[go: up one dir, main page]

WO2014203609A1 - 密封装置 - Google Patents

密封装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2014203609A1
WO2014203609A1 PCT/JP2014/061047 JP2014061047W WO2014203609A1 WO 2014203609 A1 WO2014203609 A1 WO 2014203609A1 JP 2014061047 W JP2014061047 W JP 2014061047W WO 2014203609 A1 WO2014203609 A1 WO 2014203609A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
annular
peripheral surface
outer peripheral
main lip
rotating shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2014/061047
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
一葉 池袋
孝治 久保田
宗治 栗田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nabtesco Corp
Koyo Sealing Techno Co Ltd
Original Assignee
Nabtesco Corp
Koyo Sealing Techno Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nabtesco Corp, Koyo Sealing Techno Co Ltd filed Critical Nabtesco Corp
Priority to CN201480035099.7A priority Critical patent/CN105308371A/zh
Priority to KR1020167001689A priority patent/KR20160022896A/ko
Priority to EP14814543.6A priority patent/EP3012495B1/en
Priority to KR1020217004809A priority patent/KR20210021603A/ko
Priority to US14/898,549 priority patent/US10247308B2/en
Publication of WO2014203609A1 publication Critical patent/WO2014203609A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/3284—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings characterised by their structure; Selection of materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/002—Sealings comprising at least two sealings in succession
    • F16J15/006—Sealings comprising at least two sealings in succession with division of the pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/3204—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings with at least one lip
    • F16J15/3232—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings with at least one lip having two or more lips
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/324—Arrangements for lubrication or cooling of the sealing itself
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/3244—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings with hydrodynamic pumping action

