WO2021131559A1 - ガラスフィルムの製造方法、ガラスロールの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置 - Google Patents

Abstract

帯状のガラスフィルムＧ１を搬送装置８で所定の方向に搬送しながら切断する切断工程Ｓ５を少なくとも具備するガラスフィルムＧ１の製造方法において、切断工程Ｓ５において、ガラスフィルムＧ１の切断は、ガラスフィルムＧ１にレーザー光Ｌを照射することにより所定の切断ゾーン２１で行われると共に、搬送装置８におけるガラスフィルムＧ１の支持搬送面２３ａ，２８ａがガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１で分断されている。また、切断ゾーン２１に対してガラスフィルムＧ１の幅方向に位置し、かつ切断後のガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向中央側に対応する位置に、ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持可能な第一定盤３８が配設される。

Description

ガラスフィルムの製造方法、ガラスロールの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置

　本発明は、ガラスフィルムの製造方法、ガラスロールの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置に関し、特に帯状のガラスフィルムを切断するための技術に関する。

　周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられる板ガラス、更には太陽電池のパネル等に用いられる板ガラスにおいては、薄肉化が推進されているのが実情である。

　例えば特許文献１には、厚みが数百μｍ以下のガラスフィルムが開示されている。この種の板ガラスは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を採用した成形装置によって連続的に成形されるのが一般的である。

　この場合、オーバーフローダウンドロー法により連続的に成形された長尺のガラスフィルムは、その搬送方向を鉛直方向から水平方向に変換した後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって引き続き下流側に搬送される。この搬送途中で、ガラスフィルムの幅方向両端部（厚肉部）が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとされる。

　ガラスフィルムを切断する技術として、特許文献１では、レーザー光を利用した切断方法が開示されている。この切断方法はいわゆるレーザー割断と呼ばれる方法で、ガラスフィルムをその長手方向に搬送しつつ、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザー光を照射して加熱し、その後、加熱された部分を冷却手段により冷却するものである。これにより、ガラスフィルムに熱応力が生じ、この熱応力によって初期クラックが進展することで、当該ガラスフィルムが切断される。

　厚みが２００μｍ以下となる超薄型のガラスフィルムを搬送しながら上記方法によって切断する場合、ガラスフィルムの搬送中に当該ガラスフィルムに無数のしわが生じ得る。このしわがレーザーの照射位置に重なった状態でガラスフィルムの切断が行われると、切断により生じたガラスフィルムの端面に、しわに起因した不良部分が残存するという問題があった。

　そこで、特許文献２には、所定の搬送方向に搬送される帯状のガラスフィルムにレーザー光を照射することによりガラスフィルムを切断する切断工程を備えるガラスフィルムの製造方法において、切断工程では、開口部を有する定盤によってガラスフィルムの下面を支持するとともに開口部によってガラスフィルムを吸引しながら、ガラスフィルムにレーザー光を照射する方法が提案されている。この構成によれば、搬送方向に沿って搬送される帯状のガラスフィルムの一部を定盤の開口部によって吸引することで、吸引された部分におけるしわの発生を防止でき、あるいはガラスフィルムに発生していたしわを消滅させることができる。よって、ガラスフィルムの吸引部分にレーザー光を照射して切断することで、切断面における不良の発生を防止する効果が期待できる。

特開２０１２－２４０８８３号公報 国際公開２０１９／０４９６４６号公報

　一方で、特許文献１や特許文献２に記載のように、所定の方向に搬送されている帯状のガラスフィルムに対してレーザー光を照射して切断を図る場合、ガラスフィルムは、ベルトコンベアにより接触支持された状態で所定の方向に搬送されると共に、上述した搬送装置による搬送路（パスラインともいう。）上にレーザーの照射領域、すなわちガラスフィルムの切断ゾーンが設定される。そのため、ガラスフィルムが切断ゾーンを通過する際も、当該切断ゾーンを通過するガラスフィルムの一部はベルト等の支持体により下方から接触支持された状態で搬送されることになる。これでは、ベルトの振動や上下動などがガラスフィルムのうちレーザーが照射される領域に伝わるため、安定した切断を行うことが難しい。また、構造上の問題からベルトの上下動を完全に抑止することは難しく、これによってもレーザーの照射位置が変動するため、安定した切断を行うことは難しい。このことは、たとえ特許文献２に記載のように、ガラスフィルムのうちレーザーが照射される領域のごく近傍を吸引しつつレーザーの照射により切断した場合であっても、同様に起こり得る。

　以上の事情に鑑み、本発明は、搬送装置の駆動がガラスフィルムのレーザー切断に及ぼす影響を回避して、安定した切断をガラスフィルムに施し、これにより良好な品質のガラスフィルムを安定的に得ることを、解決すべき技術課題とする。

　前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、帯状のガラスフィルムを搬送装置で所定の方向に搬送しながら切断する切断工程を少なくとも具備するガラスフィルムの製造方法であって、切断工程において、ガラスフィルムの切断は、ガラスフィルムにレーザー光を照射することにより所定の切断ゾーンで行われると共に、搬送装置におけるガラスフィルムの支持搬送面がガラスフィルムの切断ゾーンで分断され、これにより搬送装置は、切断ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、切断ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割され、切断ゾーンに対してガラスフィルムの幅方向に位置し、かつ切断後のガラスフィルムの幅方向中央側に対応する位置に、ガラスフィルムを接触支持可能な第一定盤が配設される点をもって特徴付けられる。なお、本明細書において、ガラスフィルムの幅方向とは、当該ガラスフィルムの長手方向と厚み方向とに直交する向きを意味する。

　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、搬送装置におけるガラスフィルムの支持搬送面をガラスフィルムの切断ゾーンで分断して、これにより搬送装置を、切断ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、切断ゾーンよりも搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割した。そのため、ガラスフィルムのうち切断ゾーンを通過している部分はベルトなど支持搬送のために駆動する部分からの振動又は上下動を直接受けずに済む。よって、振動等が及ぼす切断への影響を可及的に排除して、安定したレーザー切断を図ることができる。また、本発明では、切断ゾーンと同じ搬送方向位置において、切断後のガラスフィルムをその幅方向中央側で接触支持可能な第一定盤を設けたので、搬送装置の支持搬送面が途切れる領域（切断ゾーン）においても、切断中ないし切断後のガラスフィルムを円滑に搬送することができる。よって、ガラスフィルムを安定した状態で切断することが可能となり、また切断後のガラスフィルムを位置ずれなく巻き取ることができる。従って、良好な品質のガラスフィルムひいては良好な品質のガラスロールを安定的に得ることが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、第一定盤は、ガラスフィルムを接触支持可能な第一支持面と、ガラスフィルムを第一支持面に向けて吸引可能な第一吸引部とを有してもよい。

　切断後のガラスフィルムをその搬送方向下流側で巻き取ってガラスロールを得る場合、切断中又は切断後のガラスフィルムには巻取りに伴う引張り力が作用する。そのため、本発明のように、搬送装置の支持搬送面が切断ゾーンで分断された構成をとる場合、ガラスフィルムのうち切断ゾーンを通過している部分には、支持搬送面による拘束力が作用せず、巻取りに伴う引張り力のみが作用する。よって、ガラスフィルムが全体的に動いて、所定位置からずれるおそれが生じる。これに対して、本発明では、切断ゾーンを通過するガラスフィルムを接触支持可能な第一定盤に、ガラスフィルムを第一支持面に向けて吸引可能な第一吸引部を設けるようにした。このように構成することで、切断中又は切断後のガラスフィルムがその幅方向中央側で第一支持面に向けた吸引力を受けるので、この吸引力が、ガラスフィルムのうち切断ゾーンを通過している部分に対して巻取りに伴う引張り力に対抗する力として作用し得る。これにより、ガラスフィルムの位置ずれを抑制することができるので、正確にガラスフィルムを切断して高品質のガラスフィルムひいてはガラスロールを得ることが可能となる。

