportschichten oder zusätzliche lichtemittierende Schichten, die beispielsweise Licht unterschiedlicher Wellenlängen emittieren, können ebenfalls in dem Licht erzeugenden Schichtstapel vorhanden sein.
-
Die zweite Elektrode kann reflektierend oder ebenfalls transparent ausgebildet sein. Wenn die zweite Elektrode reflektierend ausgebildet ist, kann sie ein Metall aufweisen, das ausgewählt ist aus einer Gruppe, die Silber, Aluminium, Cadmium, Barium, Indium, Magnesium, Calcium, Lithium oder Gold umfasst. Weiterhin kann die zweite Elektrode auch mehrschichtig ausgebildet sein. Soll die zweite Elektrode transparent ausgebildet sein, kann sie ein Material aufweisen, das aus den in Bezug auf die transparente erste Elektrode des Bauelements genannten Materialien ausgewählt ist, beispielsweise TCOs oder dünne Metallfilme.
-
Die Materialien der Schichten des Licht erzeugenden Schichtstapels können gemäß den obigen Ausführungen bezüglich des Licht erzeugenden Schichtstapels des organischen lichtemittierenden Bauelements ausgewählt sein.
-
Gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens wird in dem Verfahrensschritt A) die polymere Streufolie bereitgestellt. Die polymere Streufolie, unter der auch ein polymerer Streufilm verstanden werden kann, kann in einem getrennten Verfahrensschritt ohne Träger hergestellt werden, beispielsweise mit einem Verfahren wie Casting, Gießverfahren, Kalendrierung oder Extrusion. Somit kann sie als freitragende Folie ausgeformt sein.
-
Die polymere Streufolie kann ein Material aufweisen, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Polyurethane, Polycarbonate, Polyimide, Polyolefine, Polyester, Polyethersulfon, Polyvinylchlorid, Polystyrol, Ethylen-Vinyl-Acetat-Copolymere, Fluorpolymere, Polyamide und Celluloseester umfasst. Diese Materialien können mit Additiven, beispielsweise hochbrechende Nanopartikel, versehen sein. In das Material der polymeren Streufolie können beispielsweise Streupartikel eingebracht werden und/oder Streustrukturen auf eine Oberfläche, beispielsweise auf der von dem Licht erzeugenden Schichtstapel abgewandten Oberfläche der polymeren Streufolie, aufgebracht werden. Nichtperiodische Streustrukturen können beispielsweise mittels einer Walze, die eine Rauheit aufweist, in die polymere Streufolie eingebracht werden. Die polymere Streufolie kann mit einer Dicke, die aus dem Bereich 20 bis 500 μm, beispielsweise aus dem Bereich 100 bis 150 μm, ausgewählt ist, hergestellt werden.
-
Anschließend kann die polymere Streufolie planarisiert werden, was durch Beschichtung, Lamination oder Coextrusion mit einer Planarisierungsschicht durchgeführt werden kann. Planarisierungsschichten können ein Material aufweisen, das aus der Gruppe der Materialien der polymeren Streufolie ausgewählt ist, wobei das Material der Planarisierungsschicht bevorzugt keine Streupartikel aufweist.
-
Der Verfahrensschritt B) kann die Teilschritte B1) und B2) umfassen, wobei im Verfahrensschritt B1) auf der polymeren Streufolie eine transparente erste Elektrode angeordnet wird. Im Verfahrensschritt B2) werden organische Licht erzeugende Schichten und eine zweite Elektrode auf der transparenten ersten Elektrode aufgebracht. Das von der lichtemittierenden Schicht emittierte Licht kann somit durch die transparente Elektrode hindurch in die polymere Streufolie eingekoppelt werden.
-
Somit wird zunächst die transparente Elektrode auf der polymeren Streufolie angeordnet, bevor weitere Schichten des Licht erzeugenden Schichtstapels, wie beispielsweise lichtemittierende Schichten, Lochtransportschichten, Elektronentransportschichten, Lochinjektionsschichten, Elektroneninjektionsschichten und eine zweite Elektrode, die reflektierend oder transparent ausgebildet sein kann, aufgebracht werden. Die von der polymeren Streufolie abgewandte Seite des Licht erzeugenden Schichtstapels kann durch die zweite Elektrode gebildet werden.
