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WO2016036019A1 - 기판 이송장치 - Google Patents

기판 이송장치 Download PDF

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Publication number
WO2016036019A1
WO2016036019A1 PCT/KR2015/008283 KR2015008283W WO2016036019A1 WO 2016036019 A1 WO2016036019 A1 WO 2016036019A1 KR 2015008283 W KR2015008283 W KR 2015008283W WO 2016036019 A1 WO2016036019 A1 WO 2016036019A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
belt
substrate
cassette
transfer member
transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/KR2015/008283
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
양창실
김태룡
박종인
권기청
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BI EMT Co Ltd
Original Assignee
BI EMT Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BI EMT Co Ltd filed Critical BI EMT Co Ltd
Priority to CN201580016379.8A priority Critical patent/CN106537575A/zh
Publication of WO2016036019A1 publication Critical patent/WO2016036019A1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • H10P72/3202—
    • H10P72/30—

Definitions

  • the present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of moving flat plate-like substrates at regular intervals.
  • substrate processing processes such as deposition, etching, and cleaning are generally performed.
  • the substrates In order to perform these processes, the substrates must be moved by maintaining a constant interval in each process.
  • Such a conveyor simply has a function of moving the substrates placed on the upper side, so that the intervals of the substrates that are introduced into the upper portion of the conveyor are not constant.
  • An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of moving a plurality of substrates while maintaining a constant gap, to solve the above problems.
  • the substrate transfer apparatus of the present invention comprises: a cassette in which a plurality of substrates are inserted; And a second transfer member configured to transfer the substrate inserted into the cassette in one direction, the second transfer member comprising: a second belt configured to move in one direction to the substrate formed in an orbital shape and placed on an upper surface thereof; A plurality of locking protrusions protruding from and spaced apart from each other on an upper surface of the second belt; And a second driving part for rotating the second belt, wherein the substrate supplied to the second belt from the cassette is in contact with the locking protrusion to prevent relative movement of the substrate with respect to the second belt. do.
  • the second transfer member may further include a guide member disposed at both sides of the transfer direction of the second belt to guide both sides of the substrate transferred in one direction by the second belt.
  • the guide member is mounted to be movable in the vertical direction of the conveying direction of the second belt.
  • the protruding length of the locking projections is larger than the thickness of the substrate.
  • the locking projection is formed in a shape in which the width of the upper surface is smaller than the width of the lower surface.
  • the cassette is elevated in the vertical direction to supply the substrate inserted into the substrate to the second transfer member.
  • a first transfer member disposed between the cassette and the second transfer member to transfer the substrate supplied from the cassette to the second transfer member.
  • the first transfer member may include a first belt configured to transfer the substrate, which has an orbital shape and is placed on an upper surface thereof, to the second belt; And a first driving part for rotating the first belt, wherein the cassette is lifted in the vertical direction to lower the substrate inserted into the upper surface of one end of the first belt.
  • the substrate supplied to the second belt is in contact with the locking projection to prevent relative movement of the substrate with respect to the second belt.
  • the first transfer member further comprises a belt moving unit for linearly moving the first belt in the cassette direction.
  • the plurality of substrates may be moved in one direction while maintaining a constant interval at all times by the locking protrusion formed on the second belt, so that the pickup device may easily move the substrate at a predetermined time interval.
  • FIG. 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a side view of the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 4a to 4c is an operation process of the cassette and the first transfer member in the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • 5a to 5c is an operation process diagram of the first transfer member and the second transfer member in the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 2 is a side view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 3 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 4A to 4C are diagrams illustrating the operation of the cassette and the first transfer member in the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention
  • FIGS. 5A to 5C illustrate the first transfer in the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • the operation process diagram of a member and a 2nd conveying member is shown.
  • the substrate transfer apparatus of the present invention includes a cassette 10, a first transfer member 20, and a second transfer member 30.
  • the cassette 10 has a plurality of substrates 40 (a wafer, a silicon substrate, etc.) inserted therein and are stacked in the vertical direction.
  • substrates 40 a wafer, a silicon substrate, etc.
  • the cassette 10 has a discharge hole 11 which is opened up and down and forward in the center of the center, so that the cassette 10 supports the edge of the substrate 40.
