WO2018066706A1 - 複合樹脂材料および成形体 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a composite resin material containing polychlorotrifluoroethylene and carbon nanotubes and a molded body produced using the composite resin material.
- Patent Document 1 describes a method for producing composite resin material particles using fluorocarbon resin particles such as polytetrafluoroethylene and carbon nanomaterials using carbon dioxide in a subcritical or supercritical state.
- Patent Document 2 describes a method for producing composite resin particles in which a fluorocarbon resin particle such as polytetrafluoroethylene and a carbon nanomaterial are combined using a ketone solvent.
- JP 2014-34591 A Japanese Patent Laying-Open No. 2015-30821
- a cleaning process for removing contaminants such as metal impurities and surface-adsorbed chemical substances from a wafer or the like is an important process, and various cleaning methods are being studied. For example, a cleaning method using ozone water, SPM cleaning using sulfuric acid, hydrogen peroxide, or the like is performed.
- the present inventors have found that when a molded body prepared using a conductive material containing a carbon nanomaterial is subjected to a cleaning treatment using, for example, ozone water, the volume resistivity increases and the conductivity may decrease. I found.
- the volume resistivity may increase due to a strong acid such as sulfuric acid and the antistatic properties may decrease. Therefore, the present inventors have examined a material whose volume resistivity is difficult to increase even when a cleaning process using ozone water is performed.
- an object of the present invention is to provide a resin material that has a low volume resistivity and gives a resin molded body in which the volume resistivity is hardly increased even when a cleaning treatment using ozone water is performed.
- the molded body produced using the composite resin material of the present invention has a low volume resistivity, and it is difficult for the volume resistivity to increase even when a cleaning treatment using, for example, ozone water or the like is performed.
- FIG. 1 is a CNT image in a molded body produced by compression molding using the resin material obtained in Example 3.
- FIG. 2 is a CNT image in a molded body produced by melt kneading using the resin material obtained in Example 3.
- the composite resin material of the present invention includes polychlorotrifluoroethylene and carbon nanotubes.
- the composite resin material of the present invention is a material in which polychlorotrifluoroethylene and carbon nanotubes are composited, and carbon nanotubes are present on at least the surface and / or the surface layer of polychlorotriethylene particles. For example, at least a part of carbon nanotubes is supported or buried on the surface of polychlorotriethylene particles.
- the carbon nanotubes may be attached to and supported on the surface of the polychlorotriethylene particles, or may be partially embedded and supported, or may be completely embedded in the surface layer of the polychlorotriethylene particles. Also good.
- the composite resin material of the present invention has an average particle size of 500 ⁇ m or less.
- the composite resin material of the present invention preferably has an average particle size of 250 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less, even more preferably 50 ⁇ m or less, particularly preferably 25 ⁇ m or less, and most preferably 12 ⁇ m or less. It is preferable for the average particle diameter to be equal to or less than the above upper limit because the volume resistivity of the finally obtained molded article can be easily increased.
- the average particle diameter of the composite resin material of the present invention is not particularly limited, it is usually 1 ⁇ m or more.
- the average particle diameter of the composite resin material is a median diameter (D 50 ) that means a particle diameter at an integrated value of 50% in the particle size distribution obtained by the laser diffraction / scattering method, and is measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution apparatus. Is done.
- the composite resin material of the present invention is a composite material of polychlorotrifluoroethylene and carbon nanotubes, and has an average particle diameter in the above range, whereby a volume resistivity of a molded body produced using the composite resin material of the present invention. Can be effectively reduced to impart antistatic properties and / or electrical conductivity to the molded article. In addition, an increase in volume resistivity due to a cleaning process using ozone water or the like can be suppressed.
- the monomer (a) is not particularly limited.
- tetrafluoroethylene, ethylene, vinylidene fluoride, par Fluoro (alkyl vinyl) ether the following formula (I):
- CX 3 X 4 CX 1 (CF 2 ) n X 2 (I) [Wherein, X 1 , X 3 and X 4 each independently represent a hydrogen atom or a fluorine atom, X 2 represents a hydrogen atom, a fluorine atom or a chlorine atom, and n represents an integer of 1 to 10]
- CF 2 CF—OCH 2 —Rf (II) [Wherein Rf represents a perfluoroalkyl group having 1 to 5 carbon atoms]
- perfluoro (alkyl vinyl) ether examples include perfluoro (methyl vinyl ether), perfluoro (ethyl vinyl ether), perfluoro (propyl vinyl ether), and perfluoro (butyl vinyl ether).
