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CN115816979A - 一种柔性基材的撕膜方法及装置 - Google Patents

一种柔性基材的撕膜方法及装置 Download PDF

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CN115816979A
CN115816979A CN202210193440.8A CN202210193440A CN115816979A CN 115816979 A CN115816979 A CN 115816979A CN 202210193440 A CN202210193440 A CN 202210193440A CN 115816979 A CN115816979 A CN 115816979A
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CN
China
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film
film tearing
pet film
flexible substrate
diaphragm
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Pending
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CN202210193440.8A
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English (en)
Inventor
斯迎军
姬臻杰
于亮亮
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Sien Semiconductor Technology Suzhou Co ltd
Original Assignee
Sien Semiconductor Technology Suzhou Co ltd
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Abstract

本发明涉及一种柔性基材的撕膜方法及装置,属于撕膜设备技术领域。其主要解决目前PET膜移除方法,主要由人工完成的。采用人工撕膜效率低、良品率低,撕膜过程中产生的静电容易导致沾污的问题,提出如下技术方案。包括真空吸附载台、撕膜机械手和膜片,所述真空吸附载台包括上台板和下台板。本发明通过设置夹指,置于基材表面上方,利用真空吸附载台上台面的台阶实现PET膜的夹取并沿基材对角线方向,以距离基材表面很小的高度移动,利用PET膜的小半径弯曲释放的能量,实现粘结层的断裂分离;从而省去了人工完成带来的麻烦,而且整体的效率也会变得更高;最后就是整个撕膜过程中不易产生静电,从而确保了整个撕膜过程中的洁净度。

Description

一种柔性基材的撕膜方法及装置
技术领域
本发明涉及撕膜设备技术领域,具体为一种柔性基材的撕膜方法及装置。
背景技术
多层陶瓷电子元件以其高频性能优异、集成密度高等特点,在航天、通信等领域获得广泛应用。多层陶瓷电子元件是由薄膜陶瓷制作而成,在制作过程中需要将薄膜陶瓷表面的PET膜移除。
但是目前PET膜移除方法,主要由人工完成的。采用人工撕膜效率低、良品率低,撕膜过程中产生的静电容易导致沾污。
发明内容
(一)解决的技术问题
本发明的目的是针对背景技术中存在的问题,提出一种柔性基材的撕膜方法及装置。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种柔性基材的撕膜装置,包括真空吸附载台、撕膜机械手和膜片,所述真空吸附载台包括上台板和下台板,上台板和下台板构成密封区域,所述下台板上固定安装有旋转气缸和定位块;所述撕膜机械手包括Z向驱动模组、X向驱动模组、夹指和框架,所述Z向驱动模组在X向驱动模组上滑动连接,所述夹指固定安装在Z向驱动模组的下端,所述框架连接在X向驱动模组的背面。
作为本发明的一种优选技术方案,所述膜片包括PET膜和柔性基材体,所述PET膜与柔性基材体粘合连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述上台板的上端表面开设有吸附孔,且吸附孔呈矩阵排列状设计;所述柔性基材体固定在上台板的上端表面。
作为本发明的一种优选技术方案,所述上台板和下台板构成的密封区域与真空发生器连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述定位块通过气缸与下台板连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述夹指置于柔性基材体的表面正上方。
作为本发明的一种优选技术方案,还提供一种柔性基材的撕膜方法,包括以下步骤:
S1、将膜片放置到上台板上,定位块从四边向中心移动,实现膜片的定位;定位动作完成后,利用真空发生器产生的负压将膜片固定;
S2、膜片固定后,Z向驱动模组与X向驱动模组同时移动,使夹指移动至上台板台阶附近;
S3、X向驱动模组向料片靠近,使PET膜的一角进入夹指的夹持范围内。夹指到位后,夹紧PET膜,并向上移动一段距离;
S4、Z向驱动模组移动到位后,X向驱动模组向膜片的中心移动一段距离,使PET膜的一角构成“S”形;
S5、“S”形形成后,Z向驱动模组需要进一步向下移动,减小弯曲半径;
S6、Z向驱动模组在保持PET膜较小的弯曲半径状态下,X向驱动模组沿着膜片对角线方向移动,实现PET膜与柔性基材体的分离。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明的柔性基材的撕膜方法及装置,具备以下有益效果:
该柔性基材的撕膜方法及装置,通过设置夹指,置于基材表面上方,利用真空吸附载台上台面的台阶实现PET膜的夹取并沿基材对角线方向,以距离基材表面很小的高度移动,利用PET膜的小半径弯曲释放的能量,实现粘结层的断裂分离;从而省去了人工完成带来的麻烦,而且整体的效率也会变得更高;最后就是整个撕膜过程中不易产生静电,从而确保了整个撕膜过程中的洁净度。
附图说明
图1为本发明一种实施例的立体示意图;
图2为本发明一种实施例真空吸附载台的立体示意图;
图3为本发明一种实施例撕膜机械手的立体示意图;
图4为本发明一种实施例基材与载台的位置示意图;
图5为本发明一种实施例夹指夹持PET膜示意图;
图6为本发明一种实施例夹指Z向上升示意图;
图7为本发明一种实施例夹指X向移动示意图;
图8为本发明一种实施例夹指Z向下压示意图。
图中:1、真空吸附载台;101、上台板;102、下台板;103、旋转气缸;104、定位块;2、撕膜机械手;201、Z向驱动模组;202、X向驱动模组;203、夹指;204、框架;3、膜片;301、PET膜;302、柔性基材体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例
请参阅图1-8,本发明提供以下技术方案:一种柔性基材的撕膜装置,包括真空吸附载台1、撕膜机械手2和膜片3,所述真空吸附载台1包括上台板101和下台板102,上台板101和下台板102构成密封区域,所述下台板102上固定安装有旋转气缸103和定位块104;所述撕膜机械手2包括Z向驱动模组201、X向驱动模组202、夹指203和框架204,所述Z向驱动模组201在X向驱动模组202上滑动连接,所述夹指203固定安装在Z向驱动模组201的下端,所述框架204连接在X向驱动模组202的背面。
具体的,所述膜片3包括PET膜301和柔性基材体302,所述PET膜301与柔性基材体302粘合连接。
具体的,所述上台板101的上端表面开设有吸附孔,且吸附孔呈矩阵排列状设计;所述柔性基材体302固定在上台板101的上端表面。
具体的,所述上台板101和下台板102构成的密封区域与真空发生器连接。
具体的,所述定位块104通过气缸与下台板102连接。
具体的,所述夹指203置于柔性基材体302的表面正上方。
具体的,还提供一种柔性基材的撕膜方法,包括以下步骤:
S1、将膜片3放置到上台板101上,定位块104从四边向中心移动,实现膜片3的定位;定位动作完成后,利用真空发生器产生的负压将膜片3固定;
S2、膜片3固定后,Z向驱动模组201与X向驱动模组202同时移动,使夹指203移动至上台板101台阶附近;
S3、X向驱动模组202向料片靠近,使PET膜301的一角进入夹指203的夹持范围内。夹指203到位后,夹紧PET膜301,并向上移动一段距离;
S4、Z向驱动模组201移动到位后,X向驱动模组202向膜片3的中心移动一段距离,使PET膜301的一角构成“S”形;
S5、“S”形形成后,Z向驱动模组201需要进一步向下移动,减小弯曲半径;
S6、Z向驱动模组201在保持PET膜301较小的弯曲半径状态下,X向驱动模组202沿着膜片3对角线方向移动,实现PET膜301与柔性基材体302的分离。
本实施例中,将柔性基材体302放置在真空吸附载台1上,定位块104通过气缸推动向中心移动实现柔性基材体302的定位。然后,启动真空发生器,将柔性基材体302吸附于真空吸附载台1的上台板101表面;与此同时旋转气缸进行旋转,使柔性基材体302对角线与夹指203对齐。最后,撕膜机械手2沿导轨方向移动至上台板101的台阶处,通过夹指203夹紧膜片3,通过一系列动作使PET膜301达到小半径弯曲的状态并沿柔性基材体302对角线移动,实现PET膜301与柔性基材体302的分离;证明了保持PET膜301在较小的弯曲半径状态下移动,有利于实现粘结层的断裂分离;本发明装置与方法解决了膜片撕膜效率低、人工成本高的问题,提高了撕膜效率与合格率。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明,但是本发明并不限于此,在所属技术领域的技术人员所具备的知识范围内,在不脱离本发明宗旨的前提下还可以作出各种变化。

