DE102004008403A1

DE102004008403A1 - Handling device for positioning a test head on a testing device comprises a column, a horizontal carriage, a pivoting arm arranged on the horizontal carriage, and a holder arranged on the pivoting arm

Info

Publication number: DE102004008403A1
Application number: DE200410008403
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2004-02-20
Publication date: 2005-09-08

Abstract

Handling device comprises a column (20) extending in the vertical direction (z), a horizontal carriage (30) arranged in the vertical direction to be adjusted on the column and sliding in a horizontal transverse direction (y), a pivoting arm (40) arranged on the horizontal carriage to pivot about an axis extending in the vertical direction, and a holder (50) arranged on the pivoting arm. Preferred Features: The column is adjustably arranged on a support (10). The support has a supporting beam (11) on which a guiding rail (12) is arranged.

Description

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln versehen, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist. Zudem ist die Handhabungsvorrichtung mit einer Halterung versehen, die mit den Positionierungsmitteln verbunden ist und an welcher der Testkopf befestigbar ist.The The invention relates to a handling device, in particular for positioning a test head on a tester. The handling device is provided with positioning means through which a test head is positionable in space. In addition, the handling device with a bracket which is connected to the positioning means is and to which the test head can be fastened.

Eine Handhabungsvorrichtung oder Manipulator zum Positionieren eines Testkopfs verfügt üblicherweise über mehrere Translations- und Rotationsfreiheitsgrade und ist insofern geeignet, den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Anwendung findet eine solche Handhabungsvorrichtung daher in der Regel bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeit der elektronischen Bauelemente testen zu können, ist es erforderlich, den verhältnismässig schweren Testkopf präzise an eine Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, beispielsweise ein Devicehandler oder Waferprober, stellt die durch den Testkopf zu prüfenden elektronischen Bauelemente bereit. Ein unverfälschtes Messergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfs an der Prüfeinrichtung voraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.A Handling device or manipulator for positioning a Test head usually has several Translational and rotational degrees of freedom and is therefore suitable position the test head exactly in the room. Application finds one Such handling device therefore usually in the examination of electronic components, such as integrated circuits (IC) or wafers. To the functionality electronic components, it is necessary to the relatively heavy one Test head accurate to a test facility : approaching. The testing device, For example, a Devicehandler or Waferprober, by to test the test head electronic components ready. An undistorted measurement result in the exam The electronic components requires an accurate docking of the test head at the test facility ahead. For this reason, a precise and smooth adjustment the handling device positioning the test head is essential.

Die DE 101 32 489 A1 beschreibt eine Handhabungsvorrichtung, die sich durch eine exakt wiederholbare Bewegung des Testkopfs auszeichnet. Dies ist vornehmlich darauf zurückzuführen, dass die Handhabungsvorrichtung mit den Testkopf im Raum positionierenden Positionierungsmitteln versehen ist, die in einer horizontalen Ebene schwenkbare Gelenkarme aufweisen. Die Gelenkarme sind mit in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten gekoppelt, so dass sich eine beliebige Bewegung des Testkopfs in eine Translationsbewegung der Schlitten und eine Rotationsbewegung der Gelenkarme aufteilen lässt. Auf diese Weise ergibt sich eine reproduzierbare Verstellung der Positionierungsmittel, die eine zuverlässige Positionierung des Testkopfs sicherstellt.The DE 101 32 489 A1 describes a handling device which is characterized by an exactly repeatable movement of the test head. This is mainly due to the fact that the handling device is provided with the test head positioning in the space positioning means having pivotable in a horizontal plane articulated arms. The articulated arms are coupled with slides which can be moved in a horizontal direction, so that any movement of the test head can be divided into a translatory movement of the carriages and a rotational movement of the articulated arms. In this way results in a reproducible adjustment of the positioning means, which ensures a reliable positioning of the test head.

