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WO2011039973A1 - 慣性センサ - Google Patents

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WO2011039973A1
WO2011039973A1 PCT/JP2010/005729 JP2010005729W WO2011039973A1 WO 2011039973 A1 WO2011039973 A1 WO 2011039973A1 JP 2010005729 W JP2010005729 W JP 2010005729W WO 2011039973 A1 WO2011039973 A1 WO 2011039973A1
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WO
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unit
vibrator
signal
failure
drive
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2010/005729
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English (en)
French (fr)
Inventor
猛 植村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
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Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
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Priority to US13/394,651 priority patent/US8746034B2/en
Priority to CN201080041707.7A priority patent/CN102510996B/zh
Priority to EP10820099.9A priority patent/EP2455712B1/en
Priority to JP2011534059A priority patent/JP5696293B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719

Definitions

  • the present invention relates to an inertial sensor used in various electronic devices such as vehicle control applications and car navigation.
  • FIG. 14 is a block diagram of a conventional inertial sensor.
  • the conventional inertial sensor 130 includes a vibrator 131, a drive unit 132, and a detection unit 133.
  • the vibrator 131 is formed with a monitor electrode 131a, drive electrodes 131e and 131c, and detection electrodes 131b and 131d.
  • the drive unit 132 amplifies the signal input from the monitor electrode 131a and supplies the amplified signal to the drive electrodes 131e and 131c.
  • the detection unit 133 detects the amount of inertia applied to the vibrator 131 from the outside based on signals input from the detection electrodes 131b and 131d.
  • the detection unit 133 includes an oscillator 135f, a switch 135e, a current-voltage converter 135c, a current-voltage converter 135d, a differential amplifier 135g, a detector 135h, and a failure diagnosis unit 135j.
  • the switch 135e is connected to the oscillator 135f.
  • the current-voltage converter 135c is connected to the detection electrode 131d and the switch 135e.
  • the current-voltage converter 135d is connected to the detection electrode 131b.
  • the differential amplifier 135g is connected to the current-voltage converter 135c and the current-voltage converter 135d.
  • the detector 135h outputs the amount of inertia applied to the vibrator 131 based on the signal output from the differential amplifier 135g.
  • the failure diagnosis unit 135j diagnoses the presence or absence of a failure based on the signal from the detector 135h.
  • failure diagnosis when performing failure diagnosis, control is performed so that an oscillation signal from the oscillator 135f is output to the switch 135e. Then, the failure diagnosis unit 135j monitors the DC fluctuation value to diagnose whether the angular velocity sensor 130 has a failure.
  • the conventional inertial sensor has a problem that a failure occurring in the drive unit or the vibrator cannot be diagnosed.
  • the inertia amount cannot be detected while the failure is diagnosed.
  • Patent Document 1 is known as a prior art document relating to the invention of this application.
  • the inertial sensor of the present invention includes a vibrator, a drive unit that vibrates the vibrator, a detection unit that detects an inertia amount given to the vibrator from the outside, and a failure provided between the vibrator and the drive unit. It is set as the structure provided with the diagnostic part.
  • the drive unit includes a reference potential supply unit that supplies a reference potential to the vibrator, and a drive signal supply unit that supplies a drive signal to the vibrator based on a monitor signal output from the vibrator.
  • the failure diagnosis unit includes a diagnosis unit that diagnoses the presence or absence of a failure based on the current value flowing from the reference potential supply unit to the vibrator. With this configuration, it is possible to diagnose a failure that has occurred in the drive unit or the vibrator and to detect the amount of inertia while diagnosing the failure.
  • FIG. 1 is a block diagram of an inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2A is an explanatory diagram of drive vibration in the tuning fork vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2B is an explanatory diagram of the detected vibration in the tuning fork vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3A is an explanatory diagram of a multi-axis detection vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3B is an explanatory diagram of a multi-axis detection vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1 is a block diagram of an inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2A is an explanatory diagram of drive vibration in the tuning fork vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment
  • FIG. 4 is a block diagram of a failure diagnosis unit, a reference potential supply unit, and a vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a voltage waveform of the failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 6 is a block diagram of a diagnostic unit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 7 is a block diagram of a failure diagnosis unit including a current mirror circuit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 8 is a block diagram of the inertial sensor according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a voltage waveform of the failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 10 is a block diagram of the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 11 is a block diagram of a failure diagnosis unit, a reference potential supply unit, and a vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 12 is a block diagram of a diagnostic unit included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13A is a diagram illustrating a voltage waveform of a failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13B is a diagram showing an output signal of the full-wave rectifier included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13C is a diagram showing an output signal of a low-pass filter included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 14 is a block diagram of a conventional inertial sensor.
  • FIG. 1 is a block diagram of inertial sensor 10 according to Embodiment 1 of the present invention.
  • an inertial sensor 10 includes a vibrator 11, a drive unit 12 that vibrates the vibrator 11, a detection unit 13 that detects an inertia amount given to the vibrator 11 from the outside, a vibrator 11, and a drive unit. 12 is provided with a failure diagnosis unit 14 provided between
  • the drive unit 12 includes a reference potential supply unit 12 a that supplies a reference potential to the vibrator 11, and a drive signal supply unit 12 e that supplies a drive signal to the vibrator 11 based on the monitor signal output from the vibrator 11. Have.
  • the reference potential supply unit 12a generates a reference potential by dividing the power supply voltage and the ground using resistors 12b and 12c, and supplies the reference potential to the vibrator 11 using the reference potential supply amplifier 12d. .
  • the drive signal supply unit 12e converts the current value of the monitor signal into a voltage value using the IV conversion amplifier 12f, and uses an AGC (Auto Gain Control) amplifier (not shown) to obtain a substantially constant amplitude value. Furthermore, unnecessary signals are suppressed using the filter 12h, and a drive signal is supplied from the output amplifier 12g to the vibrator 11.
  • the monitor signal may be input in a positive and negative differential format. Similarly, the drive signal may be output in a positive and negative differential format.
  • the vibrator 11 vibrates at a driving vibration frequency depending on the shape of the vibrator 11 and the like based on the reference potential input from the electrode 11a and the driving signal input from the electrode 11b.