-
Die transparente erste Elektrode kann beispielsweise eine Anode umfassen. Das Material der ersten Elektrode kann ein Material umfassen, das aus TCOs, beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO) ausgewählt ist. Ein weiteres Beispiel ist Aluminiumzinkoxid (AZO) oder Indiumzinkoxid (IZO). Neben binären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise ZnO, SnO2 oder In2O3 gehören auch ternäre Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder Mischungen unterschiedlicher transparenter leitender Oxide zu der Gruppe der TCOs. Weiterhin entsprechen die TCOs nicht zwingend einer stöchiometrischen Zusammensetzung und können auch p- oder n-dotiert sein. Ferner kann beispielsweise auch eine transparente Elektrodenschicht vorliegen, die aus einer dünnen Metallschicht, beispielsweise aus Aluminium, Barium, Indium, Silber, Gold, Magnesium, Calcium und Lithium sowie Kombinationen derselben besteht beziehungsweise, die ein derartiges Metall oder eine derartige Legierung enthält. Die transparente Elektrode kann weiterhin mehrere übereinander angeordnete Schichten umfassen, wobei abwechselnd dünne Metallfilme und TCO-Schichten übereinander angeordnet sind, beispielsweise die Schichtenfolge ist ITO-Ag-ITO. Weitere mögliche Materialien einer transparenten ersten Elektrode können ausgewählt sein aus Netzwerken aus metallischen Nanodrähten, beispielsweise aus Ag, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, Netzwerken aus Kohlenstoff-Nanoröhren, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, und aus Graphen-Schichten und Kompositen.
-
Die erste Elektrode kann beispielsweise auf die polymere Streufolie aufgesputtert werden. Die Abscheidung der transparenten Elektrode auf der polymeren Streufolie kann unstrukturiert oder strukturiert erfolgen. Wird die transparente Elektrode unstrukturiert auf die polymere Streufolie aufgebracht, kann sie nachträglich strukturiert werden.
-
Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vor dem Verfahrensschritt B) die polymere Streufolie strukturiert oder unstrukturiert auf einen transparenten Träger aufgebracht werden. Bevor die polymere Streufolie auf den transparenten Träger aufgebracht wird, kann sie also vereinzelt werden. So wird die polymere Streufolie in den Bereichen auf den transparenten Träger aufgebracht, die das später fertig gestellte Bauelement begrenzen.
-
Gemäß einer Ausführungsform kann die polymere Streufolie auf den transparenten Träger aufgebracht werden, bevor der Verfahrensschritt B) durchgeführt wird. Alternativ kann die polymere Streufolie auch nach dem Verfahrensschritt B), also zusammen mit dem Licht erzeugenden Schichtstapel auf den transparenten Träger aufgebracht werden.
-
Im Verfahrensschritt B) kann das Aufbringen des Licht erzeugenden Schichtstapels auf die polymere Streufolie ebenfalls strukturiert oder unstrukturiert erfolgen, also in strukturierter Form oder mit nachträglicher Strukturierung.
-
Gemäß einer Ausführungsform wird in einem auf den Verfahrensschritt B) folgenden Verfahrensschritt C) eine Verkapselung auf den Licht erzeugenden Schichtstapel aufgebracht. Dabei kann beispielsweise eine Deckschicht auf der von der polymeren Streufolie abgewandten Seite des Licht erzeugenden Schichtstapels aufgebracht werden, beispielsweise mittels Auflaminieren. Die Deckschicht kann beispielsweise Glas umfassen oder aus Glas bestehen. Das Aufbringen einer Deckschicht kann beispielsweise durchgeführt werden, wenn die polymere Streufolie auf den transparenten Träger aufgebracht wird, bevor der Licht erzeugende Schichtstapel auf die polymere Streufolie aufgebracht wird.
