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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
Erfindung betrifft eine Gegenstandtransportanlage, die einen beweglichen
Gegenstandtransportkörper beinhaltet, der entlang einem
an einer Decke installierten Weg beweglich ist, eine vertikal bewegliche
Greifeinrichtung, die am beweglichen Körper vorgesehen
ist und konfiguriert ist, um einen Gegenstand zu greifen und aufzuhängen,
eine Gegenstandträgereinrichtung, die an der Decke installiert ist,
um einen Gegenstand zu verwahren, wobei die Gegenstandträgereinrichtung
konfiguriert ist, um zwischen einer Gegenstandtransferposition zum
Transferieren eines Gegenstandes zur Greifeinrichtung des beweglichen
Körpers hin und von dieser weg, bei einem Gegenstandtransferort
entsprechend der Gegenstandträgereinrichtung, und einer
Gegenstandaufbewahrungsposition verschoben zu werden.
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Eine
Gegenstandtransportanlage, wie oben angegeben, beinhaltet eine Mehrzahl
von Gegenstandtransferstationen, die auf einem Boden und entlang
dem Weg angeordnet sind. Der bewegliche Körper bewegt sich
entlang dem Weg und bewegt die Greifeinrichtung in vertikaler Richtung,
um die Gegenstände zwischen den Stationen zu transportieren.
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Die
Gegenstandträgereinrichtungen zum Aufbewahren von Gegenständen
sind vorgesehen, um Gegenstände vorübergehend
aufzubewahren, die zu den Stationen transportiert werden sollen.
Die Gegenstandträgereinrichtungen befinden sich für
gewöhnlich in Gegenstandaufbewahrungspositionen, beispielsweise
an einer Seite des Weges, um mit einer Bewegung des beweglichen
Körpers nicht in Konflikt zu kommen. Jede Gegenstandträgereinrichtung
wird aus der Artikelaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition
verschoben, wenn ein Artikel auf der Gegenstandträgereinrichtung
aufbewahrt wird oder ein auf dieser aufbewahrter Gegenstand transportiert
werden soll. Dann wird der Gegenstand von der Greifeinrichtung des mobilen Körpers
zur Gegenstandträgereinrichtung, oder umgekehrt, transferiert.
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Bei
einer herkömmlichen Gegenstandtransportanlage beinhaltet
jede Gegenstandträgereinrichtung einen plattenartigen Rahmen,
um die Unterseite eines Gegenstandes aufzunehmen und zu tragen,
einen Gelenkmechanismus, der um eine horizontale Achse relativ zur
Decke schwenkbar ist, um den plattenartigen Rahmen aufzuhängen
und zu tragen, so dass er zu dem am Gegenstandtransferort stillstehenden
beweglichen Körper hin und von diesem weg bewegt werden
kann, und einen Hydraulikzylinder, der den Gelenkmechanismus veranlasst,
den plattenartigen Rahmen zum beweglichen Körper hin und von
diesem weg zu bewegen, wodurch die Gegenstandträgereinrichtung
zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition und der Gegenstandtransferposition
verschoben wird (siehe beispielsweise
JP 10-45213 ).
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Wenn
ein Gegenstand auf der Gegenstandträgereinrichtung aufbewahrt
wird oder ein auf dieser aufbewahrter Gegenstand transportiert wird,
wird der Hydraulikzylinder betätigt, um den Gelenkmechanismus
um die horizontale Achse zu schwenken, um den plattenartigen Rahmen
zu dem an der Gegenstandtransferstation stillstehenden beweglichen
Körper hin und von diesem weg zu bewegen, wodurch die Gegenstandträgereinrichtung
aus der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition
verschoben wird. Danach wird die Greifeinrichtung des beweglichen
Körpers in vertikaler Richtung bewegt, um den Gegenstand
von der Greifeinrichtung an den plattenartigen Rahmen zu liefern,
oder um den Gegenstand vom plattenartigen Rahmen an der Greifeinrichtung
entgegenzunehmen.
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Bei
der zuvor erwähnten herkömmlichen Gegenstandtransportanlage
ist das Element, das die Unterseite eines Gegenstandes aufnimmt
und trägt, ein einziger plattenartiger Rahmen, und somit
weist dieses Element großes Gewicht auf. Der Gelenkmechanismus,
der den plattenartigen Rahmen auf hängt und lagert, muss
stark genug sein, um die große Last zu tragen. Dies führt
zu einer große Ausmaße aufweisenden Konstruktion,
die auch kompliziert sein kann.
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Bei
der herkömmlichen Gegenstandtransportanlage kann, da der
plattenartige Rahmen die Unterseite eines Gegenstandes trägt,
der lediglich auf diesem aufliegt, der Gegenstand rutschen, während
eine Bewegung zum beweglichen Körper hin und von diesem
weg erfolgt. Wenn die Gegenstandträgereinrichtung in die
Gegenstandtransferposition verschoben wird, führt ein Rutschen
dazu, dass der Gegenstand von einer korrekten Position für
einen Transfer zur Greifeinrichtung hin und von dieser weg abweicht.
Dann besteht eine Möglichkeit, dass die Greifeinrichtung
den Gegenstand von der Gegenstandträgereinrichtung nicht
in korrekter Weise empfangen kann.
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INHALT DER ERFINDUNG
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Diese
Erfindung erfolgte in Bezug auf den zuvor erwähnten Stand
der Technik, und ihr Ziel besteht darin, eine Gegenstandtransportanlage
bereitzustellen, die ein Rutschen eines Gegenstandes auf einer Gegenstandträgereinrichtung
verhindern kann, während das Gewicht der Gegenstandträgereinrichtung
verringert wird.
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Um
das zuvor angegebene Ziel zu erreichen, beinhaltet eine Gegenstandtransportanlage:
einen beweglichen Gegenstandtransportkörper, der entlang
einem an einer Decke installierten Weg beweglich ist; eine vertikal
bewegliche Greifeinrichtung, die am beweglichen Körper
vorgesehen ist und konfiguriert ist, um einen Gegenstand zu greifen
und aufzuhängen; und eine Gegenstandträgereinrichtung,
die an der Decke installiert ist, um einen Gegenstand aufzubewahren.
Die Gegenstandträgereinrichtung ist konfiguriert, um zwischen
einer Gegenstandtransferposition zum Transferieren eines Gegenstandes
zur Greifeinrichtung des beweglichen Körpers hin und von
dieser weg, bei einem Gegenstandtransferort entsprechend der Gegenstand trägereinrichtung,
und einer Gegenstandaufbewahrungsposition verschoben zu werden,
wobei die Gegenstandträgereinrichtung einen an der Decke
installierten feststehenden Rahmen und einen beweglichen Rahmen
beinhaltet, der bewegliche Rahmen ist am feststehenden Rahmen für
eine Bewegung in Jenseits-Diesseits-Richtung bezüglich
des beweglichen Körpers beim Gegenstandtransferort gelagert,
und der bewegliche Rahmen weist ein Paar von Trägerarmabschnitten auf,
die sich in Jenseits-Diesseits-Richtung erstrecken, und das Paar
von Trägerarmabschnitten sind durch eine Mehrzahl von Verbindungsrahmen
miteinander verbunden, die voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung
beabstandet sind und die ein Gewicht des Gegenstandes aufnehmen.
Eine Mehrzahl von hervorstehenden Gegenstandpositionierelementen, die
konfiguriert sind, um mit einer Unterseite des Gegenstandes in Eingriff
zu kommen, sind so vorgesehen, dass sie durch die Mehrzahl von Verbindungsrahmen
getragen werden und durch ein Positionseinstellelement in einer
korrekten Relativpositionsbeziehung gehalten werden, wobei die Gegenstandpositionierelemente
in Jenseits-Diesseits-Richtung und einer dazu senkrechten Richtung
verteilt sind.
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Das
heißt, der bewegliche Rahmen ist durch den feststehenden
Rahmen so gelagert, dass er in der Jenseits-Diesseits-Richtung beweglich
ist, und das Paar von Trägerarmabschnitten, die am beweglichen
Rahmen vorgesehen sind, sind durch eine Mehrzahl von Verbindungsrahmen
untereinander verbunden, die voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung
beabstandet angeordnet sind. Die Mehrzahl von Verbindungsrahmen
kann zusammenarbeiten, um die Unterseite des darauf platzierten
Behälters zu tragen. Der durch die Mehrzahl von Verbindungsrahmen
getragene Gegenstand kann in Jenseits-Diesseits-Richtung dadurch
bewegt werden, dass der bewegliche Rahmen in Jenseits-Diesseits-Richtung
relativ zum feststehenden Rahmen bewegt wird. Somit dienen die Mehrzahl
von Verbindungsrahmen, die voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung
beabstandet angeordnet sind, als Vorrichtung zum Aufnehmen und Tragen
der Unterseite des Gegenstandes, wodurch eine Gewichtsverringerung
der Vorrichtung zum Aufnehmen und Tragen der Unterseite des Gegenstandes
realisiert wird.
