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DE102004035746B4 - Leistungshalbleitermodul - Google Patents

Leistungshalbleitermodul Download PDF

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DE102004035746B4
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Elmar Kühle
Reinhold Spanke
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Infineon Technologies AG
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    • H10W40/255
    • H10W90/00

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Abstract

Leistungshalbleitermodul
mit einer wärmeleitenden Bodenplatte (1), die aus einem elektrisch isolierenden Material besteht und die eine Montagefläche (4) zur wärmeabführenden Verbindung mit einem Kühlelement aufweist, und
mit mehreren individuellen Baugruppen (8, 9) mit jeweils mindestens einem Leistungs-Halbleiter (10, 11; 12, 14), die gegenüber der Montagefläche (4) elektrisch isoliert sind,
dadurch gekennzeichnet, dass
– die Bodenplatte (1) Öffnungen (3) für Befestigungsmittel aufweist und dass die Oberseite (6) der Bodenplatte (1) zumindest im Bereich der Öffnungen (3) metallisiert ist;
– die Dicke der Bodenplatte (1) mindestens 1 mm beträgt; und
– die Öffnungen (3) in Eckbereichen der Bodenplatte (1) angeordnet sind.

Description

  • Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der Aufbautechnik von Leistungshalbleitermodulen und betrifft ein Leistungshalbleitermodul mit einer wärmeleitenden Bodenplatte, die aus einem elektrisch isolierenden Material besteht und die eine Montagefläche zur wärmeabführenden Verbindung mit einem Kühlelement aufweist, und mit mehreren individuellen Baugruppen mit jeweils mindestens einem Leistungs-Halbleiter, die gegenüber der Montagefläche elektrisch isoliert sind.
  • Ein derartiges Leistungshalbleitermodul geht aus der DE 43 00 516 A1 hervor. Es weist ein Substrat auf, das aus einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise einer Aluminiumoxidkeramik, gebildet und mit einer oberen und einer unteren Metallisierung versehen ist. Auf der oberen Metallisierung, die strukturiert ausgebildet ist, sind zwei Dioden angeordnet. Das Substrat ist in einer Ausnehmung eines Modulgehäuserahmens angeordnet, mittels dem das Substrat gegen einen Kühlkörper gepresst wird. Zur Erzeugung der hierzu erforderliche Anpresskraft weist der Modulgehäuserahmen Befestigungslöcher auf, an denen er mit dem Kühlkörper verschraubt wird.
  • Aus der DE 197 21 061 A1 ist ein Leistungshalbleitermodul mit einer metallischen Grundplatte (Bodenplatte) bekannt, auf der mehrere Keramiksubstrate nebeneinander angeordnet sind. Auf jedem Substrat ist eine individuelle, autonome elektrische Baugruppe aufgebaut, die einen Leistungshalbleiter in Form eines Bipolar-Transistors mit isolierter Gate-Elektrode (IGBT) und einer Freilaufdiode enthält. Die Substrate bestehen beispielsweise jeweils aus einer Aluminiumoxidplatte, die zwischen zwei (kaschierten) Kupferfolien angeordnet ist. Das Substrat ist über seine unterseitige Kupferfolie direkt mit der Bodenplatte verlötet. Die freie (untere) Seite der Bodenplatte bildet eine Montagefläche, über die das Modul mit einem Kühlkörper in wärmeleitenden Kontakt gebracht werden kann.
  • Um die notwendige elektrische Isolation der Leistungshalbleiter gegenüber der Montagefläche bzw. einem Kühlkörper sicherzustellen, müssen die Substrate eine ausreichende elektrische Isolation und Durchschlagfestigkeit ausweisen. Dazu bedarf es einer erheblichen Substratdicke, die sich wiederum nachteilig auf die Wärmeleitung von den Leistungshalbleitern zur Montagefläche auswirken kann.
  • Die EP 0 459 283 A1 zeigt eine Anordnung mit einem elektrisch isolierenden und wärmeleitenden Substrat, das oberseitig mittels einer Hartlötschicht mit einem Bauteil, beispielsweise einem Leistungshalbleiter, verbunden ist. Unterseitig ist das Substrat mittels einer Weichlotschicht mit einem wärmeleitenden Trägerkörper verbunden.
  • Die DE 36 10 288 A1 zeigt ein Leistungshalbleitermodul mit einem Kunststoffgehäuse und einem als Gehäuseboden eingesetzten Keramiksubstrat, auf dem vier Diodenchips angeordnet sind. Das Keramiksubstrat ist mit einer relativ dicken unterseitigen Kupferschicht versehen, sowie mit einer oberseitigen Kupferschicht, die etwa dieselbe Dicke aufweist wie die unterseitige Kupferschicht, wobei die Dicken jeweils im Bereich von 0,1 mm bis 0,5 mm liegen. Das Kunststoffgehäuse weist einen zentralen Befestigungsteil mit mindestens einer durch das Befestigungsteil und das Keramiksubstrat gehenden Bohrung auf. Die auf diese Weise in der Mitte des Keramiksubstrats gebildete Öffnung ist von einem Verstärkungsring umgeben. Der Verstärkungsring kann beispielsweise durch Strukturieren der oberseitigen Kupferfolie hergestellt werden.
  • In der EP 0 037 301 A2 ist ein Leistungshalbleitermodul beschrieben, das auf einer Seite einen metallischen Sockel aufweist, auf dem aufeinander folgend ein Berylliumoxid-Substrat und Gehäusedeckel angeordnet sind. Die Befestigung des Moduls erfolgt mittels zweier Befestigungsschrauben, die etwa im Bereich der Mitte zweier einander gegenüberliegender Längsseiten des Moduls durch Berylliumoxid-Substrat den darunter befindlichen metallischen Sockel mit einem Kühlkörper verschraubt sind.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung eines kostengünstig und einfach herstellbaren Leistungshalbleitermoduls, das sich durch eine besonders gute Wärmeleitfähigkeit zwischen Modul und Montagefläche auszeichnet, dessen Bodenplatte eine ausreichende mechanische Festigkeit aufweist und bei der Montage des Leistungshalbleitermoduls nicht beschädigt wird.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einem Leistungshalbleitermodul der eingangs genannten Art eine Bodenplatte aus einem elektrisch isolierenden Material vorgesehen, die eine Dicke von mindestens 1 mm aufweist. In Eckbereichen der Bodenplatte sind Öffnungen für Befestigungsmittel vorgesehen. Die Oberseite der Bodenplatte ist zumindest im Bereich der Öffnungen metallisiert.
