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DE102006057756A1 - Line guide for manipulator has elements for guiding lines from feed point to test head, preferably attachment to test head or near it on manipulator or adapter, attachment for supply side guide element near line feed point, holding regions - Google Patents

Line guide for manipulator has elements for guiding lines from feed point to test head, preferably attachment to test head or near it on manipulator or adapter, attachment for supply side guide element near line feed point, holding regions Download PDF

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Publication number
DE102006057756A1
DE102006057756A1 DE200610057756 DE102006057756A DE102006057756A1 DE 102006057756 A1 DE102006057756 A1 DE 102006057756A1 DE 200610057756 DE200610057756 DE 200610057756 DE 102006057756 A DE102006057756 A DE 102006057756A DE 102006057756 A1 DE102006057756 A1 DE 102006057756A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
wiring
guide
test head
manipulator
lines
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200610057756
Other languages
German (de)
Inventor
Josef Weinberger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Esmo AG
Original Assignee
Esmo AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Esmo AG filed Critical Esmo AG
Priority to DE200610057756 priority Critical patent/DE102006057756A1/en
Publication of DE102006057756A1 publication Critical patent/DE102006057756A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02GINSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G11/00Arrangements of electric cables or lines between relatively-movable parts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

The line guide (10) has several movably connected guide elements for guiding the lines (2) from a line feed point to the test head, preferably a head attachment for a guide element to the test head or near it on the manipulator or an adapter, preferably an attachment on the supply side for a supply side guide element near a line feed point and one or more holding regions at which lines can be attached to the line guide. An independent claim is also included for a manipulator.

Description

Die Erfindung betrifft eine Leitungsführung für einen Manipulator, und einen Manipulator selbst.The The invention relates to a cable guide for a manipulator, and a Manipulator itself.

Manipulatoren sind Tragegestelle, die schwere Testköpfe zum elektrischen Testen von elektrischen Komponenten beweglich haltern. Testköpfe dienen zum Testen beispielsweise komplexer integrierter Schaltkreise. Solche Testköpfe nehmen entsprechend der zunehmenden Komplexität der zu testenden Schaltkreise ihrerseits an Komplexität und damit Volumen und Gewicht zu. Derzeitiger Stand ist, dass ein Testkopf für einen integrierten Schaltkreis über 1.000 kg wiegen kann und trotz des hohen Gewichts präzise, leicht und sicher zu einer Stelle bewegt werden können muss, an der sich die zu testende elektrische Komponente (integrierter Schaltkreis) befindet. Ein Beispiel für einen solchen Manipulator ist in der DE 10 2004 018 474.7 beschrieben.Manipulators are carrying racks that support heavy test heads for electrical testing of electrical components. Test heads are used to test, for example, complex integrated circuits. Such test heads, in turn, increase in complexity and hence in volume and weight, in accordance with the increasing complexity of the circuits under test. The current state of the art is that an integrated circuit test head can weigh over 1,000 kg and, despite its high weight, must be able to be precisely, easily and safely moved to a location where the electrical component under test (integrated circuit) is located. An example of such a manipulator is in the DE 10 2004 018 474.7 described.

Ein Testkopf enthält die verschiedensten elektrischen und mechanischen Komponenten, um die benötigten Tests durchführen zu können. Neben verschiedenen analogen und digitalen elektrischen Komponenten und mechanischen Komponenten zur Kontaktierung enthält er auch Temperierkomponenten, um Tests unter verschiedenen Temperaturzuständen und -bedingungen durchführen zu können.One Contains test head the most diverse electrical and mechanical components to the required perform tests to be able to. In addition to various analog and digital electrical components and mechanical components for contacting it also contains Temperierkomponenten to tests under different temperature conditions and conditions to be able to.

Ein Testkopf ist in 1a schematisch mit Bezugsziffer 1 gezeichnet. 1a ist der Kontaktierungsbereich, mittels dessen über einen geeigneten mechanischen und/oder elektrischen Docking-Mechanismus der zu kontaktierende IC kontaktiert werden kann. Für Testköpfe ist es wünschenswert, dass sie in mindestens zwei Raumrichtungen translatorisch beweglich sind, vorzugsweise in alle drei Raumrichtungen. Darüber hinaus ist eine Verschwenkbarkeit gewünscht, um zu testenden ICs aus unterschiedlichen Raumrichtungen anfahren zu können, beispielsweise längs einer horizontalen Richtung oder von unten längs einer vertikalen Richtung, so dass der Kontaktierungsbereich 1a dementsprechend ausgerichtet werden muss.A test head is in 1a schematically with reference number 1 drawn. 1a is the contacting area, by means of which a suitable mechanical and / or electrical docking mechanism of the IC to be contacted can be contacted. For test heads, it is desirable that they are translationally movable in at least two spatial directions, preferably in all three spatial directions. In addition, a pivotability is desired in order to be able to approach ICs to be tested from different spatial directions, for example along a horizontal direction or from below along a vertical direction, so that the contacting region 1a must be aligned accordingly.

Ein Manipulator ermöglicht diese Art von Bewegungen eines Testkopfs. Er nimmt zum einen die Gewichtskraft des Testkopfs auf und erlaubt zum anderen durch geeignete mechanische Auslegung dessen sichere und möglichst leichtgängige Bewegung entsprechend den gewünschten Auslegungen und Randbedingungen.One Manipulator allows this kind of movements of a test head. He takes the weight on the one hand of the test head and on the other hand by suitable mechanical Designing its safe and possible smooth Movement according to the desired Interpretations and boundary conditions.

Ein Testkopf ist aber kein für sich allein arbeitendes Gebilde. Vielmehr weist er seinerseits Verbindungsleitungen 2 zu einer feststehenden Versorgungseinheit 3 auf. Entsprechend der zunehmenden Größe und Komplexität von Testköpfen 1 werden auch die Verbindungsleitungen 2 des Testkopfs 1 zu seiner Versorgungseinheit 3 zunehmend voluminöser und auch schwerer. Der Stand 2006 bezüglich der Leitungen 2 zu und von einem Testkopf ist, dass die Leitungen ein Gesamtgewicht von 100 bis 200 kg haben können und einen Gesamtdurchmesser von 0,1 bis 0,4 qm. Die Leitungen können elektrische Signal- und Versorgungsleitungen, Hydraulikleitungen, Pneumatikleitungen, Temperierungsleitungen für Fluide (Kühlluft, Kühlflüssigkeit, Erwärmungsmedien) und ähnliches aufweisen. Die elektrischen Leitungen können digitale oder analoge Leitungen sein, Hochfrequenzleitungen, geschirmte oder ungeschirmte Leitungen, verschiedene Datenbusse und ähnliches.However, a test head is not a work that works on its own. Rather, he has his turn connecting lines 2 to a fixed supply unit 3 on. Due to the increasing size and complexity of test heads 1 also become the connecting lines 2 of the test head 1 to his supply unit 3 increasingly voluminous and also heavier. The stand 2006 concerning the wires 2 to and from a test head is that the lines can have a total weight of 100 to 200 kg and a total diameter of 0.1 to 0.4 square meters. The lines may include electrical signal and supply lines, hydraulic lines, pneumatic lines, temperature control lines for fluids (cooling air, cooling fluid, heating media) and the like. The electrical lines may be digital or analog lines, radio frequency lines, shielded or unshielded lines, various data buses, and the like.

Die Vielzahl der Leitungen, die vom Testkopf 1 weg oder zu ihm hinführen, stellt in zunehmender Weise ein Problem dar. Die Leitungen sind mechanisch sperrig und behindern die Bewegung des Testkopfs. Darüber hinaus ist ihr Gewicht nicht vernachlässigungswert gegenüber dem Gewicht des Testkopfs. Es ändert sich deshalb mit veränderlicher Testkopflage und insbesondere geändertem Hub des Testkopfs auch das von den Leitungen her vom Manipulator aufzunehmende Gewicht, so dass eine womöglich vorgenommene Austarierung des Testkopfs 1 im Manipulator mittels Gegengewichten nur punktuell stimmt und darüber hinaus womöglich vorhandene Kraftregelungen in einem Antrieb des Manipulators mit großzügigen Toleranzen ausgestattet werden müssen, damit das von den Leitungen herrührende veränderliche Gewicht nicht zu Fehlregelungen bzw. Fehlsteuerungen führt, so dass der eigentliche Sinn der Regelung verloren geht.The variety of leads coming from the test head 1 away or to it, is increasingly a problem. The leads are mechanically bulky and obstruct the movement of the test head. In addition, their weight is not negligible compared to the weight of the test head. Therefore, with a variable test head position and in particular a changed stroke of the test head, the weight to be taken up by the manipulator from the leads also changes, so that a possibly made balance of the test head 1 in the manipulator by counterweights only punctually correct and beyond possibly existing force controls in a drive of the manipulator must be equipped with generous tolerances so that the originating from the lines variable weight does not lead to faulty control or faulty controls, so that the actual purpose of the scheme is lost ,

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Leitungsführung für einen Manipulator anzugeben, die die definierte Führung der Leitungen zu und von einem Testkopf in leichter Weise erlaubt und die auch die von den Leitungen herrührende Gewichtsveränderlichkeit merklich verringert.task the invention is to specify a routing for a manipulator, the defined leadership allows the leads to and from a test head easily and also the origin of the lines weight variability noticeably reduced.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, einen entsprechend ausgebildeten Manipulator anzugeben.A Another object of the invention is to provide a trained accordingly Specify manipulator.

