CN116982003A

CN116982003A - 感光性树脂组合物

Info

Publication number: CN116982003A
Application number: CN202280019418.XA
Authority: CN
Inventors: 远藤贵文; 石井秀则; 坂口崇洋; 荻野浩司; 星野有辉
Original assignee: Nissan Chemical Corp
Current assignee: Nissan Chemical Corp
Priority date: 2021-03-22
Filing date: 2022-02-25
Publication date: 2023-10-31
Also published as: JP7786452B2; TW202244131A; KR20230160249A; JPWO2022202098A1; WO2022202098A1

Abstract

一种感光性树脂组合物，其包含溶剂和具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。

Description

感光性树脂组合物

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、由该组合物得到的树脂膜、使用该组合物的感光性抗蚀膜、带固化凹凸图案的基板的制造方法、带固化凹凸图案的基板、及具有固化凹凸图案的半导体装置。

背景技术

现有在电子部件的绝缘材料、及半导体装置的钝化膜、表面保护膜、层间绝缘膜等中，使用兼具优异的耐热性、电特性及机械特性的聚酰亚胺树脂。该聚酰亚胺树脂中，以感光性聚酰亚胺前体的形态供给的聚酰亚胺树脂，通过该前体的涂布、曝光、显影、及基于固化的热酰亚胺化处理，能够容易地形成耐热性的凹凸图案覆膜。这样的感光性聚酰亚胺前体与现有的非感光性聚酰亚胺树脂相比，具有能够大幅缩短工序的特征。

专利文献1和专利文献2中提出了含有使用了具有(甲基)丙烯酰氧基的二胺的聚酰胺酸或聚酰亚胺的感光性树脂组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-347404号公报

专利文献2：日本特表2012-516927号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

近年来，在半导体装置中需要高速地传输、处理大容量的信息，因此电信号的高频化不断发展。高频的电信号容易衰减，因此需要降低传输损耗。因此，对半导体装置中使用的树脂要求低介电损耗角正切。

另一方面，具有低介电损耗角正切的树脂存在易碎的趋势，例如在焊料回流工序等热处理工序时，有时无法追随邻接的材料的热膨胀而断裂、或层间密合性降低。因此，对半导体装置中使用的树脂要求高拉伸伸长率。

另外，在形成固化凹凸图案时，利用显影液进行显影，通常使用碱水溶液显影液或有机溶剂显影液。用于得到固化凹凸图案的感光性树脂通过曝光、显影，分为曝光部的感光性树脂溶解于显影液且未曝光部的感光性树脂残留的正型、和未曝光部的感光性树脂溶解于显影液且曝光部的感光性树脂残留的负型。特别是，负型与正型相比分辨率差，但厚膜化、薄膜化容易且可靠性优异，在需要这样的特征的半导体装置的制造中使用。然而，在现有的含有聚酰胺酸的负型感光性树脂中，对碱水溶液显影液的溶解性非常高，因此难以控制溶解速度，有可能难以得到期望的凹凸图案。进而，含有聚酰胺酸的负型感光性树脂与碱水溶液显影液的亲和性高，因此存在显影时容易溶胀、干燥时产生的应力导致形成的凹凸图案容易从基板剥离等技术问题。由此，在含有聚酰胺酸的负型感光性树脂中，溶解速度的控制比较容易，基板剥离的忧虑少的有机溶剂显影是适合的。

因此，需要能够进行有机溶剂显影、在得到的固化膜中具有低介电损耗角正切且具有高拉伸伸长率的感光性树脂组合物。

但是，专利文献1和专利文献2中记载的感光性树脂组合物不能满足所有这些特性。

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供可利用有机溶剂进行显影、在得到的固化膜中具有低介电损耗角正切且具有高拉伸伸长率的感光性树脂组合物、由该组合物得到的树脂膜、使用了该组合物的感光性抗蚀膜、带固化凹凸图案的基板的制造方法、带固化凹凸图案的基板、以及具有固化凹凸图案的半导体装置。

用于解决技术问题的技术方案

本发明人等为了实现上述课题而反复进行了深入研究，结果发现，通过使感光性树脂组合物中含有具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物，可得到能够进行有机溶剂显影、得到的固化膜中具有低介电损耗角正切且具有高拉伸伸长率的感光性树脂组合物，从而完成了本发明。

[1]一种感光性树脂组合物，其包含溶剂和具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。

[2]根据[1]所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应产物为聚酰胺酸或将聚酰胺酸脱水闭环而得到的聚酰亚胺。

[3]根据[2]所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰胺酸至少具有下述式(1)所表示的结构单元，

所述聚酰亚胺至少具有下述式(2)所表示的结构单元。

[化1]

[式(1)中，Ar₁表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar₂表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团。]

[化2]

[式(2)中，Ar₃表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar₄表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团。]

[4]根据[3]所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)中的Ar₂及所述式(2)中的Ar₄为下述式(3)所表示的4价有机基。

[化3]

[式(3)中，X₁及X₂各自独立地表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键。R₁及R₂各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烷基。Y表示下述式(3-1)或(3-2)所表示的2价有机基团。n1及n2各自独立地表示0至3的整数。在R₁为多个的情况下，多个R₁可以相同也可以不同。在R₂为多个的情况下，多个R₂可以相同也可以不同。*表示结合键。]

[化4]

[式(3-1)中，Z₁表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键。R₃及R₄各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烃基。m1表示0至3的整数。n3及n4各自独立地表示0至4的整数。在Z₁为多个的情况下，多个Z₁可以相同也可以不同。在n4为多个的情况下，多个n4可以相同也可以不同。在R₃为多个的情况下，多个R₃可以相同也可以不同。在R₄为多个的情况下，多个R₄可以相同也可以不同。*表示结合键。

式(3-2)中，Z₂表示下述式(4)或(5)所表示的2价有机基团。R₅及R₆各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烃基。n5及n6各自独立地表示0至4的整数。在R₅为多个的情况下，多个R₅可以相同也可以不同。在R₆为多个的情况下，多个R₆可以相同也可以不同。*表示结合键。]

[化5]

[式(4)中，R₇及R₈各自独立地表示氢原子、或可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基。*表示结合键。

式(5)中，R₉及R₁₀各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的亚烷基或可被取代的碳原子数6至10的亚芳基。*表示结合键。]

[5]根据[3]或[4]所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)中的Ar₁及所述式(2)中的Ar₃为下述式(6)所表示的2价有机基团。

[化6]

[式(6)中，Z₃表示醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键或脲键，Z₄表示直接键合、酯键或酰胺键。Z₅表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键。m2表示0至1的整数。R₁₁表示直接键合或可被羟基取代的碳原子数2至6的亚烷基，R₁₂表示氢原子或甲基。*表示结合键。]

[6]根据[5]所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(6)中的Z₃和Z₄为酯键。

[7]根据[5]或[6]所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(6)中的R₁₁为1,2-亚乙基。

[8]根据[1]～[7]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含光自由基聚合引发剂。

[9]根据[1]～[8]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含交联性化合物。

[10]根据[1]～[9]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物用于形成绝缘膜。

[11]根据[1]～[10]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物为负型感光性树脂组合物。

[12]一种树脂膜，其为[1]～[11]中任一项所述的感光性树脂组合物的涂布膜的烧成物。

[13]根据[12]所述的树脂膜，其中，所述树脂膜为绝缘膜。

[14]一种感光性抗蚀膜，其具有基材膜、由[1]～[11]中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂层和覆盖膜。

[15]一种带固化凹凸图案的基板的制造方法，其包含以下工序：

(1)将[1]～[11]中任一项所述的感光性树脂组合物基板上进行涂布，在该基板上形成感光性树脂层，

(2)对该感光性树脂层进行曝光，

(3)对该曝光后的感光性树脂层进行显影，形成凹凸图案，以及

(4)对该凹凸图案进行加热处理，形成固化凹凸图案。

[16]根据[15]所述的带固化凹凸图案的基板的制造方法，其中，所述显影中使用的显影液为有机溶剂。

[17]一种带固化凹凸图案的基板，其是通过[15]或[16]所述的方法制造。

[18]一种半导体装置，其具备半导体元件和设置于该半导体元件的上部或下部的固化膜，该固化膜为由[1]～[11]中任一项所述的感光性树脂组合物形成的固化凹凸图案。

发明效果

根据本发明，可获得可利用有机溶剂进行显影、在得到的固化膜中具有低介电损耗正切且具有高拉伸伸长率的感光性树脂组合物、由该组合物得到的树脂膜、使用了该组合物的感光性抗蚀膜、带固化凹凸图案的基板的制造方法、带固化凹凸图案的基板、以及具有固化凹凸图案的半导体装置。

具体实施方式

(感光性树脂组合物)

本发明的感光性树脂组合物至少包含反应产物和溶剂，进一步根据需要包含其它成分。

＜反应产物＞

反应产物是具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。

反应产物包含具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物和具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物作为构成成分，根据需要，也可以包含其它二胺化合物和其它四羧酸衍生物作为构成成分。

反应产物例如为聚酰胺酸、或将聚酰胺酸脱水闭环而得到的聚酰亚胺。

通过反应产物在构成成分中包含具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物，对包含反应产物的树脂组合物赋予感光性。

反应产物通过在构成成分中包含芳香族二胺化合物和具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物，在得到的固化膜中，可得到低介电损耗角正切及高拉伸伸长率。

在具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物中，2个氨基可以键合于1个芳香族环，也可以分别键合于2个芳香族环。作为芳香族环，可举出芳香族烃环、芳香族杂环等。

需要说明的是，芳香族二胺化合物可以具有未键合氨基的芳香族环。

作为光聚合性基团，例如可举出自由基聚合性基团、阳离子聚合性基团、阴离子聚合性。其中，优选自由基聚合性基团。

作为自由基聚合性基团，例如可举出丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丙烯基醚基、乙烯基醚基、乙烯基等。

从在得到的固化膜中得到更低的介电损耗角正切及更高的拉伸伸长率的方面出发，反应产物优选在构成成分中包含具有3个以上芳香族环的芳香族二胺化合物作为具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物以外的二胺化合物。

作为具有3个以上芳香族环的芳香族二胺化合物中的芳香族环的数量，只要为3个以上就没有特别限定，例如可以为4个以上。作为芳香族环的数量的上限值，没有特别限定，例如可以为8个以下，也可以为6个以下。

关于“3个以上的芳香族环”中的芳香族环的计数方法，将萘环、蒽环这样的2个以上的芳香族环稠合而成的多环芳香族环作为1个芳香族环来计数。因此，萘环作为1个芳香族环来计数。另一方面，联苯环不是稠环，因此作为2个芳香族环来计数。而且，苝环视为2个萘环键合而成的结构，作为2个芳香族环来计数。

