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WO2011030541A1 - 角速度センサ - Google Patents

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WO2011030541A1
WO2011030541A1 PCT/JP2010/005498 JP2010005498W WO2011030541A1 WO 2011030541 A1 WO2011030541 A1 WO 2011030541A1 JP 2010005498 W JP2010005498 W JP 2010005498W WO 2011030541 A1 WO2011030541 A1 WO 2011030541A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
signal
detection
vibrator
disconnection
angular velocity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2010/005498
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
剛 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to US13/394,175 priority Critical patent/US8939024B2/en
Priority to JP2011530748A priority patent/JPWO2011030541A1/ja
Publication of WO2011030541A1 publication Critical patent/WO2011030541A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion

Definitions

  • the present invention relates to an angular velocity sensor.
  • FIG. 5 is an overall block diagram of a conventional angular velocity sensor.
  • the conventional angular velocity sensor 50 includes a vibrator 51, a drive circuit 52 for driving the vibrator 51, and a detection circuit 55 for detecting an angular velocity ⁇ applied to the vibrator 51. .
  • the vibrator 51 vibrates by receiving drive signals from the drive electrodes 51c and 51d, and outputs sense signals of opposite phases to each other generated based on an angular velocity ⁇ given from the outside to the detection electrodes 51a and 51b. .
  • the drive circuit 52 amplifies and generates a signal generated by amplifying a signal input from the monitor terminal 52c from the drive terminals 52a and 52b.
  • the detection circuit 55 converts the sense signal input from the detection terminals 55a and 55b into a voltage signal using the current-voltage converters 55c and 55d, differentially amplifies it using the differential amplifier 55g, and uses the detection circuit 55.
  • the angular velocity ⁇ is detected and output to the output terminal 55i.
  • the oscillation signal from the oscillator 55f is configured to be able to be input to the current-voltage converter 55c via the switch 55e, and a disconnection that outputs the presence or absence of abnormality to the disconnection detection terminal 55k based on the signal from the detection circuit 55h.
  • a detection circuit 55j is provided.
  • the switch 55e when the abnormality detection is performed, the switch 55e is turned ON, and the disconnection detection circuit 55j monitors the DC fluctuation value to perform the abnormality detection of the angular velocity sensor 50.
  • Patent Document 1 As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
  • the signal wiring 54a connecting the detection electrode 51a and the detection terminal 55a and the signal wiring 54b connecting the detection electrode 51b and the detection terminal 55b are places where disconnection easily occurs.
  • the conventional angular velocity sensor 50 there is a problem that the disconnection of the signal wires 54a and 54b can not be detected.
  • the angular velocity sensor includes a vibrator, a first detection electrode, a second detection electrode, a first signal wiring, a second signal wiring, a first detection terminal, and a disconnection detection unit.
  • the vibrator vibrates in response to the drive signal.
  • the first detection electrode is formed on the vibrator, and outputs a first signal including a first sense component generated based on an angular velocity given to the vibrator and a first monitor component generated based on the drive signal.
  • the second detection electrode is formed on the vibrator, and outputs a second signal including a second sense component substantially in phase with the first sense component and a second monitor component substantially in reverse phase with the first monitor component.
  • One end of the first signal wiring is connected to the first detection electrode.
  • the disconnection detection unit outputs a disconnection detection signal indicating that the first signal wiring or the second signal wiring is disconnected based on the signal output from the first detection terminal.
  • FIG. 1 is an overall block diagram of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the multi-axial detection vibrator in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3A is a diagram showing drive vibration and detection vibration of the multi-axis detection vibrator in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3B is a view showing drive vibration and detection vibration of the multi-axis detection vibrator in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram showing the polarity of the detection electrode in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is an overall block diagram of a conventional angular velocity sensor.
  • FIG. 1 is a block diagram of an angular velocity sensor 10 according to the embodiment.
  • the angular velocity sensor 10 includes a vibrator 11, a drive circuit 12 for driving the vibrator 11, and a detection circuit 15 for detecting an angular velocity given to the vibrator 11.
  • the vibrator 11 includes detection electrodes 11a, 11b, 11c, and 11d that output detection signals generated based on the angular velocity given to the vibrator 11. Further, the vibrator 11 is provided with drive electrodes 11e and 11f to which drive signals for driving and vibrating the vibrator 11 are input, and monitor electrodes 11g and 11h which output monitor signals generated based on the drive vibration of the vibrator 11. , 11i and 11j.
  • the detection electrode 11a is a first detection electrode
  • the detection electrode 11b is a second detection electrode
  • the detection electrode 11c is a third detection electrode
  • the detection electrode 11d is a fourth detection electrode.
  • the drive circuit 12 generates a drive signal based on the monitor signal input from the monitor electrodes 11g, 11h, 11i, 11j on the vibrator 11 through the signal wires 14g, 14h, 14i, 14j, the signal wire 14e, It outputs to the drive electrodes 11e and 11f on the vibrator 11 through 14f.
  • the detection circuit 15 includes a detection terminal 15a, a detection terminal 15b, current-voltage converters 15c and 15d, a differential amplifier 15g, a detection circuit 15h, a low pass filter 15i, and an output terminal 15j.
  • the detection terminal 15a is a first detection terminal
  • the detection terminal 15b is a second detection terminal.
  • the detection terminal 15a receives detection signals output from the detection electrodes 11a and 11b on the vibrator 11 via the signal wirings 14a and 14b.
  • the detection terminal 15 b receives detection signals output from the detection electrodes 11 c and 11 d on the vibrator 11 through the signal wirings 14 c and 14 d.
  • the current-voltage converters 15c, 15d convert the current value of the output signal from the detection terminals 15a, 15b into a voltage value.
  • the differential amplifier 15g outputs a voltage proportional to the difference voltage between the output voltage values from the current-voltage converters 15c and 15d.
  • the detection circuit 15h synchronously detects the output signal from the differential amplifier 15g using a monitor signal.
