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WO2021234843A1 - 表示装置、及び表示装置の製造方法 - Google Patents

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WO2021234843A1
WO2021234843A1 PCT/JP2020/019901 JP2020019901W WO2021234843A1 WO 2021234843 A1 WO2021234843 A1 WO 2021234843A1 JP 2020019901 W JP2020019901 W JP 2020019901W WO 2021234843 A1 WO2021234843 A1 WO 2021234843A1
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WO
WIPO (PCT)
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layer
display device
light emitting
electrode
functional layer
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2020/019901
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English (en)
French (fr)
Inventor
翔太 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to US17/921,632 priority Critical patent/US20230209924A1/en
Priority to PCT/JP2020/019901 priority patent/WO2021234843A1/ja
Publication of WO2021234843A1 publication Critical patent/WO2021234843A1/ja
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    • H10K59/873Encapsulations
    • H10K59/8731Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers

Definitions

  • the present invention relates to a display device and a method for manufacturing the display device.
  • light emitting elements such as OLED (Organic Light Emitting Diode) and QLED (Quantum dot Light Emitting Diode) are pixel-by-pixel. It is provided.
  • the first electrode, the second electrode, and the functional layer including at least the light emitting layer are installed between the first electrode and the second electrode. It is provided. Further, in such a display device, for example, in order to manufacture a high-definition display device at low cost and easily, an existing vapor deposition of at least one layer included in the functional layer, for example, a light emitting layer. It has been proposed that the film is not formed by a method, but is formed by a droplet dropping method such as a spin coating method or an inkjet coating method (see, for example, Patent Document 1 below).
  • the second electrode is formed as a common layer common to a plurality of light emitting elements (a plurality of pixels) and is formed outside the display area.
  • a predetermined voltage is applied to the second electrode by connecting the second electrode to the terminal portion via the provided contact portion and routing wiring, and further connecting to the external power supply via the terminal portion.
  • the functional layer forming solution for forming the functional layer is applied on the contact portion. Adhesion may cause electrical contact failure between the contact portion and the second electrode. As a result, in the conventional display device and the manufacturing method of the display device, the resistance at the contact portion is increased, the light emitting element cannot emit light, and the light emitting performance is deteriorated. was there.
  • the display device is a display device including a display area having a plurality of pixels and a frame area surrounding the display area.
  • the thin film transistor layer provided on the substrate and A light emitting element layer is provided on the thin film transistor layer, each of which includes a first electrode, a functional layer, and a second electrode, and a plurality of light emitting elements having different emission colors are formed.
  • a contact portion provided in the frame region and electrically connecting the second electrode and a terminal portion provided in the frame region via a routing wire. It is provided with a frame-shaped structure on the display region side of the contact portion to prevent the functional layer from being formed on the contact portion.
  • the contact portion electrically connects the second electrode and the terminal portion via wiring.
  • the blocking structure is provided in a frame shape on the display region side of the contact portion to prevent the functional layer from being formed on the contact portion. Thereby, even when the functional layer is formed by using the dropping method, it is possible to prevent the functional layer from being formed on the contact portion. As a result, it is possible to configure a display device that can prevent the display performance from deteriorating.
  • the method for manufacturing a display device includes a display region having a plurality of pixels and a frame region surrounding the display region, and includes a base material, a thin film transistor layer provided on the base material, and the thin film transistor.
  • a method for manufacturing a display device which is provided on a layer and includes a first electrode, a functional layer, and a light emitting element layer each including a second electrode and having a plurality of light emitting elements having different emission colors.
  • the first electrode forming step of forming the first electrode and the process of forming the first electrode A contact portion forming step of forming a contact portion in the frame region for electrically connecting the second electrode and a terminal portion provided in the frame region via a routing wire. It includes a blocking structure forming step of forming a frame-shaped blocking structure that prevents the functional layer from being formed on the contact portion on the display region side of the contact portion.
  • a contact portion for electrically connecting the second electrode and the terminal portion is formed in the frame region via the routing wiring.
  • the contact portion forming step is performed.
  • a frame-shaped blocking structure that prevents the functional layer from being formed on the contact portion is formed on the display region side of the contact portion.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of the display device shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing a specific configuration of the functional layer shown in FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing a specific configuration example of the light emitting element shown in FIG.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the contact portion and the blocking structure in the display device.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration in a portion surrounded by a VI line in FIG.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a manufacturing method of the display device.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of the display device shown in FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a modified example of the display device.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a main part of the display device according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a main configuration of a modified example of the display device shown in FIG. 9, and FIG. 10 (a) is a perspective view showing a specific configuration of the second electrode in the modified example.
  • FIG. 10 (b) is a diagram showing a specific configuration of the light emitting element layer in the modified example, and
  • FIG. 10 (c) is a graph showing the effect in the modified example.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a main part of the display device according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a flowchart showing a manufacturing method of the display device shown in FIG.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of the display device according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing a specific configuration of the functional layer shown in FIG.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a specific configuration example of the light emitting element shown in FIG.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view showing a modified example of the display device shown in FIG.
  • “same layer” means that it is formed by the same process (deposition process), and “lower layer” is formed by a process prior to the layer to be compared.
  • the “upper layer” means that it is formed in a process after the layer to be compared.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of the display device shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing a specific configuration of the functional layer shown in FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing a specific configuration example of the light emitting element shown in FIG.
  • the barrier layer 3, the thin film transistor (TFT) layer 4, the top emission type light emitting element layer 5, and the top emission type light emitting element layer 5 are placed on the base material 12.
  • the sealing layer 6 is provided in this order, and a plurality of sub-pixels SP are formed in the display area DA.
  • the frame area NA surrounding the display area DA is composed of four edge Fa to Fd, and a terminal portion TA for mounting an electronic circuit board (IC chip, FPC, etc.) is formed on the edge Fd.
  • the terminal portion TA includes a plurality of terminals TM1, TM2, and TMn (n is an integer of 2 or more). As shown in FIG. 1, these plurality of terminals TM1, TM2, and TMn are provided along one side of the four sides of the display area DA.
  • a driver circuit (not shown) can be formed on each edge Fa to Fd.
  • the base material 12 may be a glass substrate or a flexible substrate containing a resin film such as polyimide. Further, the base material 12 can also form a flexible substrate by two layers of resin films and an inorganic insulating film sandwiched between these resin films. Further, a film such as PET may be attached to the lower surface of the base material 12. Further, when a flexible substrate is used as the base material 12, it is possible to form a flexible display device 2, that is, a flexible display device 2.
  • the barrier layer 3 is a layer that prevents foreign substances such as water and oxygen from entering the thin film transistor layer 4 and the light emitting element layer 5, and is, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or oxynitride formed by a CVD method. It can be composed of a silicon film or a laminated film thereof.
  • the thin film layer 4 includes a semiconductor layer (including a semiconductor film 15) above the barrier layer 3, an inorganic insulating film 16 (gate insulating film) above the semiconductor layer, and an inorganic insulating film.
  • the semiconductor layer is composed of, for example, amorphous silicon, LTPS (low temperature polysilicon), or an oxide semiconductor, and the thin film transistor TR is configured so as to include the gate electrode GE and the semiconductor film 15.
  • the thin film transistor TR may be a bottom gate type thin film transistor.
  • a light emitting element X and a control circuit thereof are provided for each sub-pixel SP in the display area DA, and the control circuit and wiring connected to the control circuit are formed in the thin film transistor layer 4.
  • the wiring connected to the control circuit includes, for example, the scanning signal line GL and the light emission control line EM formed in the first metal layer, the initialization power supply line IL formed in the second metal layer, and the third metal layer. Examples thereof include a data signal line DL and a high voltage side power supply line PL.
  • the control circuit includes a drive transistor that controls the current of the light emitting element X, a write transistor that is electrically connected to the scanning signal line, a light emission control transistor that is electrically connected to the light emission control line, and the like (not shown). ..
  • a frame-shaped blocking structure is provided so as to surround the display area DA, and is provided on a contact portion provided outside the display area DA. It is designed to prevent the functional layer included in the light emitting element layer 5 from being formed.
  • the first metal layer, the second metal layer, and the third metal layer are made of, for example, a single-layer film or a multi-layer film of a metal containing at least one of aluminum, tungsten, molybdenum, tantalum, chromium, titanium, and copper. It is composed.
  • the inorganic insulating films 16, 18, and 20 can be formed of, for example, a silicon oxide (SiOx) film, a silicon nitride (SiNx) film, or a laminated film thereof formed by a CVD method.
  • the flattening film 21 can be made of a coatable organic material such as polyimide or acrylic resin.
  • the light emitting element layer 5 includes a first electrode (anode) 22 above the flattening film 21, an insulating edge cover film 23 covering the edge of the first electrode 22, and a functional layer above the edge cover film 23. 24 and a second electrode (cathode) 25 above the functional layer 24 are included. That is, each of the light emitting element layer 5 includes a first electrode 22, a light emitting layer described later included in the functional layer 24, and a second electrode 25, and a plurality of light emitting elements X having different light emitting colors are formed. ..
  • the edge cover film 23 is formed by applying an organic material such as polyimide or acrylic resin and then patterning it by photolithography.
  • the edge cover film 23 defines a pixel (sub-pixel SP) superimposed on the end portion of the surface of the island-shaped first electrode 22, and corresponds to a plurality of each light emitting element X, and a plurality of pixels (sub-pixel SP) are defined. It is a bank that divides each pixel (sub-pixel SP).
  • the functional layer 24 is an EL (electroluminescence) layer including an electroluminescence element.
  • the light emitting element layer 5 is formed with a light emitting element Xr (red), a light emitting element Xg (green), and a light emitting element Xb (blue), which are included in the light emitting element X and whose emission colors are different from each other. Further, each light emitting element X includes a first electrode 22, a functional layer 24 (including a light emitting layer), and a second electrode 25.
  • the first electrode 22 is an island-shaped electrode provided for each light emitting element X (that is, the sub-pixel SP).
  • the second electrode 25 is a solid (common layer) common electrode common to all light emitting elements X.
  • the light emitting elements Xr, Xg, and Xb may be, for example, an OLED (organic light emitting diode) in which the light emitting layer described later is an organic light emitting layer, or a QLED (quantum dot) in which the light emitting layer is a quantum dot light emitting layer. It may be a light emitting diode).
  • OLED organic light emitting diode
  • QLED quantum dot
  • the functional layer 24 is composed of, for example, laminating a hole injection layer 24a, a hole transport layer 24b, a light emitting layer 24c, an electron transport layer 24d, and an electron injection layer 24e in order from the lower layer side. Further, the functional layer 24 may be provided with an electron blocking layer or a hole blocking layer.
  • the light emitting layer 24c is applied by a dropping method such as a spin coating method or an inkjet method, and then formed in an island shape by patterning at the openings (for each subpixel SP) of the edge cover film 23.
  • the other layer is formed in an island shape or a solid shape (common layer) by using the above-mentioned dropping method or the like.
