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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung eines reziproken Gitterpunktes
in drei Dimensionen mittels Röntgendiffraktometrie
und ein zur Durchführung
des Verfahrens geeignetes Röntgendiffraktometer.
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Die
230 Symmetrie verschiedenen periodischen Anordnungsmöglichkeiten
von Motiven im dreidimensionalen Raum (Raumgruppen) werden auch
als Raumgitter oder räumliche
Punktgitter bezeichnet. Tatsächlich
entsprechen die Schwerpunkte der einfachsten Bausteine der Kristalle
wie Ionen, Atome oder Moleküle
solchen regelmäßigen Punktanordnungen,
die man sich auf einer Geraden als Punktreihe, und in einer Ebene
als Netz oder Netzebene und schließlich im Raum als Raumgitter
vorstellen kann. Die Bezeichnung Netzebene rührt daher, dass diese Ebene
definiert durch drei nicht auf einer gemeinsamen Geraden liegenden
Gitterpunkte zwei nicht parallele Translationen T und T' aufweisen muss und
damit gleichmäßig etwa
nach Anordnung der Knoten eines Fischernetzes mit Gitterpunkten überdeckt
ist. Mit einer derartigen Netzebene als Motiv und einer geeigneten
Translation des Gitters als Erzeugungsoperator entsteht eine Schar
dazu paralleler Netzebenen, deren Abstände zueinander identisch sind
(Identitätsperiode).
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Zur
Beschreibung von Netzebenen dienen die Miller'schen Indices hkl.
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Jedem
Punktgitter kann man eindeutig ein anderes Punktgitter, das so genannte
reziproke Gitter zuordnen. Das reziproke Gitter ist ein Hilfsmittel, das
eine einfache geometrische Behandlung von Beugungsvorgängen erlaubt.
Größen im direkten Raum
werden mit einfachen Symbolen wie z.B. a, b, c, α, β, γ, V, und solche im reziproken
Raum mit den entsprechenden gesternten Symbolen angegeben.
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In
einem orthorhombischen reziproken Gitter bestehen z. B. folgende
Zusammenhänge: α = β = γ = α* = β* = γ* = 90°; a·a* = b·b* = c·c* = V·V* = 1.
Das bedeutet, einer Länge
im direkten Raum entspricht dem Kehrwert im reziproken Gitter.
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Für ein triklines
Gitter sind die Verhältnisse komplizierter.
Gitterpunkte in einem reziproken Gitter werden durch Angabe des
Tripels h, k, l als Miller'sche
Indizes eindeutig festgelegt. Die möglichen Symmetrien solcher
Gitter sind die 11 Laue-Symmetrien. Werden die Gitterpunkte in einem
reziproken Gitter mit Gewichten belegt, die den Intensitäten der zugehörigen Röntgenreflexe
entsprechen, spricht man von einem gewichteten reziproken Gitter.
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Für die Berechnung
der Netzebenenabstände
wird nur die gebeugte Strahlung bei dem Austrittswinkel zur Oberfläche berücksichtigt,
der dem jeweiligen Eintrittswinkel der Strahlung auf die Oberfläche entspricht.
Ein starkes Signal am Detektor bedeutet dann einen relativ hohen
Anteil an gebeugter Strahlung für
den entsprechenden Winkel und damit ein relativ häufiges Auftreten
eines korrespondierenden Netzebenenabstandes. Kombinationen von
Netzebenenabständen
lassen Rückschlüsse auf
die Gitterstruktur und damit auf die Zusammensetzung und die Morphologie
des Stoffes zu.
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Röntgendiffraktometer
dienen der Ermittlung von Gitterparametern über die Netzebenenabstände kristallin
geordneter Festkörper.
Die Bestimmung ist allgemein als Röntgenstrukturuntersuchung bekannt, wobei
eine Oberfläche
des zu untersuchenden Festkörpers
mit einer weichen Röntgenstrahlung
angestrahlt wird, diese an der Gitterstruktur des Festkörpers unter
Bildung von Interferenzen gebeugt wird und die gebeugte Strahlung
mit einem geeigneten Detektor (z. B. Szintillationszähler, Halbleiterdetektoren)
quantitativ erfasst wird.