Definitions

  • the present invention relates to a sealing device for partitioning an annular space between a rotating shaft and a housing surrounding the rotating shaft into an atmospheric pressure space and a vacuum space, for example.
  • 10 2 Pa or more is a low vacuum
  • 10 2 to 10 ⁇ 1 Pa is a medium vacuum
  • 10 ⁇ 1 to 10 ⁇ 5 Pa is a high vacuum
  • -5 Pa or less is classified as ultra-high vacuum.
  • the conventional sealing device described above can stably seal a low vacuum region to a high vacuum region.
  • vacuum variation when a conventional sealing device is used in an ultra-high vacuum region, a predetermined degree of vacuum can be maintained when the rotating shaft is stopped.
  • the degree of vacuum when the rotation is started from a state where the rotation shaft is stopped and when the rotation shaft is rotating, the degree of vacuum may be instantaneously reduced.
  • vacuum variation such variation in the degree of vacuum is referred to as “vacuum variation”.
  • This invention is made in view of such a situation, and it aims at providing the sealing device which can suppress a vacuum fluctuation and can maintain the stable vacuum environment.
  • the present invention provides an annular space formed between a rotating shaft and a housing surrounding the rotating shaft, in a low pressure space in the axial direction, and a high pressure higher than that of the low pressure space.
  • a sealing device for partitioning into a space wherein the sealing device is formed of an elastic material, and includes an annular seal portion that is in sliding contact with the outer peripheral surface of the rotary shaft, and an outer periphery of the rotary shaft is provided on an inner peripheral surface of the seal portion.
  • a main lip that is in sliding contact with the surface, and an inclined surface that extends from the main lip toward the low-pressure space side and gradually increases in diameter toward the low-pressure space side.
  • a plurality of annular protrusions are formed along the axial direction in contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft in a state where the main lip is in sliding contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft.
  • the main lip since the plurality of annular protrusions are in sliding contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft in addition to the main lip, for example, the main lip has an outer periphery compared to the case where only the main lip is in sliding contact.
  • the surface pressure per unit area at the time of sliding contact with the surface can be reduced.
  • stick slip generated on the main lip is suppressed when the rotation starts from the state where the rotation axis is stopped.
  • a plurality of annular protrusions are formed on the inclined surface in a state where the main lip is in sliding contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft, a plurality of annular protrusions are formed in the low-pressure space in addition to the main lip.
  • a high-pressure space can be partitioned in multiple stages.
  • the negative pressure which acts on the main lip can be reduced stepwise by a plurality of annular projections formed on the low pressure space side. For this reason, it can suppress that a pressure leaks from high pressure space toward low pressure space. As a result, pressure leakage due to factors other than stick slip can be suppressed.
  • it is possible to suppress a vacuum fluctuation and a pressure leak, and thus it is possible to maintain a stable vacuum environment.
  • the plurality of annular protrusions includes a first annular protrusion provided on the main lip side, and a second annular protrusion provided on the low-pressure space side with respect to the first annular protrusion,
  • the projecting dimension of the second annular protrusion is preferably larger than that of the first annular protrusion so that the contact pressure of the first and second annular protrusions with respect to the outer peripheral surface of the rotating shaft is uniform.
  • the contact pressure of the first and second annular protrusions on the outer peripheral surface of the rotating shaft can be made equal by the second annular protrusion.
  • the tip of the first annular projection and the tip of the second annular projection are formed along a tangent line passing through the tip of the main lip and the tip of the second annular projection. Also good. In this case, the contact pressure of the first and second annular protrusions on the outer peripheral surface of the rotating shaft can be made more uniform.
  • an inclination angle of the inclined surface with respect to the axial direction is set to 10 to 20 degrees.
  • the main lip and each annular protrusion can be appropriately brought into sliding contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft.
  • the plurality of annular protrusions may have a circular arc section at the tip.
  • the contact area when the annular protrusion slides on the outer peripheral surface of the rotating shaft can be suppressed from being increased more than necessary, the frictional force between the annular protrusion and the rotating shaft can be reduced.
  • the annular protrusion can be reliably brought into sliding contact with the outer peripheral surface, sealing performance can be ensured.
  • the sealing device of the present invention it is possible to suppress vacuum fluctuations and maintain a stable vacuum environment.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a sealing device according to an embodiment of the present invention.
  • the sealing device 1 is attached to a vacuum container (not shown) whose inside is a vacuum environment.
  • the sealing device 1 includes an annular space T formed between the rotation shaft S and the housing H surrounding the rotation shaft S as an axial atmospheric pressure space A (high-pressure space, right side in FIG. 1), It is used for partitioning into a vacuum space V (low pressure space, left side in FIG. 1) in a sealed state.
  • the vacuum space V is maintained in a so-called ultrahigh vacuum (10 ⁇ 5 Pa (absolute pressure) or less) in the pressure region.
  • the rotation axis S is a rotation transmission shaft for applying a rotational force to the equipment installed in the vacuum vessel.
  • the rotating shaft S is inserted into a cylindrical housing H provided in the vacuum vessel and communicating between the inside and outside of the vacuum vessel. As a result, the rotation shaft S protrudes from the vacuum space V inside the vacuum vessel toward the atmospheric pressure space A outside.
  • the sealing device 1 partitions the annular space T in the axial direction so that the rotation shaft S can rotate, and is made of a metal core 2 and an elastic material such as fluororubber formed on the core 2 by vulcanization adhesion. And a seal member 3.
  • the core metal 2 is formed in an annular shape by pressing a steel plate such as SPCC.
  • the cored bar 2 has a cylindrical cylindrical portion 2a and an annular portion 2b formed by bending an end portion on one axial side of the cylindrical portion 2a inward in the radial direction. Thereby, the cored bar 2 is formed in an L-shaped cross section.
  • the seal member 3 has a main body portion 4, a seal portion 5 extending from the inner peripheral end of the annular portion 2b, and an auxiliary lip 7 that also extends from the inner peripheral end of the annular portion 2b.
  • the main body 4 is formed along the inner peripheral surface of the cylindrical portion 2a by going around the end surface on the atmospheric pressure space A side from the outer peripheral surface of the cylindrical portion 2a.
  • the main body 4 is bonded and formed along the side surface of the annular portion 2b on the atmospheric pressure space A side.
  • the core metal 2 is press-fitted into the housing H via the main body 4, and the sealing device 1 is fixed to the housing H.
  • the auxiliary lip 7 extends toward the vacuum space V with the inner peripheral end of the annular portion 2b as the base end.
  • the auxiliary lip 7 protrudes radially inward and is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S.
  • the seal portion 5 is an annular member extending toward the atmospheric pressure space A with the inner peripheral end of the annular portion 2b as a base end.
  • a garter spring 8 is mounted on the outer peripheral surface side of the seal portion 5, to enhance the sealing performance by tightening and pressing the seal portion 5 radially inward.
  • the seal portion 5 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S. Thereby, the seal portion 5 seals the annular space T so that the pressure in the atmospheric pressure space A does not leak into the vacuum space V from between the rotation shaft S and the housing H.
  • the inner peripheral surface of the seal portion 5 has a main lip 10 that is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S, and extends from the main lip 10 toward the vacuum space V and gradually increases in diameter toward the vacuum space V.