　また、上述のように第一吸引部を設ける場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、第一吸引部は、第一支持面に開口し搬送方向に沿って延びる溝状の第一吸気口を有してもよい。

　上述のように第一吸引部を構成することによって、吸引力をガラスフィルムの長手方向に均等に付与することができる。よって、吸引することによるガラスフィルムの移動を防止しつつ、上述した巻取りに伴う引張り力に対抗する十分な力をガラスフィルムに付与することが可能となる。

　また、上述のように第一吸引口を設ける場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、第一吸気口はその長手方向両端を開放した形態をなしてもよい。

　このように、溝状をなす第一吸気口の長手方向両端を開放した形態とすることにより、第一吸気口による吸引は、第一支持面に開口する部分と、長手方向両端に開放した部分の双方により行われる。そのため、第一支持面に開口する部分がガラスフィルムにより閉塞された状態においても、長手方向両端に開放した部分は依然として外気を吸引可能な状態にある。第一吸引部による吸引はガラスフィルムを所定の方向に搬送しながら行うため、仮に吸気口が完全にガラスフィルムで塞がれると、少しでもリークが生じた場合に、吸引力の変動が激しくなり、ガラスフィルムの位置が安定しないおそれが生じる。よって、上述のように溝状をなす第一吸気口の長手方向両端からも吸引（吸気）を行うことで、吸引力を適度な大きさに調整しつつ、吸引力の変動を小さくすることが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、切断ゾーンに、ガラスフィルムを接触支持可能な第二支持面を有する第二定盤が配設されてもよい。この場合、第二定盤は、ガラスフィルムを第二支持面に向けて吸引可能な第二吸引部を有してもよい。

　上述のように第二定盤を設けることにより、搬送装置の支持搬送面が途切れる切断ゾーンにあっても、ガラスフィルムを正確な位置で切断することができる。また、この際、第二定盤に上記構成の第二吸引部を設けることによって、ガラスフィルムを第二支持面上の所定位置に拘束（位置決め）した状態で切断することができる。よって、より良好かつ安定したレーザー切断を行うことが可能となる。また、ガラスフィルムを第二支持面に向けて吸引することで、ガラスフィルムの吸引された部分に生じたしわを消失させることができ、あるいはしわの発生を予防することができる。よって、上記構成によれば切断品質の良好なガラスフィルムを得ることが可能となる。

　また、上述のように第二吸引部を設ける場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、第二吸引部は、第二支持面に開口する第二吸気口と、第二吸気口の幅方向両側に位置する一対の第三吸気口とを有してもよい。

　このように第二吸気口に加えて一対の第三吸気口を設けることによって、ガラスフィルムを幅方向で均等にかつ効果的に拘束（吸引による局所的な変形で拘束）することができる。これにより、搬送状態にあるガラスフィルムの上下動を抑えることができるので、このことによっても安定したレーザー切断を行うことが可能となる。

　また、上述のように第二吸引部を設ける場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、第一吸引部によるガラスフィルムの吸引力が、第二吸引部によるガラスフィルムの吸引力よりも小さくなるように、各吸引部による吸引力を調整してもよい。

　このように各吸引部による吸引力を調整することによって、ガラスフィルムのうちレーザー切断が行われる部分では、吸引に伴う変形により比較的強固にガラスフィルムを拘束することができる。また、ガラスフィルムのうちレーザー切断が行われる部分から幅方向に離れた部分では、ガラスフィルム全体としての円滑な搬送を確保しつつ、下流側での巻取りに伴う引張りに対抗できるだけの十分な拘束力をガラスフィルムに付与することが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、切断ゾーンの幅方向に位置するガラスフィルムの接触支持面の全てが、静止した状態にあってもよい。なお、ここでいう接触支持面には、第一定盤の接触支持面（第一支持面）が含まれる。また、第二定盤が配設される場合、第二定盤の接触支持面（第二支持面）も上記接触支持面に含まれる。一方で、搬送装置におけるベルト等の支持体に設けられた支持搬送面は、ベルトが搬送装置の駆動部として機能することから、上述した接触支持面には含まれない。

　本発明に係る製造方法によれば、搬送装置の支持搬送面が切断ゾーンで分断された構造をとるため、切断ゾーンの幅方向に位置する部分から、例えばベルトなど駆動する支持体が排除される。加えて、上述のように、第一支持面などの接触支持面全てが、静止した状態にあることで、駆動部が存在することによる振動などの動的な影響が、ガラスフィルムのうち切断ゾーンを通過する部分に及ぶ事態を回避することができるので、より安定した位置及び姿勢でガラスフィルムのレーザー切断を行うことが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、上流側コンベアと、下流側コンベアとはそれぞれ、互いに独立した駆動源を有してもよい。

　このように上流側コンベアと下流側コンベアとで別個に独立した駆動源を設けることによって、ガラスフィルムの切断前と切断後とで、搬送速度を異ならせることができる。よって、ガラスフィルムの切断態様に応じた精密な調整が可能となり、これにより更なる切断品質の向上を図ることが可能となる。

　ここで、上述のように互いに独立した駆動源を有する場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、下流側コンベアの送り速度が、上流側コンベアの送り速度よりも大きくなるように、各駆動源が調整されてもよい。

　このように、下流側コンベアの送り速度が、上流側コンベアの送り速度よりも大きくなるようにすることで、ガラスフィルムのうち切断直前の部分に引張り力を付与することができる。これにより、例えばガラスフィルムのうち切断ゾーンに導入される部分が引き伸ばされて、直前まで存在したしわを消失させることができる。あるいは、引き伸ばされた状態でしわの発生を予防した状態で切断ゾーンに導入することができる。従って、より一層の切断品質の向上を図ることが可能となる。

　また、本発明は、以上の説明に係る製造方法で製造されたガラスフィルムを巻き取ってガラスロールを得るガラスロールの製造方法として提供することも可能である。また、この場合、上流側コンベアよりも搬送方向上流側に位置するガラスフィルムのガラスロールからガラスフィルムを引き出して切断ゾーンに供給すると共に、切断後のガラスフィルムを、下流側コンベアよりも搬送方向下流側に位置する巻取り部でロール状に巻き取ってガラスロールを得るようにしてもよい。

　本発明に係るガラスロールの製造方法によれば、搬送装置の駆動に起因した振動がガラスフィルムのレーザー切断に及ぼす影響を回避して、安定した切断をガラスフィルムに施すことができる。そのため、上述の如きロール・ツー・ロール方式でガラスフィルムを切断ゾーンに供給し、切断後のガラスフィルムをロール状に巻き取ることで、良好な品質のガラスロールを安定的にかつ効率よく得ることが可能となる。