Weiterhin beschreibt die DE 40 07 011 C2 eine Handhabungsvorrichtung, die mit einem Testkopf im Raum positionierenden Doppelgelenkarmen versehen ist. Die Doppelgelenkarme sind an einem ersten Ende gelenkig mit einer den Testkopf befestigenden Halterung verbunden. An einem zweiten Ende sind die Doppelgelenkarme gelenkig mit einem Schwenkarm verbunden, der um eine sich in vertikaler Richtung erstreckende Achse geschwenkt werden kann. Der Schwenkarm ist an einer Säule angeordnet, die es ermöglicht, den Schwenkarm zudem in vertikaler Richtung linear zu verstellen. Wenngleich die bekannte Handhabungsvorrichtung auf Grund der überlagerbaren Rotationsbewegungen des Schwenkarms und der Doppelgelenkarme über eine mannigfaltige Verstellbarkeit in horizontaler Richtung verfügt, ist eine reproduzierbare Verstellung nur mit einem verhältnismässig grossen Aufwand möglich.Furthermore, the describes DE 40 07 011 C2 a handling device provided with a test head positioning in space double-jointed arms. The double-jointed arms are hingedly connected at a first end to a bracket securing the test head. At a second end, the double joint arms are pivotally connected to a pivot arm which can be pivoted about a vertically extending axis. The swivel arm is arranged on a pillar, which also makes it possible to adjust the swivel arm in a vertical direction in a linear manner. Although the known handling device has a variety of adjustability in the horizontal direction due to the superimposable rotational movements of the pivot arm and the double joint arms, a reproducible adjustment is possible only with a relatively large effort.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Handhabungsvorrichtung zu schaffen, mittels der sich eine vielfältige und zugleich reproduzierbare Verstellung erzielen lässt.Of the Invention is the object of a handling device to create, by means of a diverse and at the same time reproducible adjustment achieve.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art in Übereinstimmung mit Anspruch 1 erfindungsgemäss Positionierungsmittel auf, die eine Säule, die sich in vertikaler Richtung erstreckt, einen Horizontalschlitten, der in der vertikalen Richtung verstellbar an der Säule angeordnet und in einer horizontalen Querrichtung verschiebbar ist, und einen Schwenkarm, der an dem Horizontalschlitten angeordnet und um eine sich in der vertikalen Richtung erstreckende Achse schwenkbar ist, umfassen. Die Halterung ist an dem Schwenkarm angeordnet.to solution This object has a handling device of the aforementioned Sort in accordance with claim 1 according to the invention positioning on, the one pillar, which extends in the vertical direction, a horizontal slide, which is arranged in the vertical direction adjustable on the column and is displaceable in a horizontal transverse direction, and a Swivel arm, which is arranged on the horizontal slide and a is pivotable in the vertical direction extending axis, include. The holder is arranged on the pivot arm.

Die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtung beruht auf der Erkenntnis, einen Horizontalschlitten vorzusehen, der in der horizontalen Querrichtung verschiebbar ist und auf diese Weise eine sogenannte „Side to side"-Bewegung ermöglicht. Der eine Translationsbewegung ausführende Horizontalschlitten lässt sich präzise und reproduzierbar in horizontaler Richtung verstellen. Darüber hinaus lässt sich die Translationsbewegung des Horizontalschlittens mit der Rotationsbewegung des an dem Horizontalschlitten angeordneten Schwenkarms überlagern. Der um eine sich in der vertikalen Richtung erstreckende Achse schwenkbare Schwenkarm ermöglicht eine sogenannte „Swing"-Bewegung, so dass sich eine vielfältige Verstellung in horizontaler Richtung ergibt.The invention Handling device based on the knowledge, a horizontal slide to provide, which is displaceable in the horizontal transverse direction and thus allows a so-called "side to side" movement executive Horizontal carriage leaves precise and reproducibly adjust in horizontal direction. Furthermore let yourself the translational movement of the horizontal carriage with the rotational movement superimpose the arranged on the horizontal slide pivot arm. The pivotable about an axis extending in the vertical direction Swing arm allows a so-called "swing" movement, so that a diverse one Adjustment in the horizontal direction results.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Ansprüche 2 bis 13 dar.advantageous Embodiments of the inventive handling device put the objects the claims 2 to 13