  • the cassette 10 is installed to be lifted up and down.
  • the cassette 10 is disposed inside the frame 17, and the cassette 10 is moved upward and downward by using an elevating cylinder 15 located above.
  • the first transfer member 20 is disposed between the cassette 10 and the second transfer member 30 to transfer the substrate 40 supplied from the cassette 10 to the second transfer member 30. It serves to transfer.
  • the first transfer member 20 includes a first belt 21, a first driving unit 22, and a belt moving unit 23.
  • the first belt 21 has an orbital shape and transfers the substrate 40 discharged from the cassette 10 to the second transfer member 30 on an upper surface thereof.
  • One end of the first belt 21 is disposed adjacent to the cassette 10, and the other end of the first belt 21 is disposed adjacent to the second transfer member 30.
  • one end of the first belt 21 is inserted into the discharge hole 11 of the cassette 10, and the cassette is brought into surface contact with a lower portion of the substrate 40 inserted into the cassette 10.
  • the substrate 40 is transferred from the 10.
  • the first driving part 22 is made of a motor or the like to rotate the first belt 21.
  • the belt moving part 23 linearly moves the first belt 21 in the cassette 10 direction.
  • the belt moving unit 23 preferably moves only one end of the first belt 21 in the direction of the cassette 10, not the entirety of the first belt 21.
  • the belt moving part 23 is made of a structure that is stretched in the cassette 10 direction, such as a cylinder.
  • the first transfer member 20 further includes a tension adjusting member (not shown) to prevent the tension of the first belt 21 from being changed by the movement of the belt moving unit 23. To lose.
  • the tension control member moves the first belt 21 having a predetermined length in the direction of the cassette 10, the first belt 21 is always changed by changing the moving path of the first belt 21. It is possible to maintain the same tension, and such a tension adjusting member is sufficient to use a conventionally known parts, more detailed description thereof will be omitted.
  • the cassette 10 is lowered to the upper surface of the one end of the first belt 21, the substrate 40 is raised and lowered in the vertical direction as described above and inserted inserted therein, the first belt 21 Moves the substrate 40 placed thereon in the direction of the second transfer member 30.
  • the second transfer member 30 serves to transfer the substrate 40 inserted into the cassette 10 in one direction.
  • the second transfer member 30 receives the substrate 40 transferred from the cassette 10 to the first transfer member 20 from the first transfer member 20 and transfers it in one direction.
  • the second transfer member 30 includes a second belt 31, a locking protrusion 32, a second driving unit 33, a guide member 34, and the like.
  • the second belt 31 is formed in an orbital shape, and moves the substrate 40 on the upper surface in one direction, that is, in the opposite direction to the cassette 10.
  • the locking protrusion 32 is formed of a plurality of protrusions are spaced apart from each other on the upper surface of the second belt (31).
  • the plurality of the locking projections 32 spaced apart from each other to be spaced at regular intervals.
  • the locking projection 32 is the substrate 40 supplied from the first belt 21 to the second belt 31 is in contact with the locking projection 32 to the second belt 31 The relative movement of the substrate 40 is prevented so that the spacing of the substrate 40 placed on the second belt 31 is always kept constant.
  • the protruding length of the locking projection 32 is larger than the thickness of the substrate 40.
  • the locking protrusion 32 is formed in a shape in which the width of the upper surface is smaller than the width of the lower surface, a separate pickup device for moving the substrate 40 placed on the second transfer member 30 to another place is the substrate ( 40) to be easily lifted in the vertical direction of the second belt (31).
  • the locking protrusion 32 may be integrally formed with the second belt 31, or may be separately formed and coupled through laser or bonding.
  • the second driving part 33 is made of a motor to rotate the second belt 31.
  • the guide member 34 is disposed on both sides of the transfer direction of the second belt 31 to guide both sides of the substrate 40 transferred in one direction by the second belt 31.
  • the guide member 34 is movably mounted in the vertical direction of the transfer direction of the second belt 31 so that the plurality of transferred substrates 40 can be moved along the same line.
  • the present invention may directly supply the substrate 40 inserted into the cassette 10 without the first transfer member 20 to the second transfer member 30.
