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WO2013027662A1 - Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module, and methods of manufacturing same - Google Patents

Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module, and methods of manufacturing same Download PDF

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WO2013027662A1
WO2013027662A1 PCT/JP2012/070880 JP2012070880W WO2013027662A1 WO 2013027662 A1 WO2013027662 A1 WO 2013027662A1 JP 2012070880 W JP2012070880 W JP 2012070880W WO 2013027662 A1 WO2013027662 A1 WO 2013027662A1
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molded body
conversion element
metal
powder
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PCT/JP2012/070880
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中村孝則
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/80Constructional details
    • H10N10/85Thermoelectric active materials
    • H10N10/851Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
    • H10N10/8556Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising compounds containing germanium or silicon

Definitions

  • thermoelectric conversion module of the present invention includes (a) a one-side molded body that is a molded body including a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and (b) a thermoelectric composed of an intermetallic compound.
  • the molded body containing the conversion material powder and the metal powder, and the molded body different from the one-side molded body, or the other-side molded body that is a molded body made of metal is arranged in a predetermined array of thermoelectric conversion modules.
  • thermoelectric conversion element of the present invention applies a curable resin to or impregnates a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and then cures the curable resin. Therefore, it can be efficiently manufactured without requiring a sintering process at a high temperature.
  • thermosetting resin such as an epoxy resin
  • a type that is cured by a photocurable resin, a curing accelerator or a catalyst It is also possible to use a resin such as a resin.
  • the application state and the impregnation state of the curable resin may be at least a state in which the molded body can maintain its shape, and the reach distance from the surface of the molded body to the inside is particularly limited. It is not a thing.
  • thermoelectric conversion element n-type thermoelectric conversion element having a length of 12 mm.
  • relative density, resistivity, Seebeck coefficient, thermal conductivity, and fracture strength were examined.
  • thermoelectric conversion material powder having the composition of Sample No. 3 prepared in Example 1 was pressure-molded to prepare an n-type thermoelectric conversion element having a size of 5 mm ⁇ ⁇ height of 6 mm.

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

Provided are a thermoelectric conversion element, a thermoelectric conversion module employing the thermoelectric conversion element, and methods of manufacturing the thermoelectric conversion element and the thermoelectric conversion module, which have high manufacturability allowing efficient production without requiring a firing, heat processing, etc., step. A curable resin is applied to or infused into a formed body including a thermoelectric conversion material powder formed from an intermetallic compound and a metallic powder, and the curable resin is cured thereafter. A silicide is used as the intermetallic compound. At least one substance selected from the group of magnesium silicide, manganese silicide, or iron silicide is chosen as the silicide.

Description

熱電変換素子、熱電変換モジュール、およびそれらの製造方法Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module, and manufacturing method thereof

 本発明は、熱電変換素子、それを用いた熱電変換モジュール、および、熱電変換素子ならびに熱電変換モジュールの製造方法に関する。 The present invention relates to a thermoelectric conversion element, a thermoelectric conversion module using the thermoelectric conversion element, a thermoelectric conversion element, and a method for manufacturing the thermoelectric conversion module.

 近年、地球温暖化防止のため、二酸化炭素の削減が重要な課題となるに至り、熱を直接電気に変換することが可能な熱電変換素子が、有効な廃熱利用技術の一つとして着目されている。 In recent years, the reduction of carbon dioxide has become an important issue in order to prevent global warming, and thermoelectric conversion elements that can directly convert heat into electricity have attracted attention as an effective waste heat utilization technology. ing.

 そして、従来の熱電変換素子として、例えば、p型あるいはn型に調整されたFeSi2原料粉末をバインダで結合し、脱脂、焼結、熱処理してなるFeSi2熱発電素子において、上記バインダとして、樹脂中にCu成分を均一分散させたCu含有樹脂を用いたFeSi2熱発電素子およびその製造方法が提案されている(特許文献1参照)。 And, as a conventional thermoelectric conversion element, for example, in a FeSi 2 thermoelectric power generation element obtained by bonding a FeSi 2 raw material powder adjusted to p-type or n-type with a binder, degreasing, sintering, and heat treatment, An FeSi 2 thermoelectric power generation element using a Cu-containing resin in which a Cu component is uniformly dispersed in a resin and a manufacturing method thereof have been proposed (see Patent Document 1).

 このFeSi2熱発電素子は、p型あるいはn型に調整されたα(金属相)-FeSi2原料粉末中に、Cu粒子を含んだ樹脂からなるバインダを混合撹拌して所定の形状に加圧し、圧粉体を成形するとともに、この圧粉体から樹脂分を脱脂し、その後、成形体を焼結、固化し、熱処理してβ(半導体相)化するようにしたものであり、Cu粒子を含んだ樹脂を用いることにより、α層(金属相)からβ層(半導体相)への変態を促進させることが可能になるため、熱処理時間が大幅に短縮されることになるとされている。 In this FeSi 2 thermoelectric generator, α (metal phase) -FeSi 2 raw material powder adjusted to p-type or n-type is mixed and agitated with a binder made of a resin containing Cu particles and pressed into a predetermined shape. In addition to molding the green compact, the resin component is degreased from the green compact, and then the compact is sintered and solidified, and heat treated to form a β (semiconductor phase). It is said that the use of a resin containing can promote the transformation from the α layer (metal phase) to the β layer (semiconductor phase), so that the heat treatment time will be greatly shortened.

 また、熱電変換モジュールの製造方法として、焼結型内に、FeSi2系のp型およびn型からなる各熱電変換半導体原料粉末と、これらの少なくとも一端部に所定の金属からなる板又は粉末を投入し、これらを放電プラズマ焼結法により一段階で焼結、接合することで熱電変換モジュールを製造する方法が提案されている(特許文献2参照)。
 この特許文献2には、さらに、FeSi2系原料粉末にCr、もしくはCoを混入させることが示されている。
In addition, as a method for manufacturing a thermoelectric conversion module, in a sintering mold, each thermoelectric conversion semiconductor raw material powder made of FeSi 2 -based p-type and n-type, and a plate or powder made of a predetermined metal at least at one end thereof A method of manufacturing a thermoelectric conversion module by putting them in and sintering and joining them in one step by a discharge plasma sintering method has been proposed (see Patent Document 2).
This Patent Document 2 further shows that Cr or Co is mixed into the FeSi 2 raw material powder.

 この特許文献2の発明によれば、p型およびn型の原料粉末とともに所定の金属を一段階で焼結、接合することが可能になるため、熱電変換モジュールの製造コストを大幅に低減することができるとされている。 According to the invention of this Patent Document 2, it becomes possible to sinter and bond a predetermined metal together with p-type and n-type raw material powders in one step, so that the manufacturing cost of the thermoelectric conversion module is greatly reduced. It is supposed to be possible.

 しかしながら、上述の特許文献1の熱発電素子の製造方法や、特許文献2の熱電変換モジュールの製造においては、その製造工程において、焼結や熱処理などを必要としており、プロセスが煩雑で、製造工程に時間を要し、コストも増大するという問題点がある。 However, in the manufacturing method of the thermoelectric generator of Patent Document 1 described above and the manufacture of the thermoelectric conversion module of Patent Document 2, the manufacturing process requires sintering, heat treatment, etc., and the process is complicated and the manufacturing process. It takes time and costs increase.

特開平8-139368号公報JP-A-8-139368 特開2010-34508号公報JP 2010-34508 A

 本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、焼成や高温での熱処理などの工程を必要とせずに、効率よく製造することが可能で生産性の高い熱電変換素子、該熱電変換素子を用いた熱電変換モジュール、およびそのような熱電変換素子ならびに熱電変換モジュールの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can be efficiently manufactured without requiring steps such as baking and heat treatment at a high temperature, and a highly productive thermoelectric conversion element, and the thermoelectric conversion element An object of the present invention is to provide a thermoelectric conversion module using the above, and a method of manufacturing such a thermoelectric conversion element and thermoelectric conversion module.