  • a monitor signal generated by the drive vibration is output from the electrode 11c.
  • the vibrator 11 is formed so as to perform detection vibration by an inertia amount given from the outside.
  • a detection signal generated by this detection vibration is output from the electrode 11d.
  • the method for exciting the drive vibration based on the drive signal may be performed by any of a piezoelectric method, a capacitance method, and an electromagnetic drive method.
  • the method for generating the monitor signal from the drive vibration and the method for generating the detection signal from the detection vibration may be performed by any of the piezoelectric method, the capacitance method, and the electromagnetic drive method.
  • the detection unit 13 includes an IV conversion amplifier 13a, a detection unit 13b, and a low-pass filter 13c.
  • the IV conversion amplifier 13a converts the current value of the detection signal into a voltage value.
  • the detector 13b detects the signal output from the IV conversion amplifier 13a using the monitor signal.
  • the low pass filter 13c smoothes the signal output from the detection unit 13b. With this configuration, the detection unit 13 outputs a voltage value corresponding to the amount of inertia given to the vibrator 11 from the outside to the output unit 10b.
  • the failure diagnosis unit 14 measures the amount of current flowing from the reference potential supply unit 12a to the vibrator 11, and diagnoses the presence or absence of a failure of the drive unit 12 or the vibrator 11 based on the amount of current.
  • the diagnosis result is output from the output unit 10a.
  • FIG. 2A is an explanatory diagram of drive vibration in the tuning fork vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2B is an explanatory diagram of the detected vibration in the tuning fork vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • 2A and 2B show a tuning fork vibrator 20 which is an example of the vibrator 11. By using this tuning fork vibrator 20 as the vibrator 11 of FIG. 1, it is possible to detect an angular velocity given to the tuning fork vibrator 20 from the outside. A method for detecting the angular velocity using the tuning fork vibrator 20 will be described below.
  • FIG. 2A shows the drive vibration 21 of the tuning fork vibrator 20
  • FIG. 2B shows the detection vibration 22 of the tuning fork vibrator 20.
  • the tuning fork vibrator 20 receives a drive signal from the drive unit 12 and generates a drive vibration 21 having a specific drive vibration frequency.
  • the detection vibration 22 is generated in the direction perpendicular to the rotation axis of the driving vibration 21 and the angular velocity 23 by the Coriolis force.
  • a detection signal output from the tuning fork vibrator 20 based on the detected vibration 22 has the same frequency as the drive vibration 21 and an amplitude depending on the angular velocity 23. Therefore, the detection unit 13 can detect the angular velocity 23 by detecting this detection signal using the monitor signal.
  • 3A and 3B are explanatory diagrams of the multi-axis detection vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • 3A and 3B show a multi-axis detection vibrator 30 which is another example of the vibrator 11.
  • the multi-axis detection vibrator 30 can detect angular velocities around the Y axis and the Z axis by applying drive vibration in the X axis direction.
  • a method for detecting angular velocities around the Y axis and the Z axis using the multi-axis detection vibrator 30 as the vibrator 11 of FIG. 1 will be described below.
  • FIG. 3A is an explanatory diagram for detecting an angular velocity around the Z axis.
  • the multi-axis detection vibrator 30 in the multi-axis detection vibrator 30, four weights 31 are respectively connected to a support 33 by arms 32. The operation when this multi-axis detection vibrator 30 is used as the vibrator 11 of FIG. 1 will be described below.
  • a drive vibration 34 is generated at a specific drive vibration frequency in the X-axis direction.
  • Coriolis force when an angular velocity 35 about the Z axis is input, Coriolis force generates a drive vibration 34 in the X axis direction and a detection vibration 36 in the Y axis direction perpendicular to the angular velocity 35 in the Z axis direction.
  • the detection signal output from the multi-axis detection vibrator 30 based on the detection vibration 36 has the same frequency as the drive vibration 34 and an amplitude depending on the angular velocity 35. Therefore, the detection unit 13 can detect the angular velocity 35 by detecting the detection signal using the monitor signal.
  • FIG. 3B is an explanatory diagram for detecting an angular velocity around the Y axis.
  • Coriolis force when an angular velocity 37 about the Y axis is input, Coriolis force generates a drive vibration 34 in the X axis direction and a detection vibration 38 in the Z axis direction perpendicular to the angular velocity 37 in the Y axis direction.
  • the detection signal output from the multi-axis detection vibrator 30 based on the detection vibration 38 has the same frequency as the drive vibration 34 and an amplitude depending on the angular velocity 37. Therefore, the detection unit 13 can detect the angular velocity 37 by detecting the detection signal using the monitor signal.
  • FIG. 4 is a block diagram of failure diagnosis unit 14, reference potential supply unit 12a, and vibrator 11 included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the failure diagnosis unit 14 measures the amount of current flowing from the reference potential supply unit 12a to the transducer 11 by measuring the voltage drop across the resistor 44a provided between the reference potential supply unit 12a and the transducer 11. is doing. In order to measure the voltage drop across the resistor 44a, the input side of the resistor 44a is connected to the inverting terminal via the resistor 44b.
  • the output side of the resistor 44a is connected to the operational amplifier 44d (amplifier 44d) via a non-inverting terminal, and the resistor 44c is connected between the output terminal of the operational amplifier 44d and the inverting terminal.
  • the failure diagnosis unit 14 includes a diagnosis unit 44e that performs failure diagnosis based on the voltage output from the operational amplifier 44d.
  • the diagnosis unit 44e is configured to output a failure signal when the AC voltage output from the operational amplifier 44d is outside a predetermined voltage range.
  • the diagnosis unit 44e can detect a failure mode in which a constant value offset is added to the amount of current flowing through the resistor 44a.
  • a method for performing failure diagnosis of the drive unit 12 or the vibrator 11 using the failure diagnosis unit 14 will be described below.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a voltage waveform of the failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 5 shows a voltage waveform in the diagnosis unit 44e.
  • the horizontal axis shown in FIG. 5 indicates time, and the vertical axis indicates voltage.
