CN1923640A - 物品搬送设备 - Google Patents
物品搬送设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1923640A CN1923640A CNA2006101257530A CN200610125753A CN1923640A CN 1923640 A CN1923640 A CN 1923640A CN A2006101257530 A CNA2006101257530 A CN A2006101257530A CN 200610125753 A CN200610125753 A CN 200610125753A CN 1923640 A CN1923640 A CN 1923640A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- article
- mentioned
- operated
- moving
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
- B65G1/0414—Storage devices mechanical using stacker cranes provided with satellite cars adapted to travel in storage racks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
- B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/34—Devices for discharging articles or materials from conveyor
- B65G47/46—Devices for discharging articles or materials from conveyor and distributing, e.g. automatically, to desired points
- B65G47/51—Devices for discharging articles or materials from conveyor and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination
- B65G47/5104—Devices for discharging articles or materials from conveyor and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination for articles
-
- H10P72/3202—
-
- H10P72/3218—
-
- H10P72/3221—
-
- H10P72/3222—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
Abstract
本发明涉及一种物品搬送设备,具备:搬送物品用的移动体,设置为能够沿移动路径移动,并具备物品保持部;保管物品用的物品支承体,可以在物品交接位置(article transfer position)和物品保管位置之间位移,其中所述的物品交接位置,用于从移动体的保持部接受物品,并向保持部交出物品;和操作装置,设在移动体上,用于在该移动体停在物品支承体对应的物品移载位置的状态下,使物品支承体在物品保管位置和物品交接位置之间位移。
Description
技术领域
本发明涉及一种物品搬送设备,具备:搬送物品用的移动体,设置为能够沿移动路径移动,具备物品保持部;保管物品用的物品支承体,可以在物品交接位置(article transfer position)和物品保管位置之间位移,其中物品交接位置,用于从上述移动体的上述物品保持部接受物品,并向上述物品保持部交出物品。
背景技术
如上所述的物品搬送设备,沿移动路径设置多个成为物品移载对象的物品移载用站,通过移动体沿移动路径移动,在站之间进行物品搬送。
另外,为了暂时保管搬送至站中的物品,设置物品支承体。该物品支承体,通常位于移动路径旁侧等物品保管用位置,以便不妨碍移动体的移动等。另外,在将物品保管在物品支承体中的情况,和搬送在物品支承体中保管的物品的情况下,使物品支承体从物品保管用位置位移至物品交接用位置,进行物品从移动体的保持部向物品支承体的交接、和从物品支承体向保持部的物品接受。
作为这样的物品搬送设备,现有设备设有:连杆装置,在顶板侧设置导轨作为移动路径,相对于顶板绕水平轴心摆动自如。且支承作为物品支承体的物品载置台,使其在物品保管用位置和物品交接用位置之间自由变更;和液压缸,设在顶板和连杆装置之间,且进行变更操作,在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动物品支承体。(例如,参照特开平10-45213号公报)。
在该现有的物品搬送设备中,在把物品保管在物品支承体中的情况下,在使移动体停在物品移载位置的状态下,借助液压缸的驱动,绕水平轴心摆动连杆装置,从而把物品支承体从物品保管用位置移至物品交接用位置。然后,在从移动体的保持部向物品支承体进行了物品的交接之后,借助液压缸的驱动,绕水平轴心摆动连杆装置,从而把物品支承体从物品交接用位置向物品保管用位置位移。
再者,在由移动体来搬送保管在物品支承体中的物品的情况下,也借助液压缸的驱动,把物品支承体从物品保管用位置向物品交接用位置位移,从物品支承体向移动体的保持部接受物品,然后,借助液压缸的驱动,把物品支承体从物品交接用位置向物品保管用位置位移。
在上述现有的物品搬送设备中,为了设置物品支承体,除了位置变更自如地支承物品支承体的连杆装置以外,还在移动路径的旁侧等设置液压缸,用于在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动物品支承体。因此,设在移动路径旁侧等的部件个数增加,设置空间加大,并且担心导致构成复杂化。
发明内容
本发明是着眼于上述问题而完成的,其目的在于提供一种物品搬送设备,构成简洁、且可以操作物品支承体而使其在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动。
根据本发明的物品搬送设备,具备:
搬送物品用的移动体,设置为能够沿移动路径移动,并具备物品保持部;
保管物品用的物品支承体,可以在物品交接位置(articletransfer position)和物品保管位置之间位移,所述物品交接位置用于从上述移动体的上述保持部接受物品,并向上述保持部交出物品;
操作机构,设在上述移动体上,用于在上述移动体停在与上述物品支承体对应的物品移载位置的状态下,使上述物品支承体在上述物品保管位置和上述物品交接位置之间位移。
这样,由于可以利用设在移动体上的操作机构,使物品支承体在物品保管用位置和物品交接用位置之间位移,所以无需在移动路径的旁侧设置部件,用来在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动物品支承体,可以减少设在移动路径旁侧等的零件个数。因此,可以提供一种物品搬送设备,既实现构成的简单化,又可以在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动物品支承体。
附图说明
图1是物品搬送设备的俯视图,
图2是物品搬送设备的立体图,
图3是移动车和站的侧视图,
图4是移动车的侧视图,
图5是移动车的纵剖主视图,
图6是物品支承体的立体图,
图7是物品支承体的俯视图,
图8是表示移动车和物品支承体的立体图,
图9是表示移动车和物品支承体的立体图,
图10是物品支承体和固定框体的立体图,
图11是物品支承体和固定框体的立体图,
图12是物品支承体和固定框体的立体图,
图13是固定框体和固定框体的俯视图,
图14是固定框体和固定框体的俯视图,
图15是移动车的侧视图,
图16是物品支承体和固定框体的立体图,
图17是物品支承体和固定框体的分解立体图,
图18是物品支承体和固定框体的立体图,
图19是物品支承体和固定框体的立体图,
图20是物品支承体和固定框体的俯视图,
图21是物品支承体和固定框体的俯视图。
具体实施方式
基于附图说明本发明的物品搬送设备的实施方式。
(第1实施方式)
第1实施方式中的物品搬送设备,如图1和图2所示,以经由多个物品处理部1的状态设置作为移动路径的导轨2,并设有移动车3,其作为搬送物品用的移动体,沿该导轨2移动自如。另外,把收纳有半导体基板的容器5作为物品,移动车3构成为在多个物品处理部1之间搬送该容器5。在上述物品处理部1中,对半导体基板制造过程中的半成品等进行既定处理。
上述移动车3,具备升降自如的把持部4,该把持部4以悬吊的状态把持容器5,并由把持部4构成保持容器5的保持部。
如图3所示,上述把持部4设置为,在移动车3停止的状态下,通过卷绕或展开缆线6,在上升位置和下降位置之间升降自如,所述上升位置接近移动车3,所述下降位置在与物品移载用站7之间进行物品移载,该物品移载用站7设置在移动车3的下方侧。
附带地提一句,在图3中,在上方侧表示把持部4从上升位置下降至下降位置的情况,在下方侧表示把持部4从下降位置上升至上升位置的情况。
上述站7,用于从移动车3接受在物品处理部1中进行既定处理的容器5,或者向移动车3交接在物品处理部1中进行了既定处理的容器5,由分别对应每个物品处理部1配置的载置台构成。
另外,移动车3构成为,在把持部4位于上升位置的状态下,沿导轨2移动,通过在停在与多个站7中的移载对象的站7对应的停止位置的状态下,使把持部4在上升位置和下降位置之间升降,在其与站7之间进行物品移载。
如图3~图5所示,上述导轨2,借助导轨用支架8,以固定状态设置在顶板部。图4是移动车3的侧视图,图5是移动车3的纵剖主视图。
上述移动车3构成为,由前后连结杆10、11来连结位于导轨2的内部空间部的上方车体9、和位于导轨2下方的下方车体12。
上述上方车体9,在与磁铁13接近对置的状态下具备一次线圈14,其中磁铁13设在导轨2的内部空间。另外,上方车体9是线性马达式部件,通过由磁铁13和一次线圈14构成的线性马达来获得推进力,移动车3构成为借助该推进力沿导轨2移动。
