[go: up one dir, main page]

WO2015141151A1 - 有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法 - Google Patents

有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2015141151A1
WO2015141151A1 PCT/JP2015/001002 JP2015001002W WO2015141151A1 WO 2015141151 A1 WO2015141151 A1 WO 2015141151A1 JP 2015001002 W JP2015001002 W JP 2015001002W WO 2015141151 A1 WO2015141151 A1 WO 2015141151A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
solvent
solution
boiling point
viscosity
organic light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2015/001002
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
高田　昌和
裕隆 南野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Joled Inc
Original Assignee
Joled Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Joled Inc filed Critical Joled Inc
Priority to US15/125,403 priority Critical patent/US9865816B2/en
Priority to JP2016508493A priority patent/JP6317429B2/ja
Publication of WO2015141151A1 publication Critical patent/WO2015141151A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/15—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating characterised by the solvent used
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14—Carrier transporting layers
    • H10K50/15—Hole transporting layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14—Carrier transporting layers
    • H10K50/16—Electron transporting layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2101/00—Properties of the organic materials covered by group H10K85/00
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2101/00—Properties of the organic materials covered by group H10K85/00
    • H10K2101/20—Delayed fluorescence emission

Definitions

  • the present invention relates to physical properties of a solution for forming a functional layer included in an organic light emitting device.
  • An organic light-emitting element is a light-emitting element using an electroluminescence phenomenon of an organic material, and includes a pair of electrodes composed of an anode and a cathode, and a light-emitting layer sandwiched between the electrodes.
  • a hole injection layer, a hole transport layer, or a hole injection / transport layer is interposed between the anode and the light emitting layer, and between the cathode and the light emitting layer, if necessary.
  • An electron injection layer, an electron transport layer, or an electron injection / transport layer is interposed.
  • the light emitting layer, hole injection layer, hole transport layer, hole injection / transport layer, electron injection layer, electron transport layer, and electron injection / transport layer each perform their own functions such as light emission, charge injection and transport. These layers are collectively referred to as “functional layers”.
  • organic light emitting elements correspond to RGB sub-pixels, and adjacent RGB sub-pixels are combined to form one pixel, and the pixels are arranged in a matrix. An image display area is formed.
  • the length of one side of each pixel is required to be formed with a minute size of about 500 ⁇ m or less.
  • the thickness of the functional layer in each element needs to be set as thin as several tens to several hundreds nm.
  • the light emitting characteristics of the organic light emitting element are sensitive to the film thickness of the functional layer, it is required to form the functional layer flat when the functional layer is formed by a wet method.
  • the film thickness at the end of the functional layer becomes thicker than the film thickness at the central part, or the film thickness at the end of the functional layer becomes thinner than the film thickness at the central part. In some cases, it is difficult to ensure the flatness of the functional layer.
  • an object of the present invention is to provide a solution capable of reducing a difference in film thickness between an end portion and a central portion of a functional layer, and a method for manufacturing an organic light emitting element.
  • the solution according to one embodiment of the present invention is a solution for forming a functional layer included in the organic light emitting element.
  • the solution includes a functional material constituting the functional layer and a solvent.
  • the solvent includes a high boiling point solvent composed of one or more solvent components having a boiling point of 200 ° C. or higher.
  • the high boiling point solvent has a viscosity of 13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s and a surface tension of 33 mN / m to 37 mN / m.
  • (A)-(c) is a schematic diagram showing a drying process of a solution when a functional layer is formed by a wet method. Diagram showing boiling point, vapor pressure, viscosity and surface tension of each solvent component (A) is a plan view of the substrate used in the experiment, and (b) is a cross-sectional view taken along the line AA.
  • (A) is a schematic diagram when the shape of the functional layer is flat
  • (b) is a schematic diagram when the shape of the functional layer is convex
  • (c) is a diagram when the shape of the functional layer is concave.
  • Pattern diagram The figure which shows an example of the photograph of the functional layer formed using each solvent, and the evaluation result of the shape of the functional layer Figure showing the results of evaluating the shape of the functional layer, the viscosity of the high boiling point solvent in the solution, and the surface tension of the high boiling point solvent in the solution A graph plotting the viscosity of the high boiling point solvent and the surface tension of the high boiling point solvent for each solvent
  • the figure which shows the plane shape and cross-sectional shape of the functional layer for every solvent A graph plotting the ratio of the high-viscosity solvent occupying the high-boiling solvent of each solvent and the flat area of the flat area in the light-emitting area Graph showing the dependence of functional material concentration in solution on solution viscosity FIGS.
  • FIG. 4A to 4G are cross-sectional views for explaining a method for manufacturing an organic light-emitting element.
  • the perspective view which shows an example of the shape of a partition layer The perspective view which shows another example of the shape of a partition layer (A)-(c) is a schematic diagram showing the drying process of the solution when the partition layer of FIG. 13 is used.
  • Functional block diagram of organic display device A perspective view illustrating the appearance of an organic display device
  • FIG. 1 shows a drying process of a solution when a functional layer is formed by a wet method.
  • the solution 13 includes a functional material constituting the functional layer and a solvent for dissolving or dispersing the functional material.
  • the solution 13 is applied to the region partitioned by the partition wall 12 on the substrate 11 (FIG. 1A).
  • the applied solution 13 has a shape in which the central portion swells due to the surface tension of the solution 13.
  • the solvent in the solution 13 gradually evaporates from the surface of the solution 13.
  • the evaporation rate of the solvent at the end of the solution 13 is larger than the evaporation rate of the solvent at the center. This is because the evaporated solvent is difficult to escape over the central part and the vapor pressure of the solvent is easily maintained high, whereas the evaporated solvent easily escapes to the surroundings and tends to lower the solvent vapor pressure over the edge.
  • a solution flow 14 is generated in the direction from the central portion to the end portion in the surface layer portion of the solution 13, and accordingly, in the deep layer portion of the solution 13, the solution flows in the direction from the end portion to the central portion.
  • Stream 15 is generated.
  • the amount of the solution 13 gradually decreases (FIG. 1B), and the concentration of the functional material increases accordingly.
  • all the solvent in the solution 13 evaporates to form the functional layer 16 made of a functional material (FIG. 1C).
  • the shape of the functional layer 16 is more dependent on the shape of the solution at the end (FIG. 1 (b)) and the behavior of the functional material in the solution than at the beginning of the drying process of the solution 13 (FIG. 1 (a)). Conceivable.
  • the inventors appropriately set parameters that determine the shape of the solution 13 and the behavior of the functional material at the end of the drying process of the solution 13 in order to reduce the film thickness difference between the end and the center of the functional layer 16. I thought it should be adjusted. Furthermore, the inventors paid attention to the viscosity and surface tension of a high-boiling solvent having a boiling point of 200 ° C. or higher as these parameters.
  • the high boiling point solvent is focused on because the physical properties of the solution 13 at the end of the drying process of the solution are considered to largely depend on the physical properties of the high boiling point solvent.
  • the solution 13 includes a high-boiling solvent and a low-boiling solvent
  • the low-boiling solvent evaporates before the high-boiling solvent in the drying process of the solution 13, and a large amount of the high-boiling solvent remains at the end of the drying process of the solution 13. Will do.
  • the solution 13 includes a high boiling point solvent and does not include a low boiling point solvent, only the high boiling point solvent exists at the beginning and the end of the drying process of the solution 13.
  • the solution 13 contains a high boiling point solvent
  • the physical properties of the solution 13 at the end of the drying process of the solution 13 largely depend on the physical properties of the high boiling point solvent.
  • the reason for focusing on viscosity and surface tension among the physical properties of high-boiling solvents is that viscosity affects the behavior of functional materials in solution, and surface tension is thought to affect the shape of the solution. is there.
  • the inventors selected one or a plurality of solvent components, and obtained a plurality of solvents by mixing the selected solvent components in one or a plurality of volume ratios. And the functional layer 16 was formed using each solvent, and the shape of each functional layer 16 was observed. As a result, it has been found that if the viscosity and surface tension of the high-boiling solvent contained in the solution are within a specific range, the film thickness difference between the end portion and the central portion of the functional layer 16 can be reduced.
  • a solution according to one aspect of the present invention includes a functional material that constitutes a functional layer included in an organic light-emitting element, and a solvent.
  • the solvent includes a high boiling point solvent composed of one or more solvent components having a boiling point of 200 ° C. or higher.