Diese Aufgaben werden mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Abhängige Patentansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.These Tasks are solved with the features of the independent claims. Dependent claims are to preferred embodiments directed the invention.

Eine Leitungsführung für Leitungen zu und von einem von einem Manipulator beweglich gehaltenen Testkopf hat mehrere Führungsglieder, die zum Halten und Führen der Leitungen zu und von einem Testkopf beweglich miteinander verbunden sein können. Die Leitungsführung kann eine kopfseitige Befestigung zur Befestigung eines kopfseitigen Führungsglieds und/oder eine versorgungsseitige Befestigung zur Befestigung eines versorgungsseitigen Führungsgliedes der Leitungsführung aufweisen. Weiter können mehrere Haltbereiche vorgesehen sein, an denen Leitungen an der Leitungsführung befestigbar sind.A conduit for conduits to and from a test head movably supported by a manipulator has a plurality of guide members which may be movably interconnected to hold and guide the conduits to and from a test head. The wiring may have a head-side attachment for attaching a head-side guide member and / or a supply-side attachment for attaching a supply-side guide member of the wiring. Furthermore, a plurality of holding regions can be provided, to which lines can be fastened to the cable guide.

Teile der Leitungsführung können translatorisch und/oder rotatorisch beweglich sein, insbesondere gegenüber einem Teil des Manipulators.parts the cable routing can be translational and / or rotationally movable, in particular across from a part of the manipulator.

Die Leitungsführung kann einen Wagen aufweisen, der gegenüber einem Teil des Manipulators verfahrbar ist und der Teile (Teillängen) der Leitungen trägt. Der Wagen kann Führungsglieder aufweisen, die die auf dem Wagen ruhenden Leitungsteillängen in bestimmter Weise halten und führen. Die Führungsglieder können gegenüber dem Wagen beweglich sein, insbesondere drehbeweglich.The wiring may comprise a carriage which is movable relative to a part of the manipulator is and parts (part lengths) carries the cables. The carriage can guide members have, which are resting on the car line lengths in to hold and guide in a certain way. The guide members can across from the car be mobile, in particular rotatable.

Ein Manipulator weist ein Stativ auf, ein auf dem Stativ stehenden Turm, längs dessen ein Arm vertikal verfahrbar ist, eine am Arm befestigte und mit diesem vertikal verfahrbare Kopfhalterung für den Testkopf und eine Leitungsführung wie oben beschrieben. Der Turm kann gegenüber dem Stativ verfahrbar sein, vorzugsweise horizontal.One Manipulator has a tripod, a tower standing on the tripod, along that An arm is vertically movable, one attached to the arm and with this vertically movable head holder for the test head and a cable guide like described above. The tower can be moved relative to the tripod, preferably horizontal.

Nachfolgend werden bezugnehmend auf die Zeichnungen einzelne Ausführungsformen der Erfindung beschrieben, es zeigenfollowing Referring to the drawings, individual embodiments described the invention, show it

1a eine erfindungsgemäße Konstruktion in Seitenansicht, 1a a construction according to the invention in side view,

1b die Situation der 1a in Draufsicht (von oben), 1b the situation of 1a in plan view (from above),

2a bis 2c verschiedene Stellungen einer Leitungsführung, 2a to 2c different positions of a cable routing,

3 schematisch ein Diagramm zur Erläuterung geometrischer Verhältnisse, 3 schematically a diagram for explaining geometric relationships,

4 ein Detail der Leitungsführung, 4 a detail of the wiring,

5 eine weitere Ausführungsform der Leitungsführung, und 5 another embodiment of the wiring, and

6 eine weitere Ausführungsform der Leitungsführung. 6 another embodiment of the wiring.

Allgemein bezeichnen in den Zeichnungen gleiche Bezugsziffern gleiche Komponenten. Merkmale, die in dieser Beschreibung angesprochen sind, sollen, soweit dies technisch möglich ist, auch dann, wenn es nicht explizit gesagt ist, als miteinander kombinierbar angesprochen sein und angesehen werden.Generally In the drawings, like reference numerals designate like components. Features addressed in this specification are intended to be as far as technically possible is, even if it is not explicitly stated, as combined with each other be addressed and viewed.

In den 1a und 1b bezeichnen die Bezugsziffern 1 einen Testkopf, 1a den Kontaktbereich des Testkopfs hin zur zu testenden Schaltung, 4 eine Adapterplatte zwischen Testkopf und Manipulator, 20 allgemein einen Manipulator mit einem Turm 21, einem vertikal verfahrbaren Arm 22, einer Testkopfhalterung 23 mit einer Drehachse 23a und einem Stativ 24. Der Turm 21 kann einen Schlittenbereich 21a aufweisen, mittels dessen er gegenüber dem Stativ 24 mit Füssen 24a verfahrbar ist.In the 1a and 1b denote the reference numerals 1 a test head, 1a the contact area of the test head towards the circuit under test, 4 an adapter plate between the test head and the manipulator, 20 generally a manipulator with a tower 21 , a vertically movable arm 22 , a test head holder 23 with a rotation axis 23a and a tripod 24 , The tower 21 can a sled area 21a by means of which he opposite the tripod 24 with feet 24a is movable.

Die Seite des Testkopfs 1, an der sich der Kontaktbereich 1a des Testkopfs 1 befindet, wird als Vorderseite bezeichnet, die gegenüberliegende Seite als Rückseite. 2 bezeichnet Leitungen, die zum Testkopf hin und von ihm wegführen. 3 bezeichnet eine Versorgungseinrichtung, die beispielsweise in Form eines großen, feststehenden Schrankes vorgesehen sein kann.The side of the test head 1 at which the contact area 1a of the test head 1 is referred to as the front, the opposite side as the back. 2 refers to leads leading to and away from the test head. 3 denotes a supply device, which may be provided for example in the form of a large, fixed cabinet.

Häufig sind Testeinrichtungen (Chip-Handler, Testkopf, Manipulator) und insbesondere Aufbauten der 1a in Reinräumen untergebracht. Diese weisen in der Regel einen Zwischenboden auf, unter dem die Leitungen 2 vom Manipulator 20 zum Versorgungsschrank 3 laufen können. In 1a ist dies schematisch angedeutet. Im Bereich zwischen Manipulator 20 und Versorgungsschrank 3 sind die Leitungen 2 mehr oder minder fest, während sie im Bereich des Manipulators 20 entsprechend der Bewegung des Testkopfs 1 in gewissem Umfang beweglich sind. Die Leitungen laufen in Leitungsrichtung. Damit soll nicht eine streng geometrisch zu verstehende Richtung, sondern die logische Richtung zwischen Versorgungsschrank 3 und Testkopf 1 angesprochen sein.Frequently test equipment (chip handler, test head, manipulator) and in particular structures of the 1a housed in clean rooms. These usually have an intermediate floor, under which the lines 2 from the manipulator 20 to the supply cabinet 3 be able to walk. In 1a this is indicated schematically. In the area between manipulator 20 and supply cabinet 3 are the wires 2 more or less firm while in the area of the manipulator 20 according to the movement of the test head 1 are movable to some extent. The cables run in the direction of the cable. This is not meant to be a strictly geometrical direction, but the logical direction between supply cabinet 3 and test head 1 be addressed.

In den 1a ist die z-Richtung die vertikale Richtung. Die x-Richtung gibt eine Richtung an, längs derer der Testkopf 1 verfahrbar ist. Die y-Richtung liegt auch horizontal und rechtwinklig zur x-Richtung. Auch längs der y-Richtung kann der Testkopf 1 in gewissem Umfang verfahrbar sein.In the 1a the z-direction is the vertical direction. The x-direction indicates a direction along which the test head 1 is movable. The y-direction is also horizontal and perpendicular to the x-direction. Also along the y-direction of the test head 1 be moved to some extent.