  • the voltage waveform 50 is a voltage waveform of a signal input to the diagnosis unit 44e. Since the drive unit 12 shapes the AC monitor signal generated from the drive vibration of the vibrator 11 and applies the AC drive signal to the vibrator 11, the current flowing through the resistor 44a becomes an alternating current. Therefore, the voltage waveform 50 of the signal input to the diagnosis unit 44e is an AC waveform as shown.
  • a voltage waveform 50a prior to time t1 indicates a voltage waveform when the drive unit 12 or the vibrator 11 is operating normally.
  • a voltage waveform 50b after the time t1 indicates a voltage waveform when the drive unit 12 or the vibrator 11 fails.
  • FIG. 6 is a block diagram of a diagnostic unit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 6 shows a block diagram of the diagnosis unit 44e.
  • the diagnosis unit 44e includes a maximum value measurement unit 61, a minimum value measurement unit 62, a comparison unit 63, a comparison unit 64, and a failure signal output unit 65.
  • the maximum value measuring unit 61 holds an upper limit value of the amplitude of the input signal.
  • the minimum value measuring unit 62 holds the lower limit value of the amplitude of the input signal.
  • the comparison unit 63 outputs a Hi signal when the output value of the maximum value measurement unit 61 is larger than the upper limit threshold TH1.
  • the comparison unit 64 outputs a Hi signal when the output value from the minimum value measurement unit 62 is smaller than the lower limit threshold TH2.
  • the failure signal output unit 65 outputs a Hi signal as a signal indicating a failure when a Hi signal is output from any one of the comparison unit 63 or the comparison unit 64.
  • Such a diagnosis unit 44e can detect a failure mode in which a certain amount of offset is added to the amount of current flowing through the resistor 44a.
  • the failure diagnosis unit 14 can be used to diagnose a failure that has occurred in the drive unit 12 or the vibrator 11. In addition, while the failure diagnosis unit 14 performs the failure diagnosis, since the reference potential supply unit 12a supplies the reference potential to the vibrator 11, the inertial sensor 10 is given to the vibrator 11 from the outside. The amount of inertia can be detected.
  • the amount of current flowing from the reference potential supply unit 12a to the vibrator 11 is measured by the voltage drop across the resistor 44a.
  • the method of measuring the amount of current flowing from the reference potential supply unit 12a to the vibrator 11 is not limited to this configuration.
  • FIG. 7 is a block diagram of a failure diagnosis unit including a current mirror circuit included in the inertial sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 7 shows an operational amplifier 70 using a current mirror circuit, which is an example of the operational amplifier 44d.
  • the operational amplifier 70 connects a current mirror transistor 71 and an output driver transistor 72 in parallel.
  • the mirror ratio ratio of the amplification factor of the output driver transistor 72 and the amplification factor of the current mirror transistor 71
  • the current flowing through the current mirror transistor 71 can be made 1/10 of the current flowing through the output driver transistor 72.
  • the monitor current flowing through the current mirror transistor 71 flows through the monitor resistor 73, is converted into a voltage, and is output as a current monitor output from the output terminal 75 via the buffer amplifier 74.
  • the output stage configuration of the operational amplifier 70 is a sink current control type configured by a constant current source and an N-type output driver transistor.
  • the configuration is not limited to this output stage configuration, and a configuration using a discharge current control type configured by a P-type output driver transistor and a constant current source may be used.
  • an output stage configuration such as a push-pull configuration using a P-type driver transistor and an N-type driver transistor in the output stage may be used.
  • the discharge current and the sink current can be monitored using a current mirror circuit of an N-type driver transistor and a current mirror circuit of a P-type driver transistor.
  • FIG. 8 is a block diagram of the inertial sensor according to Embodiment 2 of the present invention. The features of the second embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment.
  • FIG. 8 shows an inertial sensor 80 which is an example of a configuration for measuring the amount of current flowing from the output amplifier 12g to the vibrator 11.
  • a set of failure diagnosis units 81 is provided between a set of output amplifiers 12g and a set of electrodes 11b.
  • a failure signal output unit 82 is provided that outputs a failure signal to the output unit 10a when any one of the pair of failure diagnosis units 81 outputs a failure signal.
  • the failure diagnosis unit 81 can be realized with the same configuration as the failure diagnosis unit 14.
  • the diagnosis unit can also be realized with the same configuration as the diagnosis unit 44e.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a voltage waveform of the failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 shows a case where a failure mode in which the amplitude of the voltage increases is generated.
  • the voltage waveform 90a indicates a voltage waveform immediately after the disconnection occurs.
  • a voltage waveform 90b after the time t1 shows a voltage waveform when the amplitude of the voltage increases.
  • Such a failure mode occurs, for example, when one of the set of output amplifiers 12g fails or when one of the wires between the set of output amplifiers 12g and the set of electrodes 11b is disconnected.
  • the drive signal is supplied only from the output amplifier 12g that is not disconnected, the current amount of the drive signal supplied to the vibrator 11 and the current amount of the monitor signal are temporarily reduced.
  • the AGC amplifier (not shown) in the drive signal supply unit 12e controls the current amount of the monitor signal to be a constant value, the current amount output from the output amplifier 12g that is not disconnected is large. It is controlled to become. As a result, a voltage waveform as shown in the voltage waveform 90b is obtained, and this failure mode can be detected by comparing with the upper threshold TH1 and the lower threshold TH2.
  • FIG. 10 is a block diagram of the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 11 is a block diagram of a failure diagnosis unit, a reference potential supply unit, and a vibrator included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 12 is a block diagram of a diagnostic unit included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention. The features of the third embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment.
  • FIG. 11 shows the failure diagnosis unit 104, the reference potential supply unit 12a, and the vibrator 11.
  • the failure diagnosis unit 104 has a configuration in which the diagnosis unit 44e in FIG. 4 is replaced with a diagnosis unit 104e.
  • the diagnosis unit 104e is configured to output a failure signal when the amplitude value of the AC voltage output from the operational amplifier 44d becomes a predetermined value or less.
  • the diagnosis unit 104e can detect a failure mode in which the amount of current flowing through the resistor 44a is almost zero.
  • FIG. 12 shows a block diagram of the diagnosis unit 104e.