作为芳香族环，可举出芳香族烃环、芳香族杂环等。

作为“四羧酸衍生物”中的四羧酸衍生物，例如可举出：四羧酸二酐、四羧酸二卤化物、四羧酸二烷基酯、及四羧酸二烷基酯二卤化物，特别优选四羧酸二酐。

作为具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物，优选具有3个以上芳香族环的芳香族四羧酸衍生物。芳香族四羧酸是指在相同或不同的芳香族环上合计键合4个羧基的化合物。

作为具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物中的芳香族环的数量，只要为3个以上就没有特别限定，例如可以为4个以上。作为芳香族环的数量的上限值，没有特别限定，例如可以为8个以下，也可以为6个以下。

作为具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物相对于构成反应产物的全部二胺化合物的比例，没有特别限定，从得到充分的感光性的观点出发，优选为10～100摩尔％，更优选为50～100摩尔％。

作为具有3个以上芳香族环的芳香族四羧酸衍生物相对于构成反应产物的全部四羧酸衍生物的比例，没有特别限定，从适当地得到本发明的效果的观点出发，优选为20～100摩尔％，更优选为50～100摩尔％。

反应产物优选为聚酰胺酸或将聚酰胺酸脱水闭环而得到的聚酰亚胺。从得到更微细的凹凸图案的观点出发，更优选为将聚酰胺酸脱水闭环而得到的聚酰亚胺。此处，聚酰亚胺的酰亚胺化率不需要必须为100％。酰亚胺化率例如可以为90％以上，可以为95％以上，可以为98％以上。

聚酰胺酸优选至少具有下述式(1)所表示的结构单元。

聚酰亚胺优选至少具有下述式(2)所表示的结构单元。

[化7]

[化8]

<<Ar₁及Ar₃>>

Ar₁及Ar₃是具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，只要发挥本发明的效果，就没有特别限定。需要说明的是，具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团是从具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物中除去2个氨基的残基。

作为光聚合性基团，例如可举出所述的光聚合性基团。

Ar₁及Ar₃优选为下述式(6)所表示的2价有机基团。

[化9]

[式(6)中，Z₃表示醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)或脲键(-NHCONH-)，Z₄表示直接键合、酯键(-COO-)或酰胺键(-NHCO-)。Z₅表示直接键合、醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)、脲键(-NHCONH-)、硫醚键(-S-)或磺酰键(-SO₂-)。m2表示0至1的整数。R₁₁表示直接键合或可被羟基取代的碳原子数2至6的亚烷基，R₁₂表示氢原子或甲基。*表示结合键。]

作为可被羟基取代的碳原子数2至6的亚烷基，例如可举出：1,1-亚乙基、1,2-亚乙基、1,2-亚丙基、1,3-亚丙基、1,4-亚丁基、1,2-亚丁基、2,3-亚丁基、1,2-亚戊基、2,4-亚戊基、1,2-亚己基、1,2-亚环丙基、1,2-亚环丁基、1,3-亚环丁基、1,2-亚环戊基、1,2-亚己基、这些氢原子的至少一部分被羟基替代的亚烷基(例如2-羟基-1,3-亚丙基)等。

作为Z₃，优选酯键。

作为Z₄，优选酯键。

作为R₁₁，优选1,2-亚乙基。

作为式(6)所表示的2价有机基团，例如可举出以下的2价有机基团。

[化10]

式中，*表示结合键。2个结合键例如相对于具有光聚合性基团的取代基位于间位。

<<Ar₂及Ar₄>>

作为式(1)中的Ar₂及式(2)中的Ar₄，只要是具有3个以上的芳香族环且发挥本发明的效果的4价有机基团，就没有特别限定，从适当地得到本发明的效果的观点出发，优选为下述式(3)所表示的2价有机基团。

[化11]

[式(3)中，X₁及X₂各自独立地表示直接键合、醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)、脲键(-NHCONH-)、硫醚键(-S-)或磺酰键(-SO₂-)。R₁及R₂各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烷基。Y表示下述式(3-1)或(3-2)所表示的2价有机基团。n1及n2各自独立地表示0至3的整数。在R₁为多个的情况下，多个R₁可以相同也可以不同。在R₂为多个的情况下，多个R₂可以相同也可以不同。*表示结合键。]

作为R₁及R₂中的可被取代的碳原子数1至6的烷基，例如可举出碳原子数1至6的烷基。作为碳原子数1至6个的烷基，例如可举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等。本说明书中，烷基只要没有特别提及其结构，则可以为直链状，可以为支链状，可以为环状，也可以为他们中的2种以上的组合。

作为可被取代的碳原子数1至6的烷基中的取代基，例如可举出：卤素原子、羟基、巯基、羧基、氰基、甲酰基、卤代甲酰基、磺基、氨基、硝基、亚硝基、氧代基、硫氧基、碳原子数1至6的烷氧基等。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的烷基”的“碳原子数1至6”是指除了取代基以外的“烷基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

[化12]

[式(3-1)中，Z₁表示直接键合、醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)、脲键(-NHCONH-)、硫醚键(-S-)或磺酰键(-SO₂-)。R₃及R₄各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烃基。m1表示0至3的整数。n3及n4各自独立地表示0至4的整数。在Z₁为多个的情况下，多个Z₁可以相同也可以不同。在n4为多个的情况下，多个n4可以相同也可以不同。在R₃为多个的情况下，多个R₃可以相同也可以不同。在R₄为多个的情况下，多个R₄可以相同也可以不同。*表示结合键。

作为R₃、R₄、R₅及R₆中的可被取代的碳原子数1至6的烃基，例如可举出可被取代的碳原子数1至6的烷基、可被取代的苯基。作为取代基，例如可举出：卤素原子、羟基、巯基、羧基、氰基、甲酰基、卤代甲酰基、磺基、氨基、硝基、亚硝基、氧代基、硫氧基、碳原子数1至6的烷氧基等。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的烃基”的“碳原子数1至6”是指除了取代基以外的“烃基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为R₃、R₄、R₅及R₆中的可被取代的碳原子数1至6的烷基的具体例，例如可举出R₁及R₂的说明中例示出的可被取代的碳原子数1至6的烷基。

[化13]

作为R₇及R₈中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基，例如可举出碳原子数1至6的烷基、碳原子数1至6的卤代烷基、苯基、卤代苯基等。作为碳原子数1至6的烷基，例如可举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等。作为碳原子1至6的卤代烷基中的卤素原子，例如可举出：氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。碳原子数1至6的卤代烷基和卤代苯基中的卤代可以是一部分，也可以是全部。

作为R₉及R₁₀中的可被取代的碳原子数1至6的亚烷基中的取代基，例如可举出：卤素原子、羟基、巯基、羧基、氰基、甲酰基、卤代甲酰基、磺基、氨基、硝基、亚硝基、氧代基、硫氧基、碳原子数1至6的烷氧基等。

作为可被取代的碳原子数1至6的亚烷基，例如可举出碳原子数1至6的亚烷基、碳原子数1至6的卤代亚烷基等。作为碳原子数1至6的亚烷基，例如可举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基等。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的亚烷基”的“碳原子数1至6”是指除了取代基以外的“亚烷基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为R₉及R₁₀中的可被取代的碳原子数6至10的亚芳基中的取代基，例如可列举卤素原子、可被卤代的碳原子数1至6的烷基、可被卤代的碳原子数1至6的烷氧基等。需要说明的是，卤代可以是一部分，也可以是全部。

作为亚芳基，例如可举出亚苯基、亚萘基等。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数6至10的亚芳基”的“碳原子数6至10”是指除了取代基以外的“亚芳基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为式(4)所表示的2价有机基团，例如可举出以下式所表示的2价有机基团。

[化14]

式中，*表示结合键。

作为式(5)所表示的2价有机基团，例如可举出以下式所表示的2价有机基团。

[化15]

式中，R₁₃～R₁₅各自独立地表示卤素原子、可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基、或可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷氧基。n13表示0至5的整数。n14及n15各自独立地表示0至4的整数。在R₁₃为多个的情况下，多个R₁₃可以相同也可以不同。在R₁₄为多个的情况下，多个R₁₄可以相同也可以不同。在R₁₅为多个的情况下，多个R₁₅可以相同也可以不同。*表示结合键。

作为R₁₃～R₁₅中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基的具体例，例如可举出碳原子数1至6的烷基、碳原子数1至6的卤代烷基。作为碳原子数1至6的烷基，例如可举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等。作为碳原子1至6的卤代烷基中的卤素原子，例如可举出：氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。碳原子数1至6的卤代烷基中的卤代可以是一部分，也可以是全部。

作为R₁₃～R₁₅中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷氧基的具体例，可举出将可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基作为烷氧基的基团。

作为Ar₂及Ar₄，例如可举出由以下式所表示的4价有机基团。

[化16]

[化17]

式中，*表示结合键。

＜其它结构单元＞

聚酰胺酸也可具有式(1)所表示的结构单元以外的其它结构单元。作为其它结构单元例如可举出下述式(1′)所表示的结构单元。

聚酰亚胺也可具有式(2)所表示的结构单元以外的其它结构单元。作为其它结构单元例如可举出下述式(2′)所表示的结构单元。

[化18]

[式(1′)中，Ar_1′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团或具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_2′表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团或不具有3个以上芳香族环的4价有机基团。其中，Ar_1′为具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团、且Ar_2′为具有3个以上芳香族环的4价有机基团的情况除外。]

[化19]

[式(2′)中，Ar_3′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团或具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_4′表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团或不具有3个以上芳香族环的4价有机基团。其中，Ar_3′为具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团、且Ar_4′为具有3个以上芳香族环的4价有机基团的情况除外。]

作为Ar_1′及Ar_2′的组合，可举出以下的(i)～(iii)的组合。

(i)：Ar_1′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar_2′表示不具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

(ii)：Ar_1′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_2′表示不具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

(iii)：Ar_1′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_2′表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

作为Ar_3′及Ar_4′的组合，可举出以下的(iv)～(vi)的组合。

(iv)：Ar_3′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar_4′表示不具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

(v)：Ar_3′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_4′表示不具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

(vi)：Ar_3′表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，Ar_4′表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团的组合

<<Ar_1′及Ar_3′>>

作为Ar_1′及Ar_3′中的具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，例如可举出Ar₁及Ar₃的说明中例示出的具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团。

作为Ar_1′及Ar_3′中的具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团以外的2价有机基团，没有特别限定，从得到的固化膜中可得到更低的介电损耗正切及更高的拉伸伸长率的方面出发，优选具有3个以上芳香族环的2价有机基团。

作为具有3个以上芳香族环的2价有机基团，没有特别限定，优选为下述式(13)所表示的2价有机基团。

[化20]

[式(13)中，X₂₁及X₂₂各自独立地表示直接键合、醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)、脲键(-NHCONH-)、硫醚键(-S-)或磺酰键(-SO₂-)。R₂₁及R₂₂各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烷基。Y₂₀表示下述式(13-1)或(13-2)所表示的2价有机基团。n21及n22各自独立地表示0至4的整数。在R₂₁为多个的情况下，多个R₂₁可以相同也可以不同。在R₂₂为多个的情况下，多个R₂₂可以相同也可以不同。*表示结合键。]