  • the low pass filter 15i smoothes the output signal of the detection circuit 15h to obtain a DC value.
  • the output terminal 15j outputs a DC value.
  • the detection circuit 15 further includes a disconnection detection circuit 15k, a disconnection detection circuit 15l, and an OR circuit 15m.
  • the disconnection detection circuit 15k outputs a disconnection detection signal based on the signal from the current-voltage converter 15c.
  • the disconnection detection circuit 15l outputs a disconnection detection signal based on the signal from the current-voltage converter 15d.
  • the OR circuit 15m outputs a disconnection detection signal to the disconnection detection terminal 15n based on the output signals from the disconnection detection circuit 15k and the disconnection detection circuit 15l.
  • the signal wiring 14a is a first signal wiring
  • the signal wiring 14b is a second signal wiring
  • the signal wiring 14c is a third signal wiring
  • the signal wiring 14d is a fourth signal wiring.
  • the disconnection detection circuit 15k is a first disconnection detection circuit
  • the disconnection detection circuit 15l is a second disconnection detection circuit.
  • the detection sensitivity of angular velocity is improved by differentially amplifying signals of two systems of a signal input from the detection terminal 15a and a signal input from the detection terminal 15b.
  • the disconnection detection according to the present invention can also be applied to a configuration in which the angular velocity is detected based only on the signal input from any one of the detection terminals.
  • the drive circuit 12 differentially amplifies the monitor signal input via the signal wirings 14g, 14h, 14i, 14j by the differential amplifier 12a, and makes it approximately constant amplitude by AGC (Auto Gain Control) 12b. Further, unnecessary frequency components are removed using a band pass filter 12c, and a drive signal is given to the vibrator 11 via the signal wirings 14e and 14f using a drive amplifier 12d. With this configuration, the vibrator 11 oscillates at a constant drive vibration frequency. Further, the monitor signal is phase-rotated by 90 ° by the phase shifter 12 e and output to the detection circuit 15.
  • the vibrator 11 may be anything that oscillates in response to a drive signal supplied from the drive circuit 12 and changes its vibration state in accordance with an angular velocity supplied from the outside. For example, when the vibrator 11 is driven and vibrated in the X-axis direction, Coriolis force is applied in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis and the Z-axis when an angular velocity ⁇ around the Z-axis orthogonal to the X-axis occurs. . The vibrator 11 detects and vibrates in the Y-axis direction at an amplitude proportional to the angular velocity ⁇ by the Coriolis force.
  • Detection signals obtained based on the detection vibration are output from the detection electrodes 11a, 11b, 11c, and 11d.
  • a sense component generated based on the detection vibration of the vibrator 11 and a monitor component generated based on the drive vibration of the vibrator 11 And are included.
  • the signal wires 14 a and 14 b are wires for electrically connecting the detection electrodes 11 a and 11 b provided on the vibrator 11 and the detection terminal 15 a which is an input terminal of the detection circuit 15.
  • the signal wirings 14 c and 14 d are wirings for electrically connecting the detection electrodes 11 c and 11 d provided on the vibrator 11 and the detection terminal 15 b which is another input terminal of the detection circuit 15.
  • the signal wires 14a, 14b, 14c, and 14d are formed of bonding wires, and thus are easily disconnected due to excessive vibration or impact.
  • the monitor component included in the signal wiring 14 a and the monitor component included in the signal wiring 14 b have substantially the same phase and the same amplitude, they cancel each other. As a result, only the sense component is output from the detection terminal 15a.
  • the sense component included in the signal wiring 14a and the sense component included in the signal wiring 14b have substantially the same phase.
  • the monitor components included in the signal wiring 14c and the signal wiring 14d cancel each other out because they have substantially the opposite phase and the same amplitude. As a result, only the sense component is output from the detection terminal 15b.
  • the sense component included in the signal wiring 14c and the sense component included in the signal wiring 14d have substantially the same phase.
  • the sense component output from the detection terminal 15b is in substantially the reverse phase to the sense component output from the detection terminal 15a.
  • the current-voltage converters 15c, 15d convert current components of the output signals from the detection terminals 15a, 15b into voltage components.
  • the differential amplifier 15g outputs a voltage proportional to the difference voltage between the output signal from the current voltage converter 15c and the output signal from the current voltage converter 15d.
  • the detection circuit 15h synchronously detects the output signal from the differential amplifier 15g using a monitor signal.
  • the sense component included in the output signal from differential amplifier 15g is 90 ° out of phase at the same frequency as the monitor signal. Therefore, only the sense component can be extracted by advancing the monitor signal by 90 ° by the phase shifter and performing synchronous detection.
  • the low pass filter 15i can obtain a DC value (that is, a DC value corresponding to the angular velocity ⁇ given to the vibrator 11) corresponding to the sense component by smoothing the output signal from the detection circuit 15h.
  • the disconnection detection circuit 15k detects disconnection indicating that either the signal wiring 14a or the signal wiring 14b is disconnected. Output a signal.
  • the disconnection detection circuit 15l detects disconnection indicating that either the signal wiring 14c or the signal wiring 14d is disconnected. Output a signal.
  • the OR circuit 15m is a disconnection detection terminal when it indicates that either or both of the disconnection detection signal output from the disconnection detection circuit 15k and the disconnection detection signal output from the disconnection detection circuit 15l are disconnected. Output a disconnection detection signal to 15n.
  • the disconnection detection circuit 15k and the disconnection detection circuit 15l may be configured to output a disconnection detection signal to different terminals. As a result, it is possible to identify whether the signal wiring 14a or the signal wiring 14b is broken or whether the signal wiring 14c or the signal wiring 14d is broken.
  • the disconnection detection signal output from the disconnection detection terminal 15 n may be an analog signal or a digital signal.
  • a signal indicating the result of another failure diagnosis and the disconnection detection signal may be superimposed and output from the disconnection detection terminal 15n. This can reduce the number of terminals used for failure diagnosis.
