DE10023823A1 - Multichip-Gehäuse - Google Patents
Multichip-GehäuseInfo
- Publication number
- DE10023823A1 DE10023823A1 DE10023823A DE10023823A DE10023823A1 DE 10023823 A1 DE10023823 A1 DE 10023823A1 DE 10023823 A DE10023823 A DE 10023823A DE 10023823 A DE10023823 A DE 10023823A DE 10023823 A1 DE10023823 A1 DE 10023823A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- carrier
- component
- central contact
- main side
- components
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H10W90/00—
-
- H10W72/29—
-
- H10W72/9445—
-
- H10W74/00—
-
- H10W90/291—
-
- H10W90/722—
-
- H10W90/732—
-
- H10W90/754—
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Ein Chip (2) in einem Chipstapel (2, 3) ist mit Kontakten (10) zu dem Träger (12) hin ausgerichtet. Die Kontakte sind mittels Bonddrähten (5) durch Aussparungen in dem Träger mit Anschlussflächen (50) an dessen Unterseite oder mit Kontakten eines weiteren Chips nach Art einer Flip-Chip-Montage verbunden. Alternativ ist ein zentraler Kontakt mittels kurzer Bonddrähte über eine auf dem Chip angebrachte Leiterbahn mit einer Anschlussfläche des Trägers verbunden. Beidseitig eines auf dem Träger mit zu dem Träger hin ausgerichteten Kontakten angeordneten Chips können Abstandshalter zur Verbesserung der Wärmeableitung vorhanden sein.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Gehäuse für mehrere
Bauelemente auf einem gemeinsamen Träger.
Bei Multichip-Gehäusen, bei denen auf einem Träger mindestens
zwei Bauelemente, insbesondere Halbleiterchips, übereinander
angebracht sind, treten eine Reihe von Problemen auf, die
durch das Einfügen von Zwischenträgern nur unzureichend be
seitigt werden. Werden gleich große Bauelemente übereinander
montiert, kann wegen der geringen Oberfläche des Stapels die
entstehende Wärme zumeist nicht gut genug abgeleitet werden.
Ein Problem der elektrischen Verdrahtung tritt auf, wenn ei
nes der Bauelemente einen zentralen Kontakt aufweist. Wird
ein solches Bauelement als oberstes in einem Stapel angeord
net, kann mittels eines Bonddrahtes eine elektrisch leitende
Verbindung von dem zentralen Kontakt zu einer Anschlussfläche
des Trägers hergestellt werden. Wegen der daraus resultieren
den Länge des Verbindungsdrahtes sind die Betriebseigenschaf
ten (performance) dieser Konstruktion oftmals nur ungenügend;
auch muss eine Umhüllung des Bauelements mit einer Verguss
masse oder Pressmasse eine größere Dicke aufweisen als sonst
üblich. Damit verbunden ist eine weitere Einschränkung der
Wärmeableitung. Es wurde daher nach einer Möglichkeit ge
sucht, die vertikale Montage von Bauelementen in einem Multi
chip-Gehäuse zu verbessern.
Eine bekannte Lösung besteht darin, Zwischenträger (Folien
oder dergleichen) zwischen die gestapelten Bauelemente zu
setzen, so dass die Wärme über diese Zwischenträger abgelei
tet werden kann und die elektrisch leitenden Verbindungen zum
Träger über Anschlüsse an diesen Zwischenträgern hergestellt
werden können. Der gesamte Aufbau wird dadurch aber komple
xer; und es ist erforderlich, zusätzliche Kontaktierungen an
zubringen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine verbesserte
und praktikable Anordnung als Multichip-Gehäuse anzugeben.
Insbesondere soll eine ausreichende Wärmeableitung erreicht
werden. Darüber hinaus soll eine einfache elektrische Kontak
tierung von Bauelementen mit zentralem Kontakt ohne Verwen
dung von Zwischenträgern ermöglicht werden.
Diese Aufgabe wird mit der Anordnung mit den Merkmalen des
Anspruches 1 gelöst. Ausgestaltungen ergeben sich aus den ab
hängigen Ansprüchen.
Das erfindungsgemäße Multichip-Gehäuse ist eine Anordnung von
mindestens zwei Bauelementen auf einem Träger, bei der zumin
dest ein Bauelement mit einer Hauptseite, die mit einem oder
mehreren Anschlusskontakten versehen ist, zu dem Träger hin
ausgerichtet ist. Die Anschlusskontakte sind mit elektrisch
leitenden Verbindungen versehen, die in Richtung zum Träger
hin zu einer dem betreffenden Bauelement zugewandten Haupt
seite eines weiteren Bauelements, das an dieser Hauptseite
ebenfalls einen oder mehrere Kontakte besitzt, oder durch
Aussparungen in dem Träger auf Anschlussflächen an dessen von
den Bauelementen abgewandten Unterseite geführt sind.
Wenn das Bauelement, das mit der mit Kontakten versehenen
Hauptseite zum Träger hin ausgerichtet ist, als unteres Bau
element angeordnet ist und darüber ein weiteres Bauelement in
größerem Abstand von dem Träger angeordnet und so ausgerich
tet ist, dass eine mit Kontakten versehene Hauptseite dieses
weiteren Bauelements sich auf der von dem Träger weg weisen
den Seite des weiteren Bauelements befindet, die Bauelemente
also so ausgerichtet sind, dass ihre Rückseiten einander ge
genüberliegen, können zwischen die Bauelemente problemlos
kleine Abstandshalter eingefügt werden. Mit diesen Abstands
haltern werden Zwischenräume erzeugt, die eine verbesserte
Wärmeableitung ermöglichen.
Wenn erfindungsgemäß mindestens ein Bauelement mit den Kon
takten zum Träger hin ausgerichtet ist, kann in vielen Fällen
der Stapel aus Bauelementen so aufgebaut werden, dass das
oberste in dem Stapel vorhandene Bauelement zumindest in ei
nem ausgedehnten zentralen Bereich der von dem Träger abge
wandten Hauptseite keinen Kontakt aufweist, der mit Bonddräh
ten versehen ist. In diesem Bereich der Oberseite des Stapels
braucht in diesen Fällen keine einhüllende Vergussmasse vor
handen zu sein, so dass hier eine unmittelbare Wärmeableitung
von dieser Hauptseite des oberen Bauelements an die Umgebung
möglich ist, wohingegen die Vergussmasse wegen ihrer schlech
ten Wärmeleitfähigkeit einen Wärmestau verursachen würde.
Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gehäuseaufbaus für
ein Bauelement mit zentralem Kontakt sieht vor, dieses Bau
element so anzuordnen, dass der zentrale Kontakt dem Träger
zugewandt ist. Damit wird es möglich, diesen zentralen Kon
takt direkt auf einem weiteren zentralen Kontakt, der sich
auf einem weiteren Bauelement oder auf dem Träger befindet,
unter Verwendung eines Kontaktlotes nach Art einer Flip-Chip-
Montage anzubringen.
Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gehäuse
aufbaus für ein Bauelement mit zentralem Kontakt besteht dar
in, die mit dem zentralen Kontakt versehene Hauptseite des
betreffenden Bauelements auf einem Träger zu montieren, der
im Bereich des zentralen Kontaktes eine Aussparung aufweist.
Die Aussparung ermöglicht es, den zentralen Kontakt mittels
eines Bonddrahtes elektrisch leitend mit einer Anschlussflä
che auf der von dem Bauelement abgewandten Seite des Trägers
elektrisch leitend zu verbinden. Es können so insbesondere
alle elektrischen Anschlüsse der Kontaktflächen der Bauele
mente über Bonddrähte mit Anschlussflächen auf der von den
Bauelementen abgewandten Seite des Trägers elektrisch leitend
verbunden sein.
Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gehäuse
aufbaus für ein Bauelement mit zentralem Kontakt verwendet
eine auf der dem Träger abgewandten Oberseite des oberen,
d. h. dem Träger am weitesten entfernt angeordneten Bauele
ments angebrachte Umverdrahtungsebene, die mindestens eine
Isolationsschicht 14 und eine Leiterbahn 15 umfasst. Mittels
eines kurzen zentralen Bonddrahtes ist der zentrale Kontakt
des Bauelements mit der Leiterbahn verbunden. Die Leiterbahn
führt zum Rand des Bauelements wo ein weiterer Bonddraht an
gebracht ist, der die Verbindung zu den Anschlusskontakten
des Trägers herstellt.
Sind in dem Träger geeignet angeordnete Aussparungen oder
Fenster vorhanden, kann das erfindungsgemäße Gehäuse auch für
einen Stapel von vertikal zueinander angeordneten Bauelemen
ten eingesetzt werden, die solche Abmessungen aufweisen, dass
weiter oben in dem Stapel, d. h. in einem größeren Abstand
von dem Träger, angeordnete Bauelemente näher zum Träger hin
angeordnete Bauelemente seitlich überragen. Die auf den seit
lich überstehenden Rändern der Bauelemente vorhandenen Kon
taktflächen, die dem Träger zugewandt sind, können bei der
erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Gehäuses elektrisch lei
tend mit den Anschlussflächen des Trägers verbunden werden,
während derartige Kontaktflächen der Bauelemente bei herkömm
lichen Gehäusen nicht zugänglich sind.
Es folgt eine Beschreibung einiger Bespiele des erfindungsge
mäßen Multichip-Gehäuses anhand der in den Fig. 1 bis 11
im Querschnitt gezeigten Ausführungsformen.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit Aussparungen im
Träger für die Kontakte des unteren Bauelements.
Fig. 2 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 mit nur
teilweise aufgebrachter Vergussmasse.
Fig. 3 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 mit Ab
standshaltern zwischen den Bauelementen.
Fig. 4 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 mit Ab
standshaltern zwischen dem Stapel und dem Träger.
Fig. 5 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 mit Ab
standshaltern zwischen dem Stapel und dem Träger.
Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit vorhandener Um
verdrahtungsebene für einen zentralen Kontakt.
Fig. 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit vorhandener Um
verdrahtungsebene und beidseitig des Stapels vor
handenen zentralen Kontakten.
Fig. 8 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit Flip-Chip-Montage
eines zentralen Kontaktes.
Fig. 9 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem sämtliche
Bonddrähte durch Aussparungen im Träger geführt
sind.
Fig. 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel entsprechend Fig. 1
mit unterschiedlich dimensionierten Bauelementen
und zentralem Kontakt.
Fig. 11 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 10 mit
nur teilweise aufgebrachter Vergussmasse.
In den nachfolgenden Beschreibungen sind die Kontakte 1 je
weils randseitig und die Kontakte 10 jeweils zentral angeord
net. Das erfindungsgemäß mit seiner mit einem oder mehreren
Anschlusskontakten versehenen Hauptseite zum Träger hin aus
gerichtete Bauelement ist jeweils das als erstes Bauelement 2
angegebene. Es ist ein zweites Bauelement 3 zur Erläuterung
der relativen Anordnung der Bauelemente im Hinblick auf die
bevorzugten Ausführungsformen angegeben. Es können bei weite
ren Ausführungsformen der Erfindung mehr als zwei Bauelemente
in dem Stapel vorhanden sein, ohne dass sich an der Ausge
staltung grundsätzliche Änderungen gegenüber den nachfolgend
beschriebenen Beispielen ergeben.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 sind zwei Bauele
mente 2, 3 so übereinander angeordnet, dass das untere, auf
dem Träger 11 angebrachte erste Bauelement 2 auf der dem Trä
ger zugewandten Hauptseite kontaktiert wird und das obere,
d. h. von dem Träger 11 weiter entfernt angeordnete zweite
Bauelement 3 auf der von dem Träger 11 abgewandten Hauptseite
kontaktiert wird. Für die elektrisch leitenden Verbindungen 5
zwischen Kontakten 1 des ersten Bauelements 2 und Anschluss
flächen 50 auf der Unterseite des Trägers 11 sind Aussparun
gen in dem Träger vorhanden. Die elektrisch leitenden Verbin
dungen 5 sind vorzugsweise Bonddrähte. Die Kontakte 1 des
zweiten Bauelements 3 befinden sich wie üblich an der von dem
Träger abgewandten Hauptseite des zweiten Bauelements 3 und
sind in an sich bekannter Weise mittels elektrisch leitender
Verbindungen 6, vorzugsweise auch hier mittels Bonddrähten,
mit Anschlussflächen 60 des Trägers 11 verbunden, die in die
sem Ausführungsbeispiel an der mit dem Stapel versehenen
Oberseite des Trägers liegen. Der Träger kann mit der von den
Bauelementen 2, 3 abgewandten Unterseite auf eine Leiterplat
te oder in ein weiteres Gehäuse eingesetzt und kontaktiert
werden, was in Fig. 1 durch eingezeichnete Lotkugeln 9 als
BGA (Ball Grid Array) angedeutet ist. Diese Lotkugeln sind
mit den Anschlussflächen 50, 60 elektrisch leitend verbunden.