作为R₂₁及R₂₂中的可被取代的碳原子数1至6的烷基的具体例，可举出R₁及R₂的说明中例示出的可被取代的碳原子数1至6的烷基。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的烷基”的“碳原子数1至6”是指除取代基以外的“烷基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

[化21]

[式(13-1)中，Z₂₁表示直接键合、醚键(-O-)、酯键(-COO-)、酰胺键(-NHCO-)、氨基甲酸酯键(-NHCOO-)、脲键(-NHCONH-)、硫醚键(-S-)或磺酰键(-SO₂-)。R₂₃及R₂₄各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烃基。m21表示0至3的整数。n23及n24各自独立地表示0至4的整数。在Z₂₁为多个的情况下，多个Z₂₁可以相同也可以不同。n24为多个的情况下，多个n24可以相同也可以不同。在R₂₃为多个的情况下，多个R₂₃可以相同也可以不同。在R₂₄为多个的情况下，多个R₂₄可以相同也可以不同。*表示结合键。

式(13-2)中，Z₂₂表示下述式(14)或(15)所表示的2价有机基团。R₂₅及R₂₆各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的烃基。n25及n26各自独立地表示0至4的整数。在R₂₅为多个的情况下，多个R₂₅可以相同也可以不同。在R₂₆为多个的情况下，多个R₂₆可以相同也可以不同。*表示结合键。]

作为R₂₃、R₂₄、R₂₅及R₂₆中的可被取代的碳原子数1至6的烃基的具体例，可举出R₃、R₄、R₅及R₆的说明中例示出的可被取代的碳原子数1至6的烃基。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的烃基”的“碳原子数1至6”是指除取代基以外的“烃基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为R₂₃、R₂₄、R₂₅及R₂₆中的可被取代的碳原子数1至6的烷基的具体例，例如可举出R₁及R₂的说明中例示出的可被取代的碳原子数1至6的烷基。

[化22]

[式(14)中，R₂₇及R₂₈各自独立地表示氢原子、或可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基。*表示结合键。

式(15)中，R₂₉及R₃₀各自独立地表示可被取代的碳原子数1至6的亚烷基或可被取代的碳原子数6至10的亚芳基。*表示结合键。]

作为R₂₇及R₂₈中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基的具体例，可举出R₇及R₈的说明中例示出的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基。

作为R₂₉及R₃₀中的可被取代的碳原子数1至6的亚烷基的具体例，可举出R₉及R₁₀的说明中例示出的可被取代的碳原子数1至6的亚烷基。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数1至6的亚烷基”的“碳原子数1至6”是指除取代基以外的“亚烷基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为R₂₉及R₃₀中的可被取代的碳原子数6至10的亚芳基的具体例，可举出R₉及R₁₀的说明中例示出的可被取代的碳原子数6至10的亚芳基。

需要说明的是，“可被取代的碳原子数6至10的亚芳基”的“碳原子数6至10”是指除取代基以外的“亚芳基”的碳原子数。另外，作为取代基的数量，没有特别限定。

作为式(14)所表示的2价有机基团，例如可举出以下式所表示的2价有机基团。

[化23]

式中，*表示结合键。

作为式(15)所表示的2价有机基团，例如可举出以下式所表示的2价有机基团。

[化24]

式中，R₃₃～R₃₅各自独立地表示卤素原子、可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基、或可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷氧基。n33表示0至5的整数。n34及n35各自独立地表示0至4的整数。在R₃₃为多个的情况下，多个R₃₃可以相同也可以不同。在R₃₄为多个的情况下，多个R₃₄可以相同也可以不同。在R₃₅为多个的情况下，多个R₃₅可以相同也可以不同。*表示结合键。

作为R₃₃～R₃₅中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基的具体例，可举出R₁₃～R₁₅的说明中例示出的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基。

作为R₃₃～R₃₅中的可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷氧基的具体例，可举出将可被卤素原子取代的碳原子数1至6的烷基作为烷氧基的基团。

作为Ar_1′及Ar_3′，例如可举出由以下式所表示的2价有机基团。

[化25]

[化26]

式中，*表示结合键。

作为其它Ar_1′及Ar_3′，例如可举出以下式所表示的2价有机基团。

[化27]

式中，*表示结合键。

<<Ar_2′及Ar_4′>>

作为Ar_2′及Ar_4′中的具有3个以上芳香族环的4价有机基团，例如可举出Ar₂及Ar₄的说明中例示出的具有3个以上芳香族环的4价有机基团。

作为Ar_2′及Ar_4′中的不具有3个以上芳香族环的4价有机基团，例如可举出具有1个或2个芳香族环的4价有机基团或不具有芳香族环的4价有机基团。具有1个或2个芳香族环的4价有机基团，例如来自芳香族四羧酸二酐衍生物。进而，不具有芳香族环的4价有机基团，例如来自脂肪族四羧酸酐衍生物。作为这样的4价有机基团，没有特别限定，例如可举出以下的4价有机基团等。

[化28]

[化29]

式中，*表示结合键。

作为聚酰胺酸的全部结构单元中的式(1)所表示的结构单元的比例，没有特别限定，从得到充分的感光性的观点出发，优选为10～100摩尔％，更优选为50～100摩尔％。需要说明的是，结构单元也是重复单元。

聚酰胺酸具有式(1′)所表示的结构单元的情况下，作为聚酰胺酸的全部结构单元中式(1′)所表示的结构单元的比例，没有特别限定，优选为1～90摩尔％，更优选为1～50摩尔％。

聚酰亚胺的酰亚胺化率不是100％的情况下，聚酰亚胺除了式(2)所表示的结构单元以外，还可以具有式(1)所表示的结构单元。

作为聚酰亚胺的全部结构单元中的式(1)所表示的结构单元与式(2)所表示的结构单元的合计比例，没有特别限定，从得到充分的感光性的观点出发，优选为10～100摩尔％，更优选为50～100摩尔％。

聚酰亚胺具有式(1′)所表示的结构单元及式(2′)所表示的结构单元中的至少任一者时，作为聚酰亚胺的全部结构单元中的式(1′)所表示的结构单元与式(2′)所表示的结构单元的合计比例，没有特别限定，优选为1～90摩尔％，更优选为1～50摩尔％。

作为反应产物的重均分子量，没有特别限定，通过凝胶渗透色谱(以下，在本说明书中简称为GPC)以聚苯乙烯换算测定的重均分子量优选为5,000～100,0000，更优选为7,000～50,000，进一步优选为10,000～50,000，特别优选为10,000～40,000。

＜反应产物的制造方法＞

反应产物是使具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物、具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物、根据需要的其它二胺化合物、与其它四羧酸衍生物反应而获得。

作为反应产物的制造方法，没有特别限定，例如可举出使二胺化合物与四羧酸衍生物反应而得到聚酰胺酸或聚酰亚胺的公知的方法。聚酰胺酸和聚酰亚胺例如可以通过WO2013/157586号公报中记载的公知的方法合成出来。

反应产物的制造例如通过使包含具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物的二胺成分与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物成分在溶剂中进行(缩聚)反应来进行。

作为上述溶剂的具体例，可举出：N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、γ-丁内酯、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基异丁酰胺、二甲基亚砜、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮。另外，在聚合物的溶剂溶解性高的情况下，能够使用甲基乙基酮、环己酮、环戊酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮、或下述式[D-1]～式[D-3]所表示的溶剂。

[化30]

(式[D-1]中，D¹表示碳原子数1～3的烷基，式[D-2]中，D²表示碳原子数1～3的烷基，式[D-3]中，D³表示碳原子数1～4的烷基。)。

这些溶剂可以单独使用，也可以混合使用。进而，即使是不溶解反应产物的溶剂，也可以在反应产物不析出的范围内与上述溶剂混合使用。

使二胺成分与四羧酸衍生物成分在溶剂中反应时，反应能够以任意的浓度进行，优选为1～50质量％，更优选为5～30质量％。反应初期以高浓度进行，然后，也能够追加溶剂。

反应中，二胺成分的合计摩尔数与四羧酸衍生物成分的合计摩尔数之比优选为0.8～1.2。与通常的缩聚反应相同，该摩尔比越接近1.0，生成的反应产物的分子量越大。

在使二胺成分与四羧酸衍生物成分反应的情况下，为了避免光聚合性基团的聚合，可以在反应体系中添加热聚合抑制剂。

作为热聚合抑制剂，例如可举出：氢醌、4-甲氧基苯酚、N-亚硝基二苯胺、对叔丁基邻苯二酚、吩噻嗪、N-苯基萘胺、乙二胺四乙酸、1,2-环己二胺四乙酸、乙二醇二乙醚二胺四乙酸、2,6-二叔丁基-对甲酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基-2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚、2-亚硝基-5-(N-乙基-N-磺丙基氨基)苯酚、N-亚硝基-N-苯基羟胺铵盐、N-亚硝基-N(1-萘基)羟胺铵盐等。

作为热聚合抑制剂的使用量，没有特别限定。

聚酰亚胺是将作为上述反应中得到的反应产物的聚酰胺酸进行脱水闭环而得到。

作为得到聚酰亚胺的方法，可举出将作为上述反应中得到的反应产物的聚酰胺酸的溶液直接加热的热酰亚胺化、或在聚酰胺酸的溶液中添加催化剂的化学酰亚胺化。在溶液中进行热酰亚胺化的情况下的温度为100～400℃，优选为120～250℃，优选一边将通过酰亚胺化反应生成的水除去到体系外一边进行。

上述化学酰亚胺化能够通过在反应中得到的聚酰胺酸的溶液中添加碱性催化剂和酸酐，在-20℃～250℃、优选0℃～180℃进行搅拌来进行。碱性催化剂的量为酰胺酸基的0.1～30摩尔倍，优选为0.2～20摩尔倍，酸酐的量为酰胺酸基的1～50摩尔倍，优选为1.5～30摩尔倍。作为碱性催化剂，可举出吡啶、三乙胺、三甲胺、三丁胺、三辛胺等，其中，三乙胺不易生成作为副产物的聚异酰亚胺，故优选。作为酸酐，可举出乙酸酐、偏苯三甲酸酐、均苯四甲酸酐等，其中，若使用乙酸酐，则反应结束后的纯化变得容易，故优选。基于化学酰亚胺化的酰亚胺化率(也称为闭环的重复单元相对于聚酰亚胺前体所具有的全部重复单元的比例、闭环率)能够通过调节催化剂量和反应温度、反应时间来控制。

在由上述酰亚胺化的反应溶液中回收生成的酰亚胺化物的情况下，只要将反应溶液投入溶剂中使其沉淀即可。作为沉淀中使用的溶剂，可举出：甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、己烷、丁基溶纤剂、庚烷、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、甲苯、苯、水等。投入溶剂中沉淀的聚合物过滤回收后，能够在常压或减压下、常温或加热干燥。