  • the disconnection detection terminal 15n may not be provided, and the output signal from the low pass filter 15i and the disconnection detection signal may be superimposed and output from the output terminal 15j.
  • the disconnection detection terminal and the output terminal can be used together, and the number of terminals can be reduced.
  • FIG. 2 shows a multi-axis detection vibrator 20 which is an example of the vibrator 11.
  • the vibrator 11 of the present invention is not limited to the configuration of the multiaxial detection vibrator 20.
  • the vibrator 11 is oscillated by a drive signal supplied from the drive circuit 12, and if the vibration state is changed by an angular velocity supplied from the outside, disconnection detection can be performed by applying the present invention. is there.
  • one or two weights may be provided.
  • weights 21a, 21b, 21c and 21d are connected to the frame 27 by arms 22a, 22b, 22c and 22d, respectively.
  • a lower electrode (not shown) and a piezoelectric thin film (not shown) are stacked on the arm 22a, and upper electrodes 23a and 24a are formed on top of them, and they are connected to the electrodes 11e and 11f formed on the frame 27 respectively. It is done.
  • a lower electrode (not shown) and a piezoelectric thin film (not shown) are stacked on the arm 22b, and upper electrodes 23b and 24b are formed thereon, and they are connected to the electrodes 11e and 11f formed on the frame 27 respectively. It is done.
  • a lower electrode (not shown) and a piezoelectric thin film (not shown) are stacked on the arm 22c, and upper electrodes 23c, 24c, 25c and 26c are formed thereon, and the electrode 11a is formed on the frame 27 respectively , 11c, 11j, 11g.
  • a lower electrode (not shown) and a piezoelectric thin film (not shown) are stacked on the arm 22 d, and upper electrodes 23 d, 24 d, 25 d, 26 d are formed thereon, and an electrode 11 d formed on the frame 27 , 11b, 11i and 11h.
  • the drive circuit 12 amplifies the monitor signals output from the electrodes 11g, 11h, 11i and 11j and applies drive signals to the electrodes 11e and 11f to drive and vibrate the weights 21a, 21b, 21c and 21d. It can be done.
  • the piezoelectric thin film a piezoelectric material such as quartz crystal, ZnO (zinc oxide), or PZT (lead zirconate titanate) can be used. Further, the multi-axis detection vibrator 20 may be driven not only by the piezoelectric method but also by the electrostatic capacity method.
  • FIG. 3A and FIG. 3B are diagrams showing drive vibration and detection vibration of the multi-axis detection vibrator in the embodiment of the present invention.
  • the drive vibration and the detection vibration in the multi-axis detection vibrator 20 will be described using FIGS. 3A and 3B.
  • FIG. 3A shows the case of detecting the angular velocity ⁇ around the Z axis.
  • the weights 21a, 21b, 21c, 21d vibrated in the direction of the drive vibration 30, when an angular velocity ⁇ around the Z axis is applied, the weights 21a, 21b, 21c, 21d move in the direction of the detection vibration 31 by Coriolis force. Vibrate.
  • FIG. 3B shows the case of detecting the angular velocity ⁇ around the Y axis.
  • the detection circuit 15 can detect the angular velocity ⁇ based on the detection signals output from the detection electrodes 11a, 11b, 11c, and 11d using such a multiaxial detection vibrator 20.
  • the signals output from the detection electrodes 11a, 11b, 11c, and 11d include the current of the sense component obtained based on the detected vibration and the current of the monitor component obtained based on the drive vibration. .
  • FIG. 4 is a diagram showing the polarity of the detection electrode in the embodiment of the present invention. The polarity of the current of the sense component and the current of the monitor component included in the signal output from each detection electrode will be described with reference to FIG.
  • the detection electrode 11a contains a negative sense component and a negative monitor component.
  • the detection electrode 11 b contains a negative sense component and a positive monitor component.
  • the detection electrode 11c contains a positive sense component and a positive monitor component.
  • the detection electrode 11 d contains a positive sense component and a negative monitor component.
  • the upper electrodes 23c, 24c, 23d and 24d have substantially the same area, the currents of the sense components contained in the detection electrodes 11a, 11b, 11c and 11d have substantially the same amplitude, and The currents also have substantially the same amplitude.
  • the displacement amount of the weights 21a, 21b, 21c, 21d of the multi-axial detection vibrator 20 due to the drive vibration is larger than the displacement amount due to the detection vibration
  • monitor components included in the upper electrodes 23c, 24c, 23d, 24d The amplitude of the current of is larger than that of the current of the sense component.
  • the upper electrodes 23c, 24c, 23d, 24d The output current of the monitor component was about 50 ⁇ A, and the current of the sense component was about 75 pA.
  • the value of the amount of current varies depending on the shape of the weight, the shape of the arm, and the like.
  • this relationship is not limited to the multi-axis detection vibrator 20 shown as an example, and in the case of a vibrator whose displacement amount due to drive vibration of the weight is larger than the displacement amount due to detection vibration, The amplitude is larger than the amplitude of the current of the sense component.
  • the monitor components are canceled at the detection terminals 15a and 15b of the detection circuit 15. That is, the negative monitor component is included in the detection electrode 11a connected to the detection terminal 15a via the signal wiring 14a, and the positive monitor component is connected to the detection electrode 11b connected to the detection terminal 15a via the signal wiring 14b. Therefore, the monitor components in antiphase with each other are canceled at the detection terminal 15a.
  • a positive monitor component is included in the detection electrode 11c connected to the detection terminal 15b via the signal wiring 14c, and a negative monitor is detected on the detection electrode 11d connected to the detection terminal 15b via the signal wiring 14d. Since the components are included, the monitor components in antiphase with each other are canceled at the detection terminal 15b.
  • the monitor component is not canceled at the detection terminal 15a, and an excessive current is input to the current-voltage converter 15c. If the amount of current input to current-to-voltage converter 15c is within the dynamic range of current-to-voltage converter 15c, a voltage value corresponding to the amount of current is output, and if outside the dynamic range, the saturation voltage is It is output. The same operation is performed in the current-voltage converter 15d also when one of the signal wiring 14c and the signal wiring 14d is broken.