So ist es von Vorteil, wenn die Säule in einer horizontalen Längsrichtung, die sich orthogonal zu der Querrichtung erstreckt, verstellbar an einem Untergestell angeordnet ist. Das Untergestell stellt eine ausreichende Standfestigkeit der Handhabungsvorrichtung sicher. Die verstellbare Anordnung der Säule an dem Untergestell ermöglicht eine sogenannte „In and out"-Bewegung in der horizontalen Längsrichtung.Thus, it is advantageous if the column is arranged in a horizontal longitudinal direction, which extends orthogonal to the transverse direction, adjustable on a base frame. The undercarriage ensures a sufficient stability of the handling device. The adjustable arrangement of the column on the base allows a so-called "in and out" movement in the horizontal longitudinal direction tung.

Zweckmässigerweise weist das Untergestell wenigstens einen sich in der Längsrichtung erstreckenden Tragbalken auf, an dem eine Führungsschiene, auf der die Säule bewegbar ist, angeordnet ist. Die Führungsschiene ge währleistet eine zuverlässige und reproduzierbare Verstellung der Säule an dem Untergestell. Um eine ausreichende Standfestigkeit der Säule zu erreichen, ist es ferner zweckmässig, die Säule mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Untergestell zu arretieren.Conveniently, the underframe has at least one in the longitudinal direction extending support beam on which a guide rail on which the Pillar movable is, is arranged. The guide rail guaranteed a reliable one and reproducible adjustment of the column on the subframe. Around it is further sufficient to achieve sufficient stability of the column expedient the pillar by means of locking means in a predetermined position on the To lock underframe.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ist die Säule mit wenigstens einer Führungsschiene versehen, auf der ein Vertikalschlitten in der vertikalen Richtung bewegbar ist. Der Vertikalschlitten, an dem vorzugsweise der Horizontalschlitten befestigt ist und der als Linearmotor ausgestaltet sein kann, ermöglicht eine sogenannte „Vertical"-Bewegung. Zu einer zuverlässigen Positionierung trägt bei, wenn der Vertikalschlitten vorteilhafterweise mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an der Säule arretierbar ist.In a preferred embodiment of the inventive handling device is the pillar with at least one guide rail provided on which a vertical slide in the vertical direction is movable. The vertical slide, on which preferably the horizontal slide is attached and can be configured as a linear motor, allows a so-called "Vertical" movement. For a reliable positioning contributes, when the vertical slide advantageously by means of locking means can be locked in a predetermined position on the column.

Bevorzugt weist der Horizontalschlitten ein an dem Vertikalschlitten angeordnetes Führungsteil und ein in der Querrichtung bewegbar an dem Führungsteil angeordnetes Laufteil auf. Das Führungsteil und das Laufteil können Bestandteil eines eine elektrische Verstellung ermöglichenden Linearmotors sein. Um eine zuverlässige Positionierung zu gewährleisten, ist vorteilhafterweise das Laufteil mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil arretierbar.Prefers the horizontal slide has a arranged on the vertical slide Leadership part and a traveling part arranged movably in the transverse direction on the guide part on. The leadership part and the running part can Part of an electrical adjustment enabling Be a linear motor. To ensure reliable positioning, is advantageously the running part by means of locking can be locked in a predetermined position on the guide part.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ist der Schwenkarm um einen vorgegebenen Winkel, der vorzugsweise 90° beträgt, schwenkbar und mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbar. In diesen Zusammenhang hat es sich als zweckmässig erwiesen, eine Führungsplatte an dem Horizontalschlitten anzuordnen, an welcher der Schwenkarm arretierbar ist. Die Führungsplatte kann mit Anschlagflächen versehen sein, durch welche die Schwenkbewegung des Schwenkarms begrenzt wird. Alternativ oder zusätzlich kann der Horizontalschlitten mit wenigstens einer Anschlagfläche versehen sein, welche die Schwenkbewegung des Schwenkarms begrenzt.In a preferred embodiment of the inventive handling device is the swing arm by a predetermined angle, preferably 90 °, swiveling and lockable by means of locking means in a predetermined position. In this context, it has proved to be useful, a guide plate to arrange on the horizontal slide, on which the swivel arm lockable. The guide plate can with stop surfaces Be provided by which the pivotal movement of the swing arm is limited. Alternatively or additionally, the horizontal slide with at least one stop surface be provided, which limits the pivotal movement of the swing arm.

