CN201156532Y - 用以存放半导体组件或光罩的存放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置。此种存放装置由第一盖体与第二盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体组件，此存放装置的第二盖体是本体与板件组成，本体上设有至少一孔，用以连通该存放装置的内部空间以及外部空间，而板件相对应于本体的孔处设有对应部分，过滤件置于本体与板件间，覆盖本体的孔，当空气穿过本体的孔时，可由过滤件进行过滤，达到过滤杂质的效果。

Description

用以存放半导体组件或光罩的存放装置

技术领域

本实用新型涉及一种用以存放半导体组件或光罩的存放装置，特别是有关于一种具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只要是关于图形定义，皆需依赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒如微粒、粉尘或有机物都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅晶圆或者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘的状态。

因此，现代的半导体制程皆利用抗污染的存放装置进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净；也利用抗污染的半导体组件存放装置进行半导体组件的保存与运输，以使半导体组件保持洁净。存放装置是在半导体制程中用于存放光罩，以利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接触，避免光罩被杂质污染而产生变化；而半导体组件存放装置是在半导体制程中用于存放半导体组件，以利半导体组件在机台之间的搬运与传送，并隔绝半导体组件与大气的接触，避免半导体组件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该等存放装置的洁净度要符合机械标准接口，也就是说保持洁净度在级数1以下。故，在该等存放装置中充入气体便是目前解决的手段之一。

然而，为了进一步提升产品的良率及降低制造的成本，除了达到洁净度的标准要求之外，还要克服因为外来气体对于光罩的污染。这样的外来气体除了大气以外，还有两个来源，其一是源自于高分子材料所制成的存放装置本身所释出的气体，其二是源自于残留在光罩或半导体组件表面的微量化学溶液所产生的挥发气体。这些非期望气体会对光罩或半导体组件的表面产生雾化作用，使得光罩或半导体组件无法再使用而必须报废的窘境，使得制造成本增加。在该等存放装置中充入气体是目前解决光罩或半导体组件雾化的手段之一，其中如何保持充入气体的洁净度，是一个重要的议题。

有鉴于此，本实用新型所提供的具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置，乃针对现有技术加以改良。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置，可用来过滤空气中的微尘，以避免光罩或半导体组件受到污染。

本实用新型的存放装置是由第一盖体与第二盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体组件，此存放装置的第二盖体是由本体与板件组成，本体上设有至少一孔，用以连通该存放装置的内部空间以及外部空间，而板件相对应于本体的孔处设有对应部分，过滤件置于本体与板件间，覆盖本体的孔，当空气穿过本体的孔时，可由过滤件进行过滤，达到过滤杂质的效果。

一种存放装置，用以存放半导体组件或光罩，包含有：一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体组件或光罩，其中该第二盖体包含有：一本体，具有至少一孔；以及一板件，设于该本体上面对该内部空间，具有一对应部分对应于该本体的孔；以及

一过滤件，置于该本体与该板件间，覆盖该本体的孔。

本实用新型的再一目的在于提供一种具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置，可用来过滤空气中的微尘，以保持用以存放半导体组件或光罩的存放装置内的洁净度。

本实用新型的有益效果是，可以保持充入气体的洁净度，以利半导体组件在机台之间的搬运与传送。

附图说明

图1，是本实用新型的用以存放半导体组件或光罩的存放装置的示意图；

图2A与图2B，是本实用新型用以存放半导体组件或光罩的存放装置与过滤件的示意图；

图3A至图3E，是本实用新型中第二盖体的板件的对应部分的型态示意图；

图4A与图4B，是本实用新型用以存放半导体组件或光罩的存放装置中固定件与过滤件配置的关系图；

图5A至图5I，是本实用新型中固定件的型态与设置于用以存放半导体组件或光罩的存放装置中固定过滤件的示意图；

图6A至图6C，是本实用新型中固定件与过滤件的关系示意图；

图7A至图7D，是本实用新型中气密装置的配置的示意图。

【主要组件符号说明】

过滤件4

固定件5

孔隙51

突出的顶部53

第一盖体6

第二盖体7

本体71

板件72

第一表面721

对应部分73

舌片731

缝隙74

气密装置8

孔A

具体实施方式

由于本实用新型是揭露一种具有过滤件的用以存放半导体组件或光罩的存放装置的结构，其中所利用到的一些光罩或半导体组件或存放装置的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

