WO2026014220A1 - 搬送車システム及び中継装置 - Google Patents

Abstract

搬送車システム（１）は、上階層（ＵＬ）の天井（Ｗ１ｃ）に設けられた軌道（４を走行する上階層搬送車（１０Ａ）と、下階層（ＤＬ）の天井（Ｗ３ｃ）に設けられた軌道（４）を走行する下階層搬送車（１０Ｂ）と、上階層搬送車（１０Ａ）と下階層搬送車（１０Ｂ）との間の物品（９０）の受け渡しを中継する中継装置（４０）と、を備える。中継装置（４０）は、上階層（ＵＬ）の床面（Ｗ２ｆ）に設けられる上階層載置部（４３）と、下階層（ＤＬ）に設けられる下階層載置部（５６）と、上階層載置部（４３）と下階層載置部（５６）との間で物品（９０）を受け渡しする移載装置（５０）と、を有する。上階層搬送車（１０Ａ）は、上階層載置部（４３）に対して物品（９０）を移載し、下階層搬送車（１０Ｂ）は、下階層載置部（５６）に対して物品（９０）を移載する。

Description

搬送車システム及び中継装置

　本発明の一側面は、搬送車システム及び中継装置に関する。

　軌道を走行する搬送車によって物品を搬送させる搬送車システムが知られている。このような搬送車システムに用いられる搬送車では、ロープ及びベルト等の吊部材の巻取りないし繰出しによって物品を保持する昇降部を昇降させる。例えば、特許文献１には、上階層の天井に設けられた軌道を走行する上階層搬送車と下階層の天井に設けられた軌道を走行する下階層搬送車との間で物品を受け渡し可能な搬送車システムが開示されている。

　特許文献１の搬送車システムでは、上階層及び下階層を連通する連通口の下方に一次保管棚が配置されている。上階層搬送車は、吊部材を繰り出すことによって保持部を降下させ、下階層に配置された保管棚に物品を受け渡す。次いで、下階層搬送車が、保持部を水平方向に移動させた後、吊部材を繰り出すことによって保持部を降下させ、保管棚から物品を受け取る。これにより、上階層搬送車と下階層搬送車との間で物品を受け渡すことが可能となる。

特開２０１０－０６４８３３号公報

　上記従来の搬送車システムでは、上階層搬送車が下階層に設けられた保管棚に物品を移載するためには、通常よりも吊部材を長く繰り出す必要がある。このため、上階層搬送車が下階層に設けられた保管棚に物品を移載するのに要する時間は、上階層に設けられた保管棚に物品を移載するのに要する時間に比べて長くなる。この結果、上階層搬送車が軌道上に停止する時間が長くなる。

　そこで、本発明の一側面の目的は、吊部材を不要に長くすることなく、上階層搬送車と下階層搬送車との間で物品を受け渡すことが可能になる搬送車システム及び中継装置を提供することにある。

　（１）本発明の一側面に係る搬送車システムは、軌道に沿って走行可能な第一本体部と、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより第一本体部に対して昇降可能に設けられると共に物品を保持可能な第一保持部と、を有する搬送車に物品を搬送させる、搬送車システムであって、上階層の天井に設けられた軌道を走行する搬送車である上階層搬送車と、上階層よりも下方の下階層の天井に設けられた軌道を走行する搬送車である下階層搬送車と、上階層搬送車と下階層搬送車との間の物品の受け渡しを中継する中継装置と、を備え、中継装置は、上階層の床面に設けられる上階層載置部と、下階層に設けられる下階層載置部と、上階層載置部と下階層載置部との間で物品を受け渡しする移載装置と、を有し、上階層搬送車は、上階層載置部に対して物品を移載し、下階層搬送車は、下階層載置部に対して物品を移載する。

　この構成の搬送車システムでは、上階層と下階層との間で物品の搬送を行うために必要な上階層搬送車の吊部材の繰出し長さは、上階層の床面に設けられる上階層載置部に到達可能な長さで十分であり、下階層に設けられる下階層載置部に到達可能な長さと比べると短い。これにより、吊部材を不要に長くすることなく、上階層搬送車と下階層搬送車との間で物品を受け渡すことが可能になる。

　（２）上記（１）に記載の搬送車システムでは、移載装置は、第二本体部と、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより第二本体部に対して昇降可能に設けられると共に物品を保持可能な第二保持部と、を有していてもよい。この構成では、マスト等の構造物を設けることなく第二保持部が昇降可能となるので、第二保持部の昇降経路に防火扉等の設備を容易に設置することができる。

　（３）上記（２）に記載の搬送車システムでは、上階層載置部と下階層載置部とは、平面視において互いにずれた位置に配置されており、移載装置は、上階層載置部の上方と下階層載置部の上方との間で、第二保持部を水平方向に移動させる横送り部を更に有していてもよい。この構成では、容易な構成によって上階層載置部及び下階層載置部の両方に対して物品の移載が可能となる。