Bevorzugt ist die Halterung mit zwei Seitenarmen versehen, zwischen denen der Testkopf eingespannt werden kann. Die den Testkopf einspannenden Seitenarme gewährleisten eine sichere Befestigung des Testkopfs, und zwar auch dann, wenn dieser verhältnismässig schwer ist.Prefers the bracket is provided with two side arms, between which the test head can be clamped. The spanning the test head Ensure side arms a secure attachment of the test head, even if this relatively heavy is.

Vorteilhafterweise lässt sich der Testkopf um eine erste Rotationsachse drehbar an den Seitenarmen anordnen und mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretieren. Die sich vorzugsweise in horizontaler Richtung erstreckende erste Rotationsachse ermöglicht eine sogenannte „Tumble"-Bewegung des Testkopfs. Werden beispielsweise die Drehpunkte des Testkopfs für die erste Rotationsachse linear verschiebbar angeordnet, so lässt sich zudem eine sogenannte „Theta"-Bewegung des Testkopfs realisieren.advantageously, let yourself the test head rotatable about a first axis of rotation on the side arms arrange and by means of locking in a predetermined position lock. The preferably extending in the horizontal direction first axis of rotation allows a so-called "tumble" movement of the test head. For example, the pivot points of the test head for the first Rotary axis arranged linearly displaceable, so can be also a so-called "theta" movement of the test head realize.

Ausserdem ist es von Vorteil, die Halterung mit einer Drehführung zu versehen, durch die der Testkopf um eine zweite Rotationsachse, die sich vorzugsweise orthogonal zu der ersten Rotationsachse erstreckt, drehbar ist. Die mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbare Drehführung ermöglicht eine sogenannte „Twist"-Bewegung des Testkopfs.Moreover it is advantageous to use the bracket with a rotary guide too provided by the test head about a second axis of rotation, which preferably extends orthogonal to the first axis of rotation, is rotatable. The means of locking means in a predetermined Position lockable rotary guide allows a so-called "twist" movement of the test head.

Einzelheiten und weitere Vorteile der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. In den das Ausführungsbeispiel lediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichen im einzelnen:details and further advantages of the inventive handling device will be apparent from the following description of a preferred Embodiment. In the the embodiment illustrate only schematically representing drawings in detail:

1 eine perspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung, an der ein Testkopf angeordnet ist; 1 a perspective view of a handling device on which a test head is arranged;

2a eine Draufsicht auf die Handhabungsvorrichtung gemäss 1; 2a a plan view of the handling device according to 1 ;

2b eine Draufsicht gemäss 2a, die den Testkopf in einer anderen Position zeigt; 2 B a plan view according to 2a showing the test head in a different position;

3a eine perspektivische Ansicht von Positionierungsmitteln der Handhabungsvorrichtung gemäss 1; 3a a perspective view of positioning means of the handling device according to 1 ;

3b eine Draufsicht auf die Positionierungsmittel gemäss 3a; 3b a plan view of the positioning means according to 3a ;

3c eine Draufsicht gemäss 3b, die einen Schwenkarm in einer anderen Position zeigt; 3c a plan view according to 3b showing a swivel arm in a different position;

4a eine Draufsicht gemäss 2b, die einen Horizontalschlitten in einer ersten Stellung zeigt; 4a a plan view according to 2 B showing a horizontal carriage in a first position;