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Jeder
der Verbindungsrahmen zum Tragen der Unterseite des Gegenstandes
weist eine Mehrzahl von hervorstehenden Gegenstandpositionierungselementen
auf. Diese Gegenstandpositionierungselemente kommen mit der Unterseite
des Gegenstandes in Eingriff, wodurch der Gegenstand getragen wird,
während er durch die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
positioniert wird. Dies verhindert eine unerwünschte Bewegung
des Gegenstandes.
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Um
den Gegenstand in eine korrekte Position zu bringen, wenn der Gegenstand
platziert ist und getragen wird und dabei durch die Mehrzahl von
Gegenstandpositionierelementen positioniert wird, ist es erforderlich,
die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen in einer korrekten
relativen Positionsbeziehung zu installieren, in der die Positionierelemente
in der Jenseits-Diesseits-Richtung und der Richtung senkrecht zu
dieser verteilt sind.
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Jedoch
muss, da die Mehrzahl von Verbindungsrahmen die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
tragen, die Relativpositionsbeziehung der Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen angepasst
werden, und dabei die Relativpositionsbeziehung der Mehrzahl von
Verbindungsrahmen berücksichtigt werden. Dies macht eine
Installation der Mehrzahl von Gegenstandtransportelementen schwierig.
Eine Operation zum Installieren der Gegenstandpositionierelemente
muss an einem hohen Ort benachbart zur Decke ausgeführt
werden. Es ist erwünscht, die Operation zum Installieren
der Gegenstandpositionierelemente zu vereinfachen.
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Somit
tragen die Mehrzahl von Verbindungsrahmen die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen,
die durch das Positionseinstellelement in der korrekten Relativpositionsbeziehung
gehalten werden, verteilt in der Jenseits-Diesseits-Richtung und
der Richtung senkrecht zu dieser. Die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
kann in der korrekten Relativpositionsbeziehung installiert werden,
und zwar lediglich durch Installieren des Positionseinstellelementes,
welches die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen in der korrekten
Relativpositionsbeziehung hält.
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Wie
zuvor angegeben, stellt die Erfindung eine Gegenstandtransportanlage
bereit, die eine Bewegung des Gegenstandes auf der Gegenstandträgereinrichtung
verhindern kann, wobei dabei eine Verringerung des Gewichtes der
Gegenstandträgereinrichtung realisiert wird, und kann auch
eine Installation der Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
vereinfachen.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung weist jedes der Gegenstandpositionierelemente
einen auf einer Unterseite von diesem ausgebildeten Vorsprung auf,
der einen geringen Durchmesser aufweist, um in eine im Positionseinstellelement
ausgebildete Positionierbohrung eingesetzt zu werden, und dessen
Länge gleich groß oder kleiner als eine Dicke des
Positionseinstellelementes ist, und die Gegenstandpositionierelemente
werden an den Verbindungsrahmen mittels Bolzen befestigt, während
das mit den Gegenstandpositionierelementen ausgerüstete
Positionseinstellelement auf den Verbindungsrahmen platziert ist,
wobei die Bolzen konfiguriert sind, um in Bolzenaufnahmebohrungen,
die in den Verbindungsrahmen ausgebildet sind, von unten her nach
oben eingeführt zu werden und um mit Unterseiten der Gegenstandpositionierelemente
verschraubbar in Eingriff zu kommen.
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Das
heißt, jedes Gegenstandpositionierelement wird in das Positionseinstellelement
eingesetzt, wobei der auf dem Boden von diesem ausgebildete Vorsprung
in eine im Positionseinstellelement ausgebildete Bohrung passt.
Dadurch, dass das Positionseinstellelement, das mit den Gegenstandpositionierelementen
ausgerüstet ist, auf den Verbindungsrahmen platziert wird,
können die Befestigungsbolzen die in den Verbindungsrahmen
ausgebildeten Bolzenaufnahmebohrungen von unten her nach oben durchdringen.
Wenn sich die Befestigungsbolzen von unten her nach oben erstrecken
und mit den Unterseiten der Gegenstandpositionierelemente in Eingriff sind,
können die Gegenstandpositionierelemente an den Verbindungsrahmen
befestigt werden, wobei das Positionseinstellelement zwischen den
Gegenstandpositionierelementen und den Verbindungsrahmen straff
festgehalten wird.
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Es
ist denkbar, das Positionseinstellelement und die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
beispielsweise dadurch zu installieren, dass das Positionseinstellelement
an den Verbindungsrahmen durch Bolzen befestigt wird, und die Gegenstandpositionierelemente
mittels Bolzen an dem Positionseinstellelement zu befestigen, das
an den Verbindungsrahmen mittels Bolzen befestigt ist. In diesem Fall
ist es jedoch erforderlich, eine Operation auszuführen,
um das Positionseinstellelement an den Verbindungsrahmen mittels
Bolzen zu verbinden, und eine Operation, um die Gegenstandpositionierelemente
am Positionseinstellelement mittels Bolzen zu befestigen, was zu
einer komplizierten Installationsarbeit führt.
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Andererseits
können das Positionseinstellelement und die Mehrzahl von
Gegenstandpositionierelementen lediglich dadurch installiert werden,
dass das Positioniereinstellelement, das mit den Gegenstandpositionierelementen
ausgerüstet ist, auf den Verbindungsrahmen platziert werden,
und Gegenstandpositionierelemente an den Verbindungsrahmen mit den
Befestigungsbolzen befestigt werden. Dies vereinfacht die Installation.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung sind die in den Verbindungsrahmen
ausgebildeten Bolzenaufnahmebohrungen größer als
ein Durchmesser der Befestigungsbolzen für eine Positionsjustierung
der Gegenstandpositionierelemente.
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Das
heißt, die Gegenstandpositionierelemente können
einer Positionsjustierung im Öffnungsbereich der Bolzenaufnahmebohrungen,
die größer als der Durchmesser der Befestigungsbolzen
sind, unterzogen werden. Eine Positi onsjustierung der Gegenstandpositionierelemente
kann ausgeführt werden, wenn die Gegenstandpositionierelemente
an den Verbindungsrahmen mit den Befestigungsbolzen befestigt werden.
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Daher
kann, sogar wenn Installationspositionen der Mehrzahl von Verbindungsrahmen
etwas von korrekten Positionen verschoben sind, eine Positionsjustierung
der Gegenstandpositionierelemente, die ausgeführt wird,
wenn die Gegenstandpositionierelemente an den Verbindungsrahmen
mit den Befestigungsbolzen befestigt werden, die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
in der korrekten Relativpositionsbeziehung platziert werden. Somit
können die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen
genau in der korrekten Relativpositionsbeziehung installiert werden.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung beinhaltet der bewegliche
Körper eine Betätigungseinrichtung, um die Gegenstandträgereinrichtung
zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition und der Gegenstandtransferposition
zu verschieben, wenn sich der bewegliche Körper am Gegenstandtransferort
befindet.
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Das
heißt, da die Betätigungseinrichtung zum Verschieben
der Gegenstandträgereinrichtung zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition und
der Gegenstandtransferposition am beweglichen Körper vorgesehen
ist, besteht keine Notwendigkeit, einen Hydraulikzylinder für
die Gegenstandträgereinrichtung zum Umschalten zwischen
der Gegenstandaufbewahrungsposition und der Gegenstandtransferposition
vorzusehen. Dies realisiert eine Verringerung des Gewichtes der
Gegenstandträgereinrichtung.
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Wenn
ein Gegenstand auf der Gegenstandträgereinrichtung aufbewahrt
wird, oder ein auf der Gegenstandträgereinrichtung aufbewahrter
Gegenstand durch den beweglichen Körper transportiert werden
soll, kann die Betätigungseinrichtung die Gegenstandträgereinrichtung
aus der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition
verschieben, bei am Gegenstandtransferort befindlichem beweglichen
Körper. Nachdem ein Gegenstand von der Greifeinrichtung
des beweglichen Körpers zur Gegenstandträgereinrichtung
transferiert wird, oder ein Gegenstand von der Gegenstandträgereinrichtung
bei der Greifeinrichtung des beweglichen Körpers empfangen
wird, kann die Betätigungseinrichtung die Gegenstandträgereinrichtung
aus der Gegenstandtransferposition in die Gegenstandaufbewahrungsposition
verschieben.
