CN1783421A

CN1783421A - 准分子灯装置

Info

Publication number: CN1783421A
Application number: CNA2005101286115A
Authority: CN
Inventors: 广濑贤一
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2004-11-22
Filing date: 2005-11-22
Publication date: 2006-06-07
Anticipated expiration: 2025-11-22
Also published as: JP2006147928A; KR100891243B1; TW200618034A; KR20060056846A; JP4453527B2; TWI365478B; CN100561662C

Abstract

本发明提供一种准分子灯装置，去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗而简化装置结构，可实现低成本化，而且避免配置于灯端部近旁的供电部件暴露在活性氧气中来防止氧化，并可减少该部件的劣化和破损的发生。一种准分子灯装置，具备通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯，及收容该准分子灯的灯罩；在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口，通过该开口，灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间相连通；其特征在于，在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部；在灯罩内部，设有分隔形成有供电结合部的灯端部区域和灯罩内部空间的分隔部件。

Description

准分子灯装置

技术领域

本发明涉及一种具备通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯、及收容该准分子灯的灯罩的准分子灯装置。

背景技术

例如在装载了由专利文献1等可知的准分子灯的准分子灯装置中，将从准分子灯放射的、小于等于200nm的紫外光照射到被处理物表面，通过产生的臭氧与透射的紫外光的相辅相乘效果，分解飞溅被处理物表面的有机物等来进行清洗。

图8表示该准分子灯装置的概略构成图，在灯罩90内部配置有准分子灯91，在该灯罩90下面设有开口而密封地设置有对紫外光具有透射性的光输出窗M。在准分子灯装置的下部形成处理被处理物W的处理室92，灯罩90的内部空间与处理室内部空间P的空间由光输出窗M被气密地划分，构成为准分子灯91的放射光经由该光输出窗M射出。在处理室92内具备未图示的被处理物搬运机构，玻璃基板等的工件W通过相关搬运机构搬运。

从准分子灯91放射的紫外光，在使用氙气作为放电气体的情况下，放出波长172nm的光。这种短波长的紫外光有效率地取出至外部，因此光输出窗M需要对200nm以下的紫外线具有高透射性，一般使用合成石英玻璃。此外，在灯罩90内，为了防止紫外光损失而填充氮等惰性气体，维持着氧气浓度较低的状态。

在上述准分子灯装置中，随着被处理物的液晶显示装置的玻璃基板的大型化，强烈要求可以进行大面积的处理的、照射面积的增大。因此，由划分灯罩和被照射区域用的石英玻璃构成的光输出窗也需要大的部件，还需要大量用于填充灯罩内的惰性气体，而导致装置的高成本化或生产效率的下降。

从这种观点，提出了一种为了低成本化不设置光输出窗，而使得准分子灯与被照射区域相邻而配置的装置(参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开平11-138490号公报

专利文献2：日本特开平2004-113984号公报

图9是在图8所示的准分子灯装置中，不设置划分灯罩与被照射区域的光输出窗W而简化结构，实现低成本化的装置的一例，是放大表示准分子灯91的端部的截面图。

在该图中，准分子灯91同轴配置了不同直径的外侧管912与内侧管913，具备管两端部被封闭的大致圆筒形状的放电容器911，在外侧管912的外周面上配置有由金属线构成的网状外侧电极914，在内侧管913的内周面上配置有由金属板构成的内侧电极915。内侧电极915组合两个半圆筒形状的金属板而构成，供电端子连接成与内侧电极915内接，并通过引线93被拉出。在灯罩90的上部设有电源部(未图示)，引线916端部的插头94与插口95连接而构成连接器。

在图9的准分子灯装置中，灯罩90内部与处理室内部空间P之间处于相连通的状态，因此在处理室内部空间P中产生的高浓度臭氧流进灯罩90内部，臭氧与反应性高的活性氧相比较，例如在空气中的半衰期存在大于等于12小时，因此在灯罩90内部自由流动，此外，由自然分解、光和热引起的分解而恢复为氧气时，则在该处生成活性氧。