- Examples of the vinyl monomer represented by the above formula (I) include hexafluoropropylene, perfluoro (1,1,2-trihydro-1-hexene), perfluoro (1,1,5-trihydro-). 1-pentene), the following formula (III): H 2 C ⁇ CX 5 Rf 5 (III) [Wherein X 5 is H, F or CF 3 and Rf 5 is a perfluoroalkyl group having 1 to 10 carbon atoms]
- Perfluoro (alkyl) ethylene represented by the formula: Perfluoro (alkyl) ethylene is preferably perfluoro (butyl) ethylene.
- the monomer (a) is at least one selected from the group consisting of tetrafluoroethylene, ethylene, vinylidene fluoride, perfluoro (alkyl vinyl) ether, and the vinyl monomer represented by the above formula (I). Preferably it is a seed.
- PCTFE preferably has a melting point of 130 to 290 ° C, more preferably 160 to 270 ° C, and still more preferably 180 to 250 ° C. If the melting point is not less than the above lower limit, it is preferable because moldability is easily improved, and if it is not more than the above upper limit, it is preferable because optimum mechanical characteristics of the resin can be easily obtained.
- the melting point of PCTFE is measured using a differential scanning calorimeter (DSC) according to ASTM-D4591.
- IPA immersion treatment IPA was poured into a glass beaker, and a dumbbell test piece according to JIS K7137-2-A obtained from the composite resin materials of Examples and Comparative Examples described later was placed therein and immersed for 7 days. About the test piece immersed for 7 days, the volume resistivity and the weight change rate were measured according to JISK6911.
- Ammonia immersion treatment Ammonia (28%) was poured into a glass beaker, and a dumbbell test piece according to JIS K7137-2-A obtained from composite resin materials of Examples and Comparative Examples described later was placed therein and immersed for 7 days. About the test piece immersed for 7 days, the volume resistivity and the weight change rate were measured according to JISK6911.
- Example 2 A resin material of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of CNT was 0.05% by mass based on the composite resin material from which the amount of CNT was obtained.
- Example 4 A resin material of Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of CNT was 0.125% by mass based on the composite resin material from which the amount of CNT was obtained.
- Comparative Example 8 15% by mass of carbon fiber as a filler was added to PTFE to obtain a resin material of Comparative Example 8.
- Table 2 shows the volume resistivity measured for the molded bodies produced according to the above method using the resin materials obtained in the above Examples and Comparative Examples.
- the molded body produced according to the above method using the resin materials obtained in Example 3 and Comparative Examples 5 to 8 was subjected to IPA immersion treatment, thinner immersion treatment, hydrogen peroxide solution immersion treatment, SPM immersion treatment.
- Table 4 shows the results of measurement of volume resistivity after HCl immersion treatment, SC-1 immersion treatment, SC-2 immersion treatment, and ammonia water immersion treatment.
- FIG. 2 shows a CNT image in a molded body produced by melt kneading using the resin material obtained in Example 3. More specifically, the compact was produced by melt kneading.
- the average length of the CNT shown in FIG. 2 was 30 ⁇ m. The average length can be calculated by measurement on a scale using a scanning electron microscope (SEM, FE-SEM) or a transmission electron microscope (TEM).