  • the functional layer 24 may be configured not to form one or more of the hole injection layer 24a, the hole transport layer 24b, the electron transport layer 24d, and the electron injection layer 24e.
  • the display device 2 of the present embodiment is provided in the order of the anode (first electrode 22), the functional layer 24, and the cathode (second electrode 25) from the thin film transistor layer 4 side, so-called. It has a conventional structure.
  • the light emitting elements Xr, Xg, and Xb are partitioned by an edge cover film 23 as a bank, and each light emitting element X has an island-shaped first.
  • One electrode 22, an island-shaped hole injection layer 24a, an island-shaped hole transport layer 24b, and an island-shaped light emitting layer 24cr, 24cg, 24cc are provided.
  • the light emitting element X is provided with a solid electron transport layer 24d, a solid electron injection layer 24e, and a solid second electrode 25, which are common to all sub-pixels SP.
  • the organic light emitting layer (light emitting layer 24c) of the OLED is vapor-deposited, FMM (fine metal mask) is used.
  • the FMM is a sheet having a large number of openings (for example, made of Invar material), and an island-shaped organic layer (corresponding to one sub-pixel SP) is formed by an organic substance passing through one opening.
  • the organic light emitting layer (light emitting layer 24c) of the OLED can also be formed by a dropping method using a predetermined solution.
  • the light emitting elements Xr, Xg, and Xb are OLEDs
  • holes and electrons are recombinated in the light emitting layer 24c by the driving current between the first electrode 22 and the second electrode 25, and the resulting excitons are generated.
  • Light is emitted in the process of transitioning to the basal state. Since the second electrode 25 has high translucency and the first electrode 22 is light reflective, the light emitted from the functional layer 24 goes upward and becomes top emission.
  • the QLED quantum dot light emitting layer (light emitting layer 24c) is formed by, for example, applying a solution in which quantum dots are dispersed in a solvent and patterning using a photolithography method to form an island-shaped quantum dot light emitting layer (one sub). (Corresponding to the pixel SP) can be formed.
  • the light emitting elements Xr, Xg, and Xb are QLEDs, holes and electrons are recombined in the light emitting layer 24c by the driving current between the first electrode 22 and the second electrode 25, and the resulting exciton is generated. , Light (fluorescence) is emitted in the process of transitioning from the conduction band of quantum dots to the valence band.
  • a light emitting element other than the above-mentioned OLED and QLED for example, a light emitting element including an inorganic light emitting diode may be used.
  • the red light emitting element Xr includes a red quantum dot light emitting layer that emits red light
  • the green light emitting element Xg includes a green quantum dot light emitting layer that emits green light, and is blue.
  • the light emitting element Xb of the above includes a blue quantum dot light emitting layer that emits blue light.
  • the quantum dot light emitting layer contains quantum dots as a functional material that contributes to the function of the light emitting layer 24c, and the light emitting layers 24cr, 24cg, and 24cc of each color depend on the emission spectrum. Therefore, at least the particle sizes of the quantum dots are configured to be different from each other.
  • the first electrode (anode) 22 is composed of, for example, a laminate of ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium zinc Oxide) and Ag (silver) or Al, or an alloy containing Ag or Al, and has light reflectivity.
  • the second electrode (cathode) 25 is made of, for example, a thin film of Ag, Au, Pt, Ni, Ir, Al, a thin film of MgAg alloy, and a translucent conductive material such as ITO and IZO (Indium zinc Oxide). It is a transparent electrode.
  • a metal nanowire such as silver may be used to form the second electrode 25.
  • the second electrode 25 which is a solid common electrode on the upper layer side, is formed by using such metal nanowires
  • the second electrode 25 is provided by applying a solution containing the metal nanowires. Is possible.
  • each layer of the functional layer 24 and the second electrode 25 other than the first electrode 22 can be formed by a dropping method using a predetermined solution.
  • the display device 2 which is easy to manufacture can be easily configured.
  • the sealing layer 6 is translucent and has an inorganic sealing film 26 that is directly formed on the second electrode 25 (contacts with the second electrode 25) and an organic film 27 that is a layer above the inorganic sealing film 26. , Inorganic sealing film 28 above the organic film 27.
  • the sealing layer 6 covering the light emitting element layer 5 prevents foreign substances such as water and oxygen from penetrating into the light emitting element layer 5.
  • the light emitting layer 24c is composed of the quantum dot light emitting layer, the installation of the sealing layer 6 may be omitted.
  • the organic film 27 has a flattening effect and translucency, and can be formed by, for example, inkjet coating using a coatable organic material.
  • the inorganic sealing films 26 and 28 are inorganic insulating films, and can be composed of, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon nitride film, or a laminated film thereof formed by a CVD method.
  • the functional film 39 has at least one of an optical compensation function, a touch sensor function, a protection function, and the like.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the contact portion and the blocking structure in the display device.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration in a portion surrounded by a VI line in FIG.
  • each contact portion CP is provided with a conductive film AW electrically connected to the second electrode 25.
  • the other end of the routing wiring HW whose one end is connected to the terminal portion TA is electrically connected to this conductive film AW.
  • the conductive film AW has, for example, the same layer as the first electrode 22 and is made of the same material, so that the manufacturing process of the display device 2 is simplified.
  • the routing wiring HW is, for example, the same layer as the data signal line DL (third metal layer) and is made of the same material, so that the manufacturing process of the display device 2 can be simplified. ing.
  • a frame-shaped blocking structure SS is provided so as to surround the display area DA.
  • a substantially U-shaped trench TN is provided on the outside of the blocking structure SS (on the side opposite to the display area DA).
  • the thin film transistor layer 4 includes the flattening film 21 formed of the organic insulating film formed on the uppermost layer thereof, and surrounds the blocking structure SS so as to surround the blocking structure SS.
  • the trench TN is formed by cutting out the flattening film 21.
  • frame-shaped sealing banks BK1 and BK2 are provided with a trench TN on the outside, and these sealing banks BK1 and BK2 are formed of the sealing layer 6. It defines the end of the organic film 27.
  • the blocking structure SS of the present embodiment is composed of a bank Q protruding from the thin film transistor layer 4.
  • the height H of the bank Q is determined based on the volume of the functional layer 24 formed by using a dropping method such as a spin coating method.
  • the bank Q is diffused and coated on the entire surface of the display area DA by, for example, using a spin coating method, after the solution for forming the functional layer forming the functional layer 24 is dropped on the central portion of the display device 2. Even when the functional layer forming solution is formed, it is possible to prevent the solution for forming the functional layer from spreading outside the display area DA, and it is possible to prevent the solution from being applied on the contact portion CP.
  • the sealing banks BK1 and BK2 are laminated on the same layer as the flattening film 21 and on a portion made of the same material, and are laminated on this portion. It is formed in the same layer as the edge cover film 23 and by a portion made of the same material.
  • the sealing banks BK1 and BK2 may be formed in the same layer as either the flattening film 21 or the edge cover film 23 and made of the same material.
  • the sealing bank BK1 is a liquid stop structure for stopping the droplets at the time of forming the organic film 27, and the sealing bank BK2 is a preliminary one for stopping the droplets exceeding the sealing bank BK1. Is.
  • the conductive film AW extends in the frame region NA so as to straddle the trench TN and overlap with the outer sealing bank BK2. Further, a contact groove CM1 penetrating the flattening film 21 and the edge cover film 23 is formed inside the sealing bank BK1. Further, a contact groove CM2 penetrating the flattening film 21 and the edge cover film 23 is formed between the sealing bank BK1 and the sealing bank BK2. Then, in these contact grooves CM1 and CM2, the routing wiring HW is exposed and comes into contact with the conductive film AW, so that the routing wiring HW and the conductive film AW are electrically connected.
  • this routing wiring HW is connected to the cathode power supply voltage (ELVSS) via the terminal portion TA, and the cathode power supply voltage is supplied from the routing wiring HW to the second electrode 25 via the conductive film AW. It has become so.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a manufacturing method of the display device.
  • the barrier layer 3 and the thin film transistor layer 4 are first formed on the base material 12 (step S1).
  • the first electrode (anode) 22 and the contact portion CP are formed on the flattening film 21 by using a sputtering method and a photolithography method (step S2). That is, in the process of forming the first electrode and the contact portion, the first electrode forming step of forming the first electrode 22 and the second electrode 25 and the terminal portion TA provided in the frame region NA via the routing wiring HW are provided.
  • the contact portion forming step of forming the electrically connected contact portion CP in the frame region NA is performed at the same time.
  • the first electrode 22 and the first electrode 22 for each light emitting element X are formed at the same time by forming the first electrode 22 and the conductive film AW made of the same material in the same layer as the first electrode 22.
  • a contact portion CP is provided at the same time.
  • the edge cover film 23 is formed (step S3).
  • a blocking structure forming step is performed in which a frame-shaped blocking structure SS that prevents the functional layer 24 from being formed on the contact portion CP is formed on the display region DA side of the contact portion CP.
  • the bank Q protruding from the thin film transit layer 4 is formed as the blocking structure SS (step S4).
  • the bank Q is composed of, for example, the same layer as the edge cover film 23 and the same material, and the steps S3 and S4 can be performed at the same time.
  • the hole injection layer (HIL) 24a is formed by a dropping method such as an inkjet method (step S5).
  • a dropping method such as an inkjet method
  • the solvent contained in the hole injection layer forming solution for example, ethanol, 2-propanol, ethylene glycol, polyethylene glycol, butyl benzoate, toluene, chlorobenzene, etc. , Tetrahydrofuran, 1,4 dioxane, diethyl sulfide and the like are used.
  • the hole injection material for example, a polythiophene-based conductive material such as PEDOT: PSS, nickel oxide, tungsten oxide, or thiocyan. Inorganic compounds such as copper acid acid are used.
  • the hole injection layer forming solution dropped onto the first electrode 22 is fired at a predetermined temperature to inject holes having a film thickness of, for example, 20 nm to 50 nm.
  • the layer 24a is formed.
  • the hole-injecting material (functional material) of the hole-injecting layer forming solution includes, for example, benzine and styrylamine in addition to the above-mentioned materials. , Triphenylamine, porphyrin, triazole, imidazole, oxadiazole, polyarylalkane, phenylenediamine, arylamine, oxazole, anthracene, fluorenone, hydrazone, stilben, triphenylene, azatriphenylene, derivatives of these, polysilane compounds, vinylcarbazole.
  • Chain-type conjugated organic polymers such as system compounds, thiophene compounds, and aniline compounds can be used.
  • the solvent of the hole injection layer forming solution in the case of this OLED the same solvent as in the case of the above-mentioned QLED can be used.
  • the hole transport layer (HTL) 24b is formed by a dropping method such as an inkjet method (step S6).
  • a dropping method such as an inkjet method
  • chlorobenzene, toluene, tetrahydrofuran, 1,4 dioxane, and phenylcyclohexane are used as the solvent contained in the hole transport layer forming solution.