4b eine Draufsicht gemäss 4a, die den Horizontalschlitten in einer zweiten Stellung zeigt; 4b a plan view according to 4a showing the horizontal carriage in a second position;

5a bis 5c perspektivische Ansichten des an einer Halterung angeordneten Testkopfs, die eine „Twist"- und eine „Tumble"-Bewegung des Testkopfs veranschaulichen, und 5a to 5c perspective views of the test head arranged on a holder, which illustrate a "twist" and a "tumble" movement of the test head, and

6a bis 6c Draufsichten gemäss 2a, die eine „Theta"-Bewegung des Testkopfs veranschaulichen. 6a to 6c According to plan views 2a which illustrate a "theta" movement of the test head.

Die in 1 dargestellte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfs 60 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für elektronische Bauelemente, wie zum Beispiel IC oder Wafer. Zu diesem Zweck weist die Handhabungsvorrichtung eine Halterung 50 auf, an welcher der Testkopf 60 befestigt ist. Darüber hinaus ist die Handhabungsvorrichtung mit Positionierungsmitteln versehen, die mit der Halterung 50 verbunden sind und die eine Säule 20, einen Horizontalschlitten 30 und einen Schwenkarm 40 umfassen.In the 1 illustrated handling device is used for positioning a test head 60 on a test device, not shown, for electronic components, such as IC or wafer. For this purpose, the handling device has a holder 50 on, on which the test head 60 is attached. In addition, the handling device is provided with positioning means associated with the holder 50 connected and the one pillar 20 , a horizontal slide 30 and a swivel arm 40 include.

Die sich in vertikaler Richtung z erstreckende Säule 20 ist auf einem Untergestell 10 in einer horizontalen Längsrichtung x verschiebbar angeordnet. Zu diesem Zweck weist das Untergestell 10 zwei in der Längsrichtung x parallel zueinander verlaufende Tragbalken 11 auf, auf denen die Säule 20 führende Führungsschienen 12 angeordnet sind. Die Tragbalken 11 stützen sich auf in einer horizontalen Querrichtung y, die sich orthogonal zu der Längsrichtung x erstreckt, verlaufenden Traversen 13 ab, die jeweils auf Tellerfüssen 14 ge lagert sind und eine ausreichende Stabilität der Handhabungsvorrichtung sicherstellen. Zwischen den Tragbalken 11 sind die Traversen 13 durch eine Abdeckplatte 15 abgedeckt, die zu einer ergonomischen Bauweise der Handhabungsvorrichtung beiträgt. Um die Säule 20 auf den Führungsschienen 12 zu bewegen, sind nicht dargestellte Antriebsmittel vorgesehen. Die Säule 20 kann alternativ oder zusätzlich auch manuell auf den Führungsschienen 12 verschoben werden. Um eine ausreichende Standfestigkeit der Säule 20 sicherzustellen, sind ebenfalls nicht dargestellte Arretierungsmittel vorgesehen, mittels denen die Säule 20 in einer vorgegebenen Stellung an dem Untergestellt 10 arretiert werden kann.The column extending in the vertical direction z 20 is on a base 10 slidably disposed in a horizontal longitudinal direction x. For this purpose, the base frame 10 two in the longitudinal direction x parallel to each other supporting beams 11 on top of which the pillar 20 leading guide rails 12 are arranged. The stringers 11 are based on trusses running in a horizontal transverse direction y which extends orthogonally to the longitudinal direction x 13 off, each on disc feet 14 ge are stored and ensure sufficient stability of the handling device. Between the stringers 11 are the trusses 13 through a cover plate 15 covered, which contributes to an ergonomic design of the handling device. To the pillar 20 on the guide rails 12 to move, not shown drive means are provided. The pillar 20 can alternatively or additionally also manually on the guide rails 12 be moved. To ensure adequate stability of the column 20 ensure locking means, also not shown, are provided by means of which the column 20 in a predetermined position on the subordinate 10 can be locked.