 上記課題を解決するために、本発明の熱電変換素子は、
 金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、樹脂により所定の形状に保持されていることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the thermoelectric conversion element of the present invention is
It contains a thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound and a metal powder, and is held in a predetermined shape by a resin.

 また、本発明の熱電変換素子においては、前記金属間化合物が、シリサイドであることが好ましい。 In the thermoelectric conversion element of the present invention, the intermetallic compound is preferably silicide.

 また、前記シリサイドが、マグネシウムシリサイド、マンガンシリサイド、および鉄シリサイドからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。 The silicide is preferably at least one selected from the group consisting of magnesium silicide, manganese silicide, and iron silicide.

 本発明の熱電変換素子の製造方法は、
 上述の本発明の熱電変換素子の製造方法であって、
 金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含む成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させる工程と、
 前記硬化性樹脂を硬化させる工程と
 を備えていることを特徴としている。
The manufacturing method of the thermoelectric conversion element of the present invention is:
It is a manufacturing method of the above-mentioned thermoelectric conversion element of the present invention,
Applying or impregnating a curable resin to a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder; and
And a step of curing the curable resin.

 また、本発明の熱電変換モジュールは、
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールであって、
 (a)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子が前記一方側素子として用いられているとともに、
 (b)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子であって前記一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子が前記他方側素子として用いられていること
 を特徴としている。
The thermoelectric conversion module of the present invention is
A thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) the thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3 is used as the one-side element;
(b) The thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3, wherein a thermoelectric conversion element different from the one side element or a metal element made of metal is used as the other side element. It is said.

 また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法は、
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールの製造方法であって、
 (a)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体である一方側成形体と、(b)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって前記一方側成形体とは異なる成形体、または金属からなる成形体である他方側成形体とが、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べられ、導電性樹脂を介して接続された構造体を形成する工程と、
 前記他方側成形体として前記金属からなる成形体が用いられている場合には、前記一方側成形体に、また、前記他方側成形体として金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって前記一方側成形体とは異なる成形体が用いられている場合には、前記一方側成形体および前記他方側成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させる工程と、
 前記硬化性樹脂を硬化させることにより、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、硬化した樹脂により所定の形状に保持された一方側素子と、金属からなる成形体からなる他方側素子か、または、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、硬化した樹脂により所定の形状に保持された他方側素子とが、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べられて、導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールを形成する工程と
 を具備することを特徴としている。
Moreover, the manufacturing method of the thermoelectric conversion module of the present invention is:
A method for manufacturing a thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder; and (b) a molded body comprising a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder. The other side molded body, which is a molded body different from the one side molded body, or a molded body made of metal, is arranged so as to have a predetermined arrangement of the thermoelectric conversion modules, and is connected via a conductive resin. Forming a structure;
When a molded body made of the metal is used as the other side molded body, a thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound and a metal powder are used as the other side molded body. And a step of applying or impregnating a curable resin to the one side molded body and the other side molded body when a molded body different from the one side molded body is used. ,
By curing the curable resin, a thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound and a metal powder, one side element held in a predetermined shape by the cured resin, and a molded body made of metal A thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound, and the other element containing a metal powder and held in a predetermined shape by a cured resin is a predetermined arrangement of thermoelectric conversion modules. And a step of forming a thermoelectric conversion module having a structure that is arranged so as to be connected via a conductive resin.

 また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法は、
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールの製造方法であって、
 (a)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子を前記一方側素子として用いるとともに、
 (b)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子であって前記一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子を前記他方側素子として用い、
 (c)前記一方側素子と、前記他方側素子とを、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べ、導電性樹脂により接続すること
 を特徴としている。
Moreover, the manufacturing method of the thermoelectric conversion module of the present invention is:
A method for manufacturing a thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) using the thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3 as the one-side element;
(b) The thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3, wherein a thermoelectric conversion element different from the one side element, or a metal element made of metal is used as the other side element,
(c) The one side element and the other side element are arranged so as to form a predetermined arrangement of thermoelectric conversion modules, and are connected by a conductive resin.

 本発明の熱電変換素子は、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、樹脂により所定の形状に保持されており、酸化物半導体や金属間化合物を熱電変換材料として用いる場合においては必要となるような焼結の工程を必要とせずに製造することが可能である。その結果、生産コストが低く、量産性に優れた熱電変換素子を提供することができる。 The thermoelectric conversion element of the present invention contains a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, is held in a predetermined shape by a resin, and uses an oxide semiconductor or an intermetallic compound as a thermoelectric conversion material. In some cases, it can be produced without the need for a sintering step. As a result, it is possible to provide a thermoelectric conversion element that is low in production cost and excellent in mass productivity.

 また、熱電変換材料粉末に、それより低抵抗の材料である金属粉末を混合することで、熱電変換素子の抵抗率を下げることが可能となり、発電能力の高い熱電変換素子を提供することが可能になる。 Also, by mixing metal powder, which is a material with lower resistance, into the thermoelectric conversion material powder, it is possible to reduce the resistivity of the thermoelectric conversion element, and it is possible to provide a thermoelectric conversion element with high power generation capacity become.

 さらに、本発明の熱電変換素子は、複雑な形状にも対応しやすく、また、複数の材料のセグメント化も容易である。 Furthermore, the thermoelectric conversion element of the present invention can easily cope with a complicated shape and can easily segment a plurality of materials.

 また、前記金属間化合物として、シリサイドを用いることにより、熱電変換効率の高い熱電変換材料を、高温での焼結工程などを必要とすることなく得ることが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。 Further, by using silicide as the intermetallic compound, it becomes possible to obtain a thermoelectric conversion material having high thermoelectric conversion efficiency without requiring a sintering process at a high temperature, and the present invention is more effective. It can be tightened.

 さらに、シリサイドとして、マグネシウムシリサイド、マンガンシリサイド、鉄シリサイドからなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることにより、特性の良好で、経済性にも優れた熱電変換素子を得ることが可能になる。 Furthermore, by using at least one selected from the group consisting of magnesium silicide, manganese silicide, and iron silicide as the silicide, it is possible to obtain a thermoelectric conversion element having good characteristics and excellent economy.

 また、本発明の熱電変換素子の製造方法は、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含む成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させた後、硬化性樹脂を硬化させるようにしているので、焼結の工程を経ずに熱電変換素子を、効率よく、低コストで製造することができる。
 また、上述の方法の場合、複雑な形状にも対応しやすく、複数の材料のセグメント化も容易である。
In addition, the method for producing a thermoelectric conversion element of the present invention includes applying a curable resin to or impregnating a curable resin on a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and then applying the curable resin. Since it is made to harden | cure, a thermoelectric conversion element can be manufactured efficiently and at low cost, without passing through the process of sintering.
Moreover, in the case of the above-mentioned method, it is easy to cope with a complicated shape and it is easy to segment a plurality of materials.

 また、本発明の熱電変換モジュールは、一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールであって、本発明の熱電変換素子を一方側素子として用い、同じく本発明の熱電変換素子であって前記一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子を他方側素子として用いるようにしており、少なくとも一方側素子には、低抵抗で、特性が良好な本発明の熱電変換素子が用いられているため、生産性に優れ、特性の良好な熱電変換モジュールを提供することが可能になる。 The thermoelectric conversion module of the present invention is a thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin, and the thermoelectric conversion element of the present invention is used as the one side element. The thermoelectric conversion element of the present invention is a thermoelectric conversion element different from the one side element, or a metal element made of metal is used as the other side element, and at least one side element has a low resistance, Since the thermoelectric conversion element of the present invention having good characteristics is used, it is possible to provide a thermoelectric conversion module having excellent productivity and good characteristics.