  • the solute contained in the hole transport layer forming solution that is, the hole transport material (functional material)
  • the hole transport material is, for example, an organic polymer compound such as TFB, PVK, poly-TPD, or an inorganic substance such as nickel oxide. Compounds are used.
  • the holes having a film thickness of, for example, 20 nm to 50 nm are formed by firing the hole transport layer forming solution dropped onto the hole injection layer 24a at a predetermined temperature.
  • the transport layer 24b is formed.
  • the hole transporting material (functional material) of the hole transporting layer forming solution includes, for example, benzine and styrylamine in addition to the above-mentioned materials. , Triphenylamine, porphyrin, triazole, imidazole, oxadiazole, polyarylalkane, phenylenediamine, arylamine, oxazole, anthracene, fluorenone, hydrazone, stilben, triphenylene, azatriphenylene, derivatives of these, polysilane compounds, vinylcarbazole.
  • Chain-type conjugated organic polymers such as system compounds, thiophene compounds, and aniline compounds can be used.
  • the solvent of the hole transport layer forming solution in the case of this OLED the same solvent as in the case of the above-mentioned QLED can be used.
  • the light emitting layer (EML) 24c is formed by a dropping method such as an inkjet method (step S7).
  • a dropping method such as an inkjet method
  • the solute that is, the luminescent material (functional material), for example, quantum dots containing C, Si, Ge, Sn, P, Se, Te, Cd, Zn, Mg, S, In, and O are used.
  • the light emitting layer forming solution contains a polymer resin material containing an oxetane-based monomer and an epoxy-based monomer, and a polymerization initiator.
  • the light emitting materials (functional materials) of the light emitting layer forming solution include the above-mentioned C, Si, Ge, Sn, P, Se, Te, and Cd. , Zn, Mg, S, In, O-containing quantum dots or organic compounds, for example, anthracene, naphthalene, inden, phenanthrene, pyrene, naphthalene, triphenylene, anthracene, perylene, pisen, fluoranthene, acephenanthrene.
  • Pentacene Pentacene
  • Pentacene Coronene, butadiene
  • Kumarin Acrydin
  • Stilben Derivatives thereof, Tri (dibenzoylmethyl) phenanthrene europium complex, Ditoluylvinylbiphenyl and other organic luminescent materials
  • the solvent the polymer resin material, and the polymerization initiator of the solution for forming the light emitting layer in the case of the OLED, the same ones as those in the case of the above-mentioned QLED can be used.
  • the electron transport layer (ETL) 24d is formed by a dropping method such as an inkjet method or a spin coating method (step S8).
  • a dropping method such as an inkjet method or a spin coating method
  • 2-propanol, ethanol, ethylene glycol, polyethylene glycol, toluene, chlorobenzene, tetrahydrofuran, and 1,4 dioxane are used as the solvent of the solution for forming the electron transport layer.
  • the solute that is, the electron transporting material (functional material), for example, nanoparticles of zinc oxide (ZnO) or magnesium-added zinc oxide (MgZnO) are used.
  • the electron transporting material (functional material) of the solution for forming the electron transporting layer includes the above-mentioned zinc oxide (ZnO) and magnesium-added zinc oxide (MgZnO).
  • ZnO zinc oxide
  • MgZnO magnesium-added zinc oxide
  • the electron injection layer (EIL) 24e is formed by a dropping method such as an inkjet method or a spin coating method (step S9).
  • a dropping method such as an inkjet method or a spin coating method
  • 2-propanol, ethanol, ethylene glycol, polyethylene glycol, toluene, chlorobenzene, tetrahydrofuran and 1,4 dioxane are used as the solvent of the solution for forming the electron injection layer.
  • the solute that is, the electron-injectable material (functional material), for example, nanoparticles of zinc oxide (ZnO) or magnesium-added zinc oxide (MgZnO) are used.
  • the additive material is an organic salt selected from the group consisting of, for example, a quaternary ammonium salt, a lithium tetrafluoroborate salt, and a lithium hexafluorophosphate salt, similarly to the above-mentioned solution for forming a hole injection layer. Is used.
  • the electron-injectable material (functional material) of the solution for forming the electron-injected layer includes the above-mentioned zinc oxide (ZnO) and magnesium-added zinc oxide (MgZnO).
  • ZnO zinc oxide
  • MgZnO magnesium-added zinc oxide
  • a metal thin film such as aluminum or silver is formed as the second electrode (cathode) 25 on the electron injection layer 24e by, for example, a vapor deposition method or a sputtering method (step S10).
  • the material (precursor) of the organic film 27 is inkjet-coated on the inorganic sealing film 26 and cured to cure the organic film 27.
  • an inorganic sealing film 28 is formed on the upper layer of the organic film 27 (step S11).
  • the display device 2 can be manufactured.
  • the contact portion CP electrically connects the second electrode 25 and the terminal portion TA via the routing wiring HW.
  • the bank Q as the blocking structure SS is provided in a frame shape on the display region DA side of the contact portion CP to prevent the functional layer 24 from being formed on the contact portion CP.
  • the functional layer forming solution for forming the functional layer 24 is applied on the contact portion CP. It is possible to prevent the functional layer 24 from being formed on the contact portion CP.
  • the display device 2 is configured which can prevent the resistance at the contact portion CP from increasing and prevent the display performance from deteriorating. Can be done.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a modified example of the display device.
  • the hole injection layer 24a and the hole transport layer 24b are provided as a common layer common to all sub-pixels.
  • the elements common to the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the hole injection layer 24a and the hole transport layer 24b are formed in a solid shape in common with the light emitting elements Xr, Xg, and Xb. That is, the hole injection layer 24a and the hole transport layer 24b can each be formed not only by the inkjet method in the first embodiment but also by another dropping method such as a spin coating method.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a main part of the display device according to the second embodiment of the present invention.
  • the main difference between this embodiment and the first embodiment is that a groove provided in the thin film transistor layer is used as the blocking structure.
  • the elements common to the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the groove M as the blocking structure SS is provided in the thin film transistor layer 4.
  • the thin film transistor layer 4 includes a plurality of inorganic insulating films 16, 18, and 20 sequentially laminated from the base material 12 side, and a flattening film 21.
  • the groove M is formed by cutting out the flattening film 21 and the plurality of inorganic insulating films 16, 18, and 20 so as to expose the barrier layer 3, for example, by etching.
  • the groove M is formed by cutting out the flattening film 21, the plurality of inorganic insulating films 16, 18, and 20 and the barrier layer 3 so as to expose the base material 12. May be good.
  • the volume of the groove M is determined based on the volume of the functional layer 24 formed by using a dropping method such as a spin coating method. Specifically, in the groove M, the depth dimension (that is, the distance between the upper surface of the barrier layer 3 and the upper surface of the flattening film 21) and the width shown by “F” and “W” in FIG. 9, respectively) and width.
  • the value of the volume can be obtained by multiplying the value of the cross-sectional area of the groove M, which is the product of the dimensions, by the value of the sum of the lengths of the four sides of the blocking structure SS shown in the rectangular shape in FIG. can.
  • the groove M is diffused and coated on the entire surface of the display area DA by, for example, using a spin coating method, after the solution for forming the functional layer forming the functional layer 24 is dropped on the central portion of the display device 2. Even at this time, the functional layer forming solution is accumulated and formed as the functional layer 24 inside the groove M. As a result, in the present embodiment, it is possible to prevent the functional layer forming solution from spreading outside the display area DA by the groove M, and it is possible to prevent the solution from being applied on the contact portion CP. ..
  • the depth dimension F of the groove M is preferably, for example, 500 ⁇ m or more, and more preferably 1000 ⁇ m to 3000 ⁇ m. Further, the width dimension of the groove M is preferably, for example, 500 ⁇ m or more, more preferably 1000 ⁇ m to 1500 ⁇ m.
  • the blocking structure forming step shown in step S4 of FIG. 7 is performed.
  • a groove M cut out from the thin film transistor layer 4 is formed.
  • the present embodiment is not limited to this, for example, after forming an insulator layer made of an insulating material on the base material 12 and forming the groove M, the thin film transistor layer 4, the light emitting element layer 5, and the like are formed.
  • the upper layer structure may be sequentially formed on the insulator layer.
  • the present embodiment can exhibit the same actions and effects as those of the first embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a main configuration of a modified example of the display device shown in FIG. 9, and FIG. 10 (a) is a perspective view showing a specific configuration of the second electrode in the modified example.
  • FIG. 10 (b) is a diagram showing a specific configuration of the light emitting element layer in the modified example, and FIG. 10 (c) is a graph showing the effect in the modified example.
  • the main difference between this modification and the second embodiment is that the second electrode 25 including the electron injection layer and the electron transport layer is provided.
  • the elements common to the second embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the second electrode 25 is a metal nanowire, for example, a silver nanowire NW, and zinc oxide (ZnO) which is an electron injection layer material and an electron transport material. It contains nanoparticles NP. That is, the second electrode 25 in which the silver nanowire NW and the zinc oxide nanoparticles NP are mixed is obtained by mixing (dropping) and drying the mixed solution in which the silver nanowire solution and the zinc oxide nanoparticles solution are mixed at a desired ratio and stirred. Be done. Specifically, the silver nanowires NW are arranged three-dimensionally at random, and the silver nanowires NW pass through the gaps of the zinc oxide nanoparticles NP (average particle size 1 to 30 nm).
  • the first electrode 22 anode
  • the HTL layer hole transport layer
  • the light emitting layer 24c for example, the quantum dot light emitting layer
  • a second electrode (common cathode) 25 including an electron injection layer and an electron transport layer are provided in this order.
  • the contact area between the silver nanowire NW and the zinc oxide nanoparticles NP, which is an electron transport material, in the second electrode 25 increases, and therefore, as shown in FIG. 10 (c).
  • the external quantum effect UB (standardized value with respect to the reference value) of the light emitting element X in the present modification 2 has the configuration shown in FIG. 3, that is, electron injection.
  • the number of steps can be reduced as compared with the case where the electron transport layer 24d, the electron injection layer 24e, and the second electrode (common cathode) 25 are formed in separate steps.
  • the volume ratio of the metal nanowire NW to the ZnO nanoparticles NP is 1/49 to 1/9.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a main part of the display device according to the third embodiment of the present invention.
  • the main difference between the present embodiment and the second embodiment is that the inside of the groove is filled with the functional layer and the insulating material provided on the functional layer.
  • the elements common to the second embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the inside of the groove M as the blocking structure SS is filled with the functional layer 24 and the insulating material ZM provided on the functional layer 24.
  • the upper surface of the insulating material ZM is provided inside the groove M so as to form the same plane as the upper surface of the flattening film 21.
  • planar means that the dimensional value of the step between the upper surface of the insulating material ZM and the upper surface of the flattening film 21 is set to a value in the range of, for example, 0 nm to 500 nm.