在上述导轨2的内部空间部,形成有:行进引导面16,与上方车体9上所具备的行进轮15相对;和止摆引导面18,对着上方车体9具备的止摆轮17。
再者,在导轨2上设置供电线19,在上方车体9上设置受电线圈20,通过通入交流电流在供电线19中产生磁场,利用该磁场在受电线圈20中产生移动车3侧需要的电力,从而以无接触状态进行给电。
在该实施方式中,作为驱动上方车体9的方式,例示了线性马达式,即借助线性马达来获得推进力从而驱动,但是也可以使用例如以下方式:设置驱动行进轮15旋转的电动马达,通过由该电动马达来驱动行进轮15旋转,从而驱动上方车体9。
上述下方车体12,包括:前后方向延伸的前后框体21;和前后一对纵框体22等,从前后框体21的前端位置和后端位置向下方侧延伸。另外,下方车体12,在侧视图中,形成为下方侧开放的コ字形,并在前后方向的中央部配置把持部4。
上述把持部4,设在升降体23上,该升降体23相对于上方车体9升降自如,并且由设在上述框体21上的升降操作装置24升降操作自如地支承。
上述升降操作装置24构成为,在借助滚筒驱动用马达25旋转自如的旋转滚筒26上,卷挂四根缆线6。另外,升降操作装置24构成为,通过使旋转滚筒26正反旋转并同时卷绕和展开四根缆线6,从而一边将升降体23维持为大致水平姿势,一边进行升降操作。
在该实施方式中,表示了在旋转滚筒26上卷挂缆线6的例子,但是也可以例如在旋转滚筒26上卷挂皮带来使升降体23升降,不限定于缆线6,也可以使用皮带。
在上述把持部4上,设置一对把持件4a,来把持容器5的凸缘5a,构成为在把持姿势(图4中实线)和解除姿势(图4中虚线)之间切换自如,其中,把持姿势是指通过把持动作用马达27的正反旋转,使一对把持件4a向相互接近的方向摆动来把持凸缘5a的姿势,解除姿势是指一对把持件4a向互相离开的方向摆动从而解除把持的姿势。
另外,把持部4绕纵轴芯旋回自如地设在升降体23上,虽然省略了图示,但是设有旋回操作把持部4的旋回用马达。
为了暂时保管搬送至上述站7中的容器5,如图1和图2所示,在导轨2的旁侧,相对于导轨2,在左右两侧设有保管物品用的物品支承体29。以沿导轨2并排的状态设置多个该物品支承体29。另外,如图6所示,物品支承体29,具有:载置支承部29a,载置支承容器5;和限制壁部29b,限制载置支承在其载置支承部29a上的容器5在水平方向的运动。再者,载置支承在载置支承部29a上的容器5以利用定位销W来定位的状态被载置支承。
如图7~图9所示,上述每个物品支承体29设置为,在图7(B)、图8(A)、图9(B)所示的物品交接用位置、和图7(A)、图8(B)、图9(A)所示的物品保管用位置之间位移自如,其中,在物品交接用位置,从停在与每个物品支承体29对应的物品移载位置的移动车3的把持部4接受容器5和向把持部4交接容器5。另外,物品支承体29设置为,在物品交接用位置处,与位于接近上升位置的位置的把持部4之间交接容器5。
在上述移动车3上设置操作机构35,用于在停在物品移载位置的状态下,在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动物品支承体29。
分别对应于每个物品支承体29来确定上述物品移载位置。另外,物品支承体29的宽度形成为小于前后一对纵框体22的间隔,如果移动车3停在物品移载位置,则物品支承体29可以在移动车3的前后一对纵框体22之间插拔。
上述物品保管用位置,在导轨2的旁侧,物品支承体29设为,在位于物品保管用位置时,自己和自己载置支承的容器5不妨碍移动车3移动和把持部4升降。
上述物品交接用位置,是和停在物品移载位置的移动车3在上下方方向重复的位置,如果物品支承体29位于物品交接用位置,则可以在该物品支承体29和接近上方位置的把持部4之间进行容器5的交接。
设置支承上述物品支承体29的支承机构,使该物品支承体29在物品保管用位置和物品交接用位置之间位移自如,该支承机构由连杆装置31构成,所述连杆装置31相对于对应于物品保管用位置设置的固定框体30,绕上下轴心摆动自如。
上述固定框体30形成为纵长箱状,设置为由悬吊支承件36固定在顶板部上的状态,并且其厚度方向和导轨2的纵长方向相同。另外,固定框体30在导轨2的纵长方向上只配置在物品支承体29的一侧。附带地提一句,虽然物品支承体29设置在导轨2的两侧,但是在一侧的物品支承体29和另一侧的物品支承体29中,设置为在导轨2的纵长方向上、固定框体30配设位置在物品支承体29的相反侧。即,一侧的物品支承体29的固定框体30,在导轨2的纵长方向上配设在其物品支承体29的前方侧,另一侧的物品支承体29的固定框体30,在导轨2的纵长方向上配设在其物品支承体29的后方侧。
上述连杆装置31构成为,在固定框体30的下端部,配置为从固定框体30沿水平方向延伸,悬臂式支承物品支承体29。另外,连杆装置31,包括:第一连杆31a和第二连杆31b,它们一端枢轴连结在固定框体30上,并且另一端枢轴连结在物品支承体29上。
上述第一连杆31a形成为俯视比第二连杆31b宽的板状,第二连杆31b形成为棒状。第一连杆31a和第二连杆31b在水平方向隔开间隔,在该状态下,第一连杆31a配置在比第二连杆31b靠近导轨2的一侧。
另外,第一连杆31a设为,其一端从下方侧连结在固定框体30上,并且另一端从下方侧连结在物品支承体29上,且从下方侧接住并支承物品支承体29。再者,第二连杆31b设为,其一端通过下端侧开口部30a而连结于固定框体30的内部空间,并且另一端从上方侧连结在物品支承体29上,并从上方侧悬吊支承物品支承体29。
在上述固定框体30上,设有;被操作体32,被支承为相对于停在物品移载位置的移动车3在远近方向移动自如;和弹性体33,作为施力机构,用于对物品支承体29向物品保管用位置回复施力。
另外,被操作体32(operated element),联动于连杆装置31,在接近停在物品移载位置的移动车3的接近位置把物品支承体29移至物品保管用位置,在从移动车3离开的离开位置把物品支承体29移至物品保管用位置。
再者,操作机构35构成为具备进退式的按压操作部37,通过向从移动车3突出一侧的移动(即,向碰抵位置的移动),从接近位置(第1位置)向离开位置(第2位置)按压被操作体32,并且通过向退回移动车3一侧的移动(即,向非碰抵位置的移动),使被操作体32从离开位置向接近位置回复移动。该按压操作部37相当于本申请发明的按压式操作部。
上述被操作体32,设在固定框体30的上端部,且绕上下轴心相对于固定框体30摆动自如。另外,被操作体32设为,其基端部通过上端侧开口部30b而连结于固定框体30的内部空间,从固定框体30沿水平方向突出。
上述弹性体33,例如是螺旋弹簧,一端固定在固定框体30上并且另一端固定在被操作体32上,设为对被操作体32向接近位置回复施力。再者,设置止动部34,阻止由于弹性体33的作用力而使被操作体32向比接近位置更靠近移动车3的一侧摆动。
在上述固定框体30上,设置联动装置38,使上述被操作体32的运动和连杆装置31的运动联动。该联动装置38包括:旋转自如的大径齿轮体39,与被操作体32一体转动;小径齿轮体40,与该大径齿轮体39啮合;和轴体41,与小径齿轮体40一体转动且连结有第1连杆31a。
如果加以说明,则被操作体32通常通过弹性体33的作用力和止动部34的限制,而向图7(A)所示的接近位置回复施力。这时设为,利用联动装置38,使连杆装置31在物品保管用位置支承物品支承体29。
另外,如果被操作体32绕上下轴心摆动,则大径齿轮体39和被操作体32的摆动一体转动。这样,小径齿轮体40向大径齿轮体39的反方向转动,轴体41和小径齿轮体40一体转动,借助第1连杆31a的摆动使连杆装置31摆动。
这样,如果被操作体32从图7(A)所示的接近位置(第1位置)向图7(B)所示的离开位置(第2位置)摆动,则利用连杆装置31的摆动使物品支承体29位移至物品交接用位置。
上述按压操作部37,在停在物品移载位置的移动车3的前后一对纵框体22中,配置在固定框体30对应一侧的上方侧。另外,按压操作部37,包括:滑动体37a,通过图外的电动马达等周知的致动器的动作,沿水平方向滑动自如;和棒状的按压体37b,设在该滑动体37a的前端部,并按压被操作体32。附带地提一句,按压操作部37,在上述一对纵框体22上分别设置一个,一个按压操作部37,与配设在导轨2左右两侧的物品支承体29中,一侧的物品支承体29中的固定框体30对应配置,并且另一个按压操作部37,与另一侧的物品支承体29中的固定框体30对应配置。
上述按压操作部37构成为,通过借助致动器的动作使滑动体37a滑动,并使按压体37b移动到从移动车3突出的一侧,由按压体37b从图7(A)所示的接近位置向图7(B)所示的离开位置按压操作被操作体32。再者,按压操作部37,通过借助致动器的动作使滑动体37a滑动,并向退回移动车3的一侧移动按压体37b,来解除按压体37b对被操作体32的按压,且借助弹性体33的作用力从离开位置向接近位置回复移动被操作体32。
对在物品保管用位置和物品交接用位置之间变更上述物品支承体29位置时的运动加以说明。
上述被操作体32,通过弹性体33的作用力和止动部34的限制而位于接近位置。在被操作体32位于接近位置时,通过联动装置38的联动,物品支承体29以位于物品保管用位置的状态被连杆装置31支承。
另外,在移动车3停在物品移载位置后,按压操作部37借助致动器的动作,向从移动车3突出的一侧移动按压体37b,由按压体37b克服弹性体33的作用力,对被操作体32进行按压操作,使其从接近位置移动到离开位置。这时,由于被操作体32绕上下轴心从接近位置摆动到离开位置,所以通过联动装置38的联动,连杆装置31与被操作体32反方向绕上下轴心摆动。这样,通过按压操作部37进行的按压操作,使被操作体32和连杆装置31一体摆动,从而从物品保管用位置向物品交接用位置移动物品支承体29。
在从物品保管用位置向物品交接用位置移动上述物品支承体29后,如果按压操作部37借助致动器的动作,向退回移动车3的一侧移动按压体37b,来解除按压体37b对被操作体32的按压,则借助弹性体33的作用力使被操作体32从离开位置向接近位置回复移动。这时,由于被操作体32绕上下轴心从离开位置向接近位置摆动,所以通过联动装置38的联动,被操作体32和连杆装置31向反方向一体摆动。这样,借助弹性体33的作用力,使被操作体32和连杆装置31一体摆动,从而操作物品支承体29,使其从物品交接用位置变更到物品保管用位置。