-
Wird der Verfahrensschritt B) durchgeführt, bevor die polymere Streufolie auf den transparenten Träger aufgebracht wird, kann die Verkapselung gemäß einer Ausführungsform gleichzeitig mit dem Aufbringen der polymeren Streufolie, auf der bereits der Licht erzeugende Schichtstapel aufgebracht ist, auf dem transparenten Träger erfolgen. Das bedeutet, die polymere Streufolie und der darauf aufgebrachte Licht erzeugende Schichtenstapel werden gleichzeitig zwischen einem transparenten Träger und beispielsweise einer Deckschicht verpackt. Sowohl der transparente Träger als auch die Deckschicht können dabei Glas umfassen.
-
Die Verkapselung kann im Verfahrensschritt C) mit einer Methode aufgebracht werden, die ausgewählt sein kann aus einer Gruppe, die Auflaminieren, Aufkleben und Auflöten umfasst. Beispielsweise kann ein Kavitätsglas aufgeklebt oder eine Deckschicht, die aus Glas besteht, aufgelötet werden.
-
Die Ausführungsform des Verfahrens, bei der die polymere Streufolie auf einen transparenten Träger aufgebracht wird bevor der Verfahrensschritt B) durchgeführt wird, ermöglicht die Nutzung der Prozesslinie, die für organische lichtemittierende Bauelemente ohne polymere Streufolie ausgelegt ist, und ist somit mit wenig Aufwand verbunden. In dieser Ausführungsform kann der transparente Träger Kavitäten, die beispielsweise mittels Ätzen oder Prägen hergestellt sind, aufweisen, in die selektiv die polymere Streufolie aufgebracht wird. Damit bleibt die Gesamtdicke des organischen lichtemittierenden Bauelements weitgehend unverändert gegenüber einem Bauelement ohne polymere Streufolie. Auch eine Barriereschicht auf der polymeren Streufolie wird bei der Benutzung von transparenten Trägern mit Kavitäten nicht benötigt.
-
Weitere Vorteile, vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den im Folgenden in Verbindung mit den Figuren und Beispielen beschriebenen Ausführungsformen.
-
1 schematische Seitenansicht eines herkömmlichen organischen lichtemittierenden Bauelements,
-
2 schematische Seitenansicht eines organischen lichtemittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform,
-
3 schematische Darstellung der Verfahrensschritte zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform,
-
4 schematische Darstellung der Verfahrensschritte zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements gemäß einer weiteren Ausführungsform.
-
Gleiche, gleichartige und gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Weiterhin ist zu beachten, dass die Figuren die gezeigten Bauelemente nicht notwendigerweise maßstabsgetreu darstellen.
-
1 zeigt die schematische Seitenansicht eines herkömmlichen organischen lichtemittierenden Bauelements am Beispiel einer OLED. Dabei bezeichnet das Bezugszeichen 1 das Substrat, das beispielsweise aus Glas besteht. Auf dem Substrat ist eine erste Elektrode 20, organische Schichten 30 und eine zweite Elektrode 40 angeordnet. Die organischen Schichten 30 umfassen eine lichtemittierende Schicht 32, eine erste Ladungstransportschicht 31 und eine zweite Ladungstransportschicht 33. Es können auch weitere organische Schichten, wie beispielsweise Ladungstransportinjektionsschichten oder Ladungstransportblockierschichten in den organischen Schichten 30 vorhanden sein (hier nicht gezeigt). Die erste Elektrode 20 ist transparent ausgeführt, so dass Licht, das in der emittierenden Schicht 32 erzeugt wird, durch die erste Elektrode 20 und das Substrat 1 hindurch emittiert werden kann. Diese Emission ist durch den Pfeil II schematisch dargestellt. Bei der ersten Elektrode 20 kann es sich beispielsweise um eine Anode handeln.
-
Der Übersichtlichkeit halber ist in dieser Figur nicht eine Verkapselung oder eine Deckschicht gezeigt, die jedoch vorhanden sein kann.
-
Eine solche OLED weist verschiedene Verlustkanäle auf, durch die in der Licht emittierenden Schicht 32 erzeugtes Licht für einen äußeren Betrachter verloren geht. Diese möglichen Verlustkanäle werden durch die Pfeile I, III, IV und V in 1 schematisch veranschaulicht.