  • the insulating material ZM is made of, for example, the same material as the flattening film 21.
  • the adhesiveness between the insulating material ZM and the flattening film 21 separated by the groove M can be improved, and the insulating material ZM can be improved.
  • the uniformity between the upper surface of the flattening film 21 and the upper surface of the flattening film 21 can be easily enhanced, and the occurrence of step breakage or the like on the second electrode 25 can be more easily prevented.
  • the insulating material ZM may be made of, for example, an inorganic insulating film material.
  • the insulating material ZM can prevent the infiltration of moisture and the like inside the flattening film 21, and the deterioration of the light emitting element X is suppressed. be able to.
  • the insulating material ZM made of the inorganic insulating film material is completely interposed between the flattening films 21 divided by the grooves M, the moisture that penetrates the inside of the flattening film 21 into the light emitting element X side is absorbed.
  • the insulating material ZM can be used for blocking, and the installation of the trench TN can be omitted.
  • FIG. 12 is a flowchart showing a manufacturing method of the display device shown in FIG.
  • step S4 in FIG. 12 after the blocking structure forming step is performed, each layer of the functional layer 24 is formed (steps S5 to S9). Subsequently, a groove filling step of filling the insulating material ZM on the functional layer 24 formed inside the groove M and filling the groove M together with the functional layer 24 is performed (step S12). After that, the steps of step S10 and step S11 are sequentially performed as in the first embodiment.
  • the present embodiment can exhibit the same actions and effects as those of the first embodiment.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of the display device according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing a specific configuration of the functional layer shown in FIG.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a specific configuration example of the light emitting element shown in FIG.
  • the main difference between this embodiment and the first embodiment is that the first electrode 35 as a cathode, the functional layer 34, and the second electrode 32 as an anode are from the thin film transistor layer 4 side.
  • the point is that it is an invert structure provided in order.
  • the elements common to the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the first electrode (cathode) 35, the functional layer 34, and the second electrode (anode) 32 are the thin film transistor layer 4. It is provided sequentially on the top. Further, as shown in FIG. 14, the functional layer 34 is formed by laminating the electron injection layer 34a, the electron transport layer 34b, the light emitting layer 34c, the hole transport layer 34d, and the hole injection layer 34e in this order from the lower layer side. It is composed.
  • the light emitting elements Xr, Xg, and Xb are partitioned by an edge cover film 23 as a bank, and each light emitting element X has an island-shaped first.
  • One electrode 35, an island-shaped electron injection layer 34a, an island-shaped electron transport layer 34b, and an island-shaped light emitting layer 34cr, 34cg, 34cc are provided.
  • the light emitting element X is provided with a solid hole transport layer 34d, a solid hole injection layer 34e, and a solid second electrode 32, which are common to all sub-pixels SP.
  • the present embodiment can exhibit the same actions and effects as those of the first embodiment.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view showing a modified example of the display device shown in FIG.
  • the main difference between this modification and the fourth embodiment is that the electron injection layer 34a and the electron transport layer 34b are provided as a common layer common to all sub-pixels.
  • the elements common to the fourth embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description thereof will be omitted.
  • the electron injection layer 34a and the electron transport layer 34b are formed in a solid shape in common with the light emitting elements Xr, Xg, and Xb. That is, the electron injection layer 34a and the electron transport layer 34b can each be formed not only by the inkjet method in the second embodiment but also by another dropping method such as a spin coating method.
  • the present invention is useful for a display device capable of preventing deterioration of display performance even when a functional layer is formed by using a dropping method, and a method for manufacturing the display device.

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Abstract

表示装置(2)は、それぞれが第1電極(22)、機能層(24)、及び第2電極(25)を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子が形成された発光素子層(5)を有する。引き廻し配線(HW)を介して第2電極(25)と端子部(TA)とを電気的に接続するコンタクト部(CP)と、コンタクト部(CP)の表示領域側に枠状に設けられて、機能層(24)がコンタクト部(CP)上に形成されるのを阻止する阻止構造(SS)と、を備える。

Description

表示装置、及び表示装置の製造方法
 本発明は、表示装置、及び表示装置の製造方法に関するものである。
近年、非自発光型の液晶表示装置に代えて、自発光型の表示装置の開発・実用化が進められている。このようなバックライト装置を必要としない、表示装置では、例えば、OLED(Organic Light Emitting Diode:有機発光ダイオード)やQLED(Quantum dot Light Emitting Diode:量子ドット発光ダイオード)などの発光素子が画素単位に設けられている。
 また、上記のような自発光型の表示装置では、第1電極と、第2電極と、これらの第1電極及び第2電極の間に設置されるとともに、少なくとも発光層を含む機能層とが設けられている。さらに、このような表示装置では、例えば、高精細な表示装置をコスト安価に、かつ、容易に製造するために、機能層に含まれた少なくとも一つの層、例えば、発光層について、既存の蒸着方式を用いて形成するのではなく、スピンコート法やインクジェット塗布法などの液滴の滴下方式を用いて形成することが提案されている(例えば、下記特許文献1を参照。)。
特開2012-234748号公報
 ところで、上記のような従来の表示装置、及び表示装置の製造方法では、例えば、第2電極について、複数の発光素子(複数の画素)に共通する共通層として形成して、表示領域の外側に設けたコンタクト部と引き廻し配線を介して当該第2電極を端子部に接続し、さらに、端子部を介して外部電源に接続することにより、所定の電圧を第2電極に印加している。
 ところが、上記のような従来の表示装置、及び表示装置の製造方法では、滴下方式を用いて機能層を形成した場合、当該機能層を形成するための機能層形成用溶液が上記コンタクト部上に付着して、当該コンタクト部と第2電極との間で電気的な接触不良を生じることがあった。この結果、従来の表示装置、及び表示装置の製造方法では、コンタクト部での抵抗が高抵抗化されて、発光素子が発光することができずに、発光性能が低下するという問題を発生することがあった。
 上記の課題に鑑み、本発明は、滴下方式を用いて機能層を形成する場合でも、表示性能が低下するのを防ぐことができる表示装置、及び表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
 上記目的を達成するために、本発明に係る表示装置は、複数の画素を有する表示領域と、前記表示領域を囲む額縁領域とを、備えた表示装置であって、