  • the main lip 10 is composed of apexes formed by the vacuum space-side inclined surface 11 and the atmospheric space-side inclined surface 12, and has a mountain shape in cross section.
  • FIG. 1 shows the seal portion 5 in a free state.
  • the rotation shaft S is inserted on the inner peripheral surface side of the seal portion 5
  • the end portion on the atmospheric pressure space A side of the seal portion 5 swings radially outward, and the end portion on the atmospheric pressure space A side and
  • the main lip 10 is elastically deformed so as to slightly expand its diameter.
  • the main lip 10 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotary shaft S in a state where it is elastically deformed so as to slightly expand its diameter.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the main part of the seal portion 5 in FIG. FIG. 2 shows the seal portion 5 in a free state.
  • the vacuum space-side inclined surface 11 of the seal portion 5 is formed on a conical inner peripheral surface in which an inclination angle d with respect to the axial direction is set in a range of 10 to 20 degrees, for example.
  • a plurality of annular protrusions 20 are formed at predetermined intervals along the axial direction so as to project radially inward from the inclined surface 11 on the vacuum space side.
  • Each annular protrusion 20 has a tip formed in a circular arc shape in cross section.
  • Each annular protrusion 20 includes a first annular protrusion 21 provided on the main lip 10 side and a second annular protrusion 22 provided on the vacuum space V side with respect to the first annular protrusion 21.
  • the second annular protrusion 22 is formed such that the protruding dimension t2 is larger than the protruding dimension t1 of the first annular protrusion 21.
  • Two first annular protrusions 21 are formed between the second annular protrusion 22 and the main lip 10.
  • the two first annular protrusions 21 are formed with the same protruding dimension t1.
  • these annular protrusions 20 are formed such that when the rotary shaft S is inserted into the sealing device 1 and the main lip 10 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1, the tip thereof is in sliding contact with the outer peripheral surface S1.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the main lip 10 when the rotary shaft S is inserted on the inner peripheral side of the sealing device 1.
  • the seal portion 5 has the end portion on the atmospheric pressure space A side in the radial direction with the end portion on the vacuum space V side as a fulcrum. Swings outward.
  • the main lip 10 of the seal portion 5 comes into sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S.
  • the inclination angle d (FIG. 2) of the vacuum space side inclined surface 11 is reduced by the end of the seal portion 5 on the atmospheric pressure space A side swinging radially outward.
  • each annular protrusion 20 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S. That is, each annular protrusion 20 is formed so that the tip thereof is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 in a state where the main lip 10 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S.
  • each annular protrusion 20 forms spaces K1, K2, and K3 between the adjacent annular protrusion 20 or the main lip 10 and between the vacuum space-side inclined surface 11 and the outer peripheral surface S1.
  • the projecting dimensions t1 and t2 (FIG. 2) of each annular protrusion 20, the distance between adjacent annular protrusions 20, and the distance between the annular protrusion 20 and the main lip 10 are values that form the spaces K1 to K3. Is set to
  • the inclined surface 11 on the vacuum space side approaches the outer peripheral surface S1 with the inclination angle d decreasing.
  • the annular protrusion 20 (second annular protrusion 22) farthest from the main lip 10 has the same protruding dimension as that of the other annular protrusion 20, the interference and the tightness when contacting the outer peripheral surface S1.
  • the force is relatively smaller than the other annular protrusions 20.
  • the protrusion dimension t2 of the second annular protrusion 22 is formed larger than the protrusion dimension t1 of the first annular protrusion 21 so that the contact pressure with respect to the outer peripheral surface S1 of each annular protrusion 20 becomes equal.
  • the contact pressure with respect to the outer peripheral surface S1 of each annular protrusion 20 becomes equal, and it is possible to suppress the occurrence of variations in the interference and the tightening force between the annular protrusions 20 when contacting the outer peripheral surface S1. .
  • the sealing device 1 configured as described above, the plurality of annular protrusions 20 other than the main lip 10 are in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S.
  • the surface pressure per unit area when the main lip 10 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 can be reduced.
  • the tightening force of the main lip 10 against the rotation axis S is increased by the negative pressure caused by the vacuum space V, the stick generated in the main lip 10 when the rotation starts from the state where the rotation axis S is stopped. Slip can be suppressed.
  • the sealing device 1 of the present embodiment it is possible to suppress a vacuum fluctuation and a pressure leak, and thus it is possible to maintain a stable vacuum environment.
  • the main lip 10 is combined and the partition between the vacuum space V and the atmospheric pressure space A is divided into four stages. Can be more effectively suppressed.
  • the annular protrusion 20 forms spaces K1 to K3 between the adjacent annular protrusions 20 or the main lip 10, so that the main lip 10 and the rotation shaft are formed in the spaces K1 to K3.
  • the lubricant supplied between S and S can be retained.
  • the frictional force between the main lip 10 and the outer peripheral surface S1 of the rotating shaft S can be reduced, stick slip can be more effectively suppressed, wear caused by friction can be reduced, and sealing can be performed.
  • the lifetime of the device 1 can be increased.
  • each annular protrusion 20 is formed in a circular arc shape, the contact area when the annular protrusion 20 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 of the rotation shaft S becomes larger than necessary. And the frictional force between the annular protrusion 20 and the rotating shaft S can be reduced. Furthermore, by making the tip of each annular protrusion 20 have a circular arc shape in cross section, the annular protrusion 20 can be reliably brought into sliding contact with the outer peripheral surface S1, and sealing performance can be ensured.
  • Each annular protrusion 20 having an arc shape at the tip is integrally vulcanized over the entire seal member 3 using a mold having a surface roughness as small as possible. Therefore, the surface roughness of the tip of each annular protrusion 20 can be reduced, and the frictional force can be further reduced in combination with the lubricant retained in the spaces K1 to K3 as described above.
  • the protruding dimension t2 of the second annular protrusion 22 is formed larger than the protruding dimension t1 of the first annular protrusion 21.
  • the inclination angle d of the main lip 10 with respect to the axial direction of the inclined surface 11 on the vacuum space side in the free state is set in the range of 10 to 20 degrees.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the case where the two 1st annular protrusions 21 made into the mutually same protrusion dimension t1 were formed in the vacuum space side inclined surface 11 was illustrated.
  • the two first annular protrusions 21 have a projecting dimension of the first annular protrusion 21 a on the main lip 10 side and the first annular protrusion 22 side on the first annular protrusion 21 side. You may set smaller than the protrusion dimension of the cyclic
  • leading end of the first annular projection 21 and the leading end of the second annular projection 22 when the main lip 10 and each annular projection 20 are in the free state are the leading end of the main lip 10 and the second annular projection 22. It is formed along a tangent line U passing through the tip.
  • each annular protrusion 20 when the main lip 10 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1 and each annular protrusion 20 is in sliding contact with the outer peripheral surface S1, the plurality of annular protrusions 20 are in contact pressure with respect to the outer peripheral surface S1. It is a dimension that can be made uniform. Thereby, the contact pressure with respect to the outer peripheral surface S1 of each annular protrusion 20 can be made more uniform, and the interference and the tightening force of each annular protrusion 20 can be set more appropriately.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)