  • one end of the second transfer member 30 is disposed adjacent to the cassette 10.
  • the cassette 10 is moved in a horizontal direction and disposed adjacent to one end of the first belt 21.
  • one end of the first belt 21 is moved in the direction of the second transfer member 30 so that the cassette 10 is easily moved in the horizontal direction.
  • one end of the first belt 21 is disposed below the discharge hole 11 of the cassette 10 by using the belt moving part 23.
  • the substrate 40 is transported in the opposite direction of the cassette 10 while contacting the upper surface of the rotating first belt 21.
  • the substrate 40 moved from the cassette 10 to the first transfer member 20 is moved to the second transfer member 30 as shown in FIG. 5.
  • the substrate 40 moving in one direction from the first belt 21 is transferred to the second belt 31.
  • the first belt 21 and the second belt 31 there may be a difference in speed between the first belt 21 and the second belt 31, in particular, when the moving speed of the first belt 21 is faster than the moving speed of the second belt 31.
  • the substrate 40 placed on the first belt 21 moves in one direction faster than the moving speed of the second belt 31.
  • the substrate 40 is in contact with the locking protrusion 32 to prevent relative movement of the substrate 40 with respect to the second belt 31, and the locking protrusion 32 is prevented. It is possible to move in the state placed on the second belt (31) between.
  • the substrate ( 40 may be slipped on the upper surface of the second belt 31, in which case the substrate 40 may be prevented from being pushed by the locking protrusion 32 as illustrated in FIG. 5C.
  • the plurality of substrates 40 may be moved in one direction while maintaining a constant interval by the locking protrusions 32 formed on the second belt 31.
  • the substrate 40 placed on the second belt 31 is moved to another place by a separate pickup device.
  • the substrate transfer apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may be variously modified and implemented within the range in which the technical idea of the present invention is permitted.
  • the present invention can be applied to a device for transferring a substrate, such as a semiconductor substrate, LCD, solar cell.

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상의 기판들이 일정한 간격을 유지하면서 이동되도록 할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 이송장치는, 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와; 상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되, 상기 제2이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와; 상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와; 상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송장치
본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상의 기판들이 일정한 간격을 유지하면서 이동되도록 할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
반도체용 기판, LCD, 태양전지 등의 기판을 제조하기 위해, 일반적으로 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판 처리 공정들이 수행된다.
이러한 공정들을 수행하기 위해서는 상기 기판들을 각 공정으로 일정한 간격을 유지시키면 이동시켜야 한다.
종래에는 기판들을 이동시키기 위해 일반적인 벨트타입의 컨베이어를 이용하였다.
그러나, 이러한 컨베이어는 단순히 상부에 놓인 기판들을 이동시키는 기능만 가지고 있어, 컨베이어의 상부로 투입되는 기판들의 간격이 일정하지 못하게 되는 경우가 발생된다.
이로 인해, 컨베이어의 상부에 놓인 기판을 다른 곳으로 옮기는 픽업장치가 일정한 간격으로 놓이지 않은 기판들을 옮기기가 곤란한 문제가 발생 되었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 다수개의 기판들을 일정한 간격을 유지시키면서 이동시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 이송장치는, 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와; 상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되, 상기 제2이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와; 상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와; 상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2이송부재는, 상기 제2벨트의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판의 양측을 가이드하는 가이드부재를 더 포함하여 이루어진다.
상기 가이드부재는 상기 제2벨트의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착된다.
상기 걸림돌기의 돌출길이는 상기 기판의 두께보다 크다.
상기 걸림돌기는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성된다.
상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 공급한다.
상기 카세트와 상기 제2이송부재 사이에 배치되어 상기 카세트에서 공급된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 이송시키는 제1이송부재를 더 포함하여 이루어진다.
상기 제1이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 상기 제2벨트로 이송시키는 제1벨트와; 상기 제1벨트를 회전시키는 제1구동부를 포함하여 이루어지고, 상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제1벨트의 일단의 상면으로 하강시키며, 상기 제1벨트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지된다.