  • the high boiling point solvent has a viscosity of 13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s and a surface tension of 33 mN / m to 37 mN / m.
  • the viscosity of the high boiling point solvent was calculated by calculating the product of the volume ratio of the solvent component and the viscosity of the solvent component at room temperature for each solvent component. It is obtained by adding the product of each solvent component.
  • the surface tension of the high boiling point solvent is obtained by calculating the product of the volume ratio of the solvent component and the surface tension of the solvent component at room temperature for each solvent component, and adding the calculated product of each solvent component. It is done.
  • the viscosity of the high boiling point solvent may be greater than 15 mPa ⁇ s.
  • At least one of the one or more solvent components constituting the high boiling point solvent is a high viscosity solvent having a viscosity of 20 mPa ⁇ s or more, and the proportion of the high viscosity solvent in the high boiling point solvent is 35 vol% or more. It is good as well. Thereby, the ratio of the flat area
  • the ratio of the high viscosity solvent to the high boiling point solvent may be 50 vol% or more. Thereby, the ratio of the flat area
  • the solvent may further include a low boiling point solvent composed of one or a plurality of solvent components having a boiling point of less than 200 ° C.
  • the viscosity of the solution may be 5 mPa ⁇ s or more and 15 mPa ⁇ s or less.
  • the viscosity of the solution has an appropriate range from the viewpoint of ease of application.
  • the viscosity of the high-boiling solvent is determined from the viewpoint of the flatness of the shape of the functional layer, and thus the viscosity of the solution may deviate from a range suitable for application. Therefore, the viscosity of the solution may be adjusted to an appropriate range by including a low boiling point solvent in the solution.
  • one or more solvent components constituting the low boiling point solvent may have a boiling point higher than 160 ° C. As a result, it is possible to prevent a situation in which a part of the low boiling point solvent evaporates before application of the solution and the concentration of the solution and the solvent composition ratio change.
  • the solvent may further include a low-boiling solvent composed of one or more solvent components having a boiling point of less than 200 ° C., and the proportion of the high-boiling solvent in the solvent may be 80% or less.
  • the proportion of the high boiling point solvent in the solvent may be 60% or less.
  • the method for manufacturing an organic light-emitting element of one embodiment of the present invention functions by forming a first electrode, applying a solution containing a functional material and a solvent above the first electrode, and drying the applied solution.
  • a functional layer made of a functional material is formed above the first electrode, and a second electrode is formed above the functional layer.
  • the solvent includes a high boiling point solvent composed of one or a plurality of solvent components having a boiling point of 200 ° C. or higher.
  • the high boiling point solvent has a viscosity of 13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s and a surface tension of 33 mN / m to 37 mN / m.
  • the film thickness difference between the end portion and the central portion of the functional layer can be reduced, and as a result, good light emission characteristics of the organic light emitting device can be obtained.
  • the solution contains a functional material.
  • the functional material is a material constituting the functional layer included in the organic light emitting element.
  • the functional layer is, for example, a light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, a hole injection / transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, and an electron injection / transport layer.
  • Examples of the material for the hole injection layer, the hole transport layer, and the hole injection / transport layer include triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives described in Patent Document 2, phenylenediamine Derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, polyphyrin compounds, aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds, butadiene compounds, polystyrene derivatives, hydrazone derivatives , Triphenylmethane derivatives, and tetraphenylbenzine derivatives.
  • Examples of the material for the light emitting layer include the oxinoid compound, perylene compound, coumarin compound, azacoumarin compound, oxazole compound, oxadiazole compound, perinone compound, pyrrolopyrrole compound, naphthalene compound, anthracene compound, and fluorene compound described in Patent Document 2.
  • Examples of the material for the electron injection layer, the electron transport layer, and the electron injection / transport layer include, for example, a nitro-substituted fluorenone derivative, a thiopyrandioxide derivative, a difequinone derivative, a perylenetetracarboxyl derivative, and an anthraquinodimethane derivative described in Patent Document 2.
  • Fluorenylidenemethane derivatives, anthrone derivatives, oxadiazole derivatives, perinone derivatives, and quinoline complex derivatives can be used.
  • the solution contains a solvent in addition to the functional material.
  • the solvent includes a high boiling point solvent, and optionally includes a low boiling point solvent.
  • the boundary between the high boiling point and the low boiling point is set to 200 ° C. for convenience.
  • the high boiling point solvent is composed of one or more solvent components having a boiling point of 200 ° C. or higher.
  • the low boiling point solvent is composed of one or more solvent components having a boiling point of less than 200 ° C.
  • At least one of one or a plurality of solvent components constituting the high boiling point solvent is used as a high viscosity solvent.
  • the boundary between high viscosity and low viscosity is 20 mPa ⁇ s.
  • the solvent component examples include methanol, ethanol, propanol, isopropyl alcohol, butanol, butanol, isobutyl alcohol, and sec-butyl alcohol.
  • Tert-butyl alcohol Tert-Butyl Alcohol
  • ethylene glycol Ethylene Glycol
  • 1,2-dimethoxyethane diethyl ether
  • Diethyl Ether diisopropyl ether
  • acetic acid Acetic Acid, Ethyl ⁇ ⁇ Acetate
  • Acetic anhydride Acetic Anhydride
  • Tetrahydrofuran 1,4-Dioxane
  • Acetone Ethyl methyl ketone
  • Carbon tetrachloride Chloroform Dichloromethane, 1,2-Dichloroethane, Benzene, Toluene, Xylene, Cyclohexane, Pentane,
  • the inventors prepared the solvent shown in FIG. 2 as the solvent component.
  • FIG. 2 shows the boiling point, vapor pressure, viscosity, and surface tension of each solvent component.
  • the inventors select one or a plurality of solvent components from among these solvent components, and mix the selected solvent components at an appropriate volume ratio, so that the solvents A, B, C, D, E, F, G and H were obtained.
  • FIG. 3A shows a plan view of the substrate used in the experiment
  • FIG. 3B shows a cross-sectional view taken along the line AA.
  • the partition wall 12 surrounds a region where the functional layer of the glass substrate 11 is formed.
  • the width in the longitudinal direction of the region partitioned by the partition 12 is about 254 ⁇ m, and the width in the short direction is about 60 ⁇ m.
  • the target film thickness of the functional layer 16 is set to 30 nm.
  • the inventors further classified the shape of the formed functional layer into “flat”, “convex” or “concave”.
  • a method for classifying the shape of the functional layer will be described with reference to FIG. 4A shows flatness, FIG. 4B shows a convex shape, and FIG. 4C shows a concave shape.
  • the position where the height of the upper surface of the functional layer 16 from the substrate 11 is 200 nm is defined as the reference position.
  • the reference position In the cross section of FIG. 4A, there are two reference positions. The region sandwiched between these reference positions is defined as the light emitting region of the functional layer 16. The position of the center of the light emitting region of the functional layer 16 is defined as the central portion C of the functional layer 16. Further, the positions near the central portion C by 12.5% of the width of the light emitting region of the functional layer 16 from the respective reference positions are defined as the end portion L and the end portion R of the functional layer 16, respectively.
  • the thickness of the central portion C of the functional layer 16 is d C
  • the thickness of the end portion L is d L
  • the thickness of the end portion R is d R.
  • ⁇ d is calculated using the following formula, and the shape of the functional layer 16 is classified using the film thickness difference ⁇ d.
  • ⁇ d (d L + d R ) / 2 ⁇ d C “Flat” means that the absolute value of the film thickness difference ⁇ d is 20% or less of the film thickness d C of the central portion C.
  • the “convex shape” is a case where the absolute value of the film thickness difference ⁇ d is larger than 20% of the film thickness d C of the central portion C and the film thickness difference ⁇ d is negative.
  • the “concave shape” is a case where the absolute value of the film thickness difference ⁇ d is larger than 20% of the film thickness d C of the central portion C and the film thickness difference ⁇ d is positive.
  • FIG. 5 shows an example of a photograph of a functional layer formed using each solvent and an evaluation result of the shape of the functional layer.
  • FIG. 6 shows the evaluation results of the shape of the functional layer, the viscosity of the high boiling point solvent in the solution, and the surface tension of the high boiling point solvent in the solution.
  • FIG. 7 shows the viscosity of the high boiling point solvent and the high boiling point solvent in each solvent. The graph which plotted surface tension is shown.
  • the shape of the functional layer became flat. From this, in order to flatten the shape of the functional layer, the viscosity of the high boiling point solvent in the solution is 13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s, and the surface tension of the high boiling point solvent in the solution is 33 mN / m to 37 mN / s. It can be seen that it should be less than m. Further, since the higher the boiling point of the solvent, the higher the tendency of the flattening, the more preferable the viscosity of the high boiling point solvent in the solution is greater than 15 mPa ⁇ s.
  • the lower limit of the surface tension range of the high boiling point solvent in the solution may be 34 mN / m instead of 33 mN / m.
  • the upper limit of the surface tension range of the high-boiling solvent in the solution may be 36 mN / m instead of 37 mN / m.
  • the viscosity of the high boiling point solvent in the solution to 25 mPa ⁇ s or less, it can be suitably used for an ink jet method.
