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WO2017149981A1 - 粘着剤組成物及び粘着シート - Google Patents

粘着剤組成物及び粘着シート Download PDF

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Publication number
WO2017149981A1
WO2017149981A1 PCT/JP2017/001818 JP2017001818W WO2017149981A1 WO 2017149981 A1 WO2017149981 A1 WO 2017149981A1 JP 2017001818 W JP2017001818 W JP 2017001818W WO 2017149981 A1 WO2017149981 A1 WO 2017149981A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pressure
sensitive adhesive
mass
polymer
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2017/001818
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
清水 学
まどか 中川
里奈 川合
恭平 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Emulsion Technology Co Ltd
Original Assignee
Emulsion Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Emulsion Technology Co Ltd filed Critical Emulsion Technology Co Ltd
Priority to CN201780010053.3A priority Critical patent/CN108603086A/zh
Priority to KR1020187024840A priority patent/KR20180111878A/ko
Priority to JP2018502572A priority patent/JPWO2017149981A1/ja
Publication of WO2017149981A1 publication Critical patent/WO2017149981A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J133/00Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C09J133/06Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
    • C09J133/08Homopolymers or copolymers of acrylic acid esters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J11/00Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
    • C09J11/02Non-macromolecular additives
    • C09J11/06Non-macromolecular additives organic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers

Definitions

  • the present invention relates to an adhesive composition and an adhesive sheet.
  • Adhesives are widely used when bonding parts together.
  • One of the uses of the pressure-sensitive adhesive is to temporarily fix the members to each other. For example, in the semiconductor wafer dicing process, the semiconductor wafer is cut in a state where the semiconductor wafer is temporarily fixed to the frame with an adhesive. Then, after the semiconductor wafer has been cut, the semiconductor wafer is removed from the frame.
  • the pressure-sensitive adhesive used for such temporary fixing is required to have a sufficient adhesive force and can be peeled easily and without adhesive residue when temporary fixing is no longer necessary. Such an adhesive is required to be peeled off easily and without adhesive residue even when the components are bonded together and then subjected to the heating process together with the bonded components.
  • the adhesive strength before ultraviolet irradiation is insufficient, and the decrease in the adhesive strength due to ultraviolet irradiation is also insufficient, and also sufficient for reducing the adhesive residue.
  • the above conventional pressure-sensitive adhesive composition increases the adhesive strength when heated in a state of being bonded to an adherend, but this results in an insufficient decrease in the adhesive strength due to ultraviolet irradiation, resulting in adhesive residue.
  • the pressure-sensitive adhesive composition is required to be excellent in embedding property of the pressure-sensitive adhesive layer to be formed and to be used satisfactorily for an adherend having a step or the like.
  • the present invention has been made on the basis of the circumstances as described above, and its purpose is to provide a sufficiently high adhesive strength before ultraviolet irradiation regardless of the presence or absence of heating, and a sufficient decrease in adhesive strength due to ultraviolet irradiation. It is an object of the present invention to provide a pressure-sensitive adhesive composition that is large, has a small amount of adhesive residue, and has excellent embedding properties, and a pressure-sensitive adhesive sheet using this pressure-sensitive adhesive composition.
  • the invention made in order to solve the above-mentioned problems includes a structural unit derived from methyl acrylate (hereinafter also referred to as “structural unit (I)”) and a polymerizable carbon-carbon double bond-containing group (hereinafter referred to as “double structure”).
  • the content ratio of the structural unit (I) with respect to all structural units constituting the polymer [A] is 1% by mass or more and 60% by mass or less.
  • Another invention made in order to solve the above-mentioned problems comprises a sheet-like base material and a pressure-sensitive adhesive layer laminated on one surface of the base material, and the pressure-sensitive adhesive layer comprises the pressure-sensitive adhesive composition. It is the adhesive sheet formed from.
  • the pressure-sensitive adhesive composition and pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention regardless of the presence or absence of heating, the pressure-sensitive adhesive force before UV irradiation is sufficiently high, the amount of decrease in the pressure-sensitive adhesive strength by UV irradiation is sufficiently large, and the adhesive residue is sufficient Moreover, the pressure-sensitive adhesive layer to be formed is excellent in embeddability and can be suitably used for an adherend having a step or the like. Moreover, even when heated in a bonded state, it can be peeled off without any adhesive residue by ultraviolet irradiation. Therefore, the said adhesive composition and adhesive sheet can be used suitably in various manufacturing processes, such as the dicing process of the semiconductor wafer which has a heating process.
  • the pressure-sensitive adhesive composition contains [A] a polymer, [B] a photopolymerization initiator, and [C] a thermosetting agent. Moreover, the said adhesive composition does not contain a polyfunctional monomer or a polyfunctional oligomer substantially.
  • the pressure-sensitive adhesive composition may contain an optional component other than the components [A] to [C].
  • the pressure-sensitive adhesive composition has a sufficiently high adhesive strength before ultraviolet irradiation regardless of the presence or absence of heating, a sufficiently large decrease in adhesive strength due to ultraviolet irradiation, a small amount of adhesive residue, and excellent embedding properties. .
  • the reason why the pressure-sensitive adhesive composition exhibits the above-described effect by having the above-described configuration is not necessarily clear, but can be inferred as follows, for example. That is, the pressure-sensitive adhesive composition contains [A] to [C] components, and the [A] polymer together with the double bond-containing group (A) is a structural unit derived from methyl acrylate having a content ratio in the specific range. (I).
  • the structural unit (I) derived from methyl acrylate is three-dimensionally small, an adhesive structure formed from [A] polymer and [C] thermosetting agent and the interaction with the adherend Can be made larger, and as a result, the adhesive strength before curing can be made sufficiently high.
  • the structural unit (I) derived from methyl acrylate is sterically small, the bond between the double bond-containing groups (A) of the [A] polymer by the [B] photopolymerization initiator It is considered that the formation occurs more effectively, and as a result, the decrease in the adhesive strength after curing by ultraviolet irradiation is sufficiently large, and the adhesive residue is sufficiently reduced.
  • the pressure-sensitive adhesive composition is substantially free of a polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer.
  • the pressure-sensitive adhesive composition does not substantially contain a polyfunctional monomer or a polyfunctional oligomer, so that when the pressure-sensitive adhesive layer is cured, low molecular weight components such as oligomers that are considered to be caused by the polyfunctional monomer are generated. It is thought that it can suppress, As a result, adhesive residue can further be reduced further enough.
  • the [A] polymer has the structural unit (I) derived from sterically small methyl acrylate as described above in a content ratio within the specific range, it can relatively freely move in the molecule. As a result, the pressure-sensitive adhesive layer formed from the pressure-sensitive adhesive composition is also excellent in embeddability.
  • each component will be described.
  • the polymer is a polymer having the structural unit (I) and the double bond-containing group (A).
  • the polymer is a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester containing an alkyl group having 4 to 10 carbon atoms in addition to the structural unit (I) (hereinafter also referred to as “structural unit (II)”).
  • structural unit (II) Preferably having a structural unit containing a hydroxy group (hereinafter also referred to as “structural unit (III)”) and / or a structural unit containing an epoxy group (hereinafter also referred to as “structural unit (IV)”).
  • structural unit (III) a structural unit containing a hydroxy group
  • structural unit (IV) a structural unit containing an epoxy group
  • Other structural units other than the units (I) to (IV) may be further included.
  • the double bond-containing group (A) may be contained in the structural units (II) to (IV) and other structural units.
  • the double bond-containing group (A) is a group containing a polymerizable carbon-carbon double bond.
  • a polymerizable carbon-carbon double bond means an ethylenic carbon-carbon double bond.
  • the double bond-containing group (A) is not particularly limited as long as it contains a polymerizable carbon-carbon double bond, and examples thereof include a (meth) acryloyl group, a vinyl group, an allyl group, and a styryl group. Among these, a (meth) acryloyl group is preferable from the viewpoints of excellent polymerizability and a sufficiently large decrease in the adhesive strength after ultraviolet irradiation.
  • the polymer may have a double bond-containing group (A) in any of the main chain, the side chain, and the terminal, but the polymerizability of the polymerizable carbon-carbon double bond is improved, and an ultraviolet ray From the viewpoint of sufficiently increasing the decrease in the adhesive strength after irradiation, it is preferable to have the side chain.
  • a precursor polymer having at least one of a hydroxy group and an epoxy group is prepared, and (1) a precursor polymer A method of reacting an isocyanate group of a compound having an isocyanate group and a double bond-containing group (A) with the hydroxy group of (2), (2) a carboxy group and a double bond-containing group (A) to the epoxy group of the precursor polymer (3) a method of reacting a carboxy group of a compound having carboxy group of a compound having a carboxy group and a double bond-containing group (A) with a hydroxy group of a precursor polymer, The method etc. which use two or more of (3) together are mentioned.
  • the double bond-containing group (A) is introduced into the side chain of the precursor polymer and a urethane group is formed.
  • Examples of the compound having an isocyanate group and a double bond-containing group (A) include (meth) acryloylalkyl isocyanates such as 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate and 2- (meth) acryloyloxypropyl isocyanate; 2- (2 Examples include 2- (2- (meth) acryloyloxyalkyloxy) alkyl isocyanate such as-(meth) acryloyloxyethyloxy) ethyl isocyanate and 2- (2- (meth) acryloyloxypropyloxy) propyl isocyanate.
  • Examples of commercially available 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate include “Karenz AOI” and “Karenz MOI” manufactured by Showa Denko KK.
  • Examples of commercially available 2- (2-methacryloyloxyethyloxy) ethyl isocyanate include “Karenz MOIEG” from Showa Denko.
  • Examples of the compound having a carboxy group and a double bond-containing group (A) include (meth) acrylic acid; carboxyalkyl (meth) acrylates such as carboxymethyl (meth) acrylate and carboxyethyl (meth) acrylate.
  • a precursor polymer having at least one of a hydroxy group and an epoxy group is prepared, and (4 ) One of the isocyanate groups of the polyisocyanate compound is reacted with the hydroxy group of the precursor polymer, and the other isocyanate group of the polyisocyanate compound has a hydroxyl group and a double bond-containing group (A).
  • polyisocyanate compound examples include methylene diphenyl diisocyanate (MDI), tolylene diisocyanate (TDI), isophorone diisocyanate (IPDI), and the like.