　（４）上記（２）又は（３）に記載の搬送車システムでは、上階層の天井に設けられた軌道及び下階層の天井に設けられた軌道の延在方向は互いに同じ方向であり、第二本体部は、延在方向に沿って移動可能に設けられていてもよい。この構成では、上階層載置部と下階層載置部との間の物品の搬送経路を柔軟に設定することができる。

　（５）上記（４）に記載の搬送車システムでは、上階層載置部及び下階層載置部は、延在方向に沿って複数の物品を配列可能に構成されており、第二本体部は、上階層載置部及び下階層載置部に配列される任意の物品載置位置にまで延在方向に沿って移動可能に設けられていてもよい。この構成では、効率的に上階層載置部と下階層載置部との間の物品の搬送が可能となる。

　（６）上記（５）に記載の搬送車システムでは、上階層搬送車及び下階層搬送車は、延在方向に沿って一方向に走行し、移載装置は、上階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つから物品を受け取り、一方向における下流側方向に走行し、下階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つに物品を受け渡すと共に、下階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つから物品を受け取り、一方向における下流側方向に走行し、上階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つに物品を受け渡してもよい。この構成では、各搬送車が一方向における上流側の載置部で物品を受け渡し、一方向における下流側の載置部で物品を受け取る一連の動作をスムーズに行うことができる。これにより、物品の搬送効率を向上させることができる。

　（７）上記（２）～（６）の何れか一つに記載の搬送車システムでは、移載装置は、鉛直方向に延在する軸を中心に第二保持部を旋回させる旋回部を有してもよい。この構成では、上階層搬送車及び下階層搬送車に対して、中継装置が物品を適切な向きで渡すことができる。

　（８）本発明の一側面に係る中継装置は、軌道に沿って走行可能な第一本体部と、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより第一本体部に対して昇降可能に設けられると共に物品を保持可能な第一保持部と、を有する搬送車に前記物品を搬送させ、上階層の天井に設けられた軌道を走行する搬送車である上階層搬送車と、上階層よりも下方の下階層の天井に設けられた軌道を走行する搬送車である下階層搬送車と、を備える搬送車システムにおいて、上階層搬送車と下階層搬送車との間の物品の受け渡しを中継する中継装置であって、中継装置は、上階層の床面に設けられ、上階層搬送車から物品が移載される上階層載置部と、下階層に設けられ、下階層搬送車から物品が移載される下階層載置部と、上階層載置部と下階層載置部との間で物品を受け渡しする移載装置と、を有する。

　この構成の中継装置では、上階層と下階層との間で物品の搬送を行うために必要な上階層搬送車の吊部材の繰出し長さは、上階層の床面に設けられた載置部に到達可能な長さで十分であり、下階層に設けられた載置部に到達可能な長さと比べると短い。これにより、吊部材を不要に長くすることなく、上階層搬送車と下階層搬送車との間で物品を受け渡すことが可能になる。

　本発明の一側面によれば、吊部材を不要に長くすることなく、上階層搬送車と下階層搬送車との間で物品を受け渡すことが可能になる。

図１は、一実施形態に係る搬送車システムを軌道の延在方向から見た正面図である。 図２は、一実施形態に係る搬送車システムを軌道の延在方向に直交する方向から見た側面図である。 図３は、図１に含まれる天井搬送車の正面図である。 図４は、図１に含まれる中継装置の正面図、側面図及び平面図である。 図５（Ａ）～図５（Ｃ）は、上階層載置部から下階層載置部への物品の受け渡しの流れを説明する図である。 図６（Ｄ）～図６（Ｆ）は、上階層載置部から下階層載置部への物品の受け渡しの流れを説明する図である。 図７（Ｇ）～図７（Ｊ）は、上階層載置部から下階層載置部への物品の受け渡しの流れを説明する図である。 図８は、図１の中継装置における上階層載置部と下階層載置部との間の物品の受け渡しを説明する図である。 図９は、図１の搬送車システムのブロック図である。 図１０は、変形例に係る中継装置における上階層載置部と下階層載置部との間の物品の受け渡しを説明する図である。 図１１（Ａ）～図１１（Ｃ）は、変形例に係る中継装置の物品の回転を説明する図である。 図１２は、変形例に係る中継装置の実施態様を示す図である。

　以下、図面を参照して一実施形態に係る搬送車システム１について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

　以下、図面を参照して一実施形態に係る搬送車システム１について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。本実施形態では、説明の便宜のため、Ｘ方向、Ｘ方向に直交するＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向の両方に直交するＺ方向（鉛直方向）を定義する。

　図１及び図２に示されるように、本実施形態の搬送車システム１は、上階層ＵＬの天井Ｗ１ｃに設けられた軌道４を走行する搬送車１０である上階層搬送車１０Ａと、上階層ＵＬよりも下方の下階層ＤＬの天井Ｗ３ｃに設けられた軌道４を走行する搬送車１０である下階層搬送車１０Ｂと、上階層搬送車１０Ａと下階層搬送車１０Ｂとの間の物品９０の受け渡しを中継する中継装置４０と、を備える。