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Im
Diffraktometer werden die Probe und der Detektor in einem vorgegebenen
Winkelbereich zur Oberfläche
exakt winkelsynchron zueinander bewegt und die am Detektor gemessenen
Intensitäten
an Strahlung über
den Winkel aufgetragen. Die Winkelwerte müssen für die nachfolgende Berechnung
der Netzebenenabstände
exakt, das heißt
mit mindestens zwei oder drei Stellen hinter dem Komma erfassbar
sein, was eine entsprechend extrem exakte Positionierung der Festkörperoberfläche im Diffraktometer
zwingend erforderlich macht.
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Trifft
die kohärente,
monochromatische Röntgenstrahlung
(Primärstrahl)
dabei in einem ganz bestimmten Einfalls- Winkel θ (Glanz- bzw. Braggwinkel)
auf eine Netzebenenschar, so wird die Strahlung so gebeugt, dass
der abgelenkte Teilstrahl (Sekundärstrahl) den gleichen Winkel
mit der Netzebenenschar einschließt wie der Primärstrahl
hat. Die Beziehung zwischen dem Beugungswinkel θ, der Wellenlänge λ des Röntgenstrahls
und dem Netzebenenabstand d ist allgemein unter der Bragg'schen Gleichung oder
Reflexionsbedingung nλ =
2dsinθ bekannt.
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In
einem Röntgenbeugungsexperiment
wird die gestreute Intensität
in Abhängigkeit
des Impulsübertrages
Q = kf – ki
gemessen, wobei ki und kf die Wellenvektoren des einfallenden Photons
und des gestreuten Photons sind. Der Streuprozess ist elastisch,
und damit |ki| = |kf| = 2π/λ. Üblicherweise
stellt man das Streuexperiment in den Koordinaten des reziproken
Raumes der Probe dar, das heißt
den Komponenten von Q in der Probenebene (Q|| =
2π/a||) bzw. senkrecht dazu (Q⊥ = 2π/a⊥). In der
Praxis wird ein bestimmter Impulsübertrag über den Streuwinkel 2θ und den
Einfallswinkel zur Oberfläche
ai eingestellt. In der koplanaren Geometrie, in der ki, kf und die
Probennormale in einer Ebene liegen, ist das Streuexperiment durch
diese beiden Winkel und die Photonenwellenlänge λ vollständig bestimmt. Anstatt mit
ai wird in dieser Geometrie der Einfallswinkel meist mit ϖ bezeichnet.
Der für
Streuexperimente zugängliche
Bereich ist durch den maximalen Streuwinkel 2θ < 180° und
die Geometrie (ϖ > 0,
2θ > ϖ) bestimmt.
Aus der Streutheorie für
Röntgenstrahlen folgt,
dass die gestreute Intensität
im Wesentlichen dem Quadrat der Fourier-Transformierten der Elektronenverteilung
in der Probe entspricht. Wenn der Impulsübertrag gleich einem reziproken
Gittervektor Ghkl ist, tritt ein scharfer Reflex auf, da die Photonen, die
an den Elektronen der Probe gestreut werden, alle in Phase sind
(Laue-Bedingung Q = Ghkl). Dies ist äquivalent zur Bragg-Formel
2dhklsinθ =
nλ, mit dem
Abstand der Netzebenen in [hkl]-Richtung dhkl.
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Eine
geometrische Veranschaulichung der Laue-Gleichungen kann durch die so genannte Ewald-Konstruktion erfolgen.
Der Radius der Ewald-Kugel wird durch die Wellenlänge des
einfallenden Wellenvektors vorgegeben und definiert daher den Bereich,
der mit dem gewählten
Röntgenstrahl
abgetastet werden kann.
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Röntgenbeugung
wird verwendet, um die Zusammensetzung und die Dicke D von epitaktischen
Schichten zu bestimmen. Dabei nimmt man im einfachsten Fall ein
Beugungsspektrum entlang der Probennormalenrichtung auf. Neben einem
scharfen Substratpeak wird beispielsweise ein weiteres Maximum bei
etwas kleineren Werten des Impulsübertrags in Wachstumsrichtung
Q⊥ zu sehen
sein, das von der epitaktisch auf dem Substrat aufgewachsenen Schicht
mit etwas größerer Gitterkonstante
herrührt.
