CN201196950Y - 充气设备与入气端口装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种与供气装置连接的充气设备，用以将气体导入半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备包含：至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，是设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

Description

充气设备与入气端口装置

技术领域

本实用新型涉及一种充气设备与入气端口装置，特别是有关于一种用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中的充气设备。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只要是关于图形定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒如微粒、粉尘或有机物都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅晶圆或者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘的状态。

因此，现代的半导体制程皆利用抗污染的存放装置进行光罩与半导体组件的保存与运输，以使光罩与半导体组件保持洁净。存放装置是在半导体制程中用于存放光罩或半导体组件，以利光罩与半导体组件在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与半导体组件与大气的接触，避免光罩或半导体组件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该等存放装置的洁净度要符合机械标准接口(StandardMechanical Interface；SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。故，在该等存放装置中充入气体便是目前解决的手段的一。因此，以往的技术乃将该等存放装置外接一个充气设备，使气体藉由充气设备导入该等存放装置。

充气设备，不论是使用何种充气方式或手段，均需在入气端口装置，也就是将气体充填进入存放装置的部分，增设气密装置，多半是一种「软塑料零件」(o-ring seal)。以往的充气设备增设气密装置，如美国专利公告第5879458号专利、美国专利公告第6042651号专利、美国专利公告第6221163号专利、美国专利公告第6368411号专利所示，其增设方法多半是直接将该软塑料零件嵌设于入气端口装置上，其目的在于防止充气时气体的流失，然而此种方法，容易随着软塑料零件的耗损，而影响整个入气端口装置的效果，甚至需汰换整个入气端口装置，造成成本的增加。虽然气密装置为了达到使入气端口装置与存放装置密合的效果，使用软塑料零件是最好的选择，因其具有弹性，可轻易调整；然而气密装置若只单纯嵌设于入气端口装置，亦会因没有固定而造成浪费，是一种额外增加的成本。

有鉴于此，本实用新型所提供的充气设备，乃针对先前技术加以改良者。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种充气设备与入气端口装置，为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供一种充气设备，由承座与入气端口装置组合而成。其中，入气端口装置包含有基座、弹性件与固定件，基座上具有一通孔贯穿，以供气体通过；弹性件，设于该基座上，用以保持气密性；以及固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种设有弹性件可汰换的入气端口装置，可直接汰换弹性件，不需更换整个入气端口装置，以节省成本。

本实用新型的再一目的，在于提供一种设有固定件的入气端口装置，可固定弹性件，以达到使用方便的效果。

本实用新型的再一目的，在于提供一种具有圆弧接触部分的弹性件的入气端口装置，使接触面更加密合，减少气体外泄的风险。

本实用新型的再一目的，在于提供一种具有平面接触部分的弹性件的入气端口装置，使接触面更加密合，减少气体外泄的风险。

本实用新型的技术方案是：一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；以及

至少一入气端口装置，是设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：

一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；

一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及

一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的基座另包含有至少一锁固部分，以至少一锁固件与该承座接合。

所述的充气设备，其中该锁固件具有一锁固头，该入气端口装置另包含一弹性装置，设于该锁固件的锁固头与该基座间，用以使该入气端口装置与该承座的相对位置可弹性调整。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的弹性件与该存放装置的入气部分接触部分是成圆弧状。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的弹性件与该存放装置的入气部分接触部分是成平面状。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的固定件是以卡勾方式设于该基座上。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的固定件是以螺旋方式设于该基座上。

所述的充气设备，其中该入气端口装置的基座另包含有一调整件，可调整该承座与该基座之间隙。

所述的充气设备，其中该调整件可设置至少一孔，用以与该基座或该承座接合。

所述的充气设备，其中该调整件可设置至少一孔，用以减轻该调整件的重量。

一种入气端口装置，设于一充气设备的承座上，该充气设备是用以将气体导入至少一个置于该承座上的用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该入气端口装置包含有：

一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；

一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及

一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

本实用新型的有益效果是，提供的一种设有弹性件可汰换的入气端口装置，可直接汰换弹性件，不需更换整个入气端口装置，以节省成本。本实用新型提供一种设有固定件的入气端口装置，可固定弹性件，以达到使用方便的效果。本实用新型提供一种具有圆弧接触部分的弹性件的入气端口装置，使接触面更加密合，减少气体外泄的风险。

附图说明

图1，是本实用新型充气设备的示意图；

图2A与图2B，是本实用新型弹性件的示意图；

图3A至图3F，是本实用新型固定件设置方式的示意图；

图4A与图4B，是本实用新型基座的锁固部分示意图；

图5A至图5C，是本实用新型调整件的示意图。

【主要组件符号说明】

充气设备0

承座1

入气端口装置2

基座21

弹性件22

接触部分221

固定件23

通孔24

锁固部分25

锁固件251

锁固头252

弹性装置253

调整件26

孔261262

突缘27

存放装置5

入气部分51

具体实施方式

由于本实用新型是揭露一种入气端口装置的充气设备，其中所利用到的一些关于光罩、半导体组件、存放装置或充气装置的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