 また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法は、(a)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体である一方側成形体と、(b)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって前記一方側成形体とは異なる成形体、または金属からなる成形体である他方側成形体とが、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べられ、導電性樹脂を介して接続された構造体を形成した後、他方側成形体として金属からなる成形体が用いられている場合には、一方側成形体に、また、他方側成形体として金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって一方側成形体とは異なる成形体が用いられている場合には、一方側成形体および他方側成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させ、その後、この硬化性樹脂を硬化させるようにしているので、上述の本発明の熱電変換素子を効率よく製造することができる。 In addition, the method for producing a thermoelectric conversion module of the present invention includes (a) a one-side molded body that is a molded body including a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and (b) a thermoelectric composed of an intermetallic compound. The molded body containing the conversion material powder and the metal powder, and the molded body different from the one-side molded body, or the other-side molded body that is a molded body made of metal is arranged in a predetermined array of thermoelectric conversion modules. If a molded body made of metal is used as the other side molded body after forming a structure that is arranged in a row and connected via a conductive resin, the other side molded body When a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound as a body and a metal powder and a molded body different from the one-side molded body is used, the one-side molded body and the other-side molded body Apply curable resin. Alternatively, since the curable resin is cured after impregnation, the above-described thermoelectric conversion element of the present invention can be efficiently produced.

 また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法は、(a)本発明の熱電変換素子を一方側素子として用いるとともに、(b)本発明の熱電変換素子であって一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子を他方側素子として用い、(c)一方側素子と、他方側素子とを、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べ、導電性樹脂により接続するようにした場合にも、上述の本発明の熱電変換素子を効率よく製造することができる。 In addition, the manufacturing method of the thermoelectric conversion module of the present invention uses (a) the thermoelectric conversion element of the present invention as one side element, and (b) the thermoelectric conversion element of the present invention which is different from the one side element. An element or a metal element made of metal is used as the other side element, and (c) the one side element and the other side element are arranged so as to be in a predetermined arrangement of the thermoelectric conversion modules and connected by a conductive resin. Even in this case, the thermoelectric conversion element of the present invention described above can be efficiently manufactured.

 また、本発明の方法で製造した上述の熱電変換モジュールを、さらに樹脂でモールドした構造のものとすることも可能である。 Further, the thermoelectric conversion module manufactured by the method of the present invention can be further molded with a resin.

本発明の実施例1にかかる熱電変換素子の外観構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance structure of the thermoelectric conversion element concerning Example 1 of this invention. 本発明の実施例1にかかる熱電変換素子の内部構造を模式的に示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows typically the internal structure of the thermoelectric conversion element concerning Example 1 of this invention. 図2の要部拡大図であって、本発明の熱電変換素子における、熱電変換材料に金属粉末が添加され、樹脂により形状が保持された状態を模式的に示す図である。It is a principal part enlarged view of FIG. 2, Comprising: It is a figure which shows typically the state by which metal powder was added to the thermoelectric conversion material in the thermoelectric conversion element of this invention, and the shape was hold | maintained with resin. 本発明の実施例1において作製した熱電変換素子の抵抗率と、金属粉末(Ni粉末)の添加量の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the resistivity of the thermoelectric conversion element produced in Example 1 of this invention, and the addition amount of metal powder (Ni powder). 本発明の実施例1において作製した熱電変換素子の無次元性能指数ZTと、金属粉末(Ni粉末)の添加量の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the dimensionless figure of merit ZT of the thermoelectric conversion element produced in Example 1 of this invention, and the addition amount of metal powder (Ni powder). 本発明の実施例2にかかる熱電変換モジュールの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the thermoelectric conversion module concerning Example 2 of this invention. 本発明の実施例2にかかる熱電変換モジュールの、無負荷での出力電圧、および、出力が最大となるように外部負荷を調整した場合の最大出力を示す図である。It is a figure which shows the maximum output at the time of adjusting the external load so that the output voltage of a thermoelectric conversion module concerning Example 2 of this invention and no output may become the maximum. 熱電変換モジュールの基本的な構成とその機能を説明する図である。It is a figure explaining the basic composition and the function of a thermoelectric conversion module.

 以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 Embodiments of the present invention will be described below, and the features of the present invention will be described in more detail.

 例えば、図8に示すように、1つのp型熱電変換材料1と、1つのn型熱電変換材料2とを備え、p型熱電変換材料1とn型熱電変換材料2とが、高温側端面3aにおいて高温側接続電極4を介して接続され、かつ、p型熱電変換材料1およびn型熱電変換材料2の低温側端面3bには、それぞれ、電極(取り出し電極)5が配設されたπ型の熱電変換素子10を考えた場合、高温側端面3aと、低温側端面3bに温度差が与えられると、ゼーベック効果により起電力が生じ、電極(取り出し電極)5を経て電力が取り出される。 For example, as shown in FIG. 8, one p-type thermoelectric conversion material 1 and one n-type thermoelectric conversion material 2 are provided, and the p-type thermoelectric conversion material 1 and the n-type thermoelectric conversion material 2 are end surfaces on the high temperature side. 3a, via the high temperature side connection electrode 4, and on the low temperature side end surfaces 3b of the p-type thermoelectric conversion material 1 and the n-type thermoelectric conversion material 2, electrodes (extraction electrodes) 5 are respectively disposed. When considering a thermoelectric conversion element 10 of a type, if a temperature difference is given between the high temperature side end surface 3 a and the low temperature side end surface 3 b, an electromotive force is generated due to the Seebeck effect, and electric power is extracted through the electrode (extraction electrode) 5.

 なお、p型熱電変換材料のゼーベック(Seebeck)係数はプラス、n型熱電変換材料のゼーベック係数はマイナスであり、pn接合を複数対にすることで、大きな熱起電力を得ることができる。 In addition, the Seebeck coefficient of the p-type thermoelectric conversion material is plus and the Seebeck coefficient of the n-type thermoelectric conversion material is minus, and a large thermoelectromotive force can be obtained by using a plurality of pairs of pn junctions.

 ただし、熱電変換モジュールは、p型熱電変換材料とn型熱電変換材料とを組み合わせる場合に限らず、p型熱電変換材料と金属材料とを組み合わせたり、n型熱電変換材料と金属材料とを組み合わせたりすることによっても、所定の起電力を生じるような熱電変換モジュールを構成することができる。 However, the thermoelectric conversion module is not limited to a combination of a p-type thermoelectric conversion material and an n-type thermoelectric conversion material, but a combination of a p-type thermoelectric conversion material and a metal material, or a combination of an n-type thermoelectric conversion material and a metal material. The thermoelectric conversion module that generates a predetermined electromotive force can also be configured.

 ところで、上述のようなp型およびn型熱電変換材料として、金属酸化物半導体系材料を用いる場合、金属酸化物半導体系材料は、通常、金属化合物原料(酸化物や炭酸塩など)を所定の配合比で混合した後、熱処理することで所望の組成を有する原料粉末を合成し、さらに加圧焼結などの方法で焼結させる工程を経て製造される熱電変換材料を、所定の形状に切り出した熱電変換材料(p型熱電変換素子およびn型熱電変換素子)を、例えば、図8に示すようなπ型接合構造となるように電気的に接続することにより製造されている。そのため、p型熱電変換材料(素子)とn型熱電変換材料(素子)を作製するには、焼結の工程が必須となり、エネルギーコストが大きくなるばかりでなく、製造工程が複雑になる。 By the way, when a metal oxide semiconductor material is used as the p-type and n-type thermoelectric conversion materials as described above, the metal oxide semiconductor material is usually a metal compound raw material (oxide, carbonate, etc.). After mixing at a compounding ratio, heat treatment is performed to synthesize raw material powder having the desired composition, and further cut out a thermoelectric conversion material manufactured through a process of sintering by a method such as pressure sintering into a predetermined shape. The thermoelectric conversion material (p-type thermoelectric conversion element and n-type thermoelectric conversion element) is manufactured, for example, by electrical connection so as to have a π-type junction structure as shown in FIG. Therefore, in order to produce a p-type thermoelectric conversion material (element) and an n-type thermoelectric conversion material (element), a sintering process is essential, which not only increases the energy cost but also complicates the manufacturing process.

