DE20119289U1

DE20119289U1 - Handling device, in particular for positioning a test head on a test device

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Filing date: 2001-11-27
Publication date: 2002-02-14
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Description

Dr.-Ing. Helmuth Heigl München, 27. November 2001Dr.-Ing. Helmuth Heigl Munich, 27 November 2001

83059 Kolbermoor Unser Zeichen: 141 026 G83059 Kolbermoor Our reference: 141 026 G

Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer PrüfeinrichtungHandling device, in particular for positioning a test head on a test device

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient. Die Handhabungsvorrichtung weist eine Halterung für einen Testkopf auf, der mit einem aus mehreren Kabelsträngen zusammengesetzten Kabel verbunden ist. Die Handhabungsvorrichtung weist ferner eine Tragsäule auf, bezüglich der die Halterung verstellbar angeordnet ist. An der Tragsäule ist eine Führungseinrichtung zum Halten der Kabelstränge vorgesehen.The invention relates to a handling device which is used in particular for positioning a test head on a test device. The handling device has a holder for a test head which is connected to a cable composed of several cable strands. The handling device also has a support column, with respect to which the holder is adjustably arranged. A guide device for holding the cable strands is provided on the support column.

Eine derartige Handhabungsvorrichtung oder Manipulator dient in erster Linie dazu, einen Testkopf exakt bezüglich einer Prüfeinrichtung zu positionieren. Anwendung findet die Handhabungsvorrichtung daher üblicherweise bei der Prüfung elektronischer Bauelemente, wie etwa integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeit der elektronischen Bauelemente ermitteln zu können, ist es erforderlich, den vergleichsweise schweren Testkopf präzise an die Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, etwa ein Device Handler oder Wafer Prober, stellt die durch den Testkopf zu überprüfenden elektronischen Bauelemente bereit.Such a handling device or manipulator is primarily used to position a test head precisely in relation to a test device. The handling device is therefore usually used to test electronic components, such as integrated circuits (IC) or wafers. In order to be able to determine the functionality of the electronic components, it is necessary to move the comparatively heavy test head precisely to the test device. The test device, such as a device handler or wafer prober, provides the electronic components to be tested by the test head.

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Ein unverfälschtes Meßergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente läßt sich nur dann gewährleisten, wenn der Testkopf exakt an der Prüfeinrichtung angedockt wird. Eine genaue und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung ist daher unerläßlich.An unadulterated measurement result when testing electronic components can only be guaranteed if the test head is docked precisely to the test device. Precise and smooth adjustment of the handling device that positions the test head is therefore essential.

Eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art ist in der DE 195 17 330 A1 beschrieben. Die bekannte Handhabungsvorrichtung weist eine Tragsäule auf, an der eine den Testkopf tragende HaI-terung höhenverstellbar angeordnet ist. Die Tragsäule ist mit einer an einem Tragarm angeordneten Führungseinrichtung zum Halten eines mit dem Testkopf verbundenen Kabels versehen, die als Tragring ausgebildet ist. Der Tragring ist in horizontaler Richtung verschwenkbar gelagert, wodurch das Kabel den Bewegungen des Testkopfs folgen kann.A handling device of the type mentioned at the beginning is described in DE 195 17 330 A1. The known handling device has a support column on which a holder carrying the test head is arranged in a height-adjustable manner. The support column is provided with a guide device arranged on a support arm for holding a cable connected to the test head, which is designed as a support ring. The support ring is mounted so that it can pivot in the horizontal direction, which allows the cable to follow the movements of the test head.