  • FIG. 8 shows the planar shape and cross-sectional shape of the functional layer for each solvent.
  • the scale of the planar image is common to each solvent.
  • the scale of the cross-sectional image is common to each solvent. According to this, the group including the solvents D, F, and G (the shape of the functional layer is flat in FIG. 7) and the group including the solvents A, B, C, and E (the shape of the functional layer is convex or concave in FIG.
  • the shape of the functional layer is different.
  • a so-called coffee stain phenomenon occurs, and in the group including the solvents A, B, C, and E, the coffee stain phenomenon does not occur.
  • the cause of these differences is considered to be due to the proportion of the high boiling point solvent in the solvent.
  • the proportion of the high boiling point solvent is 33% for solvent A, 33% for solvent B, 60% for solvent C, 100% for solvent D, 53% for solvent E, 83% for solvent F, and 83% for solvent G. . If the ratio of the high boiling point solvent is large, convection is likely to occur during the drying process of the solution, and as a result, the coffee stain phenomenon is considered to occur.
  • the viscosity and surface tension of the high-boiling solvent are about the same as those of the group containing the solvents D, F, and G (13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s, 33 mN / m to 37 mN / m), and higher. It is preferable to lower the boiling point solvent ratio than the group containing the solvents D, F and G (80% or less). Furthermore, it may be lowered to the same level as the solvents A, B, C and E (60% or less). Thereby, a better film shape can be obtained. In addition, the ratio of the high boiling point solvent can be easily lowered by the addition of the low boiling point solvent.
  • the inventors prepared a plurality of solvents, formed a functional layer using each solvent, and examined a ratio of a flat region in a light emitting region of the formed functional layer.
  • the flat region is the length of a region where the functional layer thickness falls within a range of ⁇ 20% from the target film thickness (30 nm in this example).
  • FIG. 9 is a graph plotting the ratio of the high-viscosity solvent occupying the high boiling point solvent of each solvent and the flat area of the flat area occupying the light-emitting area.
  • the proportion of the high-viscosity solvent is 0 vol%
  • the proportion of the flat region in the light emitting region is distributed in the range of 40% to 60%.
  • the proportion of the flat region in the light emitting region is distributed in the range of 60% to 70%.
  • the proportion of the flat region in the light emitting region is distributed in the range of 75% to 85%.
  • the solvent group in which the proportion of the high-viscosity solvent is around 35 vol% has a larger proportion of the flat region in the light emitting region than the solvent group in which the proportion of the high-viscosity solvent is 0 vol%.
  • the proportion of the flat region in the light emitting region is further large, which is about 75% to 85%. Therefore, the flatness of the functional layer can be improved by setting the proportion of the high viscosity solvent in the high boiling point solvent to 35 vol% or more.
  • the ratio of the high viscosity solvent is more preferably 50 vol% or more.
  • FIG. 10 shows the dependence of the concentration of the functional material in the solution on the viscosity of the solution.
  • Four types of solutions with different functional materials were prepared using a common solvent, and the change in the viscosity of the solution when the concentration of the functional material in the solution was varied for each solution was measured. According to this, it turns out that the viscosity of a solution becomes large, so that the density
  • the ratio of the change in the viscosity of the solution to the change in the concentration of the functional material is smaller than in the case of the high molecular material.
  • the concentration of the functional material increases as the solvent evaporates during the drying of the solution.
  • FIG. 10 shows that the viscosity of the solution increases as the concentration of the functional material increases in the course of drying the solution.
  • the viscosity of the solution is increased, the flow of the solution is weakened, and the influence on the behavior of the functional material is reduced.
  • the ratio of the change in the viscosity of the solution with respect to the change in the concentration of the functional material is smaller than in the case of the high molecular material.
  • the functional material when the functional material is a polymer material, the flow of the solution tends to be weak, and the influence on the behavior of the functional material is small.
  • the functional material when the functional material is a low molecular material, the flow of the solution is difficult to weaken, and the influence on the behavior of the functional material is great. In other words, it can be said that flattening the shape of the functional layer is difficult when the functional material is a high molecular material or a low molecular material, but is particularly difficult when the functional material is a low molecular material.
  • the low molecular weight material refers to a material for which the Mark-Houwink-Sakurada equation does not hold. The molecular weight is several thousand or less.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining a method for manufacturing an organic light emitting device.
  • the substrate 101 is prepared, and the first electrode 102 is formed on the substrate 101 (FIG. 11A).
  • the partition layer 103 is formed on the substrate 101 (FIG. 11B).
  • the partition layer 103 is electrically insulating and has an opening above the first electrode 102. A portion around the opening of the partition layer 103 functions as a partition.
  • FIG. 12 shows the shape of the partition wall layer 103.
  • the solution 104 is applied to the region partitioned by the partition layer 103 above the first electrode.
  • the solution 104 includes a functional material and a solvent.
  • the functional material will be described as a material for forming the hole injection / transport layer.
  • the solvent includes a high boiling point solvent composed of one or more solvent components having a boiling point of 200 ° C. or higher.
  • the high boiling point solvent has a viscosity of 13 mPa ⁇ s to 25 mPa ⁇ s and a surface tension of 33 mN / m to 37 mN / m.
  • the applied solution 104 is dried to form a hole injection / transport layer 105 above the first electrode 102 (FIG. 11D). Drying is performed at atmospheric pressure or in vacuum, with or without heating.
  • the light emitting layer 106 is formed above the hole injection / transport layer 105 (FIG. 11E), and the electron injection / transport layer 107 is formed above the light emitting layer 106 (FIG. 11F).
  • a second electrode 108 is formed above the injection / transport layer 107 (FIG. 11G).
  • the difference in film thickness between the end portion and the central portion of the hole injection / transport layer 105 can be reduced, and as a result, good light emission characteristics of the organic light emitting device can be obtained.
  • the solvent may have other features disclosed in the first embodiment in addition to the above features.
  • the viscosity of the high boiling point solvent may be greater than 15 mPa ⁇ s.
  • the ratio of the high viscosity solvent to the high boiling point solvent may be 35 vol% or more, or 50 vol% or more.
  • the solvent may include a low boiling point solvent composed of one or a plurality of solvent components having a boiling point of less than 200 ° C., and the viscosity of the solution may be 5 mPa ⁇ s or more and 15 mPa ⁇ s or less. By setting the viscosity of the solution within this range, it can be suitably used for an ink jet method.
  • One or more solvent components constituting the low boiling point solvent may all have a boiling point higher than 160 ° C. As a result, it is possible to prevent a situation in which a part of the low boiling point solvent evaporates before application of the solution and the concentration of the solution and the solvent composition ratio change.
  • the hole injection / transport layer 105 is illustrated as a functional layer formed by application of a solution, but is not limited thereto.
  • the hole injection / transport layer 105 the light emitting layer 106 or the electron injection / transport layer 107 may be formed by application of a solution.
  • several of these functional layers may be formed by application
  • the first electrode, the hole injection / transport layer, the light emitting layer, the electron injection / transport layer, and the second electrode are stacked, but the present invention is not limited to this.
  • the partition wall layer 103 has the shape shown in FIG. 12, but the present invention is not limited to this.
  • a partition wall layer 203 having a shape shown in FIG. 13 may be used.
  • the partition layer 203 includes a plurality of first banks 203a and a plurality of second banks 203b.
  • the first bank 203a is along the longitudinal direction of the light emitting region.
  • the second bank 203b exists between the adjacent first banks 203a and extends along the short direction of the light emitting region.
  • the height of the second bank 203b is lower than the height of the first bank 203a.
  • FIG. 14 shows a drying process of the solution when the partition wall layer of FIG. 13 is used.
  • partition region a region partitioned by the partition layer 203
  • the solution 204 applied to a region partitioned by the partition layer 203 reaches the adjacent partition region beyond the second bank 203b (FIG. 14 (a)).
  • the solution 204 is accommodated in the partition region (FIG. 14B), and after further drying, the functional layer 205 is formed in the partition region above the first electrode 102.
  • the final stage of the drying process of the solution 204 (FIG. 14B) is the same situation as when the partition wall layer 103 is used. Therefore, even when the partition wall layer 203 is used, the same effect as when the partition wall layer 103 is used can be obtained.
  • FIG. 15 shows functional blocks of the organic display device.
  • FIG. 16 illustrates the appearance of the organic display device.
  • the organic display device 20 includes an organic display panel 21 and a drive control unit 22 electrically connected thereto.
  • the organic display panel 21 has the organic light emitting element shown in FIG.
  • the drive control unit 22 includes a drive circuit 23 that applies a voltage between the first electrode 102 and the second electrode 108, and a control circuit 24 that controls the operation of the drive circuit 23.
  • One embodiment of the present invention can be used for, for example, an organic light-emitting element.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