因此，在灯罩的构成部件中，由金属构成的部件有可能因高浓度的臭氧、或反应性更高的活性氧的作用而氧化，所以对金属部件的金属部件表面上实施抗氧化处理。

然而，在准分子灯91的供电端子96和内部电极915的连接面和连接器94、95的连接面等的供电部件的连接面上，为了维持电连接而必须露出金属表面，而无法进行抗氧化处理。因此，当由于上述活性氧的作用而使供电部件氧化，则电阻值变大而发热，引线93断线，或供电端子96和连接器94，95部分被腐蚀而不能取下来的问题。即使使用镍或镍合金等抗氧化性金属材料的情况下，也通过反应生成高的活性氧来氧化，而产生上述问题。

此外，当从氧化的部件飞溅氧化物的粉末时；侵入处理室内部空间P，有可能污染工件W表面。

还有，在上述准分子灯装置中，灯罩90内部未填充惰性气体，因此，从准分子灯91放射的紫外光照射灯罩90，在该灯罩90内部与氧气反应，会重新生成臭氧和活性氧，或是臭氧被分解而生成活性氧。由于产生这种现象，促使供电部件的氧化，而进行劣化、破损。

发明内容

本发明是鉴于上述事项而做出的，其目的在于，提供一种准分子灯装置，去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗而简化装置结构，可实现低成本化，而且避免在活性氧中暴露配置于灯端部附近的供电部件来防止氧化，并可降低该部件的劣化和破损的发生。

本发明是为了实现上述目的，一种准分子灯装置，具备：通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯、及收容该准分子灯的灯罩；在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口，灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间通过该开口相连通；其特征在于，在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部；在灯罩内部，设有将形成有供电结合部的灯端部区域与灯罩内部空间分隔的分隔部件。

此外，其特征在于，上述分隔部件对紫外光具有遮光性。

此外，其特征在于，在上述准分子灯的放电容器的端部形成有紫外光的遮光膜。

此外，其特征在于，在灯端部区域的内部，设有臭氧分解物质。

此外，其特征在于，在上述灯罩的灯端部区域具备流入、或填充惰性气体的气体供给机构。

此外，其特征在于，具备用于检测上述灯端部区域内的压力与处理室内部空间内的压力或大气压的压力检测机构、及控制机构；上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，向气体供给机构发送控制信号，以使灯端部区域内的压力为始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的状态。

此外，其特征在于，具备用于检测上述灯端部区域内的压力和处理室内部空间内的压力或大气压的压力检测机构、及控制机构；上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，在灯端部区域内的压力始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的情况下，将点亮上述准分子灯的信号，发送到灯点亮电源。

此外，对通过搬运机构搬运来的被处理物照射准分子光的准分子灯装置，其特征在于，具备用于检测上述灯端部区域内的压力与处理室内部空间内的压力或大气压的压力检测机构、及控制机构；上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，在灯端部区域内的压力始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的情况下，将可搬运被处理物的信号，发送到上述搬运机构。

发明效果

依照本案发明可产生以下的效果。

(1)去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗，而简化装置结构，可以实现低成本化。此外，也能够容易实现增大照射面积，以便可以进行更大面积的处理。

(2)在灯罩的内部，利用分隔部件来分隔形成有供电结合部的准分子灯的端部区域，因而对处理室内部空间产生的高浓度臭氧在准分子灯端部的供电结合部附近流动进行限制，可以避免在由臭氧生成的活性氧中暴露供电部件而被氧化的情形。因此，可以抑制供电部件的劣化和破损的发生，而形成高可靠性的准分子灯装置。