Die Anschlusskontakte und die sonstige Ausgestaltung des Trä
gers gehören nicht zu den erfindungswesentlichen Merkmalen;
deshalb ist nur zur Vervollständigung der Ausführungsbeispie
le jeweils ein BGA als ein mögliches Beispiel des Trägers
eingezeichnet. Eine Vergussmasse 7 hüllt die Oberseite der
Anordnung ein und umgibt zumindest die vorhandenen Bonddrähte
schützend.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 ist im Unterschied zu
dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 die Vergussmasse nur
teilweise aufgebracht, z. B. kranz- oder streifenförmig. In
einem von Bonddrähten freien Bereich, in diesem Beispiel ei
nem zentralen Bereich, des Stapels ist die von dem Träger am
weitesten entfernte Hauptseite des obersten Bauelements von
der Vergussmasse 7 frei gelassen, so dass dort eine Ausspa
rung 8 der Vergussmasse vorhanden ist, die eine bessere Wär
meableitung ermöglicht. Diese Aussparung 8 kann mit einem gut
wärmeleitenden Material gefüllt sein (z. B. mit einer Wärme
leitpaste), das eine bessere Wärmeleitfähigkeit aufweist als
die Vergussmasse.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 sind zwischen dem er
sten Bauelement 2, das mit seiner mit Kontakten 1 versehenen
Hauptseite erfindungsgemäß dem Träger 11 zugewandt ist, und
dem darüber in größerem Abstand von dem Träger 11 angebrach
ten zweiten Bauelement 3 ein Abstandshalter 23 vorhanden, der
ringförmig oder rahmenförmig längs der Ränder der gestapelten
Bauelemente ausgebildet sein kann. Dieser Abstandshalter kann
eine strukturierte Zwischenschicht sein, die beispielsweise
durch ein ausreichend dickes Band, eine Folie oder eine Kleb
stoffschicht gebildet ist. Auch eine Mehrzahl von nur punktu
ell angebrachten Abstandshaltern in Gestalt kleiner Höcker
oder dergleichen sind geeignet. Durch den Abstandshalter 23
wird zwischen den Bauelementen ein Zwischenraum 18 gebildet,
der die Wärmeableitung verbessert.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 4 sind derartige Ab
standshalter 24 zwischen dem Stapel und dem Träger ange
bracht.
Gemäß dem Ausführungsbeispiel der Fig. 5 können Abstandshal
ter 23, 24 sowohl zwischen den Bauelementen als auch zwischen
dem Stapel und dem Träger vorhanden sein. Das ist eine Kombi
nation der Ausführungsbeispiele gemäß den Fig. 3 und 4.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 besitzt das zweite
Bauelement 3 einen zentralen Kontakt 10 und ist so angeord
net, dass sich der zentrale Kontakt 10 auf der von dem ersten
Bauelement 2 und dem Träger abgewandten Hauptseite des obe
ren, zweiten Bauelements 3 befindet.
In den vereinfachenden symmetrischen Darstellungen der
Fig. 6 bis 11 ist der zentrale Kontakt 10 jeweils in der Mitte
der Bauelemente eingezeichnet. Unter einem zentralen Kontakt
ist im Zusammenhang mit der hier beschriebenen Erfindung je
der nicht randseitig angeordnete Kontakt zu verstehen, also
ein Kontakt, der nicht problemlos in herkömmlicher Weise mittels
am Rand befestigter Bonddrähte kontaktiert werden kann.
Zur genaueren Begriffbestimmung sei unter einem zentralen
Kontakt im Sinne der Erfindung ein auf einer Hauptseite des
Bauelements angebrachter Kontakt zu verstehen, der sich in
nerhalb eines Bereiches dieser Hauptseite befindet, der von
einer Begrenzungslinie eingefasst wird, die die Abstände des
Mittelpunktes dieser Hauptseite von einem jeweiligen Rand
punkt der Hauptseite halbiert. Im Fall eines rechteckigen
Chips liegt ein zentraler Kontakt gemäß dieser Definition
folglich innerhalb eines Bereiches der Hauptseite, der durch
ein zu dem Rand der Hauptseite konzentrisch angeordnetes ähn
liches Rechteck halber Seitenlängen begrenzt ist.
Um den besagten zentralen Kontakt 10 in der Ausführungsform
gemäß Fig. 6 mit einer Anschlussfläche 60 des Trägers elek
trisch leitend zu verbinden, ist auf der mit diesem zentralen
Kontakt 10 versehenen Hauptseite des oberen, zweiten Bauele
ments 3 eine Umverdrahtungsebene angebracht, die mindestens
eine auf dem Bauelement aufgebrachte Isolationsschicht 17 und
eine darauf angeordnete Leiterbahn 15 oder Leiterfläche um
fasst, die Bereiche innerhalb und außerhalb der oben defi
nierten Begrenzungslinie überspannt. Die Leiterbahn oder Lei
terfläche stellt so eine elektrisch leitende Verbindung von
dem Zentrum der betreffenden Hauptseite des zweiten Bauele
ments 3 zu deren Randbereich her. Dadurch ist es möglich,
mittels einer vergleichsweise kurzen elektrisch leitenden
Verbindung 16, vorzugsweise eines Bonddrahtes, zwischen dem
zentralen Kontakt 10 und einem in dem Zentrum dieser Haupt
seite liegenden Anteil der Leiterbahn oder Leiterfläche der
Umverdrahtungsebene eine elektrisch leitende Verbindung zu
einem Randbereich des zweiten Bauelements 3 herzustellen.