　溶液は、機能層を構成する機能性材料と、溶媒とを含む。溶媒は、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含む。高沸点溶媒は、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する。

Description

有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法
　本発明は、有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液の物性に関する。
　近年、有機発光素子の研究開発が進んでいる。有機発光素子は、有機材料の電界発光現象を利用した発光素子であり、陽極と陰極とからなる一対の電極と、電極間に挟まれた発光層とを有する。また、陽極と発光層との間には、例えば、必要に応じてホール注入層、ホール輸送層またはホール注入兼輸送層が介挿され、陰極と発光層との間には、必要に応じて電子注入層、電子輸送層または電子注入兼輸送層が介挿される。発光層、ホール注入層、ホール輸送層、ホール注入兼輸送層、電子注入層、電子輸送層、および電子注入兼輸送層は、各々発光、電荷の注入と輸送といった固有の機能を果たすので、これらの層を総称して「機能層」と称する。
　フルカラー表示の有機表示装置においては、このような有機発光素子が、ＲＧＢ各色のサブピクセルに相当し、隣り合うＲＧＢのサブピクセルが合わさって一画素が形成され、この画素がマトリックス状に配列されて画像表示領域が形成されている。
　このような有機表示装置において、高精細な画像を得るために、各画素の一辺の長さを５００μｍ程度以下の微小サイズで形成することが要請されている。このように画素サイズが微小のものでは各素子における機能層の膜厚も数十～数百ｎｍと薄く設定する必要がある。
　そして、有機表示装置を製造する際には、電極の上方に機能層を形成する工程がある。この工程において、機能性材料と溶媒とを含む溶液を電極の上方に塗布し、塗布された溶液を乾燥させることにより機能層を形成するウェット方式が提案されている。
日本国特開２０１１－２３６６８号公報 日本国特開平５－１６３４８８号公報
　ところで、有機発光素子の発光特性は、機能層の膜厚に敏感であるため、機能層をウェット方式で形成する際には、機能層を平坦に形成することが要求される。しかしながら、ウェット方式で機能層を形成すると、機能層の端部の膜厚が中央部の膜厚よりも厚くなる、あるいは、機能層の端部の膜厚が中央部の膜厚よりも薄くなり、機能層の平坦性を確保しにくい場合がある。
　本発明は、上記課題に鑑み、機能層の端部と中央部の膜厚差を低減できる溶液、および、有機発光素子の製造方法を提供することを目的とする。
　本発明の一態様に係る溶液は、有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液である。溶液は、機能層を構成する機能性材料と、溶媒とを含む。溶媒は、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含む。高沸点溶媒は、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する。
　溶液中の高沸点溶媒の粘度と表面張力を上記範囲内とすることで、機能層の端部と中央部の膜厚差を低減することができる。
（ａ）～（ｃ）は、ウェット方式で機能層を形成した場合の溶液の乾燥過程を示す模式図 各溶媒成分の沸点、蒸気圧、粘度、表面張力を示す図 （ａ）は実験に用いた基板の平面図であり、（ｂ）はそのＡ－Ａ断面図 （ａ）は機能層の形状が平坦の場合の模式図であり、（ｂ）は機能層の形状が凸状の場合の模式図であり、（ｃ）は機能層の形状が凹状の場合の模式図 各溶媒を用いて形成した機能層の写真の一例と機能層の形状の評価結果を示す図 機能層の形状の評価結果、溶液中の高沸点溶媒の粘度、溶液中の高沸点溶媒の表面張力を示す図 各溶媒の高沸点溶媒の粘度と高沸点溶媒の表面張力をプロットしたグラフ 溶媒毎の機能層の平面形状と断面形状とを示す図 各溶媒の高沸点溶媒に占める高粘度溶媒と、発光領域に占める平坦領域の平坦領域の割合をプロットしたグラフ 溶液の粘度における溶液中の機能性材料の濃度の依存性を示すグラフ （ａ）から（ｇ）は、有機発光素子の製造方法を説明するための断面図 隔壁層の形状の一例を示す斜視図 隔壁層の形状の別の例を示す斜視図 （ａ）～（ｃ）は、図１３の隔壁層を利用した場合の溶液の乾燥過程を示す模式図 有機表示装置の機能ブロック図 有機表示装置の外観を例示する斜視図
　＜１＞　本発明の一態様に至った経緯
　図１に、ウェット方式で機能層を形成した場合の溶液の乾燥過程を示す。溶液１３は、機能層を構成する機能性材料と、機能性材料を溶解または分散するための溶媒とを含む。溶液１３は、基板１１上の隔壁１２で区画された領域に塗布される（図１（ａ））。
　塗布された溶液１３は、溶液１３の表面張力により中央部が膨らんだ形状となる。溶液１３中の溶媒は、溶液１３の表面から次第に蒸発する。このとき、図１（ａ）に示すように、溶液１３の端部の溶媒の蒸発速度が中央部の溶媒の蒸発速度よりも大きい。これは、中央部上空では蒸発した溶媒が逃げにくく溶媒の蒸気圧が高く維持されやすいのに対し、端部上空では蒸発した溶媒が周囲に逃げやすく溶媒の蒸気圧が低くなりやすいからである。この蒸発速度の違いにより、溶液１３の表層部では中央部から端部に向かう方向に溶液の流れ１４が生じ、これに伴い、溶液１３の深層部では端部から中央部に向かう方向に溶液の流れ１５が生じる。溶液１３の乾燥が進むと、溶液１３の量が次第に減り（図１（ｂ））、その分、機能性材料の濃度が高くなる。最終的には、溶液１３中の溶媒が全て蒸発することで、機能性材料から構成される機能層１６が形成される（図１（ｃ））。
　機能層１６の形状は、溶液１３の乾燥過程の序盤（図１（ａ））よりも終盤（図１（ｂ））での溶液の形状や溶液中での機能性材料の振る舞いに大きく依存すると考えられる。発明者らは、機能層１６の端部と中央部の膜厚差を低減するには、溶液１３の乾燥過程の終盤での溶液１３の形状や機能性材料の振る舞いを決定付けるパラメータを適切に調整すればよいと考えた。さらに、発明者らは、これらのパラメータとして、200℃以上の沸点を有する高沸点溶媒の粘度と表面張力に着目した。まず、高沸点溶媒に着目したのは、溶液の乾燥過程の終盤の溶液１３の物性は高沸点溶媒の物性に大きく依存すると考えられるからである。例えば、溶液１３が高沸点溶媒と低沸点溶媒を含む場合、溶液１３の乾燥過程では低沸点溶媒が高沸点溶媒よりも先に蒸発し、溶液１３の乾燥過程の終盤では高沸点溶媒が多く残存することになる。また、溶液１３が高沸点溶媒を含み低沸点溶媒を含まない場合は、溶液１３の乾燥過程の序盤でも終盤でも高沸点溶媒しか存在しない。従って、溶液１３が高沸点溶媒を含む場合、溶液１３の乾燥過程の終盤の溶液１３の物性は高沸点溶媒の物性に大きく依存すると言える。また、高沸点溶媒の物性の中でも粘度と表面張力に着目したのは、粘度が溶液中での機能性材料の振る舞いに影響を与え、表面張力が溶液の形状に影響を与えると考えられるからである。
　発明者らは、１または複数の溶媒成分を選択し、選択した溶媒成分を１または複数の体積比で混合することで、複数の溶媒を得た。そして、各溶媒を用いて機能層１６を形成し、各々の機能層１６の形状を観察した。この結果、溶液に含まれる高沸点溶媒の粘度と表面張力が特定の範囲内であれば、機能層１６の端部と中央部との膜厚差を低減できることが判明した。
　＜２＞　本発明の一態様の概要
　本発明の一態様に係る溶液は、有機発光素子に含まれる機能層を構成する機能性材料と、溶媒とを含む。溶媒は、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含む。高沸点溶媒は、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する。
　溶液中の高沸点溶媒の粘度と表面張力を上記範囲内とすることで、機能層の端部と中央部の膜厚差を低減することができる。