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Auf
diese Weise kann die für den beweglichen Körper
vorgesehene Betätigungseinrichtung die Gegenstandträgereinrichtung
in korrekter Weise zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition und
der Gegenstandtransferposition verschieben.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung ist es zu bevorzugen,
dass der Weg durch eine Überkopf-Schiene definiert ist,
und dass der bewegliche Körper ein Wagen ist, der konfiguriert
ist, um sich entlang der Schiene zu bewegen, und einen Anhebemechanismus
beinhaltet, der ein flexibles Element aufweist, und dass die Gegenstandgreifeinrichtung
konfiguriert ist, um in vertikaler Richtung zwischen einer oberen
Position und einer unteren Position durch den Anhebemechanismus
mittels des flexiblen Elementes bewegt zu werden.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung ist es zu bevorzugen,
dass der Wagen einen vorderen Fahrzeugrahmen und einen hinteren
Fahrzeugrahmen beinhaltet, und zwar bezüglich seiner Bewegungsrichtung,
und dass die obere Position eine Position ist, bei der sich die
Gegenstandgreifeinrichtung zwischen dem vorderen und hinteren Rahmen
befindet, und die untere Position eine Position ist, die zum Platzieren
eines Gegenstandes auf einer Bodenstation geeignet ist.
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Bei
einer Ausführungsform der Erfindung ist es zu bevorzugen,
dass die Gegenstandträgereinrichtung im Wesentlichen auf
der gleichen vertikalen Höhe wie die Gegenstandgreifeinrichtung
in der oberen Position angeordnet ist, so dass die Gegenstandträgereinrichtung
einen Gegenstand von der Gegenstandgreifeinrichtung dadurch empfangen
kann, dass sie sich im Wesentlichen horizontal zur Gegenstandtransferposition
bewegt.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Draufsicht einer Gegenstandtransportanlage;
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2 ist
eine Seitenansicht eines Transportwagens und einer Station;
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3 ist
eine Seitenansicht des Transportwagens;
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4 ist
eine Vorderansicht im Vertikalschnitt des Transportwagens;
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5 ist
eine perspektivische Ansicht einer Gegenstandträgereinrichtung;
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6 ist
eine perspektivische Explosionsansicht der Gegenstandträgereinrichtung;
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7 ist
eine perspektivische Ansicht der Gegenstandträgereinrichtung
in einer Gegenstandaufbewahrungsposition;
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8 ist
eine perspektivische Ansicht der Gegenstandträgereinrichtung
in einer Gegenstandtransferposition;
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9 ist
eine Draufsicht der Gegenstandträgereinrichtung in der
Gegenstandaufbewahrungsposition;
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10 ist
eine Draufsicht der Gegenstandträgereinrichtung in einer
Gegenstandtransferposition;
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11 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Abschnitt der Gegenstandträgereinrichtung darstellt;
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12 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine Mehrzahl von Verbindungsrahmen
darstellt;
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13 ist
eine Querschnittansicht, die einen Verbindungsrahmen, ein Positionssteuerelement
und ein Gegenstandpositionierelement zeigt, die miteinander verbunden
sind; und
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14 ist
eine Ansicht, die ein modifiziertes Positionssteuerelement darstellt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Gegenstandtransportanlagen
gemäß der Erfindung werden nachfolgend mit Bezug
auf die Zeichnungen beschrieben.
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Wie
in 1 und 2 dargestellt, beinhaltet eine
Gegenstandtransportanlage eine Führungsschiene 2,
die als eine Bahn (Weg) installiert ist, welche sich an einer Mehrzahl
von Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 vorbei erstreckt,
und einen Transportwagen 3, der als beweglicher Körper
fungiert und der entlang der Führungsschiene 2 bewegt
werden kann, um Gegenstände zu transportieren. Vom Transportwagen 3 werden
Behälter 5, die als Gegenstände fungieren
und Halbleitersubstrate aufbewahren, zwischen der Mehrzahl von Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 transportiert.
Jede der Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 führt
beispielsweise einen vorbestimmten Prozess für teilweise
fertiggestellte Waren im Verlauf einer Fertigung von Halbleitersubstraten
durch.
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Der
Transportwagen 3 weist eine in vertikaler Richtung bewegliche
Greifeinrichtung 4 auf, die einen Behälter 5 in
einem aufgehängten Zustand greift.
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Bei
stillstehendem Transportwagen 3 ist die Greifeinrichtung 4 in
vertikaler Richtung, durch Aufwickeln und Abwickeln von Drähten 6,
zwischen einer oberen Position benachbart dem Transportwagen 3 und
einer unteren Position beweglich, und zwar für einen Gegenstandtransfer
zu einer unterhalb des Transportwagens 3 angeordneten Gegenstandtransferstation 7 und
von dieser weg.
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2 zeigt
auf der oberen Seite die Greifeinrichtung 4, die von der
oberen Position zur unteren Position abgesenkt wird, und auf der
unteren Seite die Greifeinrichtung 4, die von der unteren
Position auf die obere Position angehoben wird.
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Die
Station 7 liegt in der Form eines Auflagetisches zum Tragen
von Behältern 5 vor. Die Station 7 dienst
zum Aufnehmen von Behältern 5 vom Transportwagen 3 für
einen von der Gegenstandbearbeitungseinheit 1 durchgeführten
vorbestimmten Prozess, oder dazu, Behälter 5,
die der vorbestimmten Behandlung durch die Gegenstandbehandlungseinheit 1 unterzogen
wurden, an den Transportwagen 3 auszuliefern. Die Station 7 ist
für jede der Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 vorgesehen.
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Der
Transportwagen 3 bewegt sich entlang der Führungsschiene 2,
wobei die Greifeinrichtung 4 in der oberen Position platziert
ist. Bei einem Zustand, bei dem der Transportwagen 3 bei
einem Anhalteort entsprechend einer Station 7 für
einen Transfer von der Mehrzahl von Stationen 7 angehalten
hat, wird ein Behälter 5 zu dieser Station 7 hin
oder von dieser weg transferiert, und zwar durch vertikales Bewegen
der Greifeinrichtung 4 zwischen der oberen Position und
der unteren Position.
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Wie
in 2 bis 4 dargestellt, ist die Führungsschiene 2 an
einer Decke mittels Führungsschienenbeschlägen 8 befestigt.
Der Transportwagen 3 beinhaltet einen oberen Wagenkörper 9,
der sich in einem Innenraum der Führungsschiene 2 befindet,
und einen unteren Wagenkörper 12, der sich unter
der Führungsschiene 2 befindet, wobei diese miteinander
durch vordere und hintere rohrförmige Verbindungsstücke 10 und 11 verbunden
sind.
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Der
obere Wagenkörper 9 weist eine Primärspule 14 auf,
die nahe einem Magneten 13, der im Innenraum der Führungsschiene 2 montiert
ist, und gegenüberliegend zu diesem angeordnet ist. Der
obere Wagenkörper 9 ist vom Linearmotortyp, der
durch einen Linearmotor angetrieben wird, der aus dem Magneten 13 und
der Primärspule 14 ausgebildet ist. Der Transportwagen 3 ist
entlang der Führungsschiene 2 durch diese Vortriebskraft
beweglich.
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Im
Innenraum der Führungsschiene 2 sind Laufführungswege 16,
die Laufräder 15 des oberen Wagenkörpers 9 führen,
und Pendelverhinderungsführungswege 18 ausgebildet,
die Pendelverhinderungsräder 17 des oberen Wagenkörpers 9 führen.
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Die
Führungsschiene 2 weist Versorgungsleitungen 19 auf,
und der obere Wagenkörper 9 weist aufnehmende
Spulen 20 auf. Die Versorgungsleitungen 20 werden
mit durch Wechselstrom erzeugten Magnetfeldern versorgt, die bewirken,
dass die aufnehmenden Spulen 20 Strom erzeugen, der vom Transportwagen 3 benötigt
wird. Somit wird Strom in einem kontaktlosen Modus zugeführt.
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Bei
dieser Ausführungsform ist der Modus zum Antreiben des
oberen Wagenkörpers 9 der lineare Motortyp, der
die Vorschubkraft von einem Linearmotor erhält. Alternativ
kann beispielsweise ein Elektromotor vorgesehen sein, um die Laufräder 15 in
Drehung zu versetzen, und der obere Wagenkörper 9 kann
dadurch angetrieben werden, dass die Laufräder 15 mit
dem Elektromotor in Drehung versetzt werden.
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Der
untere Wagenkörper 12 beinhaltet einen vorderen
und hinteren Rahmen 21, der sich in Längsrichtung
des Transportwagens 3 erstreckt, und ein Paar vorderer
und hinterer vertikaler Rahmen 22, die sich von einem vorderen
Ende und einem hinteren Ende der vorderen und hinteren Rahmen 21 nach
unten erstrecken. Der untere Wagenkörper 12 ist
kanalförmig, wobei er in Seitenansicht nach unten hin offen ist,
und wobei die Greifeinrichtung 4 in Längsrichtung in
der Mitte angeordnet ist.
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Die
Greifeinrichtung 4 ist am Anhebeelement 23 in
vertikaler Richtung beweglich relativ zum oberen Wagenkörper 9 befestigt.