(3)此外，分隔部件对紫外光具备遮光性，从而可以抑制从准分子灯放射的紫外光照射形成有供电结合部的准分子灯的端部附近，而可以避免在灯端部区域重新形成臭氧或活性氧。

(4)此外，在灯罩的形成有供电结合部的灯端部区域流入、填充惰性气体，则可以确实地防止臭氧流入该灯端部区域，而可有效果地避免在由臭氧生成的活性氧中暴露供电部件。

附图说明

图1是表示本案发明的一实施方式的图，沿灯的管轴方向截断的截面图；

图2是表示本案发明的一实施方式的图，以图1中的A-A’截断的截面图；

图3是说明准分子灯的结构的图，(a)是灯的管轴方向截面图，(b)是垂直于管轴的方向的截面图；

图4(a)及图4(b)是表示准分子灯装置概略的模式图；

图5是表示其他实施方式的准分子灯装置的灯管轴方向截面图；

图6是表示另一实施方式的准分子灯装置的灯管轴方向截面图；

图7是表示灯的结构的图；(a)是管轴方向截面图；(b)是垂直于管轴的方向的截面图；

图8是表示以往的准分子灯装置的结构的说明图；

图9是表示准分子灯装置的一例的图，放大表示灯供电部侧的端部的图。

具体实施方式

图1是表示本发明的准分子灯装置，放大表示灯端部的截面图；图2图是A-A’截面图。该准分子灯装置1具备：整体为长方体形状的箱型灯罩10、配置成与处理室内部空间P相邻的准分子灯20；该装置1通过基座41设置在处理室40。处理室40具备传送机等未图示的搬运机构，搬入或搬出玻璃基板等的工件W。此外，在处理室40的下部设有用于向外部排出处理工件W之际产生的氧化物等的排气导管42，在该处理室40上部，设有可以向处理室供给气体的气体供给口43。

在灯罩10的下面设有开口，经由该开口，灯罩10的内部空间H与处理室内部空间P相连接。如图2图所示地准备多个(例如3个)准分子灯20，在灯罩10内配置成灯管轴相互平行。当从准分子灯20放射紫外光时，小于等于200nm的紫外光直接照射到工件W的表面，与存在于处理室内部空间P内的氧气反应而生成臭氧，通过紫外光的相辅相乘效果，变成可以在工件W表面实施预定的处理。

在图1中，灯罩10具备：构成外壳的侧面部分的框体11；覆盖其上部开口的顶板12；及防止臭氧通过用的分隔部件13，该分隔部件以围绕包含连接器27、28部分的准分子灯20的端部20a、20b周围的方式配置。如图1及图2所示地，分隔部件13包括：准分子灯20贯穿的侧面部131，及在灯罩10的两侧边缘部以堵塞底部的方式设置的底面部132a；在灯罩10内，灯的端部附近的区域T(以下，称为“灯端部区域T”)从灯罩内部空间H划分出，构成为使在处理室内部空间P及灯罩内部空间H中产生的臭氧不会直接流进灯端部区域T。此外，在此所谓“灯端部区域”是形成有供电结合部的区域，该供电结合部包含在准分子灯20端部及连接器27、28等灯外部设置的供电部件。此外，特别地准分子灯20的端部是不形成放电的部分(非发光部)的至少一部分。

在此，参照图3，来说明准分子灯20的结构。图3是拿出图1中表示的准分子灯20来表示的说明用截面图。准分子灯20的放电容器21是将直径不同的外侧管211与内侧管212同轴配置，在管的端面部213a，213b形成为封闭的大致圆筒形状。内侧电极22组合两个例如半圆筒形状的金属板来构成，并配置成添加在内侧管212的内周面上。在外侧管211的外周面上的整个周围配置有由金属线构成的网状的外侧电极23，由此一对电极22，23夹着由放电空间S、内侧管212及外侧管211构成的电介质层而相对置配置。

如图1所示地，在上述准分子灯20中，例如形成为截面C型的、由板簧所成的供电端子24，从内侧以推压状态与内侧电极接触并连接，引线26同与相关的供电端子24连接设置的引线棒25连接，成为被导出到灯外部的状态。在灯罩10的上部设有电源部(省略图示)，插头27与电源部的插口28连接而构成连接器。另一方面，省略图示的引线与外侧电极23连接而接地。此外，在内侧电极22、外侧电极23及供电端子24上，除了供电用的接触部表面以外，覆盖着SiO₂或Al₂O₃等的膜而被抗氧化处理，即使放置在产生臭氧的气氛中，也成为具备充分的耐氧化性的元件。

此外，在该准分子灯20中，以至少覆盖放电容器21的端面部213a，213b的方式，设有对波长小于等于200nm的紫外光具有遮光性的遮光膜29。该遮光膜29a、29b在灯罩内防止紫外光照射到灯端部区域T，例如由TiO₂、CeO₂、ZnO、BN等构成。该遮光膜29a，29b在至少形成供电结合部侧的灯端部设置即可，而不需要在非供电结合部侧的遮光膜(在图1的装置中遮光膜29b)上形成。