　また、前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、帯状のガラスフィルムを切断するガラスフィルムの製造装置であって、ガラスフィルムを所定の方向に搬送可能な搬送装置と、搬送装置で搬送されているガラスフィルムにレーザー光を照射して所定の切断ゾーンで切断可能なレーザー切断装置とを備え、搬送装置におけるガラスフィルムの支持搬送面がガラスフィルムの切断ゾーンで分断され、これにより搬送装置は、切断ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、切断ゾーンよりも搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割されると共に、切断ゾーンに対してガラスフィルムの幅方向に位置し、かつ切断後のガラスフィルムの幅方向中央側に対応する位置に配設され、ガラスフィルムを接触支持可能な第一定盤をさらに具備する点をもって特徴付けられる。

　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造装置においても、搬送装置におけるガラスフィルムの支持搬送面をガラスフィルムの切断ゾーンで分断して、これにより搬送装置を、切断ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、切断ゾーンよりも搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割した。そのため、ガラスフィルムのうち切断ゾーンを通過している部分はベルトなど支持搬送のために駆動する部分からの振動又は上下動を直接受けずに済む。よって、振動等が及ぼす切断への影響を可及的に排除して、安定したレーザー切断を図ることができる。また、本発明では、切断ゾーンと同じ搬送方向位置において、切断後のガラスフィルムをその幅方向中央側で接触支持可能な第一定盤を設けたので、ガラスフィルムの切断ゾーンにおいても、切断中ないし切断後のガラスフィルムを円滑に搬送することができる。よって、ガラスフィルムを安定した状態で切断することが可能となり、また切断後のガラスフィルムを位置ずれなく巻き取ることができる。従って、良好な品質のガラスフィルムひいては良好な品質のガラスロールを安定的に得ることが可能となる。

　以上に述べたように、本発明によれば、搬送装置の駆動がガラスフィルムのレーザー切断に及ぼす影響を回避して、安定した切断をガラスフィルムに施し、これにより良好な品質のガラスフィルムを安定的に得ることが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置の全体構成を示す側面図である。 図１に示す搬送装置の平面図である。 図２中のＡ－Ａ切断線に沿った搬送装置の断面図である。 図２に示す第一定盤の平面図である。 図４中のＢ－Ｂ切断線に沿った第一定盤の断面図である。 図５中のＣ－Ｃ切断線に沿った第一定盤の断面図である。 図２に示す第二定盤の平面図である。 図７中のＤ－Ｄ切断線に沿った第二定盤の断面図である。 図８中のＥ－Ｅ切断線に沿った第二定盤の断面図である。 図２に示す支持ローラによる作用を説明するための概念図である。 本発明の第二実施形態に係る搬送装置の平面図である。 本発明の第三実施形態に係る搬送装置の平面図である。

　以下、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第一実施形態を、図１～図１０に基づいて説明する。

　本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置１は、図１に示すように、帯状の母材ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、母材ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後に母材ガラスフィルムＧを横方向に搬送する第一搬送部４と、母材ガラスフィルムＧにおける幅方向両端部を切断する第一切断部５とを備える。本実施形態では、この製造装置１は、幅方向両端部が除去されたガラスフィルム（以下、第一ガラスフィルムと称する。）Ｇ１をロール状に巻き取って第一ガラスロールＧＲＬ１を得る第一巻取り部６をさらに備えることから、ガラスロールの製造装置ともなり得る。なお、本実施形態では、縦方向は鉛直方向であり、横方向は水平方向である。

　また、ガラスフィルムの製造装置１は、第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出す引出し部７と、引出し部７から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向に搬送する第二搬送部８と、第一ガラスフィルムＧ１の一部を切断する第二切断部９と、第二切断部９により切断されてなるガラスフィルム（以下、第二ガラスフィルムと称する。）Ｇ２をロール状に巻き取って第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る第二巻取り部１０とをさらに備える。

　なお、本実施形態における第一ガラスフィルムＧ１が、本発明に係る切断前のガラスフィルムに相当し、第二ガラスフィルムが、本発明に係る切断後のガラスフィルムに相当する。よって、第一ガラスロールＧＲＬ１が、本発明に係る切断前のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールに相当し、第二ガラスロールＧＲＬ２が、本発明に係る切断後のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールに相当する。

　また、本実施形態における第二巻取り部１０が、本発明に係る巻取り部に相当し、第二切断部９が本発明に係るレーザー切断装置、第二搬送部８が本発明に係る搬送装置にそれぞれ相当する。

　成形部２は、上端部にオーバーフロー溝１１ａが形成された断面視略楔形の成形体１１と、成形体１１の直下に配置され、成形体１１から溢れ出した溶融ガラスＧＭを表裏両側から挟むエッジローラ１２と、エッジローラ１２の直下に配備されるアニーラ１３とを有する。

　成形部２は、成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端部で合流させてフィルム状に成形する。エッジローラ１２は、この溶融ガラスＧＭの幅方向収縮を規制して母材ガラスフィルムＧの幅方向寸法を調整する。アニーラ１３は、母材ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。アニーラ１３は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１４を有する。

　アニーラ１３の下方には、母材ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１５が配設されている。支持ローラ１５とエッジローラ１２との間、又は支持ローラ１５と何れか一箇所のアニーラローラ１４との間には、母材ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。

　方向変換部３は、支持ローラ１５の下方位置に設けられている。方向変換部３には、母材ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１６が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１６は、鉛直方向に搬送される母材ガラスフィルムＧを横方向へと案内する。

　第一搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。第一搬送部４は、支持搬送面を有する駆動部を駆動することにより、方向変換部３を通過した母材ガラスフィルムＧをその長手方向に沿って下流側に搬送する。なお、第一搬送部４は任意の構成をとることが可能であり、例えば一又は複数のベルトコンベアで構成することが可能である。この場合、支持搬送面を有する駆動部はベルトであり、このベルトを駆動することにより、母材ガラスフィルムＧを上述の態様で搬送し得る。もちろん、第一搬送部４は、上記例示の構成に限らず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用することも可能である。

　第一切断部５は、第一搬送部４の上方に配置される。本実施形態では、第一切断部５は、レーザー割断により母材ガラスフィルムＧを切断可能に構成される。具体的には、第一切断部５は、一対のレーザー照射装置１７ａと、当該レーザー照射装置１７ａの下流側に配置される一対の冷却装置１７ｂとを有する。第一切断部５は、搬送される母材ガラスフィルムＧの所定部位に各レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置１７ｂから冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却する。

　第一巻取り部６は、第一搬送部４及び第一切断部５の下流側に設置されている。第一巻取り部６は、巻芯１８を回転させることで、第一ガラスフィルムＧ１をロール状に巻き取る。このようにして得られる第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７の位置まで搬送される。引出し部７は、第一巻取り部６によって得られた第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出して、第二搬送部８上に供給する。

　第二搬送部８は、引出し部７において第一ガラスロールＧＲＬ１から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向（以下、搬送方向Ｘと称する。）に沿って搬送する。ここで、第二搬送部８は、図２及び図３に示すように、二つのコンベア１９，２０で構成される。この場合、第二搬送部８の支持搬送面は、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１（図２中の一点鎖線で囲まれた領域）で分断される。これにより、第二搬送部８は、切断ゾーン２１よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向上流側に位置する上流側コンベア１９と、切断ゾーン２１よりも搬送方向下流側に位置する下流側コンベア２０とに分割された構成をなす。