聚酰亚胺的重复单元的一部分或全部闭环。聚酰亚胺中的酰亚胺化率优选为20～99％，优选为30～99％，更优选为50～99％。

聚酰亚胺可以被封端。作为封端的方法，没有特别限制，例如能够使用利用单胺或酸酐的现有公知的方法。

＜溶剂＞

作为感光性树脂组合物中含有的溶剂，从对反应产物的溶解性的方面出发，优选使用有机溶剂。具体而言，可列举：N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基异丁酸酰胺、二甲基亚砜、二乙二醇二甲醚、环戊酮、环己酮、γ-丁内酯、α-乙酰基-γ-丁内酯、四甲基脲、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、N-环己基-2-吡咯烷酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚、2-羟基异丁酸甲酯、乳酸乙酯或下述式[D-1]～式[D-3]所表示的溶剂等，它们能够单独使用或以2种以上的组合使用。

[化31]

溶剂能够根据感光性树脂组合物的期望的涂布膜厚和粘度，相对于反应产物100质量份，例如以30质量份～1500质量份的范围、优选100质量份～1000质量份的范围使用。

＜其它成分＞

实施方式中，感光性树脂组合物可以进一步含有反应产物和溶剂以外的其它成分。作为其它成分，例如可举出：光自由基聚合引发剂(也称为“光自由基引发剂”)、交联性化合物(也称为“交联剂”)、热固化剂、其它树脂成分、填料、敏化剂、粘接助剂、热聚合抑制剂、唑化合物、受阻酚化合物等。

＜＜光自由基聚合引发剂＞＞

作为光自由基聚合引发剂，只要是针对光固化时使用的光源具有吸收的化合物就没有特别限定，例如可举出：过氧化-异丁酸叔丁酯、2,5-二甲基-2,5-双(苯甲酰基过氧基)己烷、1,4-双[α-(叔丁基过氧基)-异丙氧基]苯、二叔丁基过氧化物、2,5-二甲基-2,5-双(叔丁基过氧基)己烯过氧化氢、α-(异丙基苯基)-异丙基过氧化氢、叔丁基过氧化氢、1,1-双(叔丁基过氧基)-3,3,5-三甲基环己烷、4,4-双(叔丁基过氧基)戊酸丁酯、过氧化环己酮、2,2′,5,5′-四(叔丁基过氧基羰基)二苯甲酮、3,3′,4,4′-四(叔丁基过氧基羰基)二苯甲酮、3,3′,4,4′-四(叔戊基过氧基羰基)二苯甲酮、3,3′,4,4′-四(叔己基过氧基羰基)二苯甲酮、3,3′-双(叔丁基过氧基羰基)-4,4′-二羧基二苯甲酮、过氧化苯甲酸叔丁酯，过氧化间苯二甲酸二叔丁酯等有机过氧化物；9,10-蒽醌、1-氯蒽醌、2-氯蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌等醌类；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、α-甲基苯偶姻、α-苯基苯偶姻等苯偶姻衍生物；2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)-苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羟基-1-[4-{4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)苄基}-苯基]-2-甲基-丙烷-1-酮、苯基乙醛酸甲酯、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮等烷基苯酮系化合物；双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦等酰基氧化膦系化合物；2-(O-苯甲酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、1-(O-乙酰肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮等肟酯系化合物。

光自由基聚合引发剂可作为市售品获得，例如可举出：IRGACURE[注册商标]651、IRGACURE 184、IRGACURE 2959、IRGACURE 127、IRGACURE 907、IRGACURE 369、IRGACURE379EG、IRGACURE 819、IRGACURE 819DW、IRGACURE 1800、IRGACURE 1870、IRGACURE 784、IRGACURE OXE01、IRGACURE OXE02、IRGACURE OXE03、IRGACURE OXE04、IRGACURE 250、IRGACURE 1173、IRGACURE MBF、IRGACURE TPO、IRGACURE 4265、IRGACURE TPO(以上为BASF公司制)、KAYACURE[注册商标]DETX-S、KAYACURE MBP、KAYACURE DMBI、KAYACURE EPA、KAYACURE OA(以上为日本化药株式会社制)、VICURE-10、VICURE-55(以上为STAUFFERCo.LTD制)、ESACURE KIP 150、ESACURE TZT、ESACURE 1001、ESACURE KTO46、ESACURE KB1、ESACURE KL 200、ESACURE KS 300、ESACURE EB3、Triazine-PMS、Triazine A、Triazine B(以上为日本SiberHegner株式会社制)、ADEKA OPTOMER N-1717、ADEKAOPTOMER N-1414、ADEKA OPTOMER N-1606、ADEKA ARKLS N-1919T、ADEKA ARKLS NCI-831E、ADEKA ARKLSNCI-930、ADEKAARKLS NCI-730(以上为ADEKA株式会社制)。

这些光自由基聚合引发剂可以单独使用，也可以组合使用两种以上。

光自由基聚合引发剂的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.1质量份～20质量份，从光敏度特性的观点出发，更优选为0.5质量份～15质量份。相对于反应产物100质量份，在含有0.1质量份以上的光自由基聚合引发剂的情况下，感光性树脂组合物的光敏度容易提高，另一方面，在含有20质量份以下的情况下，感光性树脂组合物的厚膜固化性容易改善。

＜＜交联性化合物＞＞

实施方式中，为了提高凹凸图案的分辨率，能够任意地在感光性树脂组合物中含有具有光自由基聚合性的不饱和键的单体(交联性化合物)。

作为这样的交联性化合物，优选通过光自由基聚合引发剂进行自由基聚合反应的(甲基)丙烯酸系化合物，并不特别限定于以下，可举出：二(甲基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸四乙二醇酯、乙二醇或聚乙二醇单或二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇或聚丙二醇的单或二(甲基)丙烯酸酯、甘油的单、二或三(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇的二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇的二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇的二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇的二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇的二(甲基)丙烯酸酯、环己烷二(甲基)丙烯酸酯、环己烷二甲醇的二(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇的二(甲基)丙烯酸酯、二噁烷二醇的二(甲基)丙烯酸酯、双酚A的单或二(甲基)丙烯酸酯、双酚F的二(甲基)丙烯酸酯、氢化双酚A的二(甲基)丙烯酸酯、苯三甲基丙烯酸酯、9,9-双[4-(2-羟基乙氧基)苯基]芴的二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯的二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、丙烯酰胺及其衍生物、甲基丙烯酰胺及其衍生物、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、甘油的二或三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇的二、三或四(甲基)丙烯酸酯、及这些化合物的环氧乙烷或环氧丙烷加成物等的化合物、(甲基)丙烯酸2-异氰酸酯乙酯或含异氰酸酯的(甲基)丙烯酸酯，及对它们加成甲基乙基酮肟、ε-己内酰胺、γ-己内酰胺、3,5-二甲基吡唑、丙二酸二乙酯、乙醇、异丙醇、正丁醇、1-甲氧基-2-丙醇等封端剂的化合物。需要说明的是，这些化合物可以单独使用，也可以组合使用2种以上。另外，本说明书中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。

交联性化合物的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为1质量份～100质量份，更优选为1质量份～50质量份。

＜＜热固化剂＞＞

作为热固化剂，例如可举出：六甲氧基甲基三聚氰胺、四甲氧基甲基甘脲、四甲氧基甲基苯并胍胺、1,3,4,6-四(甲氧基甲基)甘脲、1,3,4,6-四(丁氧基甲基)甘脲、1,3,4,6-四(羟基甲基)甘脲、1,3-双(羟基甲基)脲、1,1,3,3-四(丁氧基甲基)脲及1,1,3,3-四(甲氧基甲基)脲等。

感光性树脂组合物中的热固化剂的含量没有特别限定。

＜＜填料＞＞

作为填料，例如可举出无机填料，具体而言，可举出二氧化硅、氮化铝、氮化硼、氧化锆、氧化铝等溶胶。

感光性树脂组合物中的填料的含量没有特别限定。

＜＜其它树脂成分＞＞

实施方式中，感光性树脂组合物可以进一步含有反应产物以外的树脂成分。作为能够在感光性树脂组合物中含有的树脂成分，例如可举出聚噁唑、聚噁唑前体、酚醛树脂、聚酰胺、环氧树脂、硅氧烷树脂、丙烯酸树脂等。

这些树脂成分的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.01质量份～20质量份的范围。

＜＜敏化剂＞＞

实施方式中，为了提高光敏度，能够在感光性树脂组合物中任意地配合敏化剂。

作为敏化剂，例如可举出：米氏酮、4,4′-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2,5-双(4′-二乙基氨基苯亚甲基)环戊烷、2,6-双(4′-二乙基氨基苯亚甲基)环己酮、2,6-双(4′-二乙基氨基苯亚甲基)-4-甲基环己酮、4,4′-双(二甲基氨基)查耳酮、4,4′-双(二乙基氨基)查耳酮、对二甲基氨基亚肉桂基茚满酮、对二甲基氨基亚苄基茚满酮、2-(对二甲基氨基苯基亚联苯基)-苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯基亚乙烯基)苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯基亚乙烯基)异萘并噻唑、1,3-双(4′-二甲基氨基苯亚甲基)丙酮、1,3-双(4′-二乙基氨基苯亚甲基)丙酮、3,3′-羰基-双(7-二乙基氨基香豆素)、3-乙酰基-7-二甲基氨基香豆素、3-乙氧基羰基-7-二甲基氨基香豆素、3-苄氧基羰基-7-二甲基氨基香豆素、3-甲氧基羰基-7-二乙基氨基香豆素、3-乙氧基羰基-7-二乙基氨基香豆素、N-苯基-N′-乙基乙醇胺、N-苯基二乙醇胺、N-对甲苯基二乙醇胺、N-苯基乙醇胺、4-吗啉基二苯甲酮、二甲基氨基苯甲酸异戊酯、二乙基氨基苯甲酸异戊酯、2-巯基苯并咪唑、1-苯基-5-巯基四唑、2-巯基苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)苯并噁唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)萘并(1,2-d)噻唑、2-(对二甲基氨基苯甲酰基)苯乙烯等。

它们可以单独使用或以多种的组合使用。

敏化剂的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.1质量份～25质量份。

＜＜粘接助剂＞＞

实施方式中，为了提高使用感光性树脂组合物形成的膜与基材的粘接性，能够任意地在感光性树脂组合物中配合粘接助剂。

作为粘接助剂，例如可举出：γ-氨基丙基二甲氧基硅烷、N-(β-氨基乙基)-γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基二甲氧基甲基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、二甲氧基甲基-3-哌啶基丙基硅烷、二乙氧基-3-环氧丙氧基丙基甲基硅烷、N-(3-二乙氧基甲基甲硅烷基丙基)琥珀酰亚胺、N-[3-(三乙氧基甲硅烷基)丙基]邻苯二甲酰胺酸、二苯甲酮-3,3′-双(N-[3-三乙氧基甲硅烷基]丙基酰胺)-4,4′-二羧酸、苯-1,4-双(N-[3-三乙氧基甲硅烷基]丙基酰胺)-2,5-二羧酸、3-(三乙氧基甲硅烷基)丙基琥珀酸酐、N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷等硅烷偶联剂，及三(乙酰乙酸乙酯)铝、三(乙酰丙酮合)铝、乙酰乙酸乙酯二异丙氧基铝等的铝系粘接助剂等。