　搬送車システム１は、上階層搬送車１０Ａを用いて、軌道４に沿って配置された図示しない載置部、ストッカ、各種処理装置との間で物品９０を搬送し、下階層搬送車１０Ｂを用いて、軌道４に沿って配置された図示しない載置部、ストッカ、各種処理装置との間で物品９０を搬送し、中継装置４０を用いて上階層搬送車１０Ａと下階層搬送車１０Ｂとの間で物品９０を受け渡しするシステムである。

　ここでいう載置部は、軌道４に沿って配置され、搬送車１０に対して物品９０を受渡可能な位置に設けられている。載置部には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品９０が一時的に載置される。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品９０が載置されている等の理由により、搬送車１０が搬送している物品９０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品９０が仮置きされる。本実施形態では、下階層ＤＬに配置されたサイドトラックバッファ６が、このバッファに該当する。サイドトラックバッファ６については、後段にて詳述する。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品９０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。

　上階層ＵＬは、第一仕切壁Ｗ１と第二仕切壁Ｗ２との間の空間である。下階層ＤＬは、第三仕切壁Ｗ３と図示しない第四仕切壁との間の空間であり、上階層ＵＬよりも下方に形成されている。第二仕切壁Ｗ２と第三仕切壁Ｗ３との間には、所定の大きさの空間Ｓｗが形成されている。第二仕切壁Ｗ２には、中継装置４０における移載装置５０の昇降領域を形成する第一開口部Ｗ２ｈが形成されている。第三仕切壁Ｗ３には、中継装置４０における移載装置５０の昇降領域を形成する第二開口部Ｗ３ｈが形成されている。第一開口部Ｗ２ｈと第二開口部Ｗ３ｈとは、平面視において互いに重なるように形成されている。

　物品９０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。ここでは、例えば、工場等において、搬送車１０が、工場の建屋の天井等に敷設された一方通行の軌道４に沿って走行する搬送車システム１を例に挙げて説明する。

　軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである第一仕切壁Ｗ１からなる天井Ｗ１ｃ及び第三仕切壁Ｗ３からなる天井Ｗ３ｃ付近に敷設されている。軌道４は、天井Ｗ１ｃ，Ｗ３ｃに直接設けられてもよいし、天井Ｗ１ｃ，Ｗ３ｃに他の部材を介して間接的に設けられてもよい。本実施形態の軌道４は、天井Ｗ１ｃ，Ｗ３ｃに固定される支柱４Ａを介して吊り下げられている。本実施形態では、上階層搬送車１０Ａが走行する軌道４及び下階層搬送車１０Ｂが走行する軌道４は、互いに同じ方向（Ｙ方向）に延在している。

　第一仕切壁Ｗ１からなる天井Ｗ１ｃに敷設された軌道４を走行する上階層搬送車１０Ａと、第三仕切壁Ｗ３からなる天井Ｗ３ｃに敷設された軌道４を走行する下階層搬送車１０Ｂとは、何れも図３に示される構成の搬送車１０である。本実施形態の上階層搬送車１０Ａ及び下階層搬送車１０Ｂは、Ｙ方向に沿って同じ方向（一方向Ｄ１，Ｄ２）に走行するように構成されている。以下、一方向Ｄ１，Ｄ２は、走行方向Ｄ１，Ｄ２とも称する。搬送車１０は、物品９０を移載可能に構成されている。搬送車１０は、天井走行式無人搬送車である。搬送車システム１が備える搬送車１０の台数は、特に限定されず、複数である。搬送車１０は、第一本体部２０と、走行部１２と、搬送車コントローラ３５と、を有する。

　第一本体部２０は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台（第一保持部）３０と、落下防止カバー３３と、を有する。走行部１２は、モータ等を含んで構成され、搬送車１０を軌道４に沿って走行させる。走行部１２は、例えば、非接触給電で軌道４側から受電する受電通信部１４を有している。

　横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、軌道４の延在方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をワイヤ、ロープ及びベルト等の吊部材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品９０の把持又は解放が自在とされている。落下防止カバー３３は、例えば搬送車１０の走行方向の前後に一対設けられている。落下防止カバー３３は、搬送する物品９０の下方に図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品９０が落下することを防止する。

　搬送車コントローラ３５は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）等からなる電子制御ユニットである。搬送車コントローラ３５は、搬送車１０における各種動作を制御する。具体的には、搬送車コントローラ３５は、走行部１２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。搬送車コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。搬送車コントローラ３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。

