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AR000229A1 - Conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para la fabricación del mismo - Google Patents

Conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para la fabricación del mismo

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AR000229A1
AR000229A1 AR33434895A AR33434895A AR000229A1 AR 000229 A1 AR000229 A1 AR 000229A1 AR 33434895 A AR33434895 A AR 33434895A AR 33434895 A AR33434895 A AR 33434895A AR 000229 A1 AR000229 A1 AR 000229A1
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AR
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thin film
electrode
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electromovable
manufacturing
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AR33434895A
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Daewoo Electronics Co Ltd
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Abstract

Un conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para fabricarlo, incluyendo el conjunto una matriz activa que tiene un substrato, unconjunto de M x N terminales de conexión y un conjunto de M x N transistores, y un conjunto de M x N estructuras accionadoras donde cada una de lasestructuras accionadoras presenta una estructura bimorfa, e incluye una porción accionadora y una porción reflectora de luz, incluyendo la porción accionadorauna porción frontal de un primer electrodo de película delgada, un miembro electromovible superior, un electrodo intermedio, un miembro electromovibleinferior, y una porción frontal de un segundo electrodo de película delgada, estando la porción frontal eléctricamente conectadaa cada uno de losterminales de conexión y a cada uno de los transistores, y la porción restante del primer electrodo de película delgada está dispuesta sobre la parte superiorde la porción restante del segundo electrodo de película delgada, para formar la porción reflectora de luz, permitiendo que los electrodos de películadelgada primero y segundo funcionen como un electrodo de senal, estando el electrodo intermedio dispuesto entre los miembros electromovibles superior einferior y funcionando como un electrodo de bías común.
AR33434895A 1994-01-19 1995-11-23 Conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para la fabricación del mismo AR000229A1 (es)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940000972A KR960014456B1 (ko) 1994-01-19 1994-01-19 트렌치형 소자분리구조를 갖는 반도체 장치 및 그 제조방법

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AR000229A1 true AR000229A1 (es) 1997-05-28

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AR33434895A AR000229A1 (es) 1994-01-19 1995-11-23 Conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para la fabricación del mismo

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JP (1) JP2793141B2 (es)
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KR960014456B1 (ko) 1996-10-15
JP2793141B2 (ja) 1998-09-03
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KR950024300A (ko) 1995-08-21

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