  • the diagnosis unit 104e includes a full-wave rectification unit 121, a low-pass filter 122, and a comparison unit 123.
  • the full wave rectification unit 121 performs full wave rectification on the input AC voltage.
  • the low-pass filter 122 smoothes the output signal from the full wave rectifier 121.
  • the comparison unit 123 outputs a Hi signal when the output value from the low-pass filter 122 is smaller than the threshold value TH3.
  • Such a diagnostic unit 104e can detect a failure mode in which the amount of current flowing through the resistor 44a is substantially zero.
  • a method for performing a failure diagnosis of the drive unit 12 or the vibrator 11 using the failure diagnosis unit 104 will be described below.
  • FIG. 13A is a diagram illustrating a voltage waveform of a failure diagnosis unit included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13A shows a voltage waveform in the diagnosis unit 104e.
  • the horizontal axis indicates time
  • the vertical axis indicates voltage.
  • the voltage waveform 110 is a voltage waveform of a signal input to the diagnosis unit 104e.
  • a voltage waveform 110a before time t1 indicates a voltage waveform when the drive unit 12 or the vibrator 11 is operating normally.
  • a voltage waveform 110b after time t1 indicates a voltage waveform when the drive unit 12 or the vibrator 11 fails.
  • FIG. 13B is a diagram showing an output signal of the full-wave rectifier included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13B shows the output signal 111 of the full-wave rectification unit 121 included in the diagnosis unit 104e.
  • the output signal 111 is a waveform in a normal state until time t1, and is a waveform in a failure state after time t1.
  • FIG. 13C is a diagram showing an output signal of a low-pass filter included in the inertial sensor according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 13C shows the output signal 112 of the low-pass filter 122.
  • the waveform is in a normal state, and after time t1, the waveform is in a failed state. Since the output signal 112 has a delay time due to the low-pass filter 122, the output signal 112 has a voltage value smaller than the threshold value TH3 at a time t2 when a predetermined time has elapsed from the time t1. Therefore, a failure diagnosis signal is output from the diagnosis unit 104e at time t2.
  • a failure diagnosis unit 104 may be provided between the output amplifier 12 g and the vibrator 11. With this configuration, it is possible to detect a failure mode in which the amplitude of the current output from the output amplifier 12g to the vibrator 11 is a predetermined value or less.
  • a failure diagnosis unit 104 may be provided on the output side of each output amplifier 12g, like the set of failure diagnosis units 81 shown in FIG. Thereby, it is possible to detect a failure mode in which the amplitude of the current output from one of the output amplifiers 12g is equal to or less than a predetermined value.
  • the inertial sensor of the present invention diagnoses a failure that has occurred in the drive unit or the vibrator, and can detect the amount of inertia while diagnosing the failure. It is useful as a sensor used in equipment.