由于上述被操作体32配置在固定框体30的上端部,所以不会干涉其他部件,可以准确地进行按压操作部37对被操作体32的按压操作,并且设在移动车3上的按压操作部37的配设位置也可以使其不和移动车3自身的其它部件干涉。
另外,由于被操作体32配置在固定框体30的上端部,并且连杆装置31配置在固定框体30的下端部,所以可以把被操作体32和连杆装置31之间的空间有效地作为保管容器5的空间来活用,同时可以实现被操作体32和连杆装置31摆动自如地设在固定框体30上的简单构成。
在上述移动车3上,设置台车用控制部,来控制移动车3的动作。另外,该台车用控制部构成为,基于来自管理物品搬送设备整体动作的管理用计算机等的指令、和设在移动车3上的各种传感器的检测信息,进行移动车3的移动控制和把持部4的升降控制,并且控制把持动作用马达27和按压操作部37的致动器的动作。
例如,在从管理用计算机发出搬送指令,在多个站7中指定搬送出发地的站7和搬送目的地的站7的情况下,台车用控制部构成为,控制移动车3的动作,使得在从搬送出发地的站7中拿到容器5后,把容器5在搬送目的地的站7卸下。
在从上述搬送出发地的站7拿到容器5的情况下,首先,台车用控制部,进行移动车3的移动控制,使移动车3停在搬送出发地的站7对应的停止位置。接着,台车用控制部,在使移动车3停在搬送出发地的站7对应的停止位置的状态下,控制把持部4的升降,以使把持部4从上升位置下降至下降位置。另外,如果把持部4位于下降位置,则台车用控制部使把持动作用马达27动作并把一对把持件4a切换至把持姿势,从而由一对把持件4a来把持容器5的凸缘5a。其后,台车用控制部控制把持部4的升降,以使把持部4从下降位置上升至上升位置,如果把持部4位于上方位置,则进行移动车3的移动控制,使移动车3停在与搬送目的地的站7对应的停止位置。
另外,台车用控制部构成为,如果移动车3停在搬送目的地的站7对应的停止位置,则与从搬送出发地的站7拿到容器5的情况相同,通过把持部4的升降控制和把持动作用马达27的动作等,把容器5卸在上述搬送出发地的站7。
再者,从管理用计算机发出保管指令,在多个物品支承体29中指定移载对象的物品支承体29的状态下,把容器5保管在物品支承体29中,在这种情况下,台车用控制部,首先控制移动车3的移动,使移动车3停在与移载对象的物品支承体29对应的物品移载位置。然后,如图8(A)所示,台车用控制部,在移动车3停在移载对象的物品支承体29对应的物品移载位置的状态下,使按压操作部37的致动器动作,并由按压体37b从接近位置向离开位置按压操作被操作体32,从而从物品保管用位置向物品交接用位置移动物品支承体29。然后,台车用控制部在进行了把持部4的升降控制,使把持部4从上升位置下降至与物品支承体29接近的位置之后,使把持动作用马达27动作并把一对把持件4a切换至解除姿势,从把持部4向位于物品交接用位置的物品支承体29交接容器5。然后,台车用控制部在进行了把持部4的升降控制,使把持部4上升至上升位置之后,如图8(B)所示,使按压操作部37的致动器动作,并解除按压体37b对被操作体32的按压,从而从物品交接用位置向物品保管用位置移动物品支承体29。
另外,从管理用计算机发出取出指令,在多个物品支承体29中指定移载对象的物品支承体29的状态下,取出保管在物品支承体29中的容器5,在这种情况下,与发出保管指令的情况同样,如图9(A)、(B)所示,台车用控制部,通过移动车3的移动控制、按压操作部37的致动器的动作,从物品保管用位置向物品交接用位置移动物品支承体29。然后,台车用控制部在进行了把持部4的升降控制,使把持部4从上升位置下降至与物品支承体29接近的位置之后,通过把持动作用马达27动作来把一对把持件4a的姿势变更为把持姿势,从而从物品支承体29把容器5接受至把持部4。然后,台车用控制部在进行了把持部4的升降控制,使把持部4上升至上升位置之后,借助按压操作部37的致动器的动作,从物品交接用位置向物品保管用位置移动物品支承体29。
[第2实施方式]
接下来说明第2实施方式中的物品搬送设备,该第2实施方式表示关于上述第1实施方式中支承机构的其它实施方式。
以下,基于图10~图14,说明第2实施方式中的支承机构的构成。关于其它构成,由于与上述第1实施方式相同所以省略说明。
图10是表示一个物品支承体42的整体构成的立体图。图11和图12是并列设置两个物品支承体42时的立体图,在图11中,表示两个物品支承体42都位于物品保管用位置时,在图12中,表示一个物品支承体42位置变更至物品交接用位置时。另外,在图13(A)中,表示物品支承体42位于物品保管用位置时的上方侧部分的俯视图,在图13(B)中,表示物品支承体42位于物品保管用位置时的下方侧部分的俯视图。再者,在图14(A)中,表示物品支承体42位于物品交接用位置时的上方侧部分的俯视图,在图14(B)中,表示物品支承体42位于物品交接用位置时的下方侧部分的俯视图。
由滑动引导装置49构成支承机构,其中,支承机构支承上述物品支承体42并使其在物品保管用位置和物品交接用位置之间位移自如,滑动引导装置49支承物品支承体42,并使其相对于设在物品保管用位置的对应位置的固定框体48,在相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向上滑动自如。
如图10所示,上述物品支承体42,通过用三个板状体44~46连结一对棒状的框体43来构成,该一对棒状的框体43向相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向延伸。三个板状体44~46,在相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向隔开间隔配设,从靠近停在物品移载位置的移动车3的一侧起,依次为第一板状体44、第二板状体45、第三板状体46。另外,第一和第二板状体44、45,设置为载置支承容器5的载置体,构成为在利用定位销W确定容器5的位置的状态下载置支承,该定位销W配设在第一和第二板状体44、45上。再者,在第一板状体44上,设置限制体47,抵接于容器5的侧面部,并限制向距离停在物品移载位置的移动车3较近一侧的移动。第三板状体46,形成得比第一和第二板状体44、45宽,设置为连结框体43的距离停在物品移载位置的移动车3远的一侧的端部。
上述固定框体48形成为コ字形,包括:底面框部48a、和从该底面框部48a向上方侧延伸的一对侧面框部48b,配设为覆盖物品支承体42的下方侧和物品支承体42的横侧方。
另外,通过由安装配件把安装部51固定在两个框体用支承体50上来悬吊支承固定框体48,所述安装部51形成在从一对侧面框部48b分别朝向上方延伸的部分的端部。如图11和图12所示,上述框体用支承体50以由悬吊支承体53载置支承的状态,沿导轨2配设。另外,悬吊支承体53,由从顶板部的起吊螺栓52悬吊支承。这样,固定框体48悬吊支承在顶板部,通过把安装部51安装在框体用支承体50上,或者从框体用支承体50上取下安装部51,可以一个个地设置或去除固定框体48。因此,在进行物品支承体42的增设或减少时,可以一个个地设置或去除固定框体48,从而可以容易进行物品支承体42的增设或减少的作业。
上述滑动引导装置49,包括:多个引导辊54,分别设置在固定框体48的侧面框部48b上;和轨道部55,由该引导辊54引导支承。
上述导轨55,分别形成在物品支承体42中的一对框体43上,并形成在各框体43的上表面和下表面的两面上。再者,关于引导辊54,在侧面框部48b中靠近移动车3一侧的端部,配设两组上下一对引导辊54a、54b,其中上引导辊54a引导支承框体43上表面的上轨道部55a,下引导辊54b引导支承框体43下表面的下轨道部55b,在侧面框部48b中距离移动车3远的一侧的端部,配设一个下引导辊54b,引导支承框体43下表面的下轨道部55b。
在上述固定框体48上,设有;被操作体56,被支承为相对于停在物品移载位置的移动车3向远近方向移动自如;和弹性体57,作为施力机构,用于对物品支承体42向物品保管用位置回复施力。
另外,被操作体56,联动于滑动引导装置49,如图13所示,在接近停在物品移载位置的移动车3的接近位置把物品支承体42操作至物品保管用位置,如图14所示,在从移动车3离开的离开位置把物品支承体42操作至物品保管用位置。
上述被操作体56,包括:摆动体59,配设在固定框体48的上方侧,并绕上下轴心相对于固定框体48摆动自如;和辊体60,配设在该摆动体59的一端部并绕上下轴心旋转自如。另外,摆动体59,枢轴支承连结于支承体62,并绕上下轴心相对于该支承体62摆动自如地设置,其中该支承体62的中央部分设在固定框体48的上端部。再者,枢轴支承连结摆动体59的支承体62设在连结体61上,该连结体61在连结一对侧面框部48b的上端部彼此的板状连结体61中,靠近停在物品移载位置的移动车3一侧。另外,支承体62,以其纵长方向沿着相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向的姿势,配设在固定框体48中邻接于一对侧面框部48b的一方内侧的位置。
上述被操作体56,配设在物品支承体42的导轨2纵长方向中的宽度内,其中物品支承体42位于物品保管用位置。因此,作为导轨2纵长方向中的物品支承体42的设置空间,确保只设置比容器5的宽度稍微大一些的一对固定框体48的空间即可,在导轨2的纵长方向,可以减小物品支承体42的设置空间。因此,可以在导轨2的纵长方向的小空间,并列设置多个物品支承体42,所以可以节省空间,同时可以保管多个容器5。
另外,在固定框体48上,设置联动装置63,使被操作体56的运动和物品支承体42的运动联动,在被操作体56位于接近位置时,物品支承体42位于物品保管用位置,在被操作体56位于离开位置时,物品支承体42位于物品交接用位置。该联动装置63,具有:绕上下轴心摆动自如的第一连杆臂65、第二连杆臂66、和第三连杆臂67三个连杆臂,构成为使被操作体56的摆动体59的运动和立设在物品支承体42的第三板状体46上的联动用被操作体64的运动联动。
上述第一连杆臂65的一端部枢轴支承连结于被操作体56的摆动体59的一端部,并且另一端部枢轴支承连结于第二连杆臂66纵长方向的中途部分。第二连杆臂66的一端部枢轴支承连结于支承体62,并且另一端部枢轴支承连结于第三连杆臂67的一端部。第三连杆臂67的另一端部枢轴支承连结于联动用被操作体64。