  • MDI methylene diphenyl diisocyanate
  • TDI tolylene diisocyanate
  • IPDI isophorone diisocyanate
  • polycarboxylic acid compound examples include aliphatic dicarboxylic acids such as oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, and adipic acid, and aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid and terephthalic acid.
  • the lower limit of the content of the double bond-containing group (A) in the polymer is preferably 0.6% by mass, more preferably 0.8% by mass, still more preferably 0.9% by mass. 0% by mass is particularly preferred.
  • As an upper limit of the said content rate 10 mass% is preferable, 5 mass% is more preferable, 4 mass% is further more preferable, and 3 mass% is especially preferable.
  • the content rate of a double bond containing group (A) into the said range the fall width of the adhesive force by ultraviolet irradiation can be enlarged more fully, and adhesive residue can be reduced more fully.
  • the content (% by mass) of the double bond-containing group (A) in the polymer is obtained by dividing the total mass of each atom constituting the double bond-containing group (A) by the total mass of the polymer. Can be sought.
  • the structural unit (I) is a structural unit derived from methyl acrylate.
  • the structural unit (I) has a structure represented by —CH 2 —CH (COOCH 3 ) —.
  • the content rate of structural unit (I) it is 1 mass% with respect to all the structural units which comprise a [A] polymer, 5 mass% is preferable, 10 mass% is more preferable, and 20 mass% is More preferred is 30% by mass. As an upper limit of the said content rate, it is 60 mass%, 55 mass% is preferable, 50 mass% is more preferable, 45 mass% is further more preferable, 40 mass% is especially preferable.
  • the content ratio of the structural unit (I) is less than the above lower limit, it is considered that the strength of the pressure-sensitive adhesive layer is reduced, and as a result, the adhesive strength before ultraviolet irradiation is reduced, the adhesive residue is generated, and the embedding property is reduced.
  • Tend When the content ratio of the structural unit (I) exceeds the above upper limit, it is considered that the effect that the [A] polymer aggregates by crosslinking when the pressure-sensitive adhesive layer is irradiated with ultraviolet rays is reduced. There is a tendency to decrease. In addition, since the flexibility of the pressure-sensitive adhesive layer is lowered, the embedding property before ultraviolet irradiation tends to be lowered.
  • the structural unit (II) is a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester containing an alkyl group having 4 to 10 carbon atoms.
  • the said adhesive composition can raise the intensity
  • alkyl group having 4 to 10 carbon atoms examples include an n-butyl group, an n-pentyl group, an n-hexyl group, an n-octyl group, a 2-ethylhexyl group, and an n-decyl group. Of these, n-butyl group and 2-ethylhexyl group are preferable.
  • Monomers that give structural unit (II) include n-butyl (meth) acrylate, n-pentyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate.
  • alkyl (meth) acrylates such as n-decyl (meth) acrylate.
  • alkyl acrylate is preferable, and n-butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate are more preferable.
  • the lower limit of the content ratio of the structural unit (II) is preferably 5% by mass, more preferably 10% by mass, further preferably 30% by mass, and 40% by mass. Is particularly preferred.
  • As an upper limit of the said content rate 95 mass% is preferable, 80 mass% is more preferable, 70 mass% is further more preferable, 60 mass% is especially preferable.
  • the structural unit (III) is a structural unit containing a hydroxy group. [A] When the polymer has the structural unit (III), the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer before ultraviolet irradiation is further improved and the water resistance is improved.
  • hydroxy group examples include alcoholic hydroxy groups and phenolic hydroxy groups.
  • an alcoholic hydroxy group is preferable from the viewpoint of further improving the adhesive strength before ultraviolet irradiation.
  • Examples of monomers that give structural unit (III) include hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate; hydroxyphenyl (meth) acrylate and hydroxynaphthyl And hydroxyaryl (meth) acrylates such as (meth) acrylates.
  • hydroxyalkyl (meth) acrylate is preferable, hydroxyalkyl acrylate is more preferable, and hydroxyethyl acrylate is more preferable.
  • the lower limit of the content of the structural unit (III) is preferably 1% by mass, more preferably 3% by mass, further preferably 4% by mass, and 5% by mass. Is particularly preferred.
  • As an upper limit of the said content rate 30 mass% is preferable, 25 mass% is more preferable, 15 mass% is further more preferable, and 10 mass% is especially preferable.
  • the structural unit (IV) is a structural unit containing an epoxy group. [A] When the polymer has the structural unit (IV), the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer before ultraviolet irradiation is further improved, and the adhesion to the substrate and the like is improved.
  • Examples of the monomer that gives the structural unit (IV) include (meth) acrylates containing oxiranyl groups such as glycidyl (meth) acrylate, oxiranylethyl (meth) acrylate, and oxiranylpropyl (meth) acrylate; oxetanylmethyl (meth) ) Acrylate, oxetanylethyl (meth) acrylate, oxetanylpropyl (meth) acrylate and other (meth) acrylates containing an oxetanyl group.
  • a (meth) acrylate containing an oxiranyl group is preferred, a methacrylate containing an oxiranyl group is more preferred, and glycidyl methacrylate is more preferred.
  • the lower limit of the content ratio of the structural unit (IV) is preferably 0.1% by mass, more preferably 1% by mass, further preferably 2% by mass. Mass% is particularly preferred. As an upper limit of the said content rate, 30 mass% is preferable, 20 mass% is more preferable, 10 mass% is further more preferable, and 5 mass% is especially preferable.
  • the polymer may have other structural units other than the structural units (I) to (IV).
  • other structural units include structural units derived from styrene compounds.
  • the styrene compound include styrene, ⁇ -methylstyrene, o-, m- or p-methylstyrene, o-, m- or p-hydroxystyrene.
  • As an upper limit of the content rate of another structural unit 30 mass% is preferable with respect to all the structural units which comprise a [A] polymer, 20 mass% is more preferable, and 10 mass% is further more preferable.
  • the lower limit of the reaction temperature in the polymerization is preferably 40 ° C, more preferably 60 ° C.
  • 150 degreeC is preferable and 100 degreeC is more preferable.
  • polymerization 1 hour is preferable and 4 hours is more preferable.
  • the upper limit of the reaction time is preferably 48 hours, more preferably 24 hours.
  • the lower limit of the reaction temperature for the introduction reaction of the double bond-containing group (A) is preferably 20 ° C, more preferably 30 ° C.
  • 100 degreeC is preferable and 60 degreeC is more preferable.
  • the upper limit of the reaction time is preferably 20 hours, and more preferably 8 hours.
  • the lower limit of the weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC) of the polymer is preferably 50,000, more preferably 100,000, even more preferably 150,000, and particularly preferably 200,000.
  • Mw weight average molecular weight
  • 500,000 is preferable
  • 400,000 is more preferable
  • 300,000 is more preferable
  • 250,000 is particularly preferable.
  • the said adhesive composition can make adhesive force before ultraviolet irradiation more fully high by making Mw of [A] polymer into the said range.
  • the lower limit of the ratio (Mw / Mn) of Mw to the number average molecular weight (Mn) in terms of polystyrene by GPC of the polymer is usually 1 and preferably 1.1.
  • As an upper limit of the ratio 5 is preferable, 3 is more preferable, 2 is more preferable, and 1.7 is particularly preferable.
  • each condition of GPC used for measuring Mw and Mn of [A] polymer is as follows.
  • GPC column For example, “TSKgel Multipore H XL- M” from Tosoh Corporation Column temperature: 40 ° C Elution solvent: Tetrahydrofuran (Wako Pure Chemical Industries) Flow rate: 1.0 mL / min Sample concentration: 0.05% by mass Sample injection volume: 100 ⁇ L Detector: Differential refractometer Standard material: Monodisperse polystyrene
  • the lower limit of the glass transition temperature (Tg) of the polymer is preferably ⁇ 100 ° C., more preferably ⁇ 80 ° C., further preferably ⁇ 60 ° C., and particularly preferably ⁇ 40 ° C.
  • the upper limit of Tg is preferably 20 ° C., more preferably 0 ° C., further preferably ⁇ 10 ° C., and particularly preferably ⁇ 20 ° C.
  • the said adhesive composition can improve the adhesive force before ultraviolet irradiation more by making Tg of [A] polymer into the said range.
  • the Tg of the [A] polymer in this specification is determined by increasing the dry film of the [A] polymer in a nitrogen atmosphere using a differential scanning calorimeter (for example, “MDSCQ200 type” manufactured by TA Instruments). It is a value measured under conditions of a temperature rate of 20 ° C./min and a sample amount of 20 mg.
  • the photopolymerization initiator is a component capable of initiating a polymerization reaction by irradiation with ultraviolet rays.
  • the pressure-sensitive adhesive layer formed from the pressure-sensitive adhesive composition contains [B] a photopolymerization initiator, so that the double bond-containing groups (A) possessed by the polymer [A] when irradiated with ultraviolet irradiation. It is cured by the polymerization reaction. As a result, the interaction between the pressure-sensitive adhesive layer and the adherend is reduced, and the adhesive strength is reduced.
  • photopolymerization initiator for example, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl Acetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl ] -2-Morpholino-propan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2- (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4′-die Aminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquino
  • photopolymerization initiators include, for example, “Irgacure 184”, “651”, “2959”, “127”, “819”, “784” and “754” of BASF. , “Same 500”, “Same 250”, “Same 270”, “Same 907”, “Same 369”, “Same 379EG”, “Same OXE 01”, “Same OXE 02”, “Lucirin TPO”, “Darocure” 1173 ",” same MBF ", and the like.
  • the lower limit of the content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 parts by weight, more preferably 0.5 parts by weight, and even more preferably 1 part by weight with respect to 100 parts by weight of the polymer [A]. 2 parts by mass is particularly preferred. As an upper limit of the said content, 20 mass parts is preferable, 10 mass parts is more preferable, 8 mass parts is further more preferable, 6 mass parts is especially preferable. [B] By setting the content of the photopolymerization initiator in the above range, the polymerization reaction between the double bond-containing groups (A) by ultraviolet irradiation proceeds more effectively, and as a result, the adhesive strength after ultraviolet irradiation. Is further sufficiently large, and the adhesive residue is more sufficiently reduced.
  • thermosetting agent is a component capable of forming a crosslinked structure in the [A] polymer by heating.