　なお、高沸点溶媒が複数の溶媒成分から構成される場合、高沸点溶媒の粘度は、溶媒成分の体積比とその溶媒成分の室温での粘度の積を溶媒成分毎に算出し、算出された各溶媒成分の積を足し合わせることにより得られる。高沸点溶媒の表面張力も、同様に、溶媒成分の体積比とその溶媒成分の室温での表面張力の積を溶媒成分毎に算出し、算出された各溶媒成分の積を足し合わせることにより得られる。
　また、高沸点溶媒の粘度が、15mPa・sより大きいこととしてもよい。
　また、高沸点溶媒を構成する１または複数の溶媒成分の少なくとも１つは、20mPa・s以上の粘度を有する高粘度溶媒であり、高沸点溶媒に占める高粘度溶媒の割合が35vol%以上であることとしてもよい。これにより、機能層における平坦領域の割合を高めることができる。
　また、高沸点溶媒に占める高粘度溶媒の割合が50vol%以上であることとしてもよい。これにより、機能層における平坦領域の割合をより一層高めることができる。
　また、溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、溶液の粘度が、5mPa・s以上15mPa・s以下であることとしてもよい。溶液を塗布する場合、塗りやすさの観点から溶液の粘度には適切な範囲が存在する。ところが、上述の通り、高沸点溶媒の粘度は機能層の形状の平坦性の観点で決められるので、溶液の粘度が塗布に適切な範囲から外れる場合がある。そのため、溶液に低沸点溶媒を含めることで、溶液の粘度を適切な範囲に調整してもよい。溶液の粘度を5mPa・s以上15mPa・s以下とすることで、例えば、インクジェット方式の塗布方法に好適に利用することができる。
　また、低沸点溶媒を構成する１または複数の溶媒成分は、何れも160℃より高い沸点を有することとしてもよい。これにより、溶液の塗布前に低沸点溶媒の一部が蒸発し、溶液の濃度や溶媒組成比が変化してしまうという事態を防止することができる。
　また、溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、溶媒に占める高沸点溶媒の割合が80%以下であることとしてもよい。これにより、コーヒーステイン現象の発生を抑制して良好な膜形状を得ることができる。
　さらに、溶媒に占める前記高沸点溶媒の割合が60%以下であることしてもよい。
　本発明の一態様の有機発光素子の製造方法は、第１電極を形成し、第１電極の上方に機能性材料と溶媒とを含む溶液を塗布し、塗布された溶液を乾燥させることにより機能性材料から構成される機能層を第１電極の上方に形成し、機能層の上方に第２電極を形成する。ここで、溶媒が、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含む。高沸点溶媒は、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する。
　これにより、機能層の端部と中央部の膜厚差を低減でき、その結果、良好な有機発光素子の発光特性を得ることができる。
　＜３＞　第１実施形態（溶液）
　＜３．１＞　機能性材料
　溶液は、機能性材料を含む。機能性材料は、有機発光素子に含まれる機能層を構成する材料である。前述の通り、機能層は、例えば、発光層、ホール注入層、ホール輸送層、ホール注入兼輸送層、電子注入層、電子輸送層、および電子注入兼輸送層である。
　ホール注入層、ホール輸送層、ホール注入兼輸送層の材料としては、例えば、特許文献２に記載のトリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体を利用である。
　発光層の材料としては、例えば、特許文献２に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８－ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２－ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質を利用できる。
　電子注入層、電子輸送層、電子注入兼輸送層の材料としては、例えば、特許文献２に記載のニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体を利用できる。
　＜３．２＞　溶媒
　溶液は、機能性材料に加えて溶媒を含む。溶媒は、高沸点溶媒を含み、必要に応じて低沸点溶媒も含む。本明細書では、便宜上、高沸点と低沸点の境界を200℃とする。高沸点溶媒は、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される。また、低沸点溶媒は、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される。
　さらに、必要に応じて、高沸点溶媒を構成する１または複数の溶媒成分の少なくとも１つを高粘度溶媒とする。本明細書では、便宜上、高粘度と低粘度の境界を20mPa・sとする。
　溶媒成分としては、例えば、メタノール（Methanol）、エタノール（Ethanol）、プロパノール（Propanol）、イソプロピルアルコール（Isopropyl Alcohol）、ブタノール（Butanol）、イソブチルアルコール（Isobutyl Alcohol）、２－ブチルアルコール（sec-Butyl Alcohol）、ｔｅｒｔ－ブチルアルコール（tert-Butyl Alcohol）、エチレングリコール（Ethylene Glycol）、１，２－ジメトキシエタン（1,2-Dimethoxyethane）、ジエチルエーテル（Diethyl Ether）、ジイソプロピルエーテル（Diisopropyl Ether）、酢酸（Acetic Acid）、酢酸エチル（Ethyl Acetate）、無水酢酸（Acetic Anhydride）、テトラヒドロフラン（Tetrahydrofuran）、１，４－ジオキサン（1,4-Dioxane）、アセトン（Acetone）、エチルメチルケトン（Ethyl Methyl Ketone）、四塩化炭素（Carbon Tetrachloride）、クロロホルム（Chloroform）、ジクロロメタン（Dichloromethane）、１，２－ジクロロエタン（1,2-Dichloroethane）、ベンゼン（Benzene）、トルエン（Toluene）、キシレン（Xylene）、シクロヘキサン（Cyclohexane）、ペンタン（Pentane）、ヘキサン（Hexane）、ヘプタン（Heptane）、アセトニトリル（Acetonitrile）、ニトロメタン（Nitromethane）、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（N,N-Dimethylformamide）、ヘキサメチルリン酸トリアミド（Hexamethylphosphoric Triamide）、トリエチルアミン（Triethylamine）、ピリジン（Pyridine）、ジメチルスルホキシド（Dimethyl Slufoxide）、二硫化炭素（Carbon Disulfide）、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン（1,3-Dimethyl-2-Imidazolidinone）、ジプロピレングリコール（Dipropylene Glycol）、ジエチレングリコールモノブチルエーテル（Diethylene glycol monobutyl ether）、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（Ethylene glycol monoethyl ether acetate）、プロピレングリコール（Propylene Glycol）、２，３－ブタンジオール（2,3-Butanediol）、シクロヘキサノール（Cyclohexanol）、シクロヘキシルベンゼン（Cyclohexylbenzene）、エチレングリコールモノフェニルエーテル（Ethylene Glycol Monophenyl Ether）、エチレングリコールモノブチルエーテル（Ethylene Glycol Monobutyl Ether）を利用できる。