上述弹性体57,例如是螺旋弹簧,其一端固定在距离停在物品移载位置的移动车3远的一侧的连结体61上,而且其另一端固定在第二连杆臂66上。另外,通过由弹性体57把第二连杆臂66向离开停在物品移载位置的移动车3的一侧施力,从而对被操作体56向接近位置回复施力,对物品支承体42向物品保管用位置回复施力。
再者,在移动车3上,设置具备作为按压式操作部的按压操作部58的操作机构35,该按压操作部58通过向从移动车3突出一侧的移动,从接近位置向离开位置按压被操作体56,并且通过向退回移动车3的一侧的移动,由弹性体57的作用力使被操作体56从离开位置向接近位置回复移动。
另外,如图15所示,按压操作部58在前后一对纵框体22之间设在把持部4的旁侧,配设在移动车3中的前后宽度内。这样,把设在移动车3一侧的按压操作部58容纳在移动车3中的前后宽度内,并且把设在固定框体48一侧的被操作体56容纳在物品支承体42的导轨2的纵长方向中的宽度内,其中,该物品支承体42位于物品保管用位置,由此可以尽量减小物品支承体42之间的间隔,同时可以把多个物品支承体42设在导轨2的纵长方向,可以有效地把多个物品支承体42设置在小空间内。
上述按压操作部58构成为具备滑动体58b,该滑动体58b通过图外的电动马达等致动器的动作相对于基体58a滑动自如。另外,按压操作部58,通过利用致动器的动作使滑动体58b向从移动车3突出的一侧滑动,由滑动体58b从图13(B)所示的接近位置向图14(B)所示的离开位置按压被操作体56。再者,按压操作部58,通过利用致动器的动作使滑动体58b向退回移动车3的一侧滑动,解除滑动体58b对被操作体56的按压,并利用弹性体57的作用力使被操作体56从离开位置向接近位置回复移动。
说明在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动上述物品支承体42时的动作。
如图11和图13所示,上述被操作体56,借助弹性体57的作用力位于接近位置。在被操作体56位于接近位置时,通过联动装置63的联动,物品支承体42以位于物品保管用位置的状态支承于滑动引导装置49。
另外,在移动体3停在物品移载位置后,按压操作部58利用致动器的动作使滑动体58b向从移动车3突出的一侧滑动移动,由滑动体58b克服弹性体57的作用力而从接近位置向离开位置按压被操作体56。通过该被操作体56从接近位置向离开位置的摆动,联动装置63的第一~第三连杆臂65~67绕上下轴心摆动,向接近停在物品移载位置的移动体3的一侧移动联动用被操作体64。这时,物品支承体42的框体43的轨道部55被引导辊54引导支承,如图12和图14所示,物品支承体42从物品保管用位置滑动至物品交接用位置。
在将上述物品支承体42从物品保管用位置滑动向物品交接用位置移动后,按压操作部58通过致动器的动作使滑动体58b向退回移动车3的一侧滑动,由此解除滑动体58b对被操作体56的按压,这样利用弹性体57的作用力使被操作体56从离开位置向接近位置回复移动。通过该被操作体56从离开位置向接近位置的摆动,联动装置63的第一~第三连杆臂65~67绕上下轴心摆动,向远离停在物品移载位置的移动体3的一侧操作联动用被操作体64。这时,物品支承体42的框体43的轨道部55被引导辊54引导支承,物品支承体42从物品交接用位置滑动至物品保管用位置。
在把容器5保管在上述物品支承体42中的情况下,管理用计算机对台车用控制部发出保管指令,该指令在多个物品支承体42中指定移载对象的物品支承体42的状态下,把容器5保管在物品支承体42中。
上述台车用控制部,首先为了使移动车3停在与移载对象的物品支承体42对应的物品移载位置,进行移动车3的移动控制。然后,台车用控制部,如图12和图14所示,在使移动车3停在与移载对象的物品支承体42对应的物品移载位置的状态下,使按压操作部58的致动器动作,由滑动体58b从接近位置向离开位置按压被操作体56,从物品保管用位置向物品交接用位置移动物品支承体42。然后,台车用控制部,在为了使把持部4从上升位置下降至与物品支承体42接近的位置而进行了把持部4的升降控制后,使把持动作用马达27动作并把一对把持件4a切换至解除姿势,从而把容器5从把持部4交接至位于物品交接用位置的物品支承体42。然后,如图11和图13所示,台车用控制部,在为了使把持部4上升至上升位置而进行了把持部4的升降控制后,使按压操作部58的致动器动作来解除滑动体58b对被操作体56的按压,从而把物品支承体42从物品交接用位置移至物品保管用位置。
在取出保管在上述物品支承体42中的容器5的情况下,管理用计算机对台车用控制部发出取出指令,该指令在多个物品支承体42中指定移载对象的物品支承体42的状态下,取出保管在物品支承体42中的容器5。
上述台车用控制部,与发出保管指令的情况同样,通过移动车3的移动控制、按压操作部58的致动器的动作,从物品保管用位置向物品交接用位置移动物品支承体42。然后,台车用控制部,在为了使把持部4从上升位置下降至与其接近的位置而进行了把持部4的升降控制后,通过把持动作用马达27的动作使一对把持件4a的姿势改为把持姿势,把容器5从物品支承体42接受至把持部4。然后,台车用控制部,在为了使把持部4上升至上升位置而进行了把持部4的升降控制后,通过按压操作部58的致动器的动作,来把物品支承体42从物品交接用位置移至物品保管用位置。
[第3实施方式]
接下来说明第3实施方式中的物品搬送设备,该第3实施方式,针对上述第2实施方式中的固定框体和滑动引导装置而示出了其他实施方式。
以下,基于图16~图21,说明第3实施方式中的固定框体74和滑动引导装置70的构成。关于其他构成省略说明。
在图16中,表示并排四个物品支承体68时的立体图,在图17中,表示从固定框体74取下了物品支承体68的分解立体图。另外,在图18中,表示物品支承体68位于物品保管用位置时的立体图,在图19中,表示物品支承体68位移至物品交接用位置时的立体图。再者,在图20中,表示物品支承体68位于物品保管用位置时的俯视图,在图21中,表示物品支承体68位移至物品交接用位置时的俯视图。
如图17所示,在上述物品支承体68上,设置从该物品支承体68朝向上方延伸的悬吊支承用的悬吊支承体69,滑动引导装置70构成为,支承悬吊支承体69的上端部69c,并使其相对于与物品保管用位置对应设置的固定框体74,沿相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向滑动自如。
上述物品支承体68构成为,在板状的底面体71上配设载置支承容器5的前后一对载置体72,利用定位销W以确定容器5的位置的状态载置支承,其中定位销W分别配设在前后一对载置体72上。再者,在底面体71的两端部,设置限制体73,抵接于容器5的侧面部,来限制在相对于停在物品移载位置的移动车3向接近或远离的方向移动。另外,在底面体71上,以排成多列的方式设置多个孔部71a。
上述悬吊支承体69左右一对设置在物品支承体68的两侧。该一对悬吊支承体69分别具备:下端部69a,连结在物品支承体68的侧面部,且沿相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向延伸;中间部69b,从下端部69a的纵长方向的端部沿上下方向延伸;和上端部69c,从中间部69b的端部沿相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向延伸。另外,一对悬吊支承体69,通过悬吊用连结体81来彼此连结上端部69c。再者,在下端部69a和中间部69b上,在其纵长方向隔开间隔形成多个孔部69d。
上述固定框体74由配置在物品支承体68外侧的一对侧面框部74a构成,在相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向形成为长条状。另外,一对侧面框部74a由框体用连结体80连结,在向停在物品移载位置的移动车3接近的一侧设置框体用第一连结体80a,在远离停在物品移载位置的移动车3的一侧设置框体用第二连结体80b。
上述固定框体74悬吊支承为,由安装配件把安装体77的上端部固定在两个框体用支承体76上,其中安装体77从一对侧面框部74a分别朝向上方延伸设置。上述框体用支承体76,由从顶板部的起吊螺栓75悬吊支承,沿导轨2的纵长方向配设。这样,固定框体74悬吊支承在顶板部,通过把安装体77安装在框体用支承体76上,或从框体用支承体76取下安装体77,可以一个个地设置或去除固定框体74。因此,在把物品处理用的各种装置搬入或搬出物品处理部1中时,可以通过去除需要数量的固定框体74,可以使固定框体74不妨碍搬入或排出各种装置,而且,可以容易进行该固定框体74的去除作业和之后的固定框体74的设置作业。上述滑动引导装置70包括:轨道部78,形成在固定框体74上;和引导辊79,形成在悬吊支承体69的上端部69c且由轨道部78引导,从而滑动自如地支承悬吊支承体69的上端部69c。
上述轨道部78分别设在固定框体74的一对侧面框部74a上。上述引导辊79包括以下三种引导辊:第一引导辊79a,由轨道部78的上表面部引导;第二引导辊79b,由轨道部78的下表面部引导;和第三引导辊79c,由轨道部78的侧表面部引导。另外,在悬吊支承体69的上端部69c,沿相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向,隔开间隔地各设置两个第一引导辊79a和第二引导辊79b的上下一组引导辊和第三引导辊79c。
与上述第2实施方式相同,在固定框体74上,设有;被操作体82,被支承为相对于停在物品移载位置的移动车3在远近方向移动自如,该被操作体82,联动于滑动引导装置70,在接近停在物品移载位置的移动车3的接近位置把物品支承体68操作至物品保管用位置,在从移动车3离开的离开位置把物品支承体68操作至物品保管用位置。
上述被操作部82设置为摆动自如,且枢轴支承连结于板状的基台90,该基台90纵长方向的中央部配设在框体用第一连结体80a上。另外,基台90配设在侧面框部74a的内侧,被操作体82配设在位于物品保管用位置的物品支承体68的导轨2纵长方向中的宽度内。
另外,在固定框体74上,设置联动装置83,使被操作体82的运动和物品支承体68的运动联动,以便如果被操作体82位于接近位置,则使物品支承体68位于物品保管用位置,并且如果被操作体82位于离开位置,则使物品支承体68位于物品交接用位置。该联动装置38包括:绕上下轴心摆动自如的第一连杆臂85;第二连杆臂86;和第三连杆臂87三个连杆臂,构成为使被操作体82的运动和立设在悬吊用连结体81上的联动用被操作体84的运动联动。