如此形成遮光膜29a，对透过灯的放电容器21并入射到灯端部区域T的紫外光进行遮光，防止在灯端部区域T内重新生成臭氧的情形。

分隔部件13以围绕灯端部区域的方式配置，该灯端部区域包含成为准分子灯20的非发光部的端部20a、上述引线26及连接器27、28。如图2所示地，分隔部件13的侧面部131例如将可分割成两片的薄板相抵接而构成，位于灯的非发光部的周围，而在灯罩10的内部空间H划分端部区域T。另一方面，底面部132a设置成能够堵塞侧面部131和框体11之间。在非供电部侧的灯端部不形成供电结合部，因而不需要设置分隔部件，在此，设置对应于基座41的底面部132b，形成与灯罩内部空间H连续的空间。

该分隔部件13可以由例如铝等的金属、陶瓷、玻璃等构成，也可以由对紫外光具有透射性的部件构成。通过设置这种分隔部件13，可以防止向形成有供电结合部的灯端部区域T内的臭氧的侵入。

在此，由对紫外光具有透光性的部件构成分隔部件13的情况下，考虑到有时从灯20放射的紫外光照射灯端部附近的区域，有时与位于灯端部区域T的氧气反应而生成臭氧和活性氧。为了避免这种情形，例如，如果由对紫外光以不具有透过性的部件来构成分隔部件，则紫外光被遮光而可以适当地避免在上述灯端部区域内产生臭氧。该情况下的分隔部件只要是对波长小于等于200nm的紫外光具有遮光性的材料即可。依照这种结构，可以防止紫外光透过灯的发光管而入射到灯端部区域，因而可以防止在该灯端部区域内产生臭氧，或该臭氧分解而产生活性氧、或是从氧气直接产生活性氧的情形。其结果，可以避免构成灯的供电部的金属部件与活性氧接触而产生腐蚀那样的问题。

此外，如果使分隔部件13、特别是侧面部131的处理室侧表面具有反射功能，则能够抑制灯端部附近的照度降低，因而更理想。

由图1及图2可知，在侧面部131的开口部131a，微小间隙d形成于开口边缘部与灯20之间。在准分子灯20的点灯中放电容器21或分隔部件13加热而朝半径方向膨胀的情况下，该间隙d吸收该膨胀分量。此外，灯罩本身也较长，因而朝灯轴方向热膨胀的情况下，也发生变形(弯曲)。用于不会因该变形而对准分子灯施加弯曲力。在这样的间隙d过大的情况下，处理室内部空间P中产生的臭氧容易流进灯端部区域T，因而最好是在可吸收热膨胀分量的范围内较小，例如0.5-5mm的范围，最理想是1～3mm的图范围。

依照上述结构的准分子灯装置1，防止臭氧通过用的分隔部件13以围绕包含连接器27、28的准分子灯20的端部的方式配置，而划分了准分子灯20的端部区域T，因而在处理室内部空间P产生的臭氧不会立即流进灯的端部区域T。即，臭氧无法从处理室内部空间P向灯端部区域T自由地通过，因此，可避免在由臭氧分解/生成的活性氧中暴露构成灯的供电部的金属部件的情形，而可以避免引出部的金属线的断线、端子和连接器部分的腐蚀。

此外，参照图1及图4(a)来对本案发明进行说明。图4(a)是表示准分子灯装置概略的示意图。

在图1中，在框体11设有气体供给口14，构成为由气体供给部可以流入惰性气体。如图4所示地，气体供给部包括电磁阀61与气体供给源62。压力检测机构50检测灯端部区域T内的压力。压力检测机构51检测处理室内部空间P的压力。将该检测值发送到控制部52。在控制部52中，比较灯端部区域T内的压力与处理室内部空间P的压力，当处理室内部空间P的压力较高的情况下，将不可点亮灯的控制信号发送到点灯电源66等。此外，输出用于停止被处理物搬运机构67的信号。并且，向与气体供给源62连接的、由电磁阀或流量调节器等构成的流量调节部61发送控制信号，以使灯端部区域T内部的压力成为例如大于等于大气压的加压状态。流量调节部61根据该控制信号来进行开关或流量调整，从气体供给部60向灯端部区域T供给、填充惰性气体。当灯端部区域T内的压力变得比处理室内部空间P的压力高的情况下，控制部52输出被处理物搬运机构67的可动作信号和可点亮灯的信号。当处理室内部空间P的压力接近于大气压的情况下，压力检测机构51也可以测定灯罩外部的大气压。这是由于检测处理室内部空间P的压力的情况下，由于处理室内部的臭氧等，存在损坏压力检测机构的耐久性的可能性。

