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WO2011049143A1 - 三次元形状造形物の製造方法およびその製造装置 - Google Patents

三次元形状造形物の製造方法およびその製造装置 Download PDF

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WO2011049143A1
WO2011049143A1 PCT/JP2010/068521 JP2010068521W WO2011049143A1 WO 2011049143 A1 WO2011049143 A1 WO 2011049143A1 JP 2010068521 W JP2010068521 W JP 2010068521W WO 2011049143 A1 WO2011049143 A1 WO 2011049143A1
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WO
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gas flow
chamber
light beam
local gas
producing
Prior art date
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PCT/JP2010/068521
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English (en)
French (fr)
Inventor
諭 阿部
徳雄 吉田
勲 不破
喜万 東
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to JP2011537290A priority patent/JP5653358B2/ja
Priority to US13/503,217 priority patent/US9073264B2/en
Priority to CN201080047421.XA priority patent/CN102574333B/zh
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a three-dimensional shaped object and an apparatus for manufacturing the same. More specifically, the present invention manufactures a three-dimensional shaped object in which a plurality of solidified layers are laminated and integrated by repeatedly performing formation of a solidified layer by irradiating a predetermined portion of the powder layer with a light beam. The present invention relates to a method and an apparatus therefor.
  • a method of manufacturing a three-dimensional shaped object by irradiating a material powder with a light beam is known.
  • the powder at the predetermined portion is sintered or melt-solidified to form a solidified layer
  • (ii) of the obtained solidified layer A three-dimensional shaped article is manufactured by repeating the process of “laying a new powder layer on the top and irradiating the same with a light beam to form a solidified layer” (see Patent Document 1 or Patent Document 2).
  • the obtained three-dimensional shaped object can be used as a mold, and organic material powder such as resin powder or plastic powder can be used. In such a case, the obtained three-dimensional shaped object can be used as a model. According to such a manufacturing technique, it is possible to manufacture a complicated three-dimensional shaped object in a short time.
  • a powder layer 22 having a predetermined thickness t1 is formed on a substrate 21 as shown in FIG.
  • a light beam is irradiated onto a predetermined portion of the powder layer 22 to form a solidified layer 24 on the modeling plate 21.
  • a new powder layer 22 is laid on the formed solidified layer 24 and irradiated again with a light beam to form a new solidified layer.
  • Manufacture of a three-dimensional shaped object is often performed in a chamber maintained in a predetermined inert atmosphere to prevent oxidation of the object.
  • the chamber there are “means for forming a powder layer”, “a modeling table on which a powder layer and / or a solidified layer is to be formed” and the like, while a light beam irradiation means is provided outside the chamber. ing.
  • the light beam emitted from the light beam irradiation means is irradiated to a predetermined portion of the powder layer through the light transmission window of the chamber.
  • the chamber 50 is provided with a light transmission window 52.
  • the light beam L passes through the light transmission window 52 and enters the chamber 50.
  • the fumes can directly affect the light beam incident on the chamber. Specifically, the generated fumes can rise. Therefore, the rising fumes may block the path of the light beam, and the irradiation amount of the light beam (the amount irradiated to the powder layer) can be reduced. That is, there is a concern that the amount of energy of the light beam provided to the powder layer may be lower than a predetermined value due to the blockage of the fume.
  • an object of the present invention is to provide a powder sintering lamination method in which the influence of generated fumes is suppressed as much as possible.
  • Forming a layer, irradiating a predetermined portion of the new powder layer with a light beam to form a further solidified layer in a chamber, and a method for producing a three-dimensional shaped object In the chamber, a local gas flow is formed, and at least a part of the fumes generated by light beam irradiation is accompanied by the local gas flow, and a method for producing a three-dimensional shaped object is provided. Is done.
  • the fume is prevented by a local gas flow formed in the chamber so that the light transmission window is not clouded by the fume and / or the path of the light beam is not blocked by the fume. It is characterized by trapping.
  • fume refers to a smoke-like substance generated from a powder layer and / or a solidified layer irradiated with a light beam in the manufacturing method of a three-dimensional shaped object.
  • the fume is “metal vapor caused by metal powder material” or “resin vapor caused by resin powder material”.
  • local gas flow substantially means a gas flow formed in a part of the space in the chamber.
  • the expression “entrained in the local gas flow” substantially means a mode in which fumes are carried by the gas flow in the chamber in a broad sense, and in a specific mode in a narrow sense, the space in the chamber. This means that the fume moves so as to be included in the gas flow formed in a part of the gas flow, and the fume flows along the gas flow.
  • the kind of gas used is preferably the same inert gas as the inert atmosphere gas in the chamber so as not to adversely affect the inert atmosphere in the chamber.
  • powder layer refers to, for example, “a metal powder layer made of metal powder” or “a resin powder layer made of resin powder”.
  • the “predetermined portion of the powder layer” substantially means a region of the three-dimensional shaped article to be manufactured. Therefore, by irradiating the powder existing at the predetermined location with a light beam, the powder is sintered or melted and solidified to form the shape of the three-dimensional shaped object.