상기 제1이송부재는, 상기 제1벨트를 상기 카세트 방향으로 직선이동시키는 벨트이동부를 더 포함하여 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 이송장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
상기 제2벨트에 형성된 상기 걸림돌기에 의해 다수개의 상기 기판이 항상 일정한 간격을 유지하면서 일방향으로 이동되도록 할 수 있어, 픽업장치가 기판을 일정한 시간간격으로 옮기기가 용이한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 측면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 평면도,
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 카세트와 제1이송부재의 작동과정도,
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 제1이송부재와 제2이송부재의 작동과정도,
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 측면도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 평면도이며, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 카세트와 제1이송부재의 작동과정도이고, 도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 제1이송부재와 제2이송부재의 작동과정도이다.
본 발명의 기판 이송장치는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 카세트(10)와, 제1이송부재(20)와, 제2이송부재(30)를 포함하여 이루어진다.
상기 카세트(10)는 내부에 다수개의 기판(40; 웨이퍼, 실리콘기판 등)이 삽입 배치되고, 상하방향으로 적층 된다.
이러한 상기 카세트(10)는 중심 안쪽에 상하방향 및 전방으로 개방된 배출공(11)이 형성되어 있으며, 따라서 상기 카세트(10)는 상기 기판(40)의 테두리부분을 지지한다.
상기 카세트(10)는 상하방향으로 승강 가능하게 설치된다.
이를 위해 프레임(17)의 안쪽에 상기 카세트(10)가 배치되고, 상부에 위치한 승강실린더(15) 등을 이용하여 상기 카세트(10)를 상하방향으로 이동시키도록 한다.
상기 제1이송부재(20)는 상기 카세트(10)와 상기 제2이송부재(30) 사이에 배치되어 상기 카세트(10)에서 공급된 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)로 이송시키는 역할을 한다.
상기 제1이송부재(20)는 제1벨트(21)와, 제1구동부(22)와, 벨트이동부(23)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1벨트(21)는 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 상기 카세트(10)로부터 배출된 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)로 이송시킨다.
이러한 상기 제1벨트(21)는 일단이 상기 카세트(10)에 인접하게 배치되고 타단이 상기 제2이송부재(30)에 인접하게 배치된다.
보다 구체적으로 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 카세트(10)의 배출공(11)에 삽입되어, 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 상기 기판(40)의 하부에 면접촉하여 상기 카세트(10)로부터 기판(40)을 이송시킨다.
상기 제1구동부(22)는 모터 등으로 이루어져 상기 제1벨트(21)를 회전시킨다.
상기 벨트이동부(23)는 상기 제1벨트(21)를 상기 카세트(10) 방향으로 직선이동시킨다.
이때, 상기 벨트이동부(23)는 상기 제1벨트(21)의 전체가 아닌 상기 제1벨트(21)의 일단만을 상기 카세트(10) 방향으로 직선이동시키도록 함이 바람직하다.
이를 위해 상기 벨트이동부(23)는 실린더와 같이 상기 카세트(10) 방향으로 신축되는 구조로 이루어지도록 한다.
그리고, 상기 제1이송부재(20)는, 상기 벨트이동부(23)의 이동에 의해 상기 제1벨트(21)의 장력이 변경되는 것을 방지하기 위해 장력조절부재(미도시)를 더 포함하여 이루어지도록 한다.
상기 장력조절부재는 일정한 길이를 갖는 상기 제1벨트(21)가 상기 카세트(10) 방향으로 이동됨에 따라, 상기 제1벨트(21)의 이동경로를 변경하여 상기 제1벨트(21)가 항상 동일한 장력을 유지하도록 할 수 있으며, 이러한 장력조절부재는 종래의 공지된 부품을 사용하면 충분한바, 이에 대한 더 자세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 카세트(10)는 상술한 바와 같이 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판(40)을 상기 제1벨트(21)의 일단의 상면으로 하강시키고, 상기 제1벨트(21)는 상부에 놓인 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30) 방향으로 이동시킨다.
상기 제2이송부재(30)는 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 기판(40)을 일방향으로 이송시키는 역할을 한다.
보다 구체적으로 상기 제2이송부재(30)는 상기 카세트(10)에서 상기 제1이송부재(20)로 이송된 기판(40)을 상기 제1이송부재(20)부터 전달받아 일방향으로 이송시킨다.