上述第一连杆臂85的一端部枢轴支承连结于被操作体82的一端部,并且另一端部枢轴支承连结于第二连杆臂86纵长方向的中途部分。第二连杆臂86的一端部枢轴支承连结于基台90,并且另一端部枢轴支承连结于第三连杆臂87的一端部。第三连杆臂87的另一端部枢轴支承连结于联动用被操作体84。
上述被操作体82设为,利用绕摆动轴心100的摆动而在接近位置和离开位置之间切换自如,并且在接近位置处被操作体82的前端部82a比摆动轴心100更接近停在物品移载位置的移动车3。另外,在被操作体82的前端部82a设置槽部101,该槽部101在被操作体82位于接近位置的状态下,沿相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向的相交方向,向摆动轴心100的方向延伸,其开口部沿上述远近方向开口。
再者,与上述第2实施方式相同,设置操作部102,通过向从移动体3突出的一侧的移动而从接近位置向离开位置操作被操作体82,并且通过向退回移动体3的一侧的移动而从离开位置向接近位置操作被操作体82,该操作部102设在移动车3中的前后宽度内。
另外,在该第3实施方式中,操作部102构成为推拉式的操作部,具备作为卡合部的卡合辊102a,所述卡合辊102a相对于被操作体82的槽部101接合并脱离自如,且在相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向移动自如,通过卡合辊102a向从移动体3突出的一侧的移动,使卡合辊102a卡合于槽部101,并从接近位置向离开位置推动被操作体82,并且通过卡合辊102a向退回移动体3的一侧的移动,从离开位置向接近位置拉动被操作体82,然后使卡合辊102a脱离槽部101。
如果仔细说明,则被操作体82设在基台90上,且绕摆动轴心100摆动自如,其中该摆动轴心100位于前端部82a和另一端部82b之间,在被操作体82中另一端部82b的端部枢轴支承连结有联动装置83的第一连杆臂85。另外,被操作体82设为,利用绕摆动轴心100的摆动,前端部82a和另一端部82b在相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向上反方向移动。
再者,被操作体82设为,在接近位置,前端部82a接近停在物品移载位置的移动车3,并且另一端部82b离开停在物品移载位置的移动车3,从而成为沿与相对于移动车3远离或接近方向相交的方向的姿势,并且,在离开位置,前端部82a离开停在物品移载位置的移动车3,并且另一端部82b接近停在物品移载位置的移动车3,从而成为沿与相对于移动车3远离或接近方向相交的方向的姿势。
如图20所示,形成在上述被操作体82的前端部82a的槽部101,包括:前端侧直线部分101a、和基端侧直线部分101b,其中,在被操作体82位于接近位置的状态下,前端侧直线部分101a,其前端向相对于停在物品移载位置的移动车3远离或接近的方向开口,基端侧直线部分101b连着该前端侧直线部分101a,且以沿着上述远近方向的相交方向的方式沿被操作体82的纵长方向延伸直至摆动轴心100。
上述操作部102的卡合辊102a,设在操作部102的前端部,并绕上下轴心旋转自如,其中该操作部102设置为相对于移动车3进退自如,卡合辊102a的直径构成为和槽部101的横向宽度大致相等或稍微小于槽部101的横向宽度。
说明上述操作部102和被操作体82的运动。
首先,说明从接近位置向离开位置操作被操作体82的情况,如图20所示,如果被操作体82位于接近位置,则槽部101的前端侧直线部分101a的开口在上述远近方向开口,所以通过卡合部102a向从移动体3突出的一侧移动,使卡合部102a从槽部101的前端侧直线部分101a的开口嵌入槽部101从而与槽部101卡合。另外,通过卡合部102a卡合于槽部101并向从移动体3突出的一侧移动,使卡合部102a一边按压槽部101的侧壁部一边向基端侧直线部分101b移动,从而把被操作体82从接近位置推至离开位置。
接下来说明从离开位置向接近位置操作被操作体82的情况,通过卡合部102a卡合于槽部101并向退回移动体3的一侧移动,使卡合部102a一边按压槽部101的侧壁部一边向前端侧直线部分101a移动,从而把被操作体82从离开位置拉至接近位置。另外,如果被操作体82位于接近位置,则槽部101的前端侧直线部分101a的开口在上述远近方向开口,卡合部102a从槽部101的前端侧直线部分101a的开口脱离槽部101。
再者,设置保持机构103,把物品支承体68保持在物品保管用位置。通过由该保持机构103把物品支承体68保持在物品保管用位置,在物品支承体68位于物品保管用位置时,与操作部102进行推动操作不同,即使对物品支承体68向使其移动至物品交接用位置的一侧作用力,物品支承体68也不会错误地向物品交接用位置一侧移动。
上述保持机构103,包括:限制体104,将被操作体82的摆动方向限制为一个方向;和联动装置83,使物品支承体68和被操作体82联动,并使在对物品支承体68向使其移动至物品交接用位置的一侧作用力时,使被操作体82向受限制体104限制的一侧摆动。
如果详细说明,则由于被操作体82借助操作部102的推动操作而绕摆动轴心100摆动,所以限制体104抵接于被操作体82从而限制被操作体82向操作部102的摆动方向的反方向摆动。如图20和图21所示,通过操作部102的推动操作,使被操作体82向逆时针方向摆动。因此,如图20所示,限制体104以在顺时针方向处于位于接近位置的被操作体82上游侧的方式设在基台90上,如果位于接近位置的被操作体82顺时针摆动,则限制体104抵接于被操作体82从而限制被操作体82顺时针方向的摆动。
如果对位于上述物品保管用位置的物品支承体68作用使其向物品交接用位置侧移动的力,则联动用操作体84向接近停在物品移载位置的移动车3的一侧移动。因此,联动装置83以这样的状态连结被操作体82和联动用操作体84:在物品支承体68位于物品保管用位置时,使第二连杆臂86和第三连杆臂87向离开停在物品移载位置的移动车3的一侧弯曲,由此如果联动用操作体84向接近停在物品移载位置的移动车3的一侧移动,则被操作体82顺时针方向摆动。
这样,利用联动装置83和限制体104,如果对物品支承体68向使其移动至物品交接用位置的一侧作用力,则可以限制被操作体82的摆动从而把物品支承体68保持在物品保管用位置。
说明在物品保管用位置和物品交接用位置之间移动上述物品支承体68时的运动。
如图18和图20所示,被操作体82借助保持机构103保持在接近位置。这时,利用联动装置83的联动,使物品支承体68位于物品保管用位置。
另外,在移动车3停在物品移载位置之后,通过致动器的动作使操作部102向从移动车3突出的一侧滑动,使操作部102的卡合辊102a卡合于槽部101,并推动被操作体82从而使其从接近位置摆动至离开位置。通过该被操作体82从接近位置向离开位置的摆动,联动装置83的第一~第三连杆臂85~87绕上下轴心摆动,向接近停在物品移载位置的移动车3的一侧操作联动用被操作体84,如图19和图21所示,从而把物品支承体68从物品保管用位置变更至物品交接用位置。这时,由于滑动引导装置70滑动自如地支承悬吊支承体69的上端部69c,所以物品支承体68以悬吊支承在固定框体74上的状态从物品保管用位置水平移动至物品交接用位置。
在上述物品支承体68从物品保管用位置变更至物品交接用位置之后,通过致动器的动作使操作部102向退回移动车3的一侧移动,使操作部102的卡合辊102a卡合于槽部101,并拉动被操作体82从而使其从离开位置摆动至接近位置。然后,如果被操作体82位于接近位置,则操作部102的卡合辊102a从槽部101脱离。另外,通过被操作体82从离开位置向接近位置的摆动,联动装置83的第一~第三连杆臂85~87绕上下轴心摆动,向离开停在物品移载位置的移动车3的一侧操作联动用被操作体84,从而使物品支承体68从物品交接用位置移动至物品保管用位置。这时,由于滑动引导装置70滑动自如地支承悬吊支承体69的上端部69c,所以物品支承体68以悬吊支承在固定框体74上的状态从物品交接用位置水平移动至物品保管用位置。
[其他实施方式]
(1)在上述第1和第2实施方式中,例示了按压式的按压操作部37、58作为操作部,在上述第3实施方式中,例示了推拉式的操作部102作为操作部,但是可以适当改变操作部由哪种形式构成。
例如,可以适应拉式的操作部,设置弹性体,将被操作体32、56、82向离开位置回复施力,在向从移动体3突出的一侧移动后,通过使其向退回移动车3的一侧移动,克服弹性体的作用力,从而把被操作体32、56、82从离开位置拉至接近位置,并且通过解除被操作体32、56、82从离开位置向接近位置的拉伸操作,使被操作体32、56、82从接近位置回复移动至离开位置。
(2)在上述第1~第3实施方式中,物品支承体29、42、68设为,在物品交接用位置,与接近上升位置的把持部4之间交接容器5,但是也可以把物品支承体29、42、68设置为,在物品交接用位置,与位于上升位置的把持部4之间交接容器5。在该情况下,物品交接用位置高于物品保管用位置,支承机构升降自如地支承物品支承体29、42、68。
再者,关于在物品交接用位置处物品支承体29与把持部4之间交接容器5的位置,不限于接近上升位置或上升位置,也可以是比上升位置低设定高度的位置。在该情况下,在物品支承体29位于物品交接用位置的状态下,通过使把持部4从上升位置下降设定高度,可以在物品支承体29与把持部4之间交接容器5。
(3)在上述第1~第3实施方式中,沿导轨2并列设置了多个物品支承体29、42、68,但是关于物品支承体29、42、68的设置数量可以适当改变。再者,关于物品支承体29、42、68的设置位置,虽然设在导轨2的左右两侧,但是也可以只设在导轨2的一侧。
(4)在上述第1~第3实施方式中,设置两组按压操作部37、58和操作部102,一个向从移动车3向右侧突出的一侧移动自如,另一个向从移动车3向左侧突出的一侧移动自如,在物品交接用位置和物品保管用位置之间变更配设在导轨2左右两侧的物品支承体29、42、68的位置,但是也可以设置向从移动车3向右侧和左侧突出的一侧移动自如的一个操作部,从而可以在物品交接用位置和物品保管用位置之间移动配设在导轨2左右两侧的物品支承体29、42、68。这时,在第1实施方式中,在设在导轨2两侧的物品支承体29中,在导轨2的纵长方向上与物品支承体29同侧地设置固定框体30。