Als Nachteil der bekannten Handhabungsvorrichtung hat sich die Führung des Kabels herausgestellt. Grund hierfür ist vor allem, daß das Kabel in der Regel einen vergleichsweise großen Durchmesser aufweist und daher verhältnismäßig unbiegsam ist. Der verschwenkbar an der Tragsäule der Handhabungsvorrichtung angeordnete Tragring vermag aufgrund dieser Steifigkeit des Kabels nur unzureichend eine zuverlässige Führung des Kabels entsprechend der Bewegung des Testkopfs zu gewährleisten. Dies hat zur Folge, daß das aufgrund der Bewegung des Testkopfs regelmäßig auf Torsion beanspruchte Kabel einer verhältnismäßig hohen Abnutzung unterliegt, die nicht selten zu einer irreparablen Beschädigung des Kabels führt.The cable guidance has proven to be a disadvantage of the known handling device. The main reason for this is that the cable usually has a relatively large diameter and is therefore relatively inflexible. Due to the rigidity of the cable, the support ring, which is arranged so that it can pivot on the support column of the handling device, is not able to guarantee reliable guidance of the cable in accordance with the movement of the test head. This means that the cable, which is regularly subjected to torsion due to the movement of the test head, is subject to relatively high levels of wear, which often leads to irreparable damage to the cable.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, daß sichThe invention is based on the object of developing a handling device of the type mentioned at the outset in such a way that

ein zuverlässiges Führen des mit dem Testkopf verbundenen Kabels während der Bewegung des Testkopfs erzielen läßt.a reliable guidance of the cable connected to the test head can be achieved during the movement of the test head.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist in Übereinstimmung mit Anspruch 1 bei einer Handhabungsvorrichtung mit den anfangs genannten Merkmalen erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Führungseinrichtung mit wenigstens einer Gleitfläche versehen ist, auf der die Kabelstränge nebeneinander anordbar sind. Die Kabelstränge sind dabei zumindest im Bereich eines hinteren Endes der Gleitfläche festklemmbar.To achieve this object, in accordance with claim 1, in a handling device with the initially mentioned features, the invention provides that the guide device is provided with at least one sliding surface on which the cable strands can be arranged next to one another. The cable strands can be clamped at least in the region of a rear end of the sliding surface.

Eine solchermaßen ausgebildete Handhabungsvorrichtung weist eine Führungseinrichtung auf, durch welche die Bewegung des Kabels von der Bewegung des Testkopfs entkoppelt wird. Ursache hierfür ist in erster Linie, daß die Führungseinrichtung mit einer Gleitfläche versehen ist, auf der die einzelnen Kabelstränge des Kabels nebeneinander angeordnet werden können. Auf diese Weise läßt sich das Kabel in die über einen geringeren Durchmesser verfügenden Kabelstränge auftrennen. Dies hat zur Folge, daß sich die Steifigkeit des Kabels im Bereich der Gleitfläche verringert. Indem die einzelnen Kabelstränge darüber hinaus zumindest im Bereich des hinteren Endes der Gleitfläche festgeklemmt werden können, wird erreicht, daß die einzelnen Kabelstränge zueinander beweglich sind. Diese Beweglichkeit trägt dazu bei, daß die Kabelstränge auf Torsion beansprucht werden können, ohne daß die Gefahr einer Beschädigung, etwa durch Knickung, auftritt. Unter einem Kabel-Strang im Sinne der vorliegenden Erfindung werden nicht nur elektrische Leitungen, sondern auch Kühlleitungen und dergleichen verstanden. A handling device designed in this way has a guide device by means of which the movement of the cable is decoupled from the movement of the test head. The reason for this is primarily that the guide device is provided with a sliding surface on which the individual cable strands of the cable can be arranged next to one another. In this way, the cable can be separated into cable strands with a smaller diameter. This has the result that the rigidity of the cable in the area of the sliding surface is reduced. By the individual cable strands being able to be clamped at least in the area of the rear end of the sliding surface, it is achieved that the individual cable strands are movable relative to one another. This mobility contributes to the cable strands being able to be subjected to torsion without the risk of damage, for example due to kinking. A cable strand in the sense of the present invention is understood to mean not only electrical cables, but also cooling lines and the like.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Unteransprüche dar.Advantageous embodiments of the handling device according to the invention are the subject matter of the subclaims.