Die Verfahrbarkeit des Testkopfs längs der x-Richtung kann anders als in 1a gezeigt, nicht nur über die Verfahrung des ganzen Turms 21 gegenüber dem Stativ 24 bewirkt werden. Es kann auch eine Verfahrbarkeit des Testkopfs 1 innerhalb der Kopfhalterung 23 längs der x-Richtung vorgesehen sein. Die Verfahrbarkeit des Testkopfs 1 in x- und z-Richtung kann jeweils einen Bereich von einigen Dezimetern bis zu zwei Metern betragen. Die Verfahrbarkeit in der anderen horizontalen Richtung (y-Richtung in 1a) kann ein Bruchteil der Verfahrbarkeit in der anderen horizontalen Richtung (x-Richtung) sein, beispielsweise 10%, oder sie kann auf wenige Zentimeter begrenzt sein, beispielsweise auf einen Bereich von < 10 cm, um Feinjustierung auch in dieser Raumrichtung vornehmen zu können, deren Grobjustierung anderweitig bewerkstelligt wurde. Die Verfahrbarkeit in y-Richtung kann bspw. durch geeignete Gestaltung der Verbindung zwischen zwei oder mehreren Führungsgliedern ermöglicht werden.The mobility of the test head along the x-direction can be different than in 1a shown, not only about the operation of the whole tower 21 opposite the tripod 24 be effected. It can also be a traversability of the test head 1 inside the headgear 23 be provided along the x-direction. The mobility of the test head 1 In the x- and z-direction each can range from a few decimetres up to two meters. The movability in the other horizontal direction (y-direction in 1a ) can be a fraction of the movability in the other horizontal direction (x-direction), for example 10%, or it can be limited to a few centimeters, for example to a range of <10 cm, in order to make fine adjustments in this spatial direction as well, whose coarse adjustment was otherwise accomplished. The mobility in the y-direction can, for example, be made possible by suitable design of the connection between two or more guide members.

Bezugszeichen 10 in 1a bezeichnet allgemein eine Leitungsführung, die die Leitungen 2 zumindest bereichsweise führt und trägt. Die Leitungsführung kann bereichsweise am Manipulator 20 und/oder am Testkopf 1 bzw. der Adapterplatte 4 und/oder am anderen Ende (versorgungsseitiges Ende, in 1a, rechtes Ende des Stativs 24) mit eben dem Stativ des Manipulators 20 oder auch mit dem Boden selbst verbunden sein. Teile der Leitungsführung 10 können gegenüber Teilen des Manipulators 20, insbesondere gegenüber dem Stativ 24 und/oder gegenüber dem Turm 21 verfahrbar sein. Diese Verfahrbarkeit kann linear längs einer mehr oder minder horizontalen Achse (Neigungswinkel < 20°, vorzugsweise < 10°) gegeben sein.reference numeral 10 in 1a generally designates a routing that the lines 2 at least partially leads and bears. The cable routing can be partially on the manipulator 20 and / or on the test head 1 or the adapter plate 4 and / or at the other end (supply end, in 1a , right end of the tripod 24 ) with just the tripod of the manipulator 20 or be connected to the ground itself. Parts of the cable routing 10 can be compared to parts of the manipulator 20 , especially with respect to the tripod 24 and / or opposite the tower 21 be movable. This mobility can be given linearly along a more or less horizontal axis (inclination angle <20 °, preferably <10 °).

Die Draufsicht der 1b zeigt, dass der Turm 21 des Manipulators seitlich neben dem Strang der Leitungen 2 steht und somit auch die Bewegung des Testkopfs 1 in x-Richtung nicht auf den Turm zu und von ihm weg erfolgen muss, sondern auch auf einer Bahn seitlich am Turm 21 vorbei erfolgen kann.The top view of 1b shows that the tower 21 of the manipulator laterally next to the strand of the lines 2 stands and thus also the movement of the test head 1 in the x-direction not on the tower to and from it must be made, but also on a lane on the side of the tower 21 can be done over.

Die 2a, 2b und 2c zeigen eine Ausführungsform der Leitungsführung in verschiedenen Positionen. Es handelt es sich jeweils um die gleiche Konstruktion. Die Leitungsführung weist mehrere Führungsglieder 11 auf, insbesondere ein kopfseitiges Führungsglied 11a und ein versorgungsseitiges Führungsglied 11d und dazwischen weitere Führungsglieder 11b und 11c. Sie können beweglich, insbesondere drehbeweglich miteinander verbunden sein. In der gezeigten Ausführungsform sind Drehachsen 12 (insbesondere 12a, 12b, 12c und 12d) vorgesehen, die jeweils benachbarte Führungsglieder 11 drehbeweglich miteinander verbinden. Die Drehachsen können parallel zueinander sein. Eine in Leitungsrichtung mittig gelegene Drehachse (12b in der Ausführungsform der 2a) kann verschieblich gehalten sein. Die Drehachse 12b kann längs Schienen 13 verschieblich sein. Die Schienen 13 können in Richtung der Hauptbewegungsrichtung des Testkopfs in horizontaler Richtung (x-Richtung) ausgerichtet sein und erlauben dementsprechend eine Bewegung der Drehachse 12b, um die herum sich die benachbarten Führungsglieder drehen können.The 2a . 2 B and 2c show an embodiment of the wiring in different positions. These are each the same construction. The cable guide has a plurality of guide members 11 on, in particular a head-side guide member 11a and a supply-side guide member 11d and in between more leaders 11b and 11c , You can be mobile, in particular rotatably connected to each other. In the embodiment shown are axes of rotation 12 (especially 12a . 12b . 12c and 12d ) are provided, each adjacent guide members 11 rotatably connect with each other. The axes of rotation can be parallel to each other. A centrally located in the direction of line rotation axis ( 12b in the embodiment of the 2a ) can be held displaceable. The rotation axis 12b can along rails 13 be displaceable. The rails 13 may be aligned in the direction of the main direction of movement of the test head in the horizontal direction (x-direction) and accordingly allow a movement of the axis of rotation 12b around which the adjacent guide links can rotate.

Die Schienen 13 können die Drehachse 12b in seitlicher Richtung abstützen und die Gewichtskraft der über der Achse hoch in den Komponenten (Leitungen, Leitungsführung) aufnehmen. Die Schienen 13 können so ausgelegt sein, dass sie nicht nur das seitliche Ausbrechen verhindern, sondern auch das Ausbrechen nach oben. Anstelle der Drehachse 12b selbst können die Schienen 13 auch einen sonstigen Teil eines Führungsglieds halten und führen, etwa Zapfen, die seitlich von einem Führungsglied abstehen.The rails 13 can the rotation axis 12b Support in the lateral direction and record the weight of the above the axis high in the components (lines, wiring). The rails 13 They can be designed to not only prevent lateral breakage but also to break up. Instead of the rotation axis 12b even the rails can 13 also hold and guide another part of a guide member, such as pins, which protrude laterally from a guide member.

Die Schienen 13 können starr mit dem Turm verbunden und so mit ihm verschieblich sein. Sie können aber auch am Stativ starr angebracht sein oder auf einem eigenen Podest auf dem Boden aufstehen.The rails 13 can be rigidly connected to the tower and thus be movable with it. But you can also be rigidly attached to the tripod or get up on a separate pedestal on the floor.

Jedes Führungsglied kann in sich starr sein. Es kann eine nennenswerte Ausdehnung in einer auf der ersten Ebene senkrecht stehenden ersten Richtung (y-Richtung) haben. Ein Führungsglied kann mehrere Längsstreben 17 aufweisen, die in der ersten Richtung y beabstandet sind. Zwischen den Längsstreben 17 können eine oder mehrere Streben 18 vorzugsweise rechtwinklig zu den Längsstreben 17 verlaufen. Eine Strebe kann auch eine Drehachse 12 bilden oder koaxial zu ihr sein. Das kopfseitige Führungsglied 11a kann starr oder beweglich, dann vorzugsweise drehbeweglich an der kopfseitigen Befestigung 17 angebracht sein. Das versorgungsseitige Führungsglied 11d kann starr oder drehbeweglich an einer versorgungsseitigen Befestigung 17b beispielsweise am Manipulator oder am Boden des Raumes befestigt sein.Each guide member can be rigid in itself. It may have a significant extension in a first direction (y-direction) perpendicular to the first plane. A guide member can have several longitudinal struts 17 which are spaced in the first direction y. Between the longitudinal struts 17 can one or more struts 18 preferably at right angles to the longitudinal struts 17 run. A strut can also be a rotation axis 12 make up or be coaxial with her. The head-side guide member 11a can be rigid or movable, then preferably rotatable on the head mounting 17 to be appropriate. The supply-side guide member 11d can be rigid or rotatable on a supply side mounting 17b for example, be attached to the manipulator or at the bottom of the room.