Das Anhebeelement 23 ist so gelagert, dass es durch einen
Anhebesteuermechanismus 24 in vertikaler Richtung bewegt
werden kann, der am Längsrichtungsrahmen 21 befestigt
ist.
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Der
Anhebesteuermechanismus 24 weist vier Drähte 6 auf,
die um eine rotierende Trommel 26 gewunden sind, die durch
einen Trommelantriebsmotor 25 in Drehung versetzt werden
kann. Der Anhebesteuermechanismus 24 dreht die rotierende
Trommel 26 nach vorne und nach hinten, um die vier Drähte 6 gleichzeitig
aufzuwickeln und abzuwickeln, wodurch das Anhebeelement aufwärts
und abwärts bewegt wird, wobei dabei das Anhebeelement 23 in
im Wesentlichen horizontaler Position gehalten wird.
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Zwar
ist bei dieser Ausführungsform das Beispiel eines Aufwickelns
der Drähte 6 um die rotierende Trommel 26 dargestellt,
jedoch kann das Anhebeelement 23 beispielsweise mittels
Riemen, die um die rotierende Trommel 26 gewunden sind,
in vertikaler Richtung bewegt werden. Somit können die
Drähte 6 oder Kabel durch Riemen ersetzt werden.
Die Drähte 6 und Riemen sind Beispiele für
flexible Elemente.
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Die
Greifeinrichtung 4 beinhaltet ein Paar Greifelemente 4a,
die einen Flansch 5a eines jeden Behälters 5 greifen.
Das Paar Greifelemente 4a kann mit Vorwärts- und
Rückwärtsdrehungen eines Greifmotors 27,
zwischen einer Greifposition, bei welcher der Flansch 5a durch
die zueinander hin schwenkenden Greifelemente 4a (durchgezogene
Linie in 3) und einer Freigabeposition
umgeschaltet werden, bei welcher der Flansch 5a durch die
voneinander weg schwenkenden Greifelemente 4a freigegeben
wird (gestrichelte Linien in 3).
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Die
Greifeinrichtung 4 ist am Anhebeelement 23 so
befestigt, dass sie um eine vertikale Achse schwenken kann. Obschon
dies nicht dargestellt ist, ist ein Schwenkmotor zum Schwenken der
Greifeinrichtung 4 vorgesehen.
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Um
die zu den Stationen 7 transportierten Behälter 5 vorübergehend
aufzubewahren, wie in 1 dargestellt, sind eine Mehrzahl
von Gegenstandträgereinrichtungen 28 zur Artikelaufbewahrung
zu beiden Seiten der Füh rungsschiene 2 angeordnet.
Diese Gegenstandträgereinrichtungen 28 sind entlang
der Führungsschiene 2 angeordnet.
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Die
Gegenstandträgereinrichtungen 28 werden nachfolgend
mit Bezug auf 5 bis 10 beschrieben.
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Jede
der Gegenstandträgereinrichtungen 28 ist zwischen
einer Gegenstandtransferposition (siehe 8 und 10),
bei der ein Behälter 5 von der Greifeinrichtung 4 des
Transportwagens 3, der am dazu entsprechenden Gegenstandtransferort
angehalten hat, empfangen wird oder an diese ausgeliefert wird,
und einer Gegenstandaufbewahrungsposition (siehe 7 und 9)
verschiebbar.
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Die
Längsrichtung (Vorne-Hinten-Richtung) des Transportwagens 3,
der am Gegenstandtransferort stillsteht, wird nachfolgend einfach
als "Längsrichtung" bezeichnet, und die Richtung zum Transportwagen 3 hin
und von diesem weg, der am Gegenstandtransferort stillsteht, wird
einfach als "Jenseits-Diesseits-Richtung" bezeichnet.
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Der
Gegenstandtransferort ist entsprechend jeder der Gegenstandträgereinrichtungen 28 bestimmt.
In Längsrichtung ist die Gegenstandträgereinrichtung 28 so
ausgebildet, dass sie eine Breite aufweist, die geringer als ein
Abstand zwischen dem Paar vorderer und hinterer vertikaler Rahmen 22 des Transportwagens 3 ist.
Somit kann, wenn der Transportwagen 3 am Gegenstandtransferort
anhält, die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
den Raum zwischen dem Paar vorderer und hinterer vertikaler Rahmen 22 des
Transportwagens 3 hinein und aus diesem heraus bewegt werden.
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Die
Gegenstandaufbewahrungsposition ist auf einer Seite der Führungsschiene 2 eingestellt,
jedoch von der Führungsschiene 2 in Jenseits-Diesseits-Richtung
entfernt, derart, dass die Gegenstandträgereinrichtung 28,
wenn sie sich in der Gegenstandaufbewahrungsposition befindet, und zwar
weder diese selbst, noch der auf dieser platzierte Behälter 5,
eine Bewegung des Transportwagens 3 oder eine Vertikalbewegung
der Greifeinrichtung 4 behindert.
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Die
Gegenstandtransferposition ist im Wesentlichen auf eine Position
festgelegt, welche die Greifeinrichtung 4 des am Gegenstandtransferort stillstehenden
Transportwagens 3 vertikal überlappt. Somit kann,
wenn sich die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
der Gegenstandtransferposition befindet, ein Behälter 5 zwischen
der Gegenstandträgereinrichtung 28 und der Greifeinrichtung 4 transferiert werden,
die sich in der Position benachbart der oberen Position des am Gegenstandtransferort
stillstehenden Transportwagens 3 befindet.
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Wie
in 5 und 6 dargestellt, beinhaltet jede
Gegenstandträgereinrichtung 28 einen feststehenden
Rahmen 29, der deckenseitig entsprechend der Gegenstandaufbewahrungsposition
installiert ist, und einen beweglichen Rahmen 30, der so gelagert
ist, dass er in Jenseits-Diesseits-Richtung relativ zum feststehenden
Rahmen 29 beweglich ist.
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Der
feststehende Rahmen 29 ist aus einem Paar von seitlichen
Rahmenelementen 29a ausgebildet, die sich in Jenseits-Diesseits-Richtung
erstrecken. Das Paar von seitlichen Rahmenelementen 29a sind
durch ein erstes Rahmenverbindungsstück 31a und
ein zweites Rahmenverbindungsstück 31b untereinander
verbunden, die in Jenseits-Diesseits-Richtung mit Abstand zueinander
angeordnet sind. Das erste Rahmenverbindungsstück 31a verbindet
die Seiten miteinander, und zwar, in Jenseits-Diesseits-Richtung,
nahe beim Transportwagen 3, der am Gegenstandtransferort
stillsteht. Das zweite Rahmenverbindungsstück 31b verbindet
die Seiten miteinander, und zwar, in Jenseits-Diesseits-Richtung,
entfernt vom Transportwagen 3, der am Gegenstandtransferort
stillsteht.
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Der
feststehende Rahmen 29 ist mit einer Mehrzahl von Aufhängungsverlängerungen 32 aufgehängt,
die sich von dem Paar seitlicher Rahmenelemente 29a nach
oben erstrecken und deren obere Enden mittels Befestigungsbeschlägen
an zwei Aufhängungsträgereinrichtungen 33 befestigt
sind. Die Aufhängungsträgereinrichtungen 33 sind
mittels Aufhängungsbolzen 34 an der Decke aufgehängt,
so dass sie sich in Längsrichtung der Führungsschiene 2 und
parallel zu dieser erstrecken.
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Der
Aufbau zum Tragen des feststehenden Rahmens 29, der an
der Decke aufgehängt ist, ist nicht auf den zuvor beschriebenen
Aufbau eingeschränkt, sondern kann geeignet modifiziert
werden. Der feststehende Rahmen 29 kann so gelagert sein, dass
er an der Decke beispielsweise dadurch aufgehängt ist,
dass Bolzenaufnahmenuten am oberen Ende des feststehenden Rahmens 29 ausgebildet sind,
die unteren Enden der aufgehängten Trägereinrichtungen
mit den Bolzenaufnahmenuten mittels Bolzen befestigt sind, und die
oberen Enden der aufgehängten Trägereinrichtungen
mit der Decke mittels Bolzen verbunden sind.
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Somit
ist jeder der feststehenden Rahmen 39 der Mehrzahl von
Gegenstandträgereinrichtungen 28 einzeln so gelagert,
dass er an der Decke aufgehängt ist, was ermöglicht,
dass jede Gegenstandträgereinrichtung 28 befestigt
oder abmontiert wird. Ein Hinzufügen oder Wegnehmen von
Gegenstandträgereinrichtungen 28 ist ohne Weiteres
möglich.
