CN201236018Y - 光罩盒及其限制件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光罩盒，特别是有关于一种具有限制件的光罩盒。此光罩盒由上盖体与下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，并具有一支架与一限制件，支架装设于下盖体且具有一第一卡设部，此第一卡设部包含有至少一第一顶持面，而此限制件则包括有一座体以及一限位片，其中此座体以组装方式装设于光罩盒的支架内，并具有至少一第二卡设部，此第二卡设部包括至少一第二顶持面，而限位片则设置于座体上，用以固定并抵持光罩，当限制件的第二卡设部与支架的第一卡设部相互卡持时，第一顶持面与第二顶持面相互抵制，以避免限制件上下松动，并减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。

Description

光罩盒及其限制件

技术领域

本实用新型是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种具有限制件的光罩盒。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(OpticalLithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，其中SMIF系统的目的是为减少半导体制程的储存及运送过程中所受的微粒过量。

如图1A及图1B所示，为一现有技术的一般的光罩传送盒1，其是由上下盖体11及12组合而成，其中在下盖体12内的两侧边上设置两相对的固持装置121，此固持装置121还包括一些限位片1211及支撑件1212配置其上。此外，在两相对的固持装置121的其中一相邻侧边，则更配置一限制装置122，使得下盖体12由两个固持装置121及一个相邻的限制装置122形成一个近似”ㄇ”字型的结构。因此当一片光罩放入下盖体12时，可通过此”ㄇ”字型的结构来形成固定及支撑光罩。当光罩传送盒1的上下盖体11及12盖合一光罩时，配置在固持装置上的限位片1211及支撑件1212会支撑光罩的边缘，但由于上下盖体11、12盖合时会有间隙产生，使得光罩在运送的过程中会在未设有限制装置的一侧(亦即”ㄇ”型结构的开口)方向上产生位移。如此，不仅使得光罩接触到固持装置121与限制装置122的地方产生磨损，因而降低光罩的使用寿命，并且还会因为磨擦而形成尘粒而影响良率，同时此光罩盒亦会因部分的损坏或磨损，而必须丢弃整个光罩盒，无法继续使用，而产生浪费并导致使用成本提高。

实用新型内容

为解决现有技术的问题，本实用新型的目的是提供一种具有限制件的光罩盒。

本实用新型的一种光罩盒，其包含：

一上盖体；一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；至少一支架，装设于该下盖体；以及至少一限制件；该支架具有至少一第一卡设部，该限制件具有至少一第二卡设部，该限制件是用以与该支架的第一卡设部相互卡持。

该支架的第一卡设部包含有至少一第一顶持面，且该限制件包括：至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具有该第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面相互抵制。

该支架的第一卡设部包含有至少二相对的第一顶持面，且该限制件包括：至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少二相对的第二顶持面；以及至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面两两相互抵制。

该光罩盒另包含至少一锁固件将该限制件固设于该光罩盒的支架，且该锁固件为一插销、铆钉或螺丝。

该支架具有至少一侧边以及至少一第一锁固孔设于该侧边；以及该限制件具有至少一第二锁固孔对应于该第一锁固孔。

该锁固件的材料的主要成分为选自于由不锈钢、铝合金及镁合金所构成群组的金属。

该支架或限制件为一高分子材料所形成，且该高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。

该支架或限制件为一静电消散材质所形成，且该静电消散材质的电阻值为约10⁴Ω～约10¹¹Ω。

所述的光罩盒，另包含至少一支撑件设于该支架或该座体上。

本实用新型的一种限制件，该限制件的结构包括：至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架，具有至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及至少一限位片，设置于该座体上，用以固定并抵持该光罩。

本实用新型的一种光罩盒，其包含：一上盖体；一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；至少一锁扣件；以及至少一锁扣座；该上盖体以及该下盖体具有至少一对应的侧边，且该锁扣件设于该上盖体或该下盖体的侧边，而另一盖体的侧边具有至少一锁扣槽设于对应该锁扣件的位置，该锁扣座固设于该锁扣槽中。该锁扣座是以包入射出成型的方式固设于所述的该上盖体或该下盖体中。该锁扣座是以卡设的方式固设于所述的该上盖体或下盖体中。该锁扣座的材质的耐磨度高于其所述的该上盖体或下盖体的材质。该锁扣座的高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的光罩盒是由上盖体与下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，并具有一支架与一限制件，支架是装设于下盖体且具有一第一卡设部(engaging portion)，此第一卡设部包含有至少一第一顶持面，而此限制件则包括有一座体以及一限位片，其中此座体是以组装方式装设于光罩盒的支架内，并具有至少一第二卡设部，此第二卡设部包括至少一第二顶持面，而限位片则设置于座体上，用以固定并抵持光罩，当限制件的第二卡设部与支架的第一卡设部相互卡持时，第一顶持面与第二顶持面相互抵制，以避免限制件上下松动，并减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。