상기 제2이송부재(30)는 제2벨트(31)와 걸림돌기(32)와 제2구동부(33)와 가이드부재(34) 등을 포함하여 이루어진다.
상기 제2벨트(31)는 무한궤도 형상으로 이루어지고, 상면에 놓인 상기 기판(40)을 일방향 즉 상기 카세트(10)의 반대방향으로 이동시킨다.
상기 걸림돌기(32)는 다수개로 이루어져 상기 제2벨트(31)의 상면에 상호 이격되어 돌출 형성된다.
이때, 상호 이격된 다수개의 상기 걸림돌기(32)는 일정한 간격으로 이격되도록 한다.
이러한 상기 걸림돌기(32)는 상기 제1벨트(21)에서 상기 제2벨트(31)로 공급된 상기 기판(40)이 상기 걸림돌기(32)에 접하여 상기 제2벨트(31)에 대한 상기 기판(40)의 상대적 이동이 저지되도록 하여, 상기 제2벨트(31)에 놓인 상기 기판(40)의 간격이 항상 일정하게 유지되도록 한다.
그리고 상기 걸림돌기(32)의 돌출길이는 상기 기판(40)의 두께보다 크도록 한다.
또한, 상기 걸림돌기(32)는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성되어, 상기 제2이송부재(30)에 놓인 기판(40)을 다른 곳으로 옮기는 별도의 픽업장치가 상기 기판(40)을 흡착하여 상기 제2벨트(31)의 수직방향으로 용이하게 들 수 있도록 한다.
상기 걸림돌기(32)는 상기 제2벨트(31)에 일체로 형성될 수도 있고, 별개로 형성되어 레이저 또는 본딩을 통해 결합될 수도 있다.
상기 제2구동부(33)는 모터로 이루어져 상기 제2벨트(31)를 회전시킨다.
상기 가이드부재(34)는 상기 제2벨트(31)의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트(31)에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판(40)의 양측을 가이드 한다.
이러한 상기 가이드부재(34)는 상기 제2벨트(31)의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착되어 이송된 다수개의 기판(40)이 동일한 라인을 따라 이동될 수 있도록 한다.
경우에 따라 본 발명은 상기 제1이송부재(20)없이 상기 카세트(10)에 삽입된 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)에 곧바로 공급할 수도 있다.
이때, 상기 제2이송부재(30)의 일단은 상기 카세트(10)에 인접하게 배치되도록 한다.
이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.
도 4a에 도시된 바와 같이 상기 카세트(10)를 수평방향으로 이동시켜 상기 제1벨트(21)의 일단에 인접하게 배치한다.
이때, 상기 카세트(10)가 수평방향으로 용이하게 이동되도록 하기 위해 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 제2이송부재(30) 방향으로 이동되어 있도록 한다.
따라서, 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 카세트(10)의 배출공(11)에 삽입된 상태가 아니다.
그 후 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 벨트이동부(23)를 이용하여 상기 제1벨트(21)의 일단이 상기 카세트(10)의 배출공(11)의 하부에 배치되도록 한다.
이러한 상태에서 도 4c에 도시된 바와 같이 상기 카세트(10)가 하강함에 따라 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 상기 기판(40)은 상기 제1벨트(21)의 상면에 접하게 된다.
이때, 상기 제1벨트(21)는 회전하고 있기 때문에, 상기 기판(40)은 회전하는 상기 제1벨트(21)의 상면에 접하면서 상기 카세트(10)의 반대방향으로 이송된다.
상기 카세트(10)에서 상기 제1이송부재(20)로 이동된 상기 기판(40)은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2이송부재(30)로 이동된다.
도 5a에 도시된 바와 같이 상기 제1벨트(21)에서 일방향으로 이동중인 기판(40)은 상기 제2벨트(31)로 옮겨지게 된다.
이때, 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(31)의 속도차가 있을 수 있는데, 특히 상기 제1벨트(21)의 이동속도가 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 빠른 경우 상기 제1벨트(21)에 놓인 상기 기판(40)은 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 빨리 일방향으로 이동하게 된다.