  • the “solidified layer” substantially means “sintered layer” when the powder layer is a metal powder layer, and substantially means “cured layer” when the powder layer is a resin powder layer. Meaning.
  • a local gas flow is formed at a position away from the light transmission window provided in the chamber. In other words, gas is not blown against the light transmission window. Thereby, “cloudiness of the light transmission window” can be prevented.
  • “local gas” can be formed in the following manner: ⁇ Gas is supplied from the outside to the inside of the chamber. ⁇ The fan installed inside the chamber is driven. -The atmospheric gas in the chamber is sucked from the outside through the chamber wall.
  • a local gas flow is formed at a position at least 10 mm away from the powder layer.
  • a local gas flow is formed near the inner wall of the chamber so that the gas circulates along the inner wall of the chamber.
  • -Gas is flowed in a plane or in parallel so that a "curtain" is formed by local gas flow.
  • fumes entrained in the local gas flow are discharged from the interior of the chamber. As a result, it can be prevented that “more than necessary fumes are accumulated in the chamber”.
  • a local gas flow is generated only when the light beam is irradiated. Thereby, a local gas flow is formed only when fume is generated, and more efficient fume removal is possible.
  • the "manufacturing apparatus of a three-dimensional shape molded article" for implementing the manufacturing method mentioned above is also provided.
  • the manufacturing apparatus of such a three-dimensional shaped object is Powder layer forming means for forming a powder layer, A light beam irradiation means for irradiating the powder layer with a light beam so as to form a solidified layer; A molding table on which a powder layer and / or a solidified layer is to be formed; and a chamber having a powder layer forming means and a molding table therein, It further comprises gas flow forming means for forming a local gas flow in the chamber.
  • fumes generated by light beam irradiation can be effectively trapped in the chamber. That is, the generated fumes can be guided and held in a local region in the chamber, and finally, it can be removed from the chamber. Thereby, “fogging” of the chamber light transmission window can be prevented, and “blocking of the light beam path by fumes” can also be prevented.
  • the present invention it is possible to prevent a decrease in the transmittance of the light beam incident into the chamber and a change in the refractive index, thereby achieving a desired solidified layer formation. More specifically, when the powder layer is a metal powder layer and the solidified layer is a sintered layer, the inconvenience that “sintering is not stable or the density of the sintered portion cannot be increased”. Therefore, the strength of the three-dimensional shaped object can be kept substantially uniform.
  • FIG. 2A is a perspective view schematically illustrating a mode in which fumes are generated in the chamber by irradiation with a light beam
  • FIG. 2A a composite apparatus having a cutting mechanism
  • FIG. 2B an apparatus having no cutting mechanism
  • Sectional view schematically showing the flow of fume in the chamber The perspective view which showed typically the aspect by which the powder sintering lamination method is performed
  • Flow chart of operation of stereolithography combined processing machine Schematic representation of the optical modeling complex processing process over time
  • FIG. 2A is a perspective view schematically illustrating a mode in which fumes are generated in the chamber by irradiation with a light beam
  • FIG. 2B an apparatus having no cutting mechanism
  • FIG. 9 (a) and FIG. 9 (b)) schematically showing a mode of forming a local gas flow using a supply nozzle.
  • the perspective view which represented typically the aspect which combined gas supply and gas suction The perspective view which represented the aspect which forms a local gas flow using a fan typically FIG. 13A is a cross-sectional view schematically illustrating a mode in which a local gas flow is formed at a position away from the light transmission window of the chamber, and FIG. 13B is a view away from the light beam path.
  • FIG. 14A is a schematic diagram showing a mode in which a local gas flow is circulated along the inner wall of the chamber using a supply nozzle
  • FIG. 14B is a local view using a fan.
  • FIG. 15A is a perspective view schematically showing an aspect in which a local gas flow is circulated along the inner wall of the chamber using a supply nozzle
  • the powder sintering lamination method as a premise of the production method of the present invention will be described.
  • the powder sintering lamination method will be described on the premise that the material powder is supplied from the material powder tank and the material powder is leveled using a leveling plate to form a powder layer.
  • a description will be given by taking as an example a mode of composite processing in which cutting of a molded article is also performed (that is, assuming the mode shown in FIG. 2A instead of FIG. 2B) And).
  • the optical modeling composite processing machine 1 includes “a powder layer forming means 2 for forming a powder layer by spreading a powder such as a metal powder and a resin powder with a predetermined thickness” and “in a modeling tank 29 whose outer periphery is surrounded by a wall 27.
  • a modeling table 20 that moves up and down “a modeling plate 21 that is arranged on the modeling table 20 and serves as a foundation of the modeling object”, “a light beam irradiation means 3 that irradiates a light beam L to an arbitrary position”, Cutting means 4 ”for cutting the periphery of the main body.
  • the powder layer forming means 2 includes “a powder table 25 that moves up and down in a material powder tank 28 whose outer periphery is surrounded by a wall 26” and “to form a powder layer 22 on a modeling plate”. And the leveling plate 23 ".
  • the light beam irradiation means 3 includes a “light beam oscillator 30 that emits a light beam L” and a “galvanomirror 31 that scans (scans) the light beam L onto the powder layer 22 (scanning). Optical system) ”.