Wie 1 zudem zu erkennen gibt, ist die Säule 20 mit zwei parallel zueinander verlaufenden Führungsschienen 21 versehen, auf denen ein Vertikalschlitten 22 in der vertikalen Richtung z linear bewegt werden kann. Der Vertikalschlitten 22 wird von nicht dargestellten Antriebsmitteln angetrieben und lässt sich mittels ebenfalls nicht dargestellten Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an der Säule 20 arretieren.As 1 In addition, there is the pillar 20 with two parallel guide rails 21 provided on which a vertical slide 22 in the vertical direction z can be moved linearly. The vertical slide 22 is driven by drive means, not shown, and can be by means also not shown locking means in a predetermined position on the column 20 lock.

An dem Vertikalschlitten 22 ist der Horizontalschlitten 30 befestigt. Wie insbesondere aus 1 ersichtlich ist, weist der Horizontalschlitten 30 ein an dem Vertikalschlitten 22 angeordnetes Führungsteil 31 und ein bewegbar an dem Führungsteil 31 angeordnetes Laufteil 32 auf. Das Laufteil 32 ist mittels eines Feststellhebels 33 in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil 31 arretierbar.On the vertical slide 22 is the horizontal slide 30 attached. As in particular from 1 can be seen, the horizontal slide 30 one on the vertical slide 22 arranged guide part 31 and a movable on the guide part 31 arranged running part 32 on. The running part 32 is by means of a locking lever 33 in a predetermined position on the guide part 31 lockable.

Wie insbesondere die 3a bis 3c zu erkennen geben, ist der Schwenkarm 40 gelenkig mit dem Horizontalschlitten 30 verbunden und um eine sich in der vertikalen Richtung z erstreckende Achse schwenkbar. Der Winkel α, um den der Schwenkarm 40 geschwenkt werden kann, beträgt ca. 90°. Eine an dem Horizontalschlitten 30 angeordnete Führungsplatte 41 trägt zu einer zuverlässigen Schwenkbewegung des Schwenkarms 40 bei und ermöglicht, den Schwenkarm 40 in jeder beliebigen Stellung mittels eines Feststellhebels 42 zu arretieren. Die Führungsplatte 41 kann zudem mit Anschlagflächen versehen sein, welche die Schwenkbewegung des Schwenkarms 40 begrenzen.How the particular 3a to 3c to recognize, is the swivel arm 40 articulated with the horizontal slide 30 connected and pivotable about an axis extending in the vertical direction z. The angle α around which the swivel arm 40 can be pivoted, is about 90 °. One on the horizontal slide 30 arranged guide plate 41 contributes to a reliable pivoting movement of the swivel arm 40 at and allows the swivel arm 40 in any position by means of a locking lever 42 to lock. The guide plate 41 can also be provided with stop surfaces which the pivoting movement of the pivot arm 40 limit.

Die an dem Schwenkarm 40 angeordnete Halterung 50 ist mit zwei Seitenarmen 51 versehen, zwischen denen der Testkopf 60 eingespannt ist. Die Seitenarme 51 sind an einer Grundplatte 53 befestigt. Die Grundplatte 53 ist mit einer nicht dargestellten Drehführung versehen, durch die der Testkopf 60 um eine horizontale Rotationsachse gedreht werden kann, wie die 5a und 5b veranschaulichen. Die mittels eines nicht dargestellten Feststellhebels in einer vorgegebenen Stellung arretierbare Drehführung wird von ebenfalls nicht dargestellten Antriebsmitteln angetrieben, die je nach Anwendungsfall manuell oder elektrisch betätigt werden können. Wie 5c ferner zu erkennen gibt, kann der Testkopf 60 um eine sich orthogonal zu den Seitenarmen 51 erstreckende Rotationsachse gedreht werden. Für diese Drehung des Testkopfs 60 können im Bedarfsfall Antriebsmittel vorgesehen sein. Ein Feststellhebel 52 stellt sicher, dass der Testkopf 60 in einer gewünschten Stellung arretiert werden kann.The on the swivel arm 40 arranged bracket 50 is with two side arms 51 between which the test head 60 is clamped. The side arms 51 are on a base plate 53 attached. The base plate 53 is provided with a rotary guide, not shown, through which the test head 60 can be rotated about a horizontal axis of rotation, like the 5a and 5b illustrate. The lockable by means of a locking lever, not shown in a predetermined position rotary guide is driven by drive means, also not shown, which can be operated manually or electrically depending on the application. As 5c can also be seen, the test head 60 around one orthogonal to the side arms 51 extending axis of rotation to be rotated. For this rotation of the test head 60 If necessary, drive means can be provided. A locking lever 52 Make sure the test head 60 can be locked in a desired position.