이 경우, 상기 기판(40)은 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 걸림돌기(32)에 접하여 상기 제2벨트(31)에 대한 상기 기판(40)의 상대적 이동이 저지되고, 상기 걸림돌기(32) 사이에서 상기 제2벨트(31)에 놓인 상태로 이동할 수 있게 된다.
또한, 상기 제1벨트(21) 및 제2벨트(31)가 속도가 동일하거나 상기 제1벨트(21)의 이동속도가 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 느린 경우에도, 상기 기판(40)이 상기 제2벨트(31)의 상면에서 슬립이 발생될 수 있는데, 이때 도 5c에 도시된 바와 같이 상기 걸림돌기(32)에 의해 상기 기판(40)이 밀리는 것을 방지할 수 있다.
위와 같이 상기 제2벨트(31)에 형성된 상기 걸림돌기(32)에 의해 다수개의 상기 기판(40)이 항상 일정한 간격을 유지하면서 일방향으로 이동되도록 할 수 있다.
상기 제2벨트(31)의 상부에 놓인 상기 기판(40)은 별도의 픽업장치에 의해 다른 곳으로 옮겨지게 된다.
본 발명인 기판 이송장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
본원발명은 반도체용 기판, LCD, 태양전지 등의 기판을 이송하는 장치에 적용될 수 있다.

Claims (8)

  1. 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와;
    상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되,
    상기 제2이송부재는,
    무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와;
    상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와;
    상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며,
    상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 제2이송부재는,
    상기 제2벨트의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판의 양측을 가이드하는 가이드부재를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 가이드부재는 상기 제2벨트의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 청구항1에 있어서,
    상기 걸림돌기의 돌출길이는 상기 기판의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 청구항1 또는 청구항4에 있어서,
    상기 걸림돌기는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 청구항1에 있어서,
    상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 청구항1 또는 청구항6에 있어서,
    상기 카세트와 상기 제2이송부재 사이에 배치되어 상기 카세트에서 공급된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 이송시키는 제1이송부재를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 제1이송부재는,
    무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 상기 제2벨트로 이송시키는 제1벨트와;
    상기 제1벨트를 회전시키는 제1구동부를 포함하여 이루어지고,
    상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제1벨트의 일단의 상면으로 하강시키며,
    상기 제1벨트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  8. 청구항7에 있어서,
    상기 제1이송부재는,
    상기 제1벨트를 상기 카세트 방향으로 직선이동시키는 벨트이동부를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109920749A (zh) * 2017-12-12 2019-06-21 湘潭宏大真空技术股份有限公司 一种大面积玻璃基板装载机

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101894476B1 (ko) 2016-12-01 2018-10-04 김성용 기판 정렬 투입장치
CN106735933A (zh) * 2016-12-27 2017-05-31 天津曼科科技有限公司 一种太阳能硅晶片自动切割机
KR102350865B1 (ko) * 2017-02-23 2022-01-13 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈
KR101817315B1 (ko) * 2017-07-27 2018-01-11 주식회사 크럭셀 영상판 반송장치 및 이를 이용한 영상판 스캐너
CN117316830B (zh) * 2023-11-28 2024-02-02 成都高投芯未半导体有限公司 一种半导体封装系统及控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001010711A (ja) * 1999-06-28 2001-01-16 Naohito Miyashita 伸縮可能なベルトコンベアー
KR20130062837A (ko) * 2011-12-05 2013-06-13 주식회사 테라세미콘 기판 이송 시스템
JP2014007193A (ja) * 2012-06-21 2014-01-16 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送システム
KR20140033496A (ko) * 2011-09-29 2014-03-18 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 반송 시스템

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100040037A (ko) 2008-10-09 2010-04-19 김병준 기판이송용 트레이 및 이를 구비한 진공처리장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001010711A (ja) * 1999-06-28 2001-01-16 Naohito Miyashita 伸縮可能なベルトコンベアー
KR20140033496A (ko) * 2011-09-29 2014-03-18 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 반송 시스템
KR20130062837A (ko) * 2011-12-05 2013-06-13 주식회사 테라세미콘 기판 이송 시스템
JP2014007193A (ja) * 2012-06-21 2014-01-16 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109920749A (zh) * 2017-12-12 2019-06-21 湘潭宏大真空技术股份有限公司 一种大面积玻璃基板装载机

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