Mit 15 sind Halteeinrichtungen bezeichnet, die eine oder mehrere der geführten Leitungen halten. Sie können als Zugentlastung in der Weise ausgebildet sein, dass sie auch Kräfte in Richtung der Leitung aufnehmen. Vorzugsweise sind am kopfseitigen Führungsglied 11a und am versorgungsseitigen Führungsglied 11d Halteeinrichtungen 15b und 15a vorgesehen, die als Zugentlastungen ausgebildet sein können. Auch an anderen Führungsgliedern 11 können Halteeinrichtungen (auch als Zugentlastung) vorgesehen sein. Die Halteinrichtungen 15 können sich in y-Richtung erstrecken, vorzugsweise über die gleiche Breite wie ein Führungsglied selbst.With 15 are holding means which hold one or more of the guided lines. They can be designed as a strain relief in such a way that they also absorb forces in the direction of the line. Preferably, the head-side guide member 11a and on the supply side guide member 11d holding devices 15b and 15a provided that can be designed as strain reliefs. Also on other management members 11 may be provided (also as strain relief) holding devices. The holding devices 15 may extend in the y-direction, preferably over the same width as a guide member itself.

Die einzelnen Führungsglieder 11 können in sich einstellbar sein, um sie an unterschiedliche Gegebenheiten anpassen zu können. Dies kann insbesondere für das versorgungsseitige Führungsglied 11d gelten, um es an den Anschluss insbesondere an die versorgungsseitige Befestigungseinrichtung 17b anpassen zu können. Hierzu kann ein Führungsglied eine Verstelleinrichtung 16 aufweisen, mit der etwa die Abwinklung oder Länge des jeweiligen Führungsglieds eingestellt werden kann. Im normalen Betrieb ist die Verstelleinrichtung vorzugsweise nicht veränderlich, sondern festgelegt, beispielsweise durch Verschraubung oder Klemmung.The individual leaders 11 can be adjustable in order to adapt to different circumstances. This can in particular for the supply-side guide member 11d apply to the connection, in particular to the supply-side fastening device 17b to be able to adapt. For this purpose, a guide member an adjusting 16 have, with about the bend or length of the respective guide member can be adjusted. In normal operation, the adjustment is preferably not variable, but fixed, for example by screwing or clamping.

Die Leitungsführung kann ein oder mehrere Führungseinrichtungen 14 aufweisen, die die von der Leitungsführung geführten Leitungen insbesondere über Knicke der Leitungsführung hinweg führen. Es kann sich bei ihnen um abgewinkelte Bleche handeln, die sich in Breitenrichtung (y-Richtung) der Leitungsführung erstrecken und die sich insbesondere im Übergangsbereich zwischen zwei Führungsgliedern bzw. im Endbereich eines Führungsglieds befinden. Diese Führungseinrichtungen 14 können an ihrer außen gewölbten Oberfläche (Führungseinrichtung 14a und 14c) oder an ihrer nach innen gewölbten Oberfläche (bei 14b) von den geführten Leitungen belegt sein und diese im Übergangsbereich bzw. in Abwicklungsbereichen stützen und insoweit auch Mindestradien vorgeben, um unerwünschtes Abknicken der geführten Leitungen zu verhindern. Die Mindestradien entsprechen den konstruierten Querschnittsformen (in x-/z-Ebene) der Führungseinrichtungen 14.The routing may include one or more guidance devices 14 have, which lead the guided by the wiring lines in particular over kinks of the wiring away. They may be angled sheets which extend in the width direction (y-direction) of the line guide and which are in particular in the transition region between two guide members or in the end region of a guide member the. These leadership facilities 14 can on their outside arched surface (guide device 14a and 14c ) or on its inwardly curved surface (at 14b ) be occupied by the guided lines and support them in the transition area or in settlement areas and also specify minimum radii so as to prevent unwanted kinking of the guided lines. The minimum radii correspond to the constructed cross-sectional shapes (in x- / z-plane) of the guide means 14 ,

Die Führungseinrichtungen können beispielsweise an einem Führungsglied befestigt sein (auch drehbeweglich) und können gegebenenfalls am anderen Führungsglied gleitend gehalten werden. Die Führungseinrichtung 14a ist beispielsweise am Führungsglied 11a oder am Führungsglied 11b starr befestigt. Die Führungseinrichtung 14b ist am Führungsglied 11b drehbeweglich um Drehpunkt 14d herum befestigt und läuft längs eines Gleitlagers 14e am anderen Führungsglied 11c. Die Führungseinrichtung 14c kann am versorgungsseitigen Führungsglied 11d starr befestigt sein. Insbesondere können sich Führungseinrichtungen 14 in der Nähe und insbesondere am gleichen Führungsglied befinden wie auch Befestigungseinrichtung 15.The guide means may for example be attached to a guide member (also rotatably) and may optionally be slidably supported on the other guide member. The management device 14a is for example on the guide member 11a or on the guide member 11b rigidly attached. The management device 14b is on the guide link 11b rotatable about pivot point 14d attached and runs along a plain bearing 14e on the other guide member 11c , The management device 14c can on the supply side guide member 11d be rigidly attached. In particular, management facilities can 14 in the vicinity and in particular on the same guide member as well as fastening device 15 ,

Die einzelnen Führungsglieder können geradlinig sein (z.B. 11c) oder können in Leitungsrichtung abgewinkelt sein (z.B. 11d, 11b), wobei die Abwinklung Biegerichtungen der geführten Leitungen entsprechen können.The individual leaders can be straight (eg 11c ) or can be angled in the direction of the pipe (eg 11d . 11b ), wherein the bend can correspond Biegerungen the guided lines.

2a zeigt eine Position der Leitungsführung, in der sich der (nicht gezeigte) Kopf 1 relativ weit vorne befindet, also relativ weit links in der Zeichenebene. Dementsprechend ist der Gesamtaufbau relativ gestreckt zwischen kopfseitiger Befestigung 17a und versorgungsseitiger Befestigung 17b, und der von der Schiene 13 geführte Punkt der Leitungsführung, zum Beispiel Achse 12b, befindet sich relativ weit vorne auf der Schiene, also links in der Zeichenebene der 2a. 2a shows a position of the wiring in which the head (not shown) 1 is relatively far forward, so relatively far left in the drawing plane. Accordingly, the overall structure is relatively stretched between the head-side attachment 17a and supply side mounting 17b , and that of the rail 13 guided point of the wiring, for example axis 12b , is located relatively far forward on the rail, so left in the plane of the 2a ,

Es kann weiterhin sein, dass der Testkopf 1 noch um die Achse 23a der 1a herum drehverschwenkt ist, insbesondere so, dass der Kontaktbereich 1a des Testkopfs 1 nach oben zeigt und dementsprechend das kopfseitige Führungsglied 11a vom Kopf weg nicht wie in 2a gezeigt nach rechts oben zeigt, sondern nach rechts unten. Dementsprechend wären dann auch die Positionen der Führungsglieder 11b und auch des geführten Punkts längs der Schienen 13 und der übrigen Führungsglieder anders als gezeigt. Insbesondere die kopfseitigen Führungsglieder 11a und 11b können noch gestreckter sein als in 2a gezeigt.It may also be that the test head 1 still around the axis 23a of the 1a is pivoted about, in particular so that the contact area 1a of the test head 1 pointing upwards and accordingly the head-side guide member 11a not from the head like in 2a shown pointing to the top right, but to the bottom right. Accordingly, then the positions of the leaders would be 11b and also the guided point along the rails 13 and the other leaders differently than shown. In particular, the head-side guide members 11a and 11b can be even more stretched than in 2a shown.

2b zeigt eine Ausführungsform, bei der der Mechanismus weiter nach hinten verschoben ist, weil der (nicht gezeigte) Testkopf 1 vom Manipulator weiter nach hinten geschoben wurde. Demzufolge ist der Gesamtaufbau weniger gestreckt. Die einzelnen Führungsglieder legen sich zickzackartig zusammen und führen dementsprechend die Leitungen. Der längs der Schienen 13 geführte Punkt befindet sich auf der Schienen 13 weiter hinten als in 2a, also weiter rechts in der Zeichenebene. 2 B shows an embodiment in which the mechanism is shifted further backwards because the test head (not shown) 1 pushed further back by the manipulator. As a result, the overall structure is less stretched. The individual guide members lie together in a zigzag manner and guide the lines accordingly. The along the rails 13 guided point is on the rails 13 further back than in 2a , that is, to the right of the drawing plane.

2c zeigt eine noch weiter zurückgezogene Position. Die einzelnen Führungsglieder sind abermals näher aneinander angelegt. Die zwei versorgungsseitigen Führungsglieder 11c und 11b schließen (über die jeweiligen Drehpunkte gemessen) einen spitzen Winkel < 20° ein. Vorteilhaft ist es, wenn, wie in 2c und auch in den übrigen Figuren gezeigt, die Achse 12d, die vom in der Schiene 13 geführten Punkt aus gesehen hinter der nach oben ausknickenden Achse 12c liegt, unterhalb der Trajektorie 13a der Schiene 13 liegt. Dadurch wandert beim Zusammenschieben der Leitungsführung die nach oben ausknickende Verbindung 12c entsprechend den geometrischen Verhältnissen weiter nach hinten, so dass im Bereich der Führungseinrichtung 14b die geführten Leitungen nicht über die Maßen zusammengedrückt werden. 2c shows a still retracted position. The individual leaders are once again closer together. The two supply-side guide members 11c and 11b Close (measured over the respective pivot points) an acute angle <20 °. It is advantageous if, as in 2c and also shown in the other figures, the axis 12d Being in the rail 13 guided point seen from behind the upturning axis 12c is below the trajectory 13a the rail 13 lies. As a result, the upward buckling connection moves when the cable guide is pushed together 12c according to the geometric conditions further to the rear, so that in the region of the guide device 14b the routed lines are not compressed beyond measure.