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Der
bewegliche Rahmen 30 beinhaltet Trägerarme 35,
die als Paar von rechten und linken Trägerarmabschnitten
wirken, die in einer solchen Form ausgebildet sind, dass sie sich
in Jenseits-Diesseits-Richtung erstrecken, und eine Mehrzahl von Verbindungsrahmen 36,
die voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung beabstandet sind
und das Paar von rechten und linken Trägerarmen 35 miteinander
verbinden. Die Trägerarme 35, die als Paar von
rechten und linken Trägerarmabschnitten fungieren, sind
in Längsrichtung des beweglichen Wagens 3 voneinander
beabstandet angeordnet.
-
Der
bewegliche Rahmen 30 ist so aufgebaut, dass er die Unterseite
eines Behälters 5 trägt, der auf der
Mehrzahl von Verbindungsrahmen 36 platziert ist. Die Mehrzahl
von Verbindungsrahmen 36 erledigen gemeinsam das Tragen
der Unterseite des darauf platzierten Behälters 5.
-
Die
Trägerarme 35 beinhalten untere Abschnitte 35a,
die sich in Jenseits-Diesseits-Richtung erstrecken, Zwischenabschnitte 35b,
die sich von Enden der unteren Abschnitte 35a, in Jenseits-Diesseits-Richtung
vom Transportwagen 3 entfernt, nach oben erstrecken, und
obere Abschnitte, die sich von oberen Enden der Zwischenabschnitte 35b erstrecken,
in Jenseits-Diesseits-Richtung vom Transportwagen 3 entfernt.
-
Die
Trägerarme 35 weisen eine Mehrzahl von Bohrungen
auf, die in den unteren Abschnitten 35a ausgebildet sind
und bei Intervallen in Längsrichtung von diesen angeordnet
sind, und Zwischenabschnitte 35b, die zur Gewichtsverringerung
der Trägerarme 35 beitragen.
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Die
Verbindungsrahmen 36 weisen eine geprägte Querschnittform
auf, wobei ein mittlerer Teil nach oben vorsteht, und ein ebener
Abschnitt der Prägung die Unterseite eines Behälters 5 aufnimmt und
trägt. Die entgegengesetzten Enden der Verbindungsrahmen 36 sind
auf einwärts gekrümmten Abschnitten der Trägerarme 35 platziert
und sind an den Trägerarmen 35 mittels Bolzen
und Muttern befestigt.
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Die
Verbindungsrahmen 36 beinhalten einen länglichen
ersten Verbindungsrahmen 36a, der sich nahe am Transportwagen 3 befindet,
der am Gegenstandtransferort stillsteht, und einen länglichen
zweiten Verbindungsrahmen 36b, der sich entfernt vom Transportwagen 3 befindet,
der am Gegenstandtransferort stillsteht. Der erste Verbindungsrahmen 36a weist
einen hochstehenden Wandabschnitt 37 auf, der sich zum
am Gegenstandtransferort stillstehenden Transportwagen 3 hin
und nach oben erstreckt. Der hoch stehende Wandabschnitt 37 dient dazu,
eine Bewegung eines Behälters 5 zum Transportwagen 3 hin
zu begrenzen, der am Gegenstandtransferort stillsteht.
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Das
Paar von rechten und linken Trägerarme 35 sind
miteinander nicht nur durch die Verbindungsrahmen 36 verbunden,
sondern auch durch eine Mehrzahl von Kopplungsrahmen 45.
Die Kopplungsrahmen 45 beinhalten einen ersten Kopplungsrahmen 45a,
der die Enden der unteren Abschnitte 35a der rechten und
linken Trägerarme 35 entfernt vom Transportwagen 3,
der am Gegenstandtransferort stillsteht, untereinander verbindet,
einen zweiten Kopplungsrahmen 45b, der die Zwischenabschnitte 35b der
rechten und linken Trägerarme 35 untereinander
verbindet, und einen dritten Kopplungsrahmen 45c, der die
oberen Abschnitte 35c der rechten und linken Trägerarme 35 miteinander
verbindet.
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Ein
Gleitführungsmechanismus 46 ist vorgesehen, um
die Gegenstandträgereinrichtung 28 so zu lagern,
dass sie zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition (siehe 7 und 9)
und einer Gegenstandtransferposition (siehe 8 und 10) verschoben
werden kann. Der Gleitführungsmechanismus 46 trägt
den beweglichen Rahmen 30, so dass dieser in Jenseits-Diesseits-Richtung
relativ zum feststehenden Rahmen 29 gleitend verschiebbar
ist.
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Der
Gleitführungsmechanismus 46 beinhaltet am feststehenden
Rahmen 29 ausgebildete Schienen 47 und eine Mehrzahl
von an den Trägerarmen 35 angeordneten Führungsrollen 48.
Mit den Schienen 47, welche die Führungsrollen 48 tragen und
führen, trägt der Gleitführungsmechanismus 36 der
beweglichen Rahmen 30, so dass er relativ zum feststehenden
Rahmen 29 zwischen der Gegenstandaufbewahrungsposition
und einer Gegenstandtransferposition gleitend verschiebbar ist.
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Die
Schienen 47 sind an dem Paar von seitlichen Rahmenelementen 29a ausgebildet.
Die Führungsrollen 48 sind an den oberen Abschnitten 35c der
Trägerarme 35 ausgebildet. Die Führungsrollen 48 beinhalten
drei Typen von Rollen, d. h. erste Führungsrollen 48a,
die durch Oberseiten der Schienen 47 geführt sind,
zweite Führungsrollen 48b, die durch Unterseiten
der Schienen 47 geführt sind, und dritte Führungsrollen 48c,
die durch Seitenflächen der Schienen 47 geführt
sind. Zwei erste Führungsrollen 48a sind voneinander
in Jenseits-Diesseits-Richtung beabstandet angeordnet, und zwei
zweite Führungsrollen 48b sind auch voneinander
in Jenseits-Diesseits-Richtung beabstandet angeordnet, wobei sich die
ersten Führungsrollen 48a und die zweiten Führungsrollen 48b einander über
jede Schiene 47 vertikal gegenüberliegen, und
zwei dritte Rollen 48c sind auch voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung
beabstandet angeordnet.
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Der
feststehende Rahmen 29 beinhaltet ein betätigtes
Element 49, das so gelagert ist, dass es in Jenseits-Diesseits-Richtung
zwischen einer nahen (benachbarten) Position (7 und 9)
benachbart zu dem am Gegenstandtransferort stillstehenden Transportwagen 3 und
einer vom Transportwagen 3 entfernten Position (8 und 10)
bewegt werden kann. Das betätigte Element 49 ist
mit der Gegenstandträgereinrichtung 28 verbunden,
derart, dass das betätigte Element 49, wenn es
sich in der nahen (benachbarten) Position befindet, die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
die Gegenstandtransferposition bringt, und, wenn es sich in der
entfernten Position befindet, die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
die Gegenstandaufbewahrungsposition bringt.
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Der
in Längsrichtung dazwischenliegende Teil des betätigten
Elementes 49 ist mit einer plattenartigen Basis 50 schwenkbar
verbunden, die an einem Oberteil eines der seitlichen Rahmenelemente 29a vorgesehen
ist, so dass dieses um eine sich durch die Verbindungsposition hindurch
erstreckende erste Schwenkachse P1 schwenkbar ist. Das betätigte
Element 49 beinhaltet einen ersten betätigten Abschnitt 49a,
der sich von der ersten Schwenkach se P1 zum Transportwagen 3 hin
erstreckt, wenn es sich in der nahen Position befindet, und einen
zweiten betätigten Abschnitt 49b, der sich von
der ersten Schwenkachse P1 vom Transportwagen 3 weg erstreckt,
wobei die Abschnitte 49a und 49b integral miteinander,
mit einem Niveauunterschied zwischen sich, ausgebildet sind.
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Durch
Schwenken um die erste Schwenkachse P1 wird das betätigte
Element 49 zwischen der nahen Position und der entfernten
Position verschoben. In der nahen Position (7 und 9)
nimmt der als vordere Abschnitt fungierende erste betätigte Abschnitt 49a eine
Position ein, die sich näher als die erste Schwenkachse
P1 bei dem am Gegenstandtransferort stillstehenden Transportwagen 3 befindet. Der
erste betätigte Abschnitt 49a des betätigten
Elementes 49 weist eine in diesem ausgebildete Nut 51 auf,
die sich in einer die Jenseits-Diesseits-Richtung kreuzenden Richtung
zur ersten Schwenkachse P1 hin erstreckt, wenn sich das betätigte
Element 49 in der nahen Position befindet. Die Nut 51 weist
ein offenes vorderes Ende entgegengesetzt zu dem am Gegenstandtransferort
stillstehenden Transportwagen 3 auf.