Dort ist eine herkömmliche elektrisch leitende Verbindung,
zum Beispiel ein Bonddraht 6, angebracht, der in der an sich
bekannten Weise eine Verbindung zu einer Anschlussfläche 60
des Trägers 11 herstellt. Der an dem zentralen Kontakt 10 an
gebrachte Bonddraht ist vorzugsweise mit einer Vergussmasse
70 geschützt, die unmittelbar nach dem Bonden aufgebracht
wird. Das Gehäuse wird durch eine abschließend aufgebrachte,
die Oberseite vollständig abdeckende Vergussmasse 7 vervoll
ständigt.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 7 besitzt das untere,
erste Bauelement 2 im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel
der Fig. 6 ebenfalls einen zentralen Kontakt 10, der durch
eine Aussparungen in dem Träger 12 hindurch, vorzugsweise
mittels eines Bonddrahtes 5, mit einer Anschlussfläche 50 auf
der Unterseite des Trägers 12 elektrisch leitend verbunden
ist. Es können an dem ersten Bauelement 2 zusätzlich randsei
tige Kontakte vorhanden sein, die wie in dem Ausführungsbei
spiel der Fig. 6 durch weitere Aussparungen in dem Träger
hindurch mittels elektrisch leitender Verbindungen mit an der
Unterseite des Trägers vorhandenen weiteren Anschlussflächen
50 verbunden sind, die beispielsweise mit Lotkugeln 9 als
Teil eines BGA versehen sein können. Die Bonddrähte 16, 5 auf
den zentralen Kontakten 10 sind auch bei diesem Ausführungs
beispiel vorzugsweise mit einer jeweiligen Vergussmasse 70,
71 geschützt, die bereits unmittelbar nach dem Bonden aufge
bracht wird. Das Gehäuse wird durch eine alles umgebende Ver
gussmasse 7 vervollständigt.
Der bei den Ausführungsbeispielen gemäß den Fig. 6 und 7
oben angeordnete Aufbau mit zweitem Bauelement 3, zentralem
Kontakt 10, elektrisch leitender Verbindung 16, Leiterbahn
15, Isolationsschicht 17 und Vergussmasse 70 kann besonders
vorteilhaft in WSA-Technologien gefertigt werden.
Bei der in Fig. 8 dargestellten Anordnung sind auf einem
Träger 13 zwei Bauelemente 2, 3 angeordnet, die beide einen
zentralen Kontakt 10 aufweisen. Das erste Bauelement 2 ist so
angeordnet, dass die mit dem zentralen Kontakt 10 versehene
Hauptseite des ersten Bauelements dem Träger 13 zugewandt
ist. Nach Art einer Flip-Chip-Montage ist der zentrale Kon
takt 10 des ersten Bauelements mit dem zentralen Kontakt 10
des zweiten Bauelements 3, der hier unmittelbar auf dem Träger
13 angebracht ist, elektrisch leitend verbunden. Die
elektrisch leitende Verbindung 4 ist beispielsweise durch ein
Kontaktlot hergestellt.
In der Fig. 8 sind noch Bonddrähte 6 dargestellt, die elek
trisch leitende Verbindungen zu Anschlussflächen 60 des Trä
gers herstellen, die auf der den Bauelementen zugewandten
Seite des Trägers vorhanden sind. In der vereinfachten Dar
stellung der Fig. 8 ist an dem ersten Bauelement 2 nur eine
elektrisch leitende Verbindung 4 der zentralen Kontakte 10
eingezeichnet. Es können aber weitere elektrisch leitende
Verbindungen zwischen weiteren zentralen oder randseitig an
geordneten Kontakten der Bauelemente vorhanden sein und/oder
elektrisch leitende Verbindungen zwischen weiteren Kontakt
flächen des ersten Bauelements 2 und Anschlussflächen des
Trägers, die mit Bonddrähten hergestellt sind. Die in Fig. 8
dargestellte Ausführungsform, bei der das erste Bauelement 2
ausschließlich über eine Flip-Chip-Montage mittels Kontakt
lotverbindungen (bumps) mit dem zweiten Bauelement 3 verbun
den ist, besitzt den besonderen Vorteil, dass die Dicke einer
solchen Anordnung geringer ist als die Dicke herkömmlicher
vertikaler Gehäuseformen. Die Vergussmasse 7, die die Bauele
mente umgibt, kann so niedrig aufgebracht werden, dass die
vorhandenen Bonddrähte 6 ausreichend geschützt sind, aber an
dererseits die nicht mit Kontaktflächen oder Bauelementen
versehene Rückseite 20 des ersten Bauelements 2 frei bleibt,
wodurch eine gute Wärmeableitung zur Umgebung bewirkt ist.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 9 ist das mit dem zentra
len Kontakt 10 versehene erste Bauelement 2 auf dem Träger 14
angeordnet. In dem Träger 14 befindet sich im Bereich des
zentralen Kontaktes 10 eine Aussparung, durch die hindurch
der zentrale Kontakt 10 mittels eines Bonddrahtes als elek
trisch leitender Verbindung 5 mit einer Anschlussfläche 50
auf der von den Bauelementen abgewandten Hauptseite des Trä
gers verbunden ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel überragt
das in größerem Abstand von dem Träger angeordnete zweite
Bauelement 3 das erste Bauelement an den Rändern, so dass
dort auf der dem Träger zugewandten Hauptseite des zweiten
Bauelements 3 vorhandene Kontaktflächen 1 ebenfalls, vorzugs
weise über Bonddrähte 5, mit Anschlussflächen 50 auf der von
den Bauelementen 2, 3 abgewandten Hauptseite des Trägers
elektrisch leitend verbunden sein können. Diese Anordnung er
möglicht es, alle elektrischen Anschlüsse an den Träger auf
dessen von den Bauelementen abgewandten Hauptseite anzubrin
gen. Die Lotkugeln 9 des auch hier zur Vervollständigung des
Trägers als Beispiel eingezeichneten BGA werden so dimensio
niert, dass eine Kontaktierung auf einer Leiterplatte möglich
ist, ohne dass die zu den Bauelementen geführten Bonddrähte
beschädigt oder gar kurzgeschlossen werden.