　下階層ＤＬには、サイドトラックバッファ６が配置されている。サイドトラックバッファ６は、軌道４を走行する下階層搬送車１０Ｂの第一本体部２０の幅方向（Ｘ方向）における一方の側方又は両方の側方に配置されている。なお、図１に示される箇所では、サイドトラックバッファ６は、幅方向における一方の側方に配置されている。サイドトラックバッファ６は、下階層搬送車１０Ｂの横送り部２４が、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して幅方向に移動させた後、昇降駆動部２８が昇降台３０を昇降させることによって物品９０が移載される。サイドトラックバッファ６は、一対の第一吊部６Ａ，６Ａと、第一接続部６Ｂと、載置棚６Ｃと、第二接続部６Ｄと、を有する。

　一対の第一吊部６Ａ，６Ａは、天井Ｗ３ｃから延びる吊下部材である。一対の第一吊部６Ａ，６Ａは、軌道４の延在方向（Ｙ方向）に等間隔に配置されている。第一接続部６Ｂは、一対の第一吊部６Ａ，６Ａの一方の下端と一対の第一吊部６Ａ，６Ａの他方の下端とを接続している。第二接続部６Ｄは、第一接続部６Ｂよりも上方において、一対の第一吊部６Ａ，６Ａの一方と一対の第一吊部６Ａ，６Ａの他方とを接続している。載置棚６Ｃは、Ｙ方向に隣り合う第一接続部６Ｂ，６Ｂの一方と他方とに掛け渡される。載置棚６Ｃは、板状の部材であり、物品９０が載置される部材である。載置棚６Ｃには、物品９０が載置される位置を位置決めする位置決めピンが設けられてもよい。

　図１、図２及び図４に示されるように、中継装置４０は、収容部４１と、上階層ＵＬの床面に設けられる上階層載置部４３と、下階層ＤＬに設けられる下階層載置部５６と、スライド部４５と、上階層載置部４３と下階層載置部５６との間で物品９０を受け渡しする移載装置５０と、を有する。

　収容部４１は、上階層ＵＬの床面に固定されている。収容部４１は、平面視において矩形状に形成されている。収容部４１は、四つの側面部４１Ａと、四つの側面部４１Ａの上端に固定され、四つの側面部４１Ａに囲まれる空間を覆う上面部４１Ｂと、を有している。側面部４１Ａ及び上面部４１Ｂは、アルミニウム、ステンレススチール等の部材によって形成されている。収容部４１は、上階層載置部４３と、スライド部４５と、下階層ＤＬの下階層載置部５６に向かって吊部材５４を繰出していない状態の移載装置５０と、を上記空間に格納する。

　上階層載置部４３は、物品９０が載置可能な載置台として構成されている。上階層載置部４３において、物品９０が載置される載置面には、物品９０を位置決めするための位置決めピンが設けられてもよい。上階層載置部４３は、収容部４１によって形成される空間Ｓに収容されている。上階層載置部４３の上方の上面部４１Ｂには、開口部４１Ｂａが形成されている。すなわち、上階層載置部４３は、収容部４１に囲われた状態で配置されているが、収容部４１の上方からアクセス可能に配置されている。これにより、上階層搬送車１０Ａは、収容部４１の上方から昇降台３０を下降させて、上階層載置部４３に対して物品９０を移載することができる。

　スライド部４５は、水平方向（Ｙ方向）に延在している。スライド部４５は、移載装置５０を水平方向（Ｙ方向）に移動可能に支持する。スライド部４５は、収容部４１の上面部４１Ｂに固定されている。スライド部４５の例には、スライドレール及びリニアガイド等が含まれる。

　移載装置５０は、上階層載置部４３と下階層載置部５６との間で物品９０を受け渡しする。移載装置５０は、第二本体部５１と、横送り部５２と、第二保持部５３と、を有する。

　第二本体部５１は、横送り部５２及び第二保持部５３を支持する。第二本体部５１は、Ｙ方向に延在するスライド部４５に沿って移動可能に構成されている。第二本体部５１は、例えば、モータ、エアシリンダ等のアクチュエータによって構成される直動機構によってスライド部４５の延在方向に沿って移動可能に設けられる。第二本体部５１は、複数の上階層載置部４３及び複数の下階層載置部５６のそれぞれに物品９０を移載可能な位置までスライド部４５の延在方向に移動可能に設けられている。

　横送り部５２は、第二保持部５３をスライド部４５の延在方向と直角な方向に横送りする。横送り部５２は、上階層載置部４３の上方と下階層載置部５６の上方との間で、第二保持部５３を水平方向に移動させる。横送り部５２には、吊部材５４の巻取り及び繰出しを行うことにより第二保持部５３を昇降させる昇降駆動部が設けられている。第二保持部５３は、吊部材５４の巻取り及び繰出しを行うことにより第二本体部５１に対して昇降可能に設けられると共に物品９０を保持する。第二保持部５３は、例えば、物品９０を吊下保持するチャックが設けられており、物品９０の把持又は解放が自在とされている。