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So ist es von besonderem Vorteil, die Gleitfläche kurvenförmig, vorzugsweise winkelförmig, auszubilden. Auf diese Weise ist es möglich, die Kabelstränge in Form einer Schleife, das heißt im wesentlichen bogenförmig, auf der Gleitfläche anzuordnen. Die einzelnen Kabelstränge erfahren somit eine besonders große Beweglichkeit, da im Scheitelpunkt der Gleitfläche ein vergleichsweise großer Abstand zwischen den einzelnen Kabelsträngen entsteht.It is therefore particularly advantageous to design the sliding surface in a curved shape, preferably at an angle. This makes it possible to arrange the cable strands in the form of a loop, i.e. essentially in an arc shape, on the sliding surface. The individual cable strands thus experience particularly great mobility, since a comparatively large distance is created between the individual cable strands at the apex of the sliding surface.

Um bei ausreichender Beweglichkeit ein einfaches Anordnen der Kabelstränge auf der Gleitfläche zu ermöglichen, ist es ferner von Vorteil, Abstandselemente zum Separieren der Kabelstränge auf der Gleitfläche anzuordnen. Die Bewegungsfreiheit der Kabelstränge wird besonders wenig beeinträchtigt, wenn in vorteilhafter Weiterbildung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung die Abstandselemente stabförmig ausgestaltet sind. Denn in diesem Fall ergibt sich eine verhältnismäßig geringe Berührungsfläche zwischen den Abstandselementen und den Kabelsträngen.In order to enable the cable strands to be arranged easily on the sliding surface while still allowing sufficient mobility, it is also advantageous to arrange spacer elements for separating the cable strands on the sliding surface. The freedom of movement of the cable strands is particularly little impaired if, in an advantageous development of the handling device according to the invention, the spacer elements are designed in the shape of rods. In this case, there is a relatively small contact area between the spacer elements and the cable strands.

Bevorzugt sind Abstandselemente im Bereich des hinteren Endes der Gleitfläche angeordnet, die zum Festklemmen der Kabelstränge mit einer höhenverstellbaren Klemmplatte versehen sind. Eine solche Ausgestaltung bietet den Vorteil, daß die Abstandselemente außer zum Separieren auch zum Befestigen der Kabelstränge auf der Gleitfläche dienen. Diese Funktionsintegration trägt zu einer in wirtschaftlicher Hinsicht günstigen Fertigung bei.Preferably, spacer elements are arranged in the area of the rear end of the sliding surface, which are provided with a height-adjustable clamping plate for clamping the cable harnesses. Such a design offers the advantage that the spacer elements are used not only for separating but also for fastening the cable harnesses to the sliding surface. This functional integration contributes to an economically favorable production.

Einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung entsprechend ist die Führungseinrichtung im Bereich des hinteren Endes der Gleitfläche mit einer die Kabelstränge aufneh-According to a preferred embodiment of the handling device according to the invention, the guide device in the region of the rear end of the sliding surface is provided with a cable harness receiving

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menden Schlauchleitung verbunden, die vorzugsweise als Schleppkette ausgebildet ist. Das Vorsehen der Schlauchleitung ermöglicht, die Kabelstränge in der auf der Gleitfläche gebildeten Anordnung weiterzuführen. Insbesondere die Ausgestaltung als Schleppkette hat sich hierfür als zweckmäßig erwiesen, da aufgrund der kettenartigen Ummantelung der Schleppkette bei vergleichsweise großer Beweglichkeit ein sicherer Zusammenhalt der einzelnen Kabelstränge sichergestellt ist. Dies ist besonders dann von Nutzen, wenn die Tragsäule beispielsweise auf Schienen geführt in horizontaler Richtung verfahrbar ist.The cable is connected to a hose line, which is preferably designed as a drag chain. The provision of the hose line enables the cable strands to be continued in the arrangement formed on the sliding surface. The design as a drag chain has proven particularly useful for this purpose, since the chain-like sheathing of the drag chain ensures that the individual cable strands are held together securely while allowing comparatively high mobility. This is particularly useful when the support column is guided on rails and can be moved horizontally, for example.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung sind wenigstens zwei übereinander angeordnete Gleitflächen vorgesehen. Die einzelnen Gleitflächen stellen Ebenen dar, auf denen die Kabelstränge gruppiert angeordnet werden können. Auf diese Weise ist es möglich, die Kabelstränge nicht nur in horizontaler Richtung, sondern auch in vertikaler Richtung voneinander zu trennen, um die Beweglichkeit der einzelnen Kabelstränge zusätzlich zu vergrößern. In a preferred embodiment of the handling device according to the invention, at least two sliding surfaces arranged one above the other are provided. The individual sliding surfaces represent planes on which the cable strands can be arranged in groups. In this way, it is possible to separate the cable strands from one another not only in the horizontal direction, but also in the vertical direction in order to further increase the mobility of the individual cable strands.

