CN101209437A

CN101209437A - 流体喷嘴

Info

Publication number: CN101209437A
Application number: CNA2007101949470A
Authority: CN
Inventors: 金银洙; 李敦衡; 李尚旭
Original assignee: Display Manufacturing Services Co Ltd
Current assignee: Weihai Dms Optical Electromechanical Co ltd; DMS Co Ltd
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2007-12-05
Publication date: 2008-07-02
Anticipated expiration: 2027-12-05
Also published as: KR100828665B1; TW200827034A; CN101209437B; TWI329036B

Abstract

本发明涉及一种流体喷嘴。所述流体喷嘴包括：喷嘴本体，其由一对板体构成，且形成有向基板吐出流体的吐出口；流路，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于向所述吐出口引导流体，其中，所述吐出口的吐出面积大于所述流路的横截面，此结构使通过流路的流动流体的流速降低，之后再吐出。所述流体喷嘴具有以下优点：由于形成在喷嘴内部的流路宽度比较窄，而增加了流体和流路内表面之间的附着力，从而在关闭阀门时残留的流体停止流动，进而防止不必要的流体吐出并可节省流体。

Description

流体喷嘴

技术领域

本发明涉及一种流体喷嘴，尤其涉及一种通过改善其结构而能够均匀喷射药液的流体喷嘴。

背景技术

通常，流体喷嘴是向基板表面喷射药液等流体的装置。所述流体喷嘴根据其用途可应用于各种领域。即，所述流体喷嘴可应用于在基板上涂敷药液而形成涂层的涂敷装置、利用药液对基板进行显影作业的显影装置、以喷射清洗液来除去基板上异物的清洗装置等种种装置。

图1和图2举例示出了流体喷嘴用于显影装置上的示意图。如图1所示，流体喷嘴1的喷嘴本体2设置于基板G的上部。而且，所述喷嘴本体2上连接有用于供给药液W的药液供给管6。由此，药液供给管6所供给的药液W通过喷嘴本体2的吐出口N喷射到基板G上面。

此时，喷嘴本体2由第一板体4及第二板体3构成，且所述第一板体4及第二板体3相隔预定距离设置，从而在所述两个板体之间形成流路，并在所述流路端部形成吐出口N。药液W则通过所述吐出口N向外喷射。

现有技术的流体喷嘴通过喷嘴喷射药液时，其药液沿着直线轨迹高速喷出后与基板相接触。此时，由于高速喷出的药液与基板点接触，因此在基板上面由吐出药液所形成的表面不均匀且呈波纹状，从而在生产工序中会导致障碍。

为了克服上述问题，当通过加大吐出口的横截面来使药液减速时，吐出口内表面和药液之间的附着力减弱，而组成药液的分子之间引力相对变大，进而使药液相互凝聚，导致药液以不均匀的状态喷射。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种通过改善喷嘴结构来向基板均匀地吐出药液的流体喷嘴。

为实现上述目的，本发明提供一种流体喷嘴，其包括：喷嘴本体，其由一对板体构成，且具有向基板吐出流体的吐出口；流路，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于朝所述吐出口方向引导流体。其中，所述吐出口端部的吐出面面积大于所述流路的横截面面积，此结构可使通过所述流路的流体减速后吐出。

本发明所提供的流体喷嘴具有如下优点。

第一，由于形成在喷嘴内部的流路宽度比较窄，所述流体对流路内表面的附着力比较大，因此可在关闭阀门时能够使残留的流体停止流动，从而防止不必要的流体吐出而减少流体使用量。