Die Leitungsführung kann nicht gezeigte Sensoren und/oder Endfühler haben, die bestimmte Positionen oder Positionsbeziehungen der Elemente der Leitungsführungen erfassen (qualitativ oder quantitativ). Diese Sensoren können mit einem gegebenenfalls vorhandenen Antrieb des Manipulators gekoppelt sein und beispielsweise einen weiteren Antrieb in eine bestimmte Richtung verhindern, wenn dies zu weiterer unerwünschter Bewegung, etwa wegen des überstarken Abknickens von Leitungen, führen würde. Anstelle von oder zusätzlich zu Sensoren können auch mechanische Anschläge vorgesehen sein, die bestimmte Bewegungen absolut oder relativ verhindern.The wiring may have sensors and / or end probes, not shown, which have certain positions or positional relationships of the elements of the cable guides capture (qualitatively or quantitatively). These sensors can work with coupled to an optionally existing drive of the manipulator be and, for example, another drive in a particular Prevent direction, if this leads to further unwanted movement, approximately because of the overpowering Kinking of lines, lead would. Instead of or in addition to sensors can also mechanical stops be provided that absolutely or relatively prevent certain movements.

In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Leitungsführung 4 Führungsglieder wie folgt aufweisen: Ein kopfseitiges 11a, das fest oder beweglich am Kopf 1 oder einem Adapter 4 befestigt ist und von diesem nach hinten oben wegführt, ein davon nach hinten unten wegführendes Führungsglied 11b, das zwischen zwei Drehgelenken 11a und 11b liegt, wobei das versorgungsseitige Drehgelenk 12b in der Schiene 13 oder einer ähnlichen Führungseinrichtung geführt oder zumindest in seiner Gewichtskraft gestützt ist, ein davon nach hinten oben wegführendes und drehbar angelegtes weiteres Führungsglied 13c und ein wiederum daran angelegtes nach hinten unten wegführendes versorgungsseitiges Führungsglied 13d. Letzteres kann an einer versorgungsseitigen Befestigung 17b befestigt sein.In a preferred embodiment, the wiring 4 Guide members have as follows: A head-side 11a that is firm or agile on the head 1 or an adapter 4 is fixed and leads away from this backwards upwards, one of them leading backwards downwards guide member 11b that between two swivel joints 11a and 11b lies, with the supply side swivel 12b in the rail 13 or a similar guide device is guided or at least supported in its weight, one of which rearwardly above wegführendes and rotatably applied further guide member 13c and a turn down leading away supply side guide member attached thereto 13d , The latter can be attached to a supply side 17b be attached.

3 zeigt die sich einstellenden Verhältnisse schematisch. Hier sind ansteller der realen Führungsglieder 11 die ideale Linien 11a'... zwischen den jeweiligen Verbindungs- bzw. Befestigungspunkten 12 bzw. 17 dargestellt. Von einer Seite (beispielsweise von unten) gesehen sind die Winkel zwischen den Verbindungslinien 11a', 11b', 11c' und 11d' abwechselnd kleiner und größer 180°. Die gezeigten Winkel α, β und γ sind jeweils < 180°. 3 shows the resulting conditions schematically. Here are the real leaders 11 the ideal lines 11a ' ... between the respective connection or attachment points 12 respectively. 17 shown. Seen from one side (for example, from below) are the angles between the connecting lines 11a ' . 11b ' . 11c ' and 11d ' alternately smaller and larger than 180 °. The angles α, β and γ shown are each <180 °.

4 zeigt nochmals schematisch die Verhältnisse um die Führungshalterung 13. Sie führt einen Fixpunkt 41 in Richtung der jeweiligen Schienen, also in etwa horizontal in der Zeichenebene der 4 entsprechend den gezeigten Pfeilen. Der Fixpunkt kann der Drehpunkt der beiden anliegenden Führungsglieder 11 sein. Diese sind längs der zwei gezeigten gebogenen Pfeile drehbar. Schematisch angedeutet ist eine andere Möglichkeit: die Führungshalterung 13' muss nicht zwingend den Drehpunkt der beiden anliegenden Führungsglieder 11 halten, sondern kann auch einen anderen Fixpunkt halten, beispielsweise einen Vorsprung 41' an einem der Führungsglieder. 4 shows again schematically the conditions around the guide bracket 13 , It leads a fixed point 41 in the direction of the respective rails, so approximately horizontally in the plane of the 4 according to the arrows shown. The fixed point can be the fulcrum of the two adjoining guide links 11 be. These are rotatable along the two curved arrows shown. Schematically indicated is another possibility: the guide bracket 13 ' does not necessarily have the fulcrum of the two adjacent guide members 11 but can also hold another fixture, such as a lead 41 ' on one of the guide links.

5 zeigt eine weitere Ausführungsform. Hier weist die Leitungsführung einen beweglichen Wagen 50 auf, der auf einer Führung (etwa Schienen) 59 beweglich laufen kann. Der Wagen 50 kann über einen eigenen Antrieb oder durch ein Gestänge angetrieben sein. 58 symbolisiert insoweit einen Antrieb. Er kann aber auch unangetrieben sein und von den durch die Kopfbewegung bewegten Leitungen verschoben werden. 5 shows a further embodiment. Here, the wiring has a movable carriage 50 up on a guide (about rails) 59 can run mobile. The car 50 can be powered by its own drive or by a linkage. 58 symbolizes a drive in this respect. But it can also be unrestrained and be moved by the moved by the movement of the head lines.

Abgesehen vom Aufstand auf der Führung 59 kann der Wagen frei laufen. Er muss nicht weiter am Testkopf und/oder am Manipulator und/oder am Boden befestigt sein. Die Leitungsführung weist Führungsglieder 51a und 51b auf, die in geeigneter Dimensionierung Teile der Leitungen führen. Die Führungsglieder 51a, 51b können gegeneinander und/oder gegenüber dem Wagen beweglich, insbesondere drehbeweglich längs Drehachsen 52a, 52b sein. Auch sie können wieder angetrieben sein, was durch Antriebe 57 symbolisiert ist. Der womöglich vorhandene Antrieb der Führungsglieder 51 kann abhängig von der Wagenposition längs seiner Verschiebungsrichtung sein.Apart from the uprising on the leadership 59 the car can run free. It does not need to be further attached to the test head and / or manipulator and / or floor. The cable guide has guide members 51a and 51b on, which lead in suitable dimensioning parts of the lines. The guide members 51a . 51b can move against each other and / or relative to the carriage, in particular rotatable along axes of rotation 52a . 52b be. They too can be powered again, thanks to drives 57 is symbolized. The possibly existing drive of the guide links 51 may be dependent on the carriage position along its direction of displacement.

Statt mit einem Antriebs 57 können die Führungsglieder 51, 52 aber auch (einstellbar) elastisch gelagert sein, etwa in der Weise, dass sie um ihre Anlenkungen 52 nach oben gedrückt und von der Gewichtskraft der Leitungen wieder nach unten gespreizt werden. Die Führungsglieder können aber auch völlig unangetrieben sein. Sie werden dann von den einigermaßen steifen Leitungen mitsamt den an ihnen geführten Leitungen in sich einstellende Schwenkpositionen geschoben.Instead of a drive 57 can the leaders 51 . 52 but also (adjustable) to be mounted elastically, approximately in such a way that it around their linkages 52 pushed upwards and spread by the weight of the lines back down. The leaders can also be completely driven. They are then pushed by the reasonably stiff lines together with the lines running on them in self-adjusting pivoting positions.