(5)在上述第1~第3实施方式中,作为移动体,例示了具备把持部4的移动车3,其中所述的把持部4在悬吊有容器5的状态下把持自如,并且相对于移动车3升降自如,但是可以适当改变由怎样的构成保持容器5,例如也可以由只具备夹持部的移动车来实施,其中该夹持部通过从两侧夹入容器5来保持容器5。
附带地提一句,在该情况下,例如,可以在导轨2的旁侧等设置物品移载用的站,并在该站上设置与移动车3之间移载物品的进退式物品移载装置,由此在移动车和站之间进行物品移载。
(6)在上述第1实施方式中,在固体框体30的上端部配置被操作体32,并且在固体框体30的下端部配置连杆装置31,但是也可以与其相反,在固体框体30的下端部配置被操作体32,而在固体框体30的上端部配置连杆装置31。
(7)在上述第1实施方式中,由大径齿轮体39、小径齿轮体40和轴体41构成联动装置38,但是关于联动装置38的构成,可以适当改变,只要使被操作体32的运动和连杆装置31的运动联动,当被操作体32在接近位置时,把物品支承体29操作至物品保管用位置,并且当被操作体32在离开位置时,把物品支承体29操作至物品保管用位置即可。
(8)在上述第1~第3实施方式中,例示了搬送收纳有半导体基板的容器5作为物品的物品搬送设备,但是,可以适当改变搬送的物品。
(9)上述操作部的非碰抵位置,只要是在移动车3的移动方向上离开碰抵位置的位置即可。即,上述操作部的碰抵位置无需处于相对于非碰抵位置从移动车3突出的方向。
Claims (12)
1.一种物品搬送设备,具备:
搬送物品用的移动体,设置为能够沿移动路径移动,并具备物品保持部;
保管物品用的物品支承体,可以在物品交接位置和物品保管位置之间位移,所述物品交接位置用于从上述移动体的上述保持部接受物品,并向上述保持部交出物品;
其特征在于,在上述移动体上设置有操作机构,用于在上述移动体停在与上述物品支承体对应的物品移载位置的状态下,使上述物品支承体在上述物品保管位置和上述物品交接位置之间位移。
2.如权利要求1所述的物品搬送设备,其特征在于,还具备:
支承机构,支承上述物品支承体,使其可以在上述物品保管位置和上述物品交接位置之间位移;
和能够在第1位置和第2位置之间移动的被操作体,
上述被操作体连动连结于上述支承机构,使得在上述第1位置时上述物品支承体位于上述物品保管位置,并且在上述第2位置时上述物品支承体位于上述物品交接位置,
上述操作机构具备操作部,该操作部可以在和上述被操作体碰抵的碰抵位置、与不和上述被操作体碰抵的非碰抵位置之间移动,通过上述操作部向上述碰抵位置的移动而使上述被操作体从上述第1位置位移至上述第2位置,并且通过上述操作部向上述非碰抵位置的移动而使上述被操作体从上述第2位置位移至上述第1位置。
3.如权利要求2所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述支承机构具有连杆装置,该连杆装置能够绕上下轴心相对于与上述物品保管位置对应设置的固定框体摆动。
4.如权利要求2所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述支承机构具有滑动引导装置,该滑动引导装置支承上述物品支承体,使其可以相对于与上述物品保管位置对应设置的固定框体,在相对于停在上述物品移载位置的上述移动体接近或远离的方向上滑动。
5.如权利要求4所述的物品搬送设备,其特征在于,
在上述物品支承体上设有从该物品支承体朝向上方延伸的悬吊支承体,
上述滑动引导装置支承上述悬吊支承体的上端部而使其能够滑动移动。
6.如权利要求2~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述被操作体配设在位于上述物品保管位置的上述物品支承体的上述移动路径的纵长方向的宽度内,
上述操作机构的操作部配设在上述移动体中的前后宽度内。
7.如权利要求2~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
设有用于把上述物品支承体向上述物品保管位置回复施力的施力机构,
上述操作部通过向上述碰抵位置的移动,把上述被操作体从上述第1位置按压操作至上述第2位置,并通过向上述非碰抵位置的移动,借助上述施力机构的作用力把上述被操作体从上述第2位置移动至上述第1位置。
8.如权利要求2~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述被操作体设置为,借助绕摆动轴心的摆动而可以在上述第1位置和上述第2位置之间切换,并且在上述第1位置处成为其前端部比上述摆动轴心更接近停在上述物品移载位置的上述移动体的姿势,
在上述被操作体的前端部,在使接近停在上述物品移载位置的上述移动体的一侧的前端开口的状态下设置槽部,所述槽部在上述被操作体位于上述第1位置的状态下,沿与停在上述物品移载位置的上述移动体远离或接近的方向相交的方向,向上述摆动轴心方向延伸,
上述操作部,具备能够在上述远近方向上移动且能够与上述槽部卡合并脱离的卡合部,通过上述卡合部向上述碰抵位置的移动,使上述卡合部卡合于上述槽部,从而将上述被操作体从上述第1位置推至上述第2位置,并且通过上述卡合部向非碰抵位置的移动,允许上述被操作体从上述第2位置向上述第1位置位移。
9.如权利要求1~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
设有把上述物品支承体保持在上述物品保管位置的保持机构。
10.如权利要求1~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述保持部具有把持部,该把持部可在悬吊物品的状态下把持物品,并且能够相对于上述移动体升降,
上述保持部具有升降操作装置,该升降操作装置使把持部在接近上述移动体的上升位置、和位于设置在上述移动体下方侧的物品移载用站附近的下降位置之间升降移动,
在上述物品交接位置处,上述物品支承体与位于上述上升位置或与其接近的位置的上述把持部之间交接物品。
11.如权利要求1~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
以沿上述移动路径排列的状态设置有多个上述物品支承体。
12.如权利要求1~5的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
上述第1位置和第2位置分别是相对于停在上述物品移载位置的上述移动体来说接近和离开的接近位置以及离开位置。
Applications Claiming Priority (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005-249894 | 2005-08-30 | ||
| JP2005249894 | 2005-08-30 | ||
| JP2005249894 | 2005-08-30 | ||
| JP2006039575A JP4632091B2 (ja) | 2005-08-30 | 2006-02-16 | 物品搬送設備 |
| JP2006-039575 | 2006-02-16 | ||
| JP2006039575 | 2006-02-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1923640A true CN1923640A (zh) | 2007-03-07 |
| CN1923640B CN1923640B (zh) | 2010-09-01 |
Family
ID=37715705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2006101257530A Expired - Fee Related CN1923640B (zh) | 2005-08-30 | 2006-08-29 | 物品搬送设备 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7780020B2 (zh) |
| JP (1) | JP4632091B2 (zh) |
| KR (1) | KR101127021B1 (zh) |
| CN (1) | CN1923640B (zh) |
| DE (1) | DE102006036095B4 (zh) |
| NL (1) | NL1032232C2 (zh) |
| SG (1) | SG130176A1 (zh) |
| TW (1) | TWI344438B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102470985A (zh) * | 2009-11-27 | 2012-05-23 | 株式会社大福 | 顶棚输送车 |
| CN102067299B (zh) * | 2008-04-09 | 2013-09-04 | 株式会社大福 | 物品搬送设备 |
| CN114291739A (zh) * | 2020-10-07 | 2022-04-08 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车及桥式输送车中的卷取滚筒的旋转量计算方法 |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8272827B2 (en) * | 2005-11-07 | 2012-09-25 | Bufano Michael L | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
| JP4849331B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-01-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP5041207B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-10-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP2008195471A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