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Ein
Gelenkgetriebemechanismus 52 ist vorgesehen, um eine Bewegung
des betätigten Elementes 49 und diejenige der
Gegenstandträgereinrichtung 28 zu koppeln. Somit
befindet sich, wenn sich das betätigte Element 49 in
der nahen Position befindet, wie in 7 und 9 dargestellt,
die Gegenstandträgereinrichtung 28 in der Gegenstandaufbewahrungsposition.
Wenn sich das betätigte Element 49 in der entfernten
Position befindet, wie in 8 und 10 dargestellt,
befindet sich die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
der Gegenstandtransferposition.
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Der
Gelenkgetriebemechanismus 52 beinhaltet drei Gelenkarme,
d. h. einen ersten Gelenkarm 53, einen zweiten Gelenkarm 54 und
einen dritten Gelenkarm 55. Das eine Ende des ersten Gelenkarms 53 ist
mit dem einen Ende des zweiten betätigten Abschnittes 49b des
betätigten Elementes 49 schwenkbar verbunden,
und dessen anderes Ende ist mit einem in Längsrichtung
dazwischenliegenden Abschnitt des zweiten Gelenkarms 54 verbunden. Das
eine Ende des zweiten Gelenkarms 54 ist mit der Basis 50 schwenkbar
verbunden, und dessen anderes Ende ist mit dem einen Ende des dritten
Gelenkarms 55 schwenkbar verbunden. Das andere Ende des
dritten Gelenkarms 55 ist mit einem betätigten Verbindungselement 56,
das auf dem dritten Verbindungsrahmen 45c aufgerichtet
angeordnet ist, schwenkbar verbunden.
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Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine Betätigungsvorrichtung
S, um die Gegenstandträgereinrichtung 28 zwischen
der Gegenstandaufbewahrungsposition und der Gegenstandtransferposition
zu verschieben.
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Die
Betätigungsvorrichtung S weist eine Basis 57 auf,
die am Transportwagen 3 befestigt ist und sich in Jenseits-Diesseits-Richtung
erstreckt, ein längliches Steuerelement 58, das
in Jenseits-Diesseits-Richtung relativ zur Basis 57 beweglich
ist, und eine Eingreifrolle 59, die an einer Unterseite
an einem nach vorne hin angeordneten Ende des Steuerelementes 58 befestigt
ist. Die Betätigungsvorrichtung S weist ein nicht dargestelltes
Stellelement auf, das so betätigt werden kann, dass es
das Steuerelement 58 relativ zur Basis 57 herausschiebt
und einzieht, wodurch eine Herausschieboperation und eine Einziehoperation
ausgeführt wird, um die Eingreifrolle 59 in Jenseits-Diesseits-Richtung
zu bewegen.
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Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine solche Betätigungsvorrichtung
S, die auf die Gegenstandträgereinrichtungen 28 einwirkt,
die an der rechten Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind, und eine weitere Betätigungsvorrichtung 7,
um auf die Gegenstandträgereinrichtungen 28 einzuwirken,
die auf der linken Seite angeordnet sind.
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Der
Durchmesser der Eingreifrolle 59 ist gleich groß oder
kleiner als die Breite der Nut 51 des betätigten
Elementes 49 in Längsrichtung. Somit kann die
Eingreifrolle 59 mit der Nut 51 des betätigten Elementes 49 durch
Bewegung in Jenseits-Diesseits-Richtung in und außer Eingriff
gebracht werden.
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Die
Betätigungsvorrichtung S ist in der Art des Schub-Zug-Typs
aufgebaut, derart, dass bei der Herausschiebeoperation die Eingreifrolle 59 in
Eingriff mit der Nut 51 bewegt wird, um das betätigte
Element 49 aus der nahen Position in die entfernte Position
zu schieben, und bei der Einziehoperation die Eingreifrolle 59 in
Eingriff mit der Nut 51 zurückgehalten wird, um
das betätigte Element 49 aus der entfernten Position
in die nahe Position zu ziehen, und danach wird die Eingreifrolle 59 von
der Nut 51 außer Eingriff gebracht.
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Wenn
die Betätigungsvorrichtung S bei der Herausschiebeoperation
das betätigte Element 49 aus der nahen Position
in die entfernte Position mit der Eingreifrolle 59 bewegt,
hat die Tatsache, dass das betätigte Element 49 sich
in der entfernten Position befindet, zur Folge, dass sich die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
der Gegenstandtransferposition befindet. Somit wird die Gegenstandträgereinrichtung 28 aus
der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition
verschoben.
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Wenn
die Betätigungsvorrichtung S bei der Einziehoperation das
betätigte Element 49 aus der entfernten Position
in die nahe Position mit der Eingreifrolle 59 bewegt, hat
die Tatsache, dass das betätigte Element 49 sich
in der nahen Position befindet, zur Folge, dass sich die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
der Gegenstandaufbewahrungsposition befindet. Somit wird die Gegenstandträgereinrichtung 28 aus
der Gegenstandtransferposition in die Gegenstandaufbewahrungsposition
verschoben.
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Als
Nächstes werden Bewegungen beschrieben, die stattfinden,
wenn die Gegenstandträgereinrichtung 28 zwischen
der Gegenstandaufbewahrungsposition und der Gegenstandtransferposition verschoben
wird.
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Wenn
sich das betätigte Element 49 in der in 7 und 9 dargestellten
nahen Position befindet, ist die Öffnung der Nut 51 in
Jenseits-Diesseits-Richtung offen. Die Betätigungsvorrichtung
S führt die Herausschiebeoperation aus, um die Eingreifrolle 59 in
Jenseits-Diesseits-Richtung zu bewegen, so dass sie aus dem Transportwagen 3 herausgeschoben
und durch die Öffnung der Nut 50 in die Nut 51 hineingeschoben
wird, um mit dieser in Eingriff zu kommen. Wenn die mit der Nut 51 in
Eingriff befindliche Eingreifrolle 59 weiter in Jenseits-Diesseits-Richtung
bewegt wird, um aus dem Transportwagen 3 herausgeschoben
zu werden, bewegt sich die Eingreifrolle 59, während
sie gegen eine Seitenwand der Nut 51 drückt, durch
die Nut 51 hindurch, um das betätigte Element 49 aus
der nahen Position in die entfernte Position zu schieben. Wenn das
betätigte Element 49 aus der nahen Position in
die entfernte Position schwenkt, führen der erste Arm 53, der
zweite Arm 54 und der dritte Arm 55 des Gelenkgetriebemechanismus 52 sukzessive
ein Schwenken durch, um das betätigte Verbindungselement 49 zum Transportwagen 3 hin
zu bewegen. Durch die Bewegung des betätigten Verbindungselement 49 zum Transportwagen 3 hin
erfolgt, wobei der Gleitführungsmechanismus 46 die
Gegenstandträgereinrichtung 28 trägt
und führt, ein Verschieben der Gegenstandträgereinrichtung 28 aus
der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition, wie
in 8 und 10 dargestellt.
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Wenn
die Betätigungsvorrichtung S die Einziehoperation ausführt,
wobei sich das betätigte Element 49 in der entfernten
Position befindet, wie in 8 und 10 dargestellt,
bewegt sich die Eingreifrolle 59 zum Transportwagen 3 hin,
wobei sie mit der Nut 51 in Eingriff ist. Die Eingreifrolle 59 bewegt sich
durch die Nut 51 hindurch, wobei sie gegen eine Seitenwand
der Nut 51 drückt, so dass das betätigte Element 49 aus
der entfernten Position in die nahe Position gezogen wird. Wenn
das betätigte Element 49 aus der entfernten Position
in die nahe Position schwenkt, erfolgt sukzessive ein Schwenken
des ersten Gelenkarms 53, des zweiten Gelenkarms 54 und des
dritten Gelenkarms 55 des Gelenkgetriebemechanismus 52,
um das betätig te Verbindungselement 56 vom Transportwagen 3 weg
zu bewegen. Durch die Bewegung des betätigten Verbindungselement 56 weg
vom Transportwagen 3 erfolgt, wobei der Gleitführungsmechanismus 46 die
Gegenstandträgereinrichtung 28 gleitend verschieblich
trägt und führt, ein Verschieben der Gegenstandträgereinrichtung 28 aus
der Gegenstandtransferposition in die Gegenstandaufbewahrungsposition.
Wenn sich das betätigte Element 49 in der nahen
Position befindet, wie in 7 und 9 dargestellt, öffnet
sich die Öffnung der Nut 51 in Jenseits-Diesseits-Richtung.
Somit kommt die Eingreifrolle 59, die sich zum Transportwagen 3 hin
bewegt, von der Nut 51 außer Eingriff und wird
zum Transportwagen 3 zurückgezogen.
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Der
Aufbau der Gegenstandträgereinrichtung 28 zum
Aufnehmen und Tragen der Unterseite des Behälters 5 wird
nachfolgend detaillierter beschrieben.