Claims (7)

1.一种柔性基材的撕膜装置,包括真空吸附载台(1)、撕膜机械手(2)和膜片(3),其特征在于:所述真空吸附载台(1)包括上台板(101)和下台板(102),上台板(101)和下台板(102)构成密封区域,所述下台板(102)上固定安装有旋转气缸(103)和定位块(104);所述撕膜机械手(2)包括Z向驱动模组(201)、X向驱动模组(202)、夹指(203)和框架(204),所述Z向驱动模组(201)在X向驱动模组(202)上滑动连接,所述夹指(203)固定安装在Z向驱动模组(201)的下端,所述框架(204)连接在X向驱动模组(202)的背面。
2.根据权利要求1所述的一种柔性基材的撕膜装置,其特征在于:所述膜片(3)包括PET膜(301)和柔性基材体(302),所述PET膜(301)与柔性基材体(302)粘合连接。
3.根据权利要求1所述的一种柔性基材的撕膜装置,其特征在于:所述上台板(101)的上端表面开设有吸附孔,且吸附孔呈矩阵排列状设计;所述柔性基材体(302)固定在上台板(101)的上端表面。
4.根据权利要求1所述的一种柔性基材的撕膜装置,其特征在于:所述上台板(101)和下台板(102)构成的密封区域与真空发生器连接。
5.根据权利要求1所述的一种柔性基材的撕膜装置,其特征在于:所述定位块(104)通过气缸与下台板(102)连接。
6.根据权利要求1所述的一种柔性基材的撕膜装置,其特征在于:所述夹指(203)置于柔性基材体(302)的表面正上方。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种柔性基材的撕膜方法,包括以下步骤:
S1、将膜片(3)放置到上台板(101)上,定位块(104)从四边向中心移动,实现膜片(3)的定位;定位动作完成后,利用真空发生器产生的负压将膜片(3)固定;
S2、膜片(3)固定后,Z向驱动模组(201)与X向驱动模组(202)同时移动,使夹指(203)移动至上台板(101)台阶附近;
S3、X向驱动模组(202)向料片靠近,使PET膜(301)的一角进入夹指(203)的夹持范围内。夹指(203)到位后,夹紧PET膜(301),并向上移动一段距离;
S4、Z向驱动模组(201)移动到位后,X向驱动模组(202)向膜片(3)的中心移动一段距离,使PET膜(301)的一角构成“S”形;
S5、“S”形形成后,Z向驱动模组(201)需要进一步向下移动,减小弯曲半径;
S6、Z向驱动模组(201)在保持PET膜(301)较小的弯曲半径状态下,X向驱动模组(202)沿着膜片(3)对角线方向移动,实现PET膜(301)与柔性基材体(302)的分离。
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