-
Wellenleitende Effekte des transparenten, im Strahlengang des emittierten Lichts angeordneten Substrats 1 sind mit dem Pfeil III gekennzeichnet, wellenleitende Effekte in den organischen Schichten 30 und der transparenten, im Strahlengang des emittierten Lichts angeordneten Elektrode 20 sind mit dem Pfeil IV gekennzeichnet, Absorptionsverluste aufgrund von Materialien der organischen Schichten 30 oder des Substrats 1 sind mit dem Pfeil I gekennzeichnet, und die Ausbildung von Oberflächenplasmonen, insbesondere an einer metallischen Elektrode, beispielsweise der Kathode 40 sind mit dem Pfeil V gekennzeichnet.
-
Organische lichtemittierende Bauelemente gemäß Ausführungsformen der Erfindung können insbesondere die Verlustkanäle III und IV vermindern oder verhindern.
-
In 2 ist die schematische Seitenansicht eines organischen lichtemittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform der Erfindung am Beispiel einer OLED gezeigt. Dieses weist einen transparenten Träger 10, eine erste Elektrode 20, organische Licht erzeugende Schichten 30, und eine zweite Elektrode 40 auf. Der transparente Träger 10 kann beispielsweise aus Glas oder Kunststoff gefertigt sein und durchlässig für in den organischen Licht erzeugenden Schichten 30 erzeugtes Licht sein.
-
Die erste Elektrode 20 ist transparent ausgebildet und kann beispielsweise eine Anode umfassen. Das Material der ersten Elektrode 20 ist ausgewählt aus einem leitenden transparenten Oxid (TCO), beispielsweise aus Metalloxiden, wie beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO), Aluminiumzinkoxid (AZO) oder Indiumzinkoxid (IZO), binären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise ZnO, SnO2 oder In2O3, ternären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder aus Mischungen unterschiedlicher transparenter leitender Oxide. Die erste Elektrode 20, die transparent ausgebildet ist, kann alternativ auch eine dünne Metallschicht, beispielsweise aus Aluminium, Barium, Indium, Silber, Gold, Magnesium, Calcium und Lithium sowie Kombinationen derselben besteht beziehungsweise, die ein derartiges Metall oder eine derartige Legierung enthält. Die transparente Elektrode kann weiterhin mehrere übereinander angeordnete Schichten umfassen, wobei abwechselnd dünne Metallfilme und TCO-Schichten übereinander angeordnet sind. Ein Beispiel für eine solche Schichtenfolge ist ITO-Ag-ITO. Weitere mögliche Materialien der transparenten ersten Elektrode 20 können ausgewählt sein aus Netzwerken aus metallischen Nanodrähten, beispielsweise aus Ag, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, Netzwerken aus Kohlenstoff-Nanoröhren, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, und aus Graphen-Schichten und Kompositen.
-
Die zweite Elektrode 40, die beispielsweise als Kathode ausgebildet ist, kann ein Metall aufweisen, das ausgewählt ist aus einer Gruppe, die Silber, Aluminium, Cadmium, Barium, Indium, Magnesium, Calcium, Lithium oder Gold umfasst. Die Kathode kann auch mehrschichtig ausgebildet sein. Die zweite Elektrode 40 kann reflektierend oder transparent ausgebildet sein. Ist die zweite Elektrode 40 transparent ausgebildet, kann sie die bezüglich der transparenten ersten Elektrode 20 genannten Materialien aufweisen.
-
Die organischen Licht erzeugenden Schichten 30 können eine lichtemittierende Schicht 32, umfassen, die organisches oder organometallisches lichtemittierendes Material aufweist, das beispielsweise aus phosphoreszenten oder fluoreszenten Metallkomplexen oder polymeren Materialien ausgewählt ist. Beispiele für polymere Verbindungen sind Derivate von Polyfluoren, Polythiophen und Polyphenylen, Beispiele für phosphoreszente Verbindungen sind Ir(ppy)3 (Tris(2-phenylpyridin)iridium(III)), Tris(8-hydroxychinolato)aluminium (III) oder Ru(dtb-bpy)3·2(PF6) (Tris[4,4'-di-tert-butyl-(2,2')-bipyridin]ruthenium(III)komplex), Beispiele für fluoreszente Verbindungen sind BCzVBi (4,4'-Bis(9-ethyl-3-carbazovinylen)-1,1'-biphenyl) oder DPAVBi 4,4-Bis[4-(di-p-tolylamino)styryl]biphenyl. Die lichtemittierende Schicht 32 kann weiterhin ein Matrixmaterial umfassen, in dem das lichtemittierende Material eingelagert ist.