Die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung zeichnet sich durch eine vielfältige und zugleich reproduzierbare Verstellung des Testkopfs 60 aus. Dies ist vornehmlich auf das Zusammenspiel von Horizontalschlitten 30 und Schwenkarm 40 zurückzuführen. So ermöglicht der Schwenkarm 40 eine „Swing"-Bewegung des Testkopfs 60, wie insbesondere aus den 2a und 2b ersichtlich ist. Der mit dem Schwenkarm 40 verbundene Horizontalschlitten 30 ermöglicht eine lineare Verschiebung des Testkopfs 60 in der Querrichtung y, wie insbesondere die 4a und 4b zu erkennen geben. Durch den Horizontalschlitten 30 kann auf diese Weise eine in der Querrichtung y stattfindende „Side to Side"-Bewegung des Testkopfs 60 ausgeführt werden. Eine in der Längsrichtung x stattfindende „In and out"-Bewegung des Testkopfs 60 ergibt sich durch die Translationsbewegung der Säule 20 auf dem Untergestell 10, wie insbesondere aus den 2a und 2b ersichtlich ist. Die Säule 20 ermöglicht mittels des Vertikalschlittens 22 zudem eine „Vertical"-Bewegung des Testkopfs 60.The handling device described above is characterized by a diverse and at the same time reproducible adjustment of the test head 60 out. This is primarily due to the interaction of horizontal slides 30 and swivel arm 40 due. This allows the swivel arm 40 a "swing" movement of the test head 60 , in particular from the 2a and 2 B is apparent. The one with the swivel arm 40 connected horizontal slides 30 allows a linear displacement of the test head 60 in the transverse direction y, in particular the 4a and 4b make known. Through the horizontal slide 30 In this way, a "side to side" movement of the test head taking place in the transverse direction y can take place 60 be executed. An "in and out" movement of the test head taking place in the longitudinal direction x 60 results from the translational movement of the column 20 on the base 10 , in particular from the 2a and 2 B is apparent. The pillar 20 allows by means of Ver tikalschlittens 22 In addition, a "vertical" movement of the test head 60 ,

Weiterhin trägt zu einer mannigfaltigen Verstellung des Testkopfs 60 die Halterung 50 bei, die, wie die 5c zu erkennen geben, eine „Tumble"-Bewegung des Testkopfs 60 ermöglicht. Aufgrund der in die Grundplatte 53 integrierten Drehführung kann der Testkopf 60 zudem eine „Twist"-Bewegung ausführen, wie die 5a und 5b zu erkennen geben. Nicht zuletzt kann der Testkopf 60 aufgrund einer linear verschiebbaren Anordnung von den Testkopf 60 an den Seitenarmen 51 lagernden Drehpunkten eine „Theta"-Bewegung ausführen, wie die 6a bis 6c zu erkennen geben.Furthermore contributes to a diverse adjustment of the test head 60 the holder 50 at, which, like the 5c indicate a "tumble" movement of the test head 60 allows. Because of in the base plate 53 integrated rotary guide, the test head 60 In addition, perform a "twist" movement, like the 5a and 5b make known. Last but not least, the test head 60 due to a linearly displaceable arrangement of the test head 60 on the side arms 51 bearing pivot points perform a "theta" movement, like the 6a to 6c make known.