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Abstract

　慣性センサは、振動子と、振動子を振動させる駆動部と、振動子に外部から与えられた慣性量を検知する検知部と、振動子と駆動部との間に設けられた故障診断部とを備えた構成とする。さらに、駆動部は、振動子に基準電位を供給する基準電位供給部と、振動子から出力されるモニタ信号に基づいて、振動子に駆動信号を供給する駆動信号供給部とを有している。故障診断部は、基準電位供給部から振動子に流れる電流値に基づいて故障の有無を診断する。この構成により、駆動部又は振動子に発生した故障を検出することができる。

Description

慣性センサ
　本発明は、車両制御用途や、カーナビゲーション等の各種電子機器に用いられる慣性センサに関する。
　図１４は、従来の慣性センサのブロック図である。図１４に示すように、従来の慣性センサ１３０は、振動子１３１と、駆動部１３２と、検知部１３３とを備えている。振動子１３１には、モニタ電極１３１ａ、駆動電極１３１ｅ、１３１ｃ及び検出電極１３１ｂ、１３１ｄが形成されている。駆動部１３２は、モニタ電極１３１ａから入力された信号を増幅して駆動電極１３１ｅ、１３１ｃに供給する。検知部１３３は、検出電極１３１ｂ、１３１ｄから入力された信号に基づいて振動子１３１に外部から与えられた慣性量を検出する。
　また、検知部１３３は、発振器１３５ｆと、スイッチ１３５ｅと、電流電圧変換器１３５ｃと、電流電圧変換器１３５ｄと、差動増幅器１３５ｇと、検波器１３５ｈと、故障診断部１３５ｊとを備えている。スイッチ１３５ｅは、発振器１３５ｆと接続されている。電流電圧変換器１３５ｃは、検出電極１３１ｄ及びスイッチ１３５ｅと接続されている。電流電圧変換器１３５ｄは、検出電極１３１ｂと接続されている。差動増幅器１３５ｇは、電流電圧変換器１３５ｃ及び電流電圧変換器１３５ｄと接続されている。
　検波器１３５ｈは、差動増幅器１３５ｇから出力された信号に基づいて振動子１３１に加えられた慣性量を出力する。故障診断部１３５ｊは、検波器１３５ｈからの信号に基づいて故障の有無を診断する。
　この構成において、故障診断を行う際には、スイッチ１３５ｅに対して発振器１３５ｆからの発振信号を出力するように制御を行う。そして、故障診断部１３５ｊにおいてＤＣ変動値を監視することにより、角速度センサ１３０の故障の有無を診断していた。
　しかし、従来の慣性センサにおいて、駆動部又は振動子に発生した故障を診断することができないという問題があった。また、故障の診断を行う間は、慣性量を検出できないという問題があった。
　なお、この出願の発明に関する先行技術文献としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開２００２－２６７４４８号公報
　本発明の慣性センサは、振動子と、振動子を振動させる駆動部と、振動子に外部から与えられた慣性量を検知する検知部と、振動子と駆動部との間に設けられた故障診断部とを備えた構成とする。駆動部は、振動子に基準電位を供給する基準電位供給部と、振動子から出力されるモニタ信号に基づいて、振動子に駆動信号を供給する駆動信号供給部とを有する。故障診断部は、基準電位供給部から振動子に流れる電流値に基づいて故障の有無を診断する診断部を備えている。この構成により、駆動部又は振動子に発生した故障を診断するとともに、故障の診断を行う間も慣性量の検出を行うことができる。
図１は、本発明の実施の形態１における慣性センサのブロック図である。 図２Ａは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する音叉型振動子における駆動振動の説明図である。 図２Ｂは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する音叉型振動子における検出振動の説明図である。 図３Ａは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する多軸検出振動子の説明図である。 図３Ｂは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する多軸検出振動子の説明図である。 図４は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する故障診断部、基準電位供給部および振動子のブロック図である。 図５は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。 図６は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する診断部のブロック図である。 図７は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有するカレントミラー回路を備えた故障診断部のブロック図である。 図８は、本発明の実施の形態２における慣性センサのブロック図である。 図９は、本発明の実施の形態２における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。 図１０は、本発明の実施の形態３における慣性センサのブロック図である。 図１１は、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する故障診断部、基準電位供給部および振動子のブロック図である。 図１２は、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する診断部のブロック図である。 図１３Ａは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。 図１３Ｂは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する全波整流部の出力信号を示す図である。 図１３Ｃは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有するローパスフィルタの出力信号を示す図である。 図１４は、従来の慣性センサのブロック図である。
　以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれらの実施の形態によって限定されるものではない。
　（実施の形態１）
　図１は、本発明の実施の形態１における慣性センサ１０のブロック図である。図１において、慣性センサ１０は、振動子１１と、振動子１１を振動させる駆動部１２と、振動子１１に外部から与えられた慣性量を検知する検知部１３と、振動子１１と駆動部１２との間に設けられた故障診断部１４とを備えている。
　以下、各構成ブロックについて詳述する。駆動部１２は、振動子１１に基準電位を供給する基準電位供給部１２ａと、振動子１１から出力されるモニタ信号に基づいて、振動子１１に駆動信号を供給する駆動信号供給部１２ｅとを有する。
　基準電位供給部１２ａは、電源電圧とグランドとを抵抗１２ｂ、１２ｃを用いて抵抗分割することにより基準電位を生成し、基準電位供給アンプ１２ｄを用いて振動子１１に基準電位を供給している。
　駆動信号供給部１２ｅは、ＩＶ変換アンプ１２ｆを用いてモニタ信号の電流値を電圧値に変換し、ＡＧＣ（Ａｕｔｏ　Ｇａｉｎ　Ｃｏｎｔｒｏｌ）アンプ（図示せず）を用いて略一定振幅値としている。さらに、フィルタ１２ｈを用いて不要信号を抑圧し、出力アンプ１２ｇから振動子１１に駆動信号を供給している。なお、モニタ信号はプラス及びマイナスの差動形式で入力してもよい。同様に、駆動信号はプラス及びマイナスの差動形式で出力してもよい。
