CN203906330U - 一种可测压比的嵌入式分子泵 - Google Patents

Abstract

一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体、转子，在壳体的顶部设置有端面法兰，在壳体和转子之间设置第一级分子泵，第一级分子泵顶部连接盘状第三级分子泵，在第三级分子泵的装配槽内安装第二级分子泵，端面法兰和第三级分子泵连接。在壳体的下部外侧设置有入口测压装置，在端面法兰的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置。本实用新型结构简单，易于加工和装配，保证了第三级分子泵出口处测压的可行性，解决了连续引压的难题，并且避免了引压过程中的断裂、漏气、堵塞等风险，同时解决了引压管由机器内部穿出而无法密封的问题，也保证了在正常工作时其安全保护装置能够正常工作不受影响。

Description

一种可测压比的嵌入式分子泵

技术领域

本实用新型属于一种分子泵，具体涉及一种可测压比的嵌入式分子泵。

背景技术

牵引分子泵是依靠气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，从而将气体分子驱送到泵的出口。

牵引式分子泵进出口压力的变化情况及压缩比（进出口压力的比值）能够直观地反应出该装置的工作状态和抽气性能，因此各级分子泵进出口压力的实时测量在该装置的研制过程中具有十分重要的意义。目前通用的分子泵设备仅能与装置串联后对其进行抽空，但其抽空效果较差，尤其是在某种转动部件需要高速旋转进而要求其周围压力极低的状态下时根本无法满足抽空要求，以致电机功率无法进一步降低。因此需要设计一套既可以测量具有特殊要求的分子泵例如嵌入装置内部的牵引式分子泵中各级分子泵进出口压力，又不破坏装置本身结构的分子泵。

发明内容

本实用新型是为了克服现有技术存在的缺陷而提出的，其目的是提供一种可测压比的嵌入式分子泵。

本实用新型的技术方案是：一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体，在壳体内安装有转子，在壳体的顶部设置有端面法兰，在壳体和转子之间设置有第一级分子泵，第一级分子泵顶部过盈连接盘状第三级分子泵，在第三级分子泵的装配槽中过盈连接第二级分子泵，端面法兰和第三级分子泵螺钉连接，在壳体的下部外侧设置有入口测压装置，在端面法兰的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置。

在所述的端面法兰上沿圆周形成均布的第一级测压连接孔、第二级测压连接孔和第三级测压连接孔，在上述连接孔的两侧形成螺孔。

所述的第一级分子泵为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽，在第一级分子泵的顶端一侧形成异径孔状的第一级引压孔。

所述的第二级分子泵为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁和抽气槽、并相间分布，在其圆周的外侧形成三个均布的第二级外圆豁口，在其圆周的内侧形成第二级内圆豁口。

所述的第三级分子泵为厚壁圆筒形，在其下部形成圆环形的装配槽，在其中间形成中心通孔，在中心通孔的内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽，其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁和抽气槽、并相间分布，在装配槽内沿圆周形成均布的三个通孔。

第二级分子泵上的槽壁和第三级分子泵上的槽壁呈连续的放射状弧线、并互相对齐；第二级分子泵上的抽气槽和第三级分子泵上的抽气槽的槽型均为变宽度的矩形槽、呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

所述的第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置结构相同，均由固定法兰、连接管和真空计底座组成。

本实用新型结构简单，易于加工和装配，圆柱台的设计与使用保证了第三级分子泵出口处测压的可行性，连接法兰的运用，解决了无法连续引压的难题，并且避免了引压过程中的断裂、漏气、堵塞等风险，端面法兰用测压组件的使用，解决了引压管由机器内部穿出而无法密封的问题，端面法兰上的引压位置以及测速线圈连接头位置的合理布局保证了离心机的正常装配，同时也保证了在正常工作时其安全保护装置能够正常工作不受影响。