Abstract

　密封装置１は、弾性素材によって形成された、環状のシール部５を備えている。シール部５の内周面には回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する主リップ１０と、主リップ１０から真空空間Ｖ側に向かって漸次拡径している真空空間側傾斜面１１とが形成されている。真空空間側傾斜面１１には、主リップ１０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接した状態で回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する環状突起２０が、軸方向に沿って複数条形成されている。

Description

密封装置
　本発明は、例えば、回転軸と、前記回転軸を包囲しているハウジングとの間の環状空間を大気圧空間と真空空間とに仕切るための密封装置に関する。
　従来より、真空空間とされた真空容器内の機器に回転力を与えるために、回転力伝達用の回転軸を、前記真空容器の内部から外部に突設させることがある。
　この場合、前記真空容器内の真空状態を維持するために、前記回転軸と、前記真空容器に設けられた前記回転軸を挿通するための貫通孔との間の環状空間から前記真空容器内に大気がリークするのを防止して真空状態を維持する必要がある。このため、前記環状空間には密封装置が装着される（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１－９９３２８号公報
　例えば、ＪＩＳ（Ｊａｐａｎｅｓｅ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ｓｔａｎｄａｒｄｓ）　Ｈ０２１１によれば、圧力の領域について、１０２Ｐａ以上を低真空、１０２～１０－１Ｐａを中真空、１０－１～１０－５Ｐａを高真空、１０－５Ｐａ以下を超高真空と区分している。
　上記従来の密封装置は、低真空から高真空の領域までについては、安定して密封することが可能であった。
　しかし、超高真空の領域で従来の密封装置を用いた場合、回転軸が停止している状態では、所定の真空度を維持することができる。しかし、回転軸が停止している状態から回転を開始するとき、及び回転軸が回転している状態では、瞬間的に真空度が低下することがあった。以下、このような真空度の変動を「真空変動」という。
　上記従来の密封装置では、真空度が高いほど密封装置のシールリップの前記回転軸に対する緊迫力が大きくなる傾向がある。従って、超高真空とすると前記緊迫力がより大きくなる。このため、回転軸が回転を開始する際にシールリップとの間で生じる摩擦振動（いわゆるスティックスリップ）が生じ易くなる。このスティックスリップによってシールリップが回転軸の外周面から瞬時的に離間し、大気圧力が真空容器側にリークすることが真空変動の原因の一つとして考えられる。
　前記真空変動が生じると、真空容器内の機器や製品等に悪影響を及ぼすおそれがあるため、できるだけ前記真空変動の発生を抑制し、安定した真空環境を維持する必要がある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、真空変動を抑制し、安定した真空環境を維持することができる密封装置を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するための本発明は、回転軸と、この回転軸を包囲しているハウジングとの間に形成された環状空間を、軸方向において低圧空間と、前記低圧空間よりも高圧の高圧空間とに仕切る密封装置であって、弾性素材によって形成されているとともに、前記回転軸の外周面に摺接する環状のシール部を備え、前記シール部の内周面には、前記回転軸の外周面に摺接する主リップと、前記主リップから前記低圧空間側に向かって延びているとともに、前記低圧空間側に向かって漸次拡径している傾斜面と、が形成され、前記傾斜面には、前記主リップが前記回転軸の外周面に摺接した状態で前記回転軸の外周面に摺接する環状突起が、軸方向に沿って複数条形成されていることを特徴としている。
　上記のように構成された密封装置によれば、主リップ以外に複数条の環状突起が回転軸の外周面に摺接するので、例えば主リップのみで摺接する場合と比較して、主リップが外周面に摺接する際の単位面積当たりの面圧を低下させることができる。この結果、低圧空間による負圧によって、主リップの回転軸に対する緊迫力が大きくなったとしても、回転軸が停止している状態から回転を開始する際に主リップに生じるスティックスリップを抑制することができる。これにより、スティックスリップによって主リップが回転軸の外周面から瞬時的に離間するのを抑制することができる。この結果、回転軸の初動時に生じる真空変動の発生を抑制することができる。
　また、主リップが回転軸の外周面に摺接した状態で外周面に摺接する環状突起を、前記傾斜面に複数条形成したので、主リップに加え、複数条の環状突起それぞれによって低圧空間と高圧空間との間を多段階に仕切ることができる。これにより、主リップに作用する負圧力を、低圧空間側に形成された複数条の環状突起によって段階的に低減することができる。このため、高圧空間から低圧空間に向かって圧力がリークするのを抑制することができる。この結果、スティックスリップ以外の要因による圧力のリークをも抑制することができる。
　以上のように、本発明によれば、真空変動を抑制するとともに、圧力のリークを抑制することができるので、安定した真空環境を維持することができる。
　上記密封装置において、前記複数条の環状突起は、前記主リップ側に設けられた第１環状突起と、前記第１環状突起よりも前記低圧空間側に設けられた第２環状突起とを含み、前記第２環状突起の前記突出寸法は、前記第１及び第２環状突起の前記回転軸の外周面に対する接触圧力が均等になるように、前記第１環状突起よりも大きくなっていることが好ましい。
　この場合、第２環状突起によって、回転軸の外周面に対する第１及び第２環状突起の接触圧力を均等にできる。よって、各環状突起の間で、回転軸の外周面に対するしめしろや緊迫力にばらつきが生じるのを抑制することができる。これにより、低圧空間と高圧空間との間をより確実に多段階に仕切ることができる。この結果、圧力のリークをより効果的に抑制することができる。
　また、上記密封装置において、前記第１環状突起は複数条設けられていることが好ましい。この場合、低圧空間と高圧空間との間の仕切をより多数とすることができるので、圧力のリークをより効果的に抑制することができる。
　また、上記密封装置において、前記第１環状突起の先端及び前記第２環状突起の先端は、前記主リップの先端と、前記第２環状突起の先端とを通過する接線に沿って形成されていてもよい。
　この場合、回転軸の外周面に対する第１及び第２環状突起の接触圧力をより均等にすることができる。
　上記密封装置において、前記傾斜面の軸方向に対する傾斜角度は、１０～２０度に設定されていることが好ましい。この場合、主リップ、及び各環状突起を適切に回転軸の外周面に摺接させることができる。
　また、上記密封装置において、前記複数条の環状突起は、先端が断面円弧形状に形成されていてもよい。この場合、環状突起が回転軸の外周面に摺接する際の接触面積が必要以上に大きくなるのを抑制できるので、環状突起と回転軸との摩擦力を低減できる。さらに、環状突起を外周面に対して確実に摺接させることができるので、密封性も確保することができる。
　本発明の密封装置によれば、真空変動を抑制し、安定した真空環境を維持することができる。