  • the light beam irradiation means 3 has beam shape correction means (for example, a pair of cylindrical lenses and a rotation drive mechanism for rotating the lenses around the axis of the light beam) for correcting the shape of the light beam spot. And an f ⁇ lens.
  • the cutting means 4 mainly includes “a milling head 40 that cuts the periphery of the modeled object” and “an XY drive mechanism 41 (41a, 41b) that moves the milling head 40 to a cutting position” (FIGS. 4 and 4). 5).
  • FIG. 6 shows a general operation flow of the optical modeling composite processing machine
  • FIG. 7 schematically shows the optical modeling composite processing process schematically.
  • the operation of the optical modeling composite processing machine includes a powder layer forming step (S1) for forming the powder layer 22, a solidified layer forming step (S2) for forming the solidified layer 24 by irradiating the powder layer 22 with the light beam L, It is mainly composed of a cutting step (S3) for cutting the surface of the modeled article.
  • the powder layer forming step (S1) the modeling table 20 is first lowered by ⁇ t1 (S11). Next, after raising the powder table 25 by ⁇ t1, as shown in FIG. 1A, the leveling plate 23 is moved in the direction of arrow A, and the powder (for example, “average particle size 5 ⁇ m”) While the iron powder of about 100 ⁇ m ”or“ powder of nylon, polypropylene, ABS, etc.
  • the process proceeds to the solidified layer forming step (S2), and the light beam L from the light beam oscillator 30 (for example, carbon dioxide laser (about 500 W), Nd: YAG laser (about 500 W), fiber laser (about 500 W), ultraviolet light, etc.) (S21), the light beam L is scanned to an arbitrary position on the powder layer 22 by the galvanometer mirror 31 (S22), and the powder is melted and solidified to form a solidified layer 24 integrated with the modeling plate 21. (S23).
  • the light beam is not limited to being transmitted in the air, but may be transmitted by an optical fiber or the like.
  • the powder layer forming step (S1) and the solidified layer forming step (S2) are repeated until the thickness of the solidified layer 24 reaches a predetermined thickness obtained from the tool length of the milling head 40, and the solidified layer 24 is laminated (FIG. 1). (See (b)).
  • stacked will be integrated with the solidified layer which comprises the already formed lower layer in the case of sintering or melt-solidification.
  • the process proceeds to the cutting step (S3).
  • the cutting step is started by driving the milling head 40 (S31).
  • the tool (ball end mill) of the milling head 40 has a diameter of 1 mm and an effective blade length of 3 mm, a cutting process with a depth of 3 mm can be performed. Therefore, if ⁇ t1 is 0.05 mm, 60 solidified layers are formed. At that time, the milling head 40 is driven.
  • the milling head 40 is moved in the directions of the arrow X and the arrow Y by the XY drive mechanism 41 (41a, 41b), and the surface of the shaped object composed of the laminated solidified layer 24 is cut (S32). And when manufacture of a three-dimensional shape molded article has not ended yet, it will return to a powder layer formation step (S1). Thereafter, the three-dimensional shaped object is manufactured by repeating S1 to S3 and laminating a further solidified layer 24 (see FIG. 7).
  • the irradiation path of the light beam L in the solidified layer forming step (S2) and the cutting path in the cutting step (S3) are created in advance from three-dimensional CAD data.
  • a machining path is determined by applying contour line machining.
  • contour shape data of each cross section obtained by slicing STL data generated from a three-dimensional CAD model at an equal pitch for example, 0.05 mm pitch when ⁇ t1 is 0.05 mm
  • the present invention is particularly characterized in the treatment during light beam irradiation among the powder sintering lamination methods described above. Specifically, it is characterized in that at least a part of the fumes generated by the irradiation of the light beam is accompanied by “local gas flow” in the chamber (see FIG. 8A). As a result, “fogging” of the chamber light transmission window can be prevented, and “blocking of the light beam path by fumes” can be prevented.
  • a “local gas flow” is formed by locally flowing a gas in the chamber. That is, a gas flow is formed in a partial region of the chamber space where the optical modeling is performed.
  • the “cross-sectional dimension D of the gas flow” is preferably about 1 to 100 mm, more preferably about 10 to 50 mm.
  • “opening end size Da of supply nozzle 60 or suction nozzle 70” is preferably 1 to 100 mm. About 10 to 50 mm.
  • the formation of such “local gas flow” can be achieved, for example, by supplying a gas from the outside to the inside of the chamber 50 as shown in FIGS. 9A and 9B.
  • a supply nozzle 60 attached to the wall surface of the chamber may be used, and compressed gas may be supplied from the supply nozzle 60.
  • the supply nozzle 60 is in fluid communication with the chamber internal space via the chamber wall surface 50a on the downstream side, and is connected to the supply pipe 61 on the upstream side.
  • the supply pipe 61 is provided with a supply pump (not shown in FIG. 9). Therefore, by driving a supply pump that is indirectly attached to the supply nozzle 60, gas can be locally flowed into the chamber internal space.
  • the gas flow rate supplied from the supply nozzle 60 (the gas flow rate based on the standard state at 0 ° C. and 1 atm) is preferably about 5 to 80 L / min, more preferably about 10 to 60 L / min, and still more preferably 15 to It is about 40 L / min.
