CN106001004A - 一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置及光伏板清洁方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，包括一基座，基座下部间隔均布设置有若干支架，支架上有滚动轴，每个滚动轴套装有管状金属电极，每个管状金属电极通过引线与高压正弦电源的输出端连接；所述的管状金属电极包裹有绝缘介质层；基座上设有手柄；通过手持手柄使基座在光伏板表面滚动，包裹有绝缘介质层的管状金属电极压紧光伏板表面，光伏板下表面的硅介质层接地；管状金属电极的外表面与光伏板表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和活性粒子，利用等离子体和活性粒子对光伏板表面分别进行表面防污处理和污迹清理。
Description
技术领域
本发明属于气体放电技术和光伏板表面处理领域，具体涉及一种在滚动过程中产生辉光放电等离子体的接触式装置，本发明还涉及接触式辉光放电等离子体应用于光伏板表面清洁的方法。
背景技术
近年来对材料表面改性技术的研究和应用日异兴起，其中最热门的技术之一是低温等离子技术。低温等离子体中高能粒子的能量一般约为几至几十电子伏特，大于待处理材料分子的结合键能，完全可以使分子链发生断裂。经过低温等离子体处理的材料表面发生多种物理和化学变化，例如形成致密的交联层以及引入极性基团，使材料的亲水性、粘结性、染色性、生物相容性及电性能等得到改善。同时低温等离子处理只作用于材料表面(通常为几至几十纳米)，不影响基体的性质。此外，低温等离子体技术具有易操作、加工速度快、处理效果好、环境污染小、节能等优点，因此在材料表面改性处理中得到广泛的应用并具有广阔的发展前景。
等离子体技术同样可以在光伏板表面清洗方面发挥作用。低温等离子体技术在清洁光伏板表面的过程中，可以改变光伏板表面亲水性，从而改善其抗污性能。等离子体作用于表面时可使污迹发生一系列物理化学反应以使其与光伏板表面容易分离，从而达到清洁的目的。等离子清洗技术与传统的清洗技术相比的优势有：工艺过程容易控制；一次洗净，基本没有残留物；反应副产物为气体；反应气体大多为无毒等。由于这些特点，等离子体清洁技术具有较高的应用价值。
一般来说，常用生成等离子体的放电形式有电晕放电、辉光放电和电弧放电等。其中，辉光放电较为均匀柔和，对处理物表面不易产生损伤。所以，辉光放电等离子体技术在光伏板表面清洁和改性处理等方面更为适用。
目前研究中，在大气压空气条件下大面积的辉光放电等离子体的生成仍无较可靠的方法，放电很容易从辉光放电向丝状放电甚至弧光放电转化，很难形成稳定均匀的辉光放电等离子体。而丝状放电和弧光放电等离子体利用率低，且局部温度比较高易损伤待处理物，不适合在表面处理中应用。依靠惰性气体（如Ar、He等）在大气压下实现的辉光放电等离子体成本较高，低气压条件下生成等离子体需要密闭环境和抽气系统，实际应用中存在局限性。
针对现有技术存在的不足，提出本发明。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够在大气压空气条件下产生辉光等离子体并对光伏板表面进行处理的装置，用以解决现有的光伏板表面清洁技术中洗涤剂的使用造成化学污染的问题。
本发明的目的还包括提供在大气压空气条件下光伏板的清洁方法。
为实现上述发明目的，本发明的技术方案是：一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，包括一基座，基座下部间隔均布设置有若干支架，支架上有滚动轴，每个滚动轴套装有管状铜电极，每个管状铜电极通过引线与高压正弦电源的输出端连接；所述的管状铜电极包裹有绝缘介质层；基座上设有手柄；通过手持手柄使基座在光伏板表面滚动，包裹有绝缘介质层的管状铜电极压紧光伏板表面，光伏板下表面的硅介质层接地；管状铜电极的外表面与光伏板表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和活性粒子，利用等离子体中的活性粒子对光伏板表面分别进行表面抗污处理和污迹处理。
所述的绝缘介质层采用聚四氟乙烯。
本发明还提供了一种光伏板的清洁方法，具体为将与高压正弦电源输出端连接的带有绝缘介质层的管状铜电极直接在光伏板表面上滚动，光伏板下表面的硅介质层接地，带有绝缘介质层的管状铜电极的外表面与光伏板表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体，利用等离子体中的活性粒子对光伏板表面分别进行表面抗污处理和污迹处理。
本发明提供的另一个光伏板的清洁方法，在光伏板表面滴加一层水膜，将与高压正弦电源输出端连接的带有绝缘介质层的管状铜电极表面浸入水膜中，在光伏板表面上滚动，光伏板下表面的硅介质层接地，带有绝缘介质层的管状铜电极的外表面与光伏板上的水膜表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体，利用等离子体中的活性粒子对光伏板表面分别进行表面抗污处理和污迹处理。
本发明的有益效果是：
本发明提出一种能够在滚动过程中产生辉光等离子体并对光伏板表面进行处理的装置以及光伏板的清洁方法，本发明通过合理的电极结构设计，使高压电极与接地电极接触点附近的间隙内存在一个可生成大量初始高能电子的产生强电场区域，并在周围区域内形成较强电场，该区域内利用初始放电区域内扩散出的高能电子可形成一种稳定的辉光放电。在以上两种机制的共同作用下实现了大气压空气中均匀稳定的辉光放电，并且可以对光伏板表面进行处理。
附图说明
当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本发明以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定，其中：