  • Ein Aspekt der Erfindung besteht außerdem darin, die Funktion der elektrischen Isolierung zwischen Modul und Montagefläche bei einem Modul mit mehreren Baugruppen bzw. baugruppentragenden individuellen Substraten zumindest teilweise auf die Bodenplatte zu verlagern. Mit anderen Worten:
    Die elektrische Isolation der Baugruppen gegenüber der Montagefläche ist zumindest teilweise von der Bodenplatte bewirkt. Damit kann völlig auf die Verwendung individueller Substrate als Baugruppenträger verzichtet werden, was die Kosten und den Teile/Herstellungsaufwand erheblich mindert.
  • Allerdings kann die Verwendung separater Substrate unter dem Aspekt der Handhabung und/oder eines baugruppenindividuellen Vorab-Tests zweckmäßig sein; in diesem Zusammenhang sieht eine vorteilhafte Fortbildung der Erfindung vor, die Baugruppen jeweils auf einem Substrat anzuordnen, dessen Dicke im Hinblick auf die Wärmeleitung optimiert ist. Bei der Dimensionierung der Substratdicke können so vorteilhafterweise andere Faktoren stärker als beim üblichen Aufbau berücksichtigt und weiteren Optimierungsaspekten – nämlich insbesondere der Verbesserung der Wärmeleitung – Rechnung getragen werden. Die Substrate können also wesentlich dünner ausgeführt werden, solange im Zusammenwirken mit der isolierenden Bodenplatte sichergestellt ist, dass bestehende Anforderungen an Isolation und Teilentladungsfreiheit erfüllt sind.
  • Bevorzugt besteht die Bodenplatte aus einem keramischen Werkstoff hoher thermischer Leitfähigkeit, z. B. AlN oder Si3N4.
  • Durch die Metallisierung der Oberseite der Bodenplatte zumindest im Bereich der Öffnungen werden mechanische Spannungen, die z. B. durch eine die Öffnungen durchdringende Verschraubung erzeugt werden können, gleichmäßig auf die Bodenplatte verteilt. Dies vermindert die Gefahr, dass die (spröde) Bodenplatte infolge punktueller Belastungen bricht oder reißt.
  • Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Unterseite der Bodenplatte metallisiert ist. Dies verbessert die Montagemöglichkeiten der Bodenplatte und hilft, punktuelle Belastungen oder Spannungsspitzen zu vermeiden.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer Zeichnung beispielhaft weiter erläutert. Deren einzige Figur zeigt in perspektivischer Ansicht schematisch ein erfindungsgemäßes Modul.
  • 1 zeigt eine Bodenplatte 1 aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, nämlich einer Keramik (z. B. Si3N4). Die Bodenplatte ist ca. 1,5 mm dick. In ihren Eckbereichen 2 sind Durchgangsbohrungen 3 ausgebildet, um die als Montagefläche 4 fungierende Unterseite der Bodenplatte bedarfsweise mit einem (nicht gezeigten) Kühlkörper verschrauben zu können. Die Eckbereiche 2 sind mit einer Metallisierung 5 versehen, um mechanische Spannungen, die bei Verschraubungen durch die Bohrungen 3 und auch durch betriebsbedingte (z. B. thermische) Belastungen auftreten können, auf einen größeren Oberflächenbereich der Bodenplatte gleichmäßig zu verteilen.
  • Zur Vermeidung von Spannungsspitzen ist die Unterseite 4 der Bodenplatte vollständig metallisiert. Denkbar ist auch, die Oberseite 6 und die Unterseite 4 großflächig zu metallisieren und die Oberseite ggf. zu strukturieren. Die beidseitige Metallisierung hat den Vorteil, dass Verformungen (z. B. Verwölbungen) aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten von keramischem Bodenplattenmaterial und Metallisierungsschichten gegengleiche Spannungen erzeugen und sich so kompensieren.
  • Auf der Oberseite 6 der Bodenplatte 1 sind zwei Baugruppen 8, 9 angeordnet, die jeweils mehrere Leistungshalbleiter 10, 11 und 12, 14 enthalten. Die Baugruppen sind zur Bildung eines Hochleistungs-Halbleitermoduls elektrisch parallel geschaltet und über angedeutete Bonddrähte kontaktiert.
  • Die Baugruppen 8, 9 sind jeweils auf einem Substrat 18, 19 aus einer sehr dünnen Keramikschicht 20, 21 aufgebaut, die nur wenige 1/10 mm beträgt. Dadurch weisen die Substrate eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf. Die von den Leistungshalbleitern betriebsbedingt generierte Verlustwärme kann also durch die dünnen Substrate 18, 19 schnell und einfach auf die Bodenplatte übertragen werden, von der aus die Wärme zu einem (nicht dargestellten) Kühlkörper gelangt.
  • Die für die Isolation der Baugruppen gegenüber der Montagefläche 4 (bzw. dem Kühlkörper) notwendige isolierende Funktion wird zum ganz überwiegenden Teil von der aus elektrisch isolierendem Material bestehenden Bodenplatte selbst ausgeübt. Die Isolationsfunktion kann auch vollständig der Bodenplatte überlassen sein, so dass aus dieser Sicht auf die Substrate sogar ganz verzichtet werden könnte. In diesem Fall würde auf der Oberseite 6 der Bodenplatte eine metallisierte Struktur vorgesehen werden, auf der die Elemente der Baugruppen direkt montiert werden.
  • Damit ist ein Modul mit einer sehr effektiven Verlustwärmeabfuhr geschaffen, das einfach aufgebaut ist und bei dem die Bodenplatte unmittelbar mit einem Kühlelement verschraubt werden kann.
  • 1
    Bodenplatte
    2
    Eckbereiche
    3
    Durchgangsbohrungen
    4
    Montagefläche
    5
    Metallisierung
    6
    Oberseite
    8, 9
    Baugruppen
    10, 11
    Leistungshalbleiter
    12, 14
    Leistungshalbleiter
    18, 19
    Substrat
    20, 21
    Keramikschicht