 これに対し、本発明においては、熱電変換材料として、例えば、溶融法などの方法で作製されるマグネシウムシリサイドや、マンガンシリサイドの金属間化合物を用いるようにしているので、原料粉末の合成に熱処理を必要とせずに、熱電変換素子を得ることができる。 In contrast, in the present invention, magnesium silicide produced by a method such as a melting method or an intermetallic compound of manganese silicide is used as the thermoelectric conversion material. A thermoelectric conversion element can be obtained without the need.

 すなわち、本発明の熱電変換素子は、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含む成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させた後、硬化性樹脂を硬化させることにより製造することができるため、高温での焼結工程などを必要とせずに、効率よく製造することができる。 That is, the thermoelectric conversion element of the present invention applies a curable resin to or impregnates a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and then cures the curable resin. Therefore, it can be efficiently manufactured without requiring a sintering process at a high temperature.

 本発明の熱電変換材料に使用する金属間化合物(金属系半導体熱電変換材料)には特に限定はないが、シリサイド系材料、ホイスラー系材料、ハーフホイスラー系材料、スクッテルダイト系材料などの金属系半導体熱電変換材料を用いることが好ましく、マグネシウムシリサイド(例えば、Mg2Si)、マンガンシリサイド(例えば、MnSi1.7)、鉄シリサイド(例えば、FeSi2)などのシリサイド材料を用いることがさらに好ましい。
 また、本発明の熱電変換素子においては、素子内部の温度分布に適した材料を直列方向に積み重ねて使用することも可能である。
The intermetallic compound (metal-based semiconductor thermoelectric conversion material) used for the thermoelectric conversion material of the present invention is not particularly limited, but metal-based compounds such as silicide-based materials, Heusler-based materials, half-Heusler-based materials, and skutterudite-based materials A semiconductor thermoelectric conversion material is preferably used, and a silicide material such as magnesium silicide (eg, Mg 2 Si), manganese silicide (eg, MnSi 1.7 ), iron silicide (eg, FeSi 2 ) is more preferably used.
Moreover, in the thermoelectric conversion element of this invention, it is also possible to use the material suitable for the temperature distribution inside an element by stacking in the serial direction.

 また、本発明の熱電変換素子においては、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末に、該熱電変換材料よりも抵抗率の低い材料である金属粉末を混合する。
 添加する金属粉末は、熱電変換材料よりも抵抗率が低ければよく、その種類に特別の制約はない。また、金属粉末は、1種類のものを単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。また、金属粉末としては、熱電変換材料粉末よりも粒径の小さいものを用いることが望ましく、通常は粉末の状態で添加することが好ましい。
Moreover, in the thermoelectric conversion element of this invention, the metal powder which is a material whose resistivity is lower than this thermoelectric conversion material is mixed with the thermoelectric conversion material powder which consists of intermetallic compounds.
The added metal powder only needs to have a lower resistivity than the thermoelectric conversion material, and there is no particular restriction on the type thereof. Moreover, a metal powder may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for it. Moreover, it is desirable to use a metal powder having a particle size smaller than that of the thermoelectric conversion material powder, and it is usually preferable to add the powder in a powder state.

 本発明において、n型熱電変換材料粉末に混合する金属粉末として好ましいものとしてはNi粉末が挙げられ、p型熱電変換材料粉末に混合する金属粉末として好ましいものとしてはCu粉末を挙げることができる。
 なお、金属粉末の添加量は、金属粉末と熱電変換材料粉末の合計量に対する金属粉末の割合が、0.1~50vol%の範囲とすることが望ましい。これは、金属粉末の添加量が0.1vol%未満になると、実効的な抵抗率の低下が生じず、また、金属粉末の添加量が50vol%を超えると、ゼーベック係数が低下し、発電特性が低くなることによる。
In the present invention, Ni powder is preferable as the metal powder mixed with the n-type thermoelectric conversion material powder, and Cu powder is preferable as the metal powder mixed with the p-type thermoelectric conversion material powder.
The amount of metal powder added is preferably such that the ratio of metal powder to the total amount of metal powder and thermoelectric conversion material powder is in the range of 0.1 to 50 vol%. This is because when the added amount of the metal powder is less than 0.1 vol%, the effective resistivity does not decrease, and when the added amount of the metal powder exceeds 50 vol%, the Seebeck coefficient decreases, and the power generation characteristics Due to the low.

 本発明の熱電変換素子は、例えば、加圧焼結などの焼結の工程を必要とせず、例えば、加圧成型などの方法で、成型することにより製造することができる。
 成型前の熱電変換材料粉末を分級する際の粒度、および、各粒度の熱電変換材料粉末の存在比率についても特に限定はなく、熱電変換素子の形状を維持することが可能な粒度であれば、例えば、粒径が300μm以上の粒子を含んでいてもよい。また、各分級品を適宜混合して使用してもよい。
The thermoelectric conversion element of the present invention does not require a sintering step such as pressure sintering, for example, and can be manufactured by molding by a method such as pressure molding.
There is no particular limitation on the particle size when classifying the thermoelectric conversion material powder before molding, and the abundance ratio of the thermoelectric conversion material powder of each particle size, so long as it is a particle size that can maintain the shape of the thermoelectric conversion element, For example, particles having a particle size of 300 μm or more may be included. In addition, each classified product may be appropriately mixed and used.

 また、2軸プレスにより加圧成型する場合の圧力は、成型体が所定の形状を維持することが可能な密度に到達できる圧力であればよく、例えば、100MPaなどの圧力が例示されるが、これに限られるものではない。 In addition, the pressure in the case of pressure molding with a biaxial press may be a pressure that can reach a density at which the molded body can maintain a predetermined shape, and examples thereof include a pressure of 100 MPa, It is not limited to this.

 本発明の熱電変換素子を製造するにあたっては、例えば、熱電変換材料粉末と金属粉末の成形体(例えば、加圧成型による成型体)の表面に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させた後、硬化性樹脂を硬化させる。これにより、熱電変換素子が得られる。
 なお、加圧成型などの成型のみでは、熱電変換素子の機械強度は不十分であるが、硬化性樹脂を塗布し、あるいは含浸させた後、硬化させることにより機械的強度を高めて信頼性を向上させることができる。
 また、素子表面を硬化性樹脂で覆うことにより耐湿性が向上させることができる。
 上述のように、本発明の熱電変換素子は、加圧焼結などの工程を必要としないので、製造工程で消費するエネルギーを低減することが可能になり、経済的で、生産性に優れた熱電変換素子を提供することができる。
 また、複雑な形状加工を容易に行うことが可能であり、また、温度特性の異なる材料のセグメント化が容易になるため、熱電変換効率の向上を図ることができる。
 また、熱電変換材料粉末に金属粉末(低抵抗材料)を混合することで、熱電変換素子の抵抗率を下げることが可能になり、発電能力を高めることができる。
In producing the thermoelectric conversion element of the present invention, for example, after applying or impregnating a curable resin on the surface of a molded body of thermoelectric conversion material powder and metal powder (for example, a molded body by pressure molding). The curable resin is cured. Thereby, a thermoelectric conversion element is obtained.
Note that the mechanical strength of the thermoelectric conversion element is insufficient only by molding such as pressure molding, but the mechanical strength is increased by applying or impregnating the curable resin and then curing to increase the reliability. Can be improved.
Moreover, moisture resistance can be improved by covering the element surface with a curable resin.
As described above, since the thermoelectric conversion element of the present invention does not require a process such as pressure sintering, it is possible to reduce energy consumed in the manufacturing process, and it is economical and excellent in productivity. A thermoelectric conversion element can be provided.
In addition, it is possible to easily perform complicated shape processing, and since it becomes easy to segment materials having different temperature characteristics, it is possible to improve thermoelectric conversion efficiency.
Moreover, by mixing metal powder (low resistance material) with the thermoelectric conversion material powder, it is possible to reduce the resistivity of the thermoelectric conversion element, and it is possible to increase the power generation capacity.