本発明の一実施形態に係る密封装置の断面図である。 図１中、主リップの要部を拡大した断面図である。 密封装置の内周側に回転軸を挿入したときの主リップの断面図である。 （ａ）は、変形例に係る主リップの要部を拡大した断面図であり、（ｂ）は、さらに他の変形例に係る主リップの要部を拡大した断面図である。
　次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の一実施形態に係る密封装置の断面図である。この密封装置１は、内部が真空環境とされる真空容器（図示せず）に装着されるものである。密封装置１は、回転軸Ｓと、回転軸Ｓを包囲しているハウジングＨとの間に形成された環状空間Ｔを軸方向大気圧空間Ａ（高圧空間，図１中、紙面右側）と、真空空間Ｖ（低圧空間，図１中、紙面左側）とに密封状態で仕切るために用いられている。
　なお、本実施形態では、真空空間Ｖは、圧力の領域の区分がいわゆる超高真空（１０－５Ｐａ（絶対圧力）以下）に維持されている。
　回転軸Ｓは、前記真空容器内に設置された機器に回転力を与えるための回転伝達用の軸である。回転軸Ｓは、前記真空容器に設けられ当該真空容器の内外を連通している筒状のハウジングＨに挿通されている。これによって、回転軸Ｓは、前記真空容器の内部である真空空間Ｖから外部である大気圧空間Ａに向けて突設されている。
　密封装置１は、回転軸Ｓが回転可能に環状空間Ｔを軸方向に仕切っており、金属製の芯金２と、芯金２に加硫接着により形成されたフッ素ゴム等の弾性素材からなるシール部材３とを備えている。
　芯金２は、ＳＰＣＣ等の鋼板をプレス加工することによって環状に形成されている。芯金２は、円筒状の円筒部２ａと、円筒部２ａの軸方向一方側の端部を径方向内側に折り曲げて形成された環状部２ｂとを有している。これによって芯金２は、断面Ｌ字形に形成されている。
　シール部材３は、本体部４と、環状部２ｂの内周端から延びるシール部５と、同じく環状部２ｂの内周端から延びる補助リップ７とを有している。本体部４は、円筒部２ａの外周面から大気圧空間Ａ側の端面を回り込んで当該円筒部２ａの内周面に沿って形成されている。また本体部４は、環状部２ｂの大気圧空間Ａ側の側面に沿って接着形成されている。
　芯金２は、本体部４を介してハウジングＨに圧入嵌合されており、これによって、密封装置１は、ハウジングＨに固定されている。
　補助リップ７は、環状部２ｂの内周端を基端として真空空間Ｖ側に延びている。また、補助リップ７は、径方向内側に突設されて回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接している。
　シール部５は、環状部２ｂの内周端を基端として大気圧空間Ａ側に延びている環状の部材である。
　シール部５の外周面側には、当該シール部５を径方向内側に締め付けて押圧することで密封性を高めるためのガータスプリング８が装着されている。
　シール部５は、回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接している。これにより、シール部５は、回転軸ＳとハウジングＨとの間から大気圧空間Ａの圧力が真空空間Ｖにリークしないように、環状空間Ｔを密封している。
　シール部５の内周面には、回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する主リップ１０と、主リップ１０から真空空間Ｖ側に向かって延びているとともに真空空間Ｖ側に向かって漸次拡径している真空空間側傾斜面１１と、主リップ１０から大気圧空間Ａ側に向かって延びているとともに大気圧空間Ａ側に向かって漸次拡径している大気空間側傾斜面１２とが形成されている。よって、主リップ１０は、真空空間側傾斜面１１と大気空間側傾斜面１２とによる頂点により構成されており、断面山形に形成されている。
　シール部５は、上述のように環状部２ｂの内周端を基端として大気圧空間Ａ側に延びている。従って、シール部５は、真空空間Ｖ側の端部を支点として、大気圧空間Ａ側の端部が径方向に揺動可能とされている。なお、図１は、自由状態にあるシール部５を示している。
　シール部５は、内周面側に回転軸Ｓが挿入されると、当該シール部５の大気圧空間Ａ側の端部が径方向外側に揺動し、大気圧空間Ａ側の端部及び主リップ１０がわずかに拡径するように弾性変形する。主リップ１０は、わずかに拡径するように弾性変形した状態で回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する。
　図２は、図１中、シール部５の要部を拡大した断面図である。なお、図２は、自由状態にあるシール部５を示している。
　シール部５の真空空間側傾斜面１１は、軸方向に対する傾斜角度ｄが、例えば１０～２０度の範囲に設定された円すい状の内周面に形成されている。
　真空空間側傾斜面１１には、当該真空空間側傾斜面１１から径方向内側に突設された環状突起２０が、軸方向に沿って所定間隔を置いて複数条（図例では３つ）形成されている。
　各環状突起２０は、その先端が断面円弧形状に形成されている。各環状突起２０は、主リップ１０側に設けられた第１環状突起２１と、第１環状突起２１よりも真空空間Ｖ側に設けられた第２環状突起２２とを含んでいる。
　第２環状突起２２は、その突出寸法ｔ２が第１環状突起２１の突出寸法ｔ１よりも大きい値となるように形成されている。
　また、第１環状突起２１は、第２環状突起２２と、主リップ１０との間に、２つ形成されている。２つの第１環状突起２１は、同じ突出寸法ｔ１に形成されている。
　これら環状突起２０は、後述するように、密封装置１に回転軸Ｓが挿入され、主リップ１０が外周面Ｓ１に摺接したときにその先端が外周面Ｓ１に摺接するよう形成されている。
　図３は、密封装置１の内周側に回転軸Ｓを挿入したときの主リップ１０の断面図である。
　上述したように、シール部５の内周面側に回転軸Ｓが挿入されると、当該シール部５は真空空間Ｖ側の端部を支点として、大気圧空間Ａ側の端部が径方向外側に揺動する。これによってシール部５の主リップ１０は、回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する。
　また、真空空間側傾斜面１１の傾斜角度ｄ（図２）は、シール部５の大気圧空間Ａ側の端部が径方向外側に揺動することで小さくなり、真空空間側傾斜面１１が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に接近する。これによって、各環状突起２０は、その先端が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する。つまり、各環状突起２０は、主リップ１０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接した状態で、その先端が外周面Ｓ１に摺接するよう形成されている。
　また、このとき、各環状突起２０は、隣に位置する環状突起２０または主リップ１０との間で、真空空間側傾斜面１１と外周面Ｓ１との間に空間Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３を形成している。
　各環状突起２０の突出寸法ｔ１，ｔ２（図２）や、互いに隣り合う環状突起２０同士の間隔、環状突起２０と主リップ１０との間の間隔は、上記空間Ｋ１～Ｋ３が形成される値に設定されている。