  • “local gas flow” can also be formed by sucking the atmospheric gas in the chamber from the outside through the chamber wall 50a.
  • gas may be sucked from a suction nozzle 70 attached to the wall surface 50a of the chamber.
  • the suction nozzle 70 is in fluid communication with the chamber internal space via the chamber wall surface 50a on the upstream side, and is connected to the suction pipe 71 on the downstream side.
  • the suction pipe 71 is provided with a suction pump (not shown in FIG. 10). Therefore, a local gas flow can be formed in the chamber internal space by driving a suction pump that is indirectly attached to the suction nozzle 70.
  • the gas flow rate (gas flow rate based on the standard state at 0 ° C. and 1 atm) from the suction nozzle 70 is preferably about 5 to 80 L / min, more preferably about 10 to 60 L / min, and still more preferably 15 to It is about 40 L / min.
  • “gas supply” and “gas suction” may be combined. That is, as shown in FIG. 11, “gas supply via the supply nozzle 60” and “gas suction via the suction nozzle 70” are performed in parallel, thereby forming a local gas flow continuously. Meanwhile, the fumes trapped in the gas flow are continuously discharged out of the chamber.
  • the supply nozzle 60 and the suction nozzle 70 are connected to each other by a pipe 80 and a filter 85 is disposed on the pipe 80 (for example, a filter having an electrostatic dust collecting action is provided in the pipe 80. May be arranged). In this case, the sucked gas (especially, gas containing “fume”) can be collected by the filter 85, and the treated gas can be used again for a new gas supply.
  • a local gas flow can also be formed by driving a fan 90 provided in the chamber 50 as shown in FIG.
  • a local gas flow can be formed by rotating the propeller.
  • the atmospheric gas in the chamber system moves locally and can be operated in a substantially closed system (in contrast, in the mode of FIGS.
  • the formation of a typical gas flow is accompanied by “gas transfer from outside the chamber system into the system” or “gas transfer from inside the chamber system to the outside of the system”).
  • the rotational speed of the propeller is not particularly limited as long as fumes are accompanied by the gas flow, and may be, for example, about 50 to 300 rpm.
  • the mode of local gas flow in the chamber is not particularly limited as long as it can prevent “clouding” of the light transmission window of the chamber, and it can prevent “blocking of the light beam path by fumes”. There is no particular limitation.
  • a “local gas flow” at a position away from the light transmission window of the chamber.
  • a “local gas flow” in the chamber internal space excluding the region below the light transmission window 52. That is, the horizontal position of the “local gas flow” is shifted from the installation position of the light transmission window 52. This will be described in detail with reference to FIG. 13A.
  • the horizontal distance La-b between the edge portion (point a) of the light transmission window and the side portion (point b) of the local gas flow is at least 1 mm.
  • a local gas flow is formed so as to be approximately (the upper limit value of the horizontal distance La-b may vary depending on the chamber size or the like, but is approximately 100 mm, for example).
  • a “local gas flow” at a position away from the light beam path.
  • a “local gas flow” at a position shifted in the horizontal direction from the light beam path entering the chamber.
  • the horizontal distance Lc-d between the edge portion (point c) of the light beam and the side surface portion (point d) of the local gas flow is at least about 1 mm.
  • a local gas flow is formed (the upper limit value of the horizontal distance Lc-d may vary depending on the chamber size or the like, but is about 100 mm, for example).
  • the local gas flow may be formed along the inner wall of the chamber as a mode of “shifting” the formation position of the “local gas flow” from the light transmission window or the light beam path. That is, as shown in FIGS. 14 and 15, it is preferable to form a local gas flow in the vicinity of the inner wall of the chamber so that the gas circulates along the inner wall of the chamber. Thereby, it is possible to continue trapping fumes in the “local gas flow” in the vicinity of the inner wall of the chamber. In other words, since the generated fumes can be held in the peripheral region of the chamber internal space for a certain period, a stable optical modeling process can be realized. In the embodiment shown in FIGS.
  • the “local gas flow” is a swirl flow along the inner wall of the chamber, and the swirl flow is located in a region away from the light transmission window and the light beam path. Accordingly, the fumes are accompanied by the swirling flow so as to be out of the light transmission window and the light beam path, so that fogging of the light transmission window and attenuation of the light beam can be effectively prevented.
  • a plurality of gas nozzles may be arranged in the vicinity of the inner wall of the chamber so that a gas flow swirling and circulating in a certain direction is formed (see FIG. 14 (a)), or a plurality of fans (90a, 90b, 90c, 90d) may be arranged near the inner wall of the chamber (see FIG. 14 (b)).
  • the gas nozzles (60a, 60b, 60c, 60d) or the fans (90a, 90b, 90c, 90d) are preferably arranged one by one near each side surface of the chamber as shown in the figure. Thereby, a local swirling flow can be effectively formed along the side wall surface of the chamber.
  • a filter 85 may be provided in the gas circulation path as shown in FIGS. 14 (a) and 14 (b) and FIG. 15 (a). Thereby, the gas containing the fumes is collected by the filter 85, and the gas can be continuously circulated for a relatively long time.
