DE102004008402B4

DE102004008402B4 - Handling device, in particular for positioning a test head on a test device

Info

Publication number: DE102004008402B4
Application number: DE200410008402
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2004-02-20
Publication date: 2007-04-12
Anticipated expiration: 2024-02-21
Also published as: DE102004008402A1

Abstract

Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs (60) an einer Prüfeinrichtung, mit Positionierungsmitteln, durch die der Testkopf (60) im Raum positionierbar ist, und einer Halterung (50), die mit den Positionierungsmitteln verbunden ist und an welcher der Testkopf (60) befestigbar ist, wobei die Positionierungsmittel umfassen:
a. eine Säule (20), die sich in vertikaler Richtung (z) erstreckt und um eine sich in der vertikalen Richtung (z) erstreckende Achse drehbar an einem Untergestell (10) angeordnet ist;
b. einen ersten Horizontalschlitten (30), der in der vertikalen Richtung (z) verstellbar an der Säule (20) angeordnet und in einer ersten horizontalen Richtung (x) verschiebbar ist, und
c. einen zweiten Horizontalschlitten (40), der um eine horizontale Schwenkachse (44) schwenkbar an dem ersten Horizontalschlitten (30) angeordnet und in einer zweiten horizontalen Richtung (y), die sich orthogonal zu der ersten horizontalen Richtung (x) erstreckt, verschiebbar ist,
wobei die Halterung (50) an dem zweiten Horizontalschlitten (40) angeordnet...Handling device, in particular for positioning a test head (60) on a test device, with positioning means by means of which the test head (60) can be positioned in space, and a holder (50) which is connected to the positioning means and to which the test head (60) is attachable, wherein the positioning means comprise:
a. a pillar (20) extending in a vertical direction (z) and rotatably disposed on a base (10) about an axis extending in the vertical direction (z);
b. a first horizontal slide (30) which is adjustably arranged in the vertical direction (z) on the column (20) and displaceable in a first horizontal direction (x), and
c. a second horizontal carriage (40) pivotally mounted about a horizontal pivot axis (44) on the first horizontal carriage (30) and slidable in a second horizontal direction (y) orthogonal to the first horizontal direction (x);
wherein the holder (50) is arranged on the second horizontal slide (40).

Description

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln versehen, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist. Zudem ist die Handhabungsvorrichtung mit einer Halterung versehen, die mit den Positionierungsmitteln verbunden ist und an welcher der Testkopf befestigbar ist.The The invention relates to a handling device, in particular for positioning a test head on a tester. The handling device is provided with positioning means through which a test head is positionable in space. In addition, the handling device with a bracket which is connected to the positioning means is and to which the test head can be fastened.

Eine Handhabungsvorrichtung oder Manipulator zum Positionieren eines Testkopfs verfügt üblicherweise über mehrere Translations- und Rotationsfreiheitsgrade und ist insofern geeignet, den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Anwendung findet eine solche Handhabungsvorrichtung daher in der Regel bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeit der elektronischen Bauelemente testen zu können, ist es erforderlich, den verhältnismässig schweren Testkopf präzise an eine Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, beispielsweise ein Devicehandler oder Waferprober, stellt die durch den Testkopf zu prüfenden elektronischen Bauelemente bereit. Ein unverfälschtes Messergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfs an der Prüfeinrichtung voraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.A Handling device or manipulator for positioning a Test head usually has several Translational and rotational degrees of freedom and is therefore suitable position the test head exactly in the room. Application finds one Such handling device therefore usually in the examination of electronic components, such as integrated circuits (IC) or wafers. To the functionality electronic components, it is necessary to the relatively heavy one Test head accurate to a test facility : approaching. The testing device, For example, a Devicehandler or Waferprober, by to test the test head electronic components ready. An undistorted measurement result in the exam The electronic components requires an accurate docking of the test head at the test facility ahead. For this reason, a precise and smooth adjustment the handling device positioning the test head is essential.