  • the disconnection detection circuit 15k is used to detect a disconnection of the signal wiring 14a or 14b
  • the disconnection detection circuit 15l is used to detect a disconnection of the signal wiring 14c or 14d. Then, when a disconnection is detected from either or both of the disconnection detection circuit 15k and the disconnection detection circuit 15l, a disconnection detection signal is output from the OR circuit 15m.
  • a disconnection detection unit is configured by the disconnection detection circuits 15k and 15l and the OR circuit 15m. The disconnection detection unit can notify that the signal output from the output terminal 15j is an abnormal value.
  • monitor components of reverse phase are included in the signal wiring 14a and the signal wiring 14b, and it is actively utilized that this monitor signal is canceled at the detection terminal 15a.
  • a break in the signal wiring 14b is detected.
  • disconnection of the signal wiring 14c or the signal wiring 14d is also detected.
  • the disconnection detection circuit 15k detects the level of the signal output from the current-voltage converter 15c, and compares the detected level with a predetermined threshold. When the detected level is equal to or higher than a predetermined threshold value, a disconnection detection signal is output. Similarly, the disconnection detection circuit 151 is also configured to output a disconnection detection signal when the level of the signal output from the current-voltage converter 15d is equal to or higher than a predetermined threshold.
  • this predetermined threshold is greater than the maximum level of the sense component.
  • a predetermined threshold value is set as the maximum level of the signal that can be input when disconnection does not occur. As a result, the disconnection detection signal is not output even when the unnecessary signal component due to a factor other than the disconnection is included, so that the accuracy of the disconnection detection can be improved.
  • the disconnection detection circuits 15k and 15l may perform disconnection detection based on the signals output from the detection terminals 15a and 15b.
  • the angular velocity sensor according to the present invention can detect the presence or absence of a break in a signal wire connecting a detection electrode and a detection terminal while being used as an angular velocity sensor, and is useful for detecting a break in a signal wire.
  • Reference Signs List 10 angular velocity sensor 11 vibrator 11a, 11b, 11c, 11d detection electrode 11e, 11f drive electrode 11g, 11h, 11i, monitor electrode 12 drive circuit 14a, 14b, 14c, 14d, 14e signal wiring 14f, 14g, 14h, 14i , 14j Signal wiring 15 Detection circuit 15a, 15b Detection terminal 15c, 15d Current-voltage converter 15g Differential amplifier 15h Detection circuit 15i Low-pass filter 15j Output terminal 15k, 15l Disconnection detection circuit 15m OR circuit 15n Disconnection detection terminal 20 Multiaxial detection Vibrator 21a, 21b, 21c, 21d Weight 22a, 22b, 22c, 22d Arm 23a, 23b, 23c, 23d Electrode 24a, 24b, 24c, 24d Electrode 25c, 25d Electrode 26c, 26d Electrode 27 Frame 30 and 32 driving vibration 31, 33 detect vibration