首先，本实用新型是揭露一种充气设备，是与一供气装置(图标未揭露)连接，其目的在于将气体导入存放光罩或半导体组件的存放装置，此种存放装置具有至少一个入气部分，气体自此部分进出存放装置。

请参阅图1，此为本实用新型充气设备的示意图。充气设备0包含有至少一承座1与至少一入气端口装置2，承座1是用以承载存放装置5，入气端口装置2是用以与该存放装置5的入气部分51相接，并将气体充填进入该存放装置5。本实用新型所揭示的技术特征在于该入气端口装置2。入气端口装置2设于承座1上，且相对应于该存放装置5的入气部分51，其包含有基座21、弹性件22以及固定件23。基座21具有一通孔24贯穿的，用以供气体通过，而弹性件22是与存放装置5的入气部分51相接触，其目的在于保持气密性，当入气端口装置2将气体导入存放装置5，弹性件22可防止气体泄出；固定件23是用以固定弹性件22，以使弹性件22保持固定位置，另一方面，弹性件22并未嵌设于基座21上，因此可随时汰换，只要取下固定件23即可取下弹性件22，以增进使用上的便利性。除此的外，可在基座21上设置一突缘27，以增加弹性件22的固定。

接着，请参阅图2A与图2B，此是弹性件22的示意图。弹性件22通常为一种软塑料零件O-ring seal，为一种环状物体，其与存放装置5入气部分51接触部分221，可为圆弧状如图2A所示，或为平面状如图2B所示，当设置成平面状时，其可接触的范围较广，可达较佳的气密效果。

请参阅图3A至图3F，此为固定件23设置方式的示意图。固定件23是设置于基座21上，用以固定该弹性件22，其方法有许多种，可以卡勾方式设置于该基座上或以螺旋方式设置，图3A是固定件23以卡勾方式固定圆弧状弹性件22于基座21上，图3B是固定件23以卡勾方式固定平面状弹性件22于基座21上，图3C为固定件23与基座21卡勾方式结合的拆解图。图3D为固定件23以螺旋方式固定圆弧状弹性件22于基座21上，而图3E是固定件23以螺旋方式固定平面状弹性件22于基座21上，图3F为固定件23与基座21螺旋方式结合的拆解图。其不同端视使用的需要而有所不同。

接着，请参阅图4A，为了使入气端口装置2设置于承座1上，入气端口装置21的基座21可再设置锁固部分25，再以锁固件251将该基座21接合于承座1上。其中锁固件251具有一锁固头252，请参阅图4B，入气端口装置2上可再增设一个弹性装置253，设于该锁固件251的锁固头252与该基座21间，用以使该入气端口装置2与该承座1的相对位置可弹性调整，当承座1或是存放装置5倾斜或不正时，该入气端口装置21可随之调整，不会造成因为倾斜或不正而导致气体外泄。

为了达到需求，若需调整承座1与基座21之间隙，可再增设调整件26以调整承座1与基座21之间隙，如图5A与图5B所示。调整件26可再设置至少一孔261，用以与基座21或承座1接合；调整件26亦可设置至少一孔262，用以减轻调整件26本身重量，如图5C所示。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本实用新型新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (10)

1.一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；其特征在于该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；以及

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：

一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；

一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及

一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

2.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该入气端口装置的基座另包含有至少一锁固部分，以至少一锁固件与该承座接合。

3.根据权利要求2所述的充气设备，其特征在于，该锁固件具有一锁固头，该入气端口装置包含一弹性装置，设于该锁固件的锁固头与该基座间，用以使该入气端口装置与该承座的相对位置可弹性调整。

4.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该入气端口装置的弹性件与该存放装置的入气部分接触部分成圆弧状或成平面状。

5.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该入气端口装置的固定件是以卡勾方式设于该基座上。

6.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该入气端口装置的固定件是以螺旋方式设于该基座上。

7.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该入气端口装置的基座包含有一调整件，可调整该承座与该基座之间隙。

8.根据权利要求7所述的充气设备，其特征在于，该调整件设置至少一孔，用以与该基座或该承座接合。

9.根据权利要求7所述的充气设备，其特征在于，该调整件设置至少一孔，用以减轻该调整件的重量。

10.一种入气端口装置，设于一充气设备的承座上，该充气设备用以将气体导入至少一个置于该承座上的用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；其特征在于，该入气端口装置包含有：

一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；

一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及

一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。

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