　＜３．３＞　実験および考察
　まず、機能層の端部と中央部の膜厚差を低減するための溶媒の物性を求める実験について説明する。
　発明者らは、溶媒成分として、図２に示す溶媒を用意した。図２に、各溶媒成分の沸点、蒸気圧、粘度、表面張力を示す。発明者らは、これらの溶媒成分の中から１または複数の溶媒成分を選択し、選択した溶媒成分を適宜の体積比で混合することで、溶媒Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈを得た。
　発明者らは、得られた溶媒Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈを用いて基板上に機能層を形成した。機能層を構成する機能性材料は、各溶媒で共通とした。実験に用いた基板の平面図を図３（ａ）に示し、そのＡ－Ａ断面図を図３（ｂ）に示す。隔壁１２は、ガラス製の基板１１の機能層を形成する領域を囲む。隔壁１２で区画された領域の長手方向の幅は約２５４μｍ、短手方向の幅は約６０μｍである。本実験では、機能層１６の目標の膜厚を３０ｎｍとする。
　発明者らは、さらに、形成された機能層の形状を「平坦」、「凸状」または「凹状」に分類した。図４を用いて機能層の形状の分類手法を説明する。図４（ａ）は平坦を示し、図４（ｂ）は凸状を示し、図４（ｃ）は凹状を示す。
　図４（ａ）に示すように、隔壁１２の内周面は斜面になっているため、機能層１６の長手方向両側が隔壁１２に乗り上げた形となる。ここでは、機能層１６の上面の基板１１からの高さが２００ｎｍになる位置を基準位置と定義する。図４（ａ）の断面では、基準位置が２箇所存在する。これらの基準位置に挟まれる領域を機能層１６の発光領域と定義する。そして、機能層１６の発光領域の中心の位置を、機能層１６の中央部Ｃと定義する。また、それぞれの基準位置から機能層１６の発光領域の幅の１２．５％だけ中央部Ｃ寄りの位置を、それぞれ機能層１６の端部Ｌ、端部Ｒと定義する。そして、機能層１６の中央部Ｃの膜厚をｄC、端部Ｌの膜厚をｄL、端部Ｒの膜厚ｄRとし、機能層１６の端部と中央部との膜厚差Δｄを以下の数式を用いて算出し、膜厚差Δｄを用いて機能層１６の形状を分類する。
　Δｄ＝（ｄL＋ｄR）／２－ｄC
　「平坦」は、膜厚差Δｄの絶対値が中央部Ｃの膜厚ｄCの２０％以下の場合とする。
　「凸状」は、膜厚差Δｄの絶対値が中央部Ｃの膜厚ｄCの２０％より大きく、且つ、膜厚差Δｄが負の場合とする。
　「凹状」は、膜厚差Δｄの絶対値が中央部Ｃの膜厚ｄCの２０％より大きく、且つ、膜厚差Δｄが正の場合とする。
　図５に、各溶媒を用いて形成した機能層の写真の一例と、機能層の形状の評価結果とを示す。これにより、機能性材料が共通していても溶媒が異なれば、機能層の形状が異なることが分かる。
　図６に、機能層の形状の評価結果、溶液中の高沸点溶媒の粘度、溶液中の高沸点溶媒の表面張力を示し、図７に、各溶媒の高沸点溶媒の粘度と高沸点溶媒の表面張力をプロットしたグラフを示す。
　図７において、溶媒Ａ、Ｂを含むグループと溶媒Ｃ、Ｅを含むグループに着目すると、高沸点溶媒の粘度が概ね同じ場合、高沸点溶媒の表面張力が大きくなれば凸状となり、高沸点溶媒の表面張力が小さくなれば凹状となる傾向が読み取れる。また、図７において、溶媒Ｃ、Ｅを含むグループと溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループに着目すると、高沸点溶媒の表面張力が概ね同じ場合、高沸点溶媒の粘度が大きくなるほど平坦化する傾向が読み取れる。このことから、機能層の形状を平坦にするには、溶液中の高沸点溶媒の粘度と表面張力を適切な範囲に調整することが重要であると言える。
　本実験では、溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループを用いると、機能層の形状が平坦になることが判明した。このことから、機能層の形状を平坦にするには、溶液中の高沸点溶媒の粘度を13mPa・s以上25mPa・s以下とし、溶液中の高沸点溶媒の表面張力を33mN/m以上37mN/m以下とすればよいことが分かる。また、高沸点溶媒の粘度が大きくなるほど平坦化する傾向があるので、溶液中の高沸点溶媒の粘度を15mPa・sより大きくするとより好ましい。また、溶液中の高沸点溶媒の表面張力の範囲の下限を33mN/mに代えて34mN/mにしてもよい。溶液中の高沸点溶媒の表面張力の範囲の上限を、37mN/mに代えて36mN/mにしてもよい。なお、溶液中の高沸点溶媒の粘度を25mPa・s以下とすることで、インクジェット方式の塗布方法に好適に利用することができる。
　発明者らは、さらに、撥液性を有する平坦な基板上に機能層を形成し、形成された機能層の形状を観察した。実験は、溶液を１０滴基板上に滴下し、滴下した溶液を真空乾燥させ、形成された機能層の形状をレーザー顕微鏡（ＶＫ－９７００、キーエンス社）により測定した。図８に溶媒毎の機能層の平面形状と断面形状とを示す。平面形状の画像のスケールは各溶媒で共通である。また、断面形状の画像のスケールは各溶媒で共通である。これによると、溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループ（図７で機能層の形状が平坦）と溶媒Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｅを含むグループ（図７で機能層の形状が凸状または凹状）とで、機能層の形状が異なることが分かる。溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループでは、いわゆるコーヒーステイン現象が生じており、溶媒Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｅを含むグループでは、コーヒーステイン現象が生じていない。これらの差異の原因は、溶媒中に占める高沸点溶媒の割合によるものと考えられる。高沸点溶媒の割合は、溶媒Ａで33%、溶媒Ｂで33%、溶媒Ｃで60%、溶媒Ｄで100%、溶媒Ｅで53%、溶媒Ｆで83%、溶媒Ｇで83%である。高沸点溶媒の割合が大きいと、溶液の乾燥過程において対流が発生しやすく、その結果、コーヒーステイン現象が生じると考えられる。一般には、コーヒーステイン現象が生じないほうが良好な膜形状が得られると考えられている。従って、高沸点溶媒の粘度および表面張力については、溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループと同程度（13mPa・s以上25mPa・s以下、33mN/m以上37mN/m以下）としつつ、さらに、高沸点溶媒の割合を溶媒Ｄ、Ｆ、Ｇを含むグループよりも下げることが好ましい（80%以下）。さらには、溶媒Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｅと同程度まで下げてもよい（60%以下）。これにより、より良好な膜形状を得ることができる。なお、高沸点溶媒の割合は、低沸点溶媒の添加により容易に下げることができる。
　次に、機能層の発光領域に占める平坦領域の割合を大きくするための溶媒の物性を求める実験について説明する。
　発明者らは、複数の溶媒を用意し、各溶媒を用いて機能層を形成し、形成された機能層の発光領域に占める平坦領域の割合を調べた。ここで、平坦領域は、図３（ａ）の断面において、機能層の膜厚が目標の膜厚（この例では３０ｎｍ）から±２０％の範囲内に収まる領域の長さとする。
