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MX2012000344A - Metodo y aparatopara tratar sustratos. - Google Patents

Metodo y aparatopara tratar sustratos.

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Publication number
MX2012000344A
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Authority
MX
Mexico
Prior art keywords
processing solution
substrates
container
extraction module
aparatopara
Prior art date
Application number
MX2012000344A
Other languages
English (en)
Inventor
Heinz Kappler
Joerg Lampprecht
Original Assignee
Schmid Gmbh Gebr
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schmid Gmbh Gebr filed Critical Schmid Gmbh Gebr
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    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
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Abstract

En el caso de un método y aparato para tratar sustratos, se remueven o eliminan las capas resistentes de los sustratos mediante el rociado de una solución de procesamiento. Los sustratos son rociados primero con la solución de procesamiento en el modulo de extracción principal y de4spues en un modulo post extracción y dicha solución de procesamiento se recolecta en contenedores debajo de los módulos. Por lo menos se proporciona un contenedor para cada modulo de extracción principal en dos contenedores y primero se alimenta directamente al segundo contenedor. Que se encuentra separado en gran medida del primer contenedor de una pared que es permeable a los líquidos en una región significativamente debajo del nivel de superficie de la solución de procesamiento. La solución de procesamiento es eliminada del primer contenedor sin espuma y se regresa nuevamente al ciclo de proceso para mojar/humedecer los sustratos.
MX2012000344A 2009-07-06 2010-07-05 Metodo y aparatopara tratar sustratos. MX2012000344A (es)

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