　下階層載置部５６は、サイドトラックバッファ６と同じ構成である。すなわち、下階層載置部５６は、一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａと、第一接続部５６Ｂと、載置棚５６Ｃと、第二接続部５６Ｄと、を有する。一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａは、天井Ｗ３ｃから延びる吊下部材である。一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａは、軌道４の延在方向（Ｙ方向）に等間隔に配置されている。第一接続部５６Ｂは、一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａの一方の下端と一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａの他方の下端とを接続している。第二接続部５６Ｄは、第一接続部５６Ｂよりも上方において、一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａの一方と一対の第一吊部５６Ａ，５６Ａの他方とを接続している。載置棚５６Ｃは、Ｙ方向に隣り合う第一接続部５６Ｂ，５６Ｂの一方と他方とに掛け渡される。載置棚５６Ｃは、板状の部材であり、物品９０が載置される部材である。載置棚５６Ｃには、物品９０が載置される位置を位置決めする位置決めピンが設けられてもよい。

　上階層載置部４３は、軌道４の延在方向に沿って物品９０を配列可能に構成されている。本実施形態では、上階層載置部４３は、軌道４の延在方向に沿って四つの物品９０が載置可能に構成されている。下階層載置部５６は、軌道４の延在方向に沿って物品９０を配列可能に構成されている。本実施形態では、下階層載置部５６は、軌道４の延在方向に沿って四つの物品９０が載置可能に構成されている。上階層載置部４３と下階層載置部５６とは、平面視において互いにずれた位置に配置されている。本実施形態では、上階層載置部４３と下階層載置部５６とは、平面視においてＸ方向にずれている。

　上述した収容部４１と、スライド部４５と、移載装置５０とはユニット化されていてもよい。この場合、第二仕切壁Ｗ２の床面Ｗ２ｆに上階層載置部４３を設置し、上階層載置部４３を収納するようにユニット化された収容部４１、スライド部４５及び移載装置５０を第二仕切壁Ｗ２の床面Ｗ２ｆに設置し、第三仕切壁Ｗ３の天井Ｗ３ｃに下階層載置部５６を設定すれば、中継装置４０が構成される。

　このような構成の中継装置４０に対して、上階層搬送車１０Ａは、上階層載置部４３に対して物品９０を移載し、下階層搬送車１０Ｂは、下階層載置部５６に対して物品９０を移載する。移載装置５０は、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つから物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側に向かって走行し、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つに物品９０を受け渡す。移載装置５０は、更に、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つから物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側に向かって走行し、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つに物品９０を受け渡す。

　次に、上階層搬送車１０Ａから下階層搬送車１０Ｂへの物品９０の受け渡しの動作について説明する。図５（Ａ）に示されるように、物品９０を保持した状態の上階層搬送車１０Ａは、軌道４を走行方向Ｄ１に走行し、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つの上方に停止する。次に、図５（Ｂ）に示されるように、上階層搬送車１０Ａは、吊部材を繰出して昇降台３０を下降させ、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つに物品９０を載置する。上階層載置部４３に物品９０を受け渡した上階層搬送車１０Ａは、吊部材を巻取りして昇降台３０を上昇させた後、軌道４を走行方向Ｄ１に走行し、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つの上方から離れる。

　次に、移載装置５０は、図５（Ｃ）に示されるように、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つの側方に第二本体部５１にスライドさせる。移載装置５０は、第二本体部５１が上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つの側方に停止した状態で、図６（Ｄ）に示されるように、横送り部５２を駆動させ、第二保持部５３を上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つの上方に停止させる。次に、移載装置５０は、横送り部５２から吊部材５４を繰出して第二保持部５３を下降させ、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つに載置された物品９０を保持する。

　次に、移載装置５０は、図６（Ｅ）に示されるように、吊部材５４を巻取って第二保持部５３を上昇させ、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つに載置された物品９０を持ち上げる。次に、移載装置５０は、図６（Ｆ）に示されるように、横送り部５２を駆動させ、第二保持部５３を下階層載置部５６の上方に停止させる。次に、移載装置５０は、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つの上方に第二本体部５１にスライドさせる。

　次に、移載装置５０は、図７（Ｇ）に示されるように、横送り部５２から吊部材５４を繰出して第二保持部５３を下降させ、第一開口部Ｗ２ｈ及び第二開口部Ｗ３ｈを通過させ、図７（Ｈ）に示されるように、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つに物品９０を載置する。上階層載置部４３に物品９０を受け渡した移載装置５０は、図７（Ｉ）に示されるように、吊部材５４を巻き取って第二保持部５３を上昇させる。

　また、物品９０を保持していない状態の下階層搬送車１０Ｂは、軌道４を走行方向Ｄ２に走行し、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つの側方に停止する。次に、下階層搬送車１０Ｂは、横送り部２４を駆動させ、昇降台３０を下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つの上方に停止させる。次に、下階層搬送車１０Ｂは、吊部材を繰出して昇降台３０を下降させ、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つに載置された物品９０を保持する。次に、図７（Ｊ）に示されるように、下階層搬送車１０Ｂは、吊部材を巻き取って昇降台３０を上昇させた後、横送り部２４を駆動させ、昇降台３０を元の位置に戻す。次に、下階層搬送車１０Ｂは、軌道４を走行方向Ｄ２に走行し、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つの側方から離れる。