Landscapes

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Abstract

　角速度センサは、駆動信号により振動する振動子と、振動子上に振動子の角速度に基づき生成される第１センス成分及び駆動信号に基づき生成される第１モニタ成分を含む第１信号を出力する第１検出電極とを備える。更に角速度センサは、振動子上に第１センス成分と略同位相の第２センス成分及び第１モニタ成分と略逆位相の第２モニタ成分を含む第２信号を出力する第２検出電極と、一端が第１検出電極と接続された第１信号配線と、一端が第２検出電極と接続された第２信号配線とを備える。更に角速度センサは、第１信号配線の他端及び第２信号配線の他端と接続された第１検出端子と、第１検出端子からの信号に基づき、第１信号配線又は第２信号配線の断線を示す断線検出信号を出力する断線検出回路とを備える。

Description

角速度センサ
　本発明は、角速度センサに関する。
　図５は、従来の角速度センサの全体ブロック図である。図５に示すように、従来の角速度センサ５０は、振動子５１と、振動子５１を駆動する駆動回路５２と、振動子５１に与えられた角速度Ωを検出する検出回路５５とを備えている。
　振動子５１は、駆動電極５１ｃ及び５１ｄから駆動信号が与えられることにより振動し、外部から与えられた角速度Ωに基づいて生成される互いに逆位相のセンス信号をそれぞれ検出電極５１ａ、５１ｂに出力する。
　駆動回路５２は、モニタ端子５２ｃから入力した信号を増幅して生成した駆動信号を駆動端子５２ａ及び５２ｂから出力する。
　検出回路５５は、検出端子５５ａ、５５ｂから入力されたセンス信号を電流電圧変換器５５ｃ、５５ｄを用いて電圧信号に変換し、差動増幅器５５ｇを用いて差動増幅し、検出回路５５を用いて角速度Ωを検出して出力端子５５ｉに出力する。
　また、発振器５５ｆからの発振信号がスイッチ５５ｅを介して電流電圧変換器５５ｃに入力できるように構成され、さらに、検出回路５５ｈからの信号に基づいて異常の有無を断線検出端子５５ｋに出力する断線検出回路５５ｊを備えている。
　この構成において、異常検出を行う際には、スイッチ５５ｅをＯＮとし、断線検出回路５５ｊにおいてＤＣ変動値を監視することにより、角速度センサ５０の異常検出を行う。
　なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
　しかし従来の角速度センサ５０において、異常検出を行う場合には、スイッチ５５ｅをＯＮとする必要があるため、角速度センサとして使用している最中には異常検出を行うことができないという問題があった。
　また、検出電極５１ａと検出端子５５ａとを接続する信号配線５４ａ及び検出電極５１ｂと検出端子５５ｂとを接続する信号配線５４ｂは断線が生じ易い箇所である。しかし、従来の角速度センサ５０においては、信号配線５４ａ、５４ｂの断線を検出できないという問題があった。
特開２００２－２６７４４８号公報
　本発明の角速度センサは、振動子と、第１検出電極と、第２検出電極と、第１信号配線と、第２信号配線と、第１検出端子と、断線検出部とを備えている。振動子は、駆動信号を与えられて振動する。第１検出電極は、振動子上に形成され、振動子に与えられた角速度に基づいて生成される第１センス成分及び駆動信号に基づいて生成される第１モニタ成分を含む第１信号を出力する。第２検出電極は、振動子上に形成され、第１センス成分と略同位相の第２センス成分及び第１モニタ成分と略逆位相の第２モニタ成分を含む第２信号を出力する。第１信号配線は、一端が第１検出電極と接続されている。第２信号配線は、一端が第２検出電極と接続されている。第１検出端子は第１信号配線の他端及び第２信号配線の他端と接続されている。断線検出部は、第１検出端子から出力された信号に基づいて、第１信号配線又は第２信号配線が断線していることを示す断線検出信号を出力する。
　この構成により、角速度センサとして使用しながら、第１信号配線又は第２信号配線の断線の有無を検出することができる。
図１は、本発明の実施の形態における角速度センサの全体ブロック図である。 図２は、本発明の実施の形態における多軸検出振動子の上面図である。 図３Ａは、本発明の実施の形態における多軸検出振動子の駆動振動及び検出振動を示す図である。 図３Ｂは、本発明の実施の形態における多軸検出振動子の駆動振動及び検出振動を示す図である。 図４は、本発明の実施の形態における検出電極の極性を示す図である。 図５は、従来の角速度センサの全体ブロック図である。
　以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。本発明はこれら実施の形態によって限定されるものではない。
　（実施の形態）
　図１は、実施の形態における角速度センサ１０のブロック図である。
　図１において、角速度センサ１０は、振動子１１と、振動子１１を駆動する駆動回路１２と、振動子１１に与えられた角速度を検出する検出回路１５とを備えている。
　振動子１１は、振動子１１に与えられた角速度に基づいて生成された検出信号を出力する検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄとを備えている。更に振動子１１は、振動子１１を駆動振動させるための駆動信号が入力される駆動電極１１ｅ、１１ｆと、振動子１１の駆動振動に基づいて生成されたモニタ信号を出力するモニタ電極１１ｇ、１１ｈ、１１ｉ、１１ｊとを備えている。
　ここで、検出電極１１ａを第１検出電極、検出電極１１ｂを第２検出電極、検出電極１１ｃを第３検出電極、検出電極１１ｄを第４検出電極とする。
　駆動回路１２は、振動子１１上のモニタ電極１１ｇ、１１ｈ、１１ｉ、１１ｊから信号配線１４ｇ、１４ｈ、１４ｉ、１４ｊを介して入力されるモニタ信号に基づいて駆動信号を生成し、信号配線１４ｅ、１４ｆを介して振動子１１上の駆動電極１１ｅ、１１ｆへ出力する。
　検出回路１５は、検出端子１５ａと、検出端子１５ｂと、電流電圧変換器１５ｃ、１５ｄと、差動増幅器１５ｇと、検波回路１５ｈと、ローパスフィルタ１５ｉと、出力端子１５ｊとを備えている。ここで検出端子１５ａを第１検出端子、検出端子１５ｂを第２検出端子とする。
　検出端子１５ａは、振動子１１上の検出電極１１ａ、１１ｂから出力される検出信号を信号配線１４ａ、１４ｂを介して入力する。検出端子１５ｂは、振動子１１上の検出電極１１ｃ、１１ｄから出力される検出信号を信号配線１４ｃ、１４ｄを介して入力する。電流電圧変換器１５ｃ、１５ｄは、検出端子１５ａ、１５ｂからの出力信号の電流値を電圧値に変換する。差動増幅器１５ｇは、電流電圧変換器１５ｃ、１５ｄからの出力電圧値の差分電圧に比例する電圧を出力する。検波回路１５ｈは、差動増幅器１５ｇからの出力信号をモニタ信号を用いて同期検波する。ローパスフィルタ１５ｉは、検波回路１５ｈの出力信号を平滑化してＤＣ値とする。出力端子１５ｊは、ＤＣ値を出力する。