  • a “local gas flow” at a position at least 10 mm away from the powder layer so that the powder in the powder layer is not rolled up by the “local gas flow”. If the “powder of the powder layer” can be effectively prevented, the desired solidified layer can be easily formed.
  • a mode means that the distance H shown in FIGS. 9A and 9B is preferably 10 mm or more.
  • the lower limit is 10 mm per distance from the surface Ha of the powder layer and / or the solidified layer to the “lower end Hb of the gas flow” (see FIG. 9B), that is, “local It substantially means that the lower limit of the vertical height of the “gas flow” is 10 mm.
  • the upper limit value is not particularly limited.
  • the mode may be such that the “local gas flow” flows in the immediate vicinity of the upper inner wall of the chamber (see reference numeral “50b” in FIG. 9B).
  • the local gas flow may be formed in a planar shape. That is, as shown in FIG. 16A, the gas may be flowed in a plane or in parallel so that a gas flow curtain 101 is formed. Thereby, even if it is a fume which generate
  • the formation of the curtain 101 by the local gas flow can be achieved, for example, by changing the gas supply nozzle 60 shown in FIG. 9A to “a gas supply nozzle having a slit-like opening”. Alternatively, this can also be achieved by arranging a plurality of “gas supply nozzles 60 shown in FIG. 9A” in the horizontal direction and performing parallel gas supply.
  • Gas type There is no restriction
  • the same type of gas as the atmospheric gas charged in the chamber may be used.
  • air is preferably used from the viewpoint of cost.
  • an inert gas such as nitrogen gas from the viewpoint of preventing oxidation of the powder layer and the shaped article.
  • fumes entrained in the local gas flow may be appropriately discharged from the chamber.
  • the discharge port 55 Fumes may be discharged.
  • Such fumes can be discharged through forced suction, or simply by opening the outlet in a closed state.
  • the gas supply nozzle shown in FIG. 14 (a) is used in a closed chamber, the internal pressure of the chamber can gradually increase as the gas is supplied. It is possible to discharge fumes by selecting “.”
  • “local gas flow” may be generated only at the time of irradiation with a light beam in order to trap fume more efficiently.
  • gas supply see FIG. 9
  • gas suction see FIG. 10
  • fan drive see FIG. 12
  • a “local gas flow” can be formed synchronously when fume is generated, and the running cost ( ⁇ operation cost) can be reduced.
  • the “irradiation time data” output to the light beam oscillator is also supplied to the gas supply pump (in the case of FIG. 9), the gas suction pump (in the case of FIG. 10), or the fan drive unit (in the case of FIG. 12).
  • FIGS. 1, 2, 4 and 5 Powder layer forming means 2 for forming a metal powder layer; A light beam irradiation means 3 for irradiating the metal powder layer with a light beam so as to form a sintered layer; A modeling table 20 on which a metal powder layer and / or a sintered layer is to be formed, and a chamber 50 having therein a metal powder layer forming means and a modeling table. Comprising Gas flow forming means for forming a local gas flow in the chamber 50 is further provided.
  • the “powder layer forming means 2”, “modeling table 20”, “light beam irradiation means 3”, “chamber 50” and the like including the operation of the apparatus will be described in the above [Powder Sintering Laminating Method]. Therefore, the description is omitted to avoid duplication.
  • the gas flow forming means includes a supply nozzle 60 (and supply pump) as shown in FIG. 9, a suction nozzle 70 (and suction pump) as shown in FIG. 10, and a fan 90 (and drive as shown in FIG. 12). Device).
  • the number of gas flow forming means is not limited to one, and a plurality of gas flow forming means may be used as necessary.
  • a first aspect (i) a step of irradiating a predetermined portion of the powder layer with a light beam to sinter or melt and solidify the powder at the predetermined portion to form a solidified layer; and (ii) the obtained solidified layer
  • a method for producing a three-dimensional shaped object in which a step of forming a new powder layer thereon and irradiating a predetermined portion of the new powder layer with a light beam to form a further solidified layer is repeated in the chamber. And A local gas flow is formed in the chamber, and at least a part of the fumes generated by the irradiation of the light beam is caused to accompany the local gas flow. .
  • Second aspect The method for producing a three-dimensional shaped object according to the first aspect, wherein the local gas flow is formed at a position away from the light transmission window of the chamber.
  • Third aspect In the first or second aspect, the three-dimensional shaped object is characterized in that the local gas flow is formed at a position distant from the light beam path incident in the chamber. Manufacturing method.
  • Fourth aspect The three-dimensional shape according to any one of the first to third aspects, wherein the local gas flow is formed by supplying a gas from the outside to the inside of the chamber. Manufacturing method of a model.
  • Fifth aspect The three-dimensional shape modeling according to any one of the first to third aspects, wherein the local gas flow is formed by driving a fan provided in the chamber. Manufacturing method.
  • the local gas flow is formed by sucking the atmospheric gas in the chamber from the outside through the wall of the chamber.
  • the manufacturing method of the three-dimensional shape molded article characterized by this.