　ここで、真空空間側傾斜面１１は、傾斜角度ｄが小さくなって外周面Ｓ１に接近する。このため、主リップ１０から最も離れている環状突起２０（第２環状突起２２）は、仮に他の環状突起２０と突出寸法が同じであると、外周面Ｓ１に接触したときのしめしろや緊迫力が他の環状突起２０よりも相対的に小さくなってしまう。
　そこで、第２環状突起２２の突出寸法ｔ２は、各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力が均等となるように、第１環状突起２１の突出寸法ｔ１よりも大きく形成されている。
　これによって、各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力が均等となり、各環状突起２０の間で、外周面Ｓ１に接触したときのしめしろや緊迫力にばらつきが生じるのを抑制することができる。
　上記のように構成された密封装置１によれば、主リップ１０以外に複数条の環状突起２０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接するので、例えば主リップ１０のみで摺接する場合と比較して、主リップ１０が外周面Ｓ１に摺接する際の単位面積当たりの面圧を低下させることができる。この結果、真空空間Ｖによる負圧によって、主リップ１０の回転軸Ｓに対する緊迫力が大きくなったとしても、回転軸Ｓが停止している状態から回転を開始する際に主リップ１０に生じるスティックスリップを抑制することができる。これにより、スティックスリップによって主リップ１０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１から瞬時的に離間するのを抑制することができる。この結果、回転軸Ｓの初動時に生じる真空変動の発生を抑制することができる。
　また、主リップ１０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接したときに、その先端が外周面Ｓ１に摺接するとともに互いに隣り合う環状突起２０または主リップ１０との間で空間Ｋ１～Ｋ３を形成する環状突起２０を、真空空間側傾斜面１１に複数条形成したので、主リップ１０に加え、複数条の環状突起２０それぞれによって真空空間Ｖと大気圧空間Ａとの間を多段階に仕切ることができる。これにより、主リップ１０に作用する負圧力を、真空空間Ｖ側に形成された複数条の環状突起２０によって段階的に低減することができる。このため、大気圧空間Ａから真空空間Ｖに向かって圧力がリークするのを抑制することができる。この結果、スティックスリップ以外の要因による圧力のリークをも抑制することができる。
　このように、本実施形態の密封装置１によれば、真空変動を抑制するとともに、圧力のリークを抑制することができるので、安定した真空環境を維持することができる。
　本実施形態では、第１環状突起２１を２つ設けることで、主リップ１０を合わせて真空空間Ｖと大気圧空間Ａとの間の仕切を４段階としたので、真空空間Ｖ側への圧力のリークをより効果的に抑制することができる。
　また、本実施形態によれば、環状突起２０が、互いに隣り合う環状突起２０または主リップ１０との間で空間Ｋ１～Ｋ３を形成するので、この空間Ｋ１～Ｋ３に、主リップ１０と回転軸Ｓとの間に供給される潤滑剤を留めることができる。
　これにより、主リップ１０と回転軸Ｓの外周面Ｓ１との間の摩擦力を低減することができ、スティックスリップをさらに効果的に抑制することができるとともに、摩擦に伴う摩耗を低減でき、密封装置１の高寿命化が可能となる。
　さらに、本実施形態では、各環状突起２０の先端が、断面円弧形状に形成されているので、当該環状突起２０が回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接する際の接触面積が必要以上に大きくなるのを抑制でき、環状突起２０と回転軸Ｓとの摩擦力を低減できる。さらに、各環状突起２０の先端を断面円弧形状とすることで、当該環状突起２０を外周面Ｓ１に対して確実に摺接させることができ密封性も確保することができる。
　先端が円弧形状である各環状突起２０は、表面粗さを可能な限り小さくした金型を用いてシール部材３全体で一体に加硫成形されている。このため、各環状突起２０の先端の表面粗さを小さくでき、上述のように空間Ｋ１～Ｋ３に留められる潤滑剤と相まって摩擦力をさらに低減することができる。
　また、本実施形態では、第２環状突起２２の突出寸法ｔ２が、第１環状突起２１の突出寸法ｔ１よりも大きく形成されている。これにより、各環状突起２０が外周面Ｓ１に摺接したときに、当該各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力を均等にしうる寸法とされている。よって、各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力を均等にできる。これにより、各環状突起２０の間で、外周面Ｓ１に接触したときのしめしろや緊迫力にばらつきが生じるのを抑制することができる。これにより、空間Ｋ１～Ｋ３を確実に形成して、真空空間Ｖと大気圧空間Ａとの間をより確実に多段階に仕切ることができる。この結果、真空空間Ｖに対する圧力のリークをより効果的に抑制することができる。
　また、本実施形態では、自由状態における主リップ１０の真空空間側傾斜面１１の軸方向に対する傾斜角度ｄが１０～２０度の範囲に設定されている。これにより、主リップ１０、及び上述のように形成された各環状突起を適切に回転軸Ｓの外周面Ｓ１に摺接させることができる。
　なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態では、互いに同じ突出寸法ｔ１とされた２つの第１環状突起２１を真空空間側傾斜面１１に形成した場合を例示した。これに対して、例えば、図４（ａ）に示すように、２つの第１環状突起２１は、主リップ１０側の第１環状突起２１ａの突出寸法を、第２環状突起２２側の第１環状突起２１ｂの突出寸法よりも小さく設定してもよい。
　より具体的には、主リップ１０及び各環状突起２０が自由状態のときの第１環状突起２１の先端及び第２環状突起２２の先端は、主リップ１０の先端と、第２環状突起２２の先端とを通過する接線Ｕに沿って形成されている。
　この場合、複数条の環状突起２０は、主リップ１０が外周面Ｓ１に摺接し、かつ各環状突起２０が外周面Ｓ１に摺接したときに、当該各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力を均等にしうる寸法とされている。これにより、各環状突起２０の外周面Ｓ１に対する接触圧力をより均等にでき、各環状突起２０のしめしろや緊迫力をより適切に設定することができる。
　さらに、上記実施形態では、第１環状突起２１を２つ設けることで、主リップ１０を合わせて真空空間Ｖと大気圧空間Ａとの間の仕切を４段階とした場合を示した。これに対して、図４（ｂ）に示すように、第１環状突起２１をより多数（図例では３つ）設けてもよい。
　図４（ｂ）では、第２環状突起２２の突出寸法が最も大きく、各第１環状突起２１の突出寸法は、主リップ１０から軸方向により離れた位置に形成されているものほど大きく形成されている。
　このように、真空空間Ｖと大気圧空間Ａとの間の仕切をより多数とすることで、真空空間Ｖ側への圧力のリークをさらに効果的に抑制することができる。
　１　密封装置
　１０　主リップ
　１１　真空空間側傾斜面（傾斜面）
　２０　環状突起
　２１，２１ａ，２１ｂ　第１環状突起
　２２　第２環状突起
　Ｓ　回転軸
　Ｓ１　外周面
　Ｔ　環状空間
　Ａ　大気圧空間（高圧空間）
　Ｖ　真空空間（低圧空間）

