CN111856090A

CN111856090A - 探针、检查夹具及检查组件

Info

Publication number: CN111856090A
Application number: CN202010150221.2A
Authority: CN
Inventors: 笹野直哉; 寺西宏真; 酒井贵浩
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2019-04-25
Filing date: 2020-03-06
Publication date: 2020-10-30
Anticipated expiration: 2040-03-06
Also published as: TW202040139A; TWI735164B; JP7620385B2; KR102253399B1; JP2020180889A; KR20200125424A; CN111856090B

Abstract

本发明提供一种探针、检查夹具及检查组件，探针接触可靠性高，检查夹具具备探针，检查组件具备检查夹具。探针具备：弹性部，其可沿着第一方向弹性变形；第一接触部，其设置于弹性部的第一方向的一端；第二接触部，其设置于弹性部的第一方向的另一端。弹性部具有多个横向带部及至少一个弯曲带部。第一接触部及第二接触部各自相对于穿过弹性部的第二方向的中心且沿着第一方向延伸的第一中心线配置于同一侧。从第二方向观察，至少第一接触部的侧面具有相对于穿过第三方向的中心且沿着第一方向延伸的第二中心线不对称的形状。

Description

探针、检查夹具及检查组件

技术领域

本发明涉及一种探针、检查夹具及检查组件。

背景技术

通常，在照相机或液晶面板等电子部件模块中，通常，在其制造工序中，进行导通检查及动作特性检查等。这些检查通过使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接来进行。

作为这样的探针，专利文献1中记载了一种探针。该探针具备能够分别与电子部件的电极端子及被连接电子部件的电极端子接触的一对触头和介于一对触头之间并连接一对触头的曲折部。

专利文献

专利文献1：日本特开2002－134202号公报

发明所要解决的问题

在所述探针中，各触头构成为与电极端子在一个点接触，因此，例如，在各触头的前端附着有非导体的异物的情况下，因该异物而在所述探针与电极端子之间发生导通不良，有时接触可靠性降低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种接触可靠性高的探针、具备该探针的检查夹具及具备该检查夹具的检查组件。

用于解决问题的技术方案

本发明的一例的探针具备：弹性部，其可沿第一方向弹性变形；第一接触部，其设置于所述弹性部的所述第一方向的一端；第二接触部，其设置于所述弹性部的所述第一方向的另一端，所述弹性部具有：沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸并且在所述第一方向隔开间隔配置的多个横向带部、与相邻的所述横向带部连接的至少一个弯曲带部，所述第一接触部及所述第二接触部各自相对于穿过所述弹性部的所述第二方向的中心且沿着所述第一方向延伸的第一中心线配置于同一侧，并具有在与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向相对的一对板面和与所述一对板面交叉的侧面，从所述第二方向观察，至少所述第一接触部的所述侧面具有相对于穿过所述第三方向的中心且沿着所述第一方向延伸的第二中心线不对称的形状。

另外，本发明的一例的检查夹具具备：所述探针；壳体，其内部收纳有所述探针。

另外，本发明的一例的检查组件具备至少一个所述检查夹具。

发明效果

根据所述探针，第一接触部及第二接触部各自相对于穿过弹性部的第二方向的中心且沿着第一方向延伸的第一中心线配置于同一侧。另外，从第二方向观察，至少第一接触部的侧面具有相对于穿过第三方向的中心且沿着第一方向延伸的第二中心线不对称的形状。通过这种结构，例如，若使检查对象物或检查装置的连接端子在与第一接触部接触的状态下，沿着第一方向朝着第二接触部移动，则第一接触部在与检查对象物或检查装置的连接端子接触的状态下，在包括第一方向及第二方向的第一平面上相对于第二接触部旋转，同时在包括第一方向及第三方向的与第一平面交叉的第二平面上相对于第二接触部旋转。即，能够对检查对象物或检查装置的连接端子同时进行两个不同方向的擦拭动作。其结果，例如，即使第一接触部的与连接端子接触的部分附着有非导体的异物，也能够容易地除去该异物，因此，能够实现接触可靠性高的探针。

根据所述检查夹具，利用所述探针能够实现接触可靠性高的检查夹具。

根据所述检查组件，利用所述检查夹具能够实现接触可靠性高的检查组件。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的探针的立体图。

图2具备图1的探针的检查夹具的剖面图。

图3是表示图1的探针的第一接触部的放大侧面图。

图4是表示图1的探针的第一变形例的放大侧面图。

图5是表示图1的探针的第二变形例的放大侧面图。

图6是表示图1的探针的第三变形例的放大侧面图。

附图标记说明

1 检查组件

2 检查夹具

10 探针

20 弹性部

21、22 带状弹性片

23 间隙

24 横向带部

241 接触面

242 肋

25 弯曲带部

30 第一接触部

31 触点部

32 贯通孔

33、34 板面

35 侧面

351 顶点

40 第二接触部

41 主体部

411 接触面

42 连接部

43 触点部

100 壳体

101 收纳部

110 连接端子

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的一例。此外，在下面的说明中，根据需要将使用表示特定方向或位置的术语(例如，包括“上”、“下”、“右”、“左”的术语)，但这些术语用于便于参照附图理解本发明，本发明的技术范围不受这些术语的意思限定。另外，下面的说明只不过是示例，并不意味着限制本发明、其适用对象或其用途。进而，附图仅为示意性的，各尺寸的比率等并不一定与实际尺寸一致。

作为一例，如图1所示，本发明的一实施方式的探针为细长薄板状，具有导电性。如图2所示，该探针10在收纳于绝缘性壳体100的状态下使用，与壳体100一起构成检查夹具2。作为一例，在检查夹具2收纳有多个探针10。

另外，检查夹具2能够构成检查组件1的一部分。例如，如图2所示，在由一对检查夹具2构成检查组件1的情况下，各检查夹具2配置为后述的探针10的各触点部在与探针10延伸的第一方向X交叉(例如，正交)的第二方向Y上相邻。

如图2所示，各壳体100在其内部具有多个收纳部101(图2中仅示出一个)。各收纳部101具有狭缝形状，以分别能够电独立地收纳并保持一个探针10的方式构成。另外，各收纳部101沿着与第一方向X及第二方向Y交叉(例如，正交)的第三方向Z(如图3所示)排成一排且等间隔配置。

如图1及图2所示，各探针10具备可沿着第一方向X弹性变形的弹性部20、分别设置于该弹性部20的第一方向X的两端的第一接触部30及第二接触部40。作为一例，各探针10通过电铸法形成，弹性部20、第一接触部30及第二接触部40沿着第一方向X串联配置且一体构成。

如图2所示，作为一例，弹性部20由相互隔开间隙23配置的多个带状弹性片(在该实施方式中为两个带状弹性片)21、22构成。各带状弹性片21、22具有分别沿着第二方向Y延伸且在第一方向X上隔开间隔配置的多个横向带部24(在该实施方式中为七个横向带部24)和两端与相邻的横向带部24连接的至少一个弯曲带部25(在该实施方式中为六个弯曲带部25)沿着第一方向X交替连接而成的曲折形状。各带状弹性片21、22的第一方向X的两端的横向带部24分别与第一接触部30及第二接触部40连接。

在第一方向X上远离第二接触部40的带状弹性片21的与第一接触部30连接的横向带部24设置有接触面241。该接触面24构成为在探针10收纳于壳体100的收纳部101时，与构成收纳部101的壳体100的内表面接触。在与第一接触部30连接的横向带部24设置有连接各带状弹性片21、22的肋242，避免各带状弹性片21、22间的接触。

如图2所示，第一接触部30及第二接触部40各自相对于弹性部20的第二方向Y的第一中心线CL1配置于同一侧。此外，在该实施方式中，如图2所示，将穿过与第一接触部30连接的横向带部24和与该横向带部24连接的弯曲带部25组合而成的部分的第二方向Y上的最大距离L的中心，且沿着第一方向X延伸的直线作为弹性部20的第二方向Y的第一中心线CL1。

作为一例，第一接触部30具有沿着第一方向X延伸的大致矩形板状，配置于弹性部20的第二方向Y的端部。第一接触部30的第一方向X上的远离弹性部20的端部为在第二方向Y上距离弹性部20的第一中心线CL1最远的位置具有顶点的大致直角三角形状，其顶点构成能够与接触对象物(例如，检查对象物或检查装置)的连接端子110接触的触点部31。在第一接触部30的第一方向X上的靠近弹性部20的端部设置有贯通孔32。该贯通孔32与各带状弹性片21、22间的间隙23连接。

如图3所示，从第二方向Y观察，第一接触部30的与在第三方向Z上相对的一对板面33、34交叉的侧面35具有相对于穿过第三方向Z的中心且沿着第一方向X延伸的第二中心线CL2不对称的形状。详细而言，第一接触部30的侧面35随着在第三方向Z上从一个板面33朝向另一个板面34，而以在第一方向X上远离弹性部20的方式直线地倾斜。此外，图3是从图2的箭头A方向观察第一接触部30的侧面图。

作为一例，第二接触部40具有沿着第二方向Y延伸的主体部41、设置于主体部41的第二方向Y上的一端的连接部42、及设置于主体部41的第二方向Y上的另一端的触点部43。主体部41具有在将探针10收纳于壳体100的收纳部101时与构成收纳部101的壳体100的内表面接触的接触面411。连接部42从主体部41在第一方向X上朝着第一接触部30延伸，与弹性部20的横向带部24连接。触点部43构成为，从主体部41沿第一方向X在远离第一接触部30的方向上延伸，能够与接触对象物的连接端子110接触。

此外，尽管未图出，但第二接触部40的侧面也与第一接触部30的侧面相同，随着在第三方向Z上从一板面朝向另一板面，而以在第一方向X上远离弹性部20的方式直线地倾斜。

接着，说明在使接触对象物的连接端子110在与第一接触部30的触点部31接触的状态下沿第一方向X朝着第二接触部40(即图2及图3的箭头B方向)移动时的探针10的动作。

若使连接端子110在与第一接触部30的触点部31接触的状态下向箭头B方向移动，则弹性部20经由第一接触部30被压缩。此时，第一接触部30及第二接触部40各自相对于弹性部20的第一中心线CL1配置于同一侧(即未配置于弹性部20的第一中心线CL1上)，因此，在与接触对象物的连接端子110接触的状态下，在包括第一方向X及第二方向Y的第一平面(即图2所示的XY平面)上相对于第二接触部40向图2的箭头C方向旋转。另外，第一接触部30的侧面35直线地倾斜，因此，在包括第一方向X及第三方向Z的与第一平面交叉的第二平面(即图3所示的XZ平面)上也相对于第二接触部40向图3的箭头D方向旋转。即能够对接触对象物的连接端子110同时进行两个不同方向的擦拭动作。

这样，在探针10中，第一接触部30及第二接触部40各自相对于穿过弹性部的第二方向的中心且沿着第一方向延伸的第一中心线CL1配置于同一侧。另外，从第二方向Y观察，至少第一接触部30的侧面35具有相对于穿过第三方向Z的中心且沿着第一方向X延伸的第二中心线CL2不对称的形状。通过这种结构，能够对接触对象物的连接端子110同时产生两个不同方向的擦拭动作。其结果，例如，即使在第一接触部30的与连接端子110接触的部分(即触点部31)附着有非导体的异物，也可以容易地除去该异物，因此，能够实现接触可靠性高的探针10。

另外，第一接触部30及第二接触部40各自配置于弹性部20的第二方向Y的端部。通过这种结构，例如，能够增加第一接触部30在第一平面上的相对于第二接触部40的旋转量，提高擦拭性能。

通过这种探针10，能够实现接触可靠性高的检查夹具2。另外，通过具备这种探针10的检查夹具2，能够实现接触可靠性高的检查组件1。

此外，从第二方向Y观察，第一接触部30的侧面35只要具有相对于穿过第三方向Z的中心且沿着第一方向X延伸的第二中心线CL2不对称的形状即可，不限于直线地倾斜。例如，如图4所示，从第二方向Y(即图4的纸面贯通方向)观察，第一接触部30的侧面35可以具有三角形状。在该情况下，三角形状的顶点351配置于在第三方向Z上远离第二中心线CL2的位置(图4中，相对于第二中心线CL2更接近板面34的位置)。

另外，例如，如图5所示，从第二方向Y(即图5的纸面贯通方向)观察，第一接触部30的侧面35也可以具有凹陷的弯曲形状。

另外，例如，如图5及图6所示，从第二方向Y观察，一对板面33、34的各自与侧面35形成的角部36也可以被倒角处理。

这样，第一接触部30的侧面35的形状能够根据探针10的设计等变更。即，能够实现具有设计自由度高的探针10。

从第二方向Y观察，至少第一接触部30的侧面35只要具有相对于第二中心线CL2不对称的形状即可。即，从第二方向Y观察，第二接触部40的侧面也可以具有相对于第二中心线CL2对称的形状。

第一接触部30及第二接触部40各自相对于弹性部20的第一中心线CL1配置于同一侧即可。即，第一接触部30及第二接触部40各自不限于配置于弹性部20的第二方向上的端部的情况，例如，还可以配置于弹性部20的中心线CL1与第二方向上的端部的中间。

弹性部20不限于由多个带状弹性片21、22构成的情况，也可以由一个带状弹性片构成。

第一接触部30的触点部及第二接触部40的触点部各自并不限于一个，还可以设置有多个。即，第一接触部30的触点部及第二接触部40的触点部各自不限于在一个点上与接触对象物的连接端子110接触，还可以在两个点以上与接触对象物的连接端子110接触。

以上，参照附图详细说明了本发明的各种实施方式，但是，最后，说明本发明的各个方面。此外，在下面的说明中，作为一例，也添加有参照符号而记载。

本发明的第一方面的探针10具备：

弹性部20，其可沿着第一方向X弹性变形；

第一接触部30，其设置于所述弹性部20的所述第一方向X的一端；

第二接触部40，其设置于所述弹性部20的所述第一方向X的另一端，

所述弹性部20具有：沿与所述第一方向X交叉的第二方向Y延伸并且在所述第一方向X隔开间隔配置的多个横向带部24、与相邻的所述横向带部24连接的至少一个弯曲带部25，

所述第一接触部30及所述第二接触部40各自相对于穿过所述弹性部20的所述第二方向Y的中心且沿着所述第一方向X延伸的第一中心线CL1配置于同一侧，并具有在与所述第一方向X及所述第二方向Y交叉的第三方向Z相对的一对板面33、34和与所述一对板面33、34交叉的侧面35，

从所述第二方向Y观察，至少所述第一接触部30的所述侧面35具有相对于穿过所述第三方向Z的中心且沿着所述第一方向X延伸的第二中心线CL2不对称的形状。

根据第一方面的探针10，能够对接触对象物的连接端子110同时产生两个不同方向的擦拭动作。其结果，例如，即使在第一接触部30的与连接端子110接触的部分(即触点部31)附着有非导体的异物，也可以容易地除去该异物，因此，能够实现接触可靠性高的探针10。

在本发明的第二方面的探针10中，

所述第一接触部30及所述第二接触部40各自配置于所述弹性部20在所述第二方向Y的端部。

根据第二方面的探针10，例如，能够增加第一接触部30在第一平面上的相对于第二接触部40的旋转量，提高擦拭性能。

在本发明的第三方面的探针10中，

从所述第二方向Y观察，所述侧面35具有三角形状。

根据第三方面的探针10，能够实现设计自由度高的探针10。

在本发明的第四方面的探针10中，

从所述第二方向Y观察，所述一对板面33、34的各自与所述侧面35形成的角部36被倒角处理。

根据第四方面的探针10，能够实现设计自由度高的探针10。

在本发明的第五方面的探针10中，

从所述第二方向Y观察，所述侧面35具有凹下的弯曲形状。

根据第五方面的探针10，能够实现设计自由度高的探针10。

本发明的第六方面的检查夹具2具备：

所述探针10；

壳体100，其内部收纳有所述探针10。

根据第六方面的检查夹具2，利用所述探针10能够实现接触可靠性高的检查夹具2。

本发明的第七方面的检查组件1具备至少一个所述检查夹具2。

根据第七方面的检查组件1，利用所述检查夹具2能够实现接触可靠性高的检查组件1。

此外，可以通过将所述各种实施方式或变形例中的任意实施方式或变形例进行适当组合来实现其各自具有的效果。另外，可以将实施方式相互组合或将实施例相互组合或将实施方式与实施例进行组合，还可以将不同实施方式或实施例中的特征相互组合。

产业上的可利用性

本发明的探针能够适用于例如用于检查照相机设备、USB设备、HDMI设备或QFN设备及SON设备等半导体的检查夹具。

本发明的检查夹具能够适用于例如用于检查照相机设备、USB设备、HDMI设备或QFN设备及SON设备等的半导体的检查组件。

本发明的检查组件能够适用于例如用于检查照相机设备、USB设备、HDMI设备或QFN设备及SON设备等半导体的检查装置。

Claims

1.一种探针，其特征在于，具备：

弹性部，其可沿第一方向弹性变形；

第一接触部，其设置于所述弹性部的所述第一方向的一端；

第二接触部，其设置于所述弹性部的所述第一方向的另一端，

所述弹性部具有：沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸并且在所述第一方向隔开间隔配置的多个横向带部、与相邻的所述横向带部连接的至少一个弯曲带部，

所述第一接触部及所述第二接触部各自相对于穿过所述弹性部的所述第二方向的中心且沿着所述第一方向延伸的第一中心线配置于同一侧，并具有在与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向相对的一对板面和与所述一对板面交叉的侧面，

从所述第二方向观察，至少所述第一接触部的所述侧面具有相对于穿过所述第三方向的中心且沿着所述第一方向延伸的第二中心线不对称的形状。

2.如权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述第一接触部及所述第二接触部各自配置于所述弹性部的所述第二方向的端部。

3.如权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

从所述第二方向观察，所述侧面具有三角形状。

4.如权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

从所述第二方向观察，所述一对板面的各自与所述侧面形成的角部被倒角处理。

5.如权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

从所述第二方向观察，所述侧面具有凹陷的弯曲形状。

6.一种检查夹具，其特征在于，具备：

权利要求1～5中任一项所述的探针；

壳体，其内部收纳有所述探针。

7.一种检查组件，其特征在于，具备至少一个权利要求6所述的检查夹具。