附图说明

图1 是本实用新型的主视图（沿图2中A-A线剖面）；

图2 是本实用新型的俯视图；

图3 是本实用新型的未安装转子时的仰视图；

图4 是图2中沿B-B线的剖面的图；

图5 是本实用新型的端面法兰的俯视图；

图6 是第一级分子泵的示意图；

图7 是第二级分子泵的仰视图；

图8 是第三级分子泵的俯视图；

图9 是第三级分子泵的主视图（沿图8中C-C线剖面）；

图10 是第三级分子泵的仰视图；

图11 是图6、图9中沿D-D线的剖面；

图12 是图7、图10中沿E-E线的剖面；

图13 是连接法兰安装位置示意图；

图14 是带引压管的连接法兰示意图；

图15 是连接法兰结构示意图；

图16 是测压组件安装示意图；

图17 是测压组件结构示意图。

      其中：

      1  壳体                2  转子

      3  端面法兰            4  第一级分子泵

      5  第二级分子泵        6  第三级分子泵  

      7  入口测压装置        8  第一级出口测压装置

      9  第二级出口测压装置  10 第三级出口测压装置

      11 第一级测压连接孔    12 第二级测压连接孔

      13 第三级测压连接孔    14 螺孔

      15 第一级引压孔        16 槽壁

      17 抽气槽              18 第二级外圆豁口 

      19 第二级内圆豁口      20 第二级连接面

      21 第三级连接面        22 第三级外圆豁口

      23 装配槽              24 中心通孔

      25 上环凸缘            26 下环凸缘

      27 通孔                28 第二级引压孔

      29 第二级延伸孔        30 第三级引压孔

      31 第三级延伸孔        32 圆柱台

      33 “U”型槽           34 矩形槽

      35 连接法兰            36 密封垫

      37 螺钉                38 引压管

      39 连接孔              40 进气孔

      41 阶梯孔              42 固定法兰

      43 密封垫圈            44 连接管

      45 真空计底座          46 直角弯管。

具体实施方式

以下，参照附图及实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1～5所示，一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体1，在壳体1内安装有转子2，在壳体1的顶部设置有端面法兰3，在壳体1和转子2之间设置有第一级分子泵4，第一级分子泵4顶部过盈连接盘状第三级分子泵6，在第三级分子泵6的装配槽23中过盈连接第二级分子泵5，端面法兰3和第三级分子泵6螺钉连接。在壳体1的下部外侧设置有入口测压装置7，在端面法兰3的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置8、第二级出口测压装置9和第三级出口测压装置10。在端面法兰3上沿圆周形成均布的第一级测压连接孔11、第二级测压连接孔12和第三级测压连接孔13，在上述连接孔的两侧形成螺孔14。

如图6～12所示，第一级分子泵4为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽33，第一级分子泵4的顶端一侧形成异径孔状的第一级引压孔15。

第二级分子泵5为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁16和抽气槽17、并相间分布，在其圆周的外侧形成三个均布的第二级外圆豁口18，在其圆周的内侧形成第二级内圆豁口19。

第三级分子泵6为厚壁圆筒形，在其圆周外侧分别形成第二级连接面20和第三级连接面21，在第二级连接面20和第三级连接面21之间形成第三级外圆豁口22，在第三级分子泵6的下部形成圆环形的装配槽23，在第三级分子泵6的中间形成中心通孔24，在中心通孔24的内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽33，在第三级分子泵6的上端面形成上环形凸缘25，其外壁下部形成下环形凸缘26，其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁16和抽气槽17、并相间分布。在装配槽23内沿圆周形成均布的三个通孔27。

第二级分子泵5上的槽壁16和第三级分子泵6上的槽壁16呈连续的放射状弧线、并互相对齐；第二级分子泵5上的抽气槽17和第三级分子泵6上的抽气槽17的槽型均为变宽度的矩形槽34、呈连续的放射状弧线、并互相对齐。本实用新型的第二级分子泵5和第三级分子泵6上的槽壁16、抽气槽17均为八个。

在第三级分子泵6的一侧形成第二级引压孔28，第二级引压孔28与第二延伸孔29垂直连通；在第三级分子泵6的另一侧形成第三级引压孔30，第三级引压孔30与第三延伸孔31垂直连通。在第三级分子泵6的内圆周一侧形成一个向上的圆柱台32。