Claims (6)

  1. 　回転軸と、この回転軸を包囲しているハウジングとの間に形成された環状空間を、軸方向において低圧空間と、前記低圧空間よりも高圧の高圧空間とに仕切る密封装置であって、
    　弾性素材によって形成されているとともに、前記回転軸の外周面に摺接する環状のシール部を備え、
    　前記シール部の内周面には、前記回転軸の外周面に摺接する主リップと、前記主リップから前記低圧空間側に向かって延びているとともに、前記低圧空間側に向かって漸次拡径している傾斜面と、が形成され、
    　前記傾斜面には、前記主リップが前記回転軸の外周面に摺接した状態で前記回転軸の外周面に摺接する環状突起が、軸方向に沿って複数条形成されていることを特徴とする密封装置。
  2. 　前記複数条の環状突起は、前記主リップ側に設けられた第１環状突起と、前記第１環状突起よりも前記低圧空間側に設けられた第２環状突起とを含み、
    　前記第２環状突起の前記突出寸法は、前記第１及び第２環状突起の前記回転軸の外周面に対する接触圧力が均等になるように、前記第１環状突起よりも大きくなっている請求項１に記載の密封装置。
  3. 　前記第１環状突起は複数条設けられている請求項２に記載の密封装置。
  4. 　前記第１環状突起の先端及び前記第２環状突起の先端は、前記主リップの先端と、前記第２環状突起の先端とを通過する接線に沿ってに形成されている請求項２又は３に記載の密封装置。
  5. 　前記傾斜面の軸方向に対する傾斜角度は、１０～２０度に設定されている請求項１～４のいずれか一項に記載の密封装置。
  6. 　前記複数条の環状突起は、先端が断面円弧形状に形成されている請求項１～５のいずれか一項に記載の密封装置。
PCT/JP2014/061047 2013-06-21 2014-04-18 密封装置 Ceased WO2014203609A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201480035099.7A CN105308371A (zh) 2013-06-21 2014-04-18 密封装置
KR1020167001689A KR20160022896A (ko) 2013-06-21 2014-04-18 밀봉 장치
EP14814543.6A EP3012495B1 (en) 2013-06-21 2014-04-18 Use of hermetic seal device
KR1020217004809A KR20210021603A (ko) 2013-06-21 2014-04-18 밀봉 장치
US14/898,549 US10247308B2 (en) 2013-06-21 2014-04-18 Hermetic seal device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013-130792 2013-06-21
JP2013130792A JP6190179B2 (ja) 2013-06-21 2013-06-21 密封装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014203609A1 true WO2014203609A1 (ja) 2014-12-24