　このうち上流側コンベア１９は、複数の上流側ベルトコンベア２２を有する。これら複数の上流側ベルトコンベア２２は何れも、ベルト（以下、第一ベルト２３と称する。）で同じ方向に第一ガラスフィルムＧ１を接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第一ベルト２３は例えば無端帯状のベルトであり、第一ガラスフィルムＧ１をその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第一ベルト２３が同じ高さ方向位置に設定される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面となる各第一ベルト２３の表面２３ａで、水平方向に沿った第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬ（後述する図５等を参照）が構成される。

　ここで、各上流側ベルトコンベア２２は、図３に示すように、上述した無端帯状の第一ベルト２３と、第一ベルト２３に張力を付与しつつ第一ベルト２３を所定の位置に配設するための複数のプーリ２４と、これら複数のプーリ２４を支持する支持体２５とを有する。支持体２５は床面に固定されている。また、複数のプーリ２４のうち所定のプーリ２４（ドライブプーリ２４ａ）には、モータなどの駆動源２６が連結されており（図２を参照）、この駆動源２６によりドライブプーリ２４ａに駆動力を付与することで、各上流側ベルトコンベア２２の第一ベルト２３が所定の向きに駆動可能とされている。

　また、上記構成の複数の上流側ベルトコンベア２２は、それぞれ所定の幅方向位置に設置されている。ここでは、幅方向寸法が互いに異なる複数種類の第一ガラスフィルムＧ１が上流側コンベア１９上を搬送されることを想定して、想定される各第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端側で接触支持するように、各第一ベルト２３の幅方向位置が設定される。また、本実施形態では、幅方向寸法の大きさの如何によらず、全ての第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向中央位置で接触支持可能なように上流側ベルトコンベア２２が配設されると共に（図２を参照）、この上流側ベルトコンベア２２が、その支持搬送面となる第一ベルト２３の表面２３ａに第一ガラスフィルムＧ１を吸着可能なように構成されている。本実施形態では、第一ベルト２３の表面２３ａに複数の穴２３ｂが形成されており、この穴２３ｂを通じて吸気を行うことで、第一ガラスフィルムＧ１が表面２３ａに吸着され得る。

　下流側コンベア２０は、複数の下流側ベルトコンベア２７を有する。これら複数の下流側ベルトコンベア２７は何れも、ベルト（以下、第二ベルト２８と称する。）で同じ方向に切断後の第一ガラスフィルムＧ１、すなわち第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第二ベルト２８は例えば無端帯状のベルトであり、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第二ベルト２８が同じ高さ方向位置に設定される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面となる各第一ベルト２３の表面２３ａと、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの支持搬送面となる各第二ベルト２８の表面２８ａとで、水平方向に沿った第一ガラスフィルムＧ１の切断前後におけるパスラインＰＬ、すなわち第二搬送部８によるパスラインＰＬが構成される。

　ここで、各下流側ベルトコンベア２７は、図３に示すように、上述した無端帯状の第二ベルト２８と、第二ベルト２８に張力を付与しつつ第二ベルト２８を所定の位置に配設するための複数のプーリ２９と、これら複数のプーリ２９を支持する支持体３０とを有する。また、複数のプーリ２９のうち所定のプーリ２９（ドライブプーリ２９ａ）には、モータなどの駆動源３１が連結されており（図２を参照）、駆動源３１によりドライブプーリ２９ａに駆動力を付与することで、各下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８が所定の向きに駆動可能とされている。この駆動源３１は、上流側ベルトコンベア２２の駆動源２６と別個独立して設けられている。そのため、連動することなく個別に各駆動源２６，３１、ひいては上流側ベルトコンベア２２と下流側ベルトコンベア２７の駆動を制御可能とされる。

　また、本実施形態では、複数の下流側ベルトコンベア２７は、それぞれ所定の幅方向位置に設置可能であると共に、各第二ベルト２８の位置が、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能に構成されている。具体的には、各下流側ベルトコンベア２７の下方には、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に延びるレール部３２が配設されている。そして、各下流側ベルトコンベア２７を構成する支持体３０の下部には、レール部３２との間で相対移動可能なスライド部３３が取付けられている。これにより、レール部３２に対して各支持体３０のスライド部３３が幅方向にスライドすることで、各支持体３０に支持された複数のプーリ２９及びこれらプーリ２９に支持された第二ベルト２８が一体的に幅方向にスライド可能とされている。なお、各下流側ベルトコンベア２７のドライブプーリ２９ａは、共通のシャフト３４に対して幅方向にスライド可能に支持されている。そのため、シャフト３４に対する幅方向の位置を自由に変更しつつも、任意の幅方向位置で駆動源３１からの駆動力を受けて駆動することが可能とされている。

　本実施形態では、図２に示すように、切断後の第一ガラスフィルムＧ１である各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端近傍に一対の第二ベルト２８が位置するように、各第二ベルト２８（各下流側ベルトコンベア２７）の幅方向位置が調整される。なお、本実施形態のように、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部を切り捨てつつ、この一枚の第一ガラスフィルムＧ１一枚から二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切り出す場合、下流側ベルトコンベア２７が一個不要となるため、例えば最も幅方向外側に位置する下流側ベルトコンベア２７を退避スペース３５にまで移動させておくのがよい。これにより、不要な下流側ベルトコンベア２７が第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに干渉する事態を確実に回避しつつ、各二個の下流側ベルトコンベア２７で二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが支持搬送されると共に、各一個の下流側ベルトコンベア２７で、切り捨てた第一ガラスフィルムＧ１の幅方向端部がそれぞれ支持搬送される。なお、本実施形態では、全ての下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８が、図２に示すように、その支持搬送面となる表面２８ａに第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能に構成されている。本実施形態では、第二ベルト２８の表面２８ａに複数の穴２８ｂが形成されており、この穴２８ｂを通じて吸気を行うことで、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが表面２８ａに吸着され得る。

　第二切断部９は、第二搬送部８のうち上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に位置する領域の上方に配置される（図１及び図３を参照）。本実施形態では、第二切断部９は、レーザー割断により第一ガラスフィルムＧ１を切断可能に構成され、複数のレーザー照射装置３６と、各レーザー照射装置３６の下流側に配置される冷却装置３７とを有する。この場合、冷却装置３７はレーザー照射装置３６と同数だけ配置される。本実施形態では、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１が幅方向の三箇所に設けられるため（図２を参照）、レーザー照射装置３６と冷却装置３７とが三個ずつ配設される。上記構成の第二切断部９は、搬送される第一ガラスフィルムＧ１の所定部位に各レーザー照射装置３６からレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置３７から冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却可能に構成される。詳細は後述する。

　上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１から幅方向に離れた位置には、図２に示すように、第二搬送部８により搬送されている第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一定盤３８が配設されている。正確には、切断後の第一ガラスフィルムＧ１（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の幅方向中央側に対応する位置に、第一定盤３８が配設されている。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが一枚の第一ガラスフィルムＧ１から切り出されるので、切断ゾーン２１に対して幅方向に位置し、かつ各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向中央に対応する位置に、第一定盤３８がそれぞれ配設されている。これら第一定盤３８は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。

　ここで、第一定盤３８は、図４に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一支持面３９と、第一ガラスフィルムＧ１を第一支持面３９に向けて吸引可能な第一吸引部４０とを有する。

　第一定盤３８は、例えば金属で略直方体状に形成される。第一支持面３９は、本実施形態では、図５に示すように、第一定盤３８の上側に設けられたシート部材４１の表面で構成されている。このシート部材４１は、例えば樹脂など第一ガラスフィルムＧ１に対する接触時の抵抗が小さい材料で、あるいは第一ガラスフィルムＧ１に対する滑り性の良好な材料で形成される。なお、本実施形態では、シート部材４１の表面で第一支持面３９を構成したが、もちろん、第一定盤３８の上面で第一支持面３９を構成してもかまわない。