-
Weitere mögliche organische Licht erzeugende Schichten 30, die in einem Bauelement gemäß 2 vorhanden sein können, hier aber der Übersichtlichkeit halber nicht explizit gezeigt sind, umfassen beispielsweise Ladungstransportschichten oder Ladungsinjektionsschichten.
-
Zwischen dem transparenten Substrat 10 und der ersten Elektrode 20 sind eine polymere Streufolie 500, eine Planarisierungsschicht 510 und eine Barriereschicht 520 angeordnet. Eine weitere Barriereschicht 520 befindet sich zwischen der zweiten Elektrode 40 und einer Deckschicht 100.
-
Die polymere Streufolie 500 weist ein Material auf, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Polyurethane, Polycarbonate und Polyimide, Polyolefine, Polyester, Polyethersulfon, Polyvinylchlorid, Polystyrol, Ethylen-Vinyl-Acetat-Copolymere, Fluorpolymere, Polyamide und Celluloseester umfasst. Diese Materialien können weiterhin noch Additive umfassen. Beispielhafte Polyolefine sind Polyethylen, Polypropylen und Cycloolefin-Copolymere. Beispielhafte Polyester sind Polyethylenterephthalat und Polyethylennaphthalat. Geeignete Additive sind beispielsweise hochbrechende Nanopartikel, wie Zirkoniumoxid, Titandioxid oder Aluminiumoxid. Werden Polycarbonate als Polymer der polymeren Streufolie 500 gewählt, ist eine bessere Lichtauskopplung aus den organischen Licht erzeugenden Schichten 30 und der transparenten ersten Elektrode 20 in die polymere Streufolie 500, die das Licht auskoppelnde Substrat des Bauelements darstellt, ermöglicht, da Polycarbonat einen Brechungsindex von etwa 1,56 bis 1,59 aufweist, was dem Brechungsindex von etwa 1,8 bis 2 der transparenten ersten Elektrode 20 ähnlicher ist, als beispielsweise der Brechungsindex von Glas mit etwa 1,52, aus dem herkömmliche Substrate gebildet sind.
-
Polyurethane weisen einen Brechungsindex n von bis zu 1,7 auf, der damit dem Brechungsindex der ersten Elektrode 20 noch näher kommt, womit eine sehr effiziente Lichtauskopplung aus den organischen Licht erzeugenden Schichten 30 und der ersten Elektrode 20 in die polymere Streufolie 500 ermöglicht wird.
-
Die Dicke der polymeren Streufolie 500 ist aus dem Bereich 20 μm bis 500 μm, beispielsweise aus dem Bereich 100 bis 150 μm, ausgewählt.
-
In der polymeren Streufolie 500 können weiterhin Streupartikel vorhanden sein und/oder die von dem Licht erzeugenden Schichtstapel abgewandte Oberfläche der polymeren Streufolie 500 kann Streustrukturen aufweisen (hier der Übersichtlichkeit halber nicht gezeigt). Streupartikel können beispielsweise aus Acrylaten, Lufteinschlüssen, Silikonen oder Siliziumdioxid gebildet sein. Weiterhin können Streupartikel Titandioxid Zirkoniumoxid oder Aluminiumoxid Partikel umfassen. Weitere Materialien sind denkbar, solange sie einen von der polymeren Matrix oder der polymeren Matrix, die mit Additiven versehen ist, verschiednen Brechungsindex aufweisen. Streustrukturen können beispielsweise aus Linsen oder Pyramiden ausgewählt sein.
-
Zwischen der polymeren Streufolie 500 und der ersten Elektrode 20 sind weiterhin eine Planarisierungsschicht 510 und eine Barriereschicht 520 angeordnet. Diese Schichten sind optional und können auch nur einzeln in dem Bauelement vorhanden sein.