第二，由于吐出口的吐出面积大于流路的横截面面积，因此可以使大量流体低速吐出。

第三，由于在吐出口上形成曲面，流体可沿着所述曲面吐出，因此可以使大量流体低速向基板吐出。

第四，在流路上设置腔室的结构，可以使流过所述流路的流体暂时停留在腔室后再流出。因此此种结构可以使流体在流路上均匀地流动。

附图说明

图1是现有流体喷嘴结构的侧视图。

图2是图1所示现有流体喷嘴结构的主视图。

图3是根据本发明优选实施例的流体喷嘴的立体图。

图4是图3所示流体喷嘴的主视图。

图5是图3所示流体喷嘴的侧视图。

图6是图5所示流体喷嘴中吐出口的局部放大图。

标记说明

10：喷嘴

12：喷嘴本体

14：第二板体

16：第一板体

20：流路

C：腔室

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明优选实施例的流体喷嘴结构。

所述流体喷嘴可适用于显影装置、涂敷装置及清洗装置，但下面仅对其在显影装置上的应用情况进行说明。

图3是本发明优选实施例的流体喷嘴的简单立体图，图4是图3所示流体喷嘴的正视图。

如图所示，本发明的流体喷嘴10可配置于通过辊轮R输送的基板G的上方。

所述流体喷嘴10具有用于向基板G吐出流体W(以下称为药液)的吐出口N，并且包括用于向所述喷嘴10供给药液W的流体供给管18(以下称为药液供给管)。

设置后的所述流体喷嘴10与所述基板G具有一定的倾斜角度。因此，通过所述流体喷嘴10吐出的药液W朝基板G前进方向的相反方向吐出。

如图4至图6所示，本发明实施例的流体喷嘴10包括：喷嘴本体12，其由一对板体组成，且具有用于向基板G吐出药液W的吐出口N；流路20，其形成在所述喷嘴本体12内部，且用于朝所述吐出口N方向引导流体。

组成所述喷嘴本体12的一对板体包括第一板体16与第二板体14，其中所述第一板体16靠近所述基板G，而所述第二板体14则与所述第一板体16相对地设置，并通过其它连接部件(未图示)与所述第一板体16相连接。所述板体的形状为长方体状。

其中，所述第一板体16和第二板体14相隔预定距离设置，且两者之间形成流路20。

如上所述，所述流路20可将第一板体16及第二板体14这两个板体通过连接部件相互连接而形成，也可以通过对一个板体内部进行加工而形成。

另外，所述多个药液供给管18分别与所述喷嘴本体12相连通，而所述长方体状喷嘴本体12上，所述多个药液供给管18之间最好具有预定的间隔，以便向所述流路20供给均匀的药液。

此时，在预定范围内形成所述流路20的宽度t，例如，其宽度范围为0.1mm至1.9mm。即，所述宽度t窄于现有装置的流路宽度2.0mm。

如此，当流路20的宽度t较窄时单位面积的流量就会减少，进而使流路20内表面和药液W之间的附着力增加。

即，作用于药液W和流路20内表面之间的附着力将会克服作用于药液之间的引力。

因此，通过所述流路20流出的药液W之间互相凝聚的倾向不如沿着扁平状流路20内表面流下的倾向占优势。因此，所述药液W可通过扁平状流路20的内表面均匀吐出。

而且，向所述流路20供给药液W的药液供给管18通过开关功能可有效地喷射流体。

即，如果阻断向喷嘴12的流路20供给的药液W，由于药液W得不到继续供给，流路20中的药液W所受到的重力小于其对流路20内表面的附着力。因此，残留在流路20中的药液W在所述附着力的作用下停留在某一位置上。

通过所述喷嘴12的开关功能可防止不必要的药液吐出，从而可节省约50％的药液。

另外，所述流路20上形成有腔室C，其对药液W起着引导作用，从而使药液W喷射得更加均匀。即，所述腔室C是在所述第一板体16表面上以预定深度形成的具有半圆型剖面的槽。所述腔室C在第一板体16的表面横向形成。

因此，通过所述流路20流下的药液W储存在所述腔室C内后，在腔室C内互相混合。并且，如果腔室C内部储存预定量的药液W就会溢出，从而使药液W沿着流路20流下。

如此，在药液W通过腔室C的过程中，在流过流路20的上部区域即流过腔室C上部区域时，由于药液W与流路20内表面接触，因此药液W的流动性增加，从而会以不均匀的状态流下。

因此，设置所述腔室C，可在腔室C内暂时储存及混合流入的药液W后，再使其通过流路20的下部区域向下流。通过此过程，可使药液W互相混合，进而可以在比较均匀的状态下吐出。

上述说明中，腔室C的剖面形状为半圆形，但本发明并不局限于上述形状，也可以是三角形、四角形等，只要是能够储存药液W都可以。

另外，如图6所示，本发明实施例的吐出口N由所述第一板体16的端部25及第二板体14的端部22所形成。所述吐出口N的宽度t1大于所述流路20的宽度t。

由于吐出口N端部的吐出面面积大于流路20的横截面面积，因此可以使通过所述流路20的药液W减速后吐出。

而且，本发明的实施例中，与第二板体14的端部22相比，所述第一板体16的端部25向基板G方向更加凸出。优选地，在所述第一板体16的吐出口N的端部25上形成曲面24。