 基材と、
 前記基材上に設けられた薄膜トランジスタ層と、
 前記薄膜トランジスタ層上に設けられるとともに、それぞれが第1電極、機能層、及び第2電極を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子が形成された発光素子層と、が設けられ、
 前記額縁領域に設けられるとともに、引き廻し配線を介して前記第2電極と前記額縁領域に設けられた端子部とを電気的に接続するコンタクト部と、
 前記コンタクト部の前記表示領域側に枠状に設けられて、前記機能層が前記コンタクト部上に形成されるのを阻止する阻止構造と、を備える、ものである。
 上記のように構成された表示装置では、コンタクト部が引き廻し配線を介して第2電極と端子部とを電気的に接続している。また、阻止構造が、コンタクト部の表示領域側に枠状に設けられて、機能層がコンタクト部上に形成されるのを阻止している。これにより、滴下方式を用いて機能層を形成する場合でも、当該機能層がコンタクト部上に形成されるのを防止することができる。この結果、表示性能が低下するのを防ぐことができる表示装置を構成することができる。
 また、本発明に係る表示装置の製造方法は、複数の画素を有する表示領域と前記表示領域を囲む額縁領域とを備え、基材と、前記基材上に設けられた薄膜トランジスタ層と、前記薄膜トランジスタ層上に設けられるとともに、それぞれが第1電極、機能層、及び第2電極を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子が形成された発光素子層と、を具備する表示装置の製造方法であって、
 前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、
 引き廻し配線を介して前記第2電極と前記額縁領域に設けられた端子部とを電気的に接続するコンタクト部を、前記額縁領域に形成するコンタクト部形成工程と、
 前記機能層が前記コンタクト部上に形成されるのを阻止する枠状の阻止構造を、前記コンタクト部の前記表示領域側に形成する阻止構造形成工程と、を含む、ものである。
 上記のように構成された表示装置の製造方法では、第1電極形成工程の後に、額縁領域において、引き廻し配線を介して第2電極と端子部とを電気的に接続するコンタクト部を形成するコンタクト部形成工程が行われる。そして、阻止構造形成工程において、上記コンタクト部の表示領域側に、機能層が当該コンタクト部上に形成されるのを阻止する枠状の阻止構造を形成している。これにより、滴下方式を用いて機能層を形成する場合でも、当該機能層がコンタクト部上に形成されるのを防止することができる。この結果、表示性能が低下するのを防ぐことができる表示装置を構成することができる。
 滴下方式を用いて機能層を形成する場合でも、表示性能が低下するのを防ぐことができる。
図1は、本発明の第1の実施形態の表示装置の構成を示す模式図である。 図2は、図1に示した表示装置の要部構成を示す断面図である。 図3は、図2に示した機能層の具体的な構成を示す断面図である。 図4は、図2に示した発光素子の具体的な構成例を示す断面図である。 図5は、上記表示装置でのコンタクト部と阻止構造との関係を説明する図である。 図6は、図5のVI線で囲んだ部分での断面構成を説明する図である。 図7は、上記表示装置の製造方法を示すフローチャートである。 図8は、上記表示装置の変形例を示す断面図である。 図9は、本発明の第2の実施形態の表示装置の要部の断面構成を説明する図である。 図10は、図9に示した表示装置の変形例の要部構成を説明する図であり、図10(a)は、当該変形例での第2電極の具体的な構成を示す斜視図であり、図10(b)は、当該変形例での発光素子層の具体的な構成を示す図であり、図10(c)は、当該変形例での効果を示すグラフである。 図11は、本発明の第3の実施形態の表示装置の要部の断面構成を説明する図である。 図12は、図11に示した表示装置の製造方法を示すフローチャートである。 図13は、本発明の第4の実施形態の表示装置の要部構成を示す断面図である。 図14は、図13に示した機能層の具体的な構成を示す断面図である。 図15は、図13に示した発光素子の具体的な構成例を示す断面図である。 図16は、図13に示した表示装置の変形例を示す断面図である。
 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。また、以下の説明では、「同層」とは同一のプロセス(成膜工程)にて形成されていることを意味し、「下層」とは、比較対象の層よりも先のプロセスで形成されていることを意味し、「上層」とは比較対象の層よりも後のプロセスで形成されていることを意味する。また、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
 《第1の実施形態》
 図1は、本発明の第1の実施形態の表示装置の構成を示す模式図である。図2は、図1に示した表示装置の要部構成を示す断面図である。図3は、図2に示した機能層の具体的な構成を示す断面図である。図4は、図2に示した発光素子の具体的な構成例を示す断面図である。
 図1及び図2に示すように、本実施形態の表示装置2では、基材12上に、バリア層3、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)層4、トップエミッション型の発光素子層5、及び封止層6がこの順に設けられ、表示領域DAに複数のサブ画素SPが形成される。表示領域DAを取り囲む額縁領域NAは4つの辺縁Fa~Fdからなり、辺縁Fdには、電子回路基板(ICチップ、FPC等)をマウントするための端子部TAが形成される。端子部TAには、複数の端子TM1、TM2、及びTMn(nは2以上の整数)が含まれる。これらの複数の端子TM1、TM2、及びTMnは、図1に示すように、表示領域DAの四辺のうち、一辺に沿って設けられている。なお、各辺縁Fa~Fdには、ドライバ回路(図示せず)を形成することができる。
 基材12は、ガラス基板でもよいし、ポリイミド等の樹脂膜を含む可撓性基板でもよい。また、基材12は、2層の樹脂膜及びこれらの樹脂膜に挟まれた無機絶縁膜によって可撓性基板を構成することもできる。さらに、基材12の下面にPET等のフィルムを貼ってもよい。また、基材12に可撓性基板を用いた場合には、可撓性を有する、つまりフレキシブルな表示装置2を形成することもできる。
 バリア層3は、水、酸素等の異物が薄膜トランジスタ層4及び発光素子層5に侵入することを防ぐ層であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。
 図2に示すように、薄膜トランジスタ層4は、バリア層3よりも上層の半導体層(半導体膜15を含む)と、半導体層よりも上層の無機絶縁膜16(ゲート絶縁膜)と、無機絶縁膜16よりも上層の第1金属層(ゲート電極GEを含む)と、第1金属層よりも上層の無機絶縁膜18と、無機絶縁膜18よりも上層の第2金属層(容量電極CEを含む)と、第2金属層よりも上層の無機絶縁膜20と、無機絶縁膜20よりも上層の第3金属層(データ信号線DLを含む)と、第3金属層よりも上層の平坦化膜21とを含む。
 上記半導体層は、例えば、アモルファスシリコン、LTPS(低温ポリシリコン)、または酸化物半導体で構成され、ゲート電極GEおよび半導体膜15を含むように、薄膜トランジスタTRが構成される。
 なお、本実施形態では、トップゲート型の薄膜トランジスタTRを例示したが、薄膜トランジスタTRは、ボトムゲート型の薄膜トランジスタであってもよい。
 表示領域DAには、サブ画素SP毎に発光素子X及びその制御回路が設けられ、薄膜トランジスタ層4には、この制御回路及びこれに接続する配線が形成される。制御回路に接続する配線としては、例えば、第1金属層に形成される、走査信号線GL及び発光制御線EM、第2金属層に形成される初期化電源線IL、第3金属層に形成される、データ信号線DL及び高電圧側電源線PL等が挙げられる。制御回路には、発光素子Xの電流を制御する駆動トランジスタ、走査信号線と電気的に接続する書き込みトランジスタ、及び発光制御線に電気的に接続する発光制御トランジスタ等が含まれる(図示せず)。また、本実施形態の表示装置2では、後に詳述するように、表示領域DAを囲むように、枠状の阻止構造が設けられており、表示領域DAの外側に設けられたコンタクト部上に発光素子層5に含まれた機能層が形成されるのを阻止するようになっている。
 上記第1金属層、第2金属層、及び第3金属層は、例えば、アルミニウム、タングステン、モリブデン、タンタル、クロム、チタン、及び銅の少なくとも1つを含む金属の単層膜あるいは複層膜によって構成される。
 無機絶縁膜16、18、及び20は、例えば、CVD法によって形成された、酸化シリコン(SiOx)膜あるいは窒化シリコン(SiNx)膜またはこれらの積層膜によって構成することができる。平坦化膜21は、例えば、ポリイミド、アクリル樹脂等の塗布可能な有機材料によって構成することができる。
 発光素子層5は、平坦化膜21よりも上層の第1電極(陽極)22と、第1電極22のエッジを覆う絶縁性のエッジカバー膜23と、エッジカバー膜23よりも上層の機能層24と、機能層24よりも上層の第2電極(陰極)25とを含む。すなわち、発光素子層5は、それぞれが第1電極22、機能層24に含まれた後述の発光層、及び第2電極25を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子Xが形成されている。エッジカバー膜23は、例えば、ポリイミド、アクリル樹脂等の有機材料を塗布した後にフォトリソグラフィよってパターニングすることで形成される。また、このエッジカバー膜23は、島状の第1電極22の表面の端部と重畳して画素(サブ画素SP)を規定しており、複数の各発光素子Xに対応して、複数の各画素(サブ画素SP)を区画するバンクである。また、機能層24は、エレクトロルミネッセンス素子を含んだEL(エレクトロルミネッセンス)層である。
 発光素子層5には、上記発光素子Xに含まれるとともに、発光色が互いに異なる、発光素子Xr(赤色)、発光素子Xg(緑色)、及び発光素子Xb(青色)が形成されている。また、各発光素子Xは、第1電極22、機能層24(発光層を含む)、及び第2電極25を含む。第1電極22は、発光素子X(つまり、サブ画素SP)毎に設けられた島状の電極である。第2電極25は、全ての発光素子Xで共通する、ベタ状(共通層)の共通電極である。
 発光素子Xr、Xg、及びXbは、例えば、後掲の発光層が有機発光層であるOLED(有機発光ダイオード)であってもよいし、同発光層が量子ドット発光層であるQLED(量子ドット発光ダイオード)であってもよい。
 機能層24は、例えば、下層側から順に、正孔注入層24a、正孔輸送層24b、発光層24c、電子輸送層24d、及び電子注入層24eを積層することで構成される。また、機能層24には、電子ブロッキング層や正孔ブロッキング層を設けてもよい。発光層24cは、スピンコート法やインクジェット法等の滴下方式によって塗布された後、エッジカバー膜23の開口(サブ画素SP毎)に、パターニングにより島状に形成される。他の層は、上記滴下方式等を用いて、島状あるいはベタ状(共通層)に形成する。また、機能層24では、正孔注入層24a、正孔輸送層24b、電子輸送層24d、及び電子注入層24eのうち1以上の層を形成しない構成とすることもできる。
 本実施形態の表示装置2は、図2に例示したように、薄膜トランジスタ層4側から、陽極(第1電極22)、機能層24、及び陰極(第2電極25)の順に設けられた、いわゆるコンベンショナル構造を有する。
 また、図4に示すように、本実施形態の表示装置2では、発光素子Xr、Xg、Xbは、バンクとしてのエッジカバー膜23によって区画されており、発光素子X毎に、島状の第1電極22、島状の正孔注入層24a、島状の正孔輸送層24b、及び島状の発光層24cr、24cg、24cb(発光層24cにて総称。)が設けられている。また、発光素子Xでは、全てのサブ画素SPに共通するベタ状の電子輸送層24d、ベタ状の電子注入層24e、及びベタ状の第2電極25が設けられている。
 OLEDの有機発光層(発光層24c)を蒸着形成する場合は、FMM(ファインメタルマスク)を用いる。FMMは多数の開口を有するシート(例えば、インバー材製)であり、1つの開口を通過した有機物質によって島状の有機層(1つのサブ画素SPに対応)が形成される。また、この説明以外に、所定の溶液を用いた滴下方式により、OLEDの有機発光層(発光層24c)を形成することもできる。
 また、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、第1電極22及び第2電極25間の駆動電流によって正孔と電子が発光層24c内で再結合し、これによって生じたエキシトンが基底状態に遷移する過程で光が放出される。第2電極25が高い透光性を有し、第1電極22が光反射性であるため、機能層24から放出された光は上方に向かい、トップエミッションとなる。
 QLEDの量子ドット発光層(発光層24c)は、例えば、溶媒中に量子ドットが分散する溶液を塗布し、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングすることで、島状の量子ドット発光層(1つのサブ画素SPに対応)を形成することができる。
 また、発光素子Xr、Xg、及びXbがQLEDである場合、第1電極22及び第2電極25間の駆動電流によって正孔と電子が発光層24c内で再結合し、これによって生じたエキシトンが、量子ドットの伝導帯準位(conduction band)から価電子帯準位(valence band)に遷移する過程で光(蛍光)が放出される。
 発光素子層5には、上述のOLED、QLED以外の発光素子、例えば無機発光ダイオードを含んだ発光素子等を用いてもよい。