-
Die Planarisierungsschicht 510, die auf der polymeren Streufolie 500 aufgebracht ist, weist einen größeren oder gleichen Brechungsindex als die polymere Streufolie 500 auf. Somit vermindert sie nicht die Funktion der polymeren Streufolie 500 und kann gleichzeitig die Oberfläche der Streufolie 500 planarisieren. Die Planarisierungsschicht 510 enthält beispielsweise als Material Polycarbonate, Polystyrol oder Polyimid oder eines der für die Streufolie genannten Materialien.
-
Die Barriereschichten 520 verhindern das Eindringen von Wasser und/oder Sauerstoff zu den organischen Licht erzeugenden Schichten 30. Die Barriereschicht 520 weist beispielsweise ein Material auf, das aus Oxiden, Nitriden, Oxinitriden, Siliziumoxiden, Siliziumnitriden und/oder Siliziumoxinitriden ausgewählt ist, beispielsweise aus Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Lanthaniumoxid.
-
Weiterhin ist in 2 die Deckschicht 100 gezeigt. Diese verkapselt das Bauelement und kann beispielsweise aus Glas gebildet sein.
-
3 zeigt schematisch die Verfahrensschritte zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens.
-
Im Verfahrensschritt A) wird die polymere Streufolie 500, deren Material beispielsweise Polyimide, Polycarbonate oder Polyurethane oder eines der weiteren im Zusammenhang mit der in 2 beschriebenen polymeren Streufolie 500 genannten Materialien aufweisen kann, hergestellt. Dabei kann sie beispielsweise mit Streupartikeln und/oder mit Streustrukturen versehen werden. Streupartikel können beispielsweise aus Acrylaten, Titandioxid oder Aluminiumoxid gebildet sein. Die Materialien der polymeren Streufolie 500 und der Streupartikel können weiterhin aus den bezüglich 2 genannten Materialien ausgewählt werden. Streustrukturen können beispielsweise aus Linsen oder Pyramiden ausgewählt sein. Die Streustrukturen können beispielsweise mittels einer Walze, die eine Rauheit auf ihrer Oberfläche aufweist, auf die polymere Streufolie 500 aufgebracht werden. Die polymere Streufolie 500 wird mit einer Dicke von 20 bis 500 μm, insbesondere 100 bis 150 μm, hergestellt.
-
Im Verfahrensschritt P) wird die polymere Streufolie 500 planarisiert. Dies kann beispielsweise durch Beschichten oder Auflaminieren einer Planarisierungsschicht 510 oder mittels Coextrusion einer Planarisierungsschicht 510 durchgeführt werden. Auf die Planarisierungsschicht 510 kann weiterhin eine Barriereschicht 520 aufgebracht werden. Die Materialien der Planarisierungsschicht 510 und der Barriereschicht 520 können gemäß der in Bezug auf die 1 und 2 genannten Materialien für Planarisierungs- bzw. Barriereschichten ausgewählt werden.
-
Im Verfahrensschritt B1) wird die polymere Streufolie 500 mit einer transparenten, ersten Elektrode 20 beschichtet. Dazu kann beispielsweise ein TCO, beispielsweise AZO, IZO oder ITO, oder eines der im Zusammenhang mit der in 2 beschriebenen transparenten, ersten Elektrode 20 genannten Materialien auf die polymere Streufolie 500 beispielsweise aufgesputtert werden. Das Aufbringen der transparenten ersten Elektrode 20 erfolgt entweder vollflächig auf der ganzen polymeren Streufolie 500 oder strukturiert. Bei der vollflächigen Abscheidung folgt darauf eine nachträgliche Strukturierung der transparenten ersten Elektrode 20.
-
Im darauf folgenden Verfahrensschritt B2) werden die organischen Licht erzeugenden Schichten 30 sowie die zweite Elektrode 40 des Schichtstapels auf die transparente erste Elektrode 20 aufgebracht. Die organischen Licht erzeugenden Schichten umfassen dabei beispielsweise lichtemittierende Schichten 30, eine erste Ladungstransportschicht 31 und eine zweite Ladungstransportschicht 32, die beispielsweise Lochtransportschichten und Elektronentransportschichten umfassen können.