  • Seventh aspect The method for producing a three-dimensional shaped object according to any one of the first to sixth aspects, wherein the fumes entrained in the local gas flow are discharged from the chamber.
  • Eighth aspect The method for producing a three-dimensional shaped article according to any one of the first to seventh aspects, wherein the local gas flow is formed at least 10 mm away from the powder layer.
  • Ninth aspect The method for producing a three-dimensional structure according to any one of the first to eighth aspects, wherein the local gas flow is circulated along an inner wall of the chamber.
  • Tenth aspect The method for producing a three-dimensional structure according to any one of the first to eighth aspects, wherein the local gas flow is formed in a planar shape.
  • Eleventh aspect The method for producing a three-dimensional shaped structure according to any one of the first to tenth aspects, wherein the local gas flow is generated only at the time of irradiation with the light beam.
  • Twelfth aspect The method for producing a three-dimensional shaped object according to any one of the first to eleventh aspects, wherein the local gas flow is formed using an inert gas.
  • Powder layer forming means for forming a powder layer
  • a light beam irradiation means for irradiating the powder layer with a light beam so as to form a solidified layer
  • a molding table on which a powder layer and / or a solidified layer is to be formed
  • a chamber having a powder layer forming means and a molding table therein
  • Japanese Patent Laid-Open No. 9-511893 discloses an “apparatus for producing an object in layers using laser sintering”. In the disclosed apparatus, nitrogen is passed through the lens that focuses the beam. It should be noted that, in particular, the invention is devised so that it flows over the entire lens surface, and the idea of the present invention, such as “entraining in a local gas flow”, is not disclosed or suggested.
  • the powder layer is an inorganic metal powder layer and the solidified layer is a sintered layer
  • the resulting three-dimensional shaped article is a plastic injection mold, a press mold, a die-cast mold, It can be used as a mold such as a casting mold or a forging mold.
  • the powder layer is an organic resin powder layer and the solidified layer is a cured layer
  • the obtained three-dimensional shaped article can be used as a resin molded product.

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Abstract

　三次元形状造形物の製造方法であって、（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して前記所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および、（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程をチャンバー内において繰り返して行い、チャンバー内において局所的なガス流れを形成し、光ビームの照射によって発生するヒュームの少なくとも一部を局所的なガス流れに同伴させることを特徴とする製造方法。

Description

三次元形状造形物の製造方法およびその製造装置
　本発明は、三次元形状造形物の製造方法およびその製造装置に関する。より詳細には、本発明は、粉末層の所定箇所に光ビームを照射して固化層を形成することを繰り返し実施することによって複数の固化層が積層一体化した三次元形状造形物を製造する方法およびそのための装置に関する。