　また、第一支持面３９の高さ方向位置は、第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬと同じ位置であってもよいが、例えば図５及び図６に示すように、パスラインＰＬよりも少し（例えば３ｍｍ以内の範囲で）高く設定してもよい。これにより、第一ガラスフィルムＧ１と第一支持面３９とをより確実に密着させ得る。

　第一吸引部４０は、本実施形態では、第一支持面３９に開口する第一吸気口４２と、第一吸気口４２と連通する連通空間４３と、連通空間４３内部の排気を行うポンプなどの排気部４４、及び連通空間４３と排気部４４とを接続する接続管４５（何れも図３を参照）とを有する。本実施形態では、第一吸気口４２は溝状をなす。また、この溝状をなす第一吸気口４２は、第一ガラスフィルムＧ１の長手方向、すなわち搬送方向に沿って延びるように第一支持面３９に形成されている（図４を参照）。第一吸気口４２はシート部材４１を貫通しかつ第一定盤３８の上面に開口するように形成されている。また、本実施形態では、第一吸気口４２の長手方向両端は第一定盤３８の側面に対して開口している。よって、第一吸気口４２の両端開口部４２ａ，４２ａは、外部空間（外気）に対して常に開放された状態にある。

　第一吸気口４２の底面には複数の貫通穴４２ｂが形成されており、第一定盤３８を支持する支持部材４６に形成された連通空間４３とつながっている。この場合、貫通穴４２ｂが第一定盤３８に形成され、連通空間４３が支持部材４６に形成される。接続管４５は支持部材４６に取り付けられる。排気部４４は例えば共通であり、一個の排気部４４に対して第一定盤３８と同数の接続管４５で接続されてもよい。あるいは、連通空間４３が共通で一個の支持部材４６に複数の第一定盤３８が支持されていてもよい。この場合、一本の接続管４５が一個の支持部材４６に取り付けられる。以上の構成をなす第一吸引部４０によれば、排気部４４の駆動により、第一支持面３９に開口する第一吸気口４２及びその長手方向両端に位置する両端開口部４２ａ，４２ａからの吸気を行う。そのため、第一定盤３８の第一支持面３９上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、上記吸気動作により、第一ガラスフィルムＧ１の下面が第一支持面３９に対して吸引される。

　また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二定盤４７が配設されている。本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１を幅方向の三箇所で切断する形態を採っていることから、三箇所の切断ゾーン２１それぞれに対して三個の第二定盤４７が配設されている。これら第二定盤４７は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。

　ここで、第二定盤４７は、図７に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二支持面４８と、第一ガラスフィルムＧ１を第二支持面４８に向けて吸引可能な第二吸引部４９とを有する。

　第二定盤４７は、例えば金属で略直方体状に形成される。第二支持面４８は、本実施形態では、図８に示すように、第二定盤４７の上側に設けられたシート部材５０の表面で構成されている。このシート部材５０は、例えば樹脂など第一ガラスフィルムＧ１に対する接触時の抵抗が小さい材料で、あるいは第一ガラスフィルムＧ１に対する滑り性の良好な材料で形成される。なお、本実施形態では、シート部材５０の表面で第二支持面４８を構成したが、もちろん、第二定盤４７の上面で第二支持面４８を構成してもかまわない。

　また、第二支持面４８の高さ方向位置は、第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬと同じ位置であってもよいが、例えば図８及び図９に示すように、パスラインＰＬよりもわずかに（例えば３ｍｍ以内の範囲で）高く設定してもよい。これにより、第一ガラスフィルムＧ１と第二支持面４８とをより確実に密着させ得る。

　第二吸引部４９は、本実施形態では、図８及び図９に示すように、第二支持面４８に開口する第二吸気口５１と、第二吸気口５１の幅方向両側に位置する一対の第三吸気口５２，５２と、第二吸気口５１及び第三吸気口５２，５２と連通する連通空間５３と、連通空間５３内部の排気を行うポンプなどの排気部５４、及び連通空間５３と排気部５４とを接続する接続管５５とを有する。

　第二吸気口５１及び第三吸気口５２は、本実施形態では、何れも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿って伸びる長穴形状をなすように、第二支持面４８に形成されている。ここで、第二吸気口５１の幅方向寸法や長手方向寸法は、第三吸気口５２の幅方向寸法や長手方向寸法との兼ね合いで適宜の大きさに設定される。言い換えると、必要とされる第一ガラスフィルムＧ１に対する吸引力（変形力）に応じて、上述した寸法、特に第二吸気口５１の各種寸法と、第三吸気口５２の各種寸法との大小関係を適宜に設定するのがよい。

　上記構成の第二吸気口５１及び一対の第三吸気口５２，５２は、シート部材５０と第二定盤４７に形成されている。これら第二吸気口５１及び第三吸気口５２，５２はシート部材５０と第二定盤４７をそれぞれ上下方向に貫通するように形成されており、第二定盤４７を下方から支持する支持部材５６に形成された連通空間５３とつながっている。この場合、連通空間５３が支持部材５６に形成され、接続管５５は支持部材５６の下側に取り付けられる。排気部５４は例えば共通であり、一個の排気部５４に対して第二定盤４７と同数の接続管５５で接続されてもよい。あるいは、連通空間５３が共通で一個の支持部材５６に複数の第二定盤４７が支持されていてもよい。この場合、一本の接続管５５が一個の支持部材５６に取り付けられる。また、本実施形態では、支持部材５６と第二定盤４７との間に、支持部材５６の幅方向に開口し、外部の空気を吸引可能とするスリット部５７が形成されている。

　以上の構成をなす第二吸引部４９によれば、排気部５４の駆動により、第二支持面４８に開口する第二吸気口５１と第三吸気口５２，５２及びスリット部５７からの吸気を行う。そのため、第二定盤４７の第二支持面４８上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、上記吸気動作により、第一ガラスフィルムＧ１の下面が第二支持面４８に対して吸引される。

　また、本実施形態のように、第一吸引部４０と第二吸引部４９とで別個独立した排気部４４，５４を設ける場合には、個別に吸引力を制御することが可能となる。例えば、第一吸引部４０による第一ガラスフィルムＧ１の吸引力が、第二吸引部４９による第一ガラスフィルムＧ１の吸引力よりも小さくなるように、各吸引部４０，４９による吸引力、言い換えると各排気部４４，５４による排気量を個別に調整することも可能である。もちろん、第一吸引部４０と第二吸引部４９とで排気部を共通にして（図示は省略）、構造を簡素化することも可能である。

　レーザー照射装置３６は、搬送方向Ｘに沿って移動する第一ガラスフィルムＧ１の所定部位にレーザー光Ｌを照射することにより、当該部位を局部加熱する。レーザー照射装置３６は、図９に示すように、複数のレーザー照射部３６ａを有する。各レーザー照射部３６ａは、第二定盤４７の第二吸気口５１の上方に配置される。これによりレーザー照射部３６ａは、第二支持面４８に開口した第二吸気口５１を通過する第一ガラスフィルムＧ１の複数箇所にレーザー光Ｌを照射する。各レーザー照射部３６ａからのレーザー光Ｌの照射位置Ｏは、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにほぼ平行な直線上に位置するように設定される。