Die DE 101 32 489 A1 beschreibt eine Handhabungsvorrichtung, die sich durch eine exakt wiederholbare Bewegung des Testkopfs auszeichnet. Dies ist vornehmlich darauf zurückzuführen, dass die Handhabungsvorrichtung mit den Testkopf im Raum positionierenden Positionierungsmitteln versehen ist, die in einer horizontalen Ebene schwenkbare Gelenkarme aufweisen. Die Gelenkarme sind mit in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten gekoppelt, so dass sich eine beliebige Bewegung des Testkopfs in eine Translationsbewegung der Schlitten und eine Rotationsbewegung der Gelenkarme aufteilen lässt. Auf diese Weise ergibt sich eine reproduzierbare Verstellung der Positionierungsmittel, die eine zuverlässige Positionierung des Testkopfs sicherstellt.The DE 101 32 489 A1 describes a handling device which is characterized by an exactly repeatable movement of the test head. This is mainly due to the fact that the handling device is provided with the test head positioning in the space positioning means having pivotable in a horizontal plane articulated arms. The articulated arms are coupled with slides which can be moved in a horizontal direction, so that any movement of the test head can be divided into a translatory movement of the carriages and a rotational movement of the articulated arms. In this way results in a reproducible adjustment of the positioning means, which ensures a reliable positioning of the test head.

Weiterhin beschreibt die DE 40 07 011 C2 eine Handhabungsvorrichtung, die mit einem Testkopf im Raum positionierenden Doppelgelenkarmen versehen ist. Die Doppelgelenkarme sind an einem ersten Ende gelenkig mit einer den Testkopf befestigenden Halterung verbunden. An einem zweiten Ende sind die Doppelgelenkarme gelenkig mit einem Schwenkarm verbunden, der um eine sich in vertikaler Richtung erstreckende Achse geschwenkt werden kann. Der Schwenkarm ist an einer Säule angeordnet, die es ermöglicht, den Schwenkarm zudem in vertikaler Richtung linear zu verstellen. Wenngleich die bekannte Handhabungsvorrichtung auf Grund der überlagerbaren Rotationsbewegungen des Schwenkarms und der Doppelgelenkarme über eine mannigfaltige Verstellbarkeit in horizontaler Richtung verfügt, ist eine reproduzierbare Verstellung nur mit einem verhältnismässig grossen Aufwand möglich.Furthermore, the describes DE 40 07 011 C2 a handling device provided with a test head positioning in space double-jointed arms. The double-jointed arms are hingedly connected at a first end to a bracket securing the test head. At a second end, the double joint arms are pivotally connected to a pivot arm which can be pivoted about a vertically extending axis. The swivel arm is arranged on a pillar, which also makes it possible to adjust the swivel arm in a vertical direction in a linear manner. Although the known handling device due to the superimposable rotational movements of the swivel arm and the double joint arms has a variety of adjustability in the horizontal direction, a reproducible adjustment is possible only with a relatively large effort.

Eine Handhabungsvorrichtung, die zum Positionieren eines Testkopfs dient, wird auch in der US 6,023,173 A beschrieben. Die Handhabungsvorrichtung umfasst eine als Drehführung ausgebildete Halterung, an welcher der Testkopf befestigt ist, eine mit vertikalen Schienen versehene Säule, einen in vertikaler Richtung verstellbar an der Säule angeordneten Horizontalschlitten, eine Ausdehnungseinheit, die an dem Horizontalschlitten angeordnet ist, ei nen Dreharm, der um eine vertikale Achse drehbar und an der Ausdehnungseinheit angeordnet ist, und eine um eine horizontale Achse schwenkbare Tumble-Einheit, die zwischen dem Dreharm und der Halterung angeordnet ist.A handling device that serves to position a test head is also disclosed in U.S. Patent No. 4,839,830 US 6,023,173 A described. The handling device comprises a holder designed as a rotary guide, to which the test head is fastened, a column provided with vertical rails, a vertically arranged adjustable on the column horizontal carriage, an expansion unit, which is arranged on the horizontal slide, egg NEN rotary arm, the order a vertical axis is rotatable and arranged on the expansion unit, and a tumble unit pivotable about a horizontal axis, which is arranged between the rotary arm and the holder.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Handhabungsvorrichtung zu schaffen, mittels der sich eine vielfältige und zugleich reproduzierbare Verstellung erzielen lässt.Of the Invention is the object of a handling device to create, by means of a diverse and at the same time reproducible adjustment achieve.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird eine Handhabungsvorrichtung mit den Merkmalen gemäss Anspruch 1 vorgeschlagen.to solution This object is a handling device with the features according to Claim 1 proposed.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Ansprüche 2 bis 11 dar.advantageous Embodiments of the inventive handling device put the objects the claims 2 to 11 dar.