Aus der Lage dieses Maximums lässt
sich leicht der entsprechende Netzebenenabstand in Wachstumsrichtung über das
Vegard'sche Gesetz berechnen
und daraus die Schichtzusammensetzung bestimmen. Zusätzlich weist
das Beugungsspektrum Oszillationen rund um das Schichtmaximum auf,
die von der endlichen Schichtdicke herrühren. Da das gemessene Signal
dem Betrag der Fourier-Transformierten
der Elektronendichte entspricht, bekommt man Oszillationen mit einer
Periode von ΔQ⊥ = 2π/D. Dabei
wird nur die Gitterkonstante in Wachstumsrichtung gemessen. Entsprechend
bekommt man nur Information über
die Probenstruktur entlang dieser Richtung. Dabei entspricht ein
Scan entlang der Oberflächennormale
einem Scan mit ϖ = θ.
Um auch Informationen über
die lateralen Eigenschaften der Probe (laterale Gitterkonstante,
laterale Abmessung von Nanostrukturen) zu erhalten, muss in der
Nähe so
genannter asymmetrischer Reflexe mit ϖ ≠ θ gemessen werden. In diesem
Fall hat der Impulsübertrag
Q zwei Komponenten, Q|| parallel zur Probenoberfläche und
Q⊥ in Wachstumsrichtung.
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Bei
der hoch auflösenden
Röntgenbeugung wird
ein monochromatischer und kollimierter Röntgenstrahl zur Charakterisierung
der Probe verwendet. Die praktische Umsetzung erfolgt durch den
Einsatz eines Monochromators zwischen der Röntgenröhre und der Probe. Zusätzlich kann
optional ein Analysatorkristall vor dem Detektor platziert werden, um
die Richtung der gestreuten Strahlung exakt zu detektieren.
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Vier-Kristall-Monochromatoren,
wie sie üblicherweise
in den kommerziell erhältlichen
Röntgendiffraktometern
vorzufinden sind, bestehen aus zwei hintereinander angeordneten „channel-cut" Ge-Einkristallen.
Diese besitzen einen u-förmigen
Kanal entlang einer ausgezeichneten kristallographischen Richtung.
Je nach Einfallswinkel erfolgt eine zwei- oder dreifache Reflexion
des Röntgenstrahls
innerhalb des Kanals.
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Durch
die Variation der Probenorientierung ϖ und des Streuwinkels
2θ kann
punktweise eine bestimmte Fläche
im reziproken Raum abgefahren werden. Man spricht z. B. von einer ϖ/2θ-Messung, wenn
eine simultane Variation der ϖ– und 2θ-Winkel erfolgt. Eine besondere
Bezeichnung erhält
die ϖ-Messung, die man als Rockingkurve bezeichnet. Die
durch Variation der Winkellagen durchgeführten Messungen können auch
im reziproken Raum interpretiert werden.
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Während die
Aufnahme einer Rocking-Kurve einer Messung senkrecht zum Streuvektor
entspricht, kann durch eine ϖ/2θ-Messung der reziproke Raum
entlang des Streuvektors abgefahren werden. Wird eine Kombination
von Analysator-Rockingkurven bei verschiedenen 2θ-Werten aufgenommen, kann ein
Bild vom reziproken Raum erstellt werden, welches als reziproke
Gitterkarte (RSM = reciprocal space map) bezeichnet wird.
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Aus
den so gemessenen zweidimensionalen Intensitätskarten oder reciprocal space
maps, RSMs, ergibt sich sowohl die Gitterkonstante in Wachstumsrichtung
als auch die parallel zur Oberfläche.
Damit erhält
man die chemische Zusammensetzung und den Dehnungszustand einer
Schicht oder Nanostruktur. Die Intensitätsverteilung entspricht der
2D-Fourier-Transformierten, der Form, zentriert um den Punkt im
reziproken Raum, der sich aus den Gitterkonstanten ergibt. Je kleiner
die Struktur im Realraum, umso breiter ist die zugehörige Intensitätsverteilung
im reziproken Raum und umgekehrt. So lassen sich neben der Zusammensetzung
und der Gitterdehnung auch Form und Größe von Strukturen messen.
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Hochaufgelöste Röntgenbeugungsexperimente
setzen eine geeignete Probenjustage voraus. Dabei muss sichergestellt
werden, dass sich zum einen die Probe in der Goniometerachse befindet, durch
welche auch der Primärstrahl
verläuft,
und zum Anderen muss gewährleistet
sein, dass die Normalen der zur Reflexion gebrachten Netzebenen
in der Beugungsebene liegen. Die Beugungsebene wird aus einfallendem
und gebeugtem Strahl aufgespannt.