代替压力检测机构50、51，设置差压开关就可简单地制作控制电路，该差压开关具有检测两个压力差而该差压超过设定值的情况下输出信号的功能。

如在图1中以箭头所示，过剩地供给到灯端部区域T的惰性气体，通过侧面部131与灯20的间隙d而向灯罩内部空间H流出。在该实施方式中，惰性气体可以通过准分子灯20的内侧管中，因此流过另一边的灯端部区域T，在双方的端部区域，对臭氧的流路可以得到同样的作用效果。通过这种惰性气体的流动，确实地阻止在处理室内部空间P中产生的臭氧通过侧面部131与灯20的间隙d。

从灯与分隔用侧面部之间漏出的惰性气体，具有降低光源与工件间的氧气浓度的作用，而可以提高光的到达量。特别是灯的端部由于来自斜方向的光减少，容易降低工件表面上的光量，降低氧气浓度而可以进行均匀的处理。

此外，在上述装置中，也可以通过气体供给口43而将处理气体导入处理室40内。例如图4(b)是表示具备供给处理气体的气体供给机构的准分子灯装置概略的示意图；由该气体供给部63供给处理气体。此外，在图4(b)中对于与前图图4(a)相同的结构用相同符号表示而省略说明。向处理室内供给处理气体时，处理室内部空间P的压力变动，因此设置压力检测机构51来检测处理室内部空间P的压力并进行控制，使灯端部区域T侧成为压力始终比处理室内部空间P高。具体地，将灯端部区域T的压力的检测信号和处理室内部空间P的压力的检测信号发送到控制部52来比较运算，将控制惰性气体或是处理气体的流量的控制信号，发送到与各气体供给源62、65连接的流量调节部61、64。如此控制，以使灯端部区域T侧始终成为高压力，与上述同样，成为确实地抑制臭氧流进灯端部区域T的情形。当然，代替压力检测机构也可以控制流量调节部61、64，使用差压开关始终保持一定值以上的差压。

此外，在以上所谓处理气体在光CVD中为SiH₄，TEOS等的有机硅类的气体等，在光清洗中为例如N₂与O₂(例如氧气浓度2％)的混合气体等。

此外，可以使用惰性气体作为上述处理气体。如果使惰性气体流入处理室内部空间P，则降低处理室内部的大气气氛的氧气浓度，因此抑制氧气的紫外光的吸收，而可以高效地对工件W照射紫外光，提高处理能力。此外，惰性气体是例如氮气。

这种适当的处理气体，除了从气体供给口43导入气体之外，也可以在灯与灯之间设置喷嘴等而朝工件具有指向性来供给气体。

再参照图1进行实施方式的说明。如该图所示地，也可以在灯端部区域T内的框体11和底面部132的一部分形成臭氧分解物质层15。若在灯端部区域T的内面设置氧分解物质层15，则即使发生臭氧流入灯端部区域T的情况下，臭氧也不会在臭氧分解物质表面被分解而生成活性氧，因而可以避免灯端部区域T内的金属部件氧化。臭氧分解物质层15可以使用例如MnO₂、CuO、TiO₂等的氧化物，或Pt、Pb等的金属和包含的合金。

如图1所示的实施方式那样层状地形成臭氧分解物质的情况，将臭氧分解物质的粉未与适当的粘合剂一起混入溶剂，涂敷形成膏状物来形成膜状而设置，或是选择金属作为臭氧分解物质的情况下，例如也可以通过电镀来形成。

此外，在此将臭氧分解物质层状地形成于框体内面，除这种方式以外，也可以作为丸状或蜂巢结构等的固体物质来配置臭氧分解物质。

图5是表示其他实施方式的、准分子灯装置的灯管轴方向截面图。此外，在该图中省略了处理室部分的图示，对与前面附图中说明的结构相同的结构，以相同符号表示而省略说明。在该实施方式中为如下的例子：在准分子灯的两方端部形成有供电结合部，分隔部件设置在灯的两端侧，而且代替上述的遮光膜29，在灯上装设灯座来进行遮光。

灯座30例如为陶瓷制，通过配置于放电容器的外周面上的密封部件31而安装为包围放电容器21端部。内侧电极与供电端子结构，与前面图1中说明的相同，在该实施方式中，在准分子灯两端形成有供电结合部。与引线棒25连接的引线26，通过设置于灯座30的后端的细管部，经由密封部件31被气密地导出，灯内管部212的内侧空间成为密闭的状态。分隔部件13是由铝构成，在该实施方式中，侧面部由第一侧面部131a、第二侧面部131b构成；在灯的长度方向配置成并列设置两片。此外，底面部132以堵塞第一侧面部131a和框体11之间的方式配置。此外，灯座30的前端以与第二侧面部131b抵接的方式配置，来自灯的放射光通过分隔部件13和灯座30变成完全被遮光的状态。

依照该实施方式，通过第一侧面部131a和第二侧面部131b，划分了灯端部区域T，因而对处理室内部空间或灯罩内部空间H产生的臭氧通过灯端部区域T进行限制。而且，在该实施方式中，形成有两个侧面部而处于被双重遮蔽的状态，可以确实地阻止臭氧通过灯端部区域T。此外，从灯放射出的紫外光，由于第二侧壁部与灯座相抵接而被完全遮光，在灯端部区域T中可以避免重新生成臭氧。

此外，在该实施方式中，惰性气体有可能从设置在框体11的气体供给口14流入灯端部区域T。该情况下，过剩地流进灯端部区域T的气体，流过准分子灯20与第一侧面部131a、或第二侧面部131b之间的间隙而向灯罩内部空间H射出。

图6是表示与上述又不相同的实施方式的装置的放大截面图；在该图中，仅图示形成有供电结合部侧的端部。该实施方式的灯的结构与前面说明的不同，在一支玻璃管中配置有内侧电极，在该玻璃管外配置有外侧电极。在该图中，灯罩的基本结构与前面图5说明的相同。即，灯罩10包括框体11与顶板12。此外，收纳在该灯罩10中的准分子灯70，其端部区域T由防止臭氧通过用的分隔部件13分隔来构成，该分隔部件13包括第一、第二侧面部131a、131b与底面部132；而在处理室内部空间P产生的臭氧不能够立即流过分隔部件13的灯端部区域T。

此外，在框体11设有开口而形成了气体供给口14，构成为可以从这里供给惰性气体。向灯端部区域T供给惰性气体时，维持灯端部区域T内部的压力，使得压力比处理室内部空间P内部高，使惰性气体从第一侧面部131a与准分子灯70之间的微小间隙流过处理室内部空间P内，能够有效果地抑制臭氧被导入灯端部区域T。

在该实施方式中，在第一侧面部131a与第一侧面部131b之间，遮光部件32嵌入灯的周围，对通过上述侧面部131与准分子灯70之间的间隙进来的紫外光进行遮光。另外，在灯的非放电空间侧区域中，在放电容器71的外表面上设有遮光膜29。

接着，详细说明图6的灯的结构。图7是表示说明准分子灯的结构的截面图；(a)是管轴方向的截面图；(b)是垂直于管轴的方向的截面图。

准分子灯70例如由合成石英玻璃构成，具备在内部封入氙气的、直管状的放电容器71；在该放电容器71外表面上附设有半圆筒状外侧电极72，另一方面，在放电容器71的内部设置线圈状内部电极72而构成，而在内部电极73与外部电极72之间施加高频电压。74是用于放电稳定而具备的、由电介质构成的筒管，例如为玻璃管。在该筒管74的内部插入内侧电极73。