Die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtung beruht auf der Erkenntnis, zwei Horizontalschlitten vorzusehen, die in zwei orthogonal zueinander verlaufenden Richtungen verschiebbar sind. Die eine Translationsbewegung ausführenden Horizontalschlitten lassen sich präzise und reproduzierbar in horizontaler Richtung verstellen und ermöglichen auf diese Weise eine sogenannte „Side to Side"- und „In and out"-Bewegung. Der zweite Horizontalschlitten ist um eine horizontale Schwenkachse schwenkbar an dem ersten Horizontalschlitten angeordnet. Die schwenkbare Anordnung des zweiten Horizontalschlittens ermöglicht eine sogenannte „Tumble"-Bewegung.The invention Handling device based on the knowledge, two horizontal slide to be provided in two orthogonal directions are displaceable. The perform a translation movement Horizontal slides can be precisely and reproducibly in horizontal Adjust and enable direction in this way a so-called "Side to Side" - and "In and out "movement second horizontal slide is about a horizontal pivot axis pivotally mounted on the first horizontal slide. The swiveling Arrangement of the second horizontal slide allows a so-called "tumble" movement.

Die Säule ist um eine sich in der vertikalen Richtung erstreckende Achse drehbar an einem Untergestell angeordnet ist. Das Untergestell stellt eine ausreichende Standfestigkeit der Handhabungsvorrichtung sicher. Die drehbare Anordnung der Säule an dem Untergestell ermöglicht eine sogenannte „Swing"-Bewegung, die sich mit den Translationsbewegungen der Horizontalschlitten überlagern lässt, so dass sich eine vielfältige Verstellung in horizontaler Richtung ergibt. In Hinsicht auf die drehbare Anordnung der Säule hat es sich als zweckmässig erwiesen, das Untergestell mit einer Drehplatte zu versehen, auf der die Säule angeordnet ist. Um eine zuverlässige Positionierung sicherzustellen, ist es ferner zweckmässig, die Säule mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Untergestell zu arretieren.The column is rotatably mounted on an underframe about an axis extending in the vertical direction. The base provides sufficient stability of the handling direction for sure. The rotatable arrangement of the column on the undercarriage allows a so-called "swing" movement, which can be superimposed with the translational movements of the horizontal slides, resulting in a versatile adjustment in the horizontal direction In order to ensure a reliable positioning, it is also expedient to lock the column by means of locking means in a predetermined position on the underframe to expediently provide the underframe with a rotary plate on which the column is arranged.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ist die Säule mit wenigstens einer Führungsschiene versehen, auf der ein Vertikalschlitten in der vertikalen Richtung bewegbar ist. Der Vertikalschlitten, an dem vorzugsweise der erste Horizontalschlitten befestigt ist und der als Linearmotor ausgestaltet sein kann, ermöglicht eine sogenannte „Vertical"-Bewegung. Zu einer zuverlässigen Positionierung trägt bei, wenn der Vertikalschlitten vorteilhafterweise mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an der Säule arretierbar ist.In a preferred embodiment of the inventive handling device is the pillar with at least one guide rail provided on which a vertical slide in the vertical direction is movable. The vertical slide, on which preferably the first Horizontal carriage is attached and designed as a linear motor can be a so-called "Vertical" movement reliable Positioning carries when, the vertical slide advantageously by means of locking means can be locked in a predetermined position on the column.

