CN102388164B

CN102388164B - 放电表面处理用电极及其制造方法

Info

Publication number: CN102388164B
Application number: CN2010800160284A
Authority: CN
Inventors: 吉泽广喜; 粟田聪; 渡边光敏; 野村恭兵; 下田幸浩; 柚木伸彦; 长谷川雅信
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-04-14
Filing date: 2010-04-13
Publication date: 2013-11-13
Anticipated expiration: 2030-04-13
Also published as: RU2490094C2; CN102388164A; JPWO2010119865A1; US9410250B2; EP2420594B1; RU2011146079A; EP2420594A1; EP2420594A4; WO2010119865A8; US20120037070A1; JP5354010B2; WO2010119865A1

Abstract

一种放电表面处理用电极，其为用于通过在电极和工件之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成的、具有耐磨损性的覆膜的放电表面处理的放电表面处理用电极，其特征在于，所述放电表面处理用电极通过对压粉体实施加热处理而形成，所述压粉体是将利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金的粉末和通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末的混合粉末进行压缩成形而形成的。

Description

放电表面处理用电极及其制造方法

技术领域

本发明涉及放电表面处理用电极及其制造方法。

背景技术

国际公开WO2004/106587号公开了各种电极，作为用于在工件的被处理部分形成具有耐磨损性的覆膜的放电表面处理的放电表面处理用电极。

发明内容

发明要解决的课题

然而，上述现有技术中，虽然电极的硬度均匀性和致密性提高，但对于使用该电极来进行放电表面处理时的附着效率和成膜速度方面并未充分考虑到，因此难以提高覆膜的生产率。这里，附着效率是指相对于放电表面处理用电极的进给量、在工件的被处理表面上形成的覆膜的厚度(形成的覆膜的厚度/放电表面处理用电极的进给量)，成膜速度是指在每单位时间内形成的覆膜的厚度。

本发明鉴于上述课题而完成，其目的在于提供一种能够以高附着效率和成膜速度形成覆膜的、生产率优异的放电表面处理用电极及其制造方法。

解决课题的方法

本发明的第一方式是一种放电表面处理用电极，其为用于放电表面处理的放电表面处理用电极，放电表面处理是通过在电极和工件之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成的、具有耐磨损性的覆膜，所述电极的特征在于，通过对压粉体实施加热处理而形成，所述压粉体是将利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金(stellite)的粉末和通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末的混合粉末进行压缩成形而形成的。

发明的第二方式是一种放电表面处理用电极的制造方法，其为用于制造放电表面处理用电极的制造方法，所述放电表面处理用电极用于通过在电极和工件之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成的、具有耐磨损性的覆膜，所述制造方法的特征在于，具备：制作将至少利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金的粉末、通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末以及溶剂混合而成的浆料的浆料制作工序；在所述浆料制作工序后，干燥所述浆料中的溶剂从而制作造粒粉末的造粒粉末制作工序；在所述造粒粉末制作工序后，将所述造粒粉末进行压缩成形从而制作压粉体的压粉体制作工序；以及在所述压粉体制作工序后，对所述压粉体实施加热处理从而对所述压粉体进行烧结的加热处理工序。

附图说明

图1是说明本发明的实施方式的放电表面处理用电极的图。

图2是表示图1的放电表面处理用电极的压粉体的图。

图3是说明图1的放电表面处理用电极的制造方法中的浆料制作工序的图。

图4是说明图1的放电表面处理用电极的制造方法中的造粒粉末制作工序的图。

图5是说明图1的放电表面处理用电极的制造方法中的压粉体制作工序的图。

图6是说明图1的放电表面处理用电极的制造方法中的加热处理工序的图。

图7是表示本发明的各实施例的界面强度试验结果、重量产出量和电极制造成本的图。

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边说明本发明的优选实施方式。本发明的技术范围应该基于权利要求范围的记载而规定，并不仅仅限制于以下的实施方式。另外，在附图的说明中，对相同的要素赋予相同的符号，并省略重复说明。另外，附图的尺寸比率为了便于说明而有所夸大，存在与实际比率不同的情况。