这些粘接助剂中，从粘接力的方面出发，更优选使用硅烷偶联剂。

粘接助剂的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.5质量份～25质量份的范围。

＜＜热聚合抑制剂＞＞

实施方式中，特别是为了提高在包含溶剂的溶液的状态下保存时的感光性树脂组合物的粘度和光敏度的稳定性，能够任意地配合热聚合抑制剂。

作为热聚合抑制剂，例如可使用：氢醌、4-甲氧基苯酚、N-亚硝基二苯胺、对叔丁基邻苯二酚、吩噻嗪、N-苯基萘胺、乙二胺四乙酸、1,2-环己烷二胺四乙酸、二醇醚二胺四乙酸、2,6-二叔丁基对甲酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基-2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚、2-亚硝基-5-(N-乙基-N-磺丙基氨基)苯酚、N-亚硝基-N-苯基羟胺铵盐、N-亚硝基-N(1-萘基)羟胺铵盐等。

作为热聚合抑制剂的含量，没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.005质量份～12质量份的范围。

＜＜唑化合物＞＞

例如，在使用包含铜或铜合金的基板的情况下，为了抑制基板变色，能够任意地在感光性树脂组合物中配合唑化合物。

作为唑化合物，例如可举出：1H-三唑、5-甲基-1H-三唑、5-乙基-1H-三唑、4,5-二甲基-1H-三唑、5-苯基-1H-三唑、4-叔丁基-5-苯基-1H-三唑、5-羟基苯基-1H-三唑、苯基三唑、对乙氧基苯基三唑、5-苯基-1-(2-二甲基氨基乙基)三唑、5-苄基-1H-三唑、羟基苯基三唑、1,5-二甲基三唑、4,5-二乙基-1H-三唑、1H-苯并三唑、2-(5-甲基-2-羟基苯基)苯并三唑、2-[2-羟基-3,5-双(α,α-二甲基苄基)苯基]-苯并三唑、2-(3,5-二叔丁基-2-羟基苯基)苯并三唑、2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-苯并三唑、2-(3,5-二叔戊基-2-羟基苯基)苯并三唑、2-(2′-羟基-5′-叔辛基苯基)苯并三唑、羟基苯基苯并三唑、甲苯基三唑、5-甲基-1H-苯并三唑、4-甲基-1H-苯并三唑、4-羧基-1H-苯并三唑、5-羧基-1H-苯并三唑、1H-四唑、5-甲基-1H-四唑、5-苯基-1H-四唑、5-氨基-1H-四唑、1-甲基-1H-四唑等。特别优选举出甲苯基三唑、5-甲基-1H-苯并三唑和4-甲基-1H-苯并三唑。

另外，这些唑化合物可以使用1种，也可以使用2种以上的混合物。

唑化合物的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.1质量份～20质量份，从光敏度特性的观点出发，更优选为0.5质量份～5质量份。唑化合物相对于反应产物100质量份的含量为0.1质量份以上的情况下，在铜或铜合金上形成感光性树脂组合物的情况下，铜或铜合金表面的变色被抑制，另一方面，在为20质量份以下的情况下，光敏度优异，故优选。

＜＜受阻酚化合物＞＞

实施方式中，为了抑制铜上的变色，能够任意地在感光性树脂组合物中配合受阻酚化合物。

作为受阻酚化合物，例如可举出：2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2,5-二叔丁基-氢醌、3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸十八烷基酯、3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸异辛基酯、4,4′-亚甲基双(2,6-二叔丁基苯酚)、4,4′-硫代-双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、4,4′-亚丁基-双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、三乙二醇-双[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸酯]、1,6-己二醇-双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、2,2-硫代-二乙撑基双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、N,N′六亚甲基双(3,5-二叔丁基-4-羟基-氢化肉桂酰胺)、2,2′-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2′-亚甲基-双(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、季戊四醇-四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-异氰脲酸酯、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、1,3,5-三(3-羟基-2,6-二甲基-4-异丙基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-仲丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三[4-(1-乙基丙基)-3-羟基-2,6-二甲基苄基]-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三[4-三乙基甲基-3-羟基-2,6-二甲基苄基]-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(3-羟基-2,6-二甲基-4-苯基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,5,6-三甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-5-乙基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-6-乙基-3-羟基-2-甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-6-乙基-3-羟基-2,5-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-5,6-二乙基-3-羟基-2-甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2-甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,5-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三(4-叔丁基-5-乙基-3-羟基-2-甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮等，但并不限定于此。

其中，特别优选1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮。

受阻酚化合物的含量没有特别限定，相对于反应产物100质量份，优选为0.1质量份～20质量份，从光敏度特性的观点出发，更优选为0.5质量份～10质量份。受阻酚化合物相对于反应产物100质量份的含量为0.1质量份以上的情况下，例如在铜或铜合金上形成感光性树脂组合物的情况下，铜或铜合金的变色、腐蚀被防止，另一方面，在为20质量份以下的情况下，光敏度优异，故优选。

感光性树脂组合物能够适宜地用作用于后述的固化凹凸图案的制造的负型感光性树脂组合物。

(树脂膜)

本发明的树脂膜是本发明的感光性树脂组合物的涂布膜的烧成物。

作为涂布方法，能够使用一直以来在感光性树脂组合物的涂布中使用的方法，例如利用旋涂机、棒涂机、刮刀涂布机、帘式涂布机、丝网印刷机等进行涂布的方法、利用喷涂机进行喷雾涂布的方法等。

作为得到烧成物时的烧成的方法，例如能够选择利用热板的方法、使用烘箱的方法、使用能够设定温度程序的升温式烘箱的方法等各种方法。烧成例如能够在130℃～250℃、30分钟～5小时的条件下进行。作为加热固化时的气氛气体，可以使用空气，也可以使用氮气、氩气等不活泼性气体。

作为树脂膜的厚度，没有特别限定，优选为1μm～100μm，更优选为2μm～50μm。

树脂膜例如是绝缘膜。

(感光性抗蚀膜)

本发明的感光性树脂组合物可以用于感光性抗蚀膜(所谓干膜抗蚀剂)。

感光性抗蚀膜具有基材膜、由本发明的感光性树脂组合物形成的感光性树脂层(感光性树脂膜)、及覆盖膜。

通常，在基材膜上依次层叠有感光性树脂层和覆盖膜。

感光性抗蚀膜例如能够通过在基材膜上涂布感光性树脂组合物，使其干燥而形成感光性树脂层后，在该感光性树脂层上层叠覆盖膜来制造。

作为干燥的方法，例如可举出在20℃～200℃、1分钟～1小时的条件。

作为得到的感光性树脂层的厚度，没有特别限定，优选为1μm～100μm，更优选为2μm～50μm。

基材膜能够使用公知的基材膜，例如使用热塑性树脂膜等。作为该热塑性树脂，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯。基材膜的厚度优选为2μm～150μm。

覆盖膜能够使用公知的覆盖膜，例如使用聚乙烯膜、聚丙烯膜等。作为覆盖膜，优选与感光性树脂层的粘接力比基材膜小的膜。覆盖膜的厚度优选为2μm～150μm，更优选为2μm～100μm，特别优选为5μm～50μm。

基材膜和覆盖膜可以是相同的膜材料，也可以使用不同的膜。

(带固化凹凸图案的基板的制造方法)

本发明的带固化凹凸图案的基板的制造方法包括以下工序：

(1)将本发明的感光性树脂组合物在基板上进行涂布，在该基板上形成感光性树脂层(感光性树脂膜)，

(2)对该感光性树脂层进行曝光，

(4)对该凹凸图案进行加热处理，形成固化凹凸图案。

下面对各工序进行说明。

(1)将本发明的感光性树脂组合物在基板上进行涂布，在该基板上形成感光性树脂层的工序

本工序中，将本发明的感光性树脂组合物在基板上进行涂布，根据需要，然后使其干燥，形成感光性树脂层。作为涂布方法，可以使用一直以来在感光性树脂组合物的涂布中使用的方法，例如利用旋涂机、棒涂机、刮刀涂布机、帘式涂布机、丝网印刷机等进行涂布的方法、利用喷涂机进行喷雾涂布的方法等。

根据需要，可以使包含感光性树脂组合物的涂膜干燥，并且作为干燥方法，可以使用例如风干、利用烘箱或热板的加热干燥、真空干燥等方法。具体而言，在进行风干或加热干燥的情况下，能够在20℃～200℃、1分钟～1小时的条件下进行干燥。通过以上，能够在基板上形成感光性树脂层。

(2)对该感光性树脂层进行曝光的工序

本工序中，使用接触式光刻机、镜面投影、步进器等曝光装置，经由具有图案的光掩模或光罩(reticle)，或直接利用紫外线光源等对在上述(1)工序中形成的感光性树脂层进行曝光。

作为曝光时使用的光源，例如可举出g线、h线、i线、ghi线宽带及KrF准分子激光。曝光量期望为25mJ/cm²～2000mJ/cm²。

然后，出于提高光敏度等目的，可以根据需要实施基于任意的温度和时间的组合的曝光后烘烤(PEB)和/或显影前烘烤。烘烤条件的范围，温度优选为50℃～200℃，时间优选为10秒～600秒，但只要不阻碍感光性树脂组合物的各特性，则并不限定于该范围。

(3)将该曝光后的感光性树脂层显影，形成凹凸图案的工序

本工序中，将曝光后的感光性树脂层中的未曝光部显影除去。作为对曝光(照射)后的感光性树脂层进行显影的显影方法，可以从现有已知的光致抗蚀剂的显影方法、例如旋转喷雾法、桨法(paddle method)、伴有超声波处理的浸渍法等中选择任意的方法来使用。另外，在显影后，为了除去显影液，可以实施冲洗。进而，出于调整凹凸图案的形状等目的，可以根据需要实施基于任意温度和时间的组合的显影后烘烤。

作为显影中使用的显影液，优选有机溶剂。作为有机溶剂，例如优选N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-环己基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、环戊酮、环己酮、γ-丁内酯、α-乙酰基-γ-丁内酯等。另外，也可以将2种以上、例如多种各溶剂组合使用。

作为冲洗中使用的冲洗液，优选与显影液混溶、对感光性树脂组合物的溶解性低的有机溶剂。作为冲洗液，例如优选甲醇、乙醇、异丙醇、乳酸乙酯、丙二醇甲醚乙酸酯、甲苯、二甲苯等。另外，也可以将2种以上、例如多种各溶剂组合使用。