　振動子１１は、電極１１ａから入力される基準電位及び電極１１ｂから入力された駆動信号に基づいて、振動子１１の形状等に依存する駆動振動周波数で駆動振動する。この駆動振動により生じるモニタ信号が電極１１ｃから出力される。また、振動子１１は、外部から与えられた慣性量によって検出振動を行うように形成されている。この検出振動により生じる検出信号が電極１１ｄから出力される。なお、駆動信号に基づいて駆動振動を励振する方式は、圧電方式、静電容量方式、電磁駆動方式のいずれで行われてもよい。同様に、駆動振動からモニタ信号を生成する方式や、検出振動から検出信号を生成する方式は、圧電方式、静電容量方式、電磁駆動方式のいずれで行われてもよい。
　検知部１３は、ＩＶ変換アンプ１３ａと、検波部１３ｂと、ローパスフィルタ１３ｃとを備えている。ＩＶ変換アンプ１３ａは、検出信号の電流値を電圧値に変換する。検波部１３ｂは、ＩＶ変換アンプ１３ａから出力される信号をモニタ信号を用いて検波する。ローパスフィルタ１３ｃは、検波部１３ｂから出力される信号を平滑化する。この構成により、検知部１３は振動子１１に外部から与えられた慣性量に対応する電圧値を出力部１０ｂへ出力する。
　故障診断部１４は、基準電位供給部１２ａから振動子１１へ流れる電流量を測定し、この電流量に基づいて駆動部１２又は振動子１１の故障の有無を診断する。この診断結果は出力部１０ａから出力される。
　図２Ａは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する音叉型振動子における駆動振動の説明図である。図２Ｂは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する音叉型振動子における検出振動の説明図である。図２Ａ及び図２Ｂは、振動子１１の一例である音叉型振動子２０を示している。この音叉型振動子２０を図１の振動子１１として用いることにより、音叉型振動子２０に外部から与えられた角速度を検出することができる。以下に音叉型振動子２０を用いて角速度を検出する方法を説明する。
　図２Ａは音叉型振動子２０の駆動振動２１を示し、図２Ｂは音叉型振動子２０の検出振動２２を示している。
　音叉型振動子２０は駆動部１２から駆動信号が与えられることにより、固有の駆動振動周波数の駆動振動２１が発生する。この状態で、図２Ｂのように角速度２３が入力されると、コリオリの力により駆動振動２１及び角速度２３の回転軸と垂直な方向に検出振動２２が発生する。この検出振動２２に基づいて音叉型振動子２０から出力される検出信号は、駆動振動２１と同じ周波数で、かつ、角速度２３に依存した振幅となる。従って、検知部１３は、この検出信号をモニタ信号を用いて検波することにより、角速度２３を検出することができる。
　図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する多軸検出振動子の説明図である。図３Ａ及び図３Ｂは、振動子１１の他の例である多軸検出振動子３０を示している。この多軸検出振動子３０は、Ｘ軸方向に駆動振動を与えることにより、Ｙ軸回り及びＺ軸回りの角速度を検出することができる。以下に多軸検出振動子３０を図１の振動子１１として用いてＹ軸回り及びＺ軸回りの角速度を検出する方法を説明する。
　図３Ａは、Ｚ軸回りの角速度を検出する場合の説明図である。図３Ａにおいて、多軸検出振動子３０は、４つの錘３１がそれぞれアーム３２により支持体３３に連結されている。この多軸検出振動子３０を図１の振動子１１として用いた場合の動作を以下説明する。多軸検出振動子３０は駆動部１２から駆動信号が与えられることにより、Ｘ軸方向の固有の駆動振動周波数で駆動振動３４が発生する。この状態で、Ｚ軸回りの角速度３５が入力されると、コリオリの力によりＸ軸方向の駆動振動３４及びＺ軸方向の角速度３５と垂直なＹ軸方向に検出振動３６が発生する。この検出振動３６に基づいて多軸検出振動子３０から出力される検出信号は、駆動振動３４と同じ周波数で、かつ、角速度３５に依存した振幅となる。従って、検知部１３は、この検出信号をモニタ信号を用いて検波することにより、角速度３５を検出することができる。
　図３Ｂは、Ｙ軸回りの角速度を検出する場合の説明図である。この場合は、Ｙ軸回りの角速度３７が入力されると、コリオリの力によりＸ軸方向の駆動振動３４及びＹ軸方向の角速度３７と垂直なＺ軸方向に検出振動３８が発生する。この検出振動３８に基づいて多軸検出振動子３０から出力される検出信号は、駆動振動３４と同じ周波数で、かつ、角速度３７に依存した振幅となる。従って、検知部１３は、この検出信号をモニタ信号を用いて検波することにより、角速度３７を検出することができる。
　図４は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する故障診断部１４、基準電位供給部１２ａおよび振動子１１のブロック図である。故障診断部１４は、基準電位供給部１２ａと振動子１１との間に設けられた抵抗４４ａの両端の電圧降下を測定することにより、基準電位供給部１２ａから振動子１１に流れる電流量を測定している。抵抗４４ａの両端の電圧降下を測定するために、抵抗４４ａの入力側が抵抗４４ｂを介して反転端子に接続されている。さらに抵抗４４ａの出力側が、非反転端子を介してオペアンプ４４ｄ（増幅器４４ｄ）に接続され、抵抗４４ｃが、オペアンプ４４ｄの出力端と反転端子との間に接続されている。さらに、故障診断部１４は、オペアンプ４４ｄから出力される電圧に基づいて故障診断を行う診断部４４ｅを備えている。
　診断部４４ｅは、オペアンプ４４ｄから出力される交流電圧が所定の電圧範囲外である場合に、故障信号を出力するように構成されている。この診断部４４ｅにより、抵抗４４ａに流れる電流量に一定値のオフセットが加わるような故障モードを検知することができる。
　この故障診断部１４を用いて、駆動部１２又は振動子１１の故障診断を行う方法を以下に説明する。
　図５は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。図５は、診断部４４ｅにおける電圧波形を示している。図５に示す横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。電圧波形５０は、診断部４４ｅに入力される信号の電圧波形である。駆動部１２は、振動子１１の駆動振動から生成される交流のモニタ信号を波形整形し、交流の駆動信号を振動子１１に与えているので、抵抗４４ａを流れる電流は交流となる。従って、診断部４４ｅに入力される信号の電圧波形５０は図示する如く交流波形となる。
　電圧波形５０において、時間ｔ１より前の電圧波形５０ａは、駆動部１２又は振動子１１が正常に動作している場合の電圧波形を示している。時間ｔ１より後の電圧波形５０ｂは、駆動部１２又は振動子１１が故障した場合の電圧波形を示している。
　例えば、駆動部１２の内部回路がショートした場合にはリーク電流が発生し、抵抗４４ａに流れる電流量に一定値のオフセットが加わる。この故障モードは、電圧波形５０を、正常な電圧の上限閾値ＴＨ１及び下限閾値ＴＨ２と比較することにより検出することができる。