图1是本发明的光伏板清洁装置的结构示意图；
图2是实施例2的光伏板清洁方法示意图；
图3是实施例3的光伏板清洁方法示意图；
具体实施方式
下面将结合附图对本发明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1：
如图1所示，本发明的一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，包括一基座1，基座1下部间隔均布设置有若干支架2，支架2上有滚动轴3，每个滚动轴3套装有管状铜电极4，每个管状铜电极4通过引线与高压正弦电源5的输出端连接；所述的管状铜电极4包裹有绝缘介质层6；基座1上设有手柄7；
管状铜电极4的半径为40mm，外面包裹一层厚度0.2mm的材质为聚四氟乙烯的热缩管作为绝缘介质层6。
结合附图2所示，通过手持手柄7使基座在光伏板8表面滚动，包裹有绝缘介质层6的管状铜电极4压紧光伏板8表面，光伏板8下表面的硅介质层9接地；管状铜电极4的外表面与光伏板8表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和活性粒子，利用等离子体和活性粒子对光伏板的表面分别进行表面污迹处理。
所述的绝缘介质层采用聚四氟乙烯。
实施例2：
如附图2所示，本发明还提供了一种光伏板的清洁方法，具体为将与高压正弦电源5输出端连接的带有绝缘介质层6的管状铜电极4直接在光伏板7表面上滚动，光伏板7下表面的硅介质层8接地，带有绝缘介质层6的管状铜电极4的外表面与光伏板7表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和活性粒子，利用等离子体和活性粒子对光伏板表面进行处理使其抗污能力提升。每组电极数量，电极组数，电极半径等参数均可能做出变动和修改。
本实施例直接利用了光伏板内部的硅介质层作为阴极，不需要另外提供阴极。可实现光伏板表面清洁及抗污处理。
本实施例中，采用的是频率为20Hz、输出最大电压为10kV的高频高压电源。电源输入端连接220V工频交流电压，通过二极管将其整为直流电压，直流电压经过电容滤波以后使用全控器件MOSFET进行斩波，得到高频低压交流电，然后交流电压通过高频变压器升压，输出高频高压交流电。高压正弦电源5的输出端正极接管状铜电极4，负极接光伏板7下表面的硅介质层8，两电极之间的光伏板的超白钢化玻璃厚度3.2mm。
通过实验验证，经过清洁装置处理过的光伏板与未处理过的光伏板相比具有了良好的防污能力。
实施例3：
如附图3所示，光伏板的清洁方法，在光伏板7表面滴加一层水膜10，将与高压正弦电源5输出端连接的带有绝缘介质层6的管状铜电极4表面浸入水膜10中，在光伏板7表面上滚动，光伏板7下表面的硅介质层8接地，带有绝缘介质层6的管状铜电极4的外表面与光伏板7上的水膜10表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和强氧化自由基粒子，利用等离子体和强氧化自由基粒子对光伏板表面分别进行表面污迹处理。与前述干燥条件下处理相比的优势在于，有水存在时等离子体成分会发生变化，强氧化性自由基的种类增多，氧化性增强，针对光伏板表面难降解的污迹处理效果更好。
通过实验验证，潮湿条件下清洁装置对光伏板表面污垢处理的效果更好。
Claims (5)
1.一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，其特征在于，包括一基座，基座下部间隔均布设置有若干支架，支架上有滚动轴，每个滚动轴套装有管状铜电极，每个管状铜电极通过引线与高压正弦电源的输出端连接；所述的管状铜电极包裹有绝缘介质层；基座上设有手柄；通过手持手柄使基座在光伏板表面滚动，包裹有绝缘介质层的管状铜电极压紧光伏板表面，光伏板下表面的硅介质层接地；管状铜电极的外表面与光伏板表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体，在不同情况下利用等离子体中的活性粒子分别对光伏板表面进行防污处理和污迹清理。
2.根据权利要求1所述的一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，其特征在于，所述基座的一端下部通过支架连接有裸露管状铜电极，裸露管状铜电极与高压正弦电源接地端连接。
3.根据权利要求1所述的一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置，其特征在于，所述的绝缘介质层采用聚四氟乙烯。
4.一种光伏板的清洁方法，其特征在于，将与高压正弦电源输出端连接的带有绝缘介质层的管状铜电极直接在光伏板表面上滚动，光伏板下表面的硅介质层接地，带有绝缘介质层的管状铜电极的外表面与光伏板表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体和活性粒子，利用等离子体中的活性粒子对光伏板表面分别进行防污处理和污迹清理。
5.一种光伏板的清洁方法，其特征在于，在光伏板表面滴加一层水膜，将与高压正弦电源输出端连接的带有绝缘介质层的管状铜电极表面浸入水膜中，在光伏板表面上滚动，光伏板下表面的硅介质层接地，带有绝缘介质层的管状铜电极的外表面与光伏板上的水膜表面的接触点附近形成有间隙，通电后，间隙内产生辉光放电，生成等离子体，利用等离子体中的活性粒子对光伏板表面分别进行防污处理和污迹清理。
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|---|---|