(4)对该凹凸图案进行加热处理，形成固化凹凸图案的工序

本工序中，对通过上述显影得到的凹凸图案进行加热而转换为固化凹凸图案。在反应产物为聚酰胺酸的情况下，通过该加热进行热酰亚胺化，得到包含聚酰亚胺的固化凹凸图案。作为加热固化的方法，例如能够选择利用热板的方法、使用烘箱的方法、使用能够设定温度程序的升温式烘箱的方法等各种方法。加热例如可以在130℃～250℃、30分钟～5小时的条件下进行。作为加热固化时的气氛气体，可以使用空气，也可以使用氮气、氩气等不活泼性气体。

作为固化凹凸图案的厚度，没有特别限定，优选为1μm～100μm，更优选为2μm～50μm。

(半导体装置)

实施方式中，还提供一种半导体装置，所述半导体装置具备半导体元件和设置于该半导体元件的上部或下部的固化膜。固化膜是由本发明的感光性树脂组合物形成的固化凹凸图案。固化凹凸图案例如能够通过上述带固化凹凸图案的基板的制造方法中的工序(1)～(4)得到。

另外，本发明也能够应用于作为基板使用的半导体元件、将上述带固化凹凸图案的基板的制造方法作为工序的一部分而包含的半导体装置的制造方法。本发明的半导体装置可以通过将固化凹凸图案形成为表面保护膜、层间绝缘膜、再布线用绝缘膜、倒装芯片装置用保护膜、或具有凸块结构的半导体装置的保护膜等，并与已知的半导体装置的制造方法组合来制造。

(显示体装置)

实施方式中，提供一种显示体装置，所述显示体装置具备显示体元件和设置于该显示体元件的上部的固化膜，该固化膜为上述的固化凹凸图案。在此，该固化凹凸图案可以与该显示体元件直接接触而层叠，也可以将其它层夹在中间而层叠。例如，作为该固化膜，可举出TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)液晶显示元件及滤色器元件的表面保护膜、绝缘膜及平坦化膜、MVA(Multi-domain Vertical Alignment，多域垂直排列)型液晶显示装置用的突起、以及有机EL(Electro-Luminescence，电致发光)元件阴极用的隔壁。

本发明的感光性树脂组合物除了适用于如上所述的半导体装置以外，在多层电路的层间绝缘膜、挠性覆铜板的覆盖涂层、阻焊膜、及液晶取向膜等用途中也有用。

实施例

以下，举出实施例对本发明的内容进行具体说明，但本发明并不限定于这些实施例。

下述合成例所示的重均分子量(Mw)是基于凝胶渗透色谱(以下，在本说明书中简称为GPC)的测定结果。测定中使用GPC装置(HLC-8320gPC(东曹株式会社制))，测定条件如下所述。

·柱：Shodex[注册商标]KD-805/Shodex[注册商标]KD-803(昭和电工株式会社制)

·柱温度：50℃

·流量：1mL/分钟

·洗脱液：N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、溴化锂一水合物(30mM)/磷酸(30mM)/四氢呋喃(1％)

·标准试样：聚环氧乙烷

下述合成例所示的化学酰亚胺化率通过以下的方法算出。将聚酰亚胺粉末100mg放入NMR样品管(NMR采样管标准品，草野科学株式会社制)中，添加氘代二甲基亚砜(DMSO-d6，0.05％TMS(四甲基硅烷)混合品)(0.53ml)，利用超声波使其完全溶解。将该溶液用NMR测定装置(JNM-ECA500)(日本电子株式会社制)测定500MHz的质子NMR。化学酰亚胺化率是将源自在酰亚胺化前后不变化的结构的质子作为基准质子来确定的，使用该质子的峰累积值和来源于9.5ppm～11.0ppm附近出现的酰胺酸的NH基的质子峰累积值，通过下式求出。

化学酰亚胺化率(％)＝(1-α·x/y)×100

上述式中，x为源自酰胺酸的NH基的质子峰累积值，y为基准质子的峰累积值，α为在聚酰胺酸(酰亚胺化率为0％)的情况下的基准质子相对于1个酰胺酸的NH基质子的个数比。

＜合成例1＞聚酰胺酸(P-1)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)11.00g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.05g、及N-乙基-2-吡咯烷酮33.14g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐21.45g、及N-乙基-2-吡咯烷酮42.68g，在室温搅拌1小时后，在60℃搅拌93小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-1)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为22,868。

[化32]

＜合成例2＞聚酰胺酸(P-2)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)9.85g、1,4-双[2-(4-氨基苯基)-2-丙基]苯12.84g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮53.04g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4，4′-(4，4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐37.25g、及N-乙基-2-吡咯烷酮86.91g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌89小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-2)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为25,273。

[化33]

＜合成例3＞聚酰胺酸(P-3)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)10.18g、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯11.26g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮50.13g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐38.49g、及N-乙基-2-吡咯烷酮89.82g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌89小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-3)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为26,998。

[化34]

＜合成例4＞聚酰胺酸(P-4)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)13.73g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷9.14g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.06g、及N-乙基-2-吡咯烷酮53.50g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐37.08g、及N-乙基-2-吡咯烷酮86.53g，在室温搅拌2小时后，在50℃搅拌88小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-4)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为24,973。

[化35]

＜合成例5＞聚酰胺酸(P-5)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)9.47g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷14.70g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮56.49g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐35.79g、及N-乙基-2-吡咯烷酮83.51g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌89小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-5)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为27,852。

[化36]

＜合成例6＞聚酰胺酸(P-6)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)3.59g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷13.01g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.01g、及N-乙基-2-吡咯烷酮66.47g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐23.33g、及N-乙基-2-吡咯烷酮93.33g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌95小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-6)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为56,737。

[化37]

＜合成例7＞聚酰胺酸(P-7)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)1.16g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷16.22g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.01g、及N-乙基-2-吡咯烷酮69.53g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐22.62g、及N-乙基-2-吡咯烷酮90.47g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌95小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-7)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为58,225。

[化38]

＜合成例8＞聚酰胺酸(P-8)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)9.71g、4,4′-双(4-氨基苯氧基)联苯13.54g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮54.34g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐36.72g、及N-乙基-2-吡咯烷酮85.67g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌92小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-8)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为33,012。

[化39]

＜合成例9＞聚酰胺酸(P-9)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)6.22g、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜10.18g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.03g、及N-乙基-2-吡咯烷酮65.70g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐23.52g、及N-乙基-2-吡咯烷酮94.08g，在室温搅拌2小时后，在50℃搅拌92小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-9)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为31,175。

[化40]

＜合成例10＞聚酰胺酸(P-10)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)6.62g、的9,9-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]芴(BPF-AN、JFE化工株式会社制)13.34g、及N-乙基-2-吡咯烷酮79.86g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐25.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮25.14g，在室温搅拌3小时后，在40℃搅拌42小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-10)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为25,249。

[化41]

＜合成例11＞聚酰胺酸(P-11)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)7.94g、对苯二甲酸双(4-氨基苯基)酯10.46g、4-甲氧基苯酚0.05g、及N-乙基-2-吡咯烷酮87.05g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐29.98g、及N-乙基-2-吡咯烷酮58.04g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌74小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-11)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为29,792。

[化42]

＜合成例12＞聚酰胺酸(P-12)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)7.94g、1,4-亚苯基双(4-氨基苯甲酸酯)10.46g、4-甲氧基苯酚0.05g、及N-乙基-2-吡咯烷酮87.05g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐29.98g、及N-乙基-2-吡咯烷酮58.04g，在室温搅拌3小时后，在50℃搅拌74小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-12)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为24,660。

[化43]

＜合成例13＞聚酰胺酸(P-13)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)10.95g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷17.01g、2,6-二叔丁基对甲酚0.05g、及N-乙基-2-吡咯烷酮112.00g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入对苯二酚二邻苯二甲酸酐(HQDA、Air Water株式会社制)32.00g、及N-乙基-2-吡咯烷酮28.00g，在室温搅拌2小时后，在40℃搅拌39小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-13)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为21,092。

[化44]

＜合成例14＞聚酰胺酸(P-14)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)8.63g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷13.41g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.04g、及88.32g的N-乙基-2-吡咯烷酮在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入双-(1,3-二氧代-1,3-二氢异苯并呋喃-5-羧酸)丙烷-2,2-二基双(2-甲基-4,1-亚苯基)37.92g、及N-乙基-2-吡咯烷酮51.68g，在室温搅拌2小时后，在40℃搅拌39小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-14)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为16,379。

[化45]

＜合成例15＞聚酰胺酸(P-15)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)6.23g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷9.68g、及N-乙基-2-吡咯烷酮63.64g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入9,9-双[4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基芴二酸酐(BPF-PA、JFE化工株式会社制)29.09g、及N-乙基-2-吡咯烷酮41.36g，在室温搅拌3小时后，在40℃搅拌42小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-15)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为24,559。

[化46]

＜合成例16＞聚酰胺酸(P-16)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)5.29g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷10.36g、4-甲氧基苯酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮65.87g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入9,9-双[4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基芴二酸酐(BPF-PA、JFE化工株式会社制)24.68g、及N-乙基-2-吡咯烷酮28.23g，在室温搅拌4小时后，在50℃搅拌26.5小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-16)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为28,330。

[化47]

＜合成例17＞聚酰胺酸(P-17)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)6.181g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷9.60g、4-甲氧基苯酚0.04g、及N-乙基-2-吡咯烷酮79.65g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入24.0g的5-异苯并呋喃羧酸、1,3-二氢-1,3-二氧代-亚环己基-4,1-亚苯基酯(BPZ-TME、本州化学工业株式会社制)、及N-乙基-2-吡咯烷酮39.82g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌63小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-17)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为13,550。

[化48]

<合成例18>聚酰胺酸(P-18)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)8.65g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷13.44g、4-甲氧基苯酚0.053g、及N-乙基-2-吡咯烷酮105.62g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入对亚苯基双(偏苯三甲酸酐)(TAHQ、MANAC株式会社制)15.0g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐15.67g、及N-乙基-2-吡咯烷酮52.81g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌40小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-18)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为36,287。

[化49]

<合成例19>聚酰胺酸(P-19)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)8.65g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷13.44g、4-甲氧基苯酚0.054g、及N-乙基-2-吡咯烷酮107.24g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入对亚苯基双(偏苯三甲酸酐)(TAHQ、MANAC株式会社制)9.0g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐22.49g、及N-乙基-2-吡咯烷酮53.62g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌40小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-19)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为34,006。

[化50]

＜合成例20＞聚酰胺酸(P-20)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)7.418g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷11.52g、4-甲氧基苯酚0.047g、及N-乙基-2-吡咯烷酮126.47g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入对亚联苯基双(偏苯三甲酸单酯酸酐)(BP-TME、本州化学株式会社制)15.0g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐13.44g、及N-乙基-2-吡咯烷酮63.23g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌40小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-20)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为28,962。

[化51]