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Es
ist bekannt, unter Verwendung einer so genannten Euler-Wiege, eine
Positionierung der Probe in eine beliebige Orientierung erfolgen
zu lassen. Dabei sind die vier Drehbewegungen ω, ψ, Φ, 2θ, drei zur Orientierung der
Probe und eine zur Positionierung des Detektors, möglich. Die
Drehung der Probe um die Goniometerachse erfolgt über die
Variation des ω-Winkels.
Während
die Neigung der Probenoberfläche
gegenüber
der Streuebene mit dem ψ-Winkel
beschrieben wird, ist der Drehung der Probe um die Oberflächennormale
der Φ-Winkel
zugeordnet. Die Winkellage des Detektors wird durch den Parameter
2θ angegeben.
Die in der Röntgendiffraktometrie übliche Bezeichnung
der Messungen erfolgt nach den variierten Winkeln.
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Es
ist weiterhin bekannt, in einem Drei-Achsen-Röntgendiffraktometer
einen Zweikristallanalysator vor dem Detektor anzuordnen. Dieser
verringert zur Erhöhung
der Auflösung
den 2θ-Akzeptanzwinkel
des Detektors auf einige tausendstel Grad. Mittels dieses Röntgendiffraktometers
werden sowohl der 2θ-
als auch der ϖ–Winkel
präzise
definiert. Reziproke Gitterkarten werden unter zu Hilfenahme eines
Analysators durch eine Reihe von scans in einem Netz um den Bragg-Peak
herum angefertigt.
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Die
räumliche
Dimension eines reziproken Gitterpunktes wurde bisher durch Messungen
an verschiedenen reziproken Gitterpunkten ermittelt. Mit Hilfe dieser
Messungen wird anschließend
die räumliche
Gestalt des reziproken Gitterpunktes berechnet.
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Nachteilig
ist es mit bisherigen Verfahren und Röntgendiffraktometern nur möglich einen
einzigen Schnitt durch einen reziproken Gitterpunkt (rlp) zu messen.
Dabei können
aufgrund von Gitterfehlern wichtige Information verloren gehen.
Bei einer Kristallstruktur, welche Fehler in Form von beispielsweise Mosaikstrukturen
oder Versetzungen aufweist, wird der reziproke Gitterpunkt aufgebläht. Sind
diese Gitterfehler in irgendeiner Art im Raum gerichtet, verbreitert
sich auch der Gitterpunkt nur in ausgezeichnete Richtungen und entartet
nicht zu einer Kugel, wie das bei random orientierten Gitterfehlern
der Fall wäre.
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Aufgabe
der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Messung eines reziproken
Gitterpunktes in drei Dimensionen mittels Röntgendiffraktometrie bereit
zu stellen.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein zur Ausführung des
Verfahrens geeignetes Röntgendiffraktometer
bereit zu stellen.
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Die
Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 und ein Röntgendiffraktometer
gemäß Nebenanspruch
gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den jeweils darauf
rückbezogenen Ansprüchen.
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Das
für das
Verfahren eingesetzte Röntgendiffraktometer
umfasst mindestens eine Anordnung aus Röntgenröhre, Monochromator und Detektor. Das
Verfahren sieht vor, dass durch ein Röntgenbeugungsexperiment an
einem reziproken Gitterpunkt einer Probe ein Reflex erzeugt und
durch den Detektor aufgezeichnet wird. Das Verfahren ist dadurch
gekennzeichnet, dass an demselben reziproken Gitterpunkt mit einer
senkrecht zur ersten Messung stehenden Anordnung aus Röntgenröhre und
Detektor unter dem gleichen Einfallswinkel θ ein weiteres Röntgenbeugungsexperiment
durchgeführt
und durch den Detektor aufgezeichnet wird, so dass die beiden Beugungsebenen
senkrecht zueinander stehen.
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Im
Rahmen der Erfindung wurde erkannt, dass es darauf ankommt, beide
Messungen unter dem gleichen Einfallswinkel θ vorzunehmen, allerdings mit
einer Anordnung aus Röntgenquelle
und Detektor, welche senkrecht zur Anordnung bei der ersten Messung
steht, so dass die beiden Beugungsebenen senkrecht zueinander stehen.