  • the pressure-sensitive adhesive composition can form a pressure-sensitive adhesive layer having a crosslinked structure by further containing a [C] thermosetting agent in addition to the [A] polymer and the [B] photopolymerization initiator.
  • the pressure-sensitive adhesive composition can suppress the protrusion of the pressure-sensitive adhesive layer when pressure is applied by forming a pressure-sensitive adhesive sheet and rolling it.
  • thermosetting agent examples include polyfunctional isocyanate compounds and polyfunctional epoxy compounds.
  • thermosetting agent examples include melamine compounds, urea compounds, metal salt compounds, metal chelate compounds, metal alkoxide compounds, aziridine compounds, amine compounds, amino resin compounds, peroxides, and the like can also be used.
  • polyfunctional isocyanate compound examples include aliphatic diisocyanates such as 1,2-ethylene diisocyanate, 1,4-butylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate (HDI); cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate.
  • aliphatic diisocyanates such as 1,2-ethylene diisocyanate, 1,4-butylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate (HDI); cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate.
  • IPDI cycloaliphatic diisocyanates such as hydrogenated tolylene diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate; diisocyanate compounds such as aromatic diisocyanates such as tolylene diisocyanate (TDI), xylylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate (MDI), and the above diisocyanates
  • TDI tolylene diisocyanate
  • MDI diphenylmethane diisocyanate
  • a polyisocyanate compound which is a multimer of a dimer or more of the compound and the above polyisocyanate compound were modified. Such compounds, and the like.
  • TDI tolylene diisocyanate
  • MDI diphenylmethane diisocyanate
  • polyfunctional epoxy compound examples include ethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, dibromo Neopentyl glycol diglycidyl ether, o-phthalic acid diglycidyl ester, glycerin polyglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, diglycerol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, N, N, N ′ , N′-tetraglycidyl-m-xylylenediamine, N, N, N ′, N ′′, N '- penta glycidyl di
  • the lower limit of the content of the thermosetting agent is preferably 0.05 parts by mass, more preferably 0.07 parts by mass, and even more preferably 0.1 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymer [A]. 0.12 parts by mass is particularly preferable.
  • the upper limit of the content is preferably 2 parts by mass, more preferably 1 part by mass, further preferably 0.5 parts by mass, and particularly preferably 0.3 parts by mass.
  • the pressure-sensitive adhesive composition contains substantially no polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer. Since the pressure-sensitive adhesive composition does not substantially contain a polyfunctional monomer or a polyfunctional oligomer, the curing of the pressure-sensitive adhesive layer generates a low molecular weight component that is considered to be caused by the polyfunctional monomer or the polyfunctional oligomer. It is thought that it can suppress, As a result, adhesive residue can fully be decreased.
  • the polyfunctional monomer include dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, and the like.
  • polyfunctional oligomer examples include bifunctional urethane acrylate, tetrafunctional urethane acrylate, hexafunctional urethane acrylate, epoxy acrylate, and methacrylates corresponding to these.
  • “Substantially free of polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer” means that the total content of the polyfunctional monomer and polyfunctional oligomer is, for example, 10 parts by mass or less, preferably 5 with respect to 100 parts by mass of the polymer [A]. It means that it is not more than part by mass, more preferably not more than 2 parts by mass, particularly preferably 0 part by mass.
  • the pressure-sensitive adhesive composition includes, as an optional component, for example, an antioxidant, an anti-aging agent, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, an antifoaming agent, a leveling agent, an antistatic agent, a surfactant, a storage stabilizer, and a thermal polymerization prohibition.
  • an antioxidant for example, an antioxidant, an anti-aging agent, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, an antifoaming agent, a leveling agent, an antistatic agent, a surfactant, a storage stabilizer, and a thermal polymerization prohibition.
  • antioxidants examples include butylhydroxytoluene (BHT), butylhydroxyanisole (BHA), pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], thiodiethylenebis [ 3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], octadecyl-3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate, and the like.
  • antioxidants examples include “Irganox 1035”, “1010”, “1076”, “1135”, and “1520L” of BASF.
  • antiaging agent examples include phenolic antiaging agent, allylamine antiaging agent, and ketone amine antiaging agent.
  • commercially available anti-aging agents include, for example, “Antigen W”, “S”, “P”, “3C”, “6C”, “RD-G”, “FR” from Sumitomo Chemical Co., Ltd. , “Same AW” and the like.
  • UV absorbers examples include benzotriazole UV absorbers and triazine UV absorbers.
  • Commercially available UV absorbers include, for example, “TINUVIN P”, “234”, “320”, “326”, “327”, “328”, “213”, “ 400, Sumitomo Chemical's “Sumisorb 110”, “130”, “140”, “220”, “250”, “300”, “320”, “340”, “350” “, 400”, and the like.
  • antifoaming agent examples include a silicone-based antifoaming agent, a fluorine atom-containing antifoaming agent, and an antifoaming agent containing an organic copolymer containing no silicon atom or fluorine atom.
  • examples of commercially available antifoaming agents include silicone-based antifoaming agents such as “Same AC-901”, “Same AC-950”, “Same AC-1140”, “Same AO-3”, “ AO-4OH, Toray Dow Corning Silicone's “FS1265”, “SH200”, “SH5500”, “SC5540”, “SC5570”, “F-1”, “SD5590”, etc.
  • DIC's “Megafac F-142D”, “F-144D”, “F-178K”, “F-179”, “F-815”, etc. are silicon atoms and fluorine atoms.
  • an antifoaming agent containing an organic copolymer that does not contain any of the above Kyoeisha Chemical Co., Ltd. “Floren AC-202”, “AC-300”, “AC-303”, “AC-326F”, “AC -900 " "The AC-1190", and the like, "the AC-2000".
  • leveling agent examples include “Polyflow No. 7”, “No. 38”, “No. 50”, “No. 75”, “No. 77”, and “No. 90” of Kyoeisha Chemical Co., Ltd. ”,“ No. 95 ”,“ No. 300 ”,“ No. 460 ”,“ ATF ”,“ KL-245 ”, and the like.
  • adhesion-imparting agent examples include thiol compounds having an alkoxysilyl group and phosphate ester compounds. These compounds have the effect of improving the adhesion to the metal surface.
  • Examples of the thiol compound having an alkoxysilyl group include mercaptoalkyl-mono, di- or tri-methoxysilane such as ⁇ -mercaptopropyltrimethoxysilane, ⁇ -mercaptopropylmethylmonomethoxysilane, and ⁇ -mercaptopropylmethyldimethoxysilane.
  • mercaptoalkyl-mono, di- or tri-methoxysilane such as ⁇ -mercaptopropyltrimethoxysilane, ⁇ -mercaptopropylmethylmonomethoxysilane, and ⁇ -mercaptopropylmethyldimethoxysilane.
  • Commercially available products include “SH6062” and “AY43-062” from Toray Dow Corning Silicone, “Syra Ace S810” from Chisso, “KBM803”, “KBM403” and “KBE5103” from Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Can be
  • Examples of the phosphoric acid ester compound include mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] diphenyl phosphate, mono [2- (meth) acryloyloxypropyl] phosphate, bis [ 2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, bis [2- (meth) acryloyloxypropyl] phosphate, tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, and the like.
  • Examples of commercially available products include “Light Ester P-1M”, “P-2M”, “Light Acrylate P-1A” and “P-2A” manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., “KAYAMER PM-2” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. And “PM-21”.
  • tackifier examples include alicyclic saturated hydrocarbon resin, rosin ester series, terpene phenol series, C5 or C9 petroleum resin, and the like.
  • commercially available products include “Arcon P-70”, “P-90”, “P-100”, “M-90”, “M-100”, “M-M” of Arakawa Chemical Industries, Ltd. 135 ”,“ Alastor 700 ”,“ Same KE-359 ”,“ Tamanol 521 ”,“ Superester A-75 ”,“ Same A-115 ”and the like.
  • the solvent examples include aromatic solvents such as toluene and xylene; Ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, 2-methyl-5-hexanone; Ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate; Halogen solvents such as methyl chloride, dichloromethane, dichloroethane; Glycol ether solvents such as ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether, propylene glycol; Examples include glycol ether carboxylate solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate.
  • aromatic solvents such as toluene and xylene
  • Ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, 2-methyl-5-hexanone
  • Ester solvents such as e
  • the amount of the optional component used can be appropriately selected within a range that does not impair the effect of the pressure-sensitive adhesive composition of the present invention.
  • the lower limit of the viscosity at 25 ° C. of the pressure-sensitive adhesive composition is preferably 100 mPa ⁇ s, more preferably 200 mPa ⁇ s, further preferably 300 mPa ⁇ s, and particularly preferably 400 mPa ⁇ s.
  • the upper limit of the viscosity is preferably 5,000 mPa ⁇ s, more preferably 3,000 mPa ⁇ s, further preferably 1,500 mPa ⁇ s, and particularly preferably 1,000 mPa ⁇ s.
  • the pressure-sensitive adhesive composition can be prepared, for example, by mixing [A] polymer, [B] photopolymerization initiator, [C] thermosetting agent and optional components contained as necessary at a predetermined ratio. it can.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention includes a sheet-like base material and a pressure-sensitive adhesive layer laminated on one surface of the base material, and the pressure-sensitive adhesive layer is formed from the pressure-sensitive adhesive composition. Since the pressure-sensitive adhesive sheet is provided with a pressure-sensitive adhesive layer formed from the pressure-sensitive adhesive composition described above, the pressure-sensitive adhesive force before ultraviolet irradiation is sufficiently high, the decrease in the pressure-sensitive adhesive force due to ultraviolet irradiation is sufficiently large, and the adhesive residue is removed. It can be sufficiently reduced and has excellent embeddability. Therefore, the said adhesive sheet can be adhere
  • the pressure-sensitive adhesive sheet is, for example, a dicing tape for fixing a semiconductor wafer to a frame or the like when performing a dicing process of a semiconductor wafer, or a temporary fixing tape for temporarily fixing circuit elements or the like in a manufacturing process of an electronic component or the like.
  • it can be suitably used as a transport tape used when transporting circuit elements or the like in a semiconductor wafer manufacturing process.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can also be used as a film with a metal foil used in the production of a multilayer wiring board or a transfer sheet for circuit formation.
  • the material of the sheet-like base material is not particularly limited, and examples thereof include synthetic resin, glass, metal, and ceramics.