　冷却装置３７は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにおいて、レーザー照射装置３６の下流側に配置される。冷却装置３７は、第一ガラスフィルムＧ１のうち上述したレーザー光Ｌの照射により局部加熱された部位に冷媒Ｒを供給して当該部位を冷却する。

　第二搬送部８よりも下流側には、幅方向で隣り合う一組の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部５８が設けられている。この隙間形成部５８は、本実施形態では、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラ５９ａ，５９ｂを有する。本実施形態では二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、二個の支持ローラ５９ａ，５９ｂが配設される。また、本実施形態では、図１０に示すように、支持ローラ５９ａ，５９ｂによって支持された各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端部に向けて上方からエアなどの気体を吹き付けるためのノズル６０ａ，６０ｂが配設されている。

　第二巻取り部１０は、第二搬送部８よりも下流側に配設される。具体的に、第二巻取り部１０は、第二搬送部８で搬送される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを巻芯６１ａ，６１ｂによって巻き取ることで第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、これら二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをそれぞれ巻き取ることで、二個の第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。

　上記構成の製造装置１により製造される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

　また、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の厚み寸法は、１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下であり、最も好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下である。

　以下、上記構成の製造装置１を使用して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（本実施形態では第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ）を製造する方法について説明する。本方法は、成形工程Ｓ１と、両端部除去工程Ｓ２と、第一巻取り工程Ｓ３と、引出し工程Ｓ４と、切断工程Ｓ５と、第二巻取り工程Ｓ６とを備える。

　成形工程Ｓ１では、図１に示すように、成形部２における成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを成形体１１の両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスＧＭの幅方向収縮をエッジローラ１２により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。その後、母材ガラスフィルムＧに対してアニーラ１３により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１５の張力により、母材ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。

　両端部除去工程Ｓ２では、同じく図１に示すように、方向変換部３及び第一搬送部４によって母材ガラスフィルムＧを下流側に送りつつ、第一切断部５において、レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを母材ガラスフィルムＧの一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置１７ｂで冷媒Ｒを吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧに熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧには、予め初期クラックが形成されており、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部が除去され、第一ガラスフィルムＧ１が形成される。

　続く第一巻取工程Ｓ３では、同じく図１に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を巻芯１８に巻き取ることにより、第一ガラスロールＧＲＬ１を得る。その後、第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７に移送される。引出し工程Ｓ４では、引出し部７に移送された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出し、第二搬送部８によって第二搬送部８上の切断ゾーン２１へと搬送する（図２及び図３を参照）。

　切断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二搬送部８上の切断ゾーン２１を通過する部分に、レーザー照射装置３６によりレーザー光Ｌを照射し、かつ照射した領域に冷媒Ｒを吹き付けることにより、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿った向きの切断を行う。また、この際、第一ガラスフィルムＧ１は、上流側コンベア１９により搬送方向Ｘに沿った向きに搬送され、切断ゾーン２１に対して幅方向に離れた位置に配設される第一定盤３８の第一支持面３９上を通過する（図２を参照）。ここで第一吸引部４０の排気部４４を作動させることで（常時作動させておくことで）、第一支持面３９に開口した第一吸気口４２を通じて第一支持面３９上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸引力が作用し、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面３９に向けて吸引される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面３９に接触支持されながら搬送方向Ｘに沿って搬送される。また、第一吸引部４０による吸引力の程度によっては、第一ガラスフィルムＧ１の被吸引部分が変形（例えば図５に示すように、下方に凸となる向きに湾曲変形）する。

　また、本実施形態では、切断ゾーン２１に第二定盤４７を配設しているので、上述のように第一ガラスフィルムＧ１が切断ゾーン２１上を通過するのと同時に、第二定盤４７の第二支持面４８上を通過する（図２を参照）。ここで第二吸引部４９の排気部５４を作動させることで、第二支持面４８に開口した第二吸気口５１及び一対の第三吸気口５２，５２を通じて第二支持面４８上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸引力が作用し、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面４８に向けて吸引される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面４８に向けた力（拘束力）を受けた状態で接触支持されながら搬送方向Ｘに沿って搬送される。また、第二吸引部４９による吸引力の程度によっては、第一ガラスフィルムＧ１の被吸引部分が変形（例えば図８に示すように、各吸気口５１，５２直上の部分がそれぞれ下方に凸となる向きに湾曲変形）する。

　なお、この際、第一吸引部４０による吸引力は、例えば排気部４４の出力や各開口部（第一吸気口４２、両端開口部４２ａ，４２ａ）の形状、サイズを調整することによって適宜の大きさに制御される。同様に、第二吸引部４９による吸引力は、例えば排気部５４の出力や各開口部（第二吸気口５１、第三吸気口５２、及びスリット部５７）の形状、サイズを調整することによって適宜の大きさに制御される。

　上述した吸引力の調整において、吸引力を大きくすると、上述した第一ガラスフィルムＧ１の変形量が大きくなる一方で、第一ガラスフィルムＧ１の上下動の幅は小さくなる傾向にある。逆に、吸引力を小さくすると、上述した変形量は小さくなる一方で、上下動の幅は大きくなる傾向にある。従って、許容可能な上下動の幅の範囲内で変形量を可及的に小さくすることが好ましい。

　切断工程Ｓ５では、上記のように第一定盤３８の第一支持面３９、及び第二定盤４７の第二支持面４８に第一ガラスフィルムＧ１を吸引しながら第二搬送部８（上流側コンベア１９）によって第一ガラスフィルムＧ１を搬送するとともに、レーザー照射装置３６のレーザー照射部３６ａから複数のレーザー光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射する（レーザー照射工程）。レーザー光Ｌは、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二定盤４７の第二吸気口５１上を通過する部分に照射される。

　上記のようなレーザー光Ｌの照射により、その照射位置Ｏ（図７を参照）において第一ガラスフィルムＧ１が加熱される。その後、第一ガラスフィルムＧ１のうち加熱された部分は、第二吸気口５１の下流側に位置する冷却装置３７の直下に到達すると、冷却装置３７から下方に向けて噴射された冷媒Ｒを浴びて冷却される。レーザー照射装置３６の局部加熱による膨張と冷却装置３７の冷却による収縮とにより第一ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。第一ガラスフィルムＧ１には、図示しない手段により予め初期クラックが形成されており、上述した熱応力を利用して初期クラックを進展させることで、第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向所定位置において連続的に切断（割断）される。本実施形態では、幅方向の三箇所で上述したレーザー切断を行うことにより、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部が切り捨てられると共に、それぞれ所定の幅方向寸法を有する二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出される（図２を参照）。これら第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂは切断ゾーン２１よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側コンベア２０により、下流側コンベア２０よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する第二巻取り部１０に向けて搬送される。

　第二巻取り工程Ｓ６では、それぞれ所定の位置に配設された巻芯６１ａ，６１ｂによって第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られる。所定長さの第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られることで、第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。

　また、本実施形態では、下流側コンベア２０と、第二巻取り部１０との間に、隙間形成部５８としての支持ローラ５９ａ，５９ｂを配設したので、各支持ローラ５９ａ，５９ｂ上を通過する第二ガラスフィルムＧ２が支持ローラ５９ａ，５９ｂの外周面形状に倣って変形（ここでは上方に凸となる向きに湾曲変形）しながら下流側に搬送される。これにより、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に所定の幅方向隙間が形成されるので（図１０を参照）、切断面同士の干渉を回避してそれぞれ第二巻取り部１０に搬送することができる。