　図９に、各溶媒の高沸点溶媒に占める高粘度溶媒と、発光領域に占める平坦領域の平坦領域の割合をプロットしたグラフを示す。高粘度溶媒の割合が0vol%の溶媒のグループでは、発光領域に占める平坦領域の割合が40%～60%の範囲に分布している。高粘度溶媒の割合が35vol%付近の溶媒のグループでは、発光領域に占める平坦領域の割合が60%～70%の範囲に分布している。高粘度溶媒の割合が50vol%の溶媒のグループでは、発光領域に占める平坦領域の割合が75%～85%の範囲に分布している。このように、高粘度溶媒の割合が35vol%付近の溶媒のグループは、高粘度溶媒の割合が0vol%の溶媒のグループよりも発光領域に占める平坦領域の割合が大きい。また、高粘度溶媒の割合が50vol%の溶媒のグループは、発光領域に占める平坦領域の割合がさらに大きく、概ね75%～85% 程度となる。従って、高沸点溶媒に占める高粘度溶媒の割合を35vol%以上とすることで機能層の平坦性を高めることができる。また、高粘度溶媒の割合を50vol%以上とするのがより好ましい。
　次に、機能性材料の分子量について検討する。図１０に、溶液の粘度における溶液中の機能性材料の濃度の依存性を示す。溶媒を共通として機能性材料を異ならせた４種類の溶液を用意し、各溶液について溶液中の機能性材料の濃度を異ならせた場合の溶液の粘度の変化を測定した。これによると、機能性材料の濃度が大きいほど溶液の粘度が大きくなることが分かる。さらに詳細に見ると、機能性材料が低分子材料の場合は高分子材料の場合に比べて機能性材料の濃度の変化に対する溶液の粘度の変化の割合が小さいことが分かる。
　溶液を基板上に塗布し、塗布された溶液を乾燥させて機能層を形成する工程では、溶液の乾燥の過程で溶媒の蒸発に伴い機能性材料の濃度が大きくなる。図１０は、溶液の乾燥の過程で機能性材料の濃度の上昇によっても、溶液の粘度が大きくなることを示している。溶液の粘度が大きくなると、溶液の流れが弱くなり、機能性材料の振る舞いに与える影響が小さくなる。ところで、図１０によると、機能性材料が低分子材料の場合は高分子材料の場合に比べて機能性材料の濃度の変化に対する溶液の粘度の変化の割合が小さい。そのため、機能性材料が高分子材料の場合は、溶液の流れが弱くなりやすく、機能性材料の振る舞いに与える影響が小さい。これに対し、機能性材料が低分子材料の場合は、溶液の流れが弱くなりにくく、機能性材料の振る舞いに与える影響が大きい。即ち、機能層の形状を平坦にするのは、機能性材料が高分子材料の場合も低分子材料の場合も困難性があるが、低分子材料の場合に特に困難性が高いと言える。従って、高沸点溶媒の粘度と表面張力を適切な範囲に設定した溶媒は、機能性材料が高分子材料の場合も低分子材料の場合も適用可能であるが、低分子材料の場合に特に有用である。なお、本明細書では、低分子材料とは、Mark-Houwink-Sakurada式が成り立たないものを言う。分子量としては、数千以下である。
　＜４＞　第２実施形態（有機発光素子の製造方法）
　図１１に有機発光素子の製造方法を説明するための断面図を示す。
　まず、基板１０１を用意し、基板１０１上に第１電極１０２を形成する（図１１（ａ））。
　次に、基板１０１上に隔壁層１０３を形成する（図１１（ｂ））。隔壁層１０３は、電気絶縁性であり、第１電極１０２の上方に開口を有する。隔壁層１０３の開口の周囲の部分が隔壁として機能する。図１２に、隔壁層１０３の形状を示す。
　次に、第１電極の上方の隔壁層１０３により区画された領域に溶液１０４を塗布する。溶液１０４は、機能性材料と溶媒とを含む。本例では、機能性材料は、ホール注入兼輸送層を形成するための材料として説明する。溶媒は、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含む。高沸点溶媒は、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する。
　次に、塗布された溶液１０４を乾燥させることにより、第１電極１０２の上方にホール注入兼輸送層１０５を形成する（図１１（ｄ））。乾燥は、大気圧中または真空中において、加熱または非加熱で行なわれる。
　次に、ホール注入兼輸送層１０５の上方に発光層１０６を形成し（図１１（ｅ））、発光層１０６の上方に電子注入兼輸送層１０７を形成し（図１１（ｆ））、電子注入兼輸送層１０７の上方に第２電極１０８を形成する（図１１（ｇ））。
　これにより、ホール注入兼輸送層１０５の端部と中央部の膜厚差を低減でき、その結果、良好な有機発光素子の発光特性を得ることができる。
　なお、溶媒は、上記の特徴だけでなく、第１実施形態に開示された他の特徴を有していてもよい。例えば、高沸点溶媒の粘度が、15mPa・sより大きくてもよい。また、高沸点溶媒に占める高粘度溶媒の割合が35vol%以上、あるいは、50vol%以上としてもよい。
　なお、溶媒は、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、溶液の粘度が、5mPa・s以上15mPa・s以下であることとしてもよい。溶液の粘度をこの範囲にすることで、インクジェット方式の塗布方法に好適に利用することができる。また、低沸点溶媒を構成する１または複数の溶媒成分は、何れも160℃より高い沸点を有することとしてもよい。これにより、溶液の塗布前に低沸点溶媒の一部が蒸発し、溶液の濃度や溶媒組成比が変化してしまうという事態を防止することができる。
　なお、上記の例では、溶液の塗布により形成される機能層として、ホール注入兼輸送層１０５を例示しているが、これに限られない。ホール注入兼輸送層１０５に代えて、発光層１０６または電子注入兼輸送層１０７が溶液の塗布により形成されてもよい。あるいは、これらのうちの複数の機能層が溶液の塗布により形成されていてもよい。
　また、上記の例では、第１電極、ホール注入兼輸送層、発光層、電子注入兼輸送層、第２電極の積層構造であるが、これに限られない。
　また、上記の例では、隔壁層１０３が図１２に示す形状であるが、これに限れない。例えば、図１３に示す形状の隔壁層２０３を利用してもよい。隔壁層２０３は、複数の第１バンク２０３ａと複数の第２バンク２０３ｂとを含む。第１バンク２０３ａは、発光領域の長手方向に沿う。第２バンク２０３ｂは、隣り合う第１バンク２０３ａ間に存在し、発光領域の短手方向に沿う。第２バンク２０３ｂの高さは第１バンク２０３ａの高さよりも低い。
　図１４に、図１３の隔壁層を利用した場合の溶液の乾燥過程を示す。
　隔壁層２０３を利用した場合、隔壁層２０３により区画された領域（以下、「区画領域」という）に塗布された溶液２０４は、第２バンク２０３ｂを超えて隣りの区画領域まで達している（図１４（ａ））。溶液２０４の乾燥の過程で、溶液２０４が区画領域に収まり（図１４（ｂ））、さらなる乾燥を経て、第１電極１０２の上方の区画領域に機能層２０５が形成される。隔壁層２０３を利用した場合でも、溶液２０４の乾燥過程の終盤（図１４（ｂ））は、隔壁層１０３を利用した場合と同様の状況となる。従って、隔壁層２０３を利用した場合でも、隔壁層１０３を利用した場合と同様の効果を得ることができる。
　＜５＞　第３実施形態（有機表示装置）
　上記の有機発光素子は、有機表示装置に利用可能である。図１５に、有機表示装置の機能ブロックを示す。図１６に、有機表示装置の外観を例示する。有機表示装置２０は、有機表示パネル２１と、これに電気的に接続された駆動制御部２２とを備える。有機表示パネル２１は、図１１（ｇ）に示す有機発光素子を有する。駆動制御部２２は、第１電極１０２と第２電極１０８の間に電圧を印加する駆動回路２３と、駆動回路２３の動作を制御する制御回路２４とを含む。
　本発明の一態様は、例えば、有機発光素子に利用可能である。
　　　１１　　基板
　　　１２　　隔壁
　　　１３　　溶液
　　　１６　　機能層
　　　２０　　有機表示装置
　　　２１　　有機表示パネル
　　　２２　　駆動制御部
　　　２３　　駆動回路
　　　２４　　制御回路
　　１０１　　基板
　　１０２　　第１電極
　　１０３　　隔壁
　　１０３　　隔壁層
　　１０４　　溶液
　　１０５　　ホール注入兼輸送層
　　１０６　　発光層
　　１０７　　電子注入兼輸送層
　　１０８　　第２電極
　　２０３　　隔壁層
　　２０３ａ　バンク
　　２０３ｂ　バンク
　　２０４　　溶液
　　２０５　　機能層