  • As a minimum of the average thickness of a sheet-like base material 10 micrometers is preferred, 20 micrometers is more preferred, and 25 micrometers is still more preferred.
  • the upper limit of the average thickness is preferably 300 ⁇ m, more preferably 250 ⁇ m, and even more preferably 200 ⁇ m.
  • the pressure-sensitive adhesive layer is formed from the above-mentioned pressure-sensitive adhesive composition, the pressure-sensitive adhesive layer is effectively cured by irradiation with ultraviolet rays, and its adhesive strength is greatly reduced.
  • As a minimum of average thickness of an adhesive layer 5 micrometers is preferred, 10 micrometers is more preferred, 20 micrometers is still more preferred, and 30 micrometers is especially preferred.
  • the upper limit of the average thickness is preferably 1,000 ⁇ m, more preferably 500 ⁇ m, still more preferably 100 ⁇ m, and particularly preferably 50 ⁇ m.
  • the said adhesive sheet can be manufactured as follows, for example. First, the pressure-sensitive adhesive composition is applied onto at least one surface of a sheet-like base material by a coating apparatus such as an applicator. Next, the said adhesive sheet can be obtained by drying the said coating film.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet When the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled from the adherend, the pressure-sensitive adhesive sheet can be peeled easily and without adhesive residue by irradiating the pressure-sensitive adhesive sheet with ultraviolet rays to cure the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the cumulative amount of ultraviolet light for curing the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive sheet can be appropriately selected depending on the average thickness of the pressure-sensitive adhesive layer on the surface of the substrate, and the lower limit of this cumulative light amount is 10 mJ / cm 2. Is preferable, and 20 mJ / cm 2 is preferable.
  • the upper limit of the integrated light quantity is preferably 4,000 mJ / cm 2, more preferably 2,000 mJ / cm 2, more preferably 1,000 mJ / cm 2.
  • the light source include a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, an arc lamp, and a gallium lamp.
  • Mw of the polymer is 2 GPC columns (“TSKgel Multipore H XL- M”) manufactured by Tosoh Corporation, flow rate: 1.0 mL / min, elution solvent: tetrahydrofuran, sample concentration: 0.05% by mass, Sample injection volume: 100 ⁇ L, column temperature: 40 ° C., detector: measured by GPC using monodisperse polystyrene as a standard under the analysis conditions of a differential refractometer.
  • Tg [A] A solution containing the polymer was thinly stretched on a glass plate and dried at 25 ° C. for 7 days to obtain a dry film. Using a differential scanning calorimeter (“TSC Instruments” “MDSCQ200 type”), the resulting dried film was subjected to a temperature increase rate of 20 ° C./min and a sample amount of 20 mg under the conditions of [A The Tg (° C.) of the polymer was measured.
  • TSC Instruments “MDSCQ200 type”
  • the hydroxyl group in the precursor polymer (a-1) reacts with the isocyanate group in the MOI to obtain a polymer (A-1) having a methacryloyl group as a double bond-containing group (A) in the side chain. It was. Mw of this polymer (A-1) was 206,000, Tg was ⁇ 25.1 ° C., and the content of the double bond-containing group (A) was 1.0% by mass.
  • thermosetting agent C-1 Coronate L (Tosoh Corporation)
  • Example 1 [A] 100 parts by mass of (A-1) as a polymer, [B] 4 parts by mass of (B-1) as a photopolymerization initiator, [C] 0.15 parts by mass of (C-1) as a thermosetting agent
  • a pressure-sensitive adhesive composition (T-1) was prepared by mixing 0.3 parts by weight of (E-1) as an antioxidant and an antioxidant.
  • Adhesive compositions (T-2) to (T-9) and (CT-1) to (CT) were obtained in the same manner as in Example 1 except that the components having the types and contents shown in Table 2 below were used. -3) was prepared. “-” In Table 2 indicates that the corresponding component was not used.
  • the adhesive sheet was produced according to the following method, and it evaluated by implementing the following tests about this adhesive sheet.
  • the prepared adhesive sheet was bonded to an adherend made of SUS304 (Engineering Test Service Co., Ltd.) to create a test piece, and the test piece was subjected to a 180 ° peel test method in accordance with JIS-Z0237: 2009.
  • the peel strength (unit: N / 25 mm) was measured under the conditions of an atmospheric temperature of 23 ° C. and a peeling rate of 300 mm / min.
  • the UV pre-adhesive strength can be evaluated as “good” when it is 10 N / 25 mm or more and “bad” when it is less than 10 N / 25 mm for an SUS304 adherend.
  • the test piece prepared in the above “UV pre-adhesive strength” section was (1) heat-treated at 23 ° C. for 0.5 hour, or (2) 100 ° C. for 1 hour, and then subjected to high pressure from the substrate side of the adhesive sheet.
  • the pressure-sensitive adhesive layer was cured by irradiating with an ultraviolet ray with an accumulated light amount of 500 mJ / cm 2 using a mercury lamp (“Igrand Stage ECS-410GX” manufactured by Eye Graphics). In this case, the pressure-sensitive adhesive layer is irradiated with ultraviolet rays that have passed through the substrate.
  • peel strength was measured under the conditions of an atmosphere of 23 ° C. and a peeling rate of 300 mm / min by a 180 ° peel test method in accordance with JIS-Z0237: 2009.
  • the post-UV adhesive strength is “good” in the case of 1.5 N / 25 mm or less in both (1) and (2) with respect to the adherend made of SUS304, and at least one of (1) and (2) On the other hand, when it exceeds 1.5 N / 25 mm, it can be evaluated as “bad”.