Bevorzugt weist der erste Horizontalschlitten ein an dem Vertikalschlitten angeordnetes Führungsteil und ein in der ersten Richtung bewegbar an dem Führungsteil angeordnetes Laufteil auf. Das Führungsteil und das Laufteil können Bestandteil eines eine elektrische Verstellung ermöglichenden Linearmotors sein. Um eine zuverlässige Positionierung zu gewährleisten, ist vorteilhafterweise das Laufteil mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil arretierbar.Prefers The first horizontal carriage is engaged with the vertical carriage arranged guide part and a traveling part arranged movably in the first direction on the guide part on. The guide part and the running part can Part of an electrical adjustment enabling Be a linear motor. To ensure reliable positioning, is advantageously the running part by means of locking can be locked in a predetermined position on the guide part.

Weiterhin ist es von Vorteil, wenn der zweite Horizontalschlitten ein an dem ersten Horizontalschlitten angeordnetes Führungsteil und ein in der zweiten Richtung bewegbar an dem Führungsteil angeordnetes Laufteil aufweist. Das Führungsteil und das Laufteil des zweiten Horizontalschlittens können ebenfalls Bestandteil eines Linearmotors sein. In Hinsicht auf eine zuverlässige Positionierung ist es ferner von Vorteil, das Laufteil des zweiten Horizontalschlittens mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil zu arretieren.Farther it is advantageous if the second horizontal slide on the first horizontal slide arranged guide part and one in the second Direction movable on the guide part having arranged running part. The guide part and the running part The second horizontal slide can also be part of be a linear motor. In terms of reliable positioning it is also advantageous, the running part of the second horizontal carriage by means of locking means in a predetermined position on the guide part to lock.

Vorteilhafterweise ist die Halterung um eine erste Rotationsachse, die sich vorzugsweise in vertikaler Richtung erstreckt, schwenkbar und mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbar. Die schwenkbare Anordnung der Halterung ermöglicht eine sogenannte „Theta"-Bewegung.advantageously, is the holder about a first axis of rotation, preferably extends in the vertical direction, pivotable and by means of locking means Lockable in a predetermined position. The swiveling arrangement the holder allows a so-called "theta" movement.

Ausserdem ist es von Vorteil, die Halterung mit einer Drehführung zu versehen, durch die der Testkopf um eine zweite Rotationsachse, die sich vorzugsweise orthogonal zu der ersten Rotationsachse erstreckt, drehbar ist. Die mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbare Drehführung ermöglicht eine sogenannte „Twist"-Bewegung des Testkopfs.Moreover it is advantageous to use the bracket with a rotary guide too provided by the test head about a second axis of rotation, which preferably extends orthogonal to the first axis of rotation, is rotatable. The means of locking means in a predetermined Position lockable rotary guide allows a so-called "twist" movement of the test head.

Einzelheiten und weitere Vorteile der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. In den das Ausführungsbeispiel lediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichen im einzelnen:details and further advantages of the inventive handling device will be apparent from the following description of a preferred Embodiment. In the the embodiment illustrate only schematically representing drawings in detail:

1 eine perspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung, an der ein Testkopf angeordnet ist; 1 a perspective view of a handling device on which a test head is arranged;

2a eine Draufsicht auf die Handhabungsvorrichtung gemäss 1; 2a a plan view of the handling device according to 1 ;

2b eine Draufsicht gemäss 2a, die den Testkopf in einer anderen Position zeigt; 2 B a plan view according to 2a showing the test head in a different position;

3a eine Draufsicht gemäss 2b, die einen ersten Horizontalschlitten in einer ersten Stellung zeigt; 3a a plan view according to 2 B showing a first horizontal carriage in a first position;

3b eine Draufsicht gemäss 3a, die den ersten Horizontalschlitten in einer zweiten Stellung zeigt; 3b a plan view according to 3a showing the first horizontal carriage in a second position;

4a eine Draufsicht gemäss 2b, die einen zweiten Horizontalschlitten in einer ersten Stellung zeigt; 4a a plan view according to 2 B showing a second horizontal carriage in a first position;