Ein in konstruktiver Hinsicht einfacher Aufbau der Führungseinrichtung wird in vorteilhafter Weise dann erreicht, wenn die übereinander angeordneten Gleitflächen mittels der Abstandselemente voneinander beabstandet sind. Auf diese Weise übernehmen die Abstandselemente eine weitere Funktion, so daß aufgrund dieser hohen Funktionsintegration die Führungseinrichtung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung über eine vergleichsweise geringe Anzahl an Bauteilen verfügt.A constructionally simple design of the guide device is advantageously achieved when the sliding surfaces arranged one above the other are spaced apart from one another by means of the spacer elements. In this way, the spacer elements take on an additional function, so that due to this high level of functional integration, the guide device of the handling device according to the invention has a comparatively small number of components.

Von Vorteil ist weiterhin, wenn die Anzahl an Gleitflächen der Anzahl an Schlauchleitungen entspricht. Denn so läßt sich die durch das Vorsehen mehrerer übereinander angeordneter Gleitflächen erzeugte Grup-It is also advantageous if the number of sliding surfaces corresponds to the number of hose lines. This is because the grouping created by providing several sliding surfaces arranged one above the other can be

pierung der Kabelstränge in den Schlauchleitungen fortführen. Alternativ kann auch eine einzige Schlauchleitung vorgesehen werden, die in einzelne Bahnen unterteilt ist.lation of the cable harnesses in the hose lines. Alternatively, a single hose line can be provided which is divided into individual tracks.

In Hinsicht auf eine einfache konstruktive Ausgestaltung weist die Halterung bevorzugt eine Öffnung zum Durchführen der Kabelstränge auf, wobei ein vorderes Ende der Gleitfläche der Öffnung gegenüberliegend angeordnet ist. Durch das Vorsehen der Öffnung in der Halterung lassen sich die Kabelstränge ohne schädliche Knickungen von dem Testkopf zu der Gleitfläche führen. Eine solche Ausgestaltung kommt besonders dann zum Tragen, wenn in vorteilhafter Weiterbildung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung die Halterung um ihre Längsachse drehbar an der Tragsäule gelagert ist. Der in diesem Fall besonders hohen Torsionsbeanspruchung des mit dem Testkopf verbundenen Kabels wird durch die erfindungsgemäße Führungseinrichtung der einzelnen Kabelstränge wirksam begegnet.In order to ensure a simple structural design, the holder preferably has an opening for the cable strands to pass through, with a front end of the sliding surface being arranged opposite the opening. By providing the opening in the holder, the cable strands can be guided from the test head to the sliding surface without damaging kinks. Such a design is particularly useful when, in an advantageous development of the handling device according to the invention, the holder is mounted on the support column so that it can rotate about its longitudinal axis. The particularly high torsional stress on the cable connected to the test head in this case is effectively counteracted by the guide device according to the invention for the individual cable strands.