 また、以下の説明では、量子ドットを含んだ量子ドット発光層により、発光層24cを形成した場合を例示して説明する。つまり、本実施形態の表示装置2では、赤色の発光素子Xrは、赤色光を発する赤色量子ドット発光層を含み、緑色の発光素子Xgは、緑色光を発する緑色量子ドット発光層を含み、青色の発光素子Xbは、青色光を発する青色量子ドット発光層を含む。
 量子ドット発光層(発光層24c)には、当該発光層24cの機能に寄与する機能性材料としての量子ドットが含まれており、各色の発光層24cr、24cg、24cbでは、その発光スペクトルに応じて、少なくとも量子ドットの粒径が互いに異なるように構成されている。
 第1電極(陽極)22は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium zinc Oxide)とAg(銀)もしくはAl、あるいはAgやAlを含む合金との積層によって構成され、光反射性を有する。第2電極(陰極)25は、例えばAg、Au、Pt、Ni、Ir、Alの薄膜、MgAg合金の薄膜、ITO、IZO(Indium zinc Oxide)等の透光性の導電材にて構成された透明電極である。尚、この説明以外に、例えば、銀等の金属ナノワイヤを用いて、第2電極25を形成する構成でもよい。このような金属ナノワイヤを用いて、上層側のベタ状の共通電極である、第2電極25を形成した場合には、当該金属ナノワイヤを含んだ溶液を塗布することによって第2電極25を設けることが可能となる。この結果、表示装置2の発光素子層5において、所定の溶液を使用した滴下方式により、第1電極22以外の、機能層24の各層及び第2電極25を形成することが可能となって、製造簡単な表示装置2を容易に構成することができる。
 封止層6は透光性であり、第2電極25上に直接形成される(第2電極25と接触する)無機封止膜26と、無機封止膜26よりも上層の有機膜27と、有機膜27よりも上層の無機封止膜28とを含む。発光素子層5を覆う封止層6は、水、酸素等の異物の発光素子層5への浸透を防いでいる。なお、発光層24cが量子ドット発光層で構成されている場合には、封止層6の設置を省略することもできる。
 有機膜27は、平坦化効果と透光性を有し、塗布可能な有機材料を用いて、例えばインクジェット塗布によって形成することができる。無機封止膜26及び28は無機絶縁膜であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。
 機能フィルム39は、光学補償機能、タッチセンサ機能、及び保護機能等の少なくとも1つを有する。
 ここで、図5及び図6も参照して、本実施形態の表示装置2の主要部の構成について具体的に説明する。図5は、上記表示装置でのコンタクト部と阻止構造との関係を説明する図である。図6は、図5のVI線で囲んだ部分での断面構成を説明する図である。
 本実施形態の表示装置2では、図5にハッチング部にて例示するように、2つの矩形状のコンタクト部CPが表示領域DAを挟むように額縁領域NAに設けられている。各コンタクト部CPには、図6に示すように、第2電極25に電気的に接続された導電膜AWが設けられている。また、この導電膜AWには、一端が端子部TAに接続された引き廻し配線HWの他端が電気的に接続されている。また、この導電膜AWは、例えば、第1電極22と同層で、同一材料により構成されており、表示装置2の製造工程の簡略化が図られている。さらに、上記引き廻し配線HWは、例えば、上記データ信号線DL(第3金属層)と同層に、かつ、同一材料にて構成されており、表示装置2の製造工程の簡略化が図られている。
 また、本実施形態の表示装置2では、図5に示すように、額縁領域NAにおいて、枠状の阻止構造SSが表示領域DAを囲むように設けられている。また、額縁領域NAでは、図5に点線にて示すように、阻止構造SSの外側(表示領域DAと反対側)に略U字状のトレンチTNが設けられている。具体的にいえば、図6に示すように、薄膜トランジスタ層4は、その最上層に形成された有機絶縁膜によって構成された上記平坦化膜21を含んでおり、阻止構造SSを囲むように、トレンチTNが平坦化膜21を切り欠くことにより形成されている。さらに、額縁領域NAでは、図5に示すように、枠状の封止用バンクBK1及びBK2がトレンチTNを外側に設けられており、これらの封止用バンクBK1及びBK2は封止層6の有機膜27の端部を規定している。
 また、本実施形態の阻止構造SSは、図6に示すように、薄膜トランジスタ層4から突出するバンクQによって構成されている。このバンクQの高さHは、スピンコート法等の滴下方式を用いて形成される、機能層24の体積に基づいて決定されている。これにより、バンクQは、上記機能層24を形成する機能層形成用溶液が表示装置2の中央部に滴下された後、例えば、スピンコート法を用いて、表示領域DAの全面に拡散塗布されたときでも、当該機能層形成用溶液が表示領域DAよりも外側に拡がるのを防ぐことができ、コンタクト部CP上に塗布されるのを防止できるようになっている。
 また、上記封止用バンクBK1及びBK2は、図6に例示するように、平坦化膜21と同層に、かつ、同一材料にて構成された部分と、この部分上に積層されるとともに、エッジカバー膜23と同層に、かつ、同一材料にて構成された部分とにより、形成されている。尚、この説明以外に、封止用バンクBK1及びBK2は、平坦化膜21又はエッジカバー膜23のどちらか一方と同層に、かつ、同一材料にて構成されてもよい。また、封止用バンクBK1は、有機膜27の形成時の液滴を止める液止め構造物であり、封止用バンクBK2は、封止用バンクBK1を越えた液滴を止める予備的なものである。
 また、上記導電膜AWは、図6に例示するように、トレンチTNを跨ぎ、かつ、外側の封止用バンクBK2と重畳するように、額縁領域NAにて延設されている。また、封止用バンクBK1の内側には、平坦化膜21及びエッジカバー膜23を貫通するコンタクト溝CM1が形成されている。また、封止用バンクBK1と封止用バンクBK2との間には、平坦化膜21及びエッジカバー膜23を貫通するコンタクト溝CM2が形成されている。そして、これらコンタクト溝CM1及びCM2においては、引き廻し配線HWが露出されて、導電膜AWと接触することによって、これら引き廻し配線HW及び導電膜AWは電気的に接続される。また、この引き廻し配線HWは、端子部TAを介して陰極電源電圧(ELVSS)に接続されており、当該陰極電源電圧が引き廻し配線HWから導電膜AWを介して第2電極25に供給されるようになっている。
 次に、図7も参照して、本実施形態の表示装置2の製造方法について具体的に説明する。図7は、上記表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
 図7に示すように、本実施形態の表示装置2の製造方法では、まずバリア層3及び薄膜トランジスタ層4を基材12上に形成する(ステップS1)。次に、例えば、スパッタリング法及びフォトリソグラフィ法を用いて、平坦化膜21上に、第1電極(陽極)22及びコンタクト部CPを形成する(ステップS2)。つまり、第1電極及びコンタクト部形成工程では、第1電極22を形成する第1電極形成工程と、引き廻し配線HWを介して第2電極25と額縁領域NAに設けられた端子部TAとを電気的に接続するコンタクト部CPを、額縁領域NAに形成するコンタクト部形成工程とが同時行われる。具体的にいえば、第1電極22と当該第1電極22と同層で、同一材料により構成された導電膜AWとが同時に形成されることにより、発光素子Xごとの第1電極22と、コンタクト部CPとが同時に設けられる。続いて、エッジカバー膜23を形成する(ステップS3)。
 その後、機能層24がコンタクト部CP上に形成されるのを阻止する枠状の阻止構造SSを、コンタクト部CPの表示領域DA側に形成する阻止構造形成工程が行われる。本実施形態では、阻止構造SSとして、薄膜トランジス層4から突出するバンクQが形成される(ステップS4)。また、本実施形態では、バンクQは、例えば、エッジカバー膜23と同層に、かつ、同一材料にて構成されており、上記ステップS3とステップS4とを同時に行うことができる。
 次に、インクジェット法などの滴下方式により、正孔注入層(HIL)24aを形成する(ステップS5)。具体的にいえば、この正孔注入層形成工程では、正孔注入層形成用溶液に含まれた溶媒として、例えば、エタノール、2-プロパノール、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、安息香酸ブチル、トルエン、クロロベンゼン、テトラヒドロフラン、1,4ジオキサン、ジエチルスルフィドなどが用いられている。また、正孔注入層形成用溶液に含まれた溶質、つまり正孔注入性材料(機能性材料)としては、例えば、PEDOT:PSSなどのポリチオフェン系導電性材料、酸化ニッケルや酸化タングステン、あるいはチオシアン酸銅といった無機化合物が用いられている。そして、このHIL層形成工程では、所定の温度により、第1電極22上に滴下した、上記正孔注入層形成用溶液を焼成することにより、例えば、20nm~50nmの膜厚を有する正孔注入層24aを形成する。
 なお、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、正孔注入層形成用溶液の正孔注入性材料(機能性材料)としては、上述の材料に加えて、例えば、ベンジン、スチリルアミン、トリフェニルアミン、ポルフィリン、トリアゾール、イミダゾール、オキサジアゾール、ポリアリールアルカン、フェニレンジアミン、アリールアミン、オキザゾール、アントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、トリフェニレン、アザトリフェニレン、これらの誘導体、ポリシラン系化合物、ビニルカルバゾール系化合物、チオフェン系化合物、アニリン系化合物などの、鎖状式共役系の有機ポリマーを用いることができる。また、このOLEDである場合での正孔注入層形成用溶液の溶媒は、上述のQLEDである場合のものと同一のものを用いることができる。
 続いて、インクジェット法などの滴下方式により、正孔輸送層(HTL)24bを形成する(ステップS6)。具体的にいえば、この正孔輸送層形成工程では、正孔輸送層形成用溶液に含まれた溶媒として、例えば、クロロベンゼン、トルエン、テトラヒドロフラン、1,4ジオキサン、フェニルシクロヘキサンが用いられている。また、正孔輸送層形成用溶液に含まれた溶質、つまり正孔輸送性材料(機能性材料)としては、例えば、TFB、PVK、poly-TPDなどの有機高分子化合物、あるいは酸化ニッケルといった無機化合物が用いられている。そして、このHTL層形成工程では、所定の温度により、正孔注入層24a上に滴下した、上記正孔輸送層形成用溶液を焼成することにより、例えば、20nm~50nmの膜厚を有する正孔輸送層24bを形成する。
 なお、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、正孔輸送層形成用溶液の正孔輸送性材料(機能性材料)としては、上述の材料に加えて、例えば、ベンジン、スチリルアミン、トリフェニルアミン、ポルフィリン、トリアゾール、イミダゾール、オキサジアゾール、ポリアリールアルカン、フェニレンジアミン、アリールアミン、オキザゾール、アントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、トリフェニレン、アザトリフェニレン、これらの誘導体、ポリシラン系化合物、ビニルカルバゾール系化合物、チオフェン系化合物、アニリン系化合物などの、鎖状式共役系の有機ポリマーを用いることができる。また、このOLEDである場合での正孔輸送層形成用溶液の溶媒は、上述のQLEDである場合のものと同一のものを用いることができる。
 次に、インクジェット法などの滴下方式により、発光層(EML)24cを形成する(ステップS7)。具体的にいえば、この発光層形成工程では、発光層形成用溶液に含まれた溶媒として、例えば、トルエンやプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、シクロドデセンが用いられている。また、溶質、つまり発光性材料(機能性材料)としては、例えば、C、Si、Ge、Sn、P、Se、Te、Cd、Zn、Mg、S、In、Oを含んだ量子ドットが用いられている。また、この発光層形成用溶液には、上述したように、オキセタン系モノマーとエポキシ系モノマーとを含む高分子樹脂材料、及び重合開始剤が含まれている。
 なお、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、発光層形成用溶液の発光性材料(機能性材料)としては、上述のC、Si、Ge、Sn、P、Se、Te、Cd、Zn、Mg、S、In、Oを含んだ量子ドットあるいは有機化合物に加えて、例えば、アントラセン、ナフタレン、インデン、フェナントレン、ピレン、ナフタセン、トリフェニレン、アントラセン、ペリレン、ピセン、フルオランテン、アセフェナントリレン、ペンタフェン、ペンタセン、コロネン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン、これらの誘導体、トリ(ジベンゾイルメチル)フェナントロリンユーロピウム錯体、ジトルイルビニルビフェニルといった有機発光材料を用いることができる。また、このOLEDである場合での発光層形成用溶液の溶媒、高分子樹脂材料、及び重合開始剤は、各々上述のQLEDである場合のものと同一のものを用いることができる。
 次に、インクジェット法又はスピンコート法などの滴下方式により、電子輸送層(ETL)24dを形成する(ステップS8)。具体的にいえば、この電子輸送層形成工程では、電子輸送層形成用溶液の溶媒として、例えば、2-プロパノール、エタノール、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、トルエン、クロロベンゼン、テトラヒドロフラン、1,4ジオキサンが用いられている。また、溶質、つまり電子輸送性材料(機能性材料)としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)やマグネシウム添加酸化亜鉛(MgZnO)のナノ粒子が用いられている。