　ここで、図８を用いて、移載装置５０が、上階層載置部４３の複数の物品載置位置の中の一つに載置された物品９０を受け取って、下階層載置部５６の複数の物品載置位置の中の一つに物品９０を載置する場合の動作について説明する。

　図８に示されるように、移載装置５０は、上階層載置部４３の複数の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ）の中の一つ（例えば位置Ａ）から物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側方向に走行し、下階層載置部５６の複数の物品載置位置（位置Ｅ～Ｈ）の中の一つ（例えば位置Ｇ）に物品９０を受け渡す。また、移載装置５０は、下階層載置部５６の複数の物品載置位置（位置Ｅ～Ｈ）の中の一つ（例えば位置Ｅ）から物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側方向に走行し、上階層載置部４３の複数の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ）の中の一つ（例えば位置Ｃ）に物品９０を受け渡す。

　本実施形態では、上階層載置部４３の物品載置位置から物品９０が受け渡される下階層載置部５６の物品載置位置は予め決められている（例えば、位置Ａ→位置Ｇ、位置Ｂ→位置Ｈ）。同様に、下階層載置部５６の物品載置位置から物品９０が受け渡される上階層載置部４３の物品載置位置は予め決められている（例えば、位置Ｅ→位置Ｃ、位置Ｆ→位置Ｄ）これにより、例えば、移載装置５０は、上階層載置部４３の物品載置位置（位置Ａ）に物品９０が載置されたことが検知されると、自動的に、上階層載置部４３の物品載置位置（位置Ａ）に載置された物品９０を下階層載置部５６の物品載置位置（位置Ｇ）に移動させたり、下階層載置部５６の物品載置位置（位置Ｅ）に物品９０が載置されたりしたことが検知されると、下階層載置部５６の物品載置位置（位置Ｅ）に載置された物品９０を上階層載置部４３の物品載置位置（位置Ｃ）に移動させたりすることができる。この方法では、各搬送車１０Ａ，１０Ｂに移動の割り付けを管理する搬送車コントローラ７０を介在させることなく、簡易な制御によって物品９０を移動させることができる。

　また、上階層載置部４３を介した上階層搬送車１０Ａと移載装置５０との間の物品９０の受け渡し、及び、下階層載置部５６を介した下階層搬送車１０Ｂと移載装置５０との間の物品９０の受け渡しは、例えば図９に示されるように、ＳＥＭＩ規格に準拠したＥ８４センサ等を用いたインターロックシーケンスによって実行が可能である。具体的には、移載装置５０の動作は、上階層載置部４３の複数の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ）のそれぞれの上方に停止したことを検知する四つの上層Ｅ８４センサ６１と、下階層載置部５６の複数の物品載置位置（位置Ｅ～Ｈ）のそれぞれの側方に停止したことを検知する四つの下層Ｅ８４センサ６２と、移載装置５０を制御する中継コントローラ４９とによって実現される。中継コントローラ４９には、建屋に設けられた分電盤６７から電力が供給される。

　上記実施形態の搬送車システム１における作用効果について説明する。上記実施形態の搬送車システム１では、上階層ＵＬと下階層ＤＬとの間で物品９０の搬送を行うために必要な上階層搬送車１０Ａの吊部材の繰出し長さは、上階層ＵＬの床面Ｗ２ｆに設けられる上階層載置部４３に到達可能な長さで十分であり、下階層ＤＬに設けられる下階層載置部５６に到達可能な長さと比べると短い。これにより、吊部材を不要に長くすることなく、上階層搬送車１０Ａと下階層搬送車１０Ｂとの間で物品９０を受け渡すことが可能になる。

　上記実施形態の搬送車システム１の中継装置４０における移載装置５０では、図１及び図２に示されるように、物品９０を保持可能な第二保持部５３が、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより第二本体部５１に対して昇降可能に設けられている。これにより、マスト等の構造物を設けることなく第二保持部５３が昇降可能となるので、第二保持部５３の昇降経路に防火扉８０等の設備を容易に設置することができる。

　上記実施形態の搬送車システム１では、上階層載置部４３と下階層載置部５６とは、平面視において互いにずれた位置に配置されており、移載装置５０は、上階層載置部４３の上方と下階層載置部５６の上方との間で、第二保持部５３を水平方向に移動させる横送り部５２を有している。これにより、容易な構成によって上階層載置部４３及び下階層載置部５６の両方に対して物品９０の移載が可能となる。