| CN (1) | CN106001004A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118237313A (zh) * | 2024-05-29 | 2024-06-25 | 济南西电特种变压器有限公司 | 一种变压器清洁装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001012350A1 (en) * | 1999-08-16 | 2001-02-22 | The University Of Tennessee Research Corporation | Cleaning surfaces with a thermal-non-equilibrium glow discharge plasma at high pressure |
| CN1294640A (zh) * | 1999-02-24 | 2001-05-09 | Mag机器设备公开股份有限公司 | 处理导电连续线材用的装置和方法 |
| DE10321889A1 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-02 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche eines flächigen Substrats |
| CN1294640C (zh) * | 2003-09-03 | 2007-01-10 | 联华电子股份有限公司 | 介层洞优先双镶嵌制程 |
| JP2007196122A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Sharp Corp | プラズマ洗浄方法 |
| CN101488447A (zh) * | 2007-12-19 | 2009-07-22 | 因特瓦克公司 | 利用现场等离子体激励对室进行清洗的方法和设备 |
| KR20110001748A (ko) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 코오롱건설주식회사 | 태양전지 모듈용 이물질 제거장치 |
| WO2016017852A1 (ko) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 김영지 | 다기능 태양광발전패널용 건식자동먼지제거장치 |
| CN205684427U (zh) * | 2016-06-12 | 2016-11-16 | 北京睿昱达科技有限公司 | 一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置 |
-
2016
- 2016-07-08 CN CN201610408904.7A patent/CN106001004A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1294640A (zh) * | 1999-02-24 | 2001-05-09 | Mag机器设备公开股份有限公司 | 处理导电连续线材用的装置和方法 |
| WO2001012350A1 (en) * | 1999-08-16 | 2001-02-22 | The University Of Tennessee Research Corporation | Cleaning surfaces with a thermal-non-equilibrium glow discharge plasma at high pressure |
| DE10321889A1 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-02 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche eines flächigen Substrats |
| CN1294640C (zh) * | 2003-09-03 | 2007-01-10 | 联华电子股份有限公司 | 介层洞优先双镶嵌制程 |
| JP2007196122A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Sharp Corp | プラズマ洗浄方法 |
| CN101488447A (zh) * | 2007-12-19 | 2009-07-22 | 因特瓦克公司 | 利用现场等离子体激励对室进行清洗的方法和设备 |
| KR20110001748A (ko) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 코오롱건설주식회사 | 태양전지 모듈용 이물질 제거장치 |
| WO2016017852A1 (ko) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 김영지 | 다기능 태양광발전패널용 건식자동먼지제거장치 |
| CN205684427U (zh) * | 2016-06-12 | 2016-11-16 | 北京睿昱达科技有限公司 | 一种辉光放电等离子体光伏板清洁装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118237313A (zh) * | 2024-05-29 | 2024-06-25 | 济南西电特种变压器有限公司 | 一种变压器清洁装置 |
| CN118237313B (zh) * | 2024-05-29 | 2024-08-02 | 济南西电特种变压器有限公司 | 一种变压器清洁装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20161012 |