  • the embedding property was evaluated as follows. On the glass plate, a PET film having an average thickness of 25 ⁇ m cut into a width of 10 mm was closely adhered to form a step. Next, a pressure-sensitive adhesive sheet formed by applying a pressure-sensitive adhesive composition on a PET film (“A4300” manufactured by Toyobo Co., Ltd., average thickness 50 ⁇ m) so that the average thickness after drying is 50 ⁇ m is formed in the region including the steps. After placing, the 2 kg roller was reciprocated once and bonded together by pressing. Subsequently, it was allowed to stand at room temperature for 10 minutes, and the presence or absence of floating or bubbles around the step was observed to evaluate the embedding property. The embedding property was evaluated as “A” (good) when no floating or bubbles were observed, and “B” (bad) when floating or bubbles were observed.
  • the pressure-sensitive adhesive composition and pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention regardless of the presence or absence of heating, the pressure-sensitive adhesive force before UV irradiation is sufficiently high, the amount of decrease in the pressure-sensitive adhesive strength by UV irradiation is sufficiently large, and the adhesive residue is sufficient Moreover, the pressure-sensitive adhesive layer to be formed is excellent in embeddability and can be suitably used for an adherend having a step or the like. Moreover, even when heated in a bonded state, it can be peeled off without any adhesive residue by ultraviolet irradiation. Therefore, the said adhesive composition and adhesive sheet can be used suitably in various manufacturing processes, such as the dicing process of the semiconductor wafer which has a heating process.

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Abstract

本発明は、加熱の有無に関わらず、紫外線照射前の粘着力が高く、紫外線照射による粘着力の低下幅も十分に大きく、糊残りが十分少なく、かつ埋め込み性にも優れる粘着剤組成物及びこの粘着剤組成物を用いる粘着シートの提供を目的とする。本発明は、アクリル酸メチルに由来する構造単位及び重合性炭素-炭素二重結合含有基を有するポリマーと、光重合開始剤と、熱硬化剤とを含有し、上記ポリマーを構成する全構造単位に対する上記構造単位の含有割合が1質量%以上60質量%以下であり、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない粘着剤組成物である。上記ポリマーは上記重合性炭素-炭素二重結合含有基を側鎖に有することが好ましい。上記重合性炭素-炭素二重結合含有基としては(メタ)アクリロイル基が好ましい。

Description

粘着剤組成物及び粘着シート
 本発明は、粘着剤組成物及び粘着シートに関する。
 粘着剤は、部品同士を接着する際に広く用いられている。粘着剤の用途の1つに、一時的に部材同士を接着させておくという仮止めがある。例えば半導体ウエハのダイシング工程では、粘着剤によって半導体ウエハをフレームに仮止めした状態で半導体ウエハの切断を行う。そして、半導体ウエハの切断を終えたら、フレームから半導体ウエハを取り外す。このような仮止めに用いる粘着剤は、十分な粘着力を有しつつも、仮止めが不要となった時には、容易かつ糊残りなく剥離することができるという性能が要求される。また、かかる粘着剤には、部品同士を貼り合わせた後、接着した部品ごと加熱工程に供された場合でも、仮止めが不要となった時に容易かつ糊残りなく剥離することが求められる。
 そこで、仮止め等において、粘着剤組成物から形成された粘着剤層を有する粘着シートを用い、仮止めが不要となった時に紫外線照射によって粘着剤層を硬化させ、粘着力を低下させるという技術が提案されている(特開2001-240842号公報参照)。
特開2001-240842号公報
 しかし、上記従来の粘着剤組成物では、紫外線照射前の粘着力が不十分である上、紫外線照射による粘着力の低下幅も不十分なものに留まり、また、糊残りの低減についても十分なものとは言えない。さらに、上記従来の粘着剤組成物は、被着体へ貼り合わせた状態で加熱すると粘着力が上昇するが、これにより、紫外線照射による粘着力の低下幅がより不十分となり、糊残りが発生してしまうという不都合がある。また、粘着剤組成物には、形成される粘着剤層の埋め込み性に優れ、段差等を有する被着体に対しても良好に用いることができることも要求される。
 本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、加熱の有無に関わらず、紫外線照射前の粘着力が十分に高く、紫外線照射による粘着力の低下幅が十分に大きく、糊残りが十分少なく、かつ埋め込み性にも優れる粘着剤組成物及びこの粘着剤組成物を用いる粘着シートを提供することにある。
 上記課題を解決するためになされた発明は、アクリル酸メチルに由来する構造単位(以下、「構造単位(I)」ともいう)及び重合性炭素-炭素二重結合含有基(以下、「二重結合含有基(A)」ともいう)を有するポリマー(以下、「[A]ポリマー」ともいう)と、光重合開始剤(以下、「[B]光重合開始剤」ともいう)と、熱硬化剤(以下、「[C]熱硬化剤」ともいう)とを含有し、上記[A]ポリマーを構成する全構造単位に対する上記構造単位(I)の含有割合が1質量%以上60質量%以下であり、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない粘着剤組成物である。
 上記課題を解決するためになされた別の発明は、シート状の基材と、上記基材の一方の面に積層される粘着剤層とを備え、上記粘着剤層が、当該粘着剤組成物から形成される粘着シートである。
 本発明の粘着剤組成物及び粘着シートによれば、加熱の有無に関わらず、紫外線照射前の粘着力が十分に高く、紫外線照射による粘着力の低下幅も十分に大きく、かつ糊残りを十分低減することができ、また、形成される粘着剤層が埋め込み性に優れ、段差等を有する被着体に対しても好適に用いることができる。また、貼り合わせ状態で加熱される場合でも、紫外線照射により糊残りなく剥離することができる。従って、当該粘着剤組成物及び粘着シートは、加熱工程を有する半導体ウエハのダイシング工程等種々の製造工程において好適に用いることができる。
<粘着剤組成物>
 当該粘着剤組成物は、[A]ポリマーと、[B]光重合開始剤と、[C]熱硬化剤とを含有する。また、当該粘着剤組成物は、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない。当該粘着剤組成物は、[A]~[C]成分以外の任意成分を含有していてもよい。
 当該粘着剤組成物は、加熱の有無に関わらず、紫外線照射前の粘着力が十分に高く、紫外線照射による粘着力の低下幅が十分に大きく、糊残りが十分少なく、かつ埋め込み性にも優れる。当該粘着剤組成物が上記構成を有することで上記効果を奏する理由については必ずしも明確ではないが、例えば以下のように推察することができる。すなわち、当該粘着剤組成物は[A]~[C]成分を含有し、[A]ポリマーは二重結合含有基(A)と共に、上記特定範囲の含有割合のアクリル酸メチルに由来する構造単位(I)を有している。このアクリル酸メチルに由来する構造単位(I)は立体的に小さいため、[A]ポリマーと[C]熱硬化剤とから形成される粘着性を発揮する構造と、被着体との相互作用をより大きいものとすることができ、その結果、硬化前の粘着力を十分に高くすることができる。また、上述のように、アクリル酸メチルに由来する構造単位(I)が立体的に小さいことで、[B]光重合開始剤による[A]ポリマーの二重結合含有基(A)間の結合形成がより効果的に起こり、その結果、紫外線照射による硬化後の粘着力の低下幅も十分に大きいものとなり、かつ糊残りが十分に少なくなると考えられる。加えて、当該粘着剤組成物は、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない。当該粘着剤組成物は、多官能モノマーや多官能オリゴマーを実質的に含有しないことで、粘着剤層の硬化の際に、多官能モノマー等に起因すると考えられるオリゴマー等の低分子量成分の発生を抑制することができると考えられ、その結果、糊残りをさらに十分に少なくすることができる。さらに、[A]ポリマーは上述のように立体的に小さいアクリル酸メチルに由来する構造単位(I)を上記特定範囲の含有割合で有するものであるため、比較的自由に分子運動することができると考えられ、その結果、当該粘着剤組成物から形成される粘着剤層は、埋め込み性にも優れる。以下、各成分について説明する。
<[A]ポリマー>
 [A]ポリマーは、構造単位(I)及び二重結合含有基(A)を有するポリマーである。[A]ポリマーは、構造単位(I)以外に、炭素数4以上10以下のアルキル基を含む(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位(以下、「構造単位(II)」ともいう)、ヒドロキシ基を含む構造単位(以下、「構造単位(III)」ともいう)及び/又はエポキシ基を含む構造単位(以下、「構造単位(IV)」ともいう)をさらに有することが好ましく、構造単位(I)~(IV)以外のその他の構造単位をさらに有していてもよい。二重結合含有基(A)は、構造単位(II)~(IV)やその他の構造単位に含まれていてもよい。以下、二重結合含有基(A)及び各構造単位について説明する。
[二重結合含有基(A)]
 二重結合含有基(A)は、重合性炭素-炭素二重結合を含む基である。重合性炭素-炭素二重結合は、エチレン性炭素-炭素二重結合を意味する。
 二重結合含有基(A)としては、重合性炭素-炭素二重結合を含む基であれば特に限定されないが、例えば(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。これらの中で、重合性により優れ、紫外線照射後の粘着力の低下幅がより十分に大きくなる観点から、(メタ)アクリロイル基が好ましい。
 [A]ポリマーは、二重結合含有基(A)を、主鎖、側鎖及び末端のいずれに有していてもよいが、重合性炭素-炭素二重結合の重合性を向上し、紫外線照射後の粘着力の低下幅をより十分に大きくする観点から、側鎖に有することが好ましい。
 側鎖に二重結合含有基(A)が導入された[A]ポリマーを得る方法としては、例えばヒドロキシ基及びエポキシ基のうち少なくとも一方を有する前駆体ポリマーを用意し、(1)前駆体ポリマーのヒドロキシ基に、イソシアネート基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のイソシアネート基を反応させる方法、(2)前駆体ポリマーのエポキシ基に、カルボキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のカルボキシ基を反応させる方法、(3)前駆体ポリマーのヒドロキシ基に、カルボキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のカルボキシ基を脱水縮合反応させる方法、これら(1)~(3)のうちの複数を併用する方法等が挙げられる。(1)の場合、前駆体ポリマーの側鎖に二重結合含有基(A)が導入されると共にウレタン基が形成される。
 イソシアネート基及び二重結合含有基(A)を有する化合物としては、例えば2-(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2-(メタ)アクリロイルオキシプロピルイソシアネート等の(メタ)アクリロイルアルキルイソシアネート;2-(2-(メタ)アクリロイルオキシエチルオキシ)エチルイソシアネート、2-(2-(メタ)アクリロイルオキシプロピルオキシ)プロピルイソシアネート等の2-(2-(メタ)アクリロイルオキシアルキルオキシ)アルキルイソシアネートなどが挙げられる。2-(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートの市販品としては、例えば昭和電工社の「カレンズAOI」、「カレンズMOI」等が挙げられる。2-(2-メタクリロイルオキシエチルオキシ)エチルイソシアネートの市販品としては、例えば昭和電工社の「カレンズMOIEG」等が挙げられる。
 カルボキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物としては、例えば(メタ)アクリル酸;カルボキシメチル(メタ)アクリレート、カルボキシエチル(メタ)アクリレート等のカルボキシアルキル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
 また、側鎖に二重結合含有基(A)が導入された[A]ポリマーを得る別の方法としては、例えばヒドロキシ基及びエポキシ基のうち少なくとも一方を有する前駆体ポリマーを用意し、(4)前駆体ポリマーが有するヒドロキシ基に、ポリイソシアネート化合物のイソシアネート基の1つを反応させ、このポリイソシアネート化合物の他のイソシアネート基に、ヒドロキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のヒドロキシ基を反応させる方法、(5)前駆体ポリマーが有するエポキシ基に、ポリカルボン酸化合物のカルボキシ基の1つを反応させ、このポリカルボン酸化合物の他のカルボキシ基に、エポキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のエポキシ基を反応させる方法、(6)前駆体ポリマーが有するヒドロキシ基に、ポリカルボン酸化合物のカルボキシ基の1つを脱水縮合により結合させ、このポリカルボン酸化合物の他のカルボキシ基に、ヒドロキシ基及び二重結合含有基(A)を有する化合物のヒドロキシ基を脱水縮合反応させる方法、これら(4)~(6)のうちの複数を併用する方法等が挙げられる。(4)の場合、前駆体ポリマーの側鎖に二重結合含有基(A)が導入させると共に、複数のウレタン基が形成される。
 ポリイソシアネート化合物としては、例えばメチレンジフェニルジイソシアネート(MDI)、トリレンジイソシアネート(TDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)等が挙げられる。
 ポリカルボン酸化合物としては、例えばシュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸等の脂肪族ジカルボン酸、フタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸などが挙げられる。
 [A]ポリマー中の二重結合含有基(A)の含有率の下限としては、0.6質量%が好ましく、0.8質量%がより好ましく、0.9質量%がさらに好ましく、1.0質量%が特に好ましい。上記含有率の上限としては、10質量%が好ましく、5質量%がより好ましく、4質量%がさらに好ましく、3質量%が特に好ましい。二重結合含有基(A)の含有率を上記範囲とすることで、紫外線照射による粘着力の低下幅をより十分に大きくすることができ、かつ糊残りをより十分に低減することができる。[A]ポリマー中の二重結合含有基(A)の含有率(質量%)は、二重結合含有基(A)を構成する各原子の質量の総和をポリマーの総質量で除することによって求めることができる。
[構造単位(I)]
 構造単位(I)は、アクリル酸メチルに由来する構造単位である。構造単位(I)は、-CH-CH(COOCH)-で表される構造を有している。
 構造単位(I)の含有割合の下限としては、[A]ポリマーを構成する全構造単位に対して、1質量%であり、5質量%が好ましく、10質量%がより好ましく、20質量%がさらに好ましく、30質量%が特に好ましい。上記含有割合の上限としては、60質量%であり、55質量%が好ましく、50質量%がより好ましく、45質量%がさらに好ましく、40質量%が特に好ましい。構造単位(I)の含有割合を上記範囲とすることで、紫外線照射前の粘着力をより十分に高くすることができ、紫外線照射による粘着力の低下幅をより十分に大きくすることができ、かつ糊残りを十分に低減することができる。また、被着体の表面に段差がある場合においても十分な粘着力を発揮できる性能、すなわち埋め込み性にも優れるものとなる。構造単位(I)の含有割合が上記下限未満であると、粘着剤層の強度が低下すると考えられ、その結果、紫外線照射前の粘着力の低下、糊残りの発生及び埋め込み性の低下が生じる傾向がある。構造単位(I)の含有割合が上記上限を超えると、粘着剤層に紫外線を照射した際に[A]ポリマーが架橋によって凝集する効果が低減すると考えられ、その結果、糊残りと埋め込み性の低下が生じる傾向がある。加えて、粘着剤層の柔軟性が低下することにより、紫外線照射前の埋め込み性が低下する傾向がある。
[構造単位(II)]
 構造単位(II)は、炭素数4以上10以下のアルキル基を含む(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位である。当該粘着剤組成物は、[A]ポリマーが構造単位(II)を有することで、粘着剤層の強度をより高めることができ、その結果、紫外線照射前の粘着力をより高めることができる。
 炭素数4以上10以下のアルキル基としては、例えばn-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-オクチル基、2-エチルヘキシル基、n-デシル基等が挙げられる。これらの中で、n-ブチル基及び2-エチルヘキシル基が好ましい。
 構造単位(II)を与えるモノマーとしては、n-ブチル(メタ)アクリレート、n-ペンチル(メタ)アクリレート、n-ヘキシル(メタ)アクリレート、n-オクチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n-デシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中で、アルキルアクリレートが好ましく、n-ブチルアクリレート及び2-エチルヘキシルアクリレートがより好ましい。
 [A]ポリマーが構造単位(II)を有する場合、構造単位(II)の含有割合の下限としては、5質量%が好ましく、10質量%がより好ましく、30質量%がさらに好ましく、40質量%が特に好ましい。上記含有割合の上限としては、95質量%が好ましく、80質量%がより好ましく、70質量%がさらに好ましく、60質量%が特に好ましい。構造単位(II)の含有割合を上記範囲とすることで、粘着剤層の強度をさらに高めることができ、その結果、紫外線照射前の粘着力をさらに高めることができる。
[構造単位(III)]
 構造単位(III)は、ヒドロキシ基を含む構造単位である。[A]ポリマーが構造単位(III)を有することで、紫外線照射前における粘着剤層の粘着力がより向上すると共に、耐水性が向上する。
 ヒドロキシ基としては、例えばアルコール性ヒドロキシ基、フェノール性ヒドロキシ基等が挙げられる。これらの中で、紫外線照射前の粘着力がより向上する観点から、アルコール性ヒドロキシ基が好ましい。
 構造単位(III)を与えるモノマーとしては、例えばヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート;ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、ヒドロキシナフチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアリール(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中で、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートが好ましく、ヒドロキシアルキルアクリレートがより好ましく、ヒドロキシエチルアクリレートがさらに好ましい。
 [A]ポリマーが構造単位(III)を有する場合、構造単位(III)の含有割合の下限としては、1質量%が好ましく、3質量%がより好ましく、4質量%がさらに好ましく、5質量%が特に好ましい。上記含有割合の上限としては、30質量%が好ましく、25質量%がより好ましく、15質量%がさらに好ましく、10質量%が特に好ましい。
[構造単位(IV)]
 構造単位(IV)は、エポキシ基を含む構造単位である。[A]ポリマーが構造単位(IV)を有することで、紫外線照射前の粘着剤層の粘着力がより向上すると共に、基材等に対する密着性が向上する。 
 構造単位(IV)を与えるモノマーとしては、例えばグリシジル(メタ)アクリレート、オキシラニルエチル(メタ)アクリレート、オキシラニルプロピル(メタ)アクリレート等のオキシラニル基を含む(メタ)アクリレート;オキセタニルメチル(メタ)アクリレート、オキセタニルエチル(メタ)アクリレート、オキセタニルプロピル(メタ)アクリレート等のオキセタニル基を含む(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中で、オキシラニル基を含む(メタ)アクリレートが好ましく、オキシラニル基を含むメタクリレートがより好ましく、グリシジルメタクリレートがさらに好ましい。
 [A]ポリマーが構造単位(IV)を有する場合、構造単位(IV)の含有割合の下限としては、0.1質量%が好ましく、1質量%がより好ましく、2質量%がさらに好ましく、3質量%が特に好ましい。上記含有割合の上限としては、30質量%が好ましく、20質量%がより好ましく、10質量%がさらに好ましく、5質量%が特に好ましい。
[その他の構造単位]
 [A]ポリマーは、構造単位(I)~(IV)以外のその他の構造単位を有していてもよい。その他の構造単位としては、例えばスチレン化合物に由来する構造単位等が挙げられる。スチレン化合物としては、例えば、スチレン、α-メチルスチレン、o-、m-又はp-メチルスチレン、o-、m-又はp-ヒドロキシスチレン等が挙げられる。その他の構造単位の含有割合の上限としては、[A]ポリマーを構成する全構造単位に対して、30質量%が好ましく、20質量%がより好ましく、10質量%がさらに好ましい。
<[A]ポリマーの合成方法>
 [A]ポリマーの合成方法では、例えば構造単位(I)~(IV)及びその他の構造単位を与える単量体を、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)等のラジカル重合開始剤などを用い、酢酸エチル等の溶媒中で重合することにより前駆体ポリマーを得る。次に、この前駆体ポリマーのヒドロキシ基、エポキシ基等に、二重結合含有基(A)とイソシアネート基、カルボキシ基等とを有する化合物を、ジブチルスズジラウレート等の反応触媒の存在下、酢酸エチル等の溶媒中で反応させる。これにより、前駆体ポリマーに二重結合含有基(A)を導入されるため、[A]ポリマーを合成することができる。
 重合における反応温度の下限としては、40℃が好ましく、60℃がより好ましい。上記反応温度の上限としては、150℃が好ましく、100℃がより好ましい。重合における反応時間の下限としては、1時間が好ましく、4時間がより好ましい。上記反応時間の上限としては、48時間が好ましく、24時間がより好ましい。
 二重結合含有基(A)の導入反応の反応温度の下限としては、20℃が好ましく、30℃がより好ましい。上記反応温度の上限としては、100℃が好ましく、60℃がより好ましい。二重結合含有基(A)の導入反応における反応時間の下限としては、1時間が好ましく、3時間がより好ましい。上記反応時間の上限としては、20時間が好ましく、8時間がより好ましい。
 [A]ポリマーのゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)の下限としては、5万が好ましく、10万がより好ましく、15万がさらに好ましく、20万が特に好ましい。上記Mwの上限としては、50万が好ましく、40万がより好ましく、30万がさらに好ましく、25万が特に好ましい。当該粘着剤組成物は、[A]ポリマーのMwを上記範囲とすることで、紫外線照射前の粘着力をより十分に高くすることができる。
 [A]ポリマーのGPCによるポリスチレン換算数平均分子量(Mn)に対するMwの比(Mw/Mn)の下限としては、通常1であり、1.1が好ましい。上記比の上限としては、5が好ましく、3がより好ましく、2がさらに好ましく、1.7が特に好ましい。
 本明細書において[A]ポリマーのMw及びMnを測定するために用いたGPCの各条件は、以下の通りである。
 GPCカラム:例えば東ソー社の「TSKgel Multipore HXL-M」2本、
 カラム温度:40℃
 溶出溶媒:テトラヒドロフラン(和光純薬工業社)
 流量:  1.0mL/分
 試料濃度: 0.05質量%
 試料注入量:100μL
 検出器:示差屈折計
 標準物質:単分散ポリスチレン
 [A]ポリマーのガラス転移温度(Tg)の下限としては、-100℃が好ましく、-80℃がより好ましく、-60℃がさらに好ましく、-40℃が特に好ましい。上記Tgの上限としては、20℃が好ましく、0℃がより好ましく、-10℃がさらに好ましく、-20℃が特に好ましい。当該粘着剤組成物は、[A]ポリマーのTgを上記範囲とすることで、紫外線照射前の粘着力をより向上させることができる。
 本明細書における[A]ポリマーのTgは、[A]ポリマーの乾燥フィルムを、示差走査熱量分析計(例えばティー・エイ・インスツルメント社の「MDSCQ200型」)を用い、窒素雰囲気下、昇温速度20℃/分、サンプル量20mgの条件で測定した値である。
<[B]光重合開始剤>
 [B]光重合開始剤は、紫外線の照射によって重合反応を開始することができる成分である。当該粘着剤組成物から形成される粘着剤層は、[B]光重合開始剤を含まれることで、紫外線照射を照射された際に[A]ポリマーが有する二重結合含有基(A)同士の重合反応で硬化する。その結果、粘着剤層と被着体との相互作用が低減し、粘着力が低下する。