　上記実施形態の搬送車システム１では、図２に示されるように、上階層ＵＬの天井Ｗ１ｃに設けられた軌道４及び下階層ＤＬの天井Ｗ３ｃに設けられた軌道４の延在方向は互いに同じ方向（Ｙ方向）であり、中継装置４０の第二本体部５１は、延在方向に沿って移動可能に設けられている。これにより、上階層載置部４３と下階層載置部５６との間の物品９０の搬送経路を柔軟に設定することができる。

　上記実施形態の搬送車システム１では、図８に示されるように、上階層載置部４３及び下階層載置部５６は、延在方向に沿って四つ（複数）の物品９０を配列可能に構成されており、第二本体部５１は、上階層載置部４３及び下階層載置部５６に配列される任意の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ及び位置Ｅ～Ｈ）にまで延在方向に沿って移動可能に設けられている。これにより、効率的に上階層載置部４３と下階層載置部５６との間の物品９０の搬送が可能となる。

　上記実施形態の搬送車システム１では、図８に示されるように、移載装置５０は、上階層載置部４３の複数の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ）の中の一つ（例えば位置Ａ）から物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側方向に走行し、下階層載置部５６の複数の物品載置位置（位置Ｅ～Ｈ）の中の一つ（例えば位置Ｇ）に物品を受け渡している。また、移載装置５０は、下階層載置部５６の複数の物品載置位置（位置Ｅ～Ｈ）の中の一つ（例えば位置Ｅ）から物品９０を受け取り、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側方向に走行し、上階層載置部４３の複数の物品載置位置（位置Ａ～Ｄ）の中の一つ（例えば位置Ｃ）に物品９０を受け渡している。これにより、上階層搬送車１０Ａと下階層搬送車１０Ｂとが軌道４の延在方向に沿って同じ方向に走行方向Ｄ１，Ｄ２が設定されている場合であっても、各搬送車１０Ａ，１０Ｂが走行方向Ｄ１，Ｄ２における上流側の載置部（位置Ａ，Ｂ，Ｅ，Ｆ）で物品９０を受け渡し、走行方向Ｄ１，Ｄ２における下流側の載置部（位置Ｃ，Ｄ，Ｇ，Ｈ）で物品９０を受け取る一連の動作をスムーズに行うことができる。これにより、物品９０の搬送効率を向上させることができる。

　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記実施形態の移載装置５０の構成に加えて、横送り部５２と第二保持部５３との間に、横送り部５２（第二本体部５１）に対して第二保持部５３を旋回させる旋回部５５（図１１（Ｃ）参照）を設けてもよい。旋回部５５は、鉛直方向に延在する軸を中心に第二保持部５３を旋回させる。この変形例の移載装置５０を備える搬送車システム１では、上階層搬送車１０Ａ及び下階層搬送車１０Ｂに対して、中継装置４０が物品９０を適切な向きで渡すことができる。例えば物品９０がＦＯＵＰである場合、ここでいう物品９０の向きとはＦＯＵＰの蓋９０Ａの配置される位置によって物品９０の向きが確定される。

　例えば、図１１（Ａ）に示されるように、上階層搬送車１０Ａの走行方向Ｄ１と下階層搬送車１０Ｂの走行方向Ｄ２とが一致している場合には、物品９０の向きは特に問題とならないが、図１１（Ｂ）に示されるように、上階層搬送車１０Ａの走行方向Ｄ１と下階層搬送車１０Ｂの走行方向Ｄ３とが互いに反対である場合には、物品９０の向きが問題となる。変形例に係る移載装置５０では、旋回部５５を備えているので、上階層載置部４３と下階層載置部５６との間で物品９０を移動させるときに物品９０の向きを旋回させることができる。

　上記実施形態及び上記変形例の中継装置４０と同種の装置として、図１２に示されるような階間搬送装置８５がある。階間搬送装置８５は、いわゆるリフト装置であり、鉛直方向に延在するマスト等の部材に沿って移載装置が昇降可能に設けられている。中継装置４０は、このような階間搬送装置８５と組み合わせて用いることもできる。一方、階間搬送装置８５は、鉛直方向に固定されたマストとの構造物が必要となるため、フロアとフロアとの間に配置された防火扉８０（図１参照）を設置する場合に制約が生じる。これに対して、上記実施形態及び上記変形例の中継装置４０は、このような制約がないので、柔軟に搬送車システム１に組み込むことができる。

　上記実施形態及び上記変形例の上階層載置部４３及び下階層載置部５６では、軌道４の延在方向に沿って四つ（複数）の物品９０を配列可能に構成されている例を挙げて説明したが、それぞれ１つ～３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。また、上記実施形態及び上記変形例の上階層載置部４３及び下階層載置部５６では、上階層搬送車１０Ａから下階層搬送車１０Ｂへの受け渡し専用の位置と、下階層搬送車１０Ｂから上階層搬送車１０Ａへの受け渡し専用の位置とが同数に設定されている例を挙げて説明したが、互いに異なる数に設定されてもよいし、どちらか一方が設定されなくてもよい。