请先参阅图1，此是本实用新型的用以存放半导体组件或光罩的存放装置的示意图，用以存放半导体组件或光罩的存放装置是由一第一盖体6与一第二盖体7组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体组件，而在第二盖体7上包含有至少一孔A，用以连通该存放装置的内部空间以及外部空间。

接着请参阅图2A与图2B，用以存放半导体组件或光罩的存放装置的第二盖体7是由本体71与板件72组合而成，本体71上设置至少一孔A，而在板件72相对于本体71的孔A处设对应部分73，对应部分73具有至少一个缝隙74以供空气流通。其次，过滤件4设置于本体71与板件72之间，覆盖本体71的孔A，当空气流通过本体71的孔A时，过滤件4将过滤其中的杂质，以保持该存放装置的内部空间空气的洁净度。图2A是各组件的分解图，图2B是组件组合后的剖面图。

第二盖体7的板件72具有大致平坦的第一表面721，而前述相对于本体71的孔A的对应部分73可以凸设于第一表面721、凹设于第一表面721或与第一表面721共平面，其示意图如图3A、图3B与图3C所示。对应部分73亦可设置成舌片731的型态，如图3D所示，当舌片731受到抬升时，会产生供空气流通的缝隙74；该舌片731上可再设置至少一个缝隙74，如图3E所示。

接着，在本体71与板件72间，可再设置固定件5以固定过滤件4，固定件5可设置于本体71与过滤件4间或板件72与过滤件4之间，如图4A与图4B所示，当然，固定件5具有供空气流通的孔隙51。

固定件5的型态可随着使用者的选择而有所不同，如图5A至图5I所示，固定件5可以通气阀的型态，控制该通气阀可控制空气的进出量，其示意图如图5A所示，其组合剖面图如图5B所示。固定件5亦可为环状结构，以使空气出入，如图5C与图5D所示。固定件5可具有突出的顶部53，如图5E与图5F所示，当固定件5具有突出的顶部时，板件72的对应部分73可设置成为舌片731型态，如图5G所示，固定件5突出的顶部53可抬升舌片731，对应部分73因此会有缝隙74能够使空气流通。固定件5亦可将过滤件4整片包裹，以达到固定过滤件4的效果，如图5H所示；而此种整片包裹方式的固定件5，亦得设置突出的顶部53，如图5I所示，该突出的顶部得以顶持板件72上设置成为舌片731型态的对应部分73，对应部分73因此会有缝隙74能够使空气流通。

固定件5可以大致覆盖过滤件4，如图6A所示；或可仅框住过滤件4，如图6B所示；亦可将过滤件4整片包裹，如图6C所示，均视使用者使用的需要。

为使空气填充入用以存放半导体组件或光罩的存放装置的内部空间有更好的效果，可再增设气密装置8，气密装置8如图7A至图7B所示，可环设于固定件5的周围；气密装置8如图7C与图7D所示，可环设于第二盖体7本体71的孔A，端视使用的需要而得变更其设置的位置。在此，气密装置为一软塑料零件。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (16)

1.一种存放装置，用以存放半导体组件或光罩，其特征在于包含有：

一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体组件或光罩，其中该第二盖体包含有：

一本体，具有至少一孔；以及

一板件，设于该本体上面对该内部空间，具有一对应部分对应于该本体的孔；以及

一过滤件，置于该本体与该板件间，覆盖该本体的孔。

2.如权利要求1的存放装置，其特征在于，还包含有一固定件，用以固定该过滤件于该本体与该板件间。

3.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件具有至少一孔隙可供空气流通。

4.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件覆盖该过滤件。

5.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件框住该过滤件。

6.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件整片包裹该过滤件。

7.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件另包含有一气密装置。

8.如权利要求7的存放装置，其特征在于，该气密装置环设于该固定件。

9.如权利要求7的存放装置，其特征在于，该气密装置环设于该孔。

10.如权利要求7的存放装置，其特征在于，该气密装置为软塑料零件。

11.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件具有突出的顶部。

12.如权利要求11的存放装置，其特征在于，该板件的对应部分是为一舌片，其中该固定件突出的顶部可抬升该舌片。

13.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件为一通气阀。

14.如权利要求2的存放装置，其特征在于，该固定件为一环状结构。

15.如权利要求1的存放装置，其特征在于，该板件具有一平坦的第一表面，该板件的对应部分是凸设或凹设于该第一表面或与该第一表面共平面。

16.如权利要求1的存放装置，其特征在于，该板件的对应部分具有至少一缝隙。

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