如图1所示，本发明的实施方式的放电表面处理用电极1用于在具有电机绝缘性的油等加工液中或者气体中，通过在电极1和工件(母材)3之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成具有耐磨损性的覆膜5的放电表面处理中，所述覆膜由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成。另外，放电表面处理用电极1通过对将如图2所示的金属粉末7进行压缩成形而形成的压粉体(成形体)进行加热处理而得到。

这里，金属粉末7是指利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金的粉末(以下称为司太立合金的气流磨粉末)和通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末(以下称为通过雾化法或化学方法制造的金属粉末)的混合粉末(以下称为混合粉末7)。

司太立合金(Deloro Stellite公司的注册商标)是指包含钴、镍、钨等的、以钴为主成分的合金，作为代表性的物质，有Stellite1、Stellite3、Stellite4、Stellite6、Stellite7、Stellite 12、Stellite21、StelliteF等。

作为通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的金属，可举出例如铁系合金、镍(Ni)合金、钴(Co)合金等合金，以及铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、铬(Cr)、钼(Mo)等纯金属，以及司太立合金。

作为铁系合金，可举出例如以铁-镍作为主成分的合金、以铁-镍-钴作为主成分的合金、以铁-镍-铬作为主成分的合金等。以铁-镍-铬作为主成分的合金中包含例如不锈钢，作为其代表性的物质，有根据日本工业标准规定的SUS304、SUS316等。

作为镍合金，可举出例如Hastelloy(Haynes International公司的注册商标)、INCONEL(Special Metals公司的注册商标)、INCOLOY(Special Metals公司的注册商标)、MONEL(Special Metals公司的注册商标)、NIMONIC(Special Metals公司的注册商标)、RENE(Teledyne Industries公司的注册商标)、UNIMET(Special Metals公司的注册商标)、WASPALOY(United Technologies公司的注册商标)等。

作为钴合金，可举出例如司太立系合金、Tribaloy系合金(TRIBALOYT400、T800(Deloro Stellite公司的注册商标))、UNIMET700(Special Metals公司的注册商标)等。

气流磨(jet mill)是指以超音速或接近超音速的速度从相对的喷嘴喷射粉末的粒子，使粒子彼此发生碰撞，从而将粉末粉碎成非球状的粉末而进行微细化的装置。被粉碎的粉末呈现表面上不规则形成有无数角的多面体形状。另外，气流磨在氧化气氛中粉碎粉末，因此被粉碎的粉末含有6～14重量％的氧。

雾化法是通过使非活性气体等的喷射与从漏斗流出的金属熔液发生碰撞，将熔液粉碎成液滴并进行凝固，从而得到粉末的方法。通过雾化法制造的粉末通常呈现大致球形。

作为化学方法，有羰基法、还原法等，羰基铁粉末、羰基钴粉末、羰基镍粉末通过羰基法来制造，钼粉末通过还原法来制造。另外，羰基法具有能够进行粒子形状的控制这样的优点。

平均粒径是指使用通过激光衍射-散射法测定的粒子的粒度分布，从粒径小的尺寸累计粒度分布的结果，其累计值为50％时的粒度(中位直径)。激光衍射-散射法利用对粒子照射激光时，由于各粒径而导致散射光量和散射图不同，对在液体中运动的粒子在30秒中照射数万次激光，计算其结果，得到分布，因此可以得到平均化的数据。

通常，放电表面处理用电极多数是由平均粒径10nm～数μm的粉末成形而成，但上述放电表面处理用电极1的司太立合金的气流磨粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的平均粒径优选为3μm以下。这是因为：如果平均粒径处于该范围，则在后述的压粉体制作工序中，将混合粉末7压缩成形而得到压粉体9时，容易制作均匀压缩的压粉体9，之后在后述的加热处理工序中，将压粉体9进行烧结而制作放电表面处理用电极1时，也能够得到均匀密度的电极。