　従来より、材料粉末に光ビームを照射して三次元形状造形物を製造する方法（一般的には「粉末焼結積層法」と称される）が知られている。かかる方法では、「（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射することよって、かかる所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成し、（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を敷いて同様に光ビームを照射して更に固化層を形成する」といったことを繰り返して三次元形状造形物を製造している（特許文献１または特許文献２参照）。材料粉末として金属粉末やセラミック粉末などの無機質の材料粉末を用いた場合では、得られた三次元形状造形物を金型として用いることができ、樹脂粉末やプラスチック粉末などの有機質の材料粉末を用いた場合では、得られた三次元形状造形物をモデルとして用いることができる。このような製造技術によれば、複雑な三次元形状造形物を短時間で製造することが可能である。
　材料粉末として金属粉末を用い、得られる三次元形状造形物を金型として用いる場合を例にとると、図１に示すように、まず、所定の厚みｔ１の粉末層２２を基板２１上に形成した後（図１（ａ）参照）、光ビームを粉末層２２の所定箇所に照射して、造形プレート２１上において固化層２４を形成する。そして、形成された固化層２４の上に新たな粉末層２２を敷いて再度光ビームを照射して新たな固化層を形成する。このように固化層を繰り返し形成すると、複数の固化層２４が積層一体化した三次元形状造形物を得ることができる（図１（ｂ）参照）。
特表平１－５０２８９０号公報 特開２０００－７３１０８号公報
　三次元形状造形物の製造は、造形物の酸化などを防止すべく所定の不活性雰囲気下に保たれたチャンバー内で行われることが多い。チャンバー内には「粉末層を形成する手段」、「粉末層および／または固化層が形成されることになる造形テーブル」などが設置されている一方、チャンバー外には光ビーム照射手段が設置されている。光ビーム照射手段から発せられた光ビームは、チャンバーの光透過窓を通じて粉末層の所定箇所へと照射される。例えば図２（ａ）および（ｂ）を参照すると分かるように、チャンバー５０には光透過窓５２が設けられている。光ビームＬは光透過窓５２を通過してチャンバー５０内に入射される。
　ここで、粉末層に光ビームを照射して粉末を焼結又は溶融固化させる際、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、“ヒューム”８と呼ばれる煙状の物質（例えば金属蒸気または樹脂蒸気）がビーム照射箇所から発生する。このヒュームは上昇してチャンバーの光透過窓に付着したり焼き付いたりする（図３参照）。それゆえ、光透過窓が曇ってしまい光ビームの透過率や屈折率などが低下し得る。光ビームの透過率や屈折率などが低下すると、所望の固化層を得ることができず、当初意図した造形物の製造が妨げられることになる。特に、粉末層として金属粉末層を用いた場合では、「焼結が安定しない」とか「焼結密度を高くすることができない」等の理由によって三次元形状造形物の強度が低下してしまうことが懸念される。
　また、ヒュームは、チャンバー内に入射した光ビームに対して直接的に影響を及ぼし得る。具体的には、発生したヒュームは上昇し得る。それゆえ、上昇するヒュームが光ビームの経路を遮る場合があり、光ビームの照射量（粉末層に対して照射される量）が低減し得る。つまり、ヒュームの遮りに起因して、粉末層に供される光ビームのエネルギー量が所定の値よりも低下してしまうことが懸念される。
　本発明は、かかる事情に鑑みて為されたものである。即ち、本発明の課題は、発生するヒュームの影響をできるだけ抑えた粉末焼結積層法を提供することである。
　上記課題を解決するため、本発明では、
　（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して前記所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
　（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
をチャンバー内において繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
　チャンバー内では、局所的なガス流れを形成し、光ビームの照射によって発生するヒュームの少なくとも一部を局所的なガス流れに同伴させることを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法が提供される。
　本発明の製造方法は、ヒュームにより光透過窓が曇ることがないように及び／又はヒュームにより光ビームの経路が遮られることがないように、チャンバー内に形成した局所的なガス流れによってヒュームをトラップすることを特徴としている。
　本明細書において「ヒューム」とは、三次元形状造形物の製造方法に際して、光ビームが照射される粉末層および／または固化層から発生する煙状の物質を指している。例えば、ヒュームは、「金属粉末材料に起因した金属蒸気」または「樹脂粉末材料に起因した樹脂蒸気」である。
　また、本明細書において「局所的なガス流れ」とは、チャンバー内空間の一部に形成されるガス流れを実質的に意味している。そして、「局所的なガス流れに同伴させる」といった表現は、広義にはチャンバー内のガス流れによってヒュームが運ばれる態様を実質的に意味しており、狭義の具体的な態様では、チャンバー内空間の一部に形成されたガス流れに包含されるようにヒュームが移動して、そのガス流れに沿ってヒュームが流れる態様を実質的に意味している。ちなみに、用いるガスの種類は、チャンバー内の不活性雰囲気に対して悪影響を及ぼさないように、チャンバー内の不活性雰囲気ガスと同様の不活性ガスであることが好ましい。
　更に、本明細書において「粉末層」とは、例えば「金属粉末から成る金属粉末層」または「樹脂粉末から成る樹脂粉末層」などを指している。また「粉末層の所定箇所」とは、製造される三次元形状造形物の領域を実質的に意味している。従って、かかる所定箇所に存在する粉末に対して光ビームを照射することによって、その粉末が焼結又は溶融固化して三次元形状造形物の形状を構成することになる。更に「固化層」とは、粉末層が金属粉末層である場合には「焼結層」を実質的に意味しており、粉末層が樹脂粉末層である場合には「硬化層」を実質的に意味している。