4b eine Draufsicht gemäss 4a, die den zweiten Horizontalschlitten in einer zweiten Stellung zeigt; 4b a plan view according to 4a showing the second horizontal carriage in a second position;

5a und 5b Seitenansichten der Handhabungsvorrichtung, die eine „Twist"-Bewegung des Testkopfs veranschaulichen; 5a and 5b Side views of the handling device illustrating a "twist" movement of the test head;

6a und 6b Seitenansichten der Handhabungsvorrichtung, die eine „Tumble"-Bewegung des Testkopfs veranschaulichen, und 6a and 6b Side views of the handling device, which illustrate a "tumble" movement of the test head, and

7a und 7b Draufsichten gemäss 2b, die eine „Theta"-Bewegung des Testkopfs veranschaulichen. 7a and 7b According to plan views 2 B which illustrate a "theta" movement of the test head.

Die in 1 dargestellte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfs 60 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für elektronische Bauelemente, wie zum Beispiel IC oder Wafer. Zu diesem Zweck weist die Handhabungsvorrichtung eine Halterung 50 auf, an welcher der Testkopf 60 befestigt ist. Darüber hinaus ist die Handhabungsvorrichtung mit Positionierungsmitteln versehen, die mit der Halterung 50 verbunden sind und die eine Säule 20, einen ersten Horizontalschlitten 30 und einen zweiten Horizontalschlitten 40 umfassen.In the 1 illustrated handling device is used for positioning a test head 60 on a test device, not shown, for electronic components, such as IC or wafer. For this purpose, the handling device has a holder 50 on, on which the test head 60 is attached. In addition, the Handha bungsvorrichtung provided with positioning means, with the holder 50 connected and the one pillar 20 , a first horizontal slide 30 and a second horizontal carriage 40 include.

Die sich in vertikaler Richtung z erstreckende Säule 20 ist um eine sich in der vertikalen Richtung z erstreckende Achse drehbar an einem Untergestell 10 angeordnet. Das Untergestell 10 ist zu diesem Zweck mit einer Drehplatte 12 versehen, auf der die Säule 20 angeordnet ist. Die Drehplatte 12 kann mittels nicht dargestellten Antriebsmitteln angetrieben und mittels ebenfalls nicht dargestellten Arretierungsmitteln in einer gewünschten Stellung arretiert werden. Wie insbesondere aus 1 ersichtlich ist, weist das Untergestell 10 zwei in einer ersten horizontalen Richtung x parallel zueinander verlaufende Tragbalken 11 auf, auf denen der Drehteller 12 angeordnet ist. Die Tragbalken 11 werden von in einer zweiten horizontalen Richtung y, die sich orthogonal zu der ersten Richtung x erstreckt, verlaufenden Traversen 13 abgestützt. Die jeweils auf Tellerfüssen 14 gelagerten Tragbalken 11 und Traversen 13 stellen eine ausreichende Stabilität der Handhabungsvorrichtung sicher. Eine die Tragbalken 11 und die Traversen 13 im Bereich der Drehplatte abdeckende Abdeckplatte 15 trägt zudem zu einer ergonomischen Bauweise der Handhabungsvorrichtung bei.The column extending in the vertical direction z 20 is rotatable about an axis extending in the vertical direction z on a base 10 arranged. The undercarriage 10 is for this purpose with a rotary plate 12 provided on the column 20 is arranged. The turntable 12 can be driven by means not shown drive means and locked by means not shown locking means in a desired position. As in particular from 1 it can be seen has the base 10 two in a first horizontal direction x parallel to each other supporting beams 11 on which the turntable 12 is arranged. The stringers 11 are traverses extending in a second horizontal direction y which extends orthogonal to the first direction x 13 supported. The each on plate feet 14 mounted stringers 11 and traverses 13 ensure sufficient stability of the handling device. One the stringers 11 and the traverses 13 in the area of the rotary plate covering cover plate 15 also contributes to an ergonomic design of the handling device.