 成形体に、塗布あるいは含浸させる硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性のものを使用してもよく、また、光硬化性の樹脂や、硬化促進剤や触媒により硬化するタイプの樹脂など樹脂を用いることも可能である。また、硬化性樹脂の塗布状態や含浸状態は、少なくとも成形体がその形状を維持することが可能な状態となっていればよく、成形体の表面から内部への到達距離は、特に限定されるものではない。 As the curable resin to be applied or impregnated into the molded body, a thermosetting resin such as an epoxy resin may be used, or a type that is cured by a photocurable resin, a curing accelerator or a catalyst. It is also possible to use a resin such as a resin. Further, the application state and the impregnation state of the curable resin may be at least a state in which the molded body can maintain its shape, and the reach distance from the surface of the molded body to the inside is particularly limited. It is not a thing.

 また、成形体が、その形状を維持することが可能である限りにおいて、硬化性樹脂は、成形体の内部にほとんど浸透せずに、表面を覆うように存在していてもよい。 Further, as long as the molded body can maintain its shape, the curable resin may be present so as to cover the surface with almost no penetration into the molded body.

 なお、熱電変換素子において硬化性樹脂が占める割合は、熱電変換材料粉末と金属粉末からなる熱電変換素子が所定の強度となるように適宜選択するようにすればよい。 The ratio of the curable resin in the thermoelectric conversion element may be appropriately selected so that the thermoelectric conversion element made of the thermoelectric conversion material powder and the metal powder has a predetermined strength.

 図1は、本発明の一実施形態にかかる熱電変換素子の斜視図、図2は正面断面図、図3は図2の要部拡大図である。 FIG. 1 is a perspective view of a thermoelectric conversion element according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front sectional view, and FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG.

 図2および3に示すように、この実施形態にかかる熱電変換素子Aにおいては、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末11と金属粉末12とを含む成形体10の表面10a(図3)から内部に向かって、硬化性樹脂13が含浸しており、この硬化性樹脂13により成形体10が所定の形状(略立方体形状)に保たれている。 As shown in FIGS. 2 and 3, in the thermoelectric conversion element A according to this embodiment, the inside from the surface 10 a (FIG. 3) of the molded body 10 including the thermoelectric conversion material powder 11 made of an intermetallic compound and the metal powder 12. The curable resin 13 is impregnated toward the surface, and the molded body 10 is maintained in a predetermined shape (substantially cubic shape) by the curable resin 13.

 なお、図1~3は、成形体10を、未硬化の状態にある硬化性樹脂に浸漬し、引き上げ、真空吸引して気泡を抜いた後、樹脂を硬化させる工程を経て製造されたものである。 1 to 3 are manufactured through a process in which the molded body 10 is immersed in a curable resin in an uncured state, pulled up, vacuumed to remove bubbles, and then cured. is there.

 浸漬時間や、その後の真空吸引の時間を調整することにより、さらに内部に樹脂を浸透させることは可能である。 It is possible to further infiltrate the resin by adjusting the immersion time and the subsequent vacuum suction time.

 また、樹脂を成形体10の表層に止める場合には、樹脂を塗布して硬化させるだけでもよい。その場合にも、熱電変換素子を所定の形状に保持する保形性は確保することができる。  Further, when the resin is stopped on the surface layer of the molded body 10, the resin may be applied and cured. Even in that case, the shape retaining property of holding the thermoelectric conversion element in a predetermined shape can be ensured. *

 また、本発明の熱電変換モジュールの例としては、上述のように構成された本発明の熱電変換素子(p型熱電変換素子およびn型熱電変換素子)を用いて形成される、図8に示すようなπ型熱電変換モジュールを挙げることができる。 Moreover, as an example of the thermoelectric conversion module of this invention, it forms using the thermoelectric conversion element (p-type thermoelectric conversion element and n-type thermoelectric conversion element) of this invention comprised as mentioned above, and it shows in FIG. Such a π-type thermoelectric conversion module can be exemplified.

 例えば、p型熱電変換素子とn型熱電変換素子の接合対が複数である熱電変換モジュールを製造するにあたっては、p型熱電変換素子とn型熱電変換素子を、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べ、導電性樹脂により接続した後、硬化性樹脂を塗布し、あるいは含浸させ、その後、熱硬化性樹脂を硬化させることにより、効率よく、複数のpn接合対を備えた熱電変換モジュールを製造することができる。 For example, in manufacturing a thermoelectric conversion module having a plurality of junction pairs of a p-type thermoelectric conversion element and an n-type thermoelectric conversion element, the p-type thermoelectric conversion element and the n-type thermoelectric conversion element are combined with a predetermined arrangement of thermoelectric conversion modules. A thermoelectric conversion module having a plurality of pn junction pairs efficiently by arranging and connecting with a conductive resin, and then applying or impregnating a curable resin and then curing the thermosetting resin. Can be manufactured.

 また、塗布、あるいは、含浸させた硬化性樹脂を硬化させることにより得られる本発明の熱電変換素子は、耐湿性に優れており、それを用いて作製される熱電変換モジュールの信頼性を高めることができる。 In addition, the thermoelectric conversion element of the present invention obtained by curing a curable resin that has been coated or impregnated has excellent moisture resistance, and improves the reliability of a thermoelectric conversion module that is produced using the thermoelectric conversion element. Can do.

 また、熱電変換モジュールにおいては、熱電変換素子間が導電性樹脂単体で電気的に接続されていることが望ましいが、金属線、箔、棒、板などを導電性樹脂により接続するようにしてもよい。 In addition, in the thermoelectric conversion module, it is desirable that the thermoelectric conversion elements are electrically connected by a single conductive resin, but metal wires, foils, bars, plates, etc. may be connected by a conductive resin. Good.

 以下に、本発明の実施例を示して、本発明をさらに詳しく説明する。なお、この実施例1では、以下の手順で、金属間化合物であるMg2Siを金属系半導体熱電材料とする熱電変換素子を作製してその特性を調べた。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples of the present invention. In Example 1, a thermoelectric conversion element using Mg 2 Si, which is an intermetallic compound, as a metal-based semiconductor thermoelectric material was prepared and the characteristics thereof were examined by the following procedure.

 まず、金属系半導体熱電材料として、溶融法で作製されたMg2Siを用意し、これを乳鉢で粉砕した後、粒度を50μm~300μmに分級した。
次いで、分級した熱電材料粉末(Mg2Si粉末)に、平均粒径が0.9μmのNi粉末を、表1に示す体積分率になるように秤量し、アセトンを溶媒にして10分間の超音波分散を行い、スラリーを得た。
 そして、このスラリーから溶媒成分を除去した後、40℃のオーブンで1時間乾燥させ、開口30μmのふるいを通して、加圧成型用の熱電変換材料粉末を得た。
First, Mg 2 Si produced by a melting method was prepared as a metal-based semiconductor thermoelectric material, and this was pulverized in a mortar, and then the particle size was classified to 50 μm to 300 μm.
Next, Ni powder having an average particle size of 0.9 μm is weighed into the classified thermoelectric material powder (Mg 2 Si powder) so as to have the volume fraction shown in Table 1, and acetone is used as a solvent for over 10 minutes. Sonic dispersion was performed to obtain a slurry.
Then, after removing the solvent component from the slurry, the slurry was dried in an oven at 40 ° C. for 1 hour, and a thermoelectric conversion material powder for pressure molding was obtained through a sieve having an opening of 30 μm.

Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001

 それから、この熱電変換材料粉末を2軸プレスを用い、100MPaの圧力で加圧成型することにより、24mm×4mm×3.5mmtのサイズの成形体(成型体)を作製した。 Then, this thermoelectric conversion material powder was subjected to pressure molding at a pressure of 100 MPa using a biaxial press to produce a molded body (molded body) having a size of 24 mm × 4 mm × 3.5 mmt.