在内侧电极73的两端分别连接有由铜构成的金属箔75，在形成于放电容器71的端部的夹紧密封部76中埋设该金属箔75，在放电容器71内悬吊内部电极73，并且放电容器71被密封。在金属箔75的外端部，熔接有外部引线棒77；而该外部引线棒77被取出到放电容器71外部。并且，78是用于限制玻璃管74的半径方向的移动而从放电容器71的内壁朝中心方向突出形成的支柱。

当在内部电极73与外部电极72之间施加电压时，通过放电容器71和玻璃管74产生放电，而激励放电空间内的氙气，生成并放射波长172nm的准分子光。

如图6所示地，供电用引线79的端部与引线棒77的一端部通过熔接连接。插头80插入到电源装置的插口81。

在该准分子灯70中，在内侧电极73外周整个长度方向区域设有由玻璃管74构成的电介质层，因此，在内侧电极73与外侧电极72之间产生的放电在灯的长度方向均匀调整，可以避免放电集中于内侧电极73的一部位而过热熔断的情形，并可稳定地得到均匀的光输出。而且，放电容器71的结构较简单并可以实现轻量化，也容易进行增加长度。

此外，使用这种准分子灯70的情况下，分隔部件13(特别是侧面部131)与灯邻接而配置，因此最好是使用绝缘性部件。使用金属等导电性材料作为侧面部131a，131b的材质时，在内侧电极73的内部引线部73a与侧面部131a，131b之间产生放电，有可能在灯的长度方向无法得到均匀的放电。因此，最好是使用陶瓷、玻璃等的无机绝缘材料，具体地为如氧化铝，贝依雷克斯(登录商标)玻璃那样的耐热强化玻璃。

以上，图6的结构的准分子灯装置也与前面说明的准分子灯装置相同，灯端部区域由分隔板与底面部分隔，因此可以避免处理室内部空间产生的臭氧立即流进灯端部区域，可以避免在臭氧或活性氧中暴露构成灯的供电部的金属部件。此外，其结果，可以有效地抑制供电用的金属部件的氧或腐蚀的进行。

此外，当对从灯所放射的紫外光进行遮光时，也可以避免由存在于灯端部区域内的氧气重新生成臭氧或活性氧。

此外，在灯端部附近，在放电容器的外表面形成遮光膜，则也可防止在放电空间的长度方向内侧发光的紫外光透过灯的放电容器而照射灯端部区域。

此外，在灯端部区域供给、填充惰性气体，就可以确实地抑制处理室内部空间的臭氧流进灯端部区域。

以上，说明了本案发明，不用说本案发明并不限定于上述结构而可以适当变更。例如，准分子灯结构不限定于如上述的图3、图7的结构，而可以适当变更。

Claims

1.一种准分子灯装置，具备：通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯，及收容该准分子灯的灯罩；

在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口，灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间通过该开口相连通；其特征在于，

在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部；

在灯罩内部设有将形成有供电结合部的灯端部区域与灯罩内部空间分隔的分隔部件。

2.如权利要求1所述的准分子灯装置，其特征在于，上述分隔部件对紫外光具备遮光性。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于，在上述准分子灯的放电容器的端部形成有紫外光的遮光膜。

4.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于，在灯端部区域的内部，设有臭氧分解物质。

5.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于，在上述灯罩的灯端部区域，具备流入填充惰性气体的气体供给机构。

6.如权利要求5所述的准分子灯装置，其特征在于，具备用于检测上述灯端部区域内的压力与处理室内部空间内的压力或大气压的压力检测机构、及控制机构；

上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，向气体供给机构发送控制信号，以使灯端部区域内的压力为始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的状态。

7.如权利要求5所述的准分子灯装置，其特征在于，

具备用于检测上述灯端部区域内的压力和处理室内部空间内的压力或大气压的压力检测机构、及控制机构；

上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，在灯端部区域内的压力始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的情况下，将点亮上述准分子灯的信号，发送到灯点亮电源。

8.如权利要求5所述的准分子灯装置，对通过搬运机构搬运来的被处理物照射准分子光，其特征在于，

上述控制机构根据来自上述压力检测机构的检测信号，在灯端部区域内的压力始终比处理室内部空间内的压力或大气压高的情况下，将可以搬运被处理物的信号，发送到上述搬运机构。