Dadurch wird vorteilhaft bewirkt, dass sowohl die Eindringtiefe
des Röntgenstrahls
als auch die beleuchtete Fläche
identisch sind. Es ist gewährleistet,
dass bei den beiden Röntgenbeugungsexperimenten
jeweils das identische Probenvolumen zur gemessenen Intensität des gebeugten
Röntgenstrahls
beiträgt
und immer die gleichen Gitterfehler und deren gleiche Anzahl zu Verbreiterungen
des rlp beitragen.
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Im
Rahmen der Erfindung wurde weiterhin erkannt, dass die im Stand
der Technik vorgenommenen Messungen unter verschiedenen Einfallswinkeln des
Röntgenstrahls
zur Folge haben, dass bei jeder Messung die Eindringtiefe des Röntgenstrahls
variiert und außerdem
jeweils unterschiedlich große
Flächen
auf der Probe beleuchtet werden. Dadurch sind große Fehler,
vor allem bei Proben schlechter Kristallqualität nicht auszuschließen.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
sieht vor, dass mittels zweier Messungen in verschiedener Geometrie
am gleichen reziproken Gitterpunkt dessen drei Dimensionen bestimmt
werden.
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Während des
erfindungsgemäßen Verfahrens
wird an einem reziproken Gitterpunkt einer Probe ein Reflex erzeugt
und durch einen Detektor aufgezeichnet. Im Anschluss wird an demselben
reziproken Gitterpunkt der Probe erneut mit einer um 90° versetzten
Anordnung aus Röhre,
Monochromator und Detektor ein weiteres Röntgenbeugungsexperiment am
gleichen Reflex durchgeführt
und aufgezeichnet.
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Das
Verfahren eignet sich zur Strukturaufklärung von Proben, welche Kristalldefekte
aufweisen. Beispielsweise kann die Struktur abgeschiedener Gruppe-III-Nitride
als zu untersuchende Probe ausgewählt und mit dem erfindungsgemäßen Verfahren deren
Struktur aufgeklärt
werden. Das Verfahren kann aber auch an anderen texturierten Materialien durchgeführt werden.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird
ein Röntgenstrahl
mit einem entweder runden oder quadratischen Querschnitt eingesetzt.
Dies kann durch Einsatz einer Blende vor dem Monochromator oder
durch eine Maske, die auf die Probe aufgesetzt wird, verwirklichen.
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Sofern
der Strahl durch einen geeigneten Kollimator in allen Richtungen
die gleiche Divergenz aufweist, ist es vorteilhaft auch möglich, die
Probe nach der ersten Messung zu drehen. Die Röntgenröhre und der Detektor wären in diesem
Fall vorteilhaft stationär.
Hierzu kann der Kollimator nah an der Probenoberfläche angeordnet
sein.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird an
einem beliebigen Reflex einer Probe eine so genannte reciprocal
space map (rsm)gemessen. Dies liefert ein zweidimensionales Bild
des Schnittes, der durch den reziproken Gitterpunkt gemacht wurde.
Diese reciprocal space map wird ein zweites Mal gemessen, jedoch
wird hierzu wiederum eine räumliche
Geometrie der Röntgenquelle
und des Detektors benutzt, die senkrecht zu denen der ersten Messung
steht. Entscheidend ist wiederum, dass beide Messungen unter dem
gleichen Einfallswinkel vorgenommen worden sind.
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Ein
zur Durchführung
des Verfahrens geeignetes Röntgendiffraktometer
weist regelmäßig einen Generator,
mindestens eine Röntgenröhre mit
Monochromator und mindestens einen Detektor sowie eine Probenhalterung
auf. Das Röntgendiffraktometer weist
mindestens eine Anordnung aus Röntgenröhre, Monochromator
und Detektor zur Messung eines reziproken Gitterpunkts einer zu
untersuchenden Probe unter einem Einfallswinkel θ auf. Es ist erfindungsgemäß dadurch
gekennzeichnet, dass es zur Ausführung
mindestens einer weiteren Messung desselben reziproken Gitterpunkts
unter gleichem Einfallswinkel θ eine
Anordnung aus Röntgenröhre und
Detektor aufweist, welche senkrecht zur Anordnung bei der ersten
Messung steht.