　図６は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有する診断部のブロック図である。図６は、診断部４４ｅのブロック図を示している。診断部４４ｅは、最大値測定部６１と、最小値測定部６２と、比較部６３と、比較部６４と、故障信号出力部６５とを備えている。最大値測定部６１は、入力信号の振幅の上限値を保持する。最小値測定部６２は、入力信号の振幅の下限値を保持する。比較部６３は、最大値測定部６１の出力値が上限閾値ＴＨ１よりも大きい場合にＨｉ信号を出力する。比較部６４は、最小値測定部６２からの出力値が下限閾値ＴＨ２よりも小さい場合にＨｉ信号を出力する。故障信号出力部６５は、比較部６３又は比較部６４のいずれか１つからＨｉ信号が出力された場合に故障を示す信号としてＨｉ信号を出力する。このような診断部４４ｅにより、抵抗４４ａに流れる電流量に一定値のオフセットが加わるような故障モードを検知することができる。
　以上説明したように、故障診断部１４を用いて、駆動部１２又は振動子１１に発生した故障を診断することができる。また、故障診断部１４が故障診断を行っている間も、基準電位供給部１２ａは振動子１１に対して基準電位を供給しているため、慣性センサ１０は振動子１１に外部から与えられた慣性量を検知することができる。
　なお、本実施の形態においては、図４に示す如く、基準電位供給部１２ａから振動子１１に流れる電流量を、抵抗４４ａの両端の電圧降下により測定した。しかし、基準電位供給部１２ａから振動子１１へ流れる電流量を測定する方法は、この構成に限られない。
　図７は、本発明の実施の形態１における慣性センサが有するカレントミラー回路を備えた故障診断部のブロック図である。図７は、オペアンプ４４ｄの一例である、カレントミラー回路を用いたオペアンプ７０を示している。オペアンプ７０は、カレントミラートランジスタ７１と出力ドライバトランジスタ７２とを並列に接続している。この構成において、ミラー比（出力ドライバトランジスタ７２の増幅率とカレントミラートランジスタ７１の増幅率との比）を、例えば、１０：１に設定する。そうすると、カレントミラートランジスタ７１を流れる電流を出力ドライバトランジスタ７２を流れる電流の１／１０とすることができる。このカレントミラートランジスタ７１を流れる電流量を測定することにより、電流測定による消費電流の過度の増加を防ぐことが出来る。カレントミラートランジスタ７１を流れるモニタ電流はモニタ抵抗７３を流れ、電圧に変換され、バッファアンプ７４を介して出力端子７５から電流モニタ出力として出力される。この構成により、図４の抵抗４４ａを挿入した際の電圧降下によるアンプ出力のダイナミックレンジ低下を防ぐことができる。尚、図７ではオペアンプ７０の出力段構成を定電流源とＮ型の出力ドライバトランジスタで構成する吸い込み電流制御型とした。しかし、この出力段構成に限らず、Ｐ型の出力ドライバトランジスタと定電流源で構成した吐き出し電流制御型を用いた構成であっても良い。また、出力段にＰ型ドライバトランジスタと、Ｎ型ドライバトランジスタを用いたプッシュ・プル型の構成などの出力段構成であっても良い。例えばプッシュ・プル型を用いた場合はＮ型ドライバトランジスタのカレントミラー回路と、Ｐ型ドライバトランジスタのカレントミラー回路を用いて、吐き出し電流と吸い込み電流をモニタすることが出来る。
　なお、出力アンプ１２ｇから振動子１１へ流れる電流量を測定することによっても、駆動部１２又は振動子１１に発生した故障を診断するとともに、故障の診断を行う間も慣性量の検出を行うことが可能である。
　（実施の形態２）
　図８は、本発明の実施の形態２における慣性センサのブロック図である。実施の形態２の特徴部分について、実施の形態１との相違点を中心に説明する。図８は、出力アンプ１２ｇから振動子１１へ流れる電流量を測定する構成の一例である慣性センサ８０を示している。慣性センサ８０において、１組の出力アンプ１２ｇと１組の電極１１ｂとの間に、１組の故障診断部８１を設けている。また、１組の故障診断部８１のいずれかが故障信号を出力した場合に出力部１０ａに故障信号を出力する故障信号出力部８２を備えている。
　この構成により、図５に示したような電流量に一定値のオフセットが加わる故障モードのみでなく、電流の振幅が大きくなる故障モードをも検知することができる。
　故障診断部８１は故障診断部１４と同様の構成で実現することができる。診断部においても診断部４４ｅと同様の構成で実現することができる。
　図９は、本発明の実施の形態２における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。図９は、電圧の振幅が大きくなるような故障モードが発生した場合を示している。電圧波形９０において、電圧波形９０ａは、断線が発生した直後の電圧波形を示している。時間ｔ１より後の電圧波形９０ｂは、電圧の振幅が大きくなった場合の電圧波形を示している。
　このような故障モードは、例えば、１組の出力アンプ１２ｇの一方が故障した場合や、１組の出力アンプ１２ｇと１組の電極１１ｂとの間の配線の一方が断線した場合に発生する。この場合、断線していない方の出力アンプ１２ｇからのみ駆動信号が供給されるため、振動子１１に供給される駆動信号の電流量及びモニタ信号の電流量は一時的に小さくなる。しかし、駆動信号供給部１２ｅ内のＡＧＣアンプ（図示せず）はモニタ信号の電流量が一定値になるように制御するため、断線していない方の出力アンプ１２ｇから出力される電流量が大きくなるように制御される。この結果、電圧波形９０ｂに示すような電圧波形となり、上限閾値ＴＨ１及び下限閾値ＴＨ２と比較することによりこの故障モードを検出することができる。
　（実施の形態３）
　図１０は、本発明の実施の形態３における慣性センサのブロック図である。図１１は、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する故障診断部、基準電位供給部および振動子のブロック図である。図１２は、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する診断部のブロック図である。実施の形態３の特徴部分について、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
　図１１は、故障診断部１０４、基準電位供給部１２ａおよび振動子１１を示している。図１１に示すように、故障診断部１０４は、図４の診断部４４ｅを診断部１０４ｅに置き換えた構成である。
　診断部１０４ｅは、オペアンプ４４ｄから出力される交流電圧の振幅値が所定値以下となった場合に、故障信号を出力するように構成されている。この診断部１０４ｅにより、抵抗４４ａに流れる電流量がほぼ０となるような故障モードを検知することができる。
　図１２は、診断部１０４ｅのブロック図を示している。診断部１０４ｅは、全波整流部１２１と、ローパスフィルタ１２２と、比較部１２３とを備えている。全波整流部１２１は、入力された交流電圧を全波整流する。ローパスフィルタ１２２は、全波整流部１２１からの出力信号を平滑化する。比較部１２３は、ローパスフィルタ１２２からの出力値が閾値ＴＨ３よりも小さい場合にＨｉ信号を出力する。このような診断部１０４ｅにより、抵抗４４ａに流れる電流量がほぼ０となるような故障モードを検知することができる。
　この故障診断部１０４を用いて駆動部１２又は振動子１１の故障診断を行う方法を以下に説明する。