　また、検出回路１５は、断線検出回路１５ｋと、断線検出回路１５ｌと、論理和回路１５ｍとを備えている。
　断線検出回路１５ｋは、電流電圧変換器１５ｃからの信号に基づいて断線検出信号を出力する。断線検出回路１５ｌは、電流電圧変換器１５ｄからの信号に基づいて断線検出信号を出力する。論理和回路１５ｍは、断線検出回路１５ｋ及び断線検出回路１５ｌからの出力信号に基づいて断線検出信号を断線検出端子１５ｎに出力する。
　ここで、信号配線１４ａを第１信号配線、信号配線１４ｂを第２信号配線、信号配線１４ｃを第３信号配線、信号配線１４ｄを第４信号配線とする。
　また、断線検出回路１５ｋを第１断線検出回路、断線検出回路１５ｌを第２断線検出回路とする。
　なお、本実施の形態の構成は、検出端子１５ａから入力される信号と、検出端子１５ｂから入力される信号の２系統の信号を差動増幅することにより、角速度の検出感度を向上させている。しかし、本発明による断線検出は、いずれか一方の検出端子から入力される信号のみに基づいて角速度を検出する構成においても適用することができる。
　以下、角速度センサ１０の各構成について説明する。
　駆動回路１２は、信号配線１４ｇ、１４ｈ、１４ｉ、１４ｊを介して入力されるモニタ信号を差動アンプ１２ａにより差動増幅し、ＡＧＣ（Ａｕｔｏ　Ｇａｉｎ　Ｃｏｎｔｒｏｌ）１２ｂにより略一定振幅とする。さらにバンドパスフィルタ１２ｃを用いて不要周波数成分を除去し、駆動アンプ１２ｄを用いて信号配線１４ｅ、１４ｆを介して駆動信号を振動子１１に与える。この構成により、振動子１１は一定の駆動振動周波数で発振する。また、位相器１２ｅによりモニタ信号を９０°位相回転させて検出回路１５に出力している。
　振動子１１は、駆動回路１２から与えられた駆動信号により発振し、外部から与えられた角速度によって振動状態が変化するものであればよい。例えば、振動子１１をＸ軸方向に駆動振動させた場合は、Ｘ軸と直交するＺ軸回りの角速度Ωが生じると、Ｘ軸及びＺ軸と直交するＹ軸方向にコリオリの力が与えられる。このコリオリの力により、振動子１１は角速度Ωに比例した振幅でＹ軸方向に検出振動を行う。この検出振動に基づいて得られる検出信号が、検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出力される。なお、検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出力される検出信号には、振動子１１の検出振動に基づいて生成されるセンス成分と、振動子１１の駆動振動に基づいて生成されるモニタ成分とが含まれている。
　信号配線１４ａ、１４ｂは、振動子１１上に設けられた検出電極１１ａ、１１ｂと、検出回路１５の入力端子である検出端子１５ａとを電気的に接続するための配線である。また、信号配線１４ｃ、１４ｄは、振動子１１上に設けられた検出電極１１ｃ、１１ｄと、検出回路１５の他の入力端子である検出端子１５ｂとを電気的に接続するための配線である。信号配線１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、ボンディングワイヤにより形成されるため、過大な振動や衝撃等により断線を引き起こしやすい。
　ここで、信号配線１４ａに含まれるモニタ成分と信号配線１４ｂに含まれるモニタ成分とは、略逆位相かつ同振幅であるため、互いに打ち消し合う。この結果、検出端子１５ａからはセンス成分のみが出力される。なお、信号配線１４ａに含まれるセンス成分と信号配線１４ｂに含まれるセンス成分は略同位相である。
　同様に、信号配線１４ｃ及び信号配線１４ｄに含まれるモニタ成分は、略逆位相かつ同振幅であるため、互いに打ち消し合う。この結果、検出端子１５ｂからはセンス成分のみが出力される。なお、信号配線１４ｃに含まれるセンス成分と信号配線１４ｄに含まれるセンス成分は略同位相である。
　なお、検出端子１５ｂから出力されるセンス成分は、検出端子１５ａから出力されるセンス成分と略逆位相となっている。
　電流電圧変換器１５ｃ、１５ｄは、検出端子１５ａ、１５ｂからの出力信号の電流成分を電圧成分に変換する。
　差動増幅器１５ｇは、電流電圧変換器１５ｃからの出力信号と電流電圧変換器１５ｄからの出力信号との差分電圧に比例する電圧を出力する。
　検波回路１５ｈは、差動増幅器１５ｇからの出力信号をモニタ信号を用いて同期検波する。差動増幅器１５ｇからの出力信号に含まれるセンス成分は、モニタ信号と同じ周波数で位相が９０°だけ遅れている。従って、モニタ信号を位相器（Ｐｈａｓｅ　Ｓｈｉｆｔｅｒ）で９０°進めて同期検波することにより、センス成分のみを抽出することができる。
　ローパスフィルタ１５ｉは、検波回路１５ｈからの出力信号を平滑化することにより、センス成分に対応したＤＣ値（すなわち、振動子１１に与えられた角速度Ωに対応したＤＣ値）を得ることができる。
　断線検出回路１５ｋは、電流電圧変換器１５ｃから出力された信号のレベルが予め定めた閾値レベル以上である場合に、信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂのいずれかが断線していることを示す断線検出信号を出力する。
　断線検出回路１５ｌは、電流電圧変換器１５ｄから出力された信号のレベルが予め定めた閾値レベル以上である場合に、信号配線１４ｃ又は信号配線１４ｄのいずれかが断線していることを示す断線検出信号を出力する。
　論理和回路１５ｍは、断線検出回路１５ｋから出力された断線検出信号と断線検出回路１５ｌから出力された断線検出信号のいずれか又は両方が断線していることを示している場合に、断線検出端子１５ｎに断線検出信号を出力する。
　なお、断線検出回路１５ｋ及び断線検出回路１５ｌは、それぞれ別の端子に断線検出信号を出力する構成としても良い。これにより、信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂが断線したか、或いは信号配線１４ｃ又は信号配線１４ｄが断線したのか特定することが可能となる。
　なお、断線検出端子１５ｎから出力する断線検出信号は、アナログ信号であってもよいし、デジタル信号であってもよい。
　なお、他の故障診断の結果を示す信号と断線検出信号とを重畳させて、断線検出端子１５ｎから出力してもよい。これにより、故障診断として用いる端子数を減らすことができる。
　なお、断線検出端子１５ｎを設けず、ローパスフィルタ１５ｉからの出力信号と断線検出信号とを重畳して出力端子１５ｊから出力しても良い。これにより、断線検出端子と出力端子とを兼用することができ、端子数を減らすことができる。
　図２に、振動子１１の一例である多軸検出振動子２０を示す。なお、本発明の振動子１１は、多軸検出振動子２０の構成に限られるものではない。振動子１１は、駆動回路１２から与えられた駆動信号により発振し、外部から与えられた角速度によって振動状態が変化するものであれば、本発明を適用することにより断線検出を行うことが可能である。例えば、１軸の角速度を検出する場合には、１つ或いは２つの錘を設ければよい。