 [B]光重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-プロパン-1-オン、4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル-2-(ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p-フェニルベンゾフェノン、4,4’-ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、2-アミノアントラキノン、2-メチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、p-ジメチルアミノ安息香酸エステル、オリゴ[2-ヒドロキシ-2-メチル-1[4-(1-メチルビニル)フェニル]プロパノン]、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-ホスフィンオキサイド等が挙げられる。これらの中で、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが好ましい。
 [B]光重合開始剤の市販品としては、例えばBASF社の「Irgacure184」、「同651」、「同2959」、「同127」、「同819」、「同784」、「同754」、「同500」、「同250」、「同270」、「同907」、「同369」、「同379EG」、「同OXE 01」、「同OXE 02」、「Lucirin TPO」、「Darocure 1173」、「同MBF」等が挙げられる。
 [B]光重合開始剤の含有量の下限としては、[A]ポリマー100質量部に対して、0.1質量部が好ましく、0.5質量部がより好ましく、1質量部がさらに好ましく、2質量部が特に好ましい。上記含有量の上限としては、20質量部が好ましく、10質量部がより好ましく、8質量部がさらに好ましく、6質量部が特に好ましい。[B]光重合開始剤の含有量を上記範囲とすることで、紫外線照射による二重結合含有基(A)同士の重合反応がより効果的に進行し、その結果、紫外線照射後の粘着力の低下幅がさらに十分に大きいものとなり、かつ糊残りがより十分に低減される。
<[C]熱硬化剤>
 [C]熱硬化剤は、加熱によって[A]ポリマーに架橋構造を形成することができる成分である。当該粘着剤組成物は、[A]ポリマー及び[B]光重合開始剤に加えてさらに[C]熱硬化剤を含有することで、架橋構造を有する粘着剤層を形成できる。その結果、当該粘着剤組成物は、粘着シートを形成してロール化することで圧力がかかった際の粘着剤層のはみ出しを抑制できる。
 [C]熱硬化剤としては、例えば多官能イソシアネート化合物、多官能エポキシ化合物等が挙げられる。また、[C]熱硬化剤としては、メラミン化合物、尿素化合物、金属塩化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド化合物、アジリジン化合物、アミン化合物、アミノ樹脂化合物、過酸化物等を用いることもできる。
 多官能イソシアネート化合物としては、例えば1,2-エチレンジイソシアネート、1,4-ブチレンジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)等の脂肪族ジイソシアネート;シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、水素化トリレンジイソシアネート、水素化キシリレンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート;トリレンジイソシアネート(TDI)、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)等の芳香族ジイソシアネートなどのジイソシアネート化合物、上記ジイソシアネート化合物の2量体以上の多量体であるポリイソシアネート化合物、上記ポリイソシアネート化合物を変性した化合物などが挙げられる。多官能イソシアネート化合物の市販品としては、例えば東ソー社の「コロネートL」、「同HL」等が挙げられる。
 多官能エポキシ化合物としては、例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、o-フタル酸ジグリシジルエステル、グリセリンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、N,N,N’,N’-テトラグリシジル-m-キシリレンジアミン、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタグリシジルジエチレントリアミン、N,N,N’,N’-テトラグリシジルエチレンジアミン等が挙げられる。多官能性エポキシ化合物の市販品としては、例えばナガセケムテック社の「ナデコールEX-313」、「同EX-412」、「同EX-521」、「同EX-614B」等が挙げられる。
 [C]熱硬化剤の含有量の下限としては、[A]ポリマー100質量部に対して、0.05質量部が好ましく、0.07質量部がより好ましく、0.1質量部がさらに好ましく、0.12質量部が特に好ましい。上記含有量の上限としては、2質量部が好ましく、1質量部がより好ましく、0.5質量部がさらに好ましく、0.3質量部が特に好ましい。[C]熱硬化剤の含有量を上記範囲とすることで、粘着シートを形成してロール化することで圧力がかかった際の粘着剤層のはみ出しをさらに抑制できる。
 当該粘着剤組成物は、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない。当該粘着剤組成物は、多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しないので、粘着剤層の硬化の際に、多官能モノマー又は多官能オリゴマーに起因すると考えられる低分子量の成分の発生を抑制することができると考えられ、その結果、糊残りを十分に少なくすることができる。多官能モノマーとしては、例えばジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート等が挙げられる。多官能オリゴマーとしては、例えば二官能ウレタンアクリレート、四官能ウレタンアクリレート、六官能ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、これらに相当するメタクリレート等が挙げられる。「多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない」とは、多官能モノマー及び多官能オリゴマーの合計含有量が[A]ポリマー100質量部に対して、例えば10質量部以下、好ましくは5質量部以下、より好ましくは2質量部以下、特に好ましくは0質量部であることをいう。
<任意成分>
 当該粘着剤組成物は、任意成分として、例えば酸化防止剤、老化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、界面活性剤、保存安定剤、熱重合禁止剤、可塑剤、濡れ性改良剤、密着性付与剤、粘着付与剤(タッキーファイヤー)、溶媒等が挙げられる。
 酸化防止剤としては、例えばブチルヒドロキシトルエン(BHT)、ブチルヒドロキシアニソール(BHA)、ペンタエリスリトールテトラキス[3-(3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、チオジエチレンビス[3-(3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、オクタデシル-3-(3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート等が挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えばBASF社の「Irganox1035」、「同1010」、「同1076」、「同1135」、「同1520L」等が挙げられる。
 老化防止剤としては、例えばフェノール系老化防止剤、アリルアミン系老化防止剤、ケトンアミン系老化防止剤等が挙げられる。老化防止剤の市販品としては、例えば住友化学社の「アンチゲンW」、「同S」、「同P」、「同3C」、「同6C」、「同RD-G」、「同FR」、「同AW」等が挙げられる。
 紫外線吸収剤としては、例えばベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、トリアジン系紫外線吸収剤等が挙げられる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えばBASF社の「TINUVIN P」、「同234」、「同320」、「同326」、「同327」、「同328」、「同213」、「同400」、住友化学社の「スミソーブ110」、「同130」、「同140」、「同220」、「同250」、「同300」、「同320」、「同340」、「同350」、「同400」等が挙げられる。
 消泡剤としては、例えばシリコーン系消泡剤、フッ素原子含有消泡剤、ケイ素原子及びフッ素原子を含まない有機共重合体を含有する消泡剤等が挙げられる。消泡剤の市販品としては、シリコーン系消泡剤として、例えば共栄社化学社の「同AC-901」、「同AC-950」、「同AC-1140」、「同AO-3」、「同AO-4OH」、東レ・ダウコーニング・シリコーン社の「FS1265」、「SH200」、「SH5500」、「SC5540」、「SC5570」、「F-1」、「SD5590」等が、フッ素原子含有消泡剤として、DIC社の「メガファックF-142D」、「同F-144D」、「同F-178K」、「同F-179」、「同F-815」等が、ケイ素原子及びフッ素原子を含まない有機共重合体を含有する消泡剤として、共栄社化学社の「フローレンAC-202」、「同AC-300」、「同AC-303」、「同AC-326F」、「同AC-900」、「同AC-1190」、「同AC-2000」などが挙げられる。
 レベリング剤としては、例えば共栄社化学社の「ポリフローNo.7」、「同No.38」、「同No.50」、「同No.75」、「同No.77」、「同No.90」、「同No.95」、「同No.300」、「同No.460」、「同ATF」、「同KL-245」等が挙げられる。
 密着性付与剤としては、アルコキシシリル基を有するチオール化合物、リン酸エステル化合物等が挙げられる。これらの化合物は、特に、金属表面に対する密着性を向上する効果を有する。
 アルコキシシリル基を有するチオール化合物としては、例えばγ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルモノメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルジメトキシシランなどのメルカプトアルキル-モノ、ジ又はトリ-メトキシシラン等が挙げられる。市販品としては、東レ・ダウコーニング・シリコーン社の「SH6062」、「同AY43-062」、チッソ社の「サイラエースS810」、信越化学工業社の「KBM803」、「KBM403」、「KBE5103」等が挙げられる。
 リン酸エステル化合物としては、例えばモノ〔2-(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、モノ〔2-(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ジフェニルホスフェート、モノ〔2-(メタ)アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、ビス〔2-(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、ビス〔2-(メタ)アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、トリス〔2-(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート等が挙げられる。市販品としては、例えば共栄社化学社の「ライトエステルP-1M」、「同P-2M」、「ライトアクリレートP-1A」、「同P-2A」、日本化薬社の「KAYAMER PM-2」、「同PM-21」等が挙げられる。
 粘着付与剤としては、例えば脂環族飽和炭化水素樹脂、ロジンエステル系、テルペンフェノール系、C5又はC9石油樹脂等が挙げられる。市販品としては、例えば荒川化学工業社の「アルコンP-70」、「同P-90」、「同P-100」、「同M-90」、「同M-100」、「同M-135」、「アラスター700」、「同KE-359」、「タマノル521」、「スーパーエステルA-75」、「同A-115」等が挙げられる。
 溶媒としては、例えば
 トルエン、キシレン等の芳香族系溶媒;
 アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、2-メチル-5-ヘキサノン等のケトン系溶媒;
 酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;
 塩化メチル、ジクロロメタン、ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒;
 エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、プロピレングリコール等のグリコールエーテル系溶媒;
 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルカルボキシレート系溶媒などが挙げられる。
 上記任意成分の使用量としては、本発明の粘着剤組成物の効果を損なわない範囲において、適宜選択することができる。
 当該粘着剤組成物の25℃における粘度の下限としては、100mPa・sが好ましく、200mPa・sがより好ましく、300mPa・sがさらに好ましく、400mPa・sが特に好ましい。上記粘度の上限としては、5,000mPa・sが好ましく、3,000mPa・sがより好ましく、1,500mPa・sがさらに好ましく、1,000mPa・sが特に好ましい。当該粘着剤組成物の粘度を上記範囲とすることで、容易に塗工を行うことができ、その結果、粘着剤層を良好に形成することができる。上記粘度は、BM粘度計を用い、回転数30rpmの条件で測定される値である。