如图13～16所示，在连接法兰35上形成进气孔40，与通孔27轴线平行，连接法兰阶梯孔41与进气孔40垂直相贯；引压管38的一端焊入到阶梯孔41中。

带引压管38的连接法兰35分别与第二级连接面20和第三级连接面21连接，通过螺钉37固定，并通过密封垫36密封，其中进气孔40分别与第二级引压孔28和第三级引压孔30连通。

固定法兰42分别安装在端面法兰3的第一级测压连接孔11、第二级测压连接孔12和第三级测压连接孔13中，在固定法兰42的中心孔中安装引压管38，引压管38分别与第一级引压孔15、第二级引压孔28和第三级引压孔30连通，在固定法兰42的底部设置有密封垫圈43。

如图17所示，第一、二、三级出口测压装置8、9、10均采用同一种结构，包括固定法兰42、连接管44和真空计底座45，连接管44与固定法兰42连接，真空计底座45与真空计（未图示）连接。

入口测压装置7由真空计底座45和直角弯管46组成，直角弯管46的水平端与壳体1连通，直角弯管46的垂直端与真空计底座45连通。

第二级分子泵5内壁处形成的第二级豁口19孔径大于圆柱台32的外圆。

第三延伸孔31向靠近第三级分子泵6的顶面方向倾斜。

第一级测压连接孔11与第一级引压孔15不同轴。

本实用新型结构简单、易于加工和装配，圆柱台的设计与使用保证了第三级分子泵出口处测压的可行性；连接法兰的运用，解决了无法连续引压的难题，并且避免了引压过程中的断裂、漏气、堵塞等风险；端面法兰用测压组件的使用，解决了引压管由机器内部穿出而无法密封的问题，同时也保证了在正常工作时其安全保护装置能够正常工作不受影响。

Claims (7)

1.一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体（1），在壳体（1）内安装有转子（2），在壳体（1）的顶部设置有端面法兰（3），其特征在于：在壳体（1）和转子（2）之间设置有第一级分子泵（4），第一级分子泵（4）顶部过盈连接盘状第三级分子泵（6），在第三级分子泵（6）的装配槽（23）中过盈连接第二级分子泵（5），端面法兰（3）和第三级分子泵（6）螺钉连接，在壳体（1）的下部外侧设置有入口测压装置（7），在端面法兰（3）的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置（8）、第二级出口测压装置（9）和第三级出口测压装置（10）。

2.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：在所述的端面法兰（3）上沿圆周形成均布的第一级测压连接孔（11）、第二级测压连接孔（12）和第三级测压连接孔（13），在上述连接孔的两侧形成螺孔（14）。

3.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一级分子泵（4）为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽（33），在第一级分子泵（4）的顶端一侧形成异径孔状的第一级引压孔（15）。

4.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第二级分子泵（5）为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁（16）和抽气槽（17）、并相间分布，在其圆周的外侧形成三个均布的第二级外圆豁口（18），在其圆周的内侧形成第二级内圆豁口（19）。

5.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第三级分子泵（6）为厚壁圆筒形，在其下部形成圆环形的装配槽（23），在其中间形成中心通孔（24），在中心通孔（24）的内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽（33），其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁（16）和抽气槽（17）、并相间分布，在装配槽（23）内沿圆周形成均布的三个通孔（27）。

6.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：第二级分子泵（5）上的槽壁（16）和第三级分子泵（6）上的槽壁（16）呈连续的放射状弧线、并互相对齐；第二级分子泵（5）上的抽气槽（17）和第三级分子泵（6）上的抽气槽（17）的槽型均为变宽度的矩形槽（34）、呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

7.根据权利要求1所述的一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一级分子泵出口测压装置（8）、第二级出口测压装置（9）和第三级出口测压装置（10）结构相同，均由固定法兰（42）、连接管（44）和真空计底座（45）组成。