另外，使用放电表面处理用电极来进行放电表面处理时，为了有效地形成均质覆膜，利用在电极和工件之间产生的放电的能量，以恒定速度且同样地(无局部不均)将电极材料熔融并使之转移到工件上是很重要的，但如果使通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的平均粒径与司太立合金的气流磨粉末的平均粒径相比过大，则在局部或整体上，放电能量用于局部熔融电极材料所需要的热量的平衡会破坏，附着效率降低或者成膜速度降低。从这个观点出发，放电表面处理用电极1的司太立合金的气流磨粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的平均粒径均优选为3μm以下。

为了对放电表面处理用电极1赋予放电所需要的强度，优选使混合粉末7 的振实密度(tap density)为3.0～5.0g/cm³。另一方面，为了确保放电表面处理用电极1的形状的稳定性，优选添加10重量％以上的振实密度0.5～1.0g/cm³的粉碎粉。另外，振实密度是指受振动或数次敲打表面后的粉体密度，可以使用现有的振实密度测定装置来进行测定。

司太立合金的气流磨粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的重量混合比无特别限定，但为了对放电表面处理用电极1赋予放电所需要的导电率，优选为5∶5～1∶9(通过雾化法或化学方法制造的金属粉末为50～90重量％)的范围。更加优选为4∶6～2∶8(通过雾化法或化学方法制造的金属粉末为60～80重量％)，进一步优选为3∶7(通过雾化法或化学方法制造的金属粉末为70重量％左右)。

如图2所示，压粉体9是将混合粉末7压缩成形而成的成形体，通过对其进行加热处理从而形成放电表面处理用电极1。如图3所示，压粉体9中除了混合粉末7以外，还可以含有作为粘合剂11的聚丙烯(PP)和作为润滑剂15的硬脂酸。

为了提高混合粉末7的压缩成形性、容易保持压粉体9的形状而添加粘合剂11。在本实施方式中，使用聚丙烯(PP)作为主成分，但粘合剂11不限于此，可以是聚乙烯(PE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)等可塑性树脂，或者只要是形成凝胶的物质，则可以是琼脂等多糖类物质。优选采用在通用塑料中挥发性高、残留成分较少的物质。

为了提高混合粉末7的流动性、改善压缩成形时按压的压力的传递，添加1～10重量％左右的润滑材料15。在本实施方式中，使用硬脂酸，但润滑材料15不限于此，可以是固体石蜡、硬脂酸锌等蜡。

本发明的实施方式中的放电表面处理用电极的制造方法是制造放电表面处理用电极1的方法，具备以下详述的(i)浆料制作工序、(ii)造粒粉末制作工序、(iii)压粉体制作工序和(iv)加热处理工序。

(i)浆料制作工序

如图3所示，在储存于储存槽17内的溶剂19中掺入混合粉末7、粘合剂11和润滑剂15。粘合剂11可以添加2～10WT％。作为溶剂19，可举出乙醇、丙醇、丁醇等醇类，丙酮、甲苯、二甲苯、苯、正己烷等有机溶剂。另外，粘合剂11只要是聚乙烯醇(PVA)、琼脂等水溶性的物质，则可以使用水作为溶剂。然后，使设置在储存槽17中的搅拌器21绕着垂直轴旋转，对储存槽17内进行搅拌。由此，可以制作将混合粉末7、粘合剂11、润滑剂15和溶剂19混合而成的浆料23(参照图4)。

(ii)造粒粉末制作工序

(i)浆料制作工序结束后，如图4所示，使用喷雾干燥器25(干燥装置的一例)来制作造粒粉末29。具体而言，将浆料23从喷雾干燥器25的喷嘴27喷雾到喷雾干燥器25内的高温的氮气气氛中。由此干燥浆料23中的溶剂19，从而可以制作由混合粉末7、粘合剂11和润滑剂15构成的大致球形的造粒粉末29。

(iii)压粉体制作工序

(ii)造粒粉末制作工序结束后，如图5所示，使用成形模具31来制作压粉体9。具体而言，将造粒粉末29填充在成形模具31内，通过压紧装置的上活塞33和下活塞35从上下对该成形模具31进行加压。由此可以制作成形模具31内的造粒粉末29，换言之，即将成形模具31内的混合粉末7进行压缩成形从而可以制作压粉体9(参照图2和图6)。