 次に、この成形体を1GPaの圧力で静水圧プレスし、相対密度の異なる成形体を作製した。
 そして、この成形体に、硬化性樹脂として、エポキシ樹脂を塗布し、真空脱泡を施すことにより、成形体の表面から内部の空隙にエポキシ樹脂を含浸させた。
Next, this compact was hydrostatically pressed at a pressure of 1 GPa to produce compacts having different relative densities.
Then, an epoxy resin was applied as a curable resin to this molded body, and vacuum deaeration was performed to impregnate the epoxy resin from the surface of the molded body into the internal space.

 それから、この樹脂含浸成形体を、室温で24時間放置し、エポキシ樹脂を固化させた後、ダイシングソーで切断し、長さが12mmの熱電変換素子(n型熱電変換素子)を得た。
 得られた熱電変換素子について、相対密度、抵抗率、ゼーベック係数、熱伝導率、破壊強度を調べた。
Then, the resin-impregnated molded body was allowed to stand at room temperature for 24 hours to solidify the epoxy resin and then cut with a dicing saw to obtain a thermoelectric conversion element (n-type thermoelectric conversion element) having a length of 12 mm.
About the obtained thermoelectric conversion element, relative density, resistivity, Seebeck coefficient, thermal conductivity, and fracture strength were examined.

 抵抗率(Ω・cm)は、熱電変換素子の室温での電気抵抗を4端子法で測定することにより調べた。
 また、ゼーベック係数(μV/K)は、熱電変換素子の両端に5~30℃の温度差を与えたときに発生する熱起電力を測定して算出した。
 さらに、熱伝導率(W/mK)は、レーザーフレッシュ法により測定した。
 また、破壊強度(Mpa)は、硬化性樹脂(エポキシ樹脂)を塗布、含浸させる前と、塗布、含浸させ、硬化させた後の試料について、三点曲げ試験で評価した。
The resistivity (Ω · cm) was examined by measuring the electric resistance at room temperature of the thermoelectric conversion element by the four-terminal method.
Further, the Seebeck coefficient (μV / K) was calculated by measuring the thermoelectromotive force generated when a temperature difference of 5 to 30 ° C. was given to both ends of the thermoelectric conversion element.
Furthermore, the thermal conductivity (W / mK) was measured by a laser fresh method.
Further, the breaking strength (Mpa) was evaluated by a three-point bending test for samples before and after impregnation with a curable resin (epoxy resin) and after application, impregnation and curing.

 また、熱電変換材料の特性である、出力因子(P.F.)を下記の式(1)から求めた。
    P.F.(W/K2m)=α2/ρ  ……(1)
 α:ゼーベック係数
 ρ:抵抗率(電気抵抗)
Moreover, the output factor (PF) which is the characteristic of the thermoelectric conversion material was calculated | required from following formula (1).
P. F. (W / K 2 m) = α 2 / ρ (1)
α: Seebeck coefficient ρ: Resistivity (electric resistance)

 さらに、出力因子を熱伝導率で割り、絶対温度を乗じた値である無次元性能指数ZTを求めた。 Furthermore, the dimensionless figure of merit ZT, which is a value obtained by dividing the output factor by the thermal conductivity and multiplying by the absolute temperature, was obtained.

 表2に、この実施例で作製した熱電変換素子の相対密度、抵抗率、ゼーベック係数、出力因子、熱伝導率、無次元性能指数ZTおよび破壊強度を示す。
 なお、破壊強度以外の特性は、いずれも、含浸させた硬化性樹脂を硬化させた試料について測定した値である。
Table 2 shows the relative density, resistivity, Seebeck coefficient, output factor, thermal conductivity, dimensionless figure of merit ZT, and breaking strength of the thermoelectric conversion element produced in this example.
The properties other than the breaking strength are values measured for a sample obtained by curing the impregnated curable resin.

 また、図4および5に、この実施例で作製した熱電変換素子の抵抗率、無次元性能指数ZTの変化を示す。 4 and 5 show changes in resistivity and dimensionless figure of merit ZT of the thermoelectric conversion element produced in this example.

Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002

 表2に示すように、試料番号1~7の試料のうち、Ni粉末を添加した、本発明の要件を満たす試料番号2~7の熱電変換素子においては、Niがいずれの体積分率である場合にも、無次元性能指数ZTが向上しており、例えば、試料番号5では無次元性能指数ZTが0.0258と、Ni粉末無添加の試料番号1の試料の約2倍の特性が得られることが確認された。 As shown in Table 2, among the samples of sample numbers 1 to 7, Ni is added, and in the thermoelectric conversion elements of sample numbers 2 to 7 satisfying the requirements of the present invention, Ni is any volume fraction. In this case, the dimensionless figure of merit ZT is improved. For example, in the sample number 5, the dimensionless figure of merit ZT is 0.0258, which is about twice the characteristic of the sample of the sample number 1 with no Ni powder added. It was confirmed that

 また、破壊強度については、硬化性樹脂の塗布、含浸を行う前の試料に比べて、硬化性樹脂を塗布して含浸させた後、硬化させた試料については、破壊強度が大幅に向上することが確認された。例えば、試料番号5の試料についてみると、樹脂を含浸させていない試料の場合、破壊強度が5.2MPaであるのに対し、樹脂を含浸させ硬化させた試料の場合、79.1MPaと約15倍の強度が得られることが確認されている。 In addition, regarding the breaking strength, the breaking strength of the sample cured after applying and impregnating the curable resin is greatly improved compared to the sample before applying and impregnating the curable resin. Was confirmed. For example, regarding the sample of sample number 5, in the case of the sample not impregnated with the resin, the fracture strength is 5.2 MPa, whereas in the case of the sample impregnated with the resin and cured, 79.1 MPa is about 15 It has been confirmed that double strength can be obtained.

 また、上記実施例から、試料番号1の試料のように、金属粉末(Ni粉末)を配合せずに熱電変換材料粉末のみを成型した場合には、出力因子が小さく、発電特性は低いが、試料番号2~7の試料のように、金属粉末(Ni粉末)を添加することで発電能力が向上し、さらに樹脂の含浸、硬化を行うことで実効的な破壊強度が得られることが確認された。 Further, from the above examples, as in the sample of sample number 1, when only the thermoelectric conversion material powder is molded without compounding the metal powder (Ni powder), the output factor is small and the power generation characteristics are low. It was confirmed that the power generation capability was improved by adding metal powder (Ni powder) as in samples Nos. 2 to 7, and that effective fracture strength was obtained by impregnating and curing the resin. It was.

 また、本発明の熱電変換素子の製造方法によれば、高温での熱処理工程(焼結工程)を必要としないことから、熱電変換素子の製造に要するエネルギーコストを低減することが可能になるとともに、製造工程に要する時間を短くすることが可能になる。 Moreover, according to the method for manufacturing a thermoelectric conversion element of the present invention, since a heat treatment step (sintering step) at a high temperature is not required, it is possible to reduce the energy cost required for manufacturing the thermoelectric conversion element. The time required for the manufacturing process can be shortened.

 なお、この実施例1では、添加する金属粉末として、ゼーベック係数の極性がMg2Siと同じであるNi粉末を用いている。すなわち、熱電変換材料であるMg2SiおよびNi粉末のゼーベック係数はいずれも負で、抵抗率がMg2Siよりも低いNi粉末が金属粉末として用いられている。
 このように、熱電変換材料である金属間化合物(この実施例ではMg2Si)と、金属粉末のゼーベック係数の極性を一致させた場合、ゼーベック係数の低減を抑制しながら、抵抗率の低減を図る上で好ましい。
In Example 1, Ni powder having the same Seebeck coefficient polarity as Mg 2 Si is used as the metal powder to be added. That is, Ni 2 powder, which is a thermoelectric conversion material, has a negative Seebeck coefficient and a lower resistivity than Mg 2 Si, and is used as the metal powder.
Thus, when the intermetallic compound (Mg 2 Si in this example), which is a thermoelectric conversion material, and the polarity of the Seebeck coefficient of the metal powder are matched, the resistivity can be reduced while suppressing the reduction of the Seebeck coefficient. It is preferable when trying.