Family

ID=52104352

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2014/061047 Ceased WO2014203609A1 (ja) 2013-06-21 2014-04-18 密封装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10247308B2 (ja)
EP (1) EP3012495B1 (ja)
JP (1) JP6190179B2 (ja)
KR (2) KR20210021603A (ja)
CN (1) CN105308371A (ja)
TW (1) TWI531744B (ja)
WO (1) WO2014203609A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015133255A1 (ja) * 2014-03-07 2015-09-11 光洋シーリングテクノ株式会社 密封装置
WO2019039152A1 (ja) * 2017-08-24 2019-02-28 国立大学法人埼玉大学 密封装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201712256A (zh) * 2015-09-21 2017-04-01 Kind Shock Hi-Tech Co Ltd 壓力缸之活塞結構
JP6807684B2 (ja) * 2016-09-08 2021-01-06 ナブテスコ株式会社 シールアダプタ
JP6921491B2 (ja) * 2016-09-20 2021-08-18 Nok株式会社 密封装置
JP6782600B2 (ja) * 2016-10-04 2020-11-11 ナブテスコ株式会社 シール及びシール機構
DE102017125362A1 (de) * 2016-11-07 2018-05-09 Jtekt Corporation Dichtstruktur
JP6993103B2 (ja) * 2017-04-28 2022-01-13 Nok株式会社 環状ダストリップ及び密封装置
JP7737194B2 (ja) * 2021-11-30 2025-09-10 Nok株式会社 密封装置および電動機
WO2023106140A1 (ja) * 2021-12-06 2023-06-15 Ntn株式会社 軸シール

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61112865A (ja) * 1984-08-09 1986-05-30 シカゴ・ロ−ハイド・マニフアクチユアリング・コンパニ− 高圧用ならいシヤフトシ−ル
JP2000329237A (ja) * 1999-05-21 2000-11-30 Nok Corp 密封装置
JP2001099328A (ja) 1999-09-27 2001-04-10 Koyo Seiko Co Ltd シール
EP1701071A1 (en) * 2005-03-08 2006-09-13 Carl Freudenberg KG Oil seal
WO2007016980A1 (de) * 2005-08-09 2007-02-15 Federal-Mogul Sealing Systems Bretten Gmbh Elastomer-wellendichtring

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2556992C2 (de) * 1975-12-18 1980-04-24 Goetze Ag, 5093 Burscheid Wellendichtring
US4183543A (en) * 1978-11-13 1980-01-15 Dana Corporation Hydrodynamic seal with collector bead
US4399998A (en) * 1981-12-28 1983-08-23 The Timken Company Self-venting seal lip
GB2179408A (en) * 1985-08-20 1987-03-04 Angus George Co Ltd Oil seal with pumping action
US5326112A (en) 1992-09-25 1994-07-05 Skf Usa Inc. Seal for high pressure applications
JP3150861B2 (ja) 1994-12-15 2001-03-26 エヌオーケー株式会社 往復動用密封装置
JP2002005218A (ja) * 2000-06-16 2002-01-09 Unisia Jecs Corp シール装置
JP2006322528A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Koyo Sealing Techno Co Ltd 密封装置
JP5771118B2 (ja) * 2011-10-28 2015-08-26 カヤバ工業株式会社 密封装置及びこの密封装置を備える懸架装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61112865A (ja) * 1984-08-09 1986-05-30 シカゴ・ロ−ハイド・マニフアクチユアリング・コンパニ− 高圧用ならいシヤフトシ−ル
JP2000329237A (ja) * 1999-05-21 2000-11-30 Nok Corp 密封装置
JP2001099328A (ja) 1999-09-27 2001-04-10 Koyo Seiko Co Ltd シール
EP1701071A1 (en) * 2005-03-08 2006-09-13 Carl Freudenberg KG Oil seal
WO2007016980A1 (de) * 2005-08-09 2007-02-15 Federal-Mogul Sealing Systems Bretten Gmbh Elastomer-wellendichtring

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3012495A4

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015133255A1 (ja) * 2014-03-07 2015-09-11 光洋シーリングテクノ株式会社 密封装置
US9702463B2 (en) 2014-03-07 2017-07-11 Koyo Sealing Techno Co., Ltd. Seal device
EP3118494A4 (en) * 2014-03-07 2018-03-14 Koyo Sealing Techno Co., Ltd. Seal device
WO2019039152A1 (ja) * 2017-08-24 2019-02-28 国立大学法人埼玉大学 密封装置
JPWO2019039152A1 (ja) * 2017-08-24 2019-11-07 国立大学法人埼玉大学 密封装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015004414A (ja) 2015-01-08
EP3012495B1 (en) 2020-08-12
TWI531744B (zh) 2016-05-01
EP3012495A4 (en) 2017-03-08
KR20160022896A (ko) 2016-03-02
JP6190179B2 (ja) 2017-08-30
US20160153564A1 (en) 2016-06-02
US10247308B2 (en) 2019-04-02
CN105308371A (zh) 2016-02-03
KR20210021603A (ko) 2021-02-26
EP3012495A1 (en) 2016-04-27
TW201525331A (zh) 2015-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6190179B2 (ja) 密封装置
EP3118494B1 (en) Seal device
JP6147946B1 (ja) 密封装置
JP2009074602A (ja) オイルシール
JP2014129837A (ja) 密封装置
US20160186864A1 (en) Sealing ring
JP6650742B2 (ja) 密封装置
JP2015183749A (ja) 回転軸シール
JP2018063050A (ja) シール部材
JP2019027511A (ja) 密封装置
JP6920178B2 (ja) 密封装置
JP5459501B2 (ja) 密封装置
JP2017089801A (ja) デフサイド用の密封装置
JP6895357B2 (ja) 密封装置
JP2017198234A (ja) 密封装置
JP7106264B2 (ja) 密封装置
JPWO2016147835A1 (ja) 密封装置
JP6442647B1 (ja) 密封装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201480035099.7

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14814543

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14898549

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20167001689

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2014814543

Country of ref document: EP