成形模具31具备冲模37、可以上下方向移动地设置在冲模37的冲模孔37h的上部且通过压紧装置的上活塞33而从上方向下方按压的上冲头39、以及可以上下方向移动地设置在冲模37的冲模孔37h的下部且通过压紧装置的下活塞35而从下方向上方按压的下冲头41。压缩造粒粉末29时的表面压力优选为10～30MPa。另外，压粉体9的优选密度根据通过雾化法或化学方法制造的金属粉末而不同，但在例如以铁、Ni、Co为主成分的合金或金属的情况下，优选为3～4g/cc。

(iv)加热处理工序

(iii)压粉体制作工序结束后，如图6所示，使用真空加热炉43(加热炉的一例)对压粉体9进行烧结。具体而言，从成形模具31中取出压粉体9，放置在真空加热炉43的规定位置。然后，在真空加热炉43内的真空气氛中，通过真空加热炉43的加热器45对压粉体9实施加热处理，从而烧结压粉体9。优选的烧成温度、烧成时间根据通过雾化法或化学方法制造的金属粉末而不同，但在例如以铁、Ni、Co为主成分的合金或金属的情况下，烧成温度优选为550～850℃，烧成时间优选为11～13小时。由此可以充分除去粘合剂11和润滑剂15，另外，可以适度增强压粉体9的粉末粒子间的结合。

放电表面处理用电极用于放电表面处理时，由于脉冲状的放电能量而破坏、熔融，从而形成覆膜，因此放电引起的破坏容易度是重要的。烧成优选在电极材料的粉末粒子保持其形状的状态下，达到粉末粒子彼此接触的部分的结合增强的程度。具体而言，烧成后的压粉体9的电阻使用日本工业标准规定的四探针法(JIS-K-7194)进行测定时，优选达到1.0×10^-3Ω·cm以上且小于3.0×10^-2Ω·cm的程度。如果电阻处于该范围，则用作放电处理用电极时，充电时间不会变得过长，可以充分追随脉冲放电的周期，且还可以适度抑制热传导性，可以将电极前端的温度保持为高温，因此烧成后的压粉体9作为放电表面处理用电极1而适宜地起作用。

另外，在上述加热处理工序中，可以取代在真空气氛中而在非活性气体气氛中实施加热处理。

接着，关于本发明的实施方式的作用和效果进行说明。

通常，使用放电表面处理用电极进行放电表面处理时，通过在具有电绝缘性的液体中或气体中、在电极和工件之间产生脉冲状的放电，利用该放电能量将工件的被处理表面和电极材料熔融，并且使电极材料转移至工件，从而在工件的被处理表面上形成覆膜。关于电极材料的转移来更加详细地说明，如果在放电表面处理用电极和工件之间产生放电，则电极材料的一部分由于放电引起的爆炸冲击波、静电力而从电极分离，同时由于放电等离子体的热而成为熔融或半熔融的状态。分离的电极材料的一部分以熔融或半熔融的状态向工件移动，如果达到工件的被处理表面，则然后会再凝固。如果将电极送至工件侧同时继续产生脉冲状的放电，则电极前端的电极材料陆续移动至工件的被处理表面上，然后再凝固并堆积，形成覆膜。另外，还存在如下情况：从电极分离的电极材料与液体中或气体中的成分反应而成的物质到达工件的被处理表面上，进行堆积而形成覆膜。

这里，并非从电极分离的所有电极材料在工件被处理表面上的电极正下方的区域形成覆膜。从电极分离的电极材料中，也有因放电的冲击而飞远、飞散在工件被处理表面上的电极正下方的周边区域的电极材料。特别地，通过利用球磨机、珠磨机、气流磨等机械工艺的粉碎法而碎粉的粉碎粉是用于对电极赋予放电所需要的导电率的必须的电极材料，但由于其粒子形状形成为具有平面的鳞片状或表面上具有无数角的多面体形状，因此容易因放电所产生的等离子体的能量而飞远。因此，在使用仅将该粉碎粉作为电极材料的电极的放电表面处理中，难以提高附着效率或成膜速度。