Claims (16)

  1. 　有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液であって、前記機能層を構成する機能性材料と、溶媒とを含み、前記溶媒が、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含み、前記高沸点溶媒が、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する溶液。
  2. 　前記高沸点溶媒の粘度が、15mPa・sより大きい、請求項１に記載の溶液。
  3. 　前記高沸点溶媒を構成する前記１または複数の溶媒成分の少なくとも１つは、20mPa・s以上の粘度を有する高粘度溶媒であり、前記高沸点溶媒に占める前記高粘度溶媒の割合が35vol%以上である、請求項１に記載の溶液。
  4. 　前記高沸点溶媒に占める前記高粘度溶媒の割合が50vol%以上である、請求項３に記載の溶液。
  5. 　前記溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、前記溶液の粘度が、5mPa・s以上15mPa・s以下である、請求項１に記載の溶液。
  6. 　前記低沸点溶媒を構成する前記１または複数の溶媒成分は、何れも160℃より高い沸点を有する、請求項５に記載の溶液。
  7. 　前記溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、前記溶媒に占める前記高沸点溶媒の割合が80%以下である、請求項１に記載の溶液。
  8. 　前記溶媒に占める前記高沸点溶媒の割合が60%以下である、請求項７に記載の溶液。
  9. 　第１電極を形成し、
    　前記第１電極の上方に、機能性材料と溶媒とを含む溶液を塗布し、
    　前記塗布された溶液を乾燥させることにより前記機能性材料から構成される機能層を前記第１電極の上方に形成し、
    　前記機能層の上方に第２電極を形成し、
    　前記溶媒が、200℃以上の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される高沸点溶媒を含み、前記高沸点溶媒が、13mPa・s以上25mPa・s以下の粘度と、33mN/m以上37mN/m以下の表面張力とを有する、
    　有機発光素子の製造方法。
  10. 　前記高沸点溶媒の粘度が、15mPa・sより大きい、請求項９に記載の有機発光素子の製造方法。
  11. 　前記高沸点溶媒を構成する前記１または複数の溶媒成分の少なくとも１つは、20mPa・s以上の粘度を有する高粘度溶媒であり、前記高沸点溶媒に占める前記高粘度溶媒の割合が35vol%以上である、請求項９に記載の有機発光素子の製造方法。
  12. 　前記高沸点溶媒に占める前記高粘度溶媒の割合が50vol%以上である、請求項１１に記載の有機発光素子の製造方法。
  13. 　前記溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、前記溶液の粘度が、5mPa・s以上15mPa・s以下である、請求項９に記載の有機発光素子の製造方法。
  14. 　前記低沸点溶媒を構成する前記１または複数の溶媒成分は、何れも160℃より高い沸点を有する、請求項１３に記載の有機発光素子の製造方法。
  15. 　前記溶媒は、さらに、200℃未満の沸点を有する１または複数の溶媒成分から構成される低沸点溶媒を含み、前記溶媒に占める前記高沸点溶媒の割合が80%以下である、請求項９に記載の有機発光素子の製造方法。
  16. 　前記溶媒に占める前記高沸点溶媒の割合が60%以下である、請求項１５に記載の有機発光素子の製造方法。
PCT/JP2015/001002 2014-03-17 2015-02-26 有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法 Ceased WO2015141151A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/125,403 US9865816B2 (en) 2014-03-17 2015-02-26 Solution for forming function layer contained in organic light emitting element and method for manufacturing organic light emitting element
JP2016508493A JP6317429B2 (ja) 2014-03-17 2015-02-26 有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-053357 2014-03-17
JP2014053357 2014-03-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015141151A1 true WO2015141151A1 (ja) 2015-09-24

Family

ID=54144142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/001002 Ceased WO2015141151A1 (ja) 2014-03-17 2015-02-26 有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9865816B2 (ja)
JP (1) JP6317429B2 (ja)
WO (1) WO2015141151A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021190157A (ja) * 2020-05-25 2021-12-13 トヨタ車体株式会社 燃料電池用セパレータの製造方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7048250B2 (ja) * 2017-10-19 2022-04-05 住友化学株式会社 有機電子デバイスの製造方法
CN109585654A (zh) * 2018-11-30 2019-04-05 合肥鑫晟光电科技有限公司 有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008035501A1 (en) * 2006-09-22 2008-03-27 Sharp Kabushiki Kaisha Coating solution for organic electroluminescence element, organic electroluminescence element, and method for production of organic electroluminescence element
JP2011023668A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Sumitomo Chemical Co Ltd 液柱塗布用インクおよび有機ｅｌ素子の製造方法、並びに該有機ｅｌ素子を有する有機ｅｌ表示装置
JP2011515835A (ja) * 2008-03-06 2011-05-19 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 有機半導体配合物
WO2013046265A1 (ja) * 2011-09-28 2013-04-04 パナソニック株式会社 有機発光素子の製造方法、有機発光素子、有機表示装置、有機発光装置、機能層の形成方法、機能性部材、表示装置および発光装置
JP2013143324A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Panasonic Corp 有機ｅｌ素子の製造方法
JP2013214397A (ja) * 2012-04-02 2013-10-17 Seiko Epson Corp 機能層形成用インク、発光素子の製造方法、発光装置及び電子機器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5443922A (en) 1991-11-07 1995-08-22 Konica Corporation Organic thin film electroluminescence element
JPH05163488A (ja) 1991-12-17 1993-06-29 Konica Corp 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子
JP5617640B2 (ja) * 2008-11-19 2014-11-05 日産化学工業株式会社 正孔または電子輸送性薄膜形成用ワニス
WO2015023302A1 (en) * 2013-08-12 2015-02-19 Kateeva, Inc. Ester-based solvent systems for printable organic light-emitting diode ink formulations

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008035501A1 (en) * 2006-09-22 2008-03-27 Sharp Kabushiki Kaisha Coating solution for organic electroluminescence element, organic electroluminescence element, and method for production of organic electroluminescence element
JP2011515835A (ja) * 2008-03-06 2011-05-19 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 有機半導体配合物
JP2011023668A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Sumitomo Chemical Co Ltd 液柱塗布用インクおよび有機ｅｌ素子の製造方法、並びに該有機ｅｌ素子を有する有機ｅｌ表示装置
WO2013046265A1 (ja) * 2011-09-28 2013-04-04 パナソニック株式会社 有機発光素子の製造方法、有機発光素子、有機表示装置、有機発光装置、機能層の形成方法、機能性部材、表示装置および発光装置
JP2013143324A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Panasonic Corp 有機ｅｌ素子の製造方法
JP2013214397A (ja) * 2012-04-02 2013-10-17 Seiko Epson Corp 機能層形成用インク、発光素子の製造方法、発光装置及び電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021190157A (ja) * 2020-05-25 2021-12-13 トヨタ車体株式会社 燃料電池用セパレータの製造方法
JP7276250B2 (ja) 2020-05-25 2023-05-18 トヨタ車体株式会社 燃料電池用セパレータの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20170117471A1 (en) 2017-04-27
US9865816B2 (en) 2018-01-09
JP6317429B2 (ja) 2018-04-25
JPWO2015141151A1 (ja) 2017-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10714549B2 (en) Organic EL display panel manufacturing method and organic EL display panel
US9991323B2 (en) Blue organic EL element, organic EL display panel, and manufacturing method of blue organic EL element
JP6014883B2 (ja) 有機発光素子、有機ｅｌ表示パネル、有機ｅｌ表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法
US8822986B2 (en) Method for manufacturing organic light-emitting element, organic light-emitting element, organic display device, organic light-emitting device, method for forming functional layer, functional member, display device, and light-emitting device
US9023239B2 (en) Ink for organic light-emitting element and a method for producing the same
CN106505085A (zh) 透明显示装置和制造该透明显示装置的方法
US20170077190A1 (en) Organic el display panel and organic el display device
US11758749B2 (en) Organic EL element having one functional layer with NaF and the other functional layer with Yb
JP6159977B2 (ja) 有機電子デバイスの製造方法および有機ｅｌデバイスの製造方法
US20170069694A1 (en) Organic el display panel and method for manufacturing same
US20150072458A1 (en) Inkjet device and manufacturing method for organic el device
CN108011050B (zh) 有机el显示面板的制造方法及墨干燥装置
KR102368081B1 (ko) 유기 발광 표시 장치의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치
JP6317429B2 (ja) 有機発光素子に含まれる機能層を形成するための溶液、および、有機発光素子の製造方法
CN105742522A (zh) 聚合物发光二极管的溶液工艺电子传输层
JP2019040803A (ja) 自発光表示パネルの製造方法および自発光表示パネル
US10879501B2 (en) Method for manufacturing organic EL display panel, and ink drying device
JP6057052B2 (ja) 表示素子、及び表示素子の製造方法
JP2011086389A (ja) 有機ｅｌ素子の機能層の製造方法、有機ｅｌ素子及び素子の層形成方法
JP7523213B2 (ja) 機能層形成用インクおよび自発光素子の製造方法
JP5899531B2 (ja) 有機ｅｌ素子の製造方法
JP2014013684A (ja) 発光素子及び表示装置
JP6843716B2 (ja) 有機ｅｌ用溶液、有機ｅｌデバイスの製造方法および有機ｅｌデバイス
JP2019110115A (ja) 有機ｅｌ表示パネル、有機ｅｌ表示装置、および、その製造方法
US20160163985A1 (en) Manufacturing method of organic light-emitting element and organic light-emitting element

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15764691

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016508493

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15125403

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15764691

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1