 例えば、熱電変換材料としてMg2Siを用いる場合、添加する金属粉末として、ゼーベック係数が負でMg2Siより抵抗率が低い金属の粉末を用いることが望ましいが、Ni以外の金属では、そのような金属として、Pt、Al、合金としてコンスタンタンなどを挙げることができる。 For example, when using Mg 2 Si as the thermoelectric conversion material, it is desirable to use a metal powder having a negative Seebeck coefficient and a resistivity lower than Mg 2 Si as the metal powder to be added. Examples of the metal include Pt and Al, and examples of the alloy include constantan.

 金属系半導体熱電材料としてMnSi1.7、金属粉末として平均粒径が0.75μmのCu粉末を用いた以外は、実施例1と同じようにして熱電変換素子(この実施例2ではp型熱電変換素子)を得た。
 すなわち、分級した熱電材料粉末(MnSi1.7粉末)に、Cu粉末を表3に示す体積分率になるように秤量し、上述の実施例1の場合と同様の方法で、熱電変換素子(p型熱電変換素子)を作製した。
A thermoelectric conversion element (p-type thermoelectric conversion element in this example 2) was used in the same manner as in Example 1 except that MnSi 1.7 was used as the metal-based semiconductor thermoelectric material and Cu powder having an average particle diameter of 0.75 μm was used as the metal powder. )
That is, Cu powder was weighed into the classified thermoelectric material powder (MnSi 1.7 powder) so as to have the volume fraction shown in Table 3, and the thermoelectric conversion element (p-type) was obtained in the same manner as in Example 1 above. Thermoelectric conversion element) was produced.

Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003

 そして、得られた熱電変換素子について、相対密度、抵抗率、ゼーベック係数、熱伝導率、破壊強度を調べ、出力因子(P.F.)、無次元性能指数ZTを求めた。その結果を表4に示す。 The relative density, resistivity, Seebeck coefficient, thermal conductivity, and fracture strength of the obtained thermoelectric conversion element were examined, and the output factor (PF) and the dimensionless figure of merit ZT were obtained. The results are shown in Table 4.

Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004

 表4に示すように、実施例1ほどではないが、試料番号11~17の試料(熱電変換素子)のうち、Cu粉末を添加した、本発明の要件を満たす試料番号12~17の試料においては、Cuがいずれの体積分率である場合にも、無次元性能指数ZTが向上しており、例えば、試料番号16では無次元性能指数ZTが0.0075と、Cu粉末無添加の試料番号11の試料の約1.2倍の特性が得られることが確認された。 As shown in Table 4, although not as much as in Example 1, among the samples (thermoelectric conversion elements) of sample numbers 11 to 17 in the samples of sample numbers 12 to 17 satisfying the requirements of the present invention to which Cu powder was added The dimensionless figure of merit ZT is improved regardless of the volume fraction of Cu. For example, in the sample number 16, the dimensionless figure of merit ZT is 0.0075, and the sample number with no addition of Cu powder. It was confirmed that about 1.2 times the characteristics of 11 samples were obtained.

 p型熱電変換素子として、実施例2で作製した試料番号16の組成の熱電変換材料粉末を加圧成型して、5mm□×高さ6mmのp型熱電変換素子を作製した。 As a p-type thermoelectric conversion element, a thermoelectric conversion material powder having the composition of sample number 16 prepared in Example 2 was pressure-molded to prepare a p-type thermoelectric conversion element having a size of 5 mm □ × height of 6 mm.

 また、n型熱電変換素子として、実施例1で作製した試料番号3の組成の熱電変換材料粉末を加圧成型して、5mm□×高さ6mmのn型熱電変換素子を作製した。 Further, as the n-type thermoelectric conversion element, the thermoelectric conversion material powder having the composition of Sample No. 3 prepared in Example 1 was pressure-molded to prepare an n-type thermoelectric conversion element having a size of 5 mm □ × height of 6 mm.

 次いで、図6に示すように、導電性樹脂22をアルミナ基板21に塗布し、p型熱電変換素子1とn型熱電変換素子2とを、π型のpn接合対が複数直列に接続された熱電変換モジュールの所定の配列となるように、導電性樹脂22上に載置し、導電性樹脂22を硬化させた。 Next, as shown in FIG. 6, conductive resin 22 was applied to alumina substrate 21, and a plurality of p-type pn junction pairs of p-type thermoelectric conversion element 1 and n-type thermoelectric conversion element 2 were connected in series. It mounted on the conductive resin 22 so that it might become a predetermined | prescribed arrangement | sequence of a thermoelectric conversion module, and the conductive resin 22 was hardened.

 次いで、特に図示しないが、p型熱電変換素子1およびn型熱電変換素子2が直列接続になるように導電性樹脂を塗布した別のアルミナ基板を、p型熱電変換素子1およびn型熱電変換素子2の上面側に載置して、導電性樹脂を硬化させることにより、直列π型熱電変換モジュールを作製した。そして、この直列π型熱電変換モジュールの両終端部分に電気配線を行った。 Next, although not particularly illustrated, another alumina substrate coated with a conductive resin so that the p-type thermoelectric conversion element 1 and the n-type thermoelectric conversion element 2 are connected in series is connected to the p-type thermoelectric conversion element 1 and the n-type thermoelectric conversion. A series π-type thermoelectric conversion module was fabricated by placing the conductive resin on the upper surface side of the element 2 and curing the conductive resin. And electric wiring was performed to the both terminal parts of this series pi type thermoelectric conversion module.

 次いで、この直列π型熱電変換モジュールの上下面に80℃の温度差を与えて無負荷での出力電圧を調べるとともに、出力が最大となるように外部負荷を調整してこの直列π型熱電変換モジュールの最大出力を調べた。その結果を図7に示す。
 図7に示すように、それぞれ無負荷での出力電圧は0.16Vであり、外部負荷を調整した最大出力は14mWであった。
Next, a temperature difference of 80 ° C. is applied to the upper and lower surfaces of the series π-type thermoelectric conversion module to examine the output voltage at no load, and the external load is adjusted so that the output is maximized, and this series π-type thermoelectric conversion is performed. The maximum output of the module was examined. The result is shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the output voltage with no load was 0.16 V, and the maximum output adjusted for the external load was 14 mW.

 このように、本発明の熱電変換素子を利用した、実施例3のπ型熱電変換モジュールにおいても、実効的な発電量が得られており、熱電変換モジュールとして機能することが確認された。 Thus, in the π-type thermoelectric conversion module of Example 3 using the thermoelectric conversion element of the present invention, an effective power generation amount was obtained, and it was confirmed that the thermoelectric conversion module functions.

 なお、この実施例3の熱電変換モジュールを製造する場合も、高温での熱処理工程(焼結工程)を必要としないことから、製造工程に要する時間を短くすることが可能になるとともに、製造に要するエネルギーを低くすることができる。 In addition, also when manufacturing the thermoelectric conversion module of this Example 3, since the heat processing process (sintering process) at high temperature is not required, it becomes possible to shorten the time which a manufacturing process requires, and to manufacture The energy required can be reduced.

 また、上記実施例3では、溶融法で作製されたMnSi1.7をp型熱電変換材料として用い、同じく溶融法で作製されたMg2Siをn型熱電変換材料として用いているが、本発明においては、金属間化合物としては、マグネシウムシリサイドやマンガンシリサイド以外にもや鉄シリサイドなどを用いることが可能である。 In Example 3, MnSi 1.7 produced by the melting method is used as the p-type thermoelectric conversion material, and Mg 2 Si also produced by the melting method is used as the n-type thermoelectric conversion material. In addition to magnesium silicide and manganese silicide, iron silicide or the like can be used as the intermetallic compound.