本发明的实施方式的放电表面处理用电极1将平均粒径3μm以下的司太立合金的气流磨粉末和平均粒径3μm以下的通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的混合粉末7作为电极材料。通过雾化法制造的粉末(雾化粉末)由于比表面积较小，因此难以因放电所产生的等离子体的能量而飞溅，容易留在等离子体内。另外，司太立合金的气流磨粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的平均粒径均为3μm以下，一次放电而局部熔融电极材料所需要的热量的分布在电极整体上大致均匀。因此，从电极1分离的电极材料的大部分以从电极1到工件3的被处理表面的同样的趋向飞行，从而到达工件3的被处理表面，在电极1正下方的区域有效地堆积而形成覆膜，因此在使用电极1的放电表面处理中，可以实现高附着效率或成膜速度。特别地，含有70重量％左右的雾化粉末的电极1与仅将粉碎粉作为电极材料的电极相比，附着效率和成膜速度提高50％以上。

另外，通常，通过气流磨制作的金属的粉末的价格比通过雾化法等其他方法制作的金属粉末价格高。本发明的实施方式的放电表面处理用电极1将司太立合金的气流磨粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的混合粉末7作为电极材料，因此可以减小混合粉末7整体中的气流磨粉末的比例，从而可以谋求放电表面处理用电极1的电极制造成本的降低。

另外，在使用本发明的实施方式的放电表面处理用电极1来进行放电表面处理的情况和使用仅将司太立合金的气流磨粉末作为电极材料的放电表面处理用电极来进行放电表面处理的情况下，关于被膜与工件的界面强度(覆膜的拉伸粘附强度)和重量产出量进行比较，确认二者均为大致相同的程度。另外，重量产出量是指相对于放电表面处理用电极的消耗重量的、在工件的被处理表面上形成的覆膜的重量(形成的覆膜的重量/消耗的放电表面处理用电极的重量)。

以上说明的实施方式只不过是为了容易理解本发明而记载的例示，但本发明并不限定于该实施方式，在本发明的技术范围内，可以进行各种改变。

实施例

实施例1的放电表面处理用电极是将司太立合金的气流磨粉末和不锈钢(SUS316)的雾化粉末以重量混合比3∶7(不锈钢的雾化粉末为70重量％)进行混合，将该混合粉末压缩成形而形成压粉体，对其进行加热处理而得到的。司太立合金的气流磨粉末为1μm，振实密度为0.5g/cm³。不锈钢的雾化粉末的平均粒径为2.5μm，振实密度为3.5g/cm³。

实施例2的放电表面处理用电极是将司太立合金的气流磨粉末和通过化学方法制造的钴粉末以重量混合比3∶7(通过化学方法制造的钴粉末为70重量％)进行混合，将该混合粉末压缩成形而形成压粉体，对其进行加热处理而得到的。司太立合金的气流磨粉末为1μm，振实密度为0.5g/cm³。通过化学方法制造的钴粉末的平均粒径为2.5μm，振实密度为2.4g/cm³。

比较例的放电表面处理用电极是对将司太立合金的气流磨粉末压缩成形而形成的压粉体实施加热处理而得到的。司太立合金的气流磨粉末为1μm，振实密度为0.5g/cm³。

使用实施例1、实施例2、比较例，基于规定的放电条件，在工件的被处理表面上形成覆膜。比较例中，相对于规定的电极进给量1mm的、在工件的被处理表面上形成的覆膜的厚度为0.3mm以下，即附着效率为30％以下。与此相对，实施例1和2中，确认附着效率提高50％以上。

接着，为了对使用实施例1、实施例2、比较例形成的各覆膜评价界面强度，按照日本工业标准(JIS-H-8402)中规定的方法(喷镀覆膜的拉伸粘附强度试验方法)，进行各覆膜的界面强度试验，求出以比较例中形成的覆膜的拉伸粘附强度为基准(100％)时的各实施例中形成的覆膜的拉伸粘附强度。将所得的结果在图7中以虚线表示。