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Die
Gegenstandträgereinrichtung 28 weist zwei Verbindungsrahmen 36 auf,
die voneinander in Jenseits-Diesseits-Richtung beabstandet angeordnet
sind, um das Tragen der Unterseite des darauf platzierten Behälters 5 gemeinsam
zu erledigen. Dieser Aufbau soll die Gegenstandträgereinrichtung 28 leichter
machen. Die zwei Verbindungsrahmen 36 sind angeordnet,
um Endabschnitte in Jenseits-Diesseits-Richtung der Unterseite des
Behälters 5 aufzunehmen und zu tragen. Somit wird
der Behälter 5 in balancierter Weise getragen.
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Wie
in 11 dargestellt, tragen die Mehrzahl von Verbindungsrahmen 36 eine
Mehrzahl von hervorstehenden Gegenstandpositionierelementen 39,
die mit eingreifbaren Abschnitten 38 in der Unterseite
des Behälters 5 in Eingriff kommen. Die Mehrzahl
von Gegenstandpositionierelementen 39 werden durch ein
Positionseinstellelement 40 in einer korrekten Relativpositionsbeziehung
gehalten, verteilt in Jenseits-Diesseits-Richtung und der dazu senkrechten
Längsrichtung.
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Der
erste Verbindungsrahmen 36a trägt zwei Gegenstandpositionierelemente 39,
die voneinander in Längsrichtung beabstandet angeordnet
sind. Der zweite Verbindungsrahmen 36b trägt ein
einziges Gegenstandpositionierelement 39. Das Gegenstandpositionierelement 39 am
zweiten Verbindungsrahmen 36b befindet sich in im Wesentlichen
der mittleren Position in Längsrichtung des zweiten Verbindungsrahmens 36b.
Die zwei Gegenstandpositionierelemente 39 am ersten Verbindungsrahmen 36a sind
so installiert, dass sie einen vorbestimmten Abstand in Längsrichtung
von der Position des Gegenstandpositionierelementes 39 am
zweiten Verbindungsrahmen 36b haben. Das Positionseinstellelement 40 ist
so ausgebildet, dass es in der Draufsicht eine dreieckige Form hat,
und es hält die Gegenstandpositionierelemente 39 an
seinen jeweiligen Ecken.
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Die
zuvor erwähnte korrekte Relativpositionsbeziehung entspricht
einer Relativpositionsbeziehung der eingreifbaren Abschnitte 38,
die in der Unterseite des Behälters 5 ausgebildet
sind. Wenn die Mehrzahl von Gegenstandpositionierelementen 39 mit
den jeweiligen eingreifbaren Abschnitten 38 in Eingriff
kommt, wird der Behälter 5 in eine korrekte Position
eingestellt.
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Wie
in 12 und 13 dargestellt,
sind die Gegenstandpositionierelemente 39 in Form von hervorstehenden
Stiften ausgebildet. Jedes Gegenstandpositionierelement 39 weist
einen an seiner Unterseite ausgebildeten Vorsprung 39a auf,
der einen geringen Durchmesser aufweist, um in eine Positionierbohrung 41 im
Positionseinstellelement 40 eingesetzt zu werden, und dessen
Länge gleich groß oder kleiner als die Dicke des
Positionseinstellelementes 40 ist.
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Wenn
das Positionseinstellelement 40 mit den Gegenstandpositionierelementen 39 versehen ist
und auf den Verbindungsrahmen 36 platziert ist, werden
Befestigungsbolzen 43 von unten her nach oben in Bolzenaufnahmebohrungen 42 eingesetzt, die
in den Verbindungsrahmen 36 ausgebildet sind, und werden
mit den Unterseiten der Gegenstandpositionierelemente 39 in
Eingriff gebracht. Auf diese Weise werden die Gegenstandpositionierelemente 39 an
den Verbindungsrahmen 36 befestigt.
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Jede
Positionierbohrung 41 ist als gestufte Passbohrung ausgebildet,
wobei ein oberer Abschnitt einen großen Durchmesser und
ein unterer Abschnitt einen geringen Durchmesser aufweist. Der Vorsprung 39a von
jedem Gegenstandpositionierelement 39 passt in den einen
großen Durchmesser aufweisenden Abschnitt der Positionierbohrung 41.
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Jede
im Verbindungsrahmen 36 ausgebildete Bolzenaufnahmebohrung 42 ist
größer als der Durchmesser des Befestigungsbolzens 43 für
eine Positionsjustierung des Gegenstandpositionierelementes 39.
Die Bolzenaufnahmebohrung 42 ist in Längsrichtung
länglich, so dass das Gegenstandpositionierelement 39 in
der Position in Längsrichtung justierbar ist.
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Beim
Einbau der drei Gegenstandpositionierelemente 39 wird jedes
der drei Gegenstandpositionierelemente 39 als erstes in
die Positionierbohrung 41 im Positionseinstellelement 40 eingesetzt. Das
Positionseinstellelement 40 wird auf den Verbindungsrahmen 36 platziert,
wobei jedes der drei Gegenstandpositionierelemente 39 zur
Bolzenaufnahmebohrung 42 im Verbindungsrahmen 36 positionsmäßig
justiert ist. Die Befestigungsbolzen 43 sind von unten
nach oben in die in den Verbindungsrahmen 36 ausgebildeten
Bolzenaufnahmebohrungen 42 eingesetzt, und sind mit der
Unterseite der Gegenstandpositionierelemente 39 über
Unterlegscheiben 44 in Eingriff.
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Auf
diese Weise sind die Gegenstandpositionierelemente 39 an
den Verbindungsrahmen 36 befestigt, wobei das Positionseinstellelement 40 zwischen
dem Gegenstandpositionierelement 39 und den Verbindungsrahmen 36 straff
gehalten oder eingeklemmt wird. Wenn die drei Gegenstandpositionierelemente 39 von
der korrekten Relativpositionsbeziehung in Längsrichtung
dabei abweichen, werden die Gegenstandpositionierelemente 39 durch Justieren
der Befestigungspositionen in den Bolzenaufnahmebohrungen 42 positionsmäßig
justiert.
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Die
Installationspositionen des ersten Verbindungsrahmens 36a und
die Installationsposition des zweiten Verbindungsrahmens 36b in
Jenseits-Diesseits-Richtungen werden so justiert, dass die drei
Gegenstandpositionierelemente 39 in einer korrekten Relativpositionsbeziehung
in Jenseits-Diesseits-Richtung sein können.
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Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine Schlittensteuereinrichtung,
welche die Operation des Transportwagens 3 steuert. Basierend
auf Befehlen von einem Leitcomputer, der den Betrieb der gesamten
Gegenstandtransportanlage steuert, und auf Erfassungsinformation
von verschiedenen am Transportwagen 3 vorgesehenen Sensoren,
steuert die Schlittensteuereinrichtung eine Bewegung des Transportwagens 3,
eine Anhebeoperation der Greifeinrichtung 4, einen Betrieb
des Greifmotors 27, und einen Betrieb des Steuerelektromotors 60 der
Betätigungsvorrichtung S.
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Wenn
beispielsweise der Leitcomputer einen Transportbefehl gibt, der
eine Transportstartstation 7 und eine Zielstation 7 der
Mehrzahl von Stationen 7 bezeichnet, und eine Operation
anweist, um einen Behälter 5 von der Startstation 7 zur
Zielstation 7 zu transportieren, steuert die Schlittensteuereinrichtung die
Operation des Transportwagens 3, um den Behälter 5 von
der Startstation 7 zu empfangen und den Behälter 5 zur
Zielstation 7 auszuliefern.
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Wenn
der Behälter 5 von der Startstation 7 empfangen
wird, steuert die Schlittensteuereinrichtung als Erstes eine Bewegung
des Transportwagens 3, um den Transportwagen 3 in
einer Anhalteposition entsprechend der Startstation 7 zu
stoppen. Als Nächstes führt, wobei der Transportwagen 3 in
der Anhalteposition entsprechend der Startstation 7 stillsteht,
die Schlittensteuereinrichtung eine Anhebesteuerung der Greifeinrichtung 4 durch,
um die Greifeinrichtung 4 von der oberen Position in die
untere Position abzusenken. Wenn sich die Greifeinrichtung 4 in
der unteren Position befindet, betätigt die Schlittensteuereinrichtung
den Greifmotor 27, um das Paar von Greifelementen 4a in
die Greifposition umzuschalten, wodurch die Greifelemente 4a den
Flansch 5a des Behälters 5 greifen. Der
Behälter 5 wird auf diese Weise empfangen. Anschließend
führt die Schlittensteuereinrichtung eine Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4 durch, um die Greifeinrichtung 4 aus
der unteren Position in die obere Position anzuheben. Dann steuert
die Schlittensteuereinrichtung eine Bewegung des Transportwagens 3,
um den Transportwagen 3 in einer Anhalteposition entsprechend
der Zielstation 7 anzuhalten.