 また、上記実施例では、n型熱電変換材料粉末とともに用いる金属粉末として、Ni粉末を用い、p型熱電変換材料粉末とともに用いる金属粉末として、Cu粉末を用いているが、金属粉末としては、抵抗率が金属間化合物よりも低い種々の金属粉末を用いることが可能である。なお、その場合、熱電変換材料である金属間化合物と、金属粉末を構成する金属のゼーベック係数の極性が同じであることが望ましいのは、上述の通りである。 Moreover, in the said Example, although Ni powder is used as a metal powder used with n-type thermoelectric conversion material powder and Cu powder is used as a metal powder used with p-type thermoelectric conversion material powder, as a metal powder, resistance It is possible to use various metal powders whose rate is lower than that of intermetallic compounds. In this case, as described above, it is desirable that the polarities of the Seebeck coefficients of the intermetallic compound as the thermoelectric conversion material and the metal constituting the metal powder are the same.

 なお、本発明は、さらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、熱電変換モジュールにおける、p型熱電変換素子とn型熱電変換素子の接合対の数、両者の具体的な接続態様などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiments in other respects. The number of junction pairs of the p-type thermoelectric conversion element and the n-type thermoelectric conversion element in the thermoelectric conversion module, the specifics of both are specifically described. Various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the connection mode and the like.

 1       p型熱電変換素子
 2       n型熱電変換素子
 10      成形体
 10a     成形体の表面
 11      熱電変換材料粉末
 12      金属粉末
 13      硬化性樹脂
 21      アルミナ基板
 22      導電性樹脂
 A       熱電変換素子
 M       熱電変換モジュール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 p-type thermoelectric conversion element 2 n-type thermoelectric conversion element 10 Molded object 10a Surface of molded object 11 Thermoelectric conversion material powder 12 Metal powder 13 Curable resin 21 Alumina substrate 22 Conductive resin A Thermoelectric conversion element M Thermoelectric conversion module

Claims (7)

 金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、樹脂により所定の形状に保持されていることを特徴とする熱電変換素子。 A thermoelectric conversion element comprising a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder, and being held in a predetermined shape by a resin.  前記金属間化合物が、シリサイドであることを特徴とする請求項1記載の熱電変換素子。 The thermoelectric conversion element according to claim 1, wherein the intermetallic compound is silicide.  前記シリサイドが、マグネシウムシリサイド、マンガンシリサイド、および鉄シリサイドからなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2記載の熱電変換素子。 The thermoelectric conversion element according to claim 2, wherein the silicide is at least one selected from the group consisting of magnesium silicide, manganese silicide, and iron silicide.  請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子の製造方法であって、
 金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含む成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させる工程と、
 前記硬化性樹脂を硬化させる工程と
 を備えていることを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
A method for producing a thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3,
Applying or impregnating a curable resin to a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder; and
And a step of curing the curable resin. A method for manufacturing a thermoelectric conversion element.
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールであって、
 (a)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子が前記一方側素子として用いられているとともに、
 (b)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子であって前記一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子が前記他方側素子として用いられていること
 を特徴とする熱電変換モジュール。
A thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) the thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3 is used as the one-side element;
(b) The thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3, wherein a thermoelectric conversion element different from the one side element or a metal element made of metal is used as the other side element. Thermoelectric conversion module.
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールの製造方法であって、
 (a)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体である一方側成形体と、(b)金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって前記一方側成形体とは異なる成形体、または金属からなる成形体である他方側成形体とが、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べられ、導電性樹脂を介して接続された構造体を形成する工程と、
 前記他方側成形体として前記金属からなる成形体が用いられている場合には、前記一方側成形体に、また、前記他方側成形体として金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と金属粉末とを含む成形体であって前記一方側成形体とは異なる成形体が用いられている場合には、前記一方側成形体および前記他方側成形体に、硬化性樹脂を塗布し、または含浸させる工程と、
 前記硬化性樹脂を硬化させることにより、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、硬化した樹脂により所定の形状に保持された一方側素子と、金属からなる成形体からなる他方側素子か、または、金属間化合物からなる熱電変換材料粉末と、金属粉末とを含有し、硬化した樹脂により所定の形状に保持された他方側素子とが、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べられて、導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールを形成する工程と
 を具備することを特徴とする熱電変換モジュールの製造方法。
A method for manufacturing a thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) a molded body containing a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder; and (b) a molded body comprising a thermoelectric conversion material powder composed of an intermetallic compound and a metal powder. The other side molded body, which is a molded body different from the one side molded body, or a molded body made of metal, is arranged so as to have a predetermined arrangement of the thermoelectric conversion modules, and is connected via a conductive resin. Forming a structure;
When a molded body made of the metal is used as the other side molded body, a thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound and a metal powder are used as the other side molded body. And a step of applying or impregnating a curable resin to the one side molded body and the other side molded body when a molded body different from the one side molded body is used. ,
By curing the curable resin, a thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound and a metal powder, one side element held in a predetermined shape by the cured resin, and a molded body made of metal A thermoelectric conversion material powder made of an intermetallic compound, and the other element containing a metal powder and held in a predetermined shape by a cured resin is a predetermined arrangement of thermoelectric conversion modules. And forming a thermoelectric conversion module having a structure arranged so as to be connected via a conductive resin. A method of manufacturing a thermoelectric conversion module, comprising:
 一方側素子と他方側素子とが導電性樹脂を介して接続された構造を有する熱電変換モジュールの製造方法であって、
 (a)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子が前記一方側素子として用いるとともに、
 (b)請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換素子であって前記一方側素子とは異なる熱電変換素子、または金属からなる金属素子を前記他方側素子として用い、
 (c)前記一方側素子と、前記他方側素子とを、熱電変換モジュールの所定の配列となるように並べ、導電性樹脂により接続すること
 を特徴とする熱電変換モジュールの製造方法。
A method for manufacturing a thermoelectric conversion module having a structure in which one side element and the other side element are connected via a conductive resin,
(a) the thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3 is used as the one-side element;
(b) The thermoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3, wherein a thermoelectric conversion element different from the one side element, or a metal element made of metal is used as the other side element,
(c) The method for manufacturing a thermoelectric conversion module, wherein the one side element and the other side element are arranged so as to form a predetermined arrangement of thermoelectric conversion modules and are connected by a conductive resin.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017065081A1 (en) * 2015-10-13 2017-04-20 日立金属株式会社 Thermoelectric conversion material, method for producing same, and thermoelectric conversion module

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208741A (en) * 2001-01-11 2002-07-26 Nok Corp Thermoelectric semiconductor device, cooler-heater using thermoelectric semiconductor device and manufacturing method therefor
JP2010245299A (en) * 2009-04-06 2010-10-28 Three M Innovative Properties Co Composite thermoelectric material and method for producing the same
JP2011129832A (en) * 2009-12-21 2011-06-30 Denso Corp Thermoelectric conversion element and method of manufacturing the same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208741A (en) * 2001-01-11 2002-07-26 Nok Corp Thermoelectric semiconductor device, cooler-heater using thermoelectric semiconductor device and manufacturing method therefor
JP2010245299A (en) * 2009-04-06 2010-10-28 Three M Innovative Properties Co Composite thermoelectric material and method for producing the same
JP2011129832A (en) * 2009-12-21 2011-06-30 Denso Corp Thermoelectric conversion element and method of manufacturing the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017065081A1 (en) * 2015-10-13 2017-04-20 日立金属株式会社 Thermoelectric conversion material, method for producing same, and thermoelectric conversion module
JPWO2017065081A1 (en) * 2015-10-13 2018-08-09 日立金属株式会社 Thermoelectric conversion material, manufacturing method thereof, and thermoelectric conversion module
US10658562B2 (en) 2015-10-13 2020-05-19 Hitachi Metals, Ltd. Thermoelectric conversion material, method for producing same, and thermoelectric conversion module

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