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Abstract
Description
すなわち、本発明は以下の好適な態様を包含する。
〔1〕ポリクロロトリフルオロエチレンおよびカーボンナノチューブを含み、500μm以下の平均粒子径を有する、複合樹脂材料。
〔2〕複合樹脂材料の総量に基づいて0.01~2.0質量%のカーボンナノチューブを含む、前記〔1〕に記載の複合樹脂材料。
〔3〕BET法により測定して1.0~6.0m2/gの比表面積を有する、前記〔1〕または〔2〕に記載の複合樹脂材料。
〔4〕JIS K6911に従い測定して1.0×108Ω・cm以下の体積抵抗率を有する、前記〔1〕~〔3〕のいずれかに記載の複合樹脂材料。
〔5〕ポリクロロトリフルオロエチレンは0.8cm3/sec以上のフロー値を有する、前記〔1〕~〔4〕のいずれかに記載の複合樹脂材料。
〔6〕前記〔1〕~〔5〕のいずれかに記載の複合樹脂材料を用いて作製された成形体。
〔7〕カーボンナノチューブの平均長さは50μm以上である、〔6〕に記載の成形体。
〔8〕成形体は、板、棒、フィルム、シート、塊、管形状からなる群から選択される形状を有する、前記〔6〕または〔7〕に記載の成形体。
CX3X4=CX1(CF2)nX2 (I)
〔式中、X1、X3及びX4は、それぞれ独立して、水素原子またはフッ素原子を表し、X2は、水素原子、フッ素原子または塩素原子を表し、nは1~10の整数を表す〕
で表されるビニル単量体、および、次の式(II):
CF2=CF-OCH2-Rf (II)
〔式中、Rfは炭素数1~5のパーフルオロアルキル基を表す〕
で表されるアルキルパーフルオロビニルエーテル誘導体、不飽和カルボン酸等が挙げられる。PCTFEは、CTFEと1種類の上記単量体(a)との共重合体であってもよいし、CTFEと2種以上の上記単量体(a)との共重合体であってもよい。
H2C=CX5Rf5 (III)
〔式中、X5は、H、FまたはCF3であり、Rf5は炭素数1~10のパーフルオロアルキル基である〕
で表されるパーフルオロ(アルキル)エチレン等が挙げられる。パーフルオロ(アルキル)エチレンとしては、パーフルオロ(ブチル)エチレンが好ましい。
本発明の複合樹脂材料および本発明の複合樹脂材料の製造に使用するPCTFE粒子の平均粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布装置(日機装製「MT3300II」)により粒度分布を測定し、平均粒子径D50を得た。
本発明の複合樹脂材料および本発明の複合樹脂材料の製造に使用するPCTFE粒子の比表面積の測定は、JIS Z8830に従い、比表面積/細孔分布測定装置(日本ベル製BELSORP-miniII)を用いて行った。
圧縮成形(コンプレッション成形)によりφ110×10mmの試験片を作製し、測定試料とした。
体積抵抗率の測定は、JIS K6911に従い、抵抗率計(三菱化学アナリテック製「ロレスター」または「ハイレスター」)を用いて行った。
(引張弾性率、引張強度、引張伸び(破断点))
圧縮成形(コンプレッション成形)によりJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を作製し、測定試料とした。
引張弾性率、引張強度および引張伸び(破断点)の測定は、上記測定試料を用いて、JIS K7137-2-Aに従い、5kN荷重、1mm/minの速度にて、引張試験機(株式会社エー・アンド・デイ製「テンシロン万能材料試験機」)を用いて行った。
圧縮成形(コンプレッション成形)によりφ8×20mmの試験片を作製し、測定試料とした。
圧縮弾性率および圧縮強度(1%変形)の測定は、上記測定試料を用いて、JIS K7181に従い、5kN荷重、1mm/minの速度にて、圧縮試験機(株式会社エー・アンド・デイ製「テンシロン万能材料試験機」)を用いて行った。
圧縮成形(コンプレッション成形)により厚さ4mm×幅10mm×長さ80mmの試験片を作製し、測定試料とした。
曲げ弾性率および曲げ強度の測定は、上記測定試料を用いて、JIS K7171に従い、5kN荷重、10mm/minの速度にて、曲げ試験機(株式会社エー・アンド・デイ製「テンシロン万能材料試験機」)を用いて行った。
後述する実施例および比較例で得た複合樹脂材料を素材成形用金型に一定量、均一に充填して、成形体寸法に応じて予備乾燥などの適切な前処理を行った。前処理実施後、金型を200℃以上に設定した熱風循環式電気炉で2時間以上加熱させて樹脂を溶融させる。所定時間加熱後、電気炉から金型を取り出し、油圧プレスを用いて25kg/cm2以上の面圧で加圧圧縮しながら常温付近まで金型を冷却したのち、複合樹脂材料を用いた成形体を取得した。