另外，为了评价使用实施例1、实施例2、比较例，基于规定的放电条件，在工件的被处理表面上形成覆膜时的重量产出量，求出以比较例的重量产出量为基准(100％)时的各实施例的重量产出量。将所得的结果在图7中以点画线表示。

另外，关于实施例1、实施例2、比较例的电极制造成本，求出以比较例的制造成本为基准(100％)时的各实施例的电极制造成本。将所得的结果在图7中以实线表示。

由图7可确认，就实施例1和实施例2而言，关于界面强度和重量产出量，与比较例是相同程度，另一方面，关于电极制造成本，得到显著改善。另外，实施例1与实施例2相比，界面强度和重量产出量高，确认能够有效地形成高强度的覆膜。另外，实施例1和实施例2相比，电极制造成本降低，确认是经济性更加优异的电极。

另外，实施例1由于将熔点比钴高的不锈钢作为电极材料，因此与实施例2相比，能够抑制压粉体9的烧结性，并将压粉体9的烧结温度提高至700～800℃。由此可确认，实施例1与实施例2相比，能够从放电表面处理用电极1中确实地除去添加物(粘合剂11和润滑剂15)的残渣，使放电表面处理用电极1的密度更加均匀，使覆膜5的均匀性进一步提高。

另外，关于使用实施例1、实施例2、比较例形成的覆膜进行耐磨损试验时，也可确认实施例1和2的覆膜的耐磨损性与比较例的情况为相同程度。

工业实用性

本发明的放电表面处理用电极可以维持覆膜的界面强度、重量产出量且以高附着效率和成膜速度形成覆膜，生产率优异。另外，由于电极制造成本也低、经济性也优异，因此可以适宜地用于提高放电表面处理形成航空飞机用燃气轮机、车辆用涡轮增压器或增压器的涡轮叶片的耐磨损性覆膜等情况等等多种用途中。

Claims

1.一种放电表面处理用电极，其为用于通过在电极和工件之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成的、具有耐磨损性的覆膜的放电表面处理的放电表面处理用电极，其特征在于，

其通过对压粉体实施加热处理而形成，所述压粉体是将利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金的粉末和通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末的混合粉末进行压缩成形而形成的，

其中，利用气流磨制作司太立合金的粉末和通过雾化法或化学方法制造的金属粉末的重量混合比为5∶5～1∶9的范围。

2.如权利要求1所述的放电表面处理用电极，其特征在于，所述金属为合金。

3.如权利要求1所述的放电表面处理用电极，其特征在于，所述金属为纯金属。

4.如权利要求1所述的放电表面处理用电极，其特征在于，所述金属为铁系合金、钴合金或镍合金。

5.如权利要求1所述的放电表面处理用电极，其特征在于，所述金属为铁、钴、镍、铜、铬或钼。

6.如权利要求1所述的放电表面处理用电极，其特征在于，所述金属为不锈钢。

7.一种放电表面处理用电极的制造方法，其为用于制造放电表面处理用电极的制造方法，所述放电表面处理用电极用于通过在电极和工件之间产生放电并利用该放电能量而在工件的被处理表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能量反应而成的物质构成的、具有耐磨损性的覆膜的放电表面处理，所述制造方法的特征在于，具备：

制作将至少利用气流磨制作的平均粒径3μm以下的司太立合金的粉末、通过雾化法或化学方法制造的平均粒径3μm以下的金属粉末以及溶剂混合而成的浆料的浆料制作工序；

在所述浆料制作工序后，干燥所述浆料中的溶剂从而制作造粒粉末的造粒粉末制作工序；

在所述造粒粉末制作工序后，将所述造粒粉末进行压缩成形从而制作压粉体的压粉体制作工序；和

在所述压粉体制作工序后，对所述压粉体实施加热处理从而对所述压粉体进行烧结的加热处理工序。

8.如权利要求7所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于，所述金属为合金。

9.如权利要求7所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于，所述金属为纯金属。

10.如权利要求7所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于，所述金属为铁系合金、钴合金或镍合金。

11.如权利要求7所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于，所述金属为铁、钴、镍、铜、铬或钼。

12.如权利要求7所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于，所述金属为不锈钢。