Wie in der Fig. 9 erkennbar ist, kann die das Gehäuse ver
vollständigende Vergussmasse auf Anteile 71, 72 beschränkt
sein, die jeweils nur die Bonddrähte umgeben. Der mittlere
Anteil 71 der Vergussmasse schützt die durch einen Bonddraht
gebildete elektrisch leitende Verbindung zu dem zentralen
Kontakt 10 des Bauelements 2 und füllt vorzugsweise die an
dieser Stelle in dem Träger vorgesehene Aussparung. Entspre
chend bilden die weiteren Anteile 72 der Vergussmasse rand
seitige Abschlüsse zum Schutz der dort vorhandenen Bonddräh
te, die im übrigen wie bei herkömmlichen Gehäuseformen kon
taktiert werden. Auch für diese Bonddrähte kann eine geeigne
te Aussparung in dem Träger vorgesehen sein, wie das für den
in Fig. 9 links eingezeichneten Bonddraht beispielhaft ein
gezeichnet ist. Durch die räumliche Begrenzung der Verguss
masse wird auch bei dieser Ausführungsform eine geringe Dicke
der Anordnung ermöglicht und ebenfalls erreicht, dass die
Rückseite 30 des am weitesten von dem Träger entfernten Bau
elements 3 frei bleibt.
Bei dem in Fig. 10 dargestellten Ausführungsbeispiel werden
Anschlussflächen 50, 60 auf beiden Hauptseiten des Trägers 12
genutzt. Der Träger 12 besitzt in diesem Beispiel nur eine
Aussparung für die elektrisch leitende Verbindung 5 zu dem
zentralen Kontakt 10 des ersten Bauelements 2. Die übrigen
Kontaktflächen der Bauelemente 2, 3 werden mittels Bonddräh
ten 6 mit Anschlussflächen 60 auf der den Bauelementen 2, 3
zugewandten Hauptseite des Trägers elektrisch leitend verbun
den. Als Beispiel sind hier zwei Bonddrähte zu Kontakten 1 an
der Oberseite des zweiten Bauelements 3 eingezeichnet. Es
können noch weitere Bonddrähte vorhanden sein, die zu rand
seitig angeordneten Kontaktflächen auf der von dem Träger ab
gewandten Hauptseite des ersten Bauelements 2 geführt sind.
Eine Kombination der Anordnungen gemäß den Fig. 9 und 10
ist möglich, wobei ein Teil der vorhandenen elektrisch lei
tenden Verbindungen der Kontaktflächen durch Aussparungen in
dem Träger hindurch auf dessen Unterseite geführt sind, wäh
rend andere Kontaktflächen mit Anschlussflächen auf der Ober
seite des Trägers verbunden sind. Auch ist es möglich, die
elektrisch leitende Verbindung 4 gemäß dem Ausführungsbei
spiel von Fig. 8 in einer der Anordnungen gemäß Fig. 9 bzw.
Fig. 10 zusätzlich vorzusehen. Falls z. B. in der Anordnung
gemäß Fig. 10 das erste Bauelement 2 zusätzlich zu dem zen
tralen Kontakt 10 auf der dem Träger zugewandten Hauptseite
auch auf der gegenüberliegenden Hauptseite einen zentralen
Kontakt aufweist, kann dieser zweite zentrale Kontakt in der
in Fig. 8 dargestellten Weise mit einem ebenfalls zentralen
Kontakt auf der dem Träger zugewandten Hauptseite des zweiten
Bauelements 3 elektrisch leitend verbunden sein.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 11 ist die wegen der
Bonddrähte 6 in dem Ausführungsbeispiel von Fig. 10 etwas
dicker als in den zuvor beschriebenen Beispielen aufzubrin
gende Vergussmasse im zentralen Bereich der Bauelemente aus
gespart. Im Bereich dieser Aussparung 8 liegt die Rückseite
30 des zweiten Bauelements 3, die von dem Träger 12 abgewandt
ist, frei, so dass auch hier eine bessere Ableitung der Wärme
erfolgt, als das durch die schlecht wärmeleitende Verguss
masse hindurch der Fall wäre. Die Vergussmasse 7 ist hier auf
Anteile beschränkt, die die randseitigen Bereiche der Bauelemente
mindestens bis auf die Höhe der Bonddrähte 6 abdecken.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Aussparung 8 wie
bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 2 bis 5 mit einem
gut wärmeleitenden Material gefüllt sein (z. B. mit einer
Wärmeleitpaste).
Die in den beschriebenen Ausführungsbeispielen von den Kon
takten des oberen Bauelements zu Anschlussflächen 60 an der
den Bauelementen zugewandten Oberseite des Trägers geführten
Bonddrähte 6 können jeweils auch durch Aussparungen des Trä
gers hindurch zu Anschlussflächen 50 auf dessen Unterseite
geführt sein. Das ist in dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig.
9 für den Fall gezeigt, dass die elektrisch leitende Verbin
dung für Kontakte 1 vorgesehen ist, die auf einer dem Träger
14 zugewandten Hauptseite angeordnet sind. Grundsätzlich ist
das aber auch für Kontakte auf einer von dem Träger abgewand
ten Hauptseite möglich.
Weitere Abwandlungen und Ausgestaltungen des erfindungsgemä
ßen Multichip-Gehäuses ergeben sich aus verschiedenen Kombi
nationen der Merkmale der beschriebenen Ausführungsbeispiele.
Die hier beschriebene Erfindung erstreckt sich daher auch auf
diese weiteren Abwandlungen und Ausgestaltungen.