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Wenn
der Transportwagen 3 in der Anhalteposition entsprechend
der Zielstation 7 gestoppt hat, führt die Schlittensteuereinrichtung
ein Ausliefern des Behälters 5 an die Zielstation 7 durch,
und zwar durch Durchführen einer Anhebesteuerung der Greifeinrichtung 4 und
eine Operation des Greifmotors 27, wie beim Empfangen des
Behälters 5 von der Startstation 7 durchgeführt.
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Der
Leitcomputer kann einen Einlagerungsbefehl geben, der eine der Mehrzahl
von Gegenstandträgereinrichtungen 28 bezeichnet
und eine Operation anweist, um einen Behälter 5 auf
der angegebenen Gegenstandträgereinrichtung 28 einzulagern.
Ein derartiger Fall wird nachfolgend beschrieben.
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Die
Schlittensteuereinrichtung steuert als Erstes eine Bewegung des
Transportwagens 3, um den Transportwagen 3 zu
einem Gegenstandtransferort entsprechend der Gegenstandträgereinrichtung 28 für
einen Transfer zu bewegen. Als Nächstes veranlasst, wobei
der Transportwagen 3 am Gegenstandtransferort entsprechend
der Gegenstandträgereinrichtung 28 für
einen Transfer stillsteht, die Schlittensteuereinrichtung die Betätigungsvorrichtung
S, die Herausschieboperation auszuführen. Durch die Herausschieboperation
der Betätigungsvorrichtung S wird die Gegenstandträgereinrich tung 28 aus
der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition
verschoben. Nach Durchführen einer Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 aus
der oberen Position in eine Position benachbart der Gegenstandträgereinrichtung 28 abzusenken,
betreibt die Schlittensteuereinrichtung den Greifmotor 27,
um das Paar von Greifelementen 4a in die Freigabeposition
umzuschalten, wodurch der Behälter 5 von der Greifeinrichtung 4 an die
in der Gegenstandtransferposition befindliche Gegenstandträgereinrichtung 28 ausgeliefert
wird. Dann wird nach Durchführen einer Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 in die
obere Position anzuheben, von der Schlittensteuereinrichtung veranlasst,
dass die Betätigungsvorrichtung S die Einziehoperation
ausführt. Durch die Einziehoperation der Betätigungsvorrichtung
S wird die Gegenstandträgereinrichtung 28 aus
der Gegenstandtransferposition in die Gegenstandaufbewahrungsposition
verschoben.
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Der
Leitcomputer kann einen Holbefehl geben, der eine von der Mehrzahl
von Gegenstandträgereinrichtungen 28 bezeichnet,
und eine Operation anweisen, um einen Behälter 5 aus
der angegebenen Gegenstandträgereinrichtung 28 zu
holen. Ein derartiger Fall wird nachfolgend beschrieben.
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Die
Schlittensteuereinrichtung steuert eine Bewegung des Transportwagens 3,
wie im Fall des Einlagerungsbefehls, um den Transportwagen 3 an einem
Gegenstandtransferort entsprechend der Gegenstandträgereinrichtung 28 für
einen Transfer anzuhalten. Dann veranlasst die Schlittensteuereinrichtung
die Steuervorrichtung S, die Herausschieboperation auszuführen.
Durch die Herausschieboperation der Betätigungsvorrichtung
S wird die Gegenstandträgereinrichtung 49 aus
der Gegenstandaufbewahrungsposition in die Gegenstandtransferposition verschoben.
Nach Durchführung einer Anhebesteuerung der Greifeinrichtung 4,
um die Greifeinrichtung 4 aus der oberen Position in eine
Position benachbart der Gegenstandträgereinrichtung 28 abzusenken, betreibt
die Schlittensteuereinrichtung den Greifmotor 27, um das
Paar von Greifelementen 4a in die Greifposition umzuschalten, wodurch
der Behälter 5 von der Gegenstandträgereinrichtung 28 aufgenommen
wird. Dann wird, nach Durchführen einer Anhebesteuerung
der Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 in
die obere Position anzuheben, von der Schlittensteuereinrichtung
die Steuervorrichtung S veranlasst, die Einziehoperation auszuführen.
Durch die Einziehoperation der Betätigungsvorrichtung S wird
die Gegenstandträgereinrichtung 28 aus der Gegenstandtransferposition
in die Gegenstandaufbewahrungsposition verschoben.
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[Weitere Ausführungsformen]
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- (1) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform ist
das Positionseinstellelement 40 dreieckig ausgebildet.
Die Form des Positionseinstellelementes 40 kann geeignet
variiert werden.
Beispielsweise kann, wie in 14 dargestellt, das
Positionseinstellelement 40 eine Form haben, die gegenüber
einem Dreieck so verändert ist, dass Reflektoren 60 auf
dem Positionseinstellelement 40 ausgebildet sind. In diesem
Fall kann die Position eines Behälters 5 auf der
Gegenstandträgereinrichtung 28 dadurch erfasst
werden, dass die Reflektoren 60 auf dem Positionseinstellelement 40 mit
an der Greifeinrichtung 4 angebrachten Erfassungssensoren
erfasst werden.
- (2) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform ist,
um die Gegenstandpositionierelemente 39 und das Positionseinstellelement 40 zu
installieren, das Positionseinstellelement 40, das mit
den Gegenstandpositionierelementen 39 ausgerüstet ist,
auf den Verbindungsrahmen 36 platziert, und die Gegenstandpositionierelemente 39 sind
an dem Verbindungsrahmen 36 mit dem Befestigungsbolzen 43 befestigt.
Die Gegenstandpositionierelemente 36 können in
verschiedener Weise geeignet installiert sein.
Beispielsweise
kann das Positionseinstellelement 40 mit Bolzen an dem
Verbindungsrahmen 36 befestigt sein, und die Gegenstandpositionierele mente 36 können
mittels Bolzen an dem Positionseinstellelement 40 befestigt
sein, das an den Verbindungsrahmen 36 mittels Bolzen befestigt ist.
- (3) Die zuvor beschriebene Ausführungsform stellt zwei
Verbindungsrahmen 36 bereit. Die Anzahl von Verbindungsrahmen 36 kann
geeignet variiert werden. Die Gegenstandpositionierelemente 39 können
ebenfalls geeignet variiert werden.
- (4) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform transferiert
die Gegenstandträgereinrichtung 28 in der Gegenstandtransferposition
einen Behälter 5 zur Greifeinrichtung 4 hin
und von dieser weg, wobei sich diese in einer Position nahe der
oberen Position befindet. Beispielsweise kann die Gegenstandträgereinrichtung 28 in
der Gegenstandtransferposition einen Behälter 5 zu
einer Greifeinrichtung 4 hin und von dieser weg transferieren,
die sich in der oberen Position befindet.
Die Position der
Gegenstandträgereinrichtung 28, die einen Behälter 5 zur
Greifeinrichtung 4 hin und von dieser weg transferiert,
ist nicht auf die obere Position oder die Position nahe der oberen
Position eingeschränkt, sondern es kann sich um eine Position
handeln, die um eine festgelegte Höhe unterhalb der oberen
Position ist. In diesem Fall kann ein Behälter 5 zwischen
der Gegenstandträgereinrichtung 28 und der Greifeinrichtung 4 dadurch
transferiert werden, dass die Greifeinrichtung 4 um die
festgelegte Höhe aus der oberen Position abgesenkt wird,
bei dem Zustand, bei dem sich die Gegenstandträgereinrichtung 28 in der
Gegenstandtransferposition befindet.
- (5) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform ist
eine Mehrzahl von Gegenstandträgereinrichtungen 28 entlang
der Führungsschiene 2 angeordnet. Die Anzahl der
Gegenstandträgereinrichtungen 28 kann geeignet
variiert werden. Zwar sind die Gegenstandträgereinrichtungen 28 zu beiden
Seiten der Führungsschiene 2 installiert, jedoch
können sie auch lediglich an einer einzigen Seite der Führungsschiene 2 installiert
sein.
- (6) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform weist
der Transportwagen 3 zwei Steuervorrichtungen S auf, d.
h. die Betätigungsvorrichtung S, welche die Gegenstandträgereinrichtungen 28 verschiebt,
die an der rechten Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind, und die Betätigungsvorrichtung S, welche die Gegenstandträgereinrichtungen 28 verschiebt,
die an der linken Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind. Beispielsweise ist es möglich, dass der Transportwagen 3 lediglich
eine einzige Betätigungsvorrichtung S aufweist, wobei die
Eingreifrolle 59 so bewegt werden kann, dass sie nach recht
und nach links vom Transportwagen 3 hervorsteht.
- (7) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform werden
von der Gegenstandtransportanlage als Gegenstände Behälter 5 transportiert,
in denen Halbleitersubstrate untergebracht sind. Die transportierten
Gegenstände können geeignet variiert werden.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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