-
Nach dem Verfahrensschritt B) erfolgt die Vereinzelung V, sodass einzelne OLEDs auf der polymeren Streufolie 500 entstehen.
-
Schließlich werden die einzelnen OLEDs im Verfahrensschritt C) verpackt. In dieser Ausführungsform des Verfahrens ist das Aufbringen einer Verpackung mit dem Verfahrensschritt T) verbunden, in dem die polymere Streufolie 500 und der darauf aufgebrachte Schichtstapel auf einen transparenten Träger 10 aufgebracht werden. Somit erfolgt das Aufbringen der polymeren Streufolie 500 auf einen transparenten Träger 10 entweder zeitgleich oder vor oder nach dem Aufbringen einer Deckschicht 100 auf die zweite Elektrode 40. In dem kombinierten Verfahrensschritt C) und T) kann beispielsweise die polymere Streufolie 500 mit dem darauf aufgebrachten Schichtstapel aus erster Elektrode 20, organische Licht erzeugende Schichten 30 und zweiter Elektrode 40 zwischen zwei Glasschichten laminiert werden.
-
4 zeigt eine weitere Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Bauelements.
-
Die Durchführung und Reihenfolge der Verfahrensschritt A) und P erfolgt analog den Ausführungen zu der 4. Nach dem Verfahrensschritt B) wird nun die polymere Streufolie 500 auf einen transparenten Träger 10 aufgebracht und vereinzelt in dem kombinierten Verfahrensschritt T) und V). Die Aufbringung kann vollflächig oder strukturiert erfolgen, und somit die Vereinzelung gleichzeitig mit der Aufbringung der polymeren Streufolie 500 auf den transparenten Träger 10 erfolgen, oder nach der Aufbringung.
-
Bei einer vollflächigen Aufbringung kann die polymere Streufolie 500 nachträglich so strukturiert werden, dass sie sich in den Bereichen auf dem transparenten Träger 10 befindet, in denen bei den auf dem transparenten Träger fertig gestellten Bauelementen die aktiven Bereiche sind, also wo Licht durch die polymere Streufolie 500 hindurch emittiert wird. Bei einer strukturierten Aufbringung der polymeren Streufolie 500 auf den transparenten Träger 10 kann die polymere Streufolie direkt auf die gewünschten Bereiche aufgebracht werden. Der transparente Träger 10 kann in diesen Bereichen auch geätzte oder geprägte Kavitäten aufweisen, so dass die polymere Streufolie 500 in diese Kavitäten aufgebracht werden kann, was sich günstig für die Gesamtdicke des Bauelements auswirkt.
-
Auf den kombinierten Verfahrensschritt T) und V) folgen die Verfahrensschritte B1) und B2) gemäß den Ausführungen in Bezug auf 3.
-
Schließlich erfolgt der Verfahrensschritt C), die Aufbringung einer Verpackung. Da in dieser Ausführungsform des Verfahrens die polymere Streufolie 500 und die Schichtenfolge aus erster und zweiter Elektrode 20, 40 und den dazwischen angeordneten organischen Licht erzeugenden Schichten 30 bereits auf einen transparenten Träger 10 aufgebracht sind, umfasst die Verpackung in diesem Fall das Aufbringen einer Deckschicht 100, beispielsweise das Auflaminieren einer Glasschicht oder eines Kavitätsglases.
-
Mit den Verfahrensvarianten können zusätzliche Schichten in die Schichtenfolge eingebracht werden, auch wenn diese hier nicht explizit genannt wurden.
-
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt, vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.
-
Bezugszeichenliste
-
- 1
- Substrat
- 10
- Träger
- 20
- transparente erste Elektrode
- 30
- Licht erzeugender organischer Schichtstapel
- 31
- erste Ladungstransportschicht
- 32
- lichtemittierende Schicht
- 33
- zweite Ladungstransportschicht
- 40
- zweite Elektrode
- 100
- Deckschicht
- 500
- polymere Streufolie
- 510
- Planarisierungsschicht
- 520
- Barriereschicht