Die Auslegung kann insgesamt so sein, dass der Wagen 50 mit den Führungsgliedern 51 einen Teil der Leitungslänge V-förmig mit variablem Öffnungsgrad hält, wobei durch den variablen Öffnungsgrad die unterschiedliche Leitungslänge entsprechend den unterschiedlichen Positionen des Testkopfs 1 ausgegeben bzw. wieder aufgenommen werden können. In weit ausgefahrenem Zustand (vorne oben, Kopf nach oben gedreht) werden die Führungsglieder 51 weit geöffnet und somit einen sehr stumpfen Winkel bilden, während in der anderen Extremlage (Testkopf hinten unten, nach vorne ausgerichtet) die Führungsglieder sei es durch ihren Antrieb oder durch elastische Lagerung oder schon aufgrund der Steifigkeit der Leitungen um ihren Drehpunkt 52 herum zur Vertikalen hin gedrückt werden und so die überschüssigen Leitungslängen aufnehmen.Overall, the interpretation can be such that the car 50 with the leaders 51 holds a portion of the line length V-shaped variable opening degree, wherein the variable opening degree by the variable opening degree corresponding to the different positions of the test head 1 can be issued or resumed. In far extended state (front top, head turned upwards) are the guide links 51 wide open and thus form a very obtuse angle, while in the other extreme position (test head back down, aligned forward) the guide members, either by their drive or by elastic bearing or even due to the rigidity of the lines around its fulcrum 52 are pushed around to the vertical and so absorb the excess line lengths.

Wie die vorher beschriebene Ausführungsform kann die Leitungsführung der 5 eine Befestigungseinrichtung 15 haben, mit der die Leitungen am Wagen und/oder an einem oder mehreren der Führungsglieder festgehalten und gegebenenfalls zugentlastet werden. Auch können wieder Führungseinrichtungen 14 vorgesehen sein, insbesondere an den freien Enden der Führungsglieder. Die Schiene 59 kann am Turm 21 bzw. dem Turmfuß 21a befestigt sein oder am Stativ 24 oder kann über ein eigenes Gestell auf dem Fußboden aufstehen.Like the previously described embodiment, the routing of the 5 a fastening device 15 have, with which the cables are held on the car and / or on one or more of the guide members and optionally relieved of strain. Also can re-guide facilities 14 be provided, in particular at the free ends of the guide members. The rail 59 can at the tower 21 or the tower base 21a be attached or on the tripod 24 or can get up on the floor via its own frame.

In der Ausführungsform der 5 können die Leitungen Freiräume zwischen der Leitungsführung und Testkopf bzw. zwischen Leitungsführung und Zuführstelle der Leitungen frei hängend bzw. laufend überbrücken.In the embodiment of the 5 For example, the lines can freely bridge or continuously bridge clearances between the line guide and the test head or between the line guide and the feed point of the lines.

6 zeigt eine weitere Ausführungsform der Leitungsführung. Sie weist ein Führungsglied 61 auf, dessen versorgungsseitiges Ende 61a am Boden oder am Manipulator, vorzugsweise an dessen Stativ, beweglich, insbesondere drehbeweglich (Pfeil 66) um eine Achse 63 senkrecht zur Zeichnungsebene, befestigbar ist und dessen kopfseitiges Ende 61b frei nach schräg oben auf den Kopf zu auskragt. Sein kopfseitiges Ende kann höher liegen als die höchste Position des Kopfs. Seine Länge kann länger sein als der maximal mögliche Verfahrweg des Kopfs in x-Richtung. Am oberen Ende des Führungsglieds 61 kann ein einen Mindestbiegeradius vorgebendes Führungseinrichtung 64 vorgesehen sein. Das Führungsglied 61 kann in sich steif sein oder zwei oder mehrere beweglich und vorzugsweise elastisch miteinander verbundene Teile aufweisen. Insbesondere kann ein oberer Teil des Führungsglieds 61 elastisch um eine Achse 65 (in y-Richtung) herum verschwenkbar sein (Pfeil 67), um in gewissem Umfang einen Längenausgleich zu ermöglichen. Im übrigen kann das Führungsglied 61 so wie eines der Führungsglieder 11 der 1 aufgebaut sein (insbes. Längsstreben 17, Streben 18, Ausdehnung in y-Richtung). 6 shows a further embodiment of the wiring. It has a guide link 61 on, its supply-side end 61a on the floor or on the manipulator, preferably on the stand, movable, in particular rotatable (arrow 66 ) around an axis 63 perpendicular to the plane, can be fastened and its head end 61b cantilevered over at the top of the head. Its head-end may be higher than the highest position of the head. Its length may be longer than the maximum possible travel of the head in the x direction. At the upper end of the guide member 61 may be a minimum bend radius predetermining guide device 64 be provided. The guide member 61 may be stiff in itself or have two or more movable and preferably elastically interconnected parts. In particular, an upper part of the guide member 61 elastic about an axis 65 (in the y-direction) to be pivotable around (arrow 67 ) to allow for a degree of length compensation. Otherwise, the guide member 61 like one of the leaders 11 of the 1 be constructed (especially longitudinal struts 17 , Striving 18 , Expansion in y-rich tung).

Die Leitungsführung kann außerdem einen Antrieb 62 für das Führungsglied 61 aufweisen. Der Antrieb kann ein positionsgesteuert oder -geregelt sein und kann einen Motor aufweisen. Der Antrieb kann aber auch ein Gestänge oder sonstiger Mechanismus sein oder aufweisen, der das Führungsglied 61 entsprechend der Bewegung eines anderen bewegten Teils, insbesondere des Turms 21 und/oder des vertikal verfahrbaren Arms 22 des Manipulators, bewegt. Der Antrieb 62 kann eine auf die Bewegung des Kopfs abgestimmte Bewegung des Führungsglieds 61 erzeugen, insbesondere eine Schwenkbewegung des Führungsgliedes um seine unten liegende Drehachse 63 herum.The wiring can also drive 62 for the leader 61 exhibit. The drive may be position controlled or controlled and may include a motor. The drive can also be or have a linkage or other mechanism that the guide member 61 according to the movement of another moving part, in particular of the tower 21 and / or the vertically movable arm 22 of the manipulator, moves. The drive 62 can be a movement of the head matched to the movement of the head 61 generate, in particular a pivoting movement of the guide member about its underlying axis of rotation 63 around.

Der Antrieb kann ein Gestänge sein, dessen eines Ende am mittleren oder oberen Bereich des Führungsglieds ansetzt und dessen anderes Ende tiefer liegen kann als das eine Ende und am Turm 21 und insbesondere an dessen Fuß oder Schlittenbereich 21a befestigt ist.The drive may be a linkage whose one end attaches to the middle or upper portion of the guide member and the other end may be lower than the one end and the tower 21 and in particular at the foot or the carriage area 21a is attached.

Der Antrieb kann auch eine Federeinrichtung in der Weise sein, dass das Führungsglied 61 elastisch in Richtung der aufgerichtete Position (mit dem Uhrzeigersinn in 6) gedrückt wird. Aus dieser kann es gegen den Uhrzeigersinn verschwenkt werden, indem es bspw. unmittelbar durch die Leitungen oder ein anderes Zugelement gezogen wird. Die Federeinrichtung kann dann wieder die Bewegung in die andere Richtung bewirken. Sie kann eine herkömmliche Schrauben- oder Blattfeder oder eine Gasfeder sein oder aufweisen.The drive may also be a spring device in such a way that the guide member 61 elastic in the direction of the upright position (clockwise in 6 ) is pressed. From this it can be pivoted counterclockwise, for example, by being pulled directly through the lines or another tension element. The spring device can then cause the movement in the other direction again. It may be or have a conventional screw or leaf spring or a gas spring.

Die Leitungsführung führt die Leitungen 2 längs ihrer Länge von der Versorgungsseite von unten bis zum auskragenden freien Ende 61b oben, über das hinweg die Leitungen frei nach unten und entsprechend der Kopfposition mehr oder minder weit nach vorne zum Kopf laufen.The cable routing leads the lines 2 along its length from the supply side from below to the projecting free end 61b above, over which the cables run freely downwards and according to the head position more or less forward to the head.

Das Verschieben des Kopfs in x-Richtung bewirkt auch eine Bewegung des Führungsglieds 61. Wird der Kopf nach rechts geschoben, wird dementsprechend das Führungsglied 61 mit dem Uhrzeigersinn aufwärts geschwenkt, so dass der Abstand zwischen dem freien Ende 61b des Führungsglieds 61 und dem Ansatzpunkt der Leitungen 2 am Testkopf 1 in etwa gleich bleibt und so die Leitungen weitgehend ohne Lose zwischen Kopf und Führungsglied laufen.The displacement of the head in the x direction also causes a movement of the guide member 61 , If the head is pushed to the right, accordingly, the guide member 61 pivoted upwards in the clockwise direction, leaving the distance between the free end 61b of the guide member 61 and the starting point of the lines 2 on the test head 1 remains approximately the same and so the lines run largely without lots between the head and guide member.

Das Führungsglied kann nicht gezeigte Befestigungseinrichtungen und/oder Zugentlastungen für die Leitungen aufweisen.The guide member not shown fasteners and / or strain relief for the lines exhibit.