　上記実施形態及び上記変形例では、上階層搬送車１０Ａと下階層搬送車１０Ｂとが互いに同じ方向に走行する例を挙げて説明したが互いに反対方向であってもよい。また、上階層搬送車１０Ａが走行する軌道４の延在方向と下階層搬送車１０Ｂが走行する軌道４の延在方向とが互いに一致している例を挙げて説明したが、互いに直交する等、上記実施形態及び上記変形例の例に限定されない。

　１…搬送車システム、４…軌道、６…サイドトラックバッファ、１０…搬送車、１０Ａ…上階層搬送車、１０Ｂ…下階層搬送車、３０…昇降台（第一保持部）、４０…中継装置、４１…収容部、４３…上階層載置部、４５…スライド部、４９…中継コントローラ、５０…移載装置、５１…第二本体部、５２…横送り部、５３…第二保持部、５４…吊部材、５５…旋回部、５６…下階層載置部、８０…防火扉、８５…階間搬送装置、９０…物品、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…一方向（走行方向）、ＤＬ…下階層、ＵＬ…上階層。

Claims (8)

1. 　軌道に沿って走行可能な第一本体部と、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより前記第一本体部に対して昇降可能に設けられると共に物品を保持可能な第一保持部と、を有する搬送車に前記物品を搬送させる、搬送車システムであって、
   　上階層の天井に設けられた前記軌道を走行する前記搬送車である上階層搬送車と、
   　前記上階層よりも下方の下階層の天井に設けられた前記軌道を走行する前記搬送車である下階層搬送車と、
   　前記上階層搬送車と前記下階層搬送車との間の前記物品の受け渡しを中継する中継装置と、を備え、
   　前記中継装置は、
   　　前記上階層の床面に設けられる上階層載置部と、
   　　前記下階層に設けられる下階層載置部と、
   　　前記上階層載置部と前記下階層載置部との間で前記物品を受け渡しする移載装置と、を有し、
   　前記上階層搬送車は、前記上階層載置部に対して前記物品を移載し、
   　前記下階層搬送車は、前記下階層載置部に対して前記物品を移載する、搬送車システム。
2. 　前記移載装置は、
   　　第二本体部と、
   　　吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより前記第二本体部に対して昇降可能に設けられると共に前記物品を保持可能な第二保持部と、
   　を有する、請求項１記載の搬送車システム。
3. 　前記上階層載置部と前記下階層載置部とは、平面視において互いにずれた位置に配置されており、
   　前記移載装置は、前記上階層載置部の上方と前記下階層載置部の上方との間で、前記第二保持部を水平方向に移動させる横送り部を更に有する、請求項２記載の搬送車システム。
4. 　前記上階層の天井に設けられた前記軌道及び前記下階層の天井に設けられた前記軌道の延在方向は互いに同じ方向であり、
   　前記第二本体部は、前記延在方向に沿って移動可能に設けられている、請求項２又は３記載の搬送車システム。
5. 　前記上階層載置部及び前記下階層載置部は、前記延在方向に沿って複数の前記物品を配列可能に構成されており、
   　前記第二本体部は、前記上階層載置部及び前記下階層載置部に配列される任意の物品載置位置にまで前記延在方向に沿って移動可能に設けられている、請求項４記載の搬送車システム。
6. 　前記上階層搬送車及び前記上階層搬送車は、前記延在方向に沿って一方向に走行し、
   　前記移載装置は、前記上階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つから前記物品を受け取り、前記一方向における下流側方向に走行し、前記下階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つに前記物品を受け渡すと共に、前記下階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つから前記物品を受け取り、前記一方向における下流側方向に走行し、前記上階層載置部の複数の物品載置位置の中の一つに前記物品を受け渡す、請求項５記載の搬送車システム。
7. 　前記移載装置は、鉛直方向に延在する軸を中心に前記第二保持部を旋回させる旋回部を有する、請求項２又は３記載の搬送車システム。
8. 　軌道に沿って走行可能な第一本体部と、吊部材の巻取り及び繰出しを行うことにより前記第一本体部に対して昇降可能に設けられると共に物品を保持可能な第一保持部と、を有する搬送車に前記物品を搬送させ、
   　上階層の天井に設けられた前記軌道を走行する前記搬送車である上階層搬送車と、前記上階層よりも下方の下階層の天井に設けられた前記軌道を走行する前記搬送車である下階層搬送車と、を備える搬送車システムにおいて、前記上階層搬送車と前記下階層搬送車との間の前記物品の受け渡しを中継する中継装置であって、
   　前記中継装置は、
   　　前記上階層の床面に設けられ、前記上階層搬送車から前記物品が移載される上階層載置部と、
   　　前記下階層に設けられ、前記下階層搬送車から前記物品が移載される下階層載置部と、
   　　前記上階層載置部と前記下階層載置部との間で前記物品を受け渡しする移載装置と、を有する、中継装置。