　多軸検出振動子２０は、４つの錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄがそれぞれアーム２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄにより枠体２７に連結されている。
　アーム２２ａには下部電極（図示せず）及び圧電薄膜（図示せず）が積層され、さらにその上部に上部電極２３ａ、２４ａが形成され、それぞれ枠体２７に形成された電極１１ｅ、１１ｆと接続されている。
　アーム２２ｂには下部電極（図示せず）及び圧電薄膜（図示せず）が積層され、さらにその上部に上部電極２３ｂ、２４ｂが形成され、それぞれ枠体２７に形成された電極１１ｅ、１１ｆと接続されている。
　アーム２２ｃには下部電極（図示せず）及び圧電薄膜（図示せず）が積層され、さらにその上部に上部電極２３ｃ、２４ｃ、２５ｃ、２６ｃが形成され、それぞれ枠体２７に形成された電極１１ａ、１１ｃ、１１ｊ、１１ｇと接続されている。
　アーム２２ｄには下部電極（図示せず）及び圧電薄膜（図示せず）が積層され、さらにその上部に上部電極２３ｄ、２４ｄ、２５ｄ、２６ｄが形成され、それぞれ枠体２７に形成された電極１１ｄ、１１ｂ、１１ｉ、１１ｈと接続されている。
　この構成において、駆動回路１２は、電極１１ｇ、１１ｈ、１１ｉ、１１ｊから出力されたモニタ信号を増幅し、電極１１ｅ、１１ｆに駆動信号を与えることにより、錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを駆動振動させることができる。
　なお、圧電薄膜として、水晶やＺｎＯ（酸化亜鉛）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電材料を用いることができる。また、圧電方式に限らず、静電容量方式により多軸検出振動子２０を駆動させてもよい。
　図３Ａ、図３Ｂは、本発明の実施の形態における多軸検出振動子の駆動振動及び検出振動を示す図である。図３Ａ、図３Ｂを用いて、多軸検出振動子２０における駆動振動と検出振動について説明する。
　図３Ａは、Ｚ軸周りの角速度Ωを検出する場合を示している。錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを駆動振動３０の方向に振動させた状態で、Ｚ軸周りの角速度Ωが加わると、コリオリの力により錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄは検出振動３１の方向に振動する。
　図３Ｂは、Ｙ軸周りの角速度Ωを検出する場合を示している。錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを駆動振動３２の方向に振動させた状態で、Ｙ軸周りの角速度Ωが加わると、コリオリの力により錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄは検出振動３３の方向に振動する。
　このような多軸検出振動子２０を用いて、検出回路１５は、検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出力された検出信号に基づいて、角速度Ωを検出することができる。
　ここで、検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出力される信号にはそれぞれ、検出振動に基づいて得られるセンス成分の電流と、駆動振動に基づいて得られるモニタ成分の電流が含まれている。
　図４は、本発明の実施の形態における検出電極の極性を示す図である。図４を用いて、各検出電極から出力される信号に含まれるセンス成分の電流とモニタ成分の電流の極性について説明する。
　検出電極１１ａには、マイナスのセンス成分とマイナスのモニタ成分が含まれている。
　検出電極１１ｂには、マイナスのセンス成分とプラスのモニタ成分が含まれている。
　検出電極１１ｃには、プラスのセンス成分とプラスのモニタ成分が含まれている。
　検出電極１１ｄには、プラスのセンス成分とマイナスのモニタ成分が含まれている。
　また、上部電極２３ｃ、２４ｃ、２３ｄ、２４ｄは略同面積であるので、検出電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄに含まれるそれぞれのセンス成分の電流は略同一の振幅であり、それぞれのモニタ成分の電流も略同一の振幅である。
　ここで、多軸検出振動子２０の錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの駆動振動による変位量は、検出振動による変位量よりも大きいため、上部電極２３ｃ、２４ｃ、２３ｄ、２４ｄに含まれるモニタ成分の電流の振幅は、センス成分の電流の振幅よりも大きくなる。例えば、錘２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを２０μｍの変位量で駆動振動させた状態で、Ｚ軸回りに１ｄｅｇ／ｓの角速度が与えられた場合には、上部電極２３ｃ、２４ｃ、２３ｄ、２４ｄから出力されるモニタ成分の電流は約５０μＡであり、センス成分の電流は約７５ｐＡであった。ただし、この電流量の値は錘の形状やアームの形状などによって異なる。
　なお、この関係は、一例として示した多軸検出振動子２０に限るものではなく、錘の駆動振動による変位量が、検出振動による変位量よりも大きい振動子であれば、モニタ成分の電流の振幅の方が、センス成分の電流の振幅よりも大きくなる。
　上述した如く、検出回路１５の検出端子１５ａ、１５ｂにおいて、このモニタ成分は相殺される。すなわち、検出端子１５ａに信号配線１４ａを介して接続される検出電極１１ａにはマイナスのモニタ成分が含まれ、検出端子１５ａに信号配線１４ｂを介して接続される検出電極１１ｂにはプラスのモニタ成分が含まれるので、互いに逆位相のモニタ成分は検出端子１５ａにおいて相殺される。
　同様に、検出端子１５ｂに信号配線１４ｃを介して接続される検出電極１１ｃにはプラスのモニタ成分が含まれ、検出端子１５ｂに信号配線１４ｄを介して接続される検出電極１１ｄにはマイナスのモニタ成分が含まれるので、互いに逆位相のモニタ成分は検出端子１５ｂにおいて相殺される。
　ここで、信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂのいずれか一方が断線した場合には、検出端子１５ａにおいてモニタ成分が相殺されず、電流電圧変換器１５ｃに過大な電流が入力される。電流電圧変換器１５ｃに入力される電流量が、電流電圧変換器１５ｃのダイナミックレンジ内の場合には、電流量に対応した電圧値が出力され、ダイナミックレンジ外の場合には、飽和電圧値が出力される。信号配線１４ｃ又は信号配線１４ｄのいずれか一方が断線した場合も、電流電圧変換器１５ｄにおいて同様の動作となる。
　このように、振動子１１と検出回路１５を接続する信号配線１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが断線した場合には、電流電圧変換器１５ｃ、１５ｄからは過大な電圧値が出力される。その結果、出力端子１５ｊからは振動子１１に与えられた角速度Ωを示す値よりも大きな値が出力されてしまう。