Claims (12)
1. Anordnung als Multichip-Gehäuse, die aufweist
einen Träger (11, 12, 13, 14) mit mindestens einer Anschluss fläche (50, 60),
mindestens zwei mit Kontakten (1, 10) versehene und auf dem Träger übereinander angeordnete Bauelemente (2, 3) und
zu jedem Bauelement mindestens eine elektrisch leitende Ver bindung eines Kontaktes des betreffenden Bauelements zu einer Anschlussfläche oder zu einem Kontakt eines anderen Bauele ments,
dadurch gekennzeichnet, dass
zumindest ein Bauelement (2) mit einer mit mindestens einem Kontakt (1, 10) versehenen Hauptseite zu dem Träger hin aus gerichtet ist.
einen Träger (11, 12, 13, 14) mit mindestens einer Anschluss fläche (50, 60),
mindestens zwei mit Kontakten (1, 10) versehene und auf dem Träger übereinander angeordnete Bauelemente (2, 3) und
zu jedem Bauelement mindestens eine elektrisch leitende Ver bindung eines Kontaktes des betreffenden Bauelements zu einer Anschlussfläche oder zu einem Kontakt eines anderen Bauele ments,
dadurch gekennzeichnet, dass
zumindest ein Bauelement (2) mit einer mit mindestens einem Kontakt (1, 10) versehenen Hauptseite zu dem Träger hin aus gerichtet ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, bei der
der Träger (11, 12, 14) mindestens eine Aussparung aufweist
und
durch die Aussparung hindurch eine elektrisch leitende Ver
bindung (5) von einem Kontakt (1, 10) zu einer Anschlussflä
che (50) auf einer von den Bauelementen abgewandten Seite des
Trägers hergestellt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, bei der
zumindest ein Bauelement (2) auf einer Hauptseite einen zen
tralen Kontakt (10) besitzt, der innerhalb einer Begrenzungs
linie angebracht ist, die die Abstände eines Mittelpunktes
der Hauptseite von jeweils einem Randpunkt der Hauptseite
halbiert, und
dieses Bauelement so angeordnet ist, dass die Hauptseite mit
dem zentralen Kontakt dem Träger (12, 13, 14) zugewandt ist.
4. Anordnung nach Anspruch 3, bei der
die mit dem zentralen Kontakt (10) versehene Hauptseite auf einer mit einem weiteren zentralen Kontakt versehenen, gegen überliegenden Hauptseite eines weiteren Bauelements (3) angeordnet ist und
eine elektrisch leitende Verbindung (4) zwischen dem zentra len Kontakt und dem weiteren zentralen Kontakt hergestellt ist.
die mit dem zentralen Kontakt (10) versehene Hauptseite auf einer mit einem weiteren zentralen Kontakt versehenen, gegen überliegenden Hauptseite eines weiteren Bauelements (3) angeordnet ist und
eine elektrisch leitende Verbindung (4) zwischen dem zentra len Kontakt und dem weiteren zentralen Kontakt hergestellt ist.
5. Anordnung nach Anspruch 3, bei der
die mit dem zentralen Kontakt (10) versehene Hauptseite auf dem Träger (12, 14) angeordnet ist,
der Träger im Bereich des zentralen Kontaktes eine Aussparung aufweist und
durch die Aussparung hindurch eine elektrisch leitende Ver bindung (5) zu einer Anschlussfläche (50) auf einer von den Bauelementen abgewandten Seite des Trägers hergestellt ist.
die mit dem zentralen Kontakt (10) versehene Hauptseite auf dem Träger (12, 14) angeordnet ist,
der Träger im Bereich des zentralen Kontaktes eine Aussparung aufweist und
durch die Aussparung hindurch eine elektrisch leitende Ver bindung (5) zu einer Anschlussfläche (50) auf einer von den Bauelementen abgewandten Seite des Trägers hergestellt ist.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der
die Anschlussflächen (50) des Trägers (14), mit denen die
Kontakte (1, 10) der Bauelemente (2, 3) elektrisch leitend
verbunden sind, ausschließlich auf einer von den Bauelementen
abgewandten Seite des Trägers (14) vorhanden sind.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der
zumindest ein Bauelement (3) auf einer von dem Träger (11, 12) abgewandten Hauptseite einen zentralen Kontakt (10) be sitzt, der innerhalb einer Begrenzungslinie angebracht ist, die die Abstände eines Mittelpunktes der Hauptseite von je weils einem Randpunkt der Hauptseite halbiert,
auf dieser Hauptseite eine von dem Bauelement durch eine Iso lationsschicht (17) getrennte Leiterbahn (15) oder Leiterflä che angeordnet ist, die Bereiche innerhalb und außerhalb der Begrenzungslinie überspannt, und
eine elektrisch leitende Verbindung (16) zwischen dem zentra len Kontakt und der Leiterbahn oder Leiterfläche und eine elektrisch leitende Verbindung (6) zwischen der Leiterbahn oder Leiterfläche und einer Anschlussfläche (60) des Trägers oder einem weiteren Kontakt vorhanden sind.
zumindest ein Bauelement (3) auf einer von dem Träger (11, 12) abgewandten Hauptseite einen zentralen Kontakt (10) be sitzt, der innerhalb einer Begrenzungslinie angebracht ist, die die Abstände eines Mittelpunktes der Hauptseite von je weils einem Randpunkt der Hauptseite halbiert,
auf dieser Hauptseite eine von dem Bauelement durch eine Iso lationsschicht (17) getrennte Leiterbahn (15) oder Leiterflä che angeordnet ist, die Bereiche innerhalb und außerhalb der Begrenzungslinie überspannt, und
eine elektrisch leitende Verbindung (16) zwischen dem zentra len Kontakt und der Leiterbahn oder Leiterfläche und eine elektrisch leitende Verbindung (6) zwischen der Leiterbahn oder Leiterfläche und einer Anschlussfläche (60) des Trägers oder einem weiteren Kontakt vorhanden sind.
8. Anordnung nach Anspruch 7, bei der
auf einer von der den zentralen Kontakt aufweisenden Haupt seite abgewandten Hauptseite eines Bauelements (2) ein weite rer zentraler Kontakt (10) vorhanden ist,
die mit dem weiteren zentralen Kontakt versehene Hauptseite auf dem Träger (12) angeordnet ist,
der Träger im Bereich des weiteren zentralen Kontaktes eine Aussparung aufweist und
durch die Aussparung hindurch eine elektrisch leitende Ver bindung (5) des weiteren zentralen Kontaktes zu einer An schlussfläche (50) auf einer von den Bauelementen abgewandten Seite des Trägers hergestellt ist.
auf einer von der den zentralen Kontakt aufweisenden Haupt seite abgewandten Hauptseite eines Bauelements (2) ein weite rer zentraler Kontakt (10) vorhanden ist,
die mit dem weiteren zentralen Kontakt versehene Hauptseite auf dem Träger (12) angeordnet ist,
der Träger im Bereich des weiteren zentralen Kontaktes eine Aussparung aufweist und
durch die Aussparung hindurch eine elektrisch leitende Ver bindung (5) des weiteren zentralen Kontaktes zu einer An schlussfläche (50) auf einer von den Bauelementen abgewandten Seite des Trägers hergestellt ist.
9. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der
zwischen zwei Bauelementen (2, 3) und/oder zwischen dem Trä
ger (11) und einem darauf aufgebrachten Bauelement (2) ein
Abstandshalter (23, 24) vorhanden ist.
10. Anordnung nach Anspruch 9, bei der
der Abstandshalter (23, 24) eine strukturierte Zwischen
schicht ist, die ein Band, eine Folie oder eine Klebstoff
schicht ist.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der
eine von dem Träger (11, 12) am weitesten entfernte Hauptsei
te eines Bauelements (3) in einem von Bonddrähten freien Be
reich von der Vergussmasse (7) frei gelassen ist.
12. Anordnung nach Anspruch 11, bei der
in dem von der Vergussmasse (7) frei gelassenen Bereich ein
Material aufgebracht ist, das eine bessere Wärmeleitfähigkeit
aufweist als die Vergussmasse.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10023823A DE10023823A1 (de) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | Multichip-Gehäuse |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10023823A DE10023823A1 (de) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | Multichip-Gehäuse |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10023823A1 true DE10023823A1 (de) | 2001-12-06 |
Family
ID=7642158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE10023823A Pending DE10023823A1 (de) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | Multichip-Gehäuse |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE10023823A1 (de) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259221A1 (de) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit einem Stapel aus Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung desselben |
| DE10308095B3 (de) * | 2003-02-24 | 2004-10-14 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit mindestens einem Halbleiterchip auf einem Schaltungsträger und Verfahren zur Herstellung desselben |
| EP1367642A3 (de) * | 2002-05-30 | 2005-08-31 | Fujitsu Limited | Halbleiteranordnung mit einer Wärmesenke, die von der Harzeinkapselung exponiert ist |
| EP1688997A1 (de) | 2005-02-02 | 2006-08-09 | Infineon Technologies AG | Elektronisches Bauteil mit gestapelten Halbleiterchips und Verfahren zu seiner Herstellung |
| SG130066A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-20 | Micron Technology Inc | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| WO2008021575A3 (en) * | 2006-08-16 | 2008-07-10 | Tessera Inc | Microelectronic package |
| WO2007132432A3 (en) * | 2006-05-17 | 2008-08-28 | Koninkl Philips Electronics Nv | Stacked dies and manufacturing method thereof |
| US7456427B2 (en) | 1991-08-26 | 2008-11-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Insulated gate field effect semiconductor devices and method of manufacturing the same |
| DE10257707B4 (de) * | 2001-12-29 | 2010-04-08 | Hynix Semiconductor Inc., Icheon | Verfahren zum Herstellen eines gestapelten Chip-Paketes |
| US8299626B2 (en) | 2007-08-16 | 2012-10-30 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
| US8507318B2 (en) | 2005-08-19 | 2013-08-13 | Micron Technology, Inc. | Method for manufacturing microelectronic devices |
| US8723327B2 (en) | 2011-10-20 | 2014-05-13 | Invensas Corporation | Microelectronic package with stacked microelectronic units and method for manufacture thereof |
| US8872318B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-10-28 | Tessera, Inc. | Through interposer wire bond using low CTE interposer with coarse slot apertures |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461639A2 (de) * | 1990-06-15 | 1991-12-18 | Hitachi, Ltd. | Halbleiteranordnung vom Plastikumhüllungstyp |
| US5508565A (en) * | 1992-12-18 | 1996-04-16 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having a plurality of chips having identical circuit arrangement sealed in package |
| US5614766A (en) * | 1991-09-30 | 1997-03-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device with stacked alternate-facing chips |
| US5674785A (en) * | 1995-11-27 | 1997-10-07 | Micron Technology, Inc. | Method of producing a single piece package for semiconductor die |
| US5767570A (en) * | 1993-03-18 | 1998-06-16 | Lsi Logic Corporation | Semiconductor packages for high I/O semiconductor dies |
| US5814881A (en) * | 1996-12-20 | 1998-09-29 | Lsi Logic Corporation | Stacked integrated chip package and method of making same |
| DE29902754U1 (de) * | 1998-02-20 | 1999-05-06 | Mikroelektronik Packaging Dresden GmbH, 01109 Dresden | Häusung für ein Halbleiterchip |
| DE19905220A1 (de) * | 1998-02-11 | 1999-08-19 | Mikroelektronik Packaging Dres | Multichipanordnung |
-
2000
- 2000-05-15 DE DE10023823A patent/DE10023823A1/de active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461639A2 (de) * | 1990-06-15 | 1991-12-18 | Hitachi, Ltd. | Halbleiteranordnung vom Plastikumhüllungstyp |
| US5614766A (en) * | 1991-09-30 | 1997-03-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device with stacked alternate-facing chips |
| US5508565A (en) * | 1992-12-18 | 1996-04-16 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having a plurality of chips having identical circuit arrangement sealed in package |
| US5767570A (en) * | 1993-03-18 | 1998-06-16 | Lsi Logic Corporation | Semiconductor packages for high I/O semiconductor dies |
| US5674785A (en) * | 1995-11-27 | 1997-10-07 | Micron Technology, Inc. | Method of producing a single piece package for semiconductor die |
| US5814881A (en) * | 1996-12-20 | 1998-09-29 | Lsi Logic Corporation | Stacked integrated chip package and method of making same |
| DE19905220A1 (de) * | 1998-02-11 | 1999-08-19 | Mikroelektronik Packaging Dres | Multichipanordnung |
| DE29902754U1 (de) * | 1998-02-20 | 1999-05-06 | Mikroelektronik Packaging Dresden GmbH, 01109 Dresden | Häusung für ein Halbleiterchip |
Cited By (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7456427B2 (en) | 1991-08-26 | 2008-11-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Insulated gate field effect semiconductor devices and method of manufacturing the same |
| DE10257707B4 (de) * | 2001-12-29 | 2010-04-08 | Hynix Semiconductor Inc., Icheon | Verfahren zum Herstellen eines gestapelten Chip-Paketes |
| US7193320B2 (en) | 2002-05-30 | 2007-03-20 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having a heat spreader exposed from a seal resin |