Einzelheiten und weitere Vorteile der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispieles. In den zugehörigen Zeichnungen, die das Ausführungsbeispiel lediglich schematisch darstellen, zeigen im einzelnen:Details and further advantages of the handling device according to the invention emerge from the following description of a preferred embodiment. In the accompanying drawings, which only show the embodiment schematically, show in detail:

Fig. 1a eine Draufsicht auf eine Handhabungsvorrichtung für ei-Fig. 1a is a plan view of a handling device for a

nen mit einem Kabel verbundenen Testkopf;a test head connected to a cable;

Fig. 1b eine vergrößerte Darstellung des in Fig. 1a mit Ib gekennFig. 1b is an enlarged view of the part marked Ib in Fig. 1a.

zeichneten Bereichs ohne Kabel;marked area without cables;

Fig. 2a eine Seitenansicht der Handhabungsvorrichtung gemäßFig. 2a is a side view of the handling device according to

Fig. 1a in Richtung des Pfeils A;Fig. 1a in the direction of arrow A;

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Fig. 2b eine vergrößerte Darstellung des in Fig. 2a mit Hb gekennFig. 2b is an enlarged view of the area marked Hb in Fig. 2a.

zeichneten Bereichs ohne Kabel;marked area without cables;

Fig. 3a eine Seitenansicht der Handhabungsvorrichtung gemäßFig. 3a is a side view of the handling device according to

Fig. 1a in Richtung des Pfeils B;
Fig. 3b eine Ansicht gemäß Fig. 3a bei entferntem Kabel undFig. 1a in the direction of arrow B;
Fig. 3b a view according to Fig. 3a with the cable removed and

Fig. 3c eine vergrößerte Darstellung des in Fig. 3a mit IHc geFig. 3c is an enlarged view of the image labelled IHc in Fig. 3a.

kennzeichneten Bereichs ohne Kabel.marked area without cables.

Die in den Figuren 1a bis 3c dargestellte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfs 40 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für elektronische Bauelemente, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Zu diesem Zweck weist die Handhabungsvorrichtung eine Tragsäule 10 auf, an dem eine den Testkopf 40 tragende Halterung 30 mittels Positionierungsmitteln 12 in vertikaler Richtung verstellbar angeordnet ist. Die Tragsäule 10 ist außerdem in horizontaler Richtung auf Schienen 11 verfahrbar.The handling device shown in Figures 1a to 3c serves to position a test head 40 on a test device (not shown) for electronic components, such as integrated circuits (IC) or wafers. For this purpose, the handling device has a support column 10 on which a holder 30 carrying the test head 40 is arranged so as to be adjustable in the vertical direction by means of positioning means 12. The support column 10 can also be moved in the horizontal direction on rails 11.

Wie besonders deutlich die Fig. 1a, 2a und 3a erkennen lassen, ist der Testkopf 40 mit einem aus mehreren Kabelsträngen 51 bis 56 zusammengesetzten Kabel 50 verbunden. Die Kabelstränge 51 bis 56 werden von dem Testkopf 40 durch eine Öffnung 31 der Halterung 30 hindurch zu einer Führungseinrichtung 20 geleitet, deren vorderes Ende 21 der Öffnung 31 gegenüberliegt. Im Bereich der Öffnung 31 ist die Halterung mittels eines Lagers 32 um ihre Längsachse drehbar an den Positionierungsmitteln 1 2 angeordnet.As can be seen particularly clearly in Fig. 1a, 2a and 3a, the test head 40 is connected to a cable 50 composed of several cable strands 51 to 56. The cable strands 51 to 56 are guided from the test head 40 through an opening 31 in the holder 30 to a guide device 20, the front end 21 of which is opposite the opening 31. In the area of the opening 31, the holder is arranged on the positioning means 12 so as to be rotatable about its longitudinal axis by means of a bearing 32.

Die Führungseinrichtung 20 ist mit zwei Gleitflächen 23, 24 versehen, die übereinander angeordnet sind, wie vor allem die Fig. 2b und 3c erkennen lassen. Die Kabelstränge 51 bis 56 sind gruppenweise den Gleitflächen 23, 24 zugeordnet. Dabei sind jeweils drei KabelsträngeThe guide device 20 is provided with two sliding surfaces 23, 24, which are arranged one above the other, as can be seen in particular in Fig. 2b and 3c. The cable strands 51 to 56 are assigned to the sliding surfaces 23, 24 in groups. Three cable strands are

51 bis 53 beziehungsweise 54 bis 56 nebeneinanderliegend auf den Gleitflächen 23, 24 angeordnet.51 to 53 or 54 to 56 are arranged side by side on the sliding surfaces 23, 24.