<粘着剤組成物の調製方法>
 当該粘着剤組成物は、例えば[A]ポリマー、[B]光重合開始剤、[C]熱硬化剤及び必要に応じて含有される任意成分を所定の割合で混合することにより調製することができる。
<粘着シート>
 本発明の粘着シートは、シート状の基材と、上記基材の一方の面に積層される粘着剤層とを備え、上記粘着剤層が、当該粘着剤組成物から形成されている。当該粘着シートは、上述した当該粘着剤組成物から形成された粘着剤層を備えるので、紫外線照射前の粘着力が十分に高く、紫外線照射による粘着力の低下幅が十分に大きく、糊残りを十分に低減することができ、かつ埋め込み性にも優れる。従って、当該粘着シートは、種々の被着体に対して高い粘着力で接着させることができ、かつ被着体から容易に剥離することができる。「シート」とは、シート状のものを意味し、例えば、テープやフィルムも含む概念である。
 当該粘着シートは、例えば半導体ウエハのダイシング工程を行う際において、半導体ウエハをフレーム等に固定するためのダイシングテープや、電子部品等の製造プロセスにおいて回路素子等を仮固定するための仮固定用テープや、半導体ウエハの製造プロセスにおいて回路素子等を搬送する際に用いる搬送用テープなどとして好適に用いることができる。当該粘着シートは、このようにテープとして使用する以外に、多層配線基板の製造時に用いられる金属箔付きフィルムや、回路形成用転写シートとして用いることもできる。
 シート状の基材の材質としては特に限定されず、例えば合成樹脂、ガラス、金属、セラミックス等が挙げられる。シート状の基材の平均厚みの下限としては、10μmが好ましく、20μmがより好ましく、25μmがさらに好ましい。上記平均厚みの上限としては、300μmが好ましく、250μmがより好ましく、200μmがさらに好ましい。
 粘着剤層は、上述の当該粘着剤組成物から形成されているので、紫外線の照射によって効果的に硬化し、その粘着力が大幅に低下する。粘着剤層の平均厚みの下限としては、5μmが好ましく、10μmがより好ましく、20μmがさらに好ましく、30μmが特に好ましい。上記平均厚みの上限としては、1,000μmが好ましく、500μmがより好ましく、100μmがさらに好ましく、50μmが特に好ましい。
<粘着シートの製造方法>
 当該粘着シートは、例えば以下のようにして製造することができる。まず、シート状の基材の少なくとも一方の面上に、アプリケーター等の塗工装置により、当該粘着剤組成物を塗工する。次に、上記塗膜を乾燥させることにより、当該粘着シートを得ることができる。
<粘着シートの剥離方法>
 当該粘着シートを被着体から剥離する場合、当該粘着シートに紫外線を照射して粘着剤層を硬化させることで容易かつ糊残りなく剥離できる。当該粘着シートの粘着剤層を硬化させる際の紫外線の積算光量は、基材表面の粘着剤層の平均厚み等により適宜選択することができるが、この積算光量の下限としては、10mJ/cmが好ましく、20mJ/cmが好ましい。上記積算光量の上限としては、4,000mJ/cmが好ましく、2,000mJ/cmがより好ましく、1,000mJ/cmがさらに好ましい。紫外線の積算光量を上記範囲とすることで、粘着剤層がより効果的に硬化するため、粘着力をより十分に低下させることができる。光源としては、例えば高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、アーク灯、ガリウムランプ等が挙げられる。
 以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。各種物性値の測定方法を以下に示す。
[Mw]
 [A]ポリマーのMwは、東ソー社のGPCカラム(「TSKgel Multipore HXL-M」)2本を用い、流量:1.0mL/分、溶出溶媒:テトラヒドロフラン、試料濃度:0.05質量%、試料注入量:100μL、カラム温度:40℃、検出器:示差屈折計の分析条件で、単分散ポリスチレンを標準とするGPCにより測定した。
[Tg]
 [A]ポリマーを含む溶液をガラス板の上に薄く引き伸ばし、25℃で7日間乾燥させて乾燥フィルムを得た。得られた乾燥フィルムを示差走査熱量分析計(ティー・エイ・インスツルメント社の「MDSCQ200型」)を用い、窒素雰囲気下、昇温速度20℃/分、サンプル量20mgの条件で、[A]ポリマーのTg(℃)を測定した。
[二重結合含有基(A)の含有率の測定]
 [A]ポリマー中の二重結合含有基(A)の含有率(質量%)は、核磁気共鳴装置(Bruker社の「ASCEND400」)を使用し、測定溶媒として重クロロホルムを用いて13C-NMRを測定することにより、[A]ポリマーにおける二重結合含有基(A)を含む構造単位及びそれ以外の構造単位の各構造単位についてその構造と各含有割合とを求め、これらの測定結果から算出した。
[[A]ポリマーの合成]
 [A]ポリマーの合成に用いた各単量体について以下に示す。
MA:メチルアクリレート(東亞合成社)
BA:ブチルアクリレート(和光純薬工業社)
2EHA:2-エチルヘキシルアクリレート(東亞合成社)
HEA:2-ヒドロキシエチルアクリレート(大阪有機化学工業社)
GMA:グリシジルメタクリレート(三菱レイヨン社)
MMA:メチルメタクリレート(三菱レイヨン社)
[合成例1]
 4口フラスコに、単量体としてのMA40.0質量部、2EHA53.0質量部及びHEA7.0質量部、ラジカル重合開始剤としてのAIBN2質量部並びに溶媒としての酢酸エチル150質量部を仕込み、窒素雰囲気下、70℃で8時間反応させ、さらに80℃で1時間反応させることにより、前駆体ポリマー(a-1)を含む溶液を得た。次に、冷却器及び温度計を備えた4口丸底フラスコに、この前駆体ポリマー(a-1)100質量部(樹脂固形分換算)を含む溶液及び反応触媒としてのジブチルスズジラウレート0.01質量部を仕込み、撹拌しながら40℃に加熱した。次いで、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工社の「カレンズMOI」、以下、「MOI」ともいう)2.4質量部を加え、40℃で5時間反応を行った。これにより、前駆体ポリマー(a-1)中の水酸基とMOI中のイソシアネート基とが反応し、側鎖に二重結合含有基(A)としてのメタクリロイル基を有するポリマー(A-1)を得た。このポリマー(A-1)のMwは20.6万、Tgは-25.1℃、二重結合含有基(A)の含有率は1.0質量%であった。
[合成例2~11]
 表1に示す種類及び使用量の単量体及び二重結合含有基導入化合物を用いた以外は、合成例1と同様にして、ポリマー(A-2)~(A-9)並びに(CA-1)及び(CA-2)を合成した。二重結合含有基導入化合物である「AA」は、アクリル酸(大阪有機化学工業社)を示す。合成したポリマーの二重結合含有基(A)の含有率(質量%)、Mw及びTgについて表1に合わせて示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
<粘着剤組成物の調製>
 粘着剤組成物の調製に用いた[A]ポリマー以外の成分について以下に示す。
[[B]光重合開始剤]
 B-1:1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン(BASF社の「Irgacure184」)
[[C]熱硬化剤]
 C-1:コロネートL(東ソー社)
[多官能モノマー]
 D-1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社の「KAYARAD DPHA」)
[酸化防止剤]
 E-1:Irganox1035(BASF社)
[実施例1]
 [A]ポリマーとしての(A-1)100質量部、[B]光重合開始剤としての(B-1)4質量部、[C]熱硬化剤としての(C-1)0.15質量部及び酸化防止剤としての(E-1)0.3質量部を混合することにより、粘着剤組成物(T-1)を調製した。
[実施例2~9及び比較例1~3]
 下記表2に示す種類及び含有量の各成分を用いた以外は、実施例1と同様にして、粘着剤組成物(T-2)~(T-9)及び(CT-1)~(CT-3)を調製した。表2中の「-」は、該当する成分を用いなかったことを示す。
<評価>
 上記調製した粘着剤組成物について、下記方法に従って粘着シートを作製し、この粘着シートについて、以下の試験を実施することにより評価した。
[粘着シートの作製]
 上記調製した粘着剤組成物をそのまま塗工液として用い、シート状の基材としてのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社の「コスモシャイン4300」、平均厚み100μm)の表面にアプリケーターを用いて塗布し、次いで、100℃で3分間乾燥させることにより、基材の表面に平均厚み25μmの粘着剤層が積層された粘着シートを得た。
[UV前粘着力]
 上記作製した粘着シートを、SUS304製の被着体(エンジニアリングテストサービス社)に貼りあわせて試験片を作成した後、この試験片について、JIS-Z0237:2009に準拠する180°ピール試験法によって、雰囲気温度23℃、剥離速度300mm/分の条件でピール強度(単位:N/25mm)を測定した。
 UV前粘着力は、SUS304製の被着体に対して、10N/25mm以上の場合は「良好」と、10N/25mm未満の場合は「不良」と評価できる。
[UV後粘着力]
 上記「UV前粘着力」の項で作製した試験片を、(1)23℃で0.5時間、又は(2)100℃で1時間加熱処理し、次いで、粘着シートの基材側から高圧水銀ランプ(アイグラフィックス社の「アイグランステージECS-410GX」)による積算光量500mJ/cmの紫外線照射を行い、粘着剤層を硬化させた。この場合、基材を透過した紫外線が粘着剤層に照射される。次いで、JIS-Z0237:2009に準拠する180°ピール試験法によって、雰囲気23℃、剥離速度300mm/分の条件でピール強度を測定した。
 UV後粘着力は、SUS304製の被着体に対して、(1)及び(2)のいずれにおいても1.5N/25mm以下の場合は「良好」と、(1)及び(2)の少なくとも一方で1.5N/25mmを超える場合は「不良」と評価できる。
[糊残り]
 上記[UV後粘着力]の(2)100℃で1時間加熱処理した場合において、紫外線照射後に粘着シートを被着体から剥がした後、被着体の表面における「糊残り」の状態を光学顕微鏡で測定した。具体的には、被着体の表面に最大長さが1μm以上の異物(粘着剤層の一部)が認められなかった場合は「A」(良好)と、1μm以上の異物が認められた場合は「B」(不良)と評価した。
[埋め込み性]
 埋め込み性は、以下のようにして評価した。ガラス板の上に、平均厚み25μmのPETフィルムを10mm幅にカットしたものを密着させ、段差を形成した。次に、乾燥後の平均厚みが50μmになるようにPETフィルム(東洋紡社の「A4300」、平均厚み50μm)上に粘着剤組成物を塗布して形成した粘着シートを、上記段差を含む領域に置いた後、その上で2kgローラーを1往復させ圧接することにより貼り合わせた。次いで、10分間常温で静置し、上記段差周辺の浮きや気泡等の有無を観察し、埋め込み性を評価した。埋め込み性は、浮きや気泡が認められない場合は「A」(良好)と、浮きや気泡が認められた場合は「B」(不良)と評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表2の結果から、実施例の粘着剤組成物によれば、紫外線照射前の粘着力が十分高く、加熱の有無に関わらず、紫外線照射による粘着力の低下幅が十分に大きく、糊残りも十分に低減できていることがわかる。また、実施例の粘着剤組成物は、埋め込み性にも優れていることも示されている。
 本発明の粘着剤組成物及び粘着シートによれば、加熱の有無に関わらず、紫外線照射前の粘着力が十分に高く、紫外線照射による粘着力の低下幅も十分に大きく、かつ糊残りを十分低減することができ、また、形成される粘着剤層が埋め込み性に優れ、段差等を有する被着体に対しても好適に用いることができる。また、貼り合わせ状態で加熱される場合でも、紫外線照射により糊残りなく剥離することができる。従って、当該粘着剤組成物及び粘着シートは、加熱工程を有する半導体ウエハのダイシング工程等種々の製造工程において好適に用いることができる。
 

Claims (5)

  1.  アクリル酸メチルに由来する構造単位及び重合性炭素-炭素二重結合含有基を有するポリマーと、
     光重合開始剤と、
     熱硬化剤と
    を含有し、
     上記ポリマーを構成する全構造単位に対する上記構造単位の含有割合が1質量%以上60質量%以下であり、
     多官能モノマー又は多官能オリゴマーを実質的に含有しない粘着剤組成物。
  2.  上記ポリマーが上記重合性炭素-炭素二重結合含有基を側鎖に有する請求項1に記載の粘着剤組成物。
  3.  上記重合性炭素-炭素二重結合含有基が(メタ)アクリロイル基である請求項2に記載の粘着剤組成物。
  4.  上記ポリマーが、炭素数4以上10以下のアルキル基を含む(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位をさらに有する請求項1、請求項2又は請求項3に記載の粘着剤組成物。
  5.  シート状の基材と、
     上記基材の一方の面に積層される粘着剤層と
    を備え、
     上記粘着剤層が、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の粘着剤組成物から形成される粘着シート。
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