 なお、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、電子輸送層形成用溶液の電子輸送性材料(機能性材料)としては、上述の酸化亜鉛(ZnO)やマグネシウム添加酸化亜鉛(MgZnO)のナノ粒子に加えて、例えば、キノリン、ペリレン、フェナントロリン、ビススチリル、ピラジン、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、フルオレノン、これらの誘導体や金属錯体、より具体的には、例えば、3,3’-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)ビフェニル(mCBP)、1,3,5-トリス(N-フェニルベンズイミダゾル-2-イル)ベンゼン(TPBI)、3-フェニル-4(1’-ナフチル)-5-フェニル-1,2,4-トリアゾール(TAZ)、1,10-フェナントロリン、Alq(トリス(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム)を用いることができる。また、このOLEDである場合での電子輸送層形成用溶液の溶媒は、上述のQLEDである場合のものと同一のものを用いることができる。
 次に、インクジェット法又はスピンコート法などの滴下方式により、電子注入層(EIL)24eを形成する(ステップS9)。具体的にいえば、この電子注入層形成工程では、電子注入層形成用溶液の溶媒として、例えば、2-プロパノール、エタノール、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、トルエン、クロロベンゼン、テトラヒドロフラン、1,4ジオキサンが用いられている。また、溶質、つまり電子注入性材料(機能性材料)としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)やマグネシウム添加酸化亜鉛(MgZnO)のナノ粒子が用いられている。また、添加材料については、上記正孔注入層形成用溶液と同様に、例えば、四級アンモニウム塩、四フッ化ホウ酸リチウム塩、及びヘキサフルオロリン酸リチウム塩から成る群から選択される有機塩が用いられている。
 なお、発光素子Xr、Xg、及びXbがOLEDである場合、電子注入層形成用溶液の電子注入性材料(機能性材料)としては、上述の酸化亜鉛(ZnO)やマグネシウム添加酸化亜鉛(MgZnO)のナノ粒子に加えて、例えば、キノリン、ペリレン、フェナントロリン、ビススチリル、ピラジン、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、フルオレノン、これらの誘導体や金属錯体、より具体的には、例えば、3,3’-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)ビフェニル(mCBP)、1,3,5-トリス(N-フェニルベンズイミダゾル-2-イル)ベンゼン(TPBI)、3-フェニル-4(1’-ナフチル)-5-フェニル-1,2,4-トリアゾール(TAZ)、1,10-フェナントロリン、Alq(トリス(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム)を用いることができる。また、このOLEDである場合での電子注入層形成用溶液の溶媒は、上述のQLEDである場合のものと同一のものを用いることができる。
 続いて、電子注入層24e上に、例えば、蒸着法またはスパッタリング法を用いて、アルミニウム、銀などの金属薄膜が第2電極(陰極)25として形成される(ステップS10)。
 その後、第2電極25を覆うように無機封止膜26を形成した後、当該無機封止膜26上に、有機膜27の材料(前駆体)をインクジェット塗布し、硬化させることで有機膜27を形成し、さらに、有機膜27の上層に無機封止膜28を形成する(ステップS11)。この結果、図2に例示したように、RGBの発光素子Xr,Xg、Xbを有する表示装置2が製造される。
 以上のように、表示装置2を製造することができる。
 以上のように構成された本実施形態の表示装置2では、コンタクト部CPが引き廻し配線HWを介して第2電極25と端子部TAとを電気的に接続している。また、阻止構造SSとしてのバンクQが、コンタクト部CPの表示領域DA側に枠状に設けられて、機能層24がコンタクト部CP上に形成されるのを阻止している。これにより、本実施形態の表示装置2では、滴下方式を用いて機能層24を形成する場合でも、当該機能層24を形成するための機能層形成用溶液がコンタクト部CP上に塗布されるのを防ぐことができ、当該コンタクト部CP上に機能層24が形成されるのを防止することができる。この結果、本実施形態では、従来例と異なり、コンタクト部CPでの抵抗が高抵抗化するのを防止することができ、表示性能が低下するのを防ぐことができる表示装置2を構成することができる。
 《変形例》
 図8は、上記表示装置の変形例を示す断面図である。
 図において、本変形例と上記第1の実施形態との主な相違点は、正孔注入層24aと正孔輸送層24bとを全てのサブ画素に共通する共通層として設けた点である。なお、上記第1の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 本変形例の表示装置2では、図8に示すように、正孔注入層24a及び正孔輸送層24bは、発光素子Xr、Xg、及びXbに共通して、ベタ状に形成されている。つまり、正孔注入層24a及び正孔輸送層24bは、各々、第1の実施形態でのインクジェット法だけでなく、スピンコート法などの他の滴下方式により、形成されることができる。
 以上の構成により、本変形例では、上記第1の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、正孔注入層24a及び正孔輸送層24bが共通層で形成されているので、表示装置2の製造工程を簡単化することもできる。
 《第2の実施形態》
 図9は、本発明の第2の実施形態の表示装置の要部の断面構成を説明する図である。本実施形態と上記第1の実施形態との主な相違点は、阻止構造として薄膜トランジスタ層に設けられた溝を用いた点である。なお、上記第1の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 図において、本実施形態の表示装置2では、阻止構造SSとしての溝Mが薄膜トランジスタ層4に設けられている。具体的にいえば、薄膜トランジスタ層4は、基材12側から順次積層された複数の無機絶縁膜16、18、及び20と、平坦化膜21とを含んでいる。そして、溝Mが、バリア層3を露出するように、例えば、エッチングを行うことによって、平坦化膜21及び上記複数の無機絶縁膜16、18、及び20を切り欠いて、形成されている。なお、この説明以外に、基材12を露出するように、平坦化膜21、上記複数の無機絶縁膜16、18、及び20、及びバリア層3を切り欠くことにより、溝Mを形成してもよい。
 また、溝Mの体積は、スピンコート法等の滴下方式を用いて形成される、機能層24の体積に基づいて、決定されている。具体的にいえば、溝Mでは、図9に“F”及び“W”にてそれぞれ示す深さ寸法(つまり、バリア層3の上面と平坦化膜21の上面との間の距離)及び幅寸法の積である、当該溝Mの断面積の値に、図5に長方形状に示した阻止構造SSの四辺の長さの和の値を乗算することにより、その体積の値を求めることができる。これにより、溝Mは、上記機能層24を形成する機能層形成用溶液が表示装置2の中央部に滴下された後、例えば、スピンコート法を用いて、表示領域DAの全面に拡散塗布されたときでも、当該機能層形成用溶液が溝Mの内部に機能層24として蓄積されて形成される。この結果、本実施形態では、機能層形成用溶液が溝Mによって、表示領域DAよりも外側に拡がるのを防ぐことができ、コンタクト部CP上に塗布されるのを防止できるようになっている。なお、溝Mの深さ寸法Fは、例えば、500μm以上が好ましく、1000μm~3000μmがより好ましい。また、溝Mの幅寸法は、例えば、500μm以上が好ましく、1000μm~1500μmがより好ましい。
 また、本実施形態の表示装置2の製造方法では、図7にステップS3にて示したエッジカバー膜23の形成工程の後に、同図7にステップS4にて示した阻止構造形成工程において、阻止構造SSとして、薄膜トランジスタ層4を切り欠いた溝Mが形成される。なお、本実施形態はこれに限定されるものではなく、例えば、絶縁材料からなる絶縁体層を基材12上に形成し、この溝Mを形成した後、薄膜トランジスタ層4、発光素子層5等の上層構造物を絶縁体層上に順次形成する構成でもよい。
 以上の構成により、本実施形態では、上記第1の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
 《変形例》
 図10は、図9に示した表示装置の変形例の要部構成を説明する図であり、図10(a)は、当該変形例での第2電極の具体的な構成を示す斜視図であり、図10(b)は、当該変形例での発光素子層の具体的な構成を示す図であり、図10(c)は、当該変形例での効果を示すグラフである。
 図において、本変形例と上記第2の実施形態との主な相違点は、電子注入層及び電子輸送層を含んだ第2電極25を設けた点である。なお、上記第2の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 本変形例の表示装置2では、図10(a)に示すように、第2電極25が、金属ナノワイヤ、例えば、銀ナノワイヤNWと、電子注入層材料及び電子輸送材料である酸化亜鉛(ZnO)ナノ粒子NPとを含んでいる。つまり、銀ナノワイヤ溶液と酸化亜鉛ナノ粒子溶液を所望の比率で混合、撹拌した混合液を塗布(滴下)・乾燥する事で銀ナノワイヤNWと酸化亜鉛ナノ粒子NPが混合した第2電極25が得られる。具体的には、銀ナノワイヤNWが三次元的にランダムに配置され、酸化亜鉛ナノ粒子NP(平均粒径1~30nm)の間隙を銀ナノワイヤNWが通るような構成とする。
 また、本変形例の表示装置2では、図10(b)に示すように、第1電極22(陽極)、HTL層(正孔輸送層)24b、発光層24c(例えば、量子ドット発光層)、及び電子注入層と電子輸送層とを含んだ第2電極(共通陰極)25がこの順に設けられた構成となる。
 また、図10(a)に示した構成では、第2電極25における、銀ナノワイヤNWと電子輸送材料である酸化亜鉛ナノ粒子NPとの接触面積が増大するため、図10(c)に示すように、電流密度0~50〔ミリアンペア/平方センチメートル〕の範囲において、本変形例2での発光素子Xの外部量子効果UB(基準値に対する規格化値)が、図3に示した構成、つまり電子注入層(酸化亜鉛ナノ粒子層)24e上に第2電極25を形成した発光素子Xの外部量子効果UA(各電流密度における基準値=1)および、一般的な銀薄膜の陰極を有する発光素子の規格化外部量子効率Ua(基準値に対する規格化値)と比較して大幅に向上していることがわかる。
 また、電子輸送層24dと電子注入層24eと第2電極(共通陰極)25とを別工程で形成する場合と比較して、工程数を削減することができる。
 また、金属ナノワイヤNWが過多であれば発光層24cへの電子輸送能力が低下し、金属ナノワイヤNWが過少であれば抵抗値が高くなる。よって、ZnOナノ粒子NPに対する金属ナノワイヤNWの体積比は、1/49~1/9である。
 以上の構成により、本変形例では、上記第2の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
 《第3の実施形態》
 図11は、本発明の第3の実施形態の表示装置の要部の断面構成を説明する図である。本実施形態と上記第2の実施形態との主な相違点は、機能層と、当該機能層上に設けられた絶縁材料とによって溝の内部を充填した点である。なお、上記第2の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 図において、本実施形態の表示装置2では、阻止構造SSとしての溝Mの内部には、上記機能層24と、当該機能層24上に設けられた絶縁材料ZMとが充填されている。この絶縁材料ZMの上面は、平坦化膜21の上面と同一平面を構成するように、溝Mの内部に設けられている。これにより、第2電極25を絶縁材料ZM上に形成したときに当該第2電極25に段切れ等の発生を容易に防止することができる。なお、ここでいう、同一平面とは、絶縁材料ZMの上面と平坦化膜21の上面との段差の寸法値が、例えば、0nm~500nmの範囲内の値に設定されていることをいう。
 また、絶縁材料ZMは、例えば、平坦化膜21と同一の材料により構成されている。このように、平坦化膜21と同一の材料を絶縁材料ZMに用いた場合には、絶縁材料ZMと溝Mによって分断された平坦化膜21と接合性を高めることができるとともに、絶縁材料ZMの上面と平坦化膜21の上面との同一平面性を容易に高めて、第2電極25に段切れ等の発生をより容易に防止することができる。
 また、絶縁材料ZMは、例えば、無機絶縁膜材料により構成してもよい。このように、無機絶縁膜材料を絶縁材料ZMに用いた場合には、平坦化膜21の内部での水分等の浸入を当該絶縁材料ZMで防ぐことができ、発光素子Xの劣化を抑制することができる。また、溝Mによって分断された平坦化膜21の間において、無機絶縁膜材料からなる絶縁材料ZMを完全に介在させる場合には、平坦化膜21の内部を発光素子X側に浸入する水分を当該絶縁材料ZMで遮断することが可能となり、トレンチTNの設置を省略することもできる。
 ここで、図12も参照して、本実施形態の表示装置2の製造方法について、具体的に説明する。図12は、図11に示した表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