此外，光罩盒上下盖体具有一相互对应的侧边，至少一锁扣件设于上盖体或下盖体的侧边上，而另一盖体的侧边则具有一锁扣槽设于对应锁扣件的位置，并有一锁扣座固设于锁扣槽中。其中，此锁扣座的材质的耐磨度高于其所属上下盖体的材质，因此当光罩盒的上下盖体盖合并锁扣时，可避免因摩擦而导致锁扣座磨损，而使得上下盖体盖合后仍有松动的现象产生。

由于本实用新型光罩盒的限制件是以组装方式装设于光罩盒下盖体，锁扣座则是以卡设方式固定于上下盖体，因此当限制件产生部分或全部损坏或磨损时，将便于拆解并直接更换限制件或锁扣座，以使光罩盒得以继续使用，避免产生浪费并导致使用成本提高，此外由于支撑件亦可设置于可拆解的限制件上，因此当支撑件产生损坏或磨损时，亦可一并进行更换。

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种光罩盒，其限制件的组装方式可避免限制件上下松动。

本实用新型的另一目的在于提供一种光罩盒，其限制件的组装方式可减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。

本实用新型的又一目的在于提供一种光罩盒，其限制件是的组装方式将便于拆解与更换损坏的限制件。

本实用新型的再一目的在于提供一种光罩盒，其限制件的组装方式可避免因部分损坏或磨损，而产生浪费并导致使用成本提高。

本实用新型的再一目的在于提供一种光罩盒，其支撑件亦可设置于可拆解的限制件上，以便于部分损坏或磨损时更换。

本实用新型的再一目的在于提供一种光罩盒，其锁扣座材质的耐磨度较高，可避免光罩盒的上下盖体盖合并锁扣时，因摩擦而导致锁扣座磨损，使得上下盖体盖合后仍有松动的现象产生。

本实用新型的再一目的在于提供一种光罩盒，其锁扣座是以卡设的方式固设于上下盖体，于部分损坏或磨损时更换。

附图说明

图1A与图1B是光罩传送盒的示意图(现有技术)。

图2是本实用新型光罩盒的一实施例示意图。

图3A至图3C是本实用新型光罩盒下盖体与限制件的一实施例示意图。

图4A至图4C是本实用新型光罩盒下盖体与限制件组装的一实施例示意图。

图5A与图5B是本实用新型光罩盒下盖体与锁扣座的一实施例示意图。

主要元件符号说明

1        光罩传送盒

11       上盖体

12       下盖体

121      固持装置

1211     限位片

122      限制装置

1212     抵持件

2        光罩盒

21       上盖体

21a      锁扣件

22       下盖体

22a      支架

221      第一卡设部

2211     第一顶持面

2212     第三顶持面

222      第一锁固孔

223        锁扣槽

23         限制件

231        座体

232        限位片

233        第二卡设部

2331       第二顶持面

2332       第四顶持面

234        第二锁固孔

24         支撑件

25         锁固件

26         锁扣座

本实用新型指定代表图为：图2。

具体实施方式

由于本实用新型是揭露一种具有限制件的光罩盒，其中所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

图2是本实用新型光罩盒的一较佳实施例示意图，光罩盒2是由上盖体21与下盖体22组合而成，形成一内部空间可容纳一光罩，并且具有至少一支架22a与至少一限制件23装设于光罩盒2的下盖体22上，其中此支架22a或限制件23可大致为高分子材料或静电消散材质所形成，此种高分子材料即为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物，而静电消散材质的电阻值则为约10⁴～约10¹1Ω。此外，光罩盒2另可包含至少一锁固件(未示于图中)，此锁固件可为插销、铆钉或螺丝，其材料的主要成分为选自于由不锈钢、铝合金及镁合金所构成群组的金属、高分子材料或静电消散材等所制成，此种高分子材料即为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物，而静电消散材质的电阻值则为约10⁴Ω～约10¹¹Ω。

图3A是本实用新型光罩盒限制件的一较佳实施例示意图，光罩盒2的下盖体22具有至少一支架22a以及至少一限制件23，第一卡设部(engaging portion)221与至少一支撑件24即设于支架22a上，且第一卡设部221包含有一第一顶持面2211，此限制件23则包括有一座体231以及一限位片232，其中此支架22a与此座体231皆是以组装方式装设于光罩盒2的支架22a内(请参考图4A与图4B)，且此座体231具有一第二卡设部233，此第二卡设部233具有一第二顶持面2331，而限位片232是设置于座体231上，用以固定光罩。当座体231组装于支架22a内时，限制件23的第二卡设部233与支架22a的第一卡设部221相互卡持，第一顶持面2211与第二顶持面2331可相互抵制，以避免限制件23上下松动，并减少光罩与光罩盒2的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。