＜合成例21＞聚酰胺酸(P-21)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)7.418g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷11.52g、4-甲氧基苯酚0.047g、及N-乙基-2-吡咯烷酮126.47g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入对亚联苯基双(偏苯三甲酸单酯酸酐)(BP-TME、本州化学株式会社制)9.0g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐19.28g、及N-乙基-2-吡咯烷酮63.23g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌40小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-21)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为26,182。

[化52]

<合成例22>溶剂可溶型聚酰亚胺(P-22)的合成

在合成例16得到的聚酰胺酸(P-16)40.21g中，添加N-乙基-2-吡咯烷酮80.42g、乙酸酐3.66g、及三乙胺0.61g，在空气下室温搅拌30分钟后，在60℃搅拌3小时。将该溶液缓慢加入到正在搅拌的甲醇437.15g后搅拌10分钟，滤出得到的沉淀物。将该沉淀物用甲醇874.30g清洗后，在80℃减压干燥，得到具有下述(P-22)所表示的重复单元结构的溶剂可溶型聚酰亚胺粉末。化学酰亚胺化率为95.3％。

[化53]

<合成例23>溶剂可溶型聚酰亚胺(P-23)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)9.51g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷18.66g、4-甲氧基苯酚0.06g、及N-乙基-2-吡咯烷酮98.06g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸酐23.99g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐7.87g、及N-乙基-2-吡咯烷酮42.03g，在室温搅拌2小时后，在50℃搅拌24小时。通过GPC以聚苯乙烯换算测定的重均分子量(Mw)为29,468。在得到的聚酰胺酸50.00g中加入N-乙基-2-吡咯烷酮100.00g、乙酸酐5.51g及三乙胺0.91g，在空气下室温搅拌30分钟后，在60℃搅拌3小时。将该溶液缓慢加入到正在搅拌的甲醇547.47g后搅拌10分钟，滤出得到的沉淀物。将该沉淀物用甲醇1094.94g清洗后，在80℃减压干燥，得到具有下述(P-23)所表示的重复单元结构的溶剂可溶型聚酰亚胺粉末。化学酰亚胺化率为95.3％。

[化54]

<合成例24>溶剂可溶型聚酰亚胺(P-24)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)9.25g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷18.15g、4-甲氧基苯酚0.06g、及N-乙基-2-吡咯烷酮97.52g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸酐15.55g、4,4′-(4,4′-异亚丙基二苯氧基)二邻苯二甲酸酐16.76g、及N-乙基-2-吡咯烷酮41.79g，在室温搅拌2小时后，在50℃搅拌24小时。通过GPC以聚苯乙烯换算测定的重均分子量(Mw)为30,055。在得到的聚酰胺酸50.00g中，加入N-乙基-2-吡咯烷酮100.00g、乙酸酐5.39g、及三乙胺0.89g，在空气下室温搅拌30分钟后，在60℃搅拌3小时。将该溶液缓慢地加入到正在搅拌的甲醇546.97g后搅拌10分钟，滤出得到的沉淀物。将该沉淀物用甲醇1093.94g清洗后，在80℃减压干燥，得到具有下述(P-24)所表示的重复单元结构的溶剂可溶型聚酰亚胺粉末。化学酰亚胺化率为95.3％。

[化55]

＜比较合成例1＞聚酰胺酸(P-25)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)30.00g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.13g、及N-乙基-2-吡咯烷酮90.38g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入均苯四甲酸酐24.51g、及N-乙基-2-吡咯烷酮37.11g，在室温搅拌13小时后，在80℃搅拌51小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-25)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为10,579。

[化56]

＜比较合成例2＞聚酰胺酸(P-26)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)42.28g、4-甲氧基苯酚0.09g、及N-乙基-2-吡咯烷酮144.42g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入3,3′,4,4′-联苯四羧酸二酐46.13g、及N-乙基-2-吡咯烷酮61.89g，在室温搅拌1小时后，在80℃搅拌75小时。得到具有下述(P-26)所表示的重复单元结构的聚酰胺酸。

[化57]

＜比较合成例3＞聚酰胺酸(P-27)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)31.71g、4-甲氧基苯酚0.09g、及N-乙基-2-吡咯烷酮137.13g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸酐52.24g、及N-乙基-2-吡咯烷酮58.77g，在室温搅拌3小时后，在80℃搅拌75小时。得到具有下述(P-27)所表示的重复单元结构的聚酰胺酸。

[化58]

＜比较合成例4＞聚酰胺酸(P-28)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)18.00g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.08g、及N-乙基-2-吡咯烷酮54.23g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐13.22g、及N-乙基-2-吡咯烷酮30.40g，在室温搅拌62小时后，在40℃搅拌34小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-28)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为42,930。

[化59]

＜比较合成例5＞聚酰胺酸(P-29)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)15.00g、2,6-二叔丁基-对甲酚0.06g、及N-乙基-2-吡咯烷酮45.19g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入1,1′-双环己烷-3,3′,4,4′-四羧酸-3,3′,4,4′-二酐(BPDA-H、岩谷瓦斯株式会社制)17.21g、及N-乙基-2-吡咯烷酮30.12g，在室温搅拌62小时后，在40℃搅拌34小时。得到的聚酰胺酸具有下述(P-29)所表示的重复单元结构，利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为45,136。

[化60]

<比较合成例6>溶剂可溶型聚酰亚胺(P-30)的合成

将3,5-二氨基苯甲酸2-(甲基丙烯酰氧基)乙酯(BEM-S、和光纯药工业株式会社制)8.60g、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷16.85g、4-甲氧基苯酚0.05g、及N-乙基-2-吡咯烷酮148.85g在空气下、室温搅拌使其溶解后，在体系内加入4,4′-(六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸酐27.72g、及N-乙基-2-吡咯烷酮63.79g，在室温搅拌1小时后，在50℃搅拌87小时。得到的聚酰胺酸的利用GPC以聚苯乙烯换算而测定的重均分子量(Mw)为27,335。

在得到的聚酰胺酸60.00g中加入N-乙基-2-吡咯烷酮60.00g、乙酸酐4.49g、及吡啶0.58g，在空气下室温搅拌30分钟后，在50℃搅拌3小时。将该溶液缓慢加入到正在搅拌的甲醇437.76g后搅拌10分钟，滤出得到的沉淀物。将该沉淀物用甲醇875.52g清洗后，在60℃减压干燥，得到具有下述(P-30)所表示的重复单元结构的溶剂可溶型聚酰亚胺粉末。化学酰亚胺化率为93.2％。

[化61]

＜实施例1＞

将包含合成例1中得到的聚酰胺酸(P-1)的溶液(固体成分浓度：30重量％)27.75g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.67g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.42g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例2＞

将包含合成例2中得到的聚酰胺酸(P-2)的溶液(固体成分浓度：30重量％)32.24g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.93g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.48g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.15g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例3＞

将包含合成例2中得到的聚酰胺酸(P-2)的溶液(固体成分浓度：30重量％)33.16g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.93g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.48g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.15g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例4＞

将包含合成例3中得到的聚酰胺酸(P-3)的溶液(固体成分浓度：30重量％)22.08g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.32g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF日本Japan株式会社制)0.33g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.10g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.13g、及N-乙基-2-吡咯烷酮11.04g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例5＞

将包含合成例3中得到的聚酰胺酸(P-3)的溶液(固体成分浓度：30重量％)32.49g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.97g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.49g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.15g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g、及N-乙基-2-吡咯烷酮0.71g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例6＞

将包含合成例4中得到的聚酰胺酸(P-4)的溶液(固体成分浓度：30重量％)33.16g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.99g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.50g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.15g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.20g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例7＞

将包含合成例5中得到的聚酰胺酸(P-5)的溶液(固体成分浓度：30重量％)29.96g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.80g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.45g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.13g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.18g、及N-乙基-2-吡咯烷酮2.48g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例8＞

将包含合成例5中得到的聚酰胺酸(P-5)的溶液(固体成分浓度：30重量％)23.89g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.72g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.36g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.11g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.14g、及N-乙基-2-吡咯烷酮4.78g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例9＞

将包含合成例6中得到的聚酰胺酸(P-6)的溶液(固体成分浓度：20重量％)37.84g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.51g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.38g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.11g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、及信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例10＞

将包含合成例7中得到的聚酰胺酸(P-7)的溶液(固体成分浓度：20重量％)37.84g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.51g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.38g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.11g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例11＞

将包含合成例8中得到的聚酰胺酸(P-8)的溶液(固体成分浓度：30重量％)22.08g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.32g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.33g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.10g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.13g、及N-乙基-2-吡咯烷酮11.04g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例12＞

将包含合成例8中得到的聚酰胺酸(P-8)的溶液(固体成分浓度：30重量％)31.50g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.95g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.47g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.14g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g、及N-乙基-2-吡咯烷酮1.75g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例13＞

将包含合成例9中得到的聚酰胺酸(P-9)的溶液(固体成分浓度：20重量％)33.11g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.32g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.33g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.10g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.13g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例14＞

将包含合成例10中得到的聚酰胺酸(P-10)的溶液(固体成分浓度：30重量％)20.75g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.25g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.31g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.09g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.12g、及N-乙基-2-吡咯烷酮2.47混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例15＞

将包含合成例11中得到的聚酰胺酸(P-11)的溶液(固体成分浓度：25重量％)23.66g、N-乙基-2-吡咯烷酮0.99g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.59g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.30g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.09g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.12g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例16＞

将包含合成例12中得到的聚酰胺酸(P-12)的溶液(固体成分浓度：25重量％)24.78g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.62g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.31g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.09g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.12g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例17＞

将包含合成例13中得到的聚酰胺酸(P-13)的溶液(固体成分浓度：30重量％)27.64g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.66g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.41g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.12g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例18＞

将包含合成例13中得到的聚酰胺酸(P-13)的溶液(固体成分浓度：30重量％)28.42g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.85g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.43g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.13g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例19＞

将包含合成例14中得到的聚酰胺酸(P-14)的溶液(固体成分浓度：30重量％)27.64g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.66g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.41g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.12g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例20＞

将包含合成例14中得到的聚酰胺酸(P-14)的溶液(固体成分浓度：30重量％)28.42g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.85g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.43g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.13g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例21＞

将包含合成例15中得到的聚酰胺酸(P-15)的溶液(固体成分浓度：30重量％)21.40g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.28g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.32g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.10g、KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.13g、及N-乙基-2-吡咯烷酮1.77g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例22＞

将包含合成例16中得到的聚酰胺酸(P-16)的溶液(固体成分浓度：30重量％)37.81g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1，10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)2.27g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.57g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.17g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.23g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例23＞

将包含合成例17中得到的聚酰胺酸(P-17)的溶液(固体成分浓度：25重量％)65.34g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)3.27g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.82g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.25g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.33g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例24＞

将包含合成例18中得到的聚酰胺酸(P-18)的溶液(固体成分浓度：25重量％)38.23g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.96g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.48g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.14g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例25＞

将包含合成例19中得到的聚酰胺酸(P-19)的溶液(固体成分浓度：25重量％)38.23g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.96g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.48g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.14g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.19g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例26＞