　以上説明したように、本実施形態に係るガラスフィルム（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の製造方法では、第二搬送部８における第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面（第一ベルト２３の表面２３ａ及び第二ベルト２８の表面２８ａ）を第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１で分断して、これにより搬送装置としての第二搬送部８を、切断ゾーン２１よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの上流側に位置する上流側コンベア１９と、切断ゾーン２１よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側コンベア２０とに分割した。そのため、第一ガラスフィルムＧ１のうち切断ゾーン２１を通過している部分はベルト２３，２８など支持搬送のために駆動する部分からの振動又は上下動を直接受けずに済む。よって、振動等が及ぼす切断への影響を可及的に排除して、安定したレーザー切断を図ることができる。また、本実施形態に係る製造方法では、切断ゾーン２１と同じ搬送方向位置において、切断後のガラスフィルムである第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその幅方向中央側で接触支持可能な第一定盤３８を設けたので、第二搬送部８の支持搬送面が途切れる領域（切断ゾーン２１）においても、第一ガラスフィルムＧ１ないし第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを円滑に搬送することができる。よって、第一ガラスフィルムＧ１を安定した状態で切断することが可能となり、また第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを位置ずれなく巻き取ることができる。従って、良好な品質の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂひいては良好な品質の第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを安定的に得ることが可能となる。

　また、本実施形態では、第一定盤３８に、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持可能な第一支持面３９と、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを第一支持面３９に向けて吸引可能な第一吸引部４０とを設けるようにした。これにより、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂがその幅方向中央側で第一支持面３９に向けた吸引力を受けるので、この吸引力が、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂのうち切断ゾーン２１を通過している部分に対して巻取りに伴う引張り力に対抗する力として作用し得る。これにより、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの位置ずれを抑制することができるので、正確に第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切断して高品質の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂひいては第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得ることが可能となる。

　また、本実施形態では、切断ゾーン２１に、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二支持面４８を有する第二定盤４７を配設して、この第二定盤４７に、第一ガラスフィルムＧ１を第二支持面４８に向けて吸引可能な第二吸引部４９を設けると共に、第一吸引部４０による第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの吸引力が、第二吸引部４９による第一ガラスフィルムＧ１の吸引力よりも小さくなるように、各吸引部４０，４９による吸引力を調整可能とした。このように構成することによって、第一ガラスフィルムＧ１のうちレーザー切断が行われる部分では、吸引に伴う変形により比較的強固に第一ガラスフィルムＧ１を拘束することができる（図８を参照）。また、第一ガラスフィルムＧ１のうちレーザー切断が行われる部分から幅方向に離れた部分では、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ全体としての円滑な搬送を確保しつつ、下流側での第二巻取り部１０による巻取りに伴い各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに作用する引張り力に対抗できるだけの十分な拘束力を第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに付与することが可能となる。

　また、本実施形態では、切断ゾーン２１で分割された上流側コンベア１９を構成する複数の上流側ベルトコンベア２２と下流側コンベア２０を構成する複数の下流側ベルトコンベア２７とが、互いに独立した駆動源２６，３１を有する。そのため、下流側ベルトコンベア２７の送り速度が、上流側ベルトコンベア２２の送り速度よりも大きくなるように、各駆動源２６，３１を調整することができる。このように各ベルトコンベア２２，２７の送り速度を設定することにより、第一ガラスフィルムＧ１のうち切断直前の部分に搬送方向Ｘに沿った向きの引張り力を付与することができる。これにより、例えば第一ガラスフィルムＧ１のうち切断ゾーン２１に導入される部分が引き伸ばされて、直前まで存在したしわを消失させることができる。あるいは、引き伸ばされた状態でしわの発生を予防した状態で切断ゾーン２１に導入することができる。従って、より一層の切断品質の向上を図ることが可能となる。

　以上、本発明に係るガラスフィルムの製造方法及び製造装置の第一実施形態を説明したが、この製造方法及び製造装置は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

　図１１は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第二実施形態を示している。すなわち、上述した第一実施形態では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切り出す際に本発明を適用した場合の構成を例示したが、本実施形態では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から三枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ，Ｇ２ｃを切り出す際に本発明を適用した場合の構成を例示している。すなわち、本実施形態では、図１１に示す製造装置１において、切り出される第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、第一定盤３８及び第二定盤４７の数及び幅方向位置を調整している。また、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、レーザー照射装置３６及び冷却装置３７の数及び幅方向位置を調整している。すなわち、図示は省略するが、位置調整後の各第二定盤４７上にレーザー照射装置３６及び冷却装置３７が配置される。

　また、本実施形態では、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベア２７の幅方向位置を調整している。すなわち、図１１に示すように、複数の下流側ベルトコンベア２７が、レール部３２に沿って幅方向にスライド可能に構成されている場合、例えば第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向両端位置に応じて、これら複数の下流側ベルトコンベア２７の位置を幅方向に調整している。

　なお、下流側コンベア２０と第二巻取り部１０との間に隙間形成部５８を設ける場合には、図１１に示すように、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、適切な幅方向寸法の支持ローラ５９ａ～５９ｃをそれぞれ適切な幅方向位置に配置している。

　このように、第一定盤３８及び第二定盤４７の数及び幅方向位置を調整することによって、製造装置１における第一ガラスフィルムＧ１の切断条件の変更にも柔軟に対応することができる。また、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベア２７の位置を幅方向に調整することによって、第二ガラスフィルムＧ２ａを幅方向に均等な位置で支持搬送することができる。よって、幅方向一方側に偏った位置に第二ベルト２８が接触する事態を回避して、当該接触位置の偏りに起因した第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの斜行など第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの搬送不良を防止することが可能となる。また、斜行させずに第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃを搬送できれば、幅方向で隣り合う一方の第二ガラスフィルムＧ２ａ（Ｇ２ｃ）の切断面（側端面）が他方の第二ガラスフィルムＧ２ｂの切断面（側端面）に干渉する事態を可及的に回避することができるので、良好な切断品質の第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃひいては第二ガラスロールＧＲＬ２ａ～ＧＲＬ２ｃを得ることが可能となる。

　なお、上記実施形態では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚（又は三枚）の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（Ｇ２ａ～Ｇ２ｃ）を切り出す場合を例示したが、もちろん、幅方向寸法の異なる一枚の第二ガラスフィルムＧ２ａを切り出す場合に本発明を適用することも可能であり、また四枚以上の第二ガラスフィルムＧ２ａ…を切り出す場合に本発明を適用することも可能である。

　また、上記実施形態では、第一定盤３８を、第二定盤４７と搬送方向Ｘで同じ位置、同じ寸法とし、かつ幅方向に隣り合う第二定盤４７との間に所定の幅方向間隔を空けて設けた場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば図１２に示すように、幅方向で隣り合う一対の第二定盤４７の間をほぼ埋めるように（第二定盤４７と近接する位置まで）第一定盤３８の第一支持面３９を拡げることも可能である。また、図示は省略するが、第二定盤４７よりも第一定盤３８の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法を第二定盤４７のそれよりも大きく設定することも可能である。