Wie 1 zudem zu erkennen gibt, ist die Säule 20 mit zwei parallel zueinander verlaufenden Führungsschienen 21 versehen, auf denen ein Vertikalschlitten 22 in der vertikalen Richtung z linear bewegt werden kann. Der Vertikalschlitten 22 wird von nicht dargestellten Antriebsmitteln angetrieben und lässt sich mittels eines Feststellhebels 23 in einer vorgegebenen Stellung an der Säule 20 arretieren.As 1 In addition, there is the pillar 20 with two parallel guide rails 21 provided on which a vertical slide 22 in the vertical direction z can be moved linearly. The vertical slide 22 is driven by drive means, not shown, and can be by means of a locking lever 23 in a predetermined position on the column 20 lock.

An dem Vertikalschlitten 22 ist der erste Horizontalschlitten 30 befestigt. Wie insbesondere aus den 3a und 3b ersichtlich ist, weist der Horizontalschlitten 30 ein an dem Vertikalschlitten 22 angeordnetes Führungsteil 31 und ein bewegbar an dem Führungsteil 31 angeordnetes Laufteil 32 auf. Das Laufteil 32 ist mittels eines Feststellhebels 33 in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil 31 arretierbar und wird von manuell oder elektrisch zu betätigenden Antriebsmitteln, die nicht dargestellt sind, angetrieben. Der an dem ersten Horizontalschlitten 30 angeordnete zweite Horizontalschlitten 40 weist ein Führungsteil 41 auf, das an dem Laufteil 32 des ersten Horizontalschlittens 30 angeordnet ist. Zudem weist der zweite Horizontalschlitten 40 ein bewegbar an dem Führungsteil 41 angeordnetes Laufteil 42 auf, das mittels nicht dargestellter Arretierungsmittel in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil 41 arretiert werden kann. Das Laufteil 42 wird von manuell zu betätigenden Antriebsmitteln 43 angetrieben. Wie insbesondere die 6a und 6b zu erkennen geben, ist der zweite Horizontalschlitten 40 um eine horizontale Schwenkachse 44 schwenkbar an dem ersten Horizontalschlitten 30 angeordnet.On the vertical slide 22 is the first horizontal slide 30 attached. As in particular from the 3a and 3b can be seen, the horizontal slide 30 one on the vertical slide 22 arranged guide part 31 and a movable on the guide part 31 arranged running part 32 on. The running part 32 is by means of a locking lever 33 in a predetermined position on the guide part 31 lockable and is powered by manually or electrically operated drive means, which are not shown. The at the first horizontal slide 30 arranged second horizontal slide 40 has a guide part 41 on, that on the running part 32 of the first horizontal carriage 30 is arranged. In addition, the second horizontal carriage 40 a movable on the guide part 41 arranged running part 42 on, by means not shown locking means in a predetermined position on the guide member 41 can be locked. The running part 42 is powered by manually operated drive means 43 driven. How the particular 6a and 6b to identify, is the second horizontal slide 40 around a horizontal pivot axis 44 pivotable on the first horizontal slide 30 arranged.

Die an dem zweiten Horizontalschlitten 40 angeordnete Halterung 50 ist mit dem Testkopf 60 verbunden. Die Halterung 50 ist um eine erste Rotationsachse, die sich in der vertikalen Richtung z erstreckt, schwenkbar und mittels eines Feststellhebels 53 in einer vorgegebenen Stellung arretierbar, wie insbesondere aus den 7a und 7b ersichtlich ist. Darüber hinaus ist die Halterung 50 mit einer nicht dargestellten Drehführung versehen, durch die der Testkopf 60 um eine zweite Rotationsachse, die sich orthogonal zu der ers ten Rotationsachse erstreckt, mittels manuell zu betätigender Antriebsmittel 51 drehbar ist, wie die 5a und 5b zu erkennen geben. Ein Feststellhebel 52 stellt sicher, dass der Testkopf 60 in einer gewünschten Stellung arretiert werden kann.The at the second horizontal slide 40 arranged bracket 50 is with the test head 60 connected. The holder 50 is pivotable about a first axis of rotation extending in the vertical direction z and by means of a locking lever 53 Lockable in a predetermined position, in particular from the 7a and 7b is apparent. In addition, the bracket 50 provided with a rotary guide, not shown, through which the test head 60 about a second axis of rotation, which extends orthogonal to the first axis of rotation, by means of manually operable drive means 51 is rotatable, like the 5a and 5b make known. A locking lever 52 Make sure the test head 60 can be locked in a desired position.