　図１３Ａは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する故障診断部の電圧波形を示す図である。図１３Ａは、診断部１０４ｅにおける電圧波形を示している。図１３Ａは、横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。電圧波形１１０は、診断部１０４ｅに入力される信号の電圧波形である。
　電圧波形１１０において、時間ｔ１より前の電圧波形１１０ａは、駆動部１２又は振動子１１が正常に動作している場合の電圧波形を示している。時間ｔ１より後の電圧波形１１０ｂは、駆動部１２又は振動子１１が故障した場合の電圧波形を示している。
　例えば、駆動部１２の異常等に起因して振動子１１の発振が停止した場合や、駆動部１２と振動子１１とを接続するワイヤが断線した場合には、抵抗４４ａに流れる電流量がほぼ０となる。この故障モードは、図１３Ａに示す如く、故障した場合の電圧波形１１０ｂの電圧が上限閾値ＴＨ１と下限閾値ＴＨ２との間にあるため、診断部４４ｅを用いて検出することができない。しかし、電圧波形１１０の振幅値が所定値以下であるか否かで故障を診断することができる。
　図１３Ｂは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有する全波整流部の出力信号を示す図である。図１３Ｂは、診断部１０４ｅが備える全波整流部１２１の出力信号１１１を示している。出力信号１１１は時間ｔ１までは正常な状態の波形であり、時間ｔ１以降は故障した状態の波形である。
　図１３Ｃは、本発明の実施の形態３における慣性センサが有するローパスフィルタの出力信号を示す図である。図１３Ｃは、ローパスフィルタ１２２の出力信号１１２を示している。時間ｔ１までは正常な状態の波形であり、時間ｔ１以降は故障した状態の波形である。出力信号１１２は、ローパスフィルタ１２２に起因する遅延時間を有するため、時間ｔ１から所定時間が経過した時間ｔ２に閾値ＴＨ３よりも小さい電圧値となる。従って、診断部１０４ｅからは時間ｔ２に故障診断信号が出力される。
　なお、出力アンプ１２ｇと振動子１１との間に故障診断部１０４を設けてもよい。この構成により、出力アンプ１２ｇから振動子１１に出力される電流の振幅が所定値以下となるような故障モードを検出することができる。出力アンプ１２ｇが差動出力の場合には、図８に示した１組の故障診断部８１の如く、それぞれの出力アンプ１２ｇの出力側に故障診断部１０４を設けても良い。これにより、いずれか一方の出力アンプ１２ｇから出力される電流の振幅が所定値以下となるような故障モードを検出することができる。
　本発明の慣性センサは、駆動部又は振動子に発生した故障を診断するとともに、故障の診断を行う間も慣性量の検出を行うことができ、特に車両制御用途や、カーナビゲーション等の各種電子機器に用いられるセンサとして有用である。
　１０，８０，１００　　慣性センサ
　１０ａ，１０ｂ　　出力部
　１１　　振動子
　１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ　　電極
　１２　　駆動部
　１２ａ　　基準電位供給部
　１２ｂ，１２ｃ　　抵抗
　１２ｄ　　基準電位供給アンプ
　１２ｅ　　駆動信号供給部
　１２ｆ　　ＩＶ変換アンプ
　１２ｇ　　出力アンプ
　１２ｈ　　フィルタ
　１３　　検知部
　１３ａ　　ＩＶ変換アンプ
　１３ｂ　　検波部
　１３ｃ　　ローパスフィルタ
　１４，８１，１０４　　故障診断部
　２０　　音叉型振動子
　２１，３４　　駆動振動
　２２，３６，３８　　検出振動
　２３，３５，３７　　角速度
　３０　　多軸検出振動子
　３１　　錘
　３２　　アーム
　３３　　支持体
　４４ａ，４４ｂ，４４ｃ　　抵抗
　４４ｄ，７０　　オペアンプ（増幅器）
　４４ｅ，１０４ｅ　　診断部
　５０，５０ａ，５０ｂ　　電圧波形
　９０，９０ａ，９０ｂ　　電圧波形
　１１０，１１０ａ，１１０ｂ　　電圧波形
　６１　　最大値測定部
　６２　　最小値測定部
　６３，６４，１２３　　比較部
　６５，８２　　故障信号出力部
　７１　　カレントミラートランジスタ
　７２　　出力ドライバトランジスタ
　７３　　モニタ抵抗
　７４　　バッファアンプ
　７５　　出力端子
　１１１　　出力信号
　１１２　　出力信号
　１２１　　全波整流部
　１２２　　ローパスフィルタ

Claims (7)

  1. 振動子と、
    前記振動子を振動させる駆動部と、
    前記振動子に外部から与えられた慣性量を検知する検知部と、
    前記振動子と前記駆動部との間に設けられた故障診断部とを、
    　備え、
    　前記駆動部は、前記振動子に基準電位を供給する基準電位供給部と、
    前記振動子から出力されるモニタ信号に基づいて前記振動子に駆動信号を供給する駆動信号供給部とを有し、
    前記故障診断部は、前記基準電位供給部から前記振動子に流れる電流値に基づいて故障の有無を診断する診断部とを備えた
    　慣性センサ。
  2. 前記故障診断部は、前記基準電位供給部と前記振動子との間に直列接続された抵抗と、
    前記抵抗の両端の電圧降下量を増幅する増幅器と、
    　を有し、
    前記診断部は、前記増幅器から出力された電圧値に基づいて故障の有無を診断する
    　請求項１に記載の慣性センサ。
  3. 振動子と、
    前記振動子を振動させる駆動部と、
    前記振動子に外部から与えられた慣性量を検知する検知部と、
    前記振動子と前記駆動部との間に設けられた故障診断部とを、
    　備え、
    　前記駆動部は、前記振動子に基準電位を供給する基準電位供給部と、
    前記振動子から出力されるモニタ信号に基づいて前記振動子に駆動信号を供給する駆動信号供給部とを有し、
    前記故障診断部は、前記駆動信号供給部から前記振動子に流れる電流値に基づいて故障の有無を診断する診断部とを備えた
    　慣性センサ。
  4. 前記故障診断部は、前記駆動信号供給部と前記振動子との間に直列接続された抵抗と、
    前記抵抗の両端の電圧降下量を増幅する増幅器と、
    　を有し、
    前記診断部は、前記増幅器から出力された電圧値に基づいて故障の有無を診断する
    　請求項３に記載の慣性センサ。
  5. 前記診断部は、
    前記電流値の最大値を出力する最大値測定部と、
    前記電流値の最小値を出力する最小値測定部と、
    前記最大値が予め定めた上限閾値よりも大きい場合に故障信号を出力する第１の比較部と、
    前記最小値が予め定めた下限閾値よりも小さい場合に故障信号を出力する第２の比較部と、
    前記第１の比較部又は前記第２の比較部のいずれかが故障信号を出力した場合に故障信号を出力する故障信号出力部とを
    　備えた請求項１または請求項３のいずれか１項に記載の慣性センサ。
  6. 前記故障信号出力部は、前記第１の比較部が故障信号を出力した場合と、前記第２の比較部が故障信号を出力した場合とで異なる故障信号を出力する
    　請求項５に記載の慣性センサ。
  7. 前記診断部は、
    前記電圧値を全波整流する全波整流部と、
    前記全波整流部からの出力信号を平滑化するローパスフィルタと、
    前記ローパスフィルタからの出力信号が予め定めた閾値よりも小さい場合に故障信号を出力する比較部とを備えた
    　請求項１または請求項３のいずれか１項に記載の慣性センサ。
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