　また、上記実施形態では、第一支持面３９に形成される第一吸気口４２を溝状とした場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば図示は省略するが、第一支持面３９上に第一吸気口４２としての複数の貫通穴４２ｂを形成してもよい。また、第一吸気口４２が溝状をなす場合であっても、例えば幅方向に沿って延びる形態にするなど、図示以外の任意の形態をとることが可能である。第二定盤４７の第二支持面４８に形成される第二吸気口５１及び第三吸気口５２（特に、レーザー光Ｌの照射領域に当たらない第三吸気口５２）についても図示以外の形態を採り得ることはもちろんである。

　なお、以上の説明では、切断ゾーン２１で搬送装置としての第二搬送部８が分割されてなる上流側コンベア１９と下流側コンベア２０をともにベルトコンベアで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば上流側コンベア１９と下流側コンベア２０の少なくとも一方を、ローラコンベアその他の各種搬送装置で構成することも可能である。

　また、以上の説明では、第一定盤３８だけでなく切断ゾーン２１に第二定盤４７を設けた場合を説明したが、第二定盤４７は必須の構成要素ではない。第一ガラスフィルムＧ１の切断態様によっては、第二定盤４７を省略することも可能である。あるいは、第二定盤４７を設ける場合であっても、第二吸引部４９を省略した構成をとることも可能である。

　また、以上の説明では、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部を第一切断部５で切断して得た第一ガラスフィルムＧ１に対して本発明を適用した場合を説明したが、母材ガラスフィルムＧの第一切断部５による切断に本発明を適用してもかまわない。この場合、第一搬送部４が、図２等に示す第二搬送部８と同様の構成をとることで、本発明を実施可能となる。

　また、以上の説明では、帯状をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用した場合を説明したが、もちろんこれ以外の形態をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用することも可能である。すなわち、本発明は、ガラスロールの製造方法には限られないため、例えば図示は省略するが、第二巻き取り部１０に代えて幅方向切断装置によってガラスフィルムＧ１から所定長さごとのガラスフィルムを切り出すことで、矩形状など枚葉状の板ガラス（ガラスフィルム）の作製に本発明を適用することも可能である。

１　　　製造装置
２　　　成形部
３　　　方向変換部
４　　　第一搬送部
５　　　第一切断部
６　　　第一巻取り部
７　　　引出し部
８　　　第二搬送部
９　　　第二切断部
１０　　第二巻取り部
１１　　成形体
１７ａ　レーザー照射装置
１７ｂ　冷却装置
１９　　上流側コンベア
２０　　下流側コンベア
２１　　切断ゾーン
２２　　上流側ベルトコンベア
２３，２８　ベルト
２６，３１　駆動源
２７　　下流側ベルトコンベア
３２　　レール部
３３　　スライド部
３５　　退避スペース
３６　　レーザー照射装置
３７　　冷却装置
３８　　第一定盤
３９　　第一支持面
４０　　第一吸引部
４１，５０　シート部材
４２　　第一吸気口
４２ａ，４２ａ　両端開口部
４２ｂ　貫通穴
４３，５３　連通空間
４４，５４　排気部
４５，５５　接続管
４６，５６　支持部材
４７　　第二定盤
４８　　第二支持面
４９　　第二吸引部
５１　　第二吸気口
５２　　第三吸気口
５７　　スリット部
５８　　隙間形成部
５９ａ，５９ｂ，５９ｃ　支持ローラ
６０ａ，６０ｂ　ノズル
Ｇ　　　母材ガラスフィルム
Ｇ１　　第一ガラスフィルム
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ，Ｇ２ｃ　第二ガラスフィルム
ＧＭ　　溶融ガラス
ＧＲＬ１　第一ガラスロール
ＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ，ＧＲＬ２ｃ　第二ガラスロール
Ｌ　　　レーザー光
ＰＬ　　パスライン
Ｒ　　　冷媒

Claims (13)

1. 　帯状のガラスフィルムを搬送装置で所定の方向に搬送しながら切断する切断工程を少なくとも具備するガラスフィルムの製造方法であって、
   　前記切断工程において、前記ガラスフィルムの切断は、前記ガラスフィルムにレーザー光を照射することにより所定の切断ゾーンで行われると共に、
   　前記搬送装置における前記ガラスフィルムの支持搬送面が前記ガラスフィルムの切断ゾーンで分断され、これにより前記搬送装置は、前記切断ゾーンよりも前記ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、前記切断ゾーンよりも前記搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割され、
   　前記切断ゾーンに対して前記ガラスフィルムの幅方向に位置し、かつ前記切断後のガラスフィルムの幅方向中央側に対応する位置に、前記ガラスフィルムを接触支持可能な第一定盤が配設されることを特徴とする、ガラスフィルムの製造方法。
2. 　前記第一定盤は、前記ガラスフィルムを接触支持可能な第一支持面と、前記ガラスフィルムを前記第一支持面に向けて吸引可能な第一吸引部とを有する請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 　前記第一吸引部は、前記第一支持面に開口し前記搬送方向に沿って延びる溝状の第一吸気口を有する請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 　前記第一吸気口はその長手方向両端を開放した形態をなしている請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
5. 　前記切断ゾーンに、前記ガラスフィルムを接触支持可能な第二支持面を有する第二定盤が配設され、前記第二定盤は、前記ガラスフィルムを前記第二支持面に向けて吸引可能な第二吸引部を有する請求項１～４の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 　前記第二吸引部は、前記第二支持面に開口する第二吸気口と、前記第二吸気口の幅方向両側に位置する一対の第三吸気口とを有する請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 　前記第一吸引部による前記ガラスフィルムの吸引力が、前記第二吸引部による前記ガラスフィルムの吸引力よりも小さくなるように調整される請求項５又は６に記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 　前記切断ゾーンの幅方向に位置する前記ガラスフィルムの接触支持面の全てが、静止した状態にある請求項１～７の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
9. 　前記上流側コンベアと、前記下流側コンベアとはそれぞれ、互いに独立した駆動源を有する請求項１～８の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
10. 　前記下流側コンベアの送り速度が、前記上流側コンベアの送り速度よりも大きくなるように調整される請求項９に記載のガラスフィルムの製造方法。
11. 　請求項１～１０の何れか一項に記載の製造方法で製造されたガラスフィルムを巻き取ることでガラスロールを得るガラスロールの製造方法。
12. 　前記上流側コンベアよりも前記搬送方向上流側に位置する前記ガラスフィルムのガラスロールから前記ガラスフィルムを引き出して前記切断ゾーンに供給すると共に、
    　前記切断後のガラスフィルムを、前記下流側コンベアよりも前記搬送方向下流側に位置する巻取り部でロール状に巻き取って前記ガラスロールを得る請求項１１に記載のガラスロールの製造方法。
13. 　帯状のガラスフィルムを切断するガラスフィルムの製造装置であって、
    　前記ガラスフィルムを所定の方向に搬送可能な搬送装置と、
    　前記搬送装置で搬送されているガラスフィルムにレーザー光を照射して所定の切断ゾーンで切断可能なレーザー切断装置とを備え、
    　前記搬送装置における前記ガラスフィルムの支持搬送面が前記ガラスフィルムの切断ゾーンで分断され、これにより前記搬送装置は、前記切断ゾーンよりも前記ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、前記切断ゾーンよりも前記搬送方向下流側に位置する下流側コンベアとに分割されると共に、
    　前記切断ゾーンに対して前記ガラスフィルムの幅方向に位置し、かつ前記切断後のガラスフィルムの幅方向中央側に対応する位置に配設され、前記ガラスフィルムを接触支持可能な第一定盤をさらに具備することを特徴とする、ガラスフィルムの製造装置。

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