图3B是本实用新型光罩盒限制件的另一较佳实施例示意图，光罩盒2下盖体22具有至少一支架22a以及至少一限制件23，第一卡设部221与至少一支撑件24即设于支架22a上，且第一卡设部221包含有至少二相对的第一顶持面2211与第三顶持面2212，此限制件23则包括有一座体231以及一限位片232，其中此支架22a与此座体231皆是以组装方式装设于光罩盒2的下盖体22内(请参考图4A与图4B)，且此座体231具有一第二卡设部233，其包含有至少二相对的第二顶持面2331与第四顶持面2332，而限位片232则设置于座体231上，用以固定并抵持光罩。当座体231组装于支架22a内时，限制件23的第二卡设部233与支架22a的第一卡设部221相互卡持时，请参考图4C，第一顶持面2211与第二顶持面2331相互抵制，第三顶持面2212与第四顶持面2332相互抵制，以避免限制件23上下松动。

图3C是本实用新型光罩盒支撑件的一较佳实施例示意图，光罩盒2是由上盖体21与下盖体22组合而成，形成一内部空间可容纳一光罩，并具有至少一支架22a以及至少一限制件23设于光罩盒2的下盖体22上，此限制件23包括有一座体231以及一限位片232，并于限制件23的座体231上另设有一支撑件24，其中此支撑件24可大致为高分子材料或静电消散材质所形成，此种高分子材料即为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物，而静电消散材质的电阻值则为约10⁴Ω～约10¹¹Ω。当座体231以组装方式装设于光罩盒2的支架22a内时(请参考图4A与图4B)，此支撑件24即可被置于光罩盒2的下盖体22内，因此当光罩盒2承载一光罩且盖合时，限制件23与支撑件24可接触光罩并固定之。

图3A是本实用新型限制件固设方式的一较佳实施例，此光罩盒2另包含至少一锁固件25，且于光罩盒2支架22a的侧边具有至少一第一锁固孔222，限制件23的侧边则具有至少一第二锁固孔234，其中，第一锁固孔222与第二锁固孔234设于相对应的位置，因此可利用锁固件25将限制件23固定并设置于光罩盒2的支架22a上。

图3B是本实用新型限制件固设方式的另一较佳实施例，此光罩盒2另包含至少一锁固件25，且于光罩盒2支架22a的底部具有至少一第一锁固孔222，限制件23的底部则具有至少一第二锁固孔234，其中，第一锁固孔222与第二锁固孔234设于相对应的位置，因此可利用锁固件25将限制件23固定并设置于光罩盒2的支架22a上。

根据本实用新型限制件固设方式的又一较佳实施例(未示于图中)，此光罩盒2的限制件23是以黏胶固定的方式固设于光罩盒2的支架22a上。

此外，请参考图5A与图5B，光罩盒2上盖体21或下盖体22具有一相互对应的侧边，以及至少一锁扣件21a，锁扣件21a设于上盖体21或下盖体22的侧边上，而另一盖体的侧边则具有一锁扣槽223设于对应锁扣件21a的位置，并有一锁扣座26固设于锁扣槽223中。其中，此锁扣座26可以包入射出成型(Insert Molding)或卡设的方式固设于所属的上盖体21或下盖体22中，且锁扣座26的材质的耐磨度高于其所属的上盖体21或下盖体22的材质，其材质为高分子材料中的聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物，因此当光罩盒2的上盖体21与下盖体22盖合并锁扣时，可避免因摩擦而导致锁扣座26磨损，而使得上盖体21与下盖体22盖合后仍有松动的现象产生，亦不会因过度的摩擦而产生静电而损坏光罩。

以上所述的光罩盒2，可为光罩传送盒或光罩保存盒。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (11)

1、一种光罩盒，其包含：

一上盖体；

一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；

至少一支架，装设于该下盖体；以及

至少一限制件；

其特征在于，该支架具有至少一第一卡设部，该限制件具有至少一第二卡设部，该限制件是用以与该支架的第一卡设部相互卡持。

2、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架的第一卡设部包含有至少一第一顶持面，且该限制件包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具有该第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，

其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面相互抵制。

3、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架的第一卡设部包含有至少二相对的第一顶持面，且该限制件包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少二相对的第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，

其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面两两相互抵制。

4、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该光罩盒另包含至少一锁固件将该限制件固设于该光罩盒的支架，且该锁固件为一插销、铆钉或螺丝。

5、如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，该支架具有至少一侧边以及至少一第一锁固孔设于该侧边；以及

该限制件具有至少一第二锁固孔对应于该第一锁固孔。

6、如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，该锁固件的材料的成分为选自于由不锈钢、铝合金及镁合金所构成群组的金属。

7、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架或限制件为一高分子材料所形成，且该高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。

8、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架或限制件为一静电消散材质所形成，且该静电消散材质的电阻值为约10⁴Ω～约10¹¹Ω。

9、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该光罩盒为光罩传送盒或光罩保存盒。

10、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，另包含至少一支撑件设于该支架或该座体上。

11、一种限制件，其特征在于，该限制件的结构包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架，具有至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定并抵持该光罩。

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