将包含合成例20中得到的聚酰胺酸(P-20)的溶液(固体成分浓度：20重量％)38.57g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.77g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.39g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.12g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例27＞

将包含合成例21中得到的聚酰胺酸(P-21)的溶液(固体成分浓度：20重量％)38.57g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)0.77g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.39g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.12g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例28＞

将合成例22中得到的溶剂可溶型聚酰亚胺(P-22)的粉末11.02g、N-乙基-2-吡咯烷酮25.71g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯，新中村化学工业株式会社制)2.20g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.55g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.17g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，信越化学工业株式会社制)0.22g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例29＞

将合成例23中得到的溶剂可溶型聚酰亚胺(P-23)的粉末10.89g、N-乙基-2-吡咯烷酮26.00g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)2.18g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.54g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.16g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.22g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜实施例30＞

将合成例24中得到的溶剂可溶型聚酰亚胺(P-24)的粉末10.89g、N-乙基-2-吡咯烷酮26.00g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)2.18g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.54g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.16g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，信越化学工业株式会社制)0.22g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例1＞

将包含比较合成例1中得到的聚酰胺酸(P-25)的溶液(固体成分浓度：30重量％)27.75g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.67g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.42g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例2＞

将包含比较合成例2中得到的聚酰胺酸(P-26)的溶液(固体成分浓度：30重量％)26.17g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.57g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制制)0.39g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.16g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例3＞

将包含比较合成例3中得到的聚酰胺酸(P-27)的溶液(固体成分浓度：30重量％)25.08g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.50g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.38g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例4＞

将包含比较合成例4中得到的聚酰胺酸(P-28)的溶液(固体成分浓度：27重量％)27.96g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.51g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.38g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.15g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例5＞

将包含比较合成例5中得到的聚酰胺酸(P-29)的溶液(固体成分浓度：30重量％)27.75g、作为交联剂的NK酯A-200(聚乙二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.67g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.42g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、信越化学工业株式会社制)0.17g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

＜比较例6＞

将比较合成例6中得到的溶剂可溶型聚酰亚胺(P-30)的粉末9.14g、N-乙基-2-吡咯烷酮16.98g、作为交联剂的NK酯A-DOD-N(1,10-癸二醇二丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)1.83g、作为光自由基引发剂的IRGACURE[注册商标]OXE01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基-,2-(O-苯甲酰肟)]、BASF Japan株式会社制)0.46g、IRGANOX[注册商标]3114(1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、BASF Japan株式会社制)0.14g、及KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，信越化学工业株式会社制)0.18g混合并使其溶解后，使用孔径5μm的聚丙烯制过滤器进行过滤，由此制备负型感光性树脂组合物的溶液。

[感光性评价]

将实施例1至实施例30及比较例1至比较例6中制备的负型感光性树脂组合物在8英寸硅晶片上使用旋涂机(Spin Coater)(CLEAN TRACK ACT-8，东京电子株式会社制)进行涂布，以115℃烧成180秒或270秒，由此在晶片上形成膜厚5至15μm的感光性树脂膜。接着，使用i线步进器(NSR-2205i12D、Nikon株式会社制)进行曝光。进而，使用自动显影装置(AD-1200、Mikasa株式会社制)，使用环戊酮作为显影液进行20至240秒的喷雾显影后，使用丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)作为冲洗液进行10秒的喷雾冲洗。使用干涉膜厚计(Lambda AceVM-2110、SCREEN株式会社制)测定刚成膜后的膜厚和0mJ/cm²(未曝光部)及300mJ/cm²(曝光部)中的显影后的膜厚，由此比较未曝光部和曝光部的膜厚。将膜厚的测定结果示于表1。

[表1]

根据表1的结果，实施例1至实施例30的负型感光性树脂组合物在显影后未曝光部(0mJ/cm²)的感光性树脂膜充分溶解(显影)，曝光部(300mJ/cm²)的感光性树脂膜未溶解(显影)而残留。即，在曝光部和未曝光部得到清晰的感光性树脂膜的溶解差(溶解对比度(dissolution contrast))，因此能够适合用作使用环戊酮这样的通用的有机溶剂进行显影的凹凸图案制作工艺用的负型感光性树脂组合物。另一方面，比较例1、比较例2、比较例4及比较例5的感光性树脂组合物在显影后未曝光部(0mJ/cm²)的感光性树脂膜未充分溶解(显影)而残留。即，在曝光部和未曝光部得不到清晰的溶解对比度，不适合作为使用环戊酮这样的通用的有机溶剂进行显影的凹凸图案制作工艺用的负型感光性树脂组合物。

[电特性评价]

将实施例1至实施例30及比较例1至比较例6中制备的负型感光性树脂组合物旋涂在包覆有20μm厚的铝箔的4英寸硅晶片上，在热板上以115℃烧成180秒或270秒，由此在铝箔上形成感光性树脂膜。接着，使用i线校准器(PLA-501，Canon株式会社制)，在晶片上以500mJ/cm²进行整面曝光后，在氮气氛中，在160℃烧成1小时，接着在230℃烧成1小时。进而，将烧成的铝箔浸渍于6N盐酸中，使铝箔溶解，由此得到膜。接着，将得到的膜在80℃减压干燥2小时，在温度约25℃、湿度约42％的环境下放置24小时后，使用空腔谐振器(TMR-1A、KEYCOM株式会社制)测定1GHz下的介电损耗角正切。介电损耗角正切的测定条件如下所述。

·测定方法：微扰方式空腔谐振器法

·矢量网络分析仪：FieldFox N9926A(Keysight Technologies株式会社制)

·空腔谐振器：TMR-1A(KEYCOM株式会社制)

·腔室容积：1192822mm ³

·测定频率：约1GHz

·样品管：PTFE制、内径：3mm、长度约30mm(KEYCOM株式会社制)

[机械特性评价]

将实施例1至实施例30及比较例1至比较例6中制备的负型感光性树脂组合物旋涂在100nm厚的铝晶片上，在热板上以115℃烧成180秒或270秒，由此在铝晶片上形成感光性树脂膜。接着，使用i线校准器(PLA-501，Canon株式会社制)，在晶片上以500mJ/cm²进行整面曝光后，在氮气氛中，在160℃烧成1小时，接着在230℃烧成1小时。进而，利用切割锯(DAD323、DISCO株式会社制)以宽5mm间隔切割感光性树脂膜后，将该铝晶片浸渍于6N盐酸中，使铝溶解，由此得到宽5mm的膜。接着，使用台式精密万能试验机(Autograph AGS-10kNX、岛津制作所株式会社制)对得到的膜测定膜的拉伸伸长率。拉伸伸长率的测定条件如下所述。

·台式精密万能试验机：Autograph AGS-10kNX(岛津制作所株式会社制)

·膜宽：5mm

·夹具间距离：25mm

在此，拉伸伸长率为50％是指膜伸长至1.5倍，换言之，在夹具间距离为1.5倍(37.5mm)时膜断裂。

将介电损耗角正切及拉伸伸长率的测定结果示于表2。

[表2]

根据表2的结果，由实施例1至实施例30的负型感光性树脂组合物得到的膜在1GHz下的介电损耗角正切的值与比较例1至比较例5相比降低。另外，由实施例1至实施例30的负型感光性树脂组合物得到的膜的拉伸伸长率的值与比较例1至比较例6相比提高。

即，实施例1至实施例30的负型感光性树脂组合物能够制作凹凸图案，同时具有介电损耗角正切低、进而拉伸伸长率高的特点，因此能够适合用于需要优异的电特性、机械特性的电子材料的制造。

Claims

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：

溶剂，和

具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应产物为聚酰胺酸或将聚酰胺酸进行脱水闭环而得到的聚酰亚胺。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰胺酸至少具有下述式(1)所表示的结构单元，

所述聚酰亚胺至少具有下述式(2)所表示的结构单元，

式(1)中，Ar₁表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar₂表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团，

式(2)中，Ar₃表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar₄表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)中的Ar₂和所述式(2)中的Ar₄为下述式(3)所表示的4价有机基团，

式(3)中，X₁及X₂各自独立地表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键，R₁及R₂各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烷基，Y表示下述式(3-1)或(3-2)所表示的2价有机基团，n1及n2各自独立地表示0至3的整数，在R₁为多个的情况下，多个R₁相同或不同，在R₂为多个的情况下，多个R₂相同或不同，*表示结合键，

式(3-1)中，Z₁表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键；R₃及R₄各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烃基；m1表示0至3的整数；n3及n4各自独立地表示0至4的整数；在Z₁为多个的情况下，多个Z₁相同或不同；在n4为多个的情况下，多个n4相同或不同；在R₃为多个的情况下，多个R₃相同或不同；在R₄为多个的情况下，多个R₄相同或不同，*表示结合键，

式(3-2)中，Z₂表示下述式(4)或(5)所表示的2价有机基团；R₅及R₆各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烃基；n5及n6各自独立地表示0至4的整数；在R₅为多个的情况下，多个R₅相同或不同；在R₆为多个的情况下，多个R₆相同或不同；*表示结合键，

式(4)中，R₇及R₈各自独立地表示氢原子、或者被或不被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基，*表示结合键，

式(5)中，R₉及R₁₀各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的亚烷基，或者被或不被取代的碳原子数6至10的亚芳基，*表示结合键。

5.根据权利要求3或4所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)中的Ar₁和所述式(2)中的Ar₃为下述式(6)所表示的2价有机基团，

式(6)中，Z₃表示醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键或脲键，Z₄表示直接键合、酯键或酰胺键；Z₅表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键；m2表示0至1的整数；R₁₁表示直接键合，或者被或不被羟基取代的碳原子数2至6的亚烷基；R₁₂表示氢原子或甲基，*表示结合键。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(6)中的Z₃和Z₄为酯键。

7.根据权利要求5或6所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(6)中的R₁₁为1,2-亚乙基。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含光自由基聚合引发剂。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含交联性化合物。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物用于形成绝缘膜。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物为负型感光性树脂组合物。

12.一种树脂膜，其特征在于，为权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物的涂布膜的烧成物。

13.根据权利要求12所述的树脂膜，其中，所述树脂膜为绝缘膜。

14.一种感光性抗蚀膜，其特征在于，具有基材膜、由权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂层和覆盖膜。

15.一种带固化凹凸图案的基板的制造方法，其特征在于，包含以下工序：

(1)将权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层，

(2)对该感光性树脂层进行曝光，

(4)对该凹凸图案进行加热处理，形成固化凹凸图案。

16.根据权利要求15所述的带固化凹凸图案的基板的制造方法，其中，所述显影中使用的显影液为有机溶剂。

17.一种带固化凹凸图案的基板，其特征在于，所述基板是通过权利要求15或16所述的方法制造。

18.一种半导体装置，其特征在于，具备半导体元件和设置于该半导体元件的上部或下部的固化膜，该固化膜为由权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物形成的固化凹凸图案。