Nachfolgend werden einige Abmessungen und Größenordnungen der Leitungsführung angegeben:
Das Leitungsgesamtgewicht kann 50 kg oder mehr, vorzugsweise 100 kg oder mehr, weiter vorzugsweise 150 kg oder mehr sein. Der Testkopf kann 500 kg oder mehr, vorzugsweise 1000 kg oder mehr, weiter vorzugsweise 1500 kg oder mehr wiegen. Die Leitungen, die in der Leitungsführung werden, umfassen elektrische Leitungen für Energie und/oder Signale (Bus, Hochfrequenz, Analog), Lüftungsleitungen, Kühlmittelleitungen, Hydraulikleitungen, Pneumatikleitungen. Einzelne Leitungen haben einen Durchmesser von mehr als 5 cm, vorzugsweise mehr als 10 cm, weiter vorzugsweise mehr als 20 cm. Der Gesamtdurchmesser der Leitungen kann größer als 0,1 qm, vorzugsweise 0,3 qm sein. Die Querabmessung der Leitungsführung (y-Richtung der Zeichnungen) beträgt mindestens 50 cm, vorzugsweise mindestens 80 cm). Die Abmessung eines Führungsglieds zwischen seinen Befestigungen beträgt mehr als 0,5 m, vorzugsweise mehr als 1 m. Der Gesamtbewegungsbereich in x-Richtung des Testkopfs, für den die Leitungsführung ausgelegt ist, ist größer 1 m, vorzugsweise größer 1,5 m. In z-Richtung ist die zulässige Bewegung größer 50 cm, vorzugsweise größer 1 m. In y-Richtung kann eine Verschiebung von 5 cm oder mehr, vorzugsweise 10 cm oder mehr zulässig sein.
The following are some dimensions and orders of magnitude of the wiring:
The total line weight may be 50 kg or more, preferably 100 kg or more, more preferably 150 kg or more. The test head may weigh 500 kg or more, preferably 1000 kg or more, more preferably 1500 kg or more. The lines that are being routed include power and / or electrical (bus, radio frequency, analog) power lines, vent lines, coolant lines, hydraulic lines, pneumatic lines. Individual lines have a diameter of more than 5 cm, preferably more than 10 cm, more preferably more than 20 cm. The total diameter of the lines can be greater than 0.1 square meters, preferably 0.3 square meters. The transverse dimension of the cable routing (y-direction of the drawings) is at least 50 cm, preferably at least 80 cm). The dimension of a guide member between its mounts is more than 0.5 m, preferably more than 1 m. The total range of movement in the x-direction of the test head, for which the cable routing is designed, is greater than 1 m, preferably greater than 1.5 m. In the z-direction, the permissible movement is greater than 50 cm, preferably greater than 1 m. In the y-direction, a displacement of 5 cm or more, preferably 10 cm or more may be permissible.

Claims (32)