Die Gleitflächen 23, 24 sind jeweils im wesentlichen winkelförmig ausgebildet, wie Fig. 1b erkennen läßt. Die auf diese Weise schleifenförmig auf den Gleitflächen 23, 24 angeordneten Kabelstränge 51 bis 53; 54 bis 56 werden durch stabförmige Abstandselemente 25 voneinander separiert. Wie Fig. 1b erkennen läßt, sind die Abstandselemente 25 derart angeordnet, daß im Bereich des vorderen Endes 21 und im Bereich eines hinteren Endes 22 der Gleitflächen 23, 24 die Kabelstränge 51 bis 53; 54 bis 56 jeweils eine seitliche Führung erfahren. In dem mittleren Bereich der Gleitflächen 23, 24 dagegen sind die Abstandselemente 25 so angeordnet, daß nur die Außenflächen der jeweils äußeren Kabelstränge 51, 53; 54, 56 eine Führung erhalten. Dies hat zur Folge, daß die Kabelstränge 51 bis 56 im Bereich des Scheitelpunkts der Gleitflächen 23, 24 über eine vergleichsweise große Bewegungsfreiheit verfügen.The sliding surfaces 23, 24 are each essentially angularly formed, as can be seen in Fig. 1b. The cable strands 51 to 53; 54 to 56 arranged in this way in a loop shape on the sliding surfaces 23, 24 are separated from one another by rod-shaped spacer elements 25. As can be seen in Fig. 1b, the spacer elements 25 are arranged in such a way that in the area of the front end 21 and in the area of a rear end 22 of the sliding surfaces 23, 24, the cable strands 51 to 53; 54 to 56 are each guided laterally. In the middle area of the sliding surfaces 23, 24, however, the spacer elements 25 are arranged in such a way that only the outer surfaces of the outer cable strands 51, 53; 54, 56 are guided. This has the consequence that the cable harnesses 51 to 56 have a comparatively large freedom of movement in the region of the apex of the sliding surfaces 23, 24.

Die Abstandselemente 25 dienen zugleich dazu, die übereinander angeordneten Gleitflächen 23, 24 voneinander zu beabstanden. Darüber hinaus sind die im Bereich des hinteren Endes 22 der Gleitflächen 23,The spacer elements 25 also serve to space the sliding surfaces 23, 24 arranged one above the other from one another. In addition, the spacers 25 in the area of the rear end 22 of the sliding surfaces 23,

24 angeordneten Abstandselemente 25 mit einer höhenverstellbaren Klemmplatte 27 versehen, mittels der die Kabelstränge 51 bis 56 auf den Gleitflächen 23, 24 festgeklemmt sind. Die im Bereich des vorderen Endes 21 der Gleitflächen 23, 24 angeordneten Abstandselemente24 arranged spacer elements 25 are provided with a height-adjustable clamping plate 27, by means of which the cable strands 51 to 56 are clamped onto the sliding surfaces 23, 24. The spacer elements arranged in the area of the front end 21 of the sliding surfaces 23, 24

25 sind hingegen mit einer Führungsplatte 26 versehen, die einen vertikalen Anschlag für die Kabelstränge 51 bis 56 bildet.25 are provided with a guide plate 26 which forms a vertical stop for the cable harnesses 51 to 56.