Claims (4)

  1. Leistungshalbleitermodul mit einer wärmeleitenden Bodenplatte (1), die aus einem elektrisch isolierenden Material besteht und die eine Montagefläche (4) zur wärmeabführenden Verbindung mit einem Kühlelement aufweist, und mit mehreren individuellen Baugruppen (8, 9) mit jeweils mindestens einem Leistungs-Halbleiter (10, 11; 12, 14), die gegenüber der Montagefläche (4) elektrisch isoliert sind, dadurch gekennzeichnet, dass – die Bodenplatte (1) Öffnungen (3) für Befestigungsmittel aufweist und dass die Oberseite (6) der Bodenplatte (1) zumindest im Bereich der Öffnungen (3) metallisiert ist; – die Dicke der Bodenplatte (1) mindestens 1 mm beträgt; und – die Öffnungen (3) in Eckbereichen der Bodenplatte (1) angeordnet sind.
  2. Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Baugruppen (8, 9) jeweils auf einem Substrat (18, 19) angeordnet sind, dessen Dicke im Hinblick auf die Wärmeleitung optimiert ist.
  3. Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenplatte (1) aus einem keramischen Werkstoff hoher thermischer Leitfähigkeit besteht.
  4. Leistungshalbleitermodul nach einem vorherigen Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Montagefläche (4) der Bodenplatte (1) metallisiert ist.
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