　そこで、本発明は、断線検出回路１５ｋを用いて信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂの断線を検出し、断線検出回路１５ｌを用いて信号配線１４ｃ又は信号配線１４ｄの断線を検出する。そして、断線検出回路１５ｋと断線検出回路１５ｌのいずれか又は両方から断線が検出された場合に、論理和回路１５ｍから断線検出信号を出力する。この断線検出回路１５ｋ、１５ｌ、及び論理和回路１５ｍにより断線検出部が構成されている。この断線検出部により、出力端子１５ｊから出力される信号が異常値であることを知らせることができる。
　このように、本発明は、信号配線１４ａと信号配線１４ｂに逆位相のモニタ成分が含まれており、このモニタ信号が検出端子１５ａにおいて相殺されることを積極的に利用し、信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂの断線を検出している。同様に、信号配線１４ｃ又は信号配線１４ｄの断線をも検出している。
　このような構成で断線を検出することにより、従来の如く、角速度センサ１０を断線検出のための特別な状態とすることなく、角速度センサとして常時機能させながら、断線検出の有無を診断することが可能となる。
　断線検出の具体的な方法として、断線検出回路１５ｋは、電流電圧変換器１５ｃから出力された信号のレベルを検出し、この検出したレベルと予め定めた閾値とを比較する。検出したレベルが予め定めた閾値以上である場合に、断線検出信号を出力するように構成する。同様に、断線検出回路１５ｌにおいても、電流電圧変換器１５ｄから出力された信号のレベルが予め定めた閾値以上である場合に、断線検出信号を出力するように構成する。
　この予め定めた閾値は、センス成分の最大レベルよりも大きくすることが望ましい。前述したとおり、モニタ成分はセンス成分よりもかなり大きいため、信号配線１４ａ又は信号配線１４ｂのいずれかが断線した場合には、検出端子１５ａにおいてモニタ成分がキャンセルされず、センス成分の最大レベルよりもかなり大きなレベルとなるからである。望ましくは、予め定めた閾値を断線が発生していない場合に入力し得る信号の最大レベルとする。これにより、断線以外の要因による不要信号成分が含まれる場合であっても断線検出信号が出力されないため、断線検出の精度を向上させることができる。
　なお、断線検出回路１５ｋ、１５ｌは、検出端子１５ａ、１５ｂから出力される信号に基づいて、断線検出を行ってもよい。
　本発明の角速度センサは、角速度センサとして使用しながら、検出電極と検出端子とを接続する信号配線の断線の有無を検出することができ、信号配線の断線の検出に有用である。
　１０　　角速度センサ
　１１　　振動子
　１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ　　検出電極
　１１ｅ，１１ｆ　　駆動電極
　１１ｇ，１１ｈ，１１ｉ，１１ｊ　　モニタ電極
　１２　　駆動回路
　１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ　　信号配線
　１４ｆ，１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊ　　信号配線
　１５　　検出回路
　１５ａ，１５ｂ　　検出端子
　１５ｃ，１５ｄ　　電流電圧変換器
　１５ｇ　　差動増幅器
　１５ｈ　　検波回路
　１５ｉ　　ローパスフィルタ
　１５ｊ　　出力端子
　１５ｋ，１５ｌ　　断線検出回路
　１５ｍ　　論理和回路
　１５ｎ　　断線検出端子
　２０　　多軸検出振動子
　２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ　　錘
　２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ　　アーム
　２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ　　電極
　２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ　　電極
　２５ｃ，２５ｄ　　電極
　２６ｃ，２６ｄ　　電極
　２７　　枠体
　３０，３２　　駆動振動
　３１，３３　　検出振動

Claims (5)

  1. 駆動信号により振動する振動子と、
    前記振動子上に形成され、前記振動子に与えられた角速度に基づいて生成される第１センス成分及び前記駆動信号に基づいて生成される第１モニタ成分を含む第１信号を出力する第１検出電極と、
    前記振動子上に形成され、前記第１センス成分と略同位相の第２センス成分及び前記第１モニタ成分と略逆位相の第２モニタ成分を含む第２信号を出力する第２検出電極と、
    一端が前記第１検出電極と接続された第１信号配線と、
    一端が前記第２検出電極と接続された第２信号配線と、
    前記第１信号配線の他端及び前記第２信号配線の他端と接続された第１検出端子と、
    前記第１検出端子から出力された信号に基づいて、前記第１信号配線又は前記第２信号配線が断線していることを示す断線検出信号を出力する第１断線検出回路と、
    を備えた角速度センサ。
  2. 前記第１断線検出回路は、前記第１検出端子から出力された信号のレベルが所定レベル以上である場合に、前記断線検出信号を出力する
    請求項１に記載の角速度センサ。
  3. 前記第１検出端子の出力側に接続された電流電圧変換器をさらに有し、
    前記第１断線検出回路は前記電流電圧変換器から出力された信号のレベルが所定レベル以上である場合に、前記断線検出信号を出力する
    請求項１に記載の角速度センサ。
  4. 前記振動子上に形成され、前記第１センス成分と略逆位相の第３センス成分及び前記第１モニタ成分と略同位相の第３モニタ成分を含む第３信号を出力する第３検出電極と、
    前記振動子上に形成され、前記第１センス成分と略逆位相の第４センス成分及び前記第１モニタ成分と略逆位相の第４モニタ成分を含む第３信号を出力する第４検出電極と、
    一端が前記第３検出電極と接続された第３信号配線と、
    一端が前記第４検出電極と接続された第４信号配線と、
    前記第３信号配線の他端及び前記第４信号配線の他端と接続された第２検出端子と、
    前記第２検出端子から出力された信号に基づいて、前記第３信号配線又は前記第４信号配線が断線していることを示す断線検出信号を出力する第２断線検出回路とを
    さらに備えた
    請求項１に記載の角速度センサ。
  5. 前記第１断線検出回路から出力された前記断線検出信号及び前記第２断線検出回路から出力された前記断線検出信号の少なくとも一方が断線していることを示している場合に、断線検出信号を出力する論理和回路を
    さらに備えた
    請求項４に記載の角速度センサ。
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