Im Bereich des hinteren Endes 22 der Gleitflächen 23, 24 ist die Führungseinrichtung 20 mit zwei die Kabelstränge 51 bis 56 gruppenweiseIn the area of the rear end 22 of the sliding surfaces 23, 24, the guide device 20 is provided with two cable strands 51 to 56 in groups

aufnehmenden Schleppketten 60, 61 verbunden. Die Schleppketten 60, 61 sind aufgrund ihrer kettenartigen Umhüllung, die beispielsweise aus Kunststoff oder Metall gefertigt ist, verformbar. Diese Verformbarkeit der Schleppketten 60, 61 kommt bei einer Bewegung der Positionierungsmittel 12 in vertikaler Richtung und einer Bewegung der Tragsäule 10 entlang der Schienen 11 in horizontaler Richtung zur Geltung. Denn sie gewährleisten einen wirksamen Schutz der Kabelstränge 51 bis 56 vor einer übermäßigen Beanspruchung, beispielsweise durch Knickung.receiving drag chains 60, 61. The drag chains 60, 61 are deformable due to their chain-like covering, which is made of plastic or metal, for example. This deformability of the drag chains 60, 61 comes into play when the positioning means 12 move in the vertical direction and the support column 10 moves along the rails 11 in the horizontal direction. This is because they ensure effective protection of the cable harnesses 51 to 56 against excessive stress, for example due to kinking.

Die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung zeichnet sich durch ein zuverlässiges Führen des Kabels 50 während der Bewegung des Testkopfs 40 aus. Ursache hierfür ist die Anordnung der Kabelstränge 51 bis 56 auf den Gleitflächen 23, 24, die eine Entkopplung der Bewegung des Testkopfs 40 von der Bewegung der Kabelstränge 51 bis 56 im Bereich der Schleppketten 60, 61 bewirkt. Diese Entkopplung ist auf eine vergleichsweise große Bewegungsfreiheit der einzelnen Kabelstränge 51 bis 56 zurückzuführen. Die Bewegungsfreiheit der Kabelstränge 51 bis 56 in horizontaler Richtung wird durch das schleifenförmige Nebeneinander-Anordnen auf den Gleitflächen 23, 24 erreicht, wohingegen die Bewegungsfreiheit in vertikaler Richtung durch die Aufteilung der Kabelstränge 51 bis 56 auf die übereinander angeordneten Gleitflächen 23, 24 hervorgerufen wird. Aufgrund der Bewegungsfreiheit der einzelnen Kabelstränge 51 bis 56 können bei der Bewegung des Testkopfs 40 regelmäßig auftretende Beanspruchungen, wie beispielsweise Torsion, durch das Kabel 50 aufgenommen werden, ohne daß die Gefahr einer Beschädigung auftritt.The handling device described above is characterized by reliable guidance of the cable 50 during the movement of the test head 40. The reason for this is the arrangement of the cable strands 51 to 56 on the sliding surfaces 23, 24, which causes a decoupling of the movement of the test head 40 from the movement of the cable strands 51 to 56 in the area of the drag chains 60, 61. This decoupling is due to a comparatively large freedom of movement of the individual cable strands 51 to 56. The freedom of movement of the cable strands 51 to 56 in the horizontal direction is achieved by arranging them in a loop next to one another on the sliding surfaces 23, 24, whereas the freedom of movement in the vertical direction is caused by dividing the cable strands 51 to 56 onto the sliding surfaces 23, 24 arranged one above the other. Due to the freedom of movement of the individual cable strands 51 to 56, stresses that regularly occur during the movement of the test head 40, such as torsion, can be absorbed by the cable 50 without the risk of damage.

Durch das feste Einspannen der Kabelstränge 51 bis 56 im Bereich des hinteren Endes 22 der Gleitflächen 23, 24 wird erreicht, daß die Be-By firmly clamping the cable harnesses 51 to 56 in the area of the rear end 22 of the sliding surfaces 23, 24, it is achieved that the

wegungsfreiheit der Kabelstränge 51 bis 56 auf den Bereich der zu diesem Zweck vorgesehenen Gleitflächen 23, 24 beschränkt bleibt. Die Abstandselemente 25 und die im Bereich des vorderen Endes 21 vorgesehenen Führungsplatten 26 stellen trotz der vergleichsweise großen Bewegungsfreiheit der Kabelstränge 51 bis 56 ein gezieltes Führen des Kabels 50 sicher. Nicht zuletzt tragen auch die Schleppketten 60, 61 einer zuverlässigen Führung der Kabelstränge 51 bis 56 Rechnung.freedom of movement of the cable strands 51 to 56 is limited to the area of the sliding surfaces 23, 24 provided for this purpose. The spacer elements 25 and the guide plates 26 provided in the area of the front end 21 ensure that the cable 50 is guided in a targeted manner despite the comparatively large freedom of movement of the cable strands 51 to 56. Last but not least, the drag chains 60, 61 also ensure that the cable strands 51 to 56 are guided reliably.