具体而言，将所述第一板体16的端部25设成比第二板体14的端部22更向基板G方向凸出的原因是为了使第一板体16的端部25与第二板体14的端部22之间具有预定的高度差t2，以便使药液W沿着与基板G相邻设置的第一板体16吐出。

在所述第一板体16的端部25上形成曲面24，可使药液W沿着曲面24并由第一板体16的底面和基板G的上表面之间吐出。

此时，所述第一板体16的底面可与吐出于基板G上的药液上层接触。

因此，可使大量的药液W在低速状态下沿着所述第一板体16的下端吐出后与所述基板G表面线接触，从而均匀地分布于基板G上；或者通过所述第一板体16的底面与药液上层的接触，使所述药液W更为均匀地分布于基板上。

下面，参照附图进一步详细说明本发明优选实施例的流体喷嘴的操作过程。

如图3至图6所示，通过药液供给管18供给的药液W供给到喷嘴本体12的流路20中。此时，如果把所述流路20的宽度t设定得比较窄，就可减少单位面积的流量，而增加流路20内表面和药液W之间的附着力。

而且，流过所述流路20的药液W经过腔室C可以均匀地混合。

即，流过流路20的上部区域时，因流动性增加而可能以不均匀状态向下流的药液W，在腔室C内暂时被储存及混合之后，再经过流路20的下部区域流出，因此药液W可以在经过混合后更为均匀的状态下流出。

如此，药液W可以均匀的状态经由所述流路20内部，并通过所述吐出口N吐出。

另外，所述药液供给管18通过开关功能可有效地喷射流体。

即，如果阻断向喷嘴12的流路20供给的药液W，由于药液W得不到继续供给，所述药液W的重力将小于其对流路20内表面的附着力。因此，残留在流路20内部的药液W在所述附着力的作用下将停止流动而停留在某一位置上。

通过所述喷嘴12的如上开关功能可防止不必要的药液W吐出，从而可节省约50％的药液W。

这样，流过所述流路20的药液W可通过吐出口N吐出在基板G表面。此时，所述吐出口N的宽度t1大于所述流路20的宽度t。即，所述吐出口N的吐出面面积大于流路20的横截面面积，从而使通过所述流路20的药液W减速后再吐出。

此外，与第二板体14的端部22相比，所述第一板体16的端部25向基板G方向更加凸出，而且在所述第一板体16的吐出口N端部25上形成有曲面24。

通过这一结构，经吐出口N吐出的药液W可由第一板体16的一侧吐出。

此时，吐出的药液W沿着形成在所述第一板体16端部25上的曲面24并通过第一板体16的底面和基板G上面之间吐出。

因此，可使大量的药液W在低速状态下沿着所述第一板体16的下端吐出后与所述基板G表面线接触，从而均匀地分布于基板G上；或者通过所述第一板体16的底面与药液上层的接触，使药液W更为均匀地分布于基板上。

经上述过程，药液W能够以均匀的状态分布于基板上。

Claims

1.一种流体喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴本体，其由一对板体构成，且具有向基板吐出流体的吐出口；

流路，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于朝所述吐出口方向引导流体；

其中，所述吐出口端部的吐出面面积大于所述流路的横截面面积，以使通过所述流路的流体减速后吐出。

2.根据权利要求1所述的流体喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体包括：

第一板体，其设置在邻接于基板的位置上；

第二板体，其设置在所述第一板体的上侧，并与所述第一板体相连接；

其中，与所述第二板体的端部相比，所述第一板体的端部向基板方向更加凸出。

3.根据权利要求2所述的流体喷嘴，其特征在于：

所述第一板体的吐出口端部为曲面。

4.根据权利要求1所述的流体喷嘴，其特征在于：

所述流路具有这样的宽度：当阻断所述流体的流动时，通过流体与流路内表面之间的附着力停止流体流动。

5.根据权利要求1至4中任何一项所述的流体喷嘴，其特征在于，进一步包括腔室，所述腔室形成在所述流路上，并具有预定容积，其可以暂时储存流过所述流路的流体，之后再使所述流体流下。

6.根据权利要求3所述的流体喷嘴，其特征在于：

通过所述吐出口喷射的流体沿曲面吐出，并与所述基板线接触，而所述第一板体的下端与所述基板上的流体接触，从而使流体均匀地涂覆于基板上。