Leitungsführung (10) für Leitungen (2) zu und von einem Testkopf (1), der von einem Manipulator (20) beweglich gehaltenen wird, mit mehreren beweglich miteinander verbundenen Führungsgliedern (11) zum Führen der Leitungen (2) von einer Leitungszuführstelle zum Testkopf, vorzugsweise einer kopfseitigen Befestigung (17) zur Befestigung (17) eines kopfseitigen Führungsglieds (11) der Leitungsführung (10) am Testkopf (1) oder in seiner Nähe am Manipulator (20) oder einem Adapter (4), vorzugsweise einer versorgungsseitigen Befestigung (17) zur Befestigung eines versorgungsseitigen Führungsglieds (11) der Leitungsführung (10) in der Nähe einer Leitungszuführstelle, und einem oder mehreren Haltebereichen (15), an denen Leitungen (2) an der Leitungsführung (10) befestigt werden können.Wiring ( 10 ) for cables ( 2 ) to and from a test head ( 1 ), by a manipulator ( 20 ) is movably held, with a plurality of movably interconnected guide members ( 11 ) for guiding the lines ( 2 ) from a lead supply point to the test head, preferably a head-side attachment ( 17 ) for fixing ( 17 ) of a head-side guide member ( 11 ) of the wiring ( 10 ) on the test head ( 1 ) or in the vicinity of the manipulator ( 20 ) or an adapter ( 4 ), preferably a supply-side attachment ( 17 ) for fastening a supply-side guide member ( 11 ) of the wiring ( 10 ) in the vicinity of a line feed point, and one or more holding areas ( 15 ), on which lines ( 2 ) on the cable routing ( 10 ) can be attached. Leitungsführung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Führungsglieder (11) in einer ersten, vorzugsweise nicht horizontalen, weiter vorzugsweise vertikalen Ebene (x-z) beweglich sind.Wiring ( 10 ) according to claim 1, characterized in that a plurality of guide members ( 11 ) are movable in a first, preferably non-horizontal, more preferably vertical plane (xz). Leitungsführung (10) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere, vorzugsweise alle Führungsglieder (11) eine Ausdehnung in einer auf der ersten Ebene senkrecht stehenden ersten Richtung (y) haben und mehrere Leitungen (2) in der ersten Richtung (y) nebeneinander an den Führungsgliedern (11) anbringbar sind.Wiring ( 10 ) according to claim 2, characterized in that several, preferably all guide members ( 11 ) have an extension in a first direction (y) perpendicular to the first plane, and a plurality of lines ( 2 ) in the first direction (y) next to each other on the guide members ( 11 ) are attachable. Leitungsführung (10) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Führungsglieder (11) zwei oder mehr in der ersten Richtung (y) beabstandete Längsstreben (17) und zwischen ihnen eine oder mehrere Streben (18) aufweisen.Wiring ( 10 ) according to claim 3, characterized in that one or more guide members ( 11 ) two or more in the first direction (y) spaced longitudinal struts ( 17 ) and between them one or more aspirations ( 18 ) exhibit. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Führungsglieder (11) um eine Achse (12) herum drehbeweglich miteinander verbunden sind.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that two guide members ( 11 ) about an axis ( 12 ) are rotatably connected together around. Leitungsführung (10) nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Strebe (18) eine Achse (12) bildet oder koaxial zu ihr ist.Wiring ( 10 ) according to claims 4 and 5, characterized in that a strut ( 18 ) an axis ( 12 ) or coaxial with it. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsglieder (11) in sich starr sind.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the guide members ( 11 ) are rigid in themselves. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die kopfseitige und/oder die versorgungsseitige Befestigung (17) eine Drehbewegung des befestigten Führungsglieds (11) erlauben.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the head-side and / or the supply-side fastening ( 17 ) a rotational movement of the attached guide member ( 11 ) allow. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das kopfseitige Führungsglied (11) starr am oder in der nähe des Testkopfs (1) befestigbar ist.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the head-side guide member ( 11 ) rigidly at or near the test head ( 1 ) is attachable. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigung (17) am Testkopf (1) bei nach vorne ausgerichtetem Testkopf (1) in seinem hinteren Bereich und vorzugsweise in vertikaler Richtung in der Mitte +/– 30% der vertikalen Testkopfabmessung erfolgt.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the attachment ( 17 ) on the test head ( 1 ) with the test head pointing forward ( 1 ) in its rear region, and preferably in the vertical direction in the middle is +/- 30% of the vertical test head dimension. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Führungsglieder (11), insbesondere ein versorgungsseitiges Führungsglied (11), einstellbar sind.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that one or more guide members ( 11 ), in particular a supply-side guide member ( 11 ), are adjustable. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, mit einer Führungshalterung (13) zum Halten eines zwischen kopfseitigem und versorgungsseitigem Führungsglied gelegenen Führungsglieds (11).Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, with a guide holder ( 13 ) for holding a between the head-side and supply-side guide member located guide member ( 11 ). Leitungsführung (10) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungshalterung (13) eine lineare und vorzugsweise gegen die Horizontale nicht stärker als 10° geneigte Bewegung des gehaltenen Teils des Führungsglieds (11) erlaubt.Wiring ( 10 ) according to claim 12, characterized in that the guide holder ( 13 ) a linear and preferably not more than 10 ° inclined to the horizontal movement of the held part of the guide member ( 11 ) allowed. Leitungsführung (10) nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die versorgungsseitige Befestigung (17b) unter der von der Führungshalterung (13) definierten Bewegungstrajektorie liegt.Wiring ( 10 ) according to claim 12 or 13, characterized in that the supply-side attachment ( 17b ) below that of the guide bracket ( 13 ) defined movement trajectory lies. Leitungsführung (10) für Leitungen (2) zu und von einem Testkopf (1), der von einem Manipulator (20) beweglich gehaltenen wird, mit einem beweglich Wagen (50), an dem Teile der Leitungen (2) angebracht werden können, und einem oder mehreren am Wagen (50) angebrachten Führungsgliedern (51a, 51b) zum Führen von Stücken der Leitung (2).Wiring ( 10 ) for cables ( 2 ) to and from a test head ( 1 ), by a manipulator ( 20 ) is kept movable with a movable carriage ( 50 ), on which parts of the lines ( 2 ) and one or more on the cart ( 50 ) ( 51a . 51b ) for guiding pieces of the line ( 2 ). Leitungsführung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere der Führungsglieder (51a, 51b) beweglich, insbesondere drehbeweglich am Wagen (50) angebracht sind.Cable guide according to claim 15, characterized in that one or more of the guide members ( 51a . 51b ) movable, in particular rotatable on the carriage ( 50 ) are mounted. Leitungsführung nach Anspruch 15 oder 16, mit einem Wagenantrieb (58) und/oder einem Führungsgliedantrieb (57).Cable routing according to claim 15 or 16, with a carriage drive ( 58 ) and / or a guide member drive ( 57 ). Leitungsführung nach einem oder mehreren der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Wagen (50) auf Schienen (59) verfahrbar ist.Cable routing according to one or more of Claims 15 to 17, characterized in that the carriage ( 50 ) on tracks ( 59 ) is movable. Leitungsführung nach einem oder mehreren der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsglieder (51) die Leitungsteile in veränderbar abgewinkelter Weise führen.Cable guide according to one or more of claims 15 to 18, characterized in that the guide members ( 51 ) lead the pipe parts in changeable angled manner. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, mit drei oder mehr Führungsgliedern (11), die zum zickzackartigen Einfahren ausgelegt sind.Wiring ( 10 ) according to one or more of claims 1 to 14, with three or more management members ( 11 ), which are designed for zigzag retraction. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, mit drei oder mehr Führungsgliedern (11), wobei der Zwischenwinkel zwischen mindestens zwei Führungsgliedern (11) nie größer als 120° und/oder nie kleiner als 10° ist.Wiring ( 10 ) according to one or more of claims 1 to 14, with three or more management members ( 11 ), wherein the intermediate angle between at least two guide members ( 11 ) is never greater than 120 ° and / or never less than 10 °. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine oder mehrere Führungseinrichtungen (14), über die eine oder mehrere der Leitungen (2) von einem Führungsglied (11, 51) weg laufen.Wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims, characterized by one or more guide devices ( 14 ), via which one or more of the lines ( 2 ) of a guide member ( 11 . 51 ) Run away. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, mit mindestens vier über mindestens drei Drehachsen drehbeweglich miteinander verbundenen Führungsgliedern (11), wobei die drei Drehachsen abwechselnd nach oben, unten und wieder oben ausknicken.Wiring ( 10 ) according to one or more of claims 1 to 14, with at least four rotationally connected to each other via at least three axes of rotation guide members ( 11 ), wherein the three axes of rotation alternately up, down and up again buckle. Leitungsführung für Leitungen (2) zu und von einem Testkopf (1), der von einem Manipulator (20) beweglich gehaltenen wird, mit einem Führungsglied (61) zum Führen der Leitungen längs seiner Länge, das im Bereich seines einen Endes (61a) beweglich, vorzugsweise drehbeweglich befestigbar ist, und einem Antrieb (62), der das Führungsglied abgestimmt auf die Bewegung des Testkopfs antreibt.Cable routing for cables ( 2 ) to and from a test head ( 1 ), by a manipulator ( 20 ) is movably held, with a guide member ( 61 ) for guiding the lines along its length, that in the area of its one end ( 61a ) is movable, preferably rotatably attachable, and a drive ( 62 ) which drives the guide member in alignment with the movement of the test head. Manipulator (20) für einen Testkopf (1), mit einem Stativ (24), einem auf dem Stativ (24) stehenden Turm (21), längs dessen ein Arm (22) vertikal verfahrbar ist, einer am Arm (22) befestigten und mit diesem vertikal verfahrbaren Kopfhalterung (23) für den Testkopf (1), und einer Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche.Manipulator ( 20 ) for a test head ( 1 ), with a tripod ( 24 ), one on the tripod ( 24 ) standing tower ( 21 ), along which one arm ( 22 ) is vertically movable, one on the arm ( 22 ) and with this vertically movable headgear ( 23 ) for the test head ( 1 ), and a wiring ( 10 ) according to one or more of the preceding claims. Manipulator (20) nach Anspruch 25 mit einer Leitungsführung (10) nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Führungshalterung (13) näher am Turm (21) liegt als die kopfseitige Befestigung (17a).Manipulator ( 20 ) according to claim 25 with a wiring ( 10 ) according to claim 12 or 13, wherein the guide holder ( 13 ) closer to the tower ( 21 ) lies as the head-side attachment ( 17a ). Manipulator (20) nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungshalterung (13) unter der Halterung des Testkopfs (1) liegt.Manipulator ( 20 ) according to claim 25 or 26, characterized in that the guide holder ( 13 ) under the holder of the test head ( 1 ) lies. Manipulator (20) nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungsführung (10) die Leitungen (2) seitlich am Turm (21) vorbei führt.Manipulator ( 20 ) according to claim 25 or 26, characterized in that the cable routing ( 10 ) the lines ( 2 ) on the side of the tower ( 21 ) leads past. Manipulator (20) nach einem oder mehreren der Ansprüche 25 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die kopfseitige Befestigung (17) auf der einen und die versorgungsseitige Befestigung (17) auf der anderen Seite des Turms liegen.Manipulator ( 20 ) according to one or more of claims 25 to 28, characterized in that the head-side attachment ( 17 ) on the one hand and the supply-side attachment ( 17 ) on the other side of the tower. Manipulator (20) nach einem oder mehreren der Ansprüche 25 bis 29, bei dem mindestens ein Teil der Kopfalterung, vorzugsweise die gesamte Kopfhalterung (23) mit dem Turm (21), gegenüber dem Stativ (24) vorzugsweise horizontal verfahrbar ist.Manipulator ( 20 ) according to one or more of claims 25 to 29, wherein at least a part of the headrest, preferably the entire headrest ( 23 ) with the tower ( 21 ), opposite the tripod ( 24 ) is preferably horizontally movable. Manipulator (20) nach Anspruch 30 mit einer Leitungsführung (10) nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Führungshalterung (13) mit dem Teil der Kopfalterung und vorzugsweise mit der gesamten Kopfhalterung (23) und dem Turm (21), gegenüber dem Stativ (24) verfahrbar ist.Manipulator ( 20 ) according to claim 30 with a wiring ( 10 ) according to claim 12 or 13, wherein the guide holder ( 13 ) with the part of the headrest and preferably with the entire headrest ( 23 ) and the tower ( 21 ), opposite the tripod ( 24 ) is movable. Leitungsführung (10) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 24, gekennzeichnet durch eines oder mehrere der folgenden Merkmale: die Leitungsführung (10) ist für Leitungsgesamtgewichte bis 50 kg, vorzugsweise bis 100 kg, weiter vorzugsweise bis 200 kg ausgelegt, die Leitungsführung (10) ist für Leitungen (2) zu einem Testkopf (1) mit einem Gesamtgewichte bis 500 kg, vorzugsweise bis 1.000 kg, weiter vorzugsweise bis 2.000 kg ausgelegt, die Leitungsführung (10) ist zur Führung einer oder mehrerer elektrischer Energie- und/oder Signalleitungen (2) und/oder Lüftungsleitungen (2) und/oder Kühlmittelleitungen (2) und/oder Hydraulikleitungen (2) und/oder Pneumatikleitungen (2) ausgelegt, eine oder mehrere Leitungen (2) oder zusammengefasste Leitungsbündel haben einen Durchmesser > 5 cm, vorzugsweise > 10 cm, der Gesamtleitungsdurchmesser liegt über 0,1 m2, vorzugsweise über 0,2 m2, die Führungsglieder (11) und/oder der Wagen (30) haben in der ersten Richtung (y) eine Ausdehnung von > 50 cm, vorzugsweise > 100 cm, eines oder mehrere Führungsglieder (11) haben in Führungsrichtung eine Ausdehnung von > 30 cm, vorzugsweise > 60 cm.Wiring ( 10 ) according to one or more of claims 1 to 24, characterized by one or more of the following features: 10 ) is designed for cable gross weights up to 50 kg, preferably up to 100 kg, more preferably up to 200 kg, the wiring ( 10 ) is for lines ( 2 ) to a test head ( 1 ) with a total weight of up to 500 kg, preferably up to 1,000 kg, more preferably up to 2,000 kg, the wiring ( 10 ) is for guiding one or more electrical energy and / or signal lines ( 2 ) and / or ventilation ducts ( 2 ) and / or coolant lines ( 2 ) and / or hydraulic lines ( 2 ) and / or pneumatic lines ( 2 ), one or more lines ( 2 ) or combined cable bundles have a diameter> 5 cm, preferably> 10 cm, the total line diameter is over 0.1 m 2 , preferably over 0.2 m 2 , the guide members ( 11 ) and / or the car ( 30 ) have in the first direction (y) an extension of> 50 cm, preferably> 100 cm, one or more guide members ( 11 ) have in the guide direction an extension of> 30 cm, preferably> 60 cm.
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