| JP4378655B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
| JP4378656B2 (ja) | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP4389181B2 (ja) | 2007-03-07 | 2009-12-24 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
| US20080240892A1 (en) * | 2007-03-28 | 2008-10-02 | International Business Machines Corporation | Storage buffer device for automated material handling systems |
| KR101409524B1 (ko) * | 2007-05-28 | 2014-06-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 |
| DE102007035839B4 (de) * | 2007-07-31 | 2017-06-22 | Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg | Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen |
| DE102008059711A1 (de) * | 2008-11-29 | 2010-06-10 | Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung |
| DE102009029314A1 (de) * | 2009-01-29 | 2010-08-05 | Robert Bosch Gmbh | Transportvorrichtung |
| JP4807424B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2011-11-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
| JP5083278B2 (ja) * | 2009-06-15 | 2012-11-28 | 村田機械株式会社 | 装置前自動倉庫 |
| JP2011035022A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送車 |
| JP5429570B2 (ja) * | 2010-03-08 | 2014-02-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP5765549B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2015-08-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
| DE102011015138B4 (de) | 2011-03-17 | 2014-05-08 | SSI Schäfer PEEM GmbH | Hängeförder-Transporttasche und Verfahren zum automatisierten Entladen der Transporttasche |
| FI123784B (fi) * | 2011-03-25 | 2013-10-31 | Konecranes Oyj | Järjestely kuormauselimen heilahduksen vaimentamiseksi nosturissa |
| US10026044B1 (en) | 2012-09-10 | 2018-07-17 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for arranging an order |
| US9663293B2 (en) * | 2012-10-08 | 2017-05-30 | Amazon Technologies, Inc. | Replenishing a retail facility |
| KR101430666B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2014-08-19 | 주식회사 에스에프에이 | 버퍼 시스템 |
| KR101434951B1 (ko) * | 2013-09-30 | 2014-08-28 | 크린팩토메이션 주식회사 | 흡기형 웨이퍼 천정 보관 장치 및 그를 구비하는 흡기형 웨이퍼 보관 시스템 |
| WO2015104887A1 (ja) * | 2014-01-07 | 2015-07-16 | 村田機械株式会社 | 移載装置及び移載装置の制御方法 |
| JP6149805B2 (ja) * | 2014-06-05 | 2017-06-21 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
| JP6330714B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法 |
| JP6521063B2 (ja) * | 2015-05-01 | 2019-05-29 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン |
| JP6819224B2 (ja) * | 2016-10-31 | 2021-01-27 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
| JP6883655B2 (ja) | 2017-02-03 | 2021-06-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 露光装置 |
| US10406562B2 (en) * | 2017-07-21 | 2019-09-10 | Applied Materials, Inc. | Automation for rotary sorters |
| WO2020031465A1 (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
| KR102090645B1 (ko) * | 2018-08-27 | 2020-03-18 | 엘지전자 주식회사 | 반송 장치 |
| JP7238736B2 (ja) * | 2019-11-13 | 2023-03-14 | 株式会社ダイフク | 物品昇降装置 |
| CN220585205U (zh) * | 2020-10-06 | 2024-03-12 | 应用材料公司 | 载体运输系统、用于基板的载体和用于基板的真空处理的设备 |
| KR102816212B1 (ko) * | 2020-11-02 | 2025-06-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 적재부 및 그것을 포함하는 윈도우 제조 시스템 |
| US11912512B2 (en) | 2021-05-13 | 2024-02-27 | HighRes Biosolutions, Inc. | Overhead labware transport system |
| JP7283500B2 (ja) * | 2021-06-07 | 2023-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| CN115057175B (zh) * | 2022-05-09 | 2024-11-19 | 中铁七局集团第三工程有限公司 | 一种地铁施工深基坑挖掘上料装置 |
| JP2025009152A (ja) * | 2023-07-07 | 2025-01-20 | 株式会社ディスコ | 搬送車 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946903U (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-28 | 株式会社ダイフク | ケ−ス係止具付き格納設備 |
| JPS6031412A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-18 | Kito Corp | スライド式棚におけるスライド棚材移動装置 |
| EP0235488B1 (fr) | 1986-09-19 | 1990-01-24 | REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: | Installation de manutention robotisée |
| DE3714638A1 (de) | 1987-05-02 | 1988-12-01 | Megamat Gmbh & Co | Entlade- und ggf. beladevorrichtung |
| US4971508A (en) * | 1987-06-29 | 1990-11-20 | Tsubakimoto Chain Co. | Storage and conveyance of heavy articles |
| US5332013A (en) * | 1991-03-15 | 1994-07-26 | Shinko Electric Co., Ltd. | Unmanned conveying device in clean room |