Die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung zeichnet sich durch eine vielfältige und zugleich reproduzierbare Verstellung des Testkopfs 60 aus. Dies ist vornehmlich auf das Zusammenspiel von der Säule 20, dem ersten Horizontalschlitten 30 und dem zweiten Horizontalschlitten 40 zurückzuführen. So ermöglicht die sich um eine in der vertikalen Richtung z erstreckende Achse drehbare Säule 20 eine „Swing"-Bewegung des Testkopfs 60, wie insbesondere aus den 2a und 2b ersichtlich ist. Aufgrund des Vertikalschlittens 22 ermöglicht die Säule 20 zudem eine „Vertical"-Bewegung des Testkopfs 60. Der an dem Vertikalschlitten 22 befestigte erste Horizontalschlitten 30 ermöglicht eine lineare Verschiebung des Testkopfs 60 in einer ersten horizontalen Richtung x, wie insbesondere die 3a und 3b zu erkennen geben. Durch den Horizontalschlitten 30 kann auf diese Weise eine in der ersten Richtung x stattfindende „Side to Side"-Bewegung des Testkopfs 60 ausgeführt werden. Eine in einer zweiten horizontalen Richtung y stattfindende „In and out"-Bewegung des Testkopfs 60 ergibt sich durch die lineare Verschiebung des zweiten Horizontalschlittens 40, wie aus den 4a und 4b ersichtlich ist. Es versteht sich von selbst, dass die erste Richtung x und die zweite Richtung y von der Stellung der Säule 20 abhängen, so dass eine „Side to Side"-Bewegung des Testkopfs 60 auch von dem zweiten Horizontalschlitten 40 und eine „In and out"-Bewegung des Testkopfs 60 von dem ersten Horizontalschlitten 30 ausgeführt werden können.The handling device described above is characterized by a diverse and at the same time reproducible adjustment of the test head 60 out. This is primarily due to the interaction of the column 20 , the first horizontal carriage 30 and the second horizontal carriage 40 due. Thus, the column rotatable about an axis extending in the vertical direction z allows 20 a "swing" movement of the test head 60 , in particular from the 2a and 2 B is apparent. Due to the vertical slide 22 allows the column 20 In addition, a "vertical" movement of the test head 60 , The on the vertical slide 22 fixed first horizontal slide 30 allows a linear displacement of the test head 60 in a first horizontal direction x, in particular the 3a and 3b make known. Through the horizontal slide 30 may in this way take place in the first direction x "Side to Side" movement of the test head 60 be executed. A "in and out" movement of the test head in a second horizontal direction y 60 results from the linear displacement of the second horizontal carriage 40 , like from the 4a and 4b is apparent. It goes without saying that the first direction x and the second direction y of the position of the column 20 hang, leaving a "side to side" movement of the test head 60 also from the second horizontal slide 40 and an "in and out" movement of the test head 60 from the first horizontal carriage 30 can be executed.

Weiterhin trägt zu einer mannigfaltigen Verstellung des Testkopfs 60 die Halterung 50 bei, die, wie die 5a und 5b zu erkennen geben, eine „Twist"-Bewegung des Testkopfs 60 ermöglicht. Aufgrund der schwenkbaren Anordnung des zweiten Horizontalschlittens 40 um die Schwenkachse 44 kann der Testkopf 60 zudem eine „Tumble"-Bewegung ausführen, wie die 6a und 6b zu erkennen geben. Nicht zuletzt kann der Testkopf 60 aufgrund der schwenkbaren Anordnung der Halterung 50 um die erste Rotationsachse eine „Theta"-Bewegung ausführen, wie die 7a und 7b zu erkennen geben.Furthermore contributes to a diverse adjustment of the test head 60 the holder 50 at, which, like the 5a and 5b to indicate a "twist" movement of the test head 60 allows. Due to the pivotable arrangement of the second horizontal carriage 40 around the pivot axis 44 can the test head 60 also a "tumble" movement perform like that 6a and 6b make known. Last but not least, the test head 60 due to the pivotable arrangement of the holder 50 perform a "theta" movement around the first axis of rotation, like the 7a and 7b make known.