1010: Untergestellundercarriage
1111: Tragbalkenstringers
1212: Führungsschieneguide rail
1313: Traversetraverse
1414: Tellerfussplate base
1515: Abdeckplattecover
2020: Säulepillar
2121: Führungsschieneguide rail
2222: Vertikalschlittenvertical slide
3030: Horizontalschlittenhorizontal slide
3131: Führungsteilguide part
3232: Laufteilrunning part
3333: FeststellhebelLocking lever
4040: Schwenkarmswivel arm
4141: Führungsplatteguide plate
4242: FeststellhebelLocking lever
5050: Halterungbracket
5151: Seitenarmsidearm
5252: FeststellhebelLocking lever
5353: Grundplattebaseplate
6060: Testkopftest head
x x: horizontale Längsrichtunghorizontal longitudinal direction
yy: horizontale Querrichtunghorizontal transversely
z z: vertikale Richtungvertical direction
αα: Winkelangle

Claims

Handling device, in particular for positioning a test head ( 60 ) at a test facility, with positioning means ( 20 . 30 . 40 ) through which a test head ( 60 ) is positionable in space, and a holder ( 50 ) with the positioning means ( 20 . 30 . 40 ) and at which the test head ( 60 ) is attachable, wherein the positioning means ( 20 . 30 . 40 ) comprise: a) a column ( 20 ) extending in the vertical direction (z); b) a horizontal slide ( 30 ) adjustable in the vertical direction (z) on the column ( 20 ) and in a horizontal transverse direction (y) is displaceable, and c) a pivoting arm ( 40 ) mounted on the horizontal slide ( 30 ) and is pivotable about an axis extending in the vertical direction (z), the support ( 50 ) on the swivel arm ( 40 ) is arranged.

Handling device according to claim 1, characterized in that the column ( 20 ) in a horizontal longitudinal direction (x), which extends orthogonal to the transverse direction (y), adjustable on a base ( 10 ) is arranged.

Handling device according to claim 2, characterized in that the underframe ( 10 ) at least one in the longitudinal direction (x) extending support beams ( 11 ), on which a guide rail ( 12 ) on which the column ( 20 ) is movable, is arranged.

Handling device according to claim 3, characterized in that the column ( 20 ) by means of locking means in a predetermined position on the underframe ( 10 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the column ( 20 ) with at least one guide rail ( 21 ), on which a vertical slide ( 22 ) is movable in the vertical direction (z) is provided, wherein preferably the horizontal slide ( 30 ) on the vertical slide ( 22 ) is attached.

Handling device according to claim 5, characterized in that the vertical slide ( 22 ) by means of locking means in a predetermined position on the column ( 20 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the horizontal slide ( 30 ) on the vertical slide ( 22 ) arranged guide part ( 31 ) and one in the transverse direction (y) movable on the guide part ( 31 ) arranged running part ( 32 ) having.

Handling device according to claim 7, characterized in that the running part ( 32 ) by means of locking means ( 33 ) in a predetermined position on the guide part ( 31 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the swivel arm ( 40 ) by a predetermined angle (α), which is preferably 90 °, pivotable and by means of locking means ( 42 ) can be locked in a predetermined position.

Handling device according to claim 9, characterized in that a guide plate ( 41 ) on the horizontal slide ( 30 ) is arranged, on which the swivel arm ( 40 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the holder ( 50 ) with two side arms ( 51 ) between which the test head ( 60 ) is clamped.

Handling device according to claim 11, characterized in that the test head ( 60 ) about a first axis of rotation rotatably on the side arms ( 51 ) and by means of locking means ( 52 ) can be locked in a predetermined position.

Handling device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the holder ( 50 ) is provided with a rotary guide through which the test head ( 60 ) about a second axis of rotation, which preferably extends orthogonal to the first axis of rotation, is rotatable, wherein the rotary guide can be locked by means of locking means in a predetermined position.