| IT1257750B (it) * | 1992-02-24 | 1996-02-13 | Gd Spa | Unita' robottizzata per il trasporto di articoli su pallet |
| ATE170489T1 (de) * | 1993-11-24 | 1998-09-15 | Schenck Handling Systems Gmbh | Vorrichtung zum ein-oder aus-lagern bzw. umstapeln von trägern für fördergut |
| JP3436334B2 (ja) * | 1996-08-06 | 2003-08-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP3622101B2 (ja) * | 1997-03-13 | 2005-02-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
| AU6996498A (en) * | 1997-06-06 | 1998-12-10 | Park Plus Incorporated | Vehicle handling system |
| US5927472A (en) * | 1997-10-15 | 1999-07-27 | Eisenmann Corporation | Conveyor transfer unit |
| US6481558B1 (en) * | 1998-12-18 | 2002-11-19 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated load port-conveyor transfer system |
| TW514618B (en) * | 2000-04-12 | 2002-12-21 | Samsung Electronics Co Ltd | A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
| US20020025244A1 (en) * | 2000-04-12 | 2002-02-28 | Kim Ki-Sang | Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
| JP3991852B2 (ja) * | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
| JP4045451B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
| JP4337683B2 (ja) * | 2004-08-16 | 2009-09-30 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| JP4296601B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2009-07-15 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
| JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
| US20080240892A1 (en) * | 2007-03-28 | 2008-10-02 | International Business Machines Corporation | Storage buffer device for automated material handling systems |
-
2006
- 2006-02-16 JP JP2006039575A patent/JP4632091B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-25 NL NL1032232A patent/NL1032232C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2006-07-26 TW TW095127298A patent/TWI344438B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-08-02 DE DE102006036095A patent/DE102006036095B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-22 US US11/508,120 patent/US7780020B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-23 KR KR1020060080021A patent/KR101127021B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-29 CN CN2006101257530A patent/CN1923640B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-29 SG SG200605897-8A patent/SG130176A1/en unknown
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102067299B (zh) * | 2008-04-09 | 2013-09-04 | 株式会社大福 | 物品搬送设备 |
| CN102470985A (zh) * | 2009-11-27 | 2012-05-23 | 株式会社大福 | 顶棚输送车 |
| CN102470985B (zh) * | 2009-11-27 | 2015-07-22 | 株式会社大福 | 顶棚输送车 |
| CN114291739A (zh) * | 2020-10-07 | 2022-04-08 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车及桥式输送车中的卷取滚筒的旋转量计算方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7780020B2 (en) | 2010-08-24 |
| JP4632091B2 (ja) | 2011-02-16 |
| DE102006036095B4 (de) | 2013-06-13 |
| TW200716462A (en) | 2007-05-01 |
| NL1032232C2 (nl) | 2007-09-25 |
| KR20070026031A (ko) | 2007-03-08 |
| KR101127021B1 (ko) | 2012-03-26 |
| CN1923640B (zh) | 2010-09-01 |
| TWI344438B (en) | 2011-07-01 |
| US20070059131A1 (en) | 2007-03-15 |
| NL1032232A1 (nl) | 2007-03-01 |
| JP2007091463A (ja) | 2007-04-12 |
| DE102006036095A1 (de) | 2007-03-01 |
| SG130176A1 (en) | 2007-03-20 |
| IE20060643A1 (en) | 2007-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1923640A (zh) | 物品搬送设备 | |
| CN1911762A (zh) | 物品输送装置 | |
| CN1572709A (zh) | 输送装置 | |
| KR101227918B1 (ko) | 천정반송차 | |
| JP6064940B2 (ja) | 物品搬送車 | |
| KR101666121B1 (ko) | 기판 유지 장치 | |
| US9682414B2 (en) | Plate material conveyance apparatus with temporary placement table | |
| CN1506257A (zh) | 天车系统 | |
| CN101181957B (zh) | 物品输送设备 | |
| CN1950275A (zh) | 药品供给系统 | |
| CN1868833A (zh) | 物品收纳设备及其控制方法 | |
| CN1607163A (zh) | 基片容纳托盘平板架及基片传送系统 | |
| CN1950279A (zh) | 药品托盘供给装置 | |
| CN101259918A (zh) | 物品搬送设备 | |
| JP2020021795A (ja) | 搬送システム | |
| CN101181956A (zh) | 物品输送设备 | |
| KR101773272B1 (ko) | 엔드 이펙터 장치 | |
| JP2008200744A (ja) | ディスタックフィーダ | |
| JP2010168152A (ja) | 基板取出装置及び基板取出システム | |
| CN1880193A (zh) | 物品运送设备及其操作方法 | |
| CN112124981B (zh) | 供料装置及其供料方法 | |
| CN1086980C (zh) | 加热吹制成形装置及加热吹制成形方法 | |
| CN101035725A (zh) | 基板输送装置 | |
| TW201111256A (en) | System for keeping and supplying substrate | |
| CN1699127A (zh) | 托板搬运装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100901 Termination date: 20180829 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |