CN111086906A

CN111086906A - 分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法

Info

Publication number: CN111086906A
Application number: CN201911173373.8A
Authority: CN
Inventors: 王胜利; 杨波
Original assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co Ltd
Current assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co Ltd
Priority date: 2019-11-26
Filing date: 2019-11-26
Publication date: 2020-05-01

Abstract

本发明公开了一种分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法。一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，能够相对于视觉系统运动的分选膜设置有放置芯粒的位置标记，位置固定的视觉系统通过所述位置标记确定分选膜运动到放置芯粒的位置；分选膜通过上述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒的位置，所述分选膜沿第一运动路径抵靠于搬运部上的芯粒，使芯粒在对应位置标记处粘附于分选膜；通过采用视觉系统校正位置标记提升粘附芯粒的位置精度。

Description

分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法

技术领域

本发明涉及一种分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法。

背景技术

现有的分选机将芯粒搬运到分选膜上采用步距累加的方式，分选膜每次按照设定的运动量运动，默认每次搬运到分选膜的芯粒按照设定的步距排列；然而，由于分选膜的机械运动存在误差或累计机械误差，设定一个单位的运动值实际运动位置会偏移理想位置，从而造成分选后排布于分选膜的芯粒位置精度差。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提出一种分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法。

本发明的技术方案为：一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，能够相对于视觉系统运动的分选膜设置有放置芯粒的位置标记，位置固定的视觉系统通过所述位置标记确定分选膜运动到放置芯粒的位置。

进一步的，所述位置标记为多个，每个粘附芯粒的位置对应至少一个位置标记。

进一步的，所述位置标记为掩膜板贴合于分选膜产生的。

进一步的，所述位置标记为分选膜上自带的位置标记。

进一步的，所述位置标记为印制在分选膜上的网格线。

进一步的，分选膜放置芯粒的位置对应一个位置标记。

进一步的，视觉系统依次扫描分选膜上的位置标记。

一种芯粒分选方法，分选膜通过上述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒的位置，所述分选膜沿第一运动路径抵靠于搬运部上的芯粒，使芯粒在对应位置标记处粘附于分选膜。

进一步的，所述搬运部能够重复到达位置，使芯粒能够在分选膜上位置标记被粘附。

进一步的，所述搬运部包括第一驱动部、旋转盘和多个吸嘴部；

旋转盘连接于所述第一驱动部，使所述第一驱动部能够带动所述旋转盘旋转；多个吸嘴部沿旋转盘的旋转轴均匀分布于旋转盘。

进一步的，所述多个吸嘴部分别连接有吸附气管，所述旋转盘沿旋转轴往复旋转。

进一步的，所述吸嘴部为两个，所述旋转盘沿旋转轴进行180°往复旋转。

进一步的，所述分选膜抵靠芯粒后，所述吸嘴部由吸附芯粒切换为向芯粒吹气。

进一步的，所述第一运动路径为分选膜向搬运部运动的直线路径。

进一步的，所述分选膜粘附芯粒后沿第一运动路径返回而远离搬运部。

本发明的有益效果在于：通过采用视觉系统校正位置标记提升粘附芯粒的位置精度。

附图说明

图1为本发明视觉系统、分选膜和搬运部运动结构示意图；

图2为分选膜上的位置标记为网格结构示意图；

图3为芯粒粘附于分选膜示意图；

图4为分选膜上的位置标记为间隔排列结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本发明的技术方案，下面将本发明的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1、图2、图3和图4所示，一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，能够相对于视觉系统20运动的分选膜30设置有放置芯粒a的位置标记P；分选膜30连接有运动控制的结构，如将分选膜30粘附于铁环，通过对铁环进行运动控制而对分选膜30进行运动控制；分选膜30上有位置标记P，放置的芯粒a对应该位置标记P放置；所述位置标记P包括但不限于为：“+字形”“T字形”“L字形”，由于视觉系统20带有十字光标，故所述标记P只要有能够与十字光标对应的直角就能够满足分选膜30的对位要求；当然，对于视觉系统20能够识别的其它位置标记P也应该属于本位置标记P能够解释的含义；位置固定的视觉系统20通过所述位置标记P确定分选膜30运动到放置芯粒a对应的位置，位置固定的视觉系统20用于保证视觉系统20只能识别分选膜30上特定位置的位置标记P，从而使分选膜30必须运动到视觉系统20能够读取对应位置标记P，使分选膜30每次粘附芯粒a前必须到达视觉系统20识别的特定位置；通过视觉系统20识别位置标记P校正分选膜30的位置；从而保证分选膜30通过视觉系统20识别位置标记P提升分选膜30到达位置的准确度，所述分选膜30包括但不限于为蓝膜、白膜；所述位置标记P能够间隔设置，即相邻的位置标记P之间有N颗芯粒a（N为正整数），通过视觉系统20对应位置标记P来校正分选膜30粘附N颗芯粒后的累计机械误差。

采用上述技术方案使分选膜30运动的位置能够通过视觉系统20校正，取代常规通过输入机械运动量来控制分选膜30运动的方法，因机械运动误差造成的分选膜30位置准确度不高或累计机械运动误差造成粘附芯粒a位置偏移。

如图1、图2、图3和图4所示，所述位置标记P为多个，每个粘附芯粒a的位置对应至少一个位置标记P；分选膜30上每个粘附芯粒a的位置对应有至少一个位置标记P，从而保证粘附于分选膜30上的每颗芯粒a均有对应的位置标记P校正其位置，从而保证分选膜30上粘附的芯粒a位置精度高。

如图1、图2、图3和图4所示，所述位置标记P为掩膜板50贴合于分选膜30产生的；掩膜板50为带有网格的透明板状，用于将硅片按照设计的路线曝光的模板；所述掩膜板50为该芯粒a对应光刻用的模板。

如图1、图2、图3和图4所示，所述位置标记P为分选膜30上自带的位置标记P；能够通过在分选膜30上印制位置标记P使分选膜30自带位置标记P；为便于该分选膜30用于多种场合，分选膜30的一面印制有位置标记P，从而使分选膜30印制有位置标记P的一侧能够用于分选，没有印制位置标记P的一侧能够用于常规的扩膜。

采用上述技术方案的好处在于：通过在分选膜30上印制位置标记P，简化将分选膜30用于分选的结构；对比采用掩膜板50或其它产生位置标记P的方案更加简单。

如图1、图2、图3和图4所示，所述位置标记P为印制在分选膜30上的网格线；生产制造简单，位置标记P分布均匀可靠；便于视觉系统20识别位置标记P，使分选膜30的一侧具有扩膜的功能，另一侧具有用于分选的位置标记P。

如图1、图2、图3和图4所示，分选膜30放置芯粒a的位置对应一个位置标记P；使放置芯粒a的位置均有位置标记P，从而保证每颗放置的芯粒a均具有位置校正，从而使所有放置的芯粒a位置准确可靠。

如图1、图2、图3和图4所示，视觉系统20依次扫描分选膜30上的位置标记P；获得所有位置标记P的坐标值，从而在移动分选膜30过程中提升运动到相邻位置标记P的位置精度，减小视觉系统20校准过程中分选膜30的移动距离，提升校正位置标记P的效率。

采用上述技术方案，增加每个位置标记P的位置精度；根据不同芯粒a分选后的位置精度要求，可以选择视觉系统20依次或间隔校正位置标记P。

如图1、图2、图3和图4所示，一种芯粒分选方法，分选膜30通过上述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒a的位置，所述分选膜30沿第一运动路径抵靠于搬运部40上的芯粒a，使芯粒a在对应位置标记P处粘附于分选膜30；即通过上述分选膜放置芯粒的位置校正方法并不直接让分选膜30粘附于芯粒a，所述第一运动路径为分选膜30靠近芯粒a，从而使分选膜30粘附芯粒a分为两步，第一步为位置校正，第二步为沿第一运动路径抵靠于搬运部40上的芯粒a；上述第一步为使位置标记P到达由视觉系统20设定的位置，第二步为分选膜30沿特定的第一运动路径到达芯粒a,从而使分选膜30上放置分选芯粒a的位置标记P能够到达芯粒a。

如图1、图2、图3和图4所示，所述搬运部40能够重复到达位置Z，使芯粒a能够在分选膜30上位置标记P被粘附；在上述任意放置芯粒a的位置标记P能够沿第一运动路径到达特定位置的前提下，通过使搬运部40将芯粒a搬运到特定位置，使分选膜30能够将芯粒a粘附，从而保证分选膜30能够将芯粒a粘附于对应的位置标记P处；位置标记P为指示粘附芯粒a的参考标记，并不一定要求芯粒a必须遮盖或沿位置标记P粘附；此处能解释的方案有：将芯粒a沿遮盖位置标记P放置；芯粒a在距离位置标记P特定位置处粘附。

如图1、图2、图3和图4所示，所述搬运部40包括第一驱动部41、旋转盘42和多个吸嘴部43；

旋转盘42连接于所述第一驱动部41，使所述第一驱动部41能够带动所述旋转盘42旋转；多个吸嘴部43沿旋转盘42的旋转轴H均匀分布于旋转盘42；采用多个吸嘴部43均匀分布于旋转盘42使旋转盘42受力均匀，从而减小旋转盘42旋转运动产生的噪音和振动，结构紧凑，占用空间小；此处提供一种搬运部40的技术方案，当然所有能够将芯粒a重复搬运到一特定位置的相同、近似或等同的搬运部40技术方案都应该属于本发明公开或保护的技术方案。