| EP1367642A3 (de) * | 2002-05-30 | 2005-08-31 | Fujitsu Limited | Halbleiteranordnung mit einer Wärmesenke, die von der Harzeinkapselung exponiert ist |
| DE10259221B4 (de) * | 2002-12-17 | 2007-01-25 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit einem Stapel aus Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US6894381B2 (en) | 2002-12-17 | 2005-05-17 | Infineon Technologies Ag | Electronic device having a stack of semiconductor chips and method for the production thereof |
| DE10259221A1 (de) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit einem Stapel aus Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US7129570B2 (en) | 2003-02-24 | 2006-10-31 | Infineon Technologies Ag | Electronic component having at least one semiconductor chip on a circuit carrier and method for producing the same |
| US7176059B2 (en) | 2003-02-24 | 2007-02-13 | Infineon Technologies, Ag | Method of fabricating an electronic component having at least one semiconductor chip on a circuit carrier with elastic external contacts |
| DE10308095B3 (de) * | 2003-02-24 | 2004-10-14 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit mindestens einem Halbleiterchip auf einem Schaltungsträger und Verfahren zur Herstellung desselben |
| EP1688997A1 (de) | 2005-02-02 | 2006-08-09 | Infineon Technologies AG | Elektronisches Bauteil mit gestapelten Halbleiterchips und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US9640458B2 (en) | 2005-08-19 | 2017-05-02 | Micron Technology, Inc. | Stacked microelectronic devices |
| US8823159B2 (en) | 2005-08-19 | 2014-09-02 | Micron Technology, Inc. | Stacked microelectronic devices |
| US8507318B2 (en) | 2005-08-19 | 2013-08-13 | Micron Technology, Inc. | Method for manufacturing microelectronic devices |
| US8030748B2 (en) | 2005-08-26 | 2011-10-04 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US9583476B2 (en) | 2005-08-26 | 2017-02-28 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US7504284B2 (en) | 2005-08-26 | 2009-03-17 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US10861824B2 (en) | 2005-08-26 | 2020-12-08 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US10153254B2 (en) | 2005-08-26 | 2018-12-11 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US8519523B2 (en) | 2005-08-26 | 2013-08-27 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| SG130066A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-20 | Micron Technology Inc | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| US9299684B2 (en) | 2005-08-26 | 2016-03-29 | Micron Technology, Inc. | Microelectronic device packages, stacked microelectronic device packages, and methods for manufacturing microelectronic devices |
| WO2007132432A3 (en) * | 2006-05-17 | 2008-08-28 | Koninkl Philips Electronics Nv | Stacked dies and manufacturing method thereof |
| WO2008021575A3 (en) * | 2006-08-16 | 2008-07-10 | Tessera Inc | Microelectronic package |
| US7638868B2 (en) | 2006-08-16 | 2009-12-29 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
| US9349672B2 (en) | 2007-08-16 | 2016-05-24 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
| US8299626B2 (en) | 2007-08-16 | 2012-10-30 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
| US8872318B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-10-28 | Tessera, Inc. | Through interposer wire bond using low CTE interposer with coarse slot apertures |
| US9165911B2 (en) | 2011-10-20 | 2015-10-20 | Invensas Corporation | Microelectronic package with stacked microelectronic units and method for manufacture thereof |
| US9583475B2 (en) | 2011-10-20 | 2017-02-28 | Invensas Corporation | Microelectronic package with stacked microelectronic units and method for manufacture thereof |
| US8723327B2 (en) | 2011-10-20 | 2014-05-13 | Invensas Corporation | Microelectronic package with stacked microelectronic units and method for manufacture thereof |
| US9876002B2 (en) | 2011-10-20 | 2018-01-23 | Invensas Corporation | Microelectronic package with stacked microelectronic units and method for manufacture thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69509878T2 (de) | Halbleiterchipträger | |
| DE69935628T2 (de) | Hybridmodul | |
| DE69530037T2 (de) | Automatische Bandmontage für Halbleiteranordnung | |
| DE69414291T2 (de) | Eine Halbleiteranordnung und Packung | |
| EP1415271B1 (de) | Kontaktierung von halbleiterchips in chipkarten | |
| DE69527668T2 (de) | Anschlussstelle für Halbleiterbauelement | |
| EP1155449A1 (de) | Halbleiterbauelement mit einem chipträger mit öffnungen zur kontaktierung durch eine metallfolie | |
| DE19801312A1 (de) | Halbleiterbauelement mit mehreren Substratlagen und zumindest einem Halbleiterchip und einem Verfahren zum Herstellen eines solchen Halbleiterbauelementes | |
| DE69422463T2 (de) | Halbleiteranordnung mit einem Halbleiterchip mit Rückseitenelektrode | |
| DE102008025705A1 (de) | Halbleitervorrichtung | |
| DE10231385A1 (de) | Halbleiterchip mit Bondkontaktstellen und zugehörige Mehrchippackung | |
| DE19628376A1 (de) | Integrierte Schaltkreisanordnung und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE19935804A1 (de) | Millimeterwellen-Modul | |
| DE202011110802U1 (de) | Verbesserte mikroelektronische Stapelanordnungen mit mittigen Kontakten und verbessertem wärmetechnischem Kennwert | |
| EP1060513B1 (de) | Halbleiterbauelement mit mehreren halbleiterchips | |
| DE4316639C2 (de) | Halbleitermodul mit verbesserter Wärmeableitung und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE10023823A1 (de) | Multichip-Gehäuse | |
| DE102020105267A1 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben | |
| DE10205698A1 (de) | Leuchtdiode und Verfahren zur Herstellung Derselben | |
| DE19526511A1 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung und Montage | |
| DE19821916C2 (de) | Halbleitereinrichtung mit einem BGA-Substrat | |
| DE10343300A1 (de) | Halbleitergehäusestruktur | |
| DE102005025754B4 (de) | Halbleitersensorbauteil mit einem Sensorchip und Verfahren zur Herstellung von Halbleitersensorbauteilen | |
| DE10255289A1 (de) | Elektronisches Bauteil mit gestapelten Halbleiterchips in paralleler Anordnung und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE10042839B4 (de) | Elektronisches Bauteil mit Wärmesenke und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law |