 図12にステップS4にて示すように、阻止構造形成工程が行われた後に、機能層24の各層が形成される(ステップS5~S9)。続いて、溝Mの内部に形成された機能層24上に、絶縁材料ZMを満たして当該機能層24とともに溝Mを充填する溝充填工程が行われる(ステップS12)。その後、第1の実施形態と同様に、ステップS10及びステップS11の工程が順次行われる。
 以上の構成により、本実施形態では、上記第1の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
 《第4の実施形態》
 図13は、本発明の第4の実施形態の表示装置の要部構成を示す断面図である。図14は、図13に示した機能層の具体的な構成を示す断面図である。図15は、図13に示した発光素子の具体的な構成例を示す断面図である。
 図において、本実施形態と上記第1の実施形態との主な相違点は、薄膜トランジスタ層4側から、陰極としての第1電極35、機能層34、及び陽極としての第2電極32が、この順に設けられたインバート構造である点である。なお、上記第1の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 本実施形態の表示装置2では、図13に示すように、発光素子Xr,Xg、及びXbにおいて、第1電極(陰極)35、機能層34、及び第2電極(陽極)32が薄膜トランジスタ層4上に順次設けられている。また、機能層34は、図14に示すように、下層側から順に、電子注入層34a、電子輸送層34b、発光層34c、正孔輸送層34d、及び正孔注入層34eを積層することで構成される。
 また、本実施形態の表示装置2では、図15に示すように、発光素子Xr、Xg、Xbは、バンクとしてのエッジカバー膜23によって区画されており、発光素子X毎に、島状の第1電極35、島状の電子注入層34a、島状の電子輸送層34b、及び島状の発光層34cr、34cg、34cb(発光層34cにて総称。)が設けられている。また、発光素子Xでは、全てのサブ画素SPに共通するベタ状の正孔輸送層34d、ベタ状の正孔注入層34e、及びベタ状の第2電極32が設けられている。
 以上の構成により、本実施形態では、上記第1の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
 《変形例》
 図16は、図13に示した表示装置の変形例を示す断面図である。
 図において、本変形例と上記第4の実施形態との主な相違点は、電子注入層34aと電子輸送層34bとを全てのサブ画素に共通する共通層として設けた点である。なお、上記第4の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
 本変形例の表示装置2では、図16に示すように、電子注入層34a及び電子輸送層34bは、発光素子Xr、Xg、及びXbに共通して、ベタ状に形成されている。つまり、電子注入層34a及び電子輸送層34bは、各々、第2の実施形態でのインクジェット法だけでなく、スピンコート法などの他の滴下方式により、形成されることができる。
 以上の構成により、本変形例では、上記第4の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、電子注入層34a及び電子輸送層34bが共通層で形成されているので、表示装置2の製造工程を簡単化することもできる。
 なお、上記の説明以外に、各実施形態及び各変形例を適宜組み合わせて構成してもよい。
 本発明は、滴下方式を用いて機能層を形成する場合でも、表示性能が低下するのを防ぐことができる表示装置、及び表示装置の製造方法に有用である。
2       表示装置
DA      表示領域
NA      額縁領域
TA      端子部
4       薄膜トランジスタ層
5       発光素子層
12      基材
22      第1電極(陽極)
24      機能層
24a     正孔注入層
24b     正孔輸送層
24c     発光層
24d     電子輸送層
24e     電子注入層
25      第2電極(陰極)
32      第2電極(陽極)
34      機能層
34a     電子注入層
34b     電子輸送層
34c     発光層
34d     正孔輸送層
34e     正孔注入層
35      第1電極(陰極)
X       発光素子
23      エッジカバー膜
SS      阻止構造
Q       バンク
M       溝
ZM      絶縁材料
HW      引き廻し配線

Claims (20)

  1.  複数の画素を有する表示領域と、前記表示領域を囲む額縁領域とを、備えた表示装置であって、
     基材と、
     前記基材上に設けられた薄膜トランジスタ層と、
     前記薄膜トランジスタ層上に設けられるとともに、それぞれが第1電極、機能層、及び第2電極を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子が形成された発光素子層と、が設けられ、
     前記額縁領域に設けられるとともに、引き廻し配線を介して前記第2電極と前記額縁領域に設けられた端子部とを電気的に接続するコンタクト部と、
     前記コンタクト部の前記表示領域側に枠状に設けられて、前記機能層が前記コンタクト部上に形成されるのを阻止する阻止構造と、を備える、表示装置。
  2.  前記コンタクト部には、前記引き廻し配線及び前記第2電極に電気的に接続されるとともに、前記第1電極と同層で、かつ、同一材料で形成された導電膜が設けられている、請求項1に記載の表示装置。
  3.  前記阻止構造は、前記薄膜トランジスタ層から突出するバンクを含む、請求項1または請求項2に記載の表示装置。
  4.  前記バンクの突出高さは、前記機能層の体積に基づいて、決定されている、請求項3に記載の表示装置。
  5.  前記阻止構造は、前記薄膜トランジスタ層に形成された溝を含む、請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の表示装置。
  6.  前記薄膜トランジスタ層は、基材側から順次積層された複数の無機絶縁膜と、平坦化膜とを含み、
     前記溝は、前記平坦化膜及び前記複数の無機絶縁膜を切り欠くことによって、形成されている、請求項5に記載の表示装置。
  7.  前記溝の内部には、前記機能層と、当該機能層上に設けられた絶縁材料とが充填されている、請求項5または請求項6に記載の表示装置。
  8.  前記絶縁材料の上面は、前記平坦化膜の上面と同一平面を構成している、請求項7に記載の表示装置。
  9.  前記絶縁材料は、前記平坦化膜と同一の材料により構成されている、請求項7または請求項8に記載の表示装置。
  10.  前記絶縁材料は、無機絶縁膜材料により構成されている、請求項7または請求項8に記載の表示装置。
  11.  前記溝の体積は、前記機能層の体積に基づいて、決定されている、請求項5~請求項10のいずれか1項に記載の表示装置。
  12.  前記薄膜トランジスタ層は、その最上層に形成された有機絶縁膜を含み、
     前記有機絶縁膜には、前記阻止構造を囲むように、トレンチが形成されている、請求項1~請求項11のいずれか1項に記載の表示装置。
  13.  前記機能層は、電荷注入層、電荷輸送層、及び発光層を含み、
     前記電荷注入層及び前記電荷輸送層の少なくとも一方は、前記複数の発光素子に共通して設けられたベタ状の共通層である、請求項1~請求項12のいずれか1項に記載の表示装置。
  14.  前記発光層は、量子ドットを含んだ量子ドット発光層である、請求項13に記載の表示装置。
  15.  前記量子ドット発光層は、赤色光を発する赤色量子ドット発光層と、緑色光を発する緑色量子ドット発光層と、青色光を発する青色量子ドット発光層とを備える、請求項14に記載の表示装置。
  16.  複数の画素を有する表示領域と前記表示領域を囲む額縁領域とを備え、基材と、前記基材上に設けられた薄膜トランジスタ層と、前記薄膜トランジスタ層上に設けられるとともに、それぞれが第1電極、機能層、及び第2電極を含み、発光色が互いに異なる複数の発光素子が形成された発光素子層と、を具備する表示装置の製造方法であって、
     前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、
     引き廻し配線を介して前記第2電極と前記額縁領域に設けられた端子部とを電気的に接続するコンタクト部を、前記額縁領域に形成するコンタクト部形成工程と、
     前記機能層が前記コンタクト部上に形成されるのを阻止する枠状の阻止構造を、前記コンタクト部の前記表示領域側に形成する阻止構造形成工程と、を含む、表示装置の製造方法。
  17.  前記阻止構造形成工程では、前記阻止構造として、前記薄膜トランジスタ層から突出するバンクを形成する、請求項16に記載の表示装置の製造方法。
  18.  前記阻止構造形成工程では、前記阻止構造として、前記薄膜トランジスタ層を切り欠いた溝を形成する、請求項16または請求項17に記載の表示装置の製造方法。
  19.  前記阻止構造形成工程の後に、
     前記機能層を形成する機能層形成工程と、
    前記溝の内部に形成された前記機能層上に、絶縁材料を満たして当該機能層とともに前記溝を充填する溝充填工程とを行う、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
  20.  前記コンタクト部形成工程では、前記引き廻し配線及び前記第2電極に電気的に接続されるとともに、前記第1電極と同層で、かつ、同一材料で形成された導電膜が設けられる、請求項16~請求項19のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12317734B2 (en) * 2020-04-07 2025-05-27 Sharp Kabushiki Kaisha Display device and display device production method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005166266A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Optrex Corp 有機elディスプレイおよびその製造方法
JP2010140790A (ja) * 2008-12-12 2010-06-24 Casio Computer Co Ltd 発光パネル及び発光パネルの製造方法
JP2015170493A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 株式会社Joled 表示装置および電子機器
US20160126498A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device
JP2018113104A (ja) * 2017-01-06 2018-07-19 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置及び表示装置の製造方法
WO2019186979A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 シャープ株式会社 表示装置
WO2019186900A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 シャープ株式会社 表示装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160066651A (ko) * 2014-12-02 2016-06-13 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법 및 표시 장치
KR102717808B1 (ko) * 2016-11-30 2024-10-15 엘지디스플레이 주식회사 두 개의 전극들 사이에 위치하는 다수의 절연막들을 포함하는 디스플레이 장치
CN111165074B (zh) * 2017-09-29 2023-01-03 夏普株式会社 发光装置和显示装置
WO2019146115A1 (ja) * 2018-01-29 2019-08-01 シャープ株式会社 表示デバイスおよび表示デバイスの製造方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005166266A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Optrex Corp 有機elディスプレイおよびその製造方法
JP2010140790A (ja) * 2008-12-12 2010-06-24 Casio Computer Co Ltd 発光パネル及び発光パネルの製造方法
JP2015170493A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 株式会社Joled 表示装置および電子機器
US20160126498A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device
JP2018113104A (ja) * 2017-01-06 2018-07-19 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置及び表示装置の製造方法
WO2019186979A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 シャープ株式会社 表示装置
WO2019186900A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 シャープ株式会社 表示装置

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