ガラスビーカー中で98%硫酸と30%過酸化水素水を2:1の重量比で混合して硫酸過水を調製した。調製した硫酸過水の温度が反応熱によって最高温度に達した所に、後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、24時間浸漬させた。24時間浸漬後、硫酸過水の調製、24時間浸漬を繰り返して行い、累積で7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中にIPAを注ぎ入れ、そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中にシンナーを注ぎ入れ、そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中に過酸化水素水(30%)を注ぎ入れ、そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中に塩酸(38%)を注ぎ入れ、そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中にアンモニア(28%)を注ぎ入れ、そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中でアンモニア(28%)と過酸化水素水と純水を1:1:5の重量比で混合してSC-1を調整した。そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
ガラスビーカー中で塩酸(38%)と過酸化水素水と純水を1:1:6の重量比で混合してSC-1を調整した。そこに後述する実施例および比較例の複合樹脂材料から得たJIS K7137-2-Aに従うダンベル試験片を入れ、7日間浸漬させた。7日間浸漬した試験片について、JIS K6911に従い体積抵抗率および重量変化率の測定を行った。
以下の実施例および比較例において、次の表1に示すPCTFE粒子または変性ポリテトラフルオロエチレン(変性PTFE)粒子を使用した。なお、PCTFE粒子2および3は、PCTFE粒子1を、液体窒素を用いて-196℃で粉砕し、振動篩機等で分級することにより製造した。
水を溶媒としたカーボンナノチューブ分散液(分散剤=0.15質量%、カーボンナノチューブ=0.05質量%)500gにエタノールを3,500g加えて希釈した。さらに、PCTFE粒子2を1,000g添加して混合スラリーを作製した。
次いで、作製した混合スラリーを耐圧容器に供給し、耐圧容器内の混合スラリーに含まれる分散剤1mgに対して0.03g/分の供給速度で液化二酸化炭素を供給し、耐圧容器内の圧力を20MPa、温度を50℃となるまで昇圧・昇温させた。上記圧力および温度を3時間保持しながら二酸化炭素を、二酸化炭素中に溶け込んだ溶媒(水、エタノール)および分散剤と共に耐圧容器から排出させた。
次いで、耐圧容器内の圧力、温度を大気圧、常温まで下げることにより耐圧容器内の二酸化炭素を除去し、CNT複合樹脂材料を得た。
CNTの量を得られる複合樹脂材料に基づいて0.05質量%としたこと以外は実施例1と同様にして実施例2の樹脂材料を得た。
CNTの量を得られる複合樹脂材料に基づいて0.1質量%としたこと以外は実施例1と同様にして実施例3の樹脂材料を得た。
CNTの量を得られる複合樹脂材料に基づいて0.125質量%としたこと以外は実施例1と同様にして実施例4の樹脂材料を得た。
CNTの量を得られる複合樹脂材料に基づいて0.15質量%としたこと以外は実施例1と同様にして実施例5の樹脂材料を得た。
PCTFE2に代えてPCTFE3を用いたこと以外は実施例3と同様にして実施例6の樹脂材料を得た。
CNTを複合化させていないPCTFE1を比較例1とした。
PCTFE2に代えてPCTFE1を用いたこと以外は実施例3と同様にして比較例2の樹脂材料を得た。
CNTを複合化させていないPCTFE2を比較例3とした。
PCTFE2に代えて変性PTFE粒子を用いたこと以外は実施例1と同様にして比較例4の樹脂材料を得た。
CNTの量を得られる複合樹脂材料に基づいて0.05質量%としたこと以外は比較例4と同様にして比較例5の樹脂材料を得た。
PFAとカーボンファイバーを層状に交互に重ね合わせ固めた成形体を比較例6の樹脂材料とした。
PTFEに充填剤としてグラファイトを15質量%添加し比較例8の樹脂原料を得た。
PTFEに充填剤としてカーボンファイバーを15質量%添加し比較例8の樹脂原料を得た。
Claims (8)
- ポリクロロトリフルオロエチレンおよびカーボンナノチューブを含み、500μm以下の平均粒子径を有する、複合樹脂材料。
- 複合樹脂材料の総量に基づいて0.01~2.0質量%のカーボンナノチューブを含む、請求項1に記載の複合樹脂材料。
- BET法により測定して1.0~6.0m2/gの比表面積を有する、請求項1または2に記載の複合樹脂材料。
- JIS K6911に従い測定して1.0×108Ω・cm以下の体積抵抗率を有する、請求項1~3のいずれかに記載の複合樹脂材料。
- ポリクロロトリフルオロエチレンは0.8cm3/sec以上のフロー値を有する、請求項1~4のいずれかに記載の複合樹脂材料。
- 請求項1~5のいずれかに記載の複合樹脂材料を用いて作製された成形体。
- カーボンナノチューブの平均長さは50μm以上である、請求項6に記載の成形体。
- 成形体は、板、棒、フィルム、シート、塊、管形状からなる群から選択される形状を有する、請求項6または7に記載の成形体。
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