1010: Untergestellundercarriage
1111: Tragbalkenstringers
1212: Drehplatteturntable
1313: Traversetraverse
1414: Tellerfussplate base
1515: Abdeckplattecover
2020: Säulepillar
2121: Führungsschieneguide rail
2222: Vertikalschlittenvertical slide
2323: FeststellhebelLocking lever
3030: erster Horizontalschlittenfirst horizontal slide
3131: Führungsteilguide part
3232: Laufteilrunning part
3333: FeststellhebelLocking lever
4040: zweiter Horizontalschlittensecond horizontal slide
4141: Führungsteilguide part
4242: Laufteilrunning part
4343: Antriebsmitteldrive means
4444: Schwenkachseswivel axis
5050: Halterungbracket
5151: Antriebsmitteldrive means
5252: FeststellhebelLocking lever
5353: FeststellhebelLocking lever
6060: Testkopftest head
xx: erste horizontale Richtungfirst horizontal direction
yy: zweite horizontale Richtungsecond horizontal direction
zz: vertikale Richtungvertical direction

Claims

Handling device, in particular for positioning a test head ( 60 ) on a test device, with positioning means by which the test head ( 60 ) is positionable in space, and a holder ( 50 ), which is connected to the positioning means and to which the test head ( 60 ), the positioning means comprising: a. a column ( 20 ) which extends in the vertical direction (z) and is rotatable about an axis extending in the vertical direction (z) on a subframe (Fig. 10 ) is arranged; b. a first horizontal slide ( 30 ) adjustable in the vertical direction (z) on the column ( 20 ) and is displaceable in a first horizontal direction (x), and c. a second horizontal slide ( 40 ), which is about a horizontal pivot axis ( 44 ) pivotally mounted on the first horizontal slide ( 30 ) and in a second horizontal direction (y), which extends orthogonal to the first horizontal direction (x), is displaceable, wherein the holder ( 50 ) on the second horizontal slide ( 40 ) is arranged.

Handling device according to claim 1, characterized in that the underframe ( 10 ) with a rotary plate ( 12 ) on which the column ( 20 ) is arranged.

Handling device according to claim 2, characterized in that the column ( 20 ) by means of locking means in a predetermined position on the underframe ( 10 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the column ( 20 ) with at least one guide rail ( 21 ), on which a vertical slide ( 22 ) is movable in the vertical direction (z) is provided, wherein the first horizontal slide ( 30 ) on the vertical slide ( 22 ) is attached.

Handling device according to claim 4, characterized in that the vertical slide ( 22 ) by means of locking means in a predetermined position on the column ( 20 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the first horizontal slide ( 30 ) on the vertical slide ( 22 ) arranged guide part ( 31 ) and in the first horizontal direction (x) movable on the guide part ( 31 ) arranged running part ( 32 ) having.

Handling device according to claim 6, characterized in that the running part ( 32 ) by means of locking means in a predetermined position on the guide part ( 31 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the second horizontal slide ( 40 ) on the first horizontal slide ( 30 ) arranged guide part ( 41 ) and in the second horizontal direction (y) movable on the guide part ( 41 ) arranged running part ( 42 ) having.

Handling device according to claim 8, characterized in that the running part ( 42 ) by means of locking means in a predetermined position on the guide part ( 41 ) is lockable.

Handling device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the holder ( 50 ) is pivotable about a first axis of rotation and by means of locking means in a predetermined position can be locked.

Handling device according to claim 10, characterized in that the holder ( 50 ) is provided with a rotary guide through which the test head ( 60 ) is rotatable about a second axis of rotation, which preferably extends orthogonal to the first axis of rotation, wherein the rotary guide can be locked in a predetermined position by means of locking means.