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Die
Beugungsebenen in den beiden Messungen stehen dabei senkrecht zueinander.
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Die
Anordnung aus Röntgenröhre und
Detektor ist somit bei der zweiten Messung desselben reziproken
Gitterpunkts um 90° zur
ersten Messung versetzt. Beide Messungen finden am gleichen Reflex
statt.
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In
einer Ausgestaltung der Erfindung weist das Röntgendiffraktometer genau eine
Anordnung aus Röntgenröhre und
Detektor auf, deren Position um 90° zur ersten Messung veränderbar
ist. Beide Messungen finden wiederum an demselben reziproken Gitterpunkt
unter gleichem Einfallswinkel θ statt, so
dass die Beugungsebenen senkrecht zueinander stehen. Ein derartiges
Röntgendiffraktometer
ist vorteilhaft sehr flexibel einsetzbar.
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In
einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist es aber
auch denkbar, ein Röntgendiffraktometer
mit genau zwei Anordnungen aus je einer Röntgenröhre, einem Monochromator und
einem Detektor bereit zu stellen. Die beiden Anordnungen sind senkrecht
zueinander ausgerichtet, was wiederum eine Messung desselben reziproken
Gitterpunkts unter gleichem Einfallswinkel θ ermöglicht. Mit beiden Anordnungen
wird derselbe reziproke Gitterpunkt, bzw. derselbe Reflex untersucht,
so dass wiederum die Beugungsebenen senkrecht zueinander stehen.
Mit einem derartigen Röntgendiffraktometer wird
besonders vorteilhaft eine Justage während der beiden Messungen
vermieden.
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Das
Röntgendiffraktometer
weist vorteilhaft einen Vier-Kristall-Monochromator auf.
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Im
Weiteren wird die Erfindung an Hand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben.
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In
einem Vierkreisgoniometer sind genau zwei Anordnungen aus je einer
Röntgenröhre und
einem Generator angeordnet. Beide Anordnungen sind exakt um 90° zueinander
ausgerichtet. Die emittierten Röntgenstrahlen
beider Anordnungen bestrahlen dabei denselben reziproken Gitterpunkt
einer GruppeIII-Nitrid-Probe. Vor den Röntgenröhren ist jeweils ein Vier-Kristall-Monochromator angeordnet.
Dadurch wird ein paralleler Strahlengang erzeugt. Das Röntgendiffraktometer
weist zur Erstellung einer rsm weiterhin auch einen Analysator auf.
Die beiden Beugungsebenen in den Experimenten stehen senkrecht zueinander.
Sowohl die Eindringtiefe des Röntgenstrahls
als auch die beleuchtete Fläche
sind in beiden Experimenten identisch. Es ist wiederum gewährleistet,
dass bei den beiden Messungen jeweils ein identisches Probenvolumen
zur gemessenen Intensität des
gebeugten Röntgenstrahls
beiträgt,
und die gleichen Gitterfehler und deren gleiche Anzahl zu Verbreiterungen
des rlp beitragen. Für
die Messung einer rsm weist das Röntgendiffraktometer zusätzlich auch
einen geeigneten Analysator auf.
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In
einer anderen Ausführungsform
ist das Röntgendiffraktometer
derartig ausgestaltet, dass nur die Probe zur Aufnahme der Messungen
gedreht werden muss. Eine geeignete drehbare Probenhalterung ist
hierzu im Röntgendiffraktometer
vorgesehen.
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Hierzu
ist besonders vorteilhaft das Goniometer als so genanntes Vierkreisgoniometer
ausgeführt.
Der Einfallswinkel des Röntgenstrahles
wird kontinuierlich durch Drehung der Probe verändert, so dass sich auch bei
einer um 90° versetzten
Messung diese Drehung mit dem Goniometer ausführen lässt.
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Auf
diese Weise wird besonders vorteilhaft bewirkt, dass das Röntgendiffraktometer
weder zwei Anordnungen aus Röntgenröhre und
Detektor noch eine verschiebbare Anordnung aus Röntgenröhre und Detektor aufweisen
muss.
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Ein
Rechenprogramm erstellt aus den beiden Messungen ein dreidimensionales
Bild des reziproken Gitterpunkts.