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BezugszeichenlisteList of reference symbols

10 Tragsäule10 Support column

11 Schiene11 Rail

12 Positionierungsmittel12 Positioning devices

60 Schleppkette60 Drag chain

61 Schleppkette61 Drag chain

2020 FührungseinrichtungGuide device AA PfeilArrow 2121 vorderes Endefront end BB PfeilArrow 2222 hinteres Enderear end 2323 GleitflächeSliding surface 2424 GleitflächeSliding surface 2525 AbstandselementSpacer element 2626 FührungsplatteGuide plate 2727 KlemmplatteClamping plate 3030 Halterungbracket 3131 Öffnungopening 3232 Lagercamp

40 Testkopf40 test head

5050 KabelCable 5151 Kabelstrangwire harness 5252 Kabelstrangwire harness 5353 Kabelstrangwire harness 5454 Kabelstrangwire harness 5555 Kabelstrangwire harness 5656 Kabelstrangwire harness

Claims

1. Handling device, in particular for positioning a test head ( 40 ) on a testing device, with a holder ( 30 ) for a test head ( 40 ) which is connected to a cable ( 50 ) composed of several cable strands ( 51 to 56 ), and with a support column ( 10 ) with respect to which the holder ( 30 ) is adjustably arranged, wherein the support column ( 10 ) has a guide device ( 20 ) for holding the cable strands ( 51 to 56 ), characterized in that the guide device ( 20 ) is provided with at least one sliding surface ( 23 , 24 ) on which the cable strands ( 51 to 56 ) can be arranged next to one another, wherein the cable strands ( 51 to 56 ) can be clamped at least in the region of a rear end ( 22 ) of the sliding surface ( 23 , 24 ).

2. Handling device according to claim 1, characterized in that the sliding surface ( 23 , 24 ) is curved, preferably angular.

3. Handling device according to claim 1 or 2, characterized in that spacer elements ( 25 ) for separating the cable strands ( 51 to 56 ) are arranged on the sliding surface ( 23 , 24 ).

4. Handling device according to claim 3, characterized in that the spacer elements ( 25 ) are rod-shaped.

5. Handling device according to claim 3 or 4, characterized in that spacer elements ( 25 ) are arranged in the region of the rear end ( 22 ) of the sliding surface ( 23 , 24 ), which are provided with a height-adjustable clamping plate ( 27 ) for clamping the cable strands ( 51 to 56 ).

6. Handling device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the guide device ( 20 ) is connected in the region of the rear end ( 22 ) of the sliding surface ( 23 , 24 ) to a hose line which receives the cable strands ( 51 to 56 ) and is preferably designed as a drag chain ( 60 , 61 ).

7. Handling device according to one of claims 1 to 5, characterized by at least two sliding surfaces ( 23 , 24 ) arranged one above the other.

8. Handling device according to claim 6, characterized in that the sliding surfaces ( 23 , 24 ) arranged one above the other are spaced apart from one another by means of the spacer elements ( 25 ).

9. Handling device according to claim 7 or 8, characterized by a number of hose lines ( 60 , 61 ) corresponding to the number of sliding surfaces ( 23 , 24 ).

10. Handling device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the holder ( 30 ) has an opening ( 31 ) for passing through the cable strands ( 51 to 56 ), wherein a front end ( 27 ) of the sliding surface ( 23 , 24 ) is arranged opposite the opening ( 31 ).

11. Handling device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the holder ( 30 ) is mounted on the support column ( 10 ) so as to be rotatable about its longitudinal axis.