如图1、图2、图3和图4所示，所述多个吸嘴部43分别连接有吸附气管44，所述旋转盘42沿旋转轴H往复旋转；满足吸嘴部43对芯粒a的吸附功能，采用往复旋转的运动方式能够防止多个吸附气管44交缠在一起而影响使用。

如图1、图2、图3和图4所示，所述吸嘴部43为两个，所述旋转盘42沿旋转轴H进行180°往复旋转；本领域技术人员能够采用更多的吸嘴部43，如M个（M为不小于2的正整数），为使旋转盘42受力均匀采用将M个吸嘴部43均匀分布，为了防止吸嘴部43连接的吸附气管44纠缠；以第一个吸附芯粒a位置为0°为例，需要旋转盘42先沿着顺时针或逆时针依次步进旋转360°/M，当到达360°（M-1）/M时，沿逆时针或顺时针退回360°（M-1）/M而回到初始位置。

如图1、图2、图3和图4所示，所述分选膜30抵靠芯粒a后，所述吸嘴部43由吸附芯粒a切换为向芯粒a吹气；保证芯粒a与吸嘴部43分离，防止分选膜30粘性不足将芯粒a从吸嘴部43吸附的问题；同时，吸嘴部43向芯粒a吹气还能够使芯粒a具有一定的动能而粘附于分选膜30，从而增强芯粒a粘附于分选膜30的可靠性。

如图1、图2、图3和图4所示，所述第一运动路径为分选膜30向搬运部40运动的直线路径；运动路径最短，分选效率最高；所述分选膜30粘附芯粒a后沿第一运动路径返回而远离搬运部40，即分选膜30在靠近和远离搬运部40为往复运动；运动路径最短，分选效率最高；分选膜30粘附芯粒a后回到视觉系统20校正位置标记P的位置，需要放置下一颗芯粒a时只需要运动分选膜30使视觉系统20能够校正到下一个位置标记P即可。

以上是本发明的较佳实施例，不用于限定本发明的保护范围。应当认可，本领域技术人员在理解了本发明技术方案后所作的非创造性变形和改变，应当也属于本发明的保护和公开的范围。

Claims

1.一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，其特征在于：能够相对于视觉系统（20）运动的分选膜（30）设置有放置芯粒（a）的位置标记（P），位置固定的视觉系统（20）通过所述位置标记（P）确定分选膜（30）运动到放置芯粒（a）的位置。

2.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为多个，每个粘附芯粒（a）的位置对应至少一个位置标记（P）。

3.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为掩膜板（50）贴合于分选膜（30）产生的。

4.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为分选膜（30）上自带的位置标记（P）。

5.根据权利要求4所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为印制在分选膜（30）上的网格线。

6.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：分选膜（30）放置芯粒（a）的位置对应一个位置标记（P）。

7.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：视觉系统（20）依次扫描分选膜（30）上的位置标记（P）。

8.一种芯粒分选方法，其特征在于：分选膜（30）通过权利要求1-8任意一项所述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒（a）的位置，所述分选膜（30）沿第一运动路径抵靠于搬运部（40）上的芯粒（a），使芯粒（a）在对应位置标记（P）处粘附于分选膜（30）。

9.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述搬运部（40）能够重复到达位置（Z），使芯粒（a）能够在分选膜（30）上位置标记（P）被粘附。

10.根据权利要求9所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述搬运部（40）包括第一驱动部（41）、旋转盘（42）和多个吸嘴部（43）；

旋转盘（42）连接于所述第一驱动部（41），使所述第一驱动部（41）能够带动所述旋转盘（42）旋转；多个吸嘴部（43）沿旋转盘（42）的旋转轴（H）均匀分布于旋转盘（42）。

11.根据权利要求10所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述多个吸嘴部（43）分别连接有吸附气管（44），所述旋转盘（42）沿旋转轴（H）往复旋转。

12.根据权利要求11所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述吸嘴部（43）为两个，所述旋转盘（42）沿旋转轴（H）进行180°往复旋转。

13.根据权利要求10所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述分选膜（30）抵靠芯粒（a）后，所述吸嘴部（43）由吸附芯粒（a）切换为向芯粒（a）吹气。

14.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述第一运动路径为分选膜（30）向搬运部（40）运动的直线路径。

15.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述分选膜（30）粘附芯粒（a）后沿第一运动路径返回而远离搬运部（40）。