　ある好適な態様では、チャンバーに設けられた光透過窓から離れた位置に局所的なガス流れを形成する。換言すれば、光透過窓に対してガスを吹き付けないようにする。これにより、“光透過窓の曇り”を防止できる。また、“ヒュームによる光ビーム経路の遮り”を防止するために、チャンバー内に入射した光ビームの経路から離れた位置に局所的なガス流れを形成することも好ましい。
　本発明の製造方法では、以下の態様で“局所的なガス”を形成することができる：
　・チャンバーの外部から内部へとガスを供給する。
　・チャンバーの内部に設けたファンを駆動する。
　・チャンバー壁部を介してチャンバー内の雰囲気ガスを外部から吸引する。
　また、“局所的なガス”のチャンバー内の態様としては以下のものが好ましい：
　・粉末層から少なくとも１０ｍｍ以上離した位置に局所的なガス流れを形成する。
　・チャンバーの内壁に沿ってガスが周回するように、局所的なガス流れをチャンバーの内壁近傍に形成する。
　・局所的なガス流れによる“カーテン”が形成されるように、平面状または並列的にガスを流す。
　ある好適な態様では、局所的なガス流れに同伴させたヒュームをチャンバーの内部から排出する。これにより、「チャンバー内にて必要以上のヒュームが蓄積される」といったことを防止できる。
　別の好適な態様では、光ビームの照射時においてのみ局所的なガス流れを発生させる。これにより、ヒュームが発生している時にのみ局所的なガス流れが形成され、より効率的なヒューム除去が可能となる。
　本発明では、上述した製造方法を実施するための「三次元形状造形物の製造装置」も提供される。かかる三次元形状造形物の製造装置は、
　粉末層を形成するための粉末層形成手段、
　固化層が形成されるように粉末層に光ビームを照射するための光ビーム照射手段、
　粉末層および／または固化層が形成されることになる造形テーブル、ならびに
　粉末層形成手段および造形テーブルを内部に具備するチャンバー
を有して成り、
　局所的なガス流れをチャンバー内に形成するためのガス流れ形成手段を更に有して成ることを特徴とする。
　本発明では、光ビームの照射によって発生するヒュームをチャンバー内で効果的にトラップすることができる。即ち、発生するヒュームをチャンバー内の局所的な領域へと誘導・保持することができ、最終的にはそれをチャンバー内から除去できる。これにより、チャンバー光透過窓の“曇り”を防止できると共に、“ヒュームによる光ビーム経路の遮り”をも防止できる。
　従って、本発明では、チャンバー内へと入射される光ビームの透過率の低下や屈折率の変化を防ぐことができ、所望の固化層形成が達成される。より具体的に言えば、粉末層が金属粉末層であって固化層が焼結層となる場合、『焼結が安定しないとか、あるいは、焼結部分の密度を高くすることができない』といった不都合を回避することができるので、三次元形状造形物の強度を実質的に均一に保持できる。
光造形複合加工機の動作を模式的に示した断面図 光ビームの照射によってヒュームがチャンバー内に発生する態様を模式的に表した斜視図（図２（ａ）：切削機構を備えた複合装置、図２（ｂ）：切削機構を備えていない装置） チャンバー内でのヒュームの流れを模式的に示した断面図 粉末焼結積層法が行われる態様を模式的に示した斜視図 粉末焼結積層法が実施される光造形複合加工機の構成を模式的に示した斜視図 光造形複合加工機の動作のフローチャート 光造形複合加工プロセスを経時的に表した模式図 本発明の概念を模式的に表した図 供給ノズルを用いて局所的なガス流れを形成する態様を模式的に表した斜視図（図９（ａ））および断面図（図９（ｂ）） 吸引ノズルを用いて局所的なガス流れを形成する態様を模式的に表した斜視図（図１０（ａ））および断面図（図１０（ｂ）） ガス供給とガス吸引とを組み合わせた態様を模式的に表した斜視図 ファンを用いて局所的なガス流れを形成する態様を模式的に表した斜視図 図１３（ａ）は、チャンバーの光透過窓から離れた位置に局所的なガス流れ”を形成する態様を模式的に表した断面図であり、図１３（ｂ）は、光ビーム経路から離れた位置に局所的なガス流れを形成する態様を模式的に表した断面図 図１４（ａ）は、供給ノズルを用いて局所的なガス流れをチャンバーの内壁に沿うように周回させる態様を表した模式図であって、図１４（ｂ）は、ファンを用いて局所的なガス流れをチャンバーの内壁に沿うように周回させる態様を表した模式図 図１５（ａ）は、供給ノズルを用いて局所的なガス流れをチャンバーの内壁に沿うように周回させる態様を模式的に示した斜視図であって、図１５（ｂ）はかかる態様を実施するために実際に組み立てた装置の写真 局所的なガス流れのカーテンを形成する態様を模式的に表した斜視図
　以下では、図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
［粉末焼結積層法］
　まず、本発明の製造方法の前提となる粉末焼結積層法について説明する。説明の便宜上、材料粉末タンクから材料粉末を供給し、均し板を用いて材料粉末を均して粉末層を形成する態様を前提として粉末焼結積層法を説明する。また、粉末焼結積層法に際しては造形物の切削加工をも併せて行う複合加工の態様を例に挙げて説明する（つまり、図２（ｂ）ではなく図２（ａ）に表す態様を前提とする）。図１，４および５には、粉末焼結積層法と切削加工とを実施できる光造形複合加工機の機能および構成が示されている。光造形複合加工機１は、「金属粉末および樹脂粉末などの粉末を所定の厚みで敷くことによって粉末層を形成する粉末層形成手段２」と「外周が壁２７で囲まれた造形タンク２９内において上下に昇降する造形テーブル２０」と「造形テーブル２０上に配され造形物の土台となる造形プレート２１」と「光ビームＬを任意の位置に照射する光ビーム照射手段３」と「造形物の周囲を削る切削手段４」とを主として備えている。粉末層形成手段２は、図１に示すように、「外周が壁２６で囲まれた材料粉末タンク２８内において上下に昇降する粉末テーブル２５」と「造形プレート上に粉末層２２を形成するための均し板２３」とを主として有して成る。光ビーム照射手段３は、図４および図５に示すように、「光ビームＬを発する光ビーム発振器３０」と「光ビームＬを粉末層２２の上にスキャニング（走査）するガルバノミラー３１（スキャン光学系）」とを主として有して成る。必要に応じて、光ビーム照射手段３には、光ビームスポットの形状を補正するビーム形状補正手段（例えば一対のシリンドリカルレンズと、かかるレンズを光ビームの軸線回りに回転させる回転駆動機構とを有して成る手段）やｆθレンズなどが具備されている。切削手段４は、「造形物の周囲を削るミーリングヘッド４０」と「ミーリングヘッド４０を切削箇所へと移動させるＸＹ駆動機構４１（４１ａ，４１ｂ）」とを主として有して成る（図４および図５参照）。
　光造形複合加工機１の動作を図１、図６および図７を参照して詳述する。図６は、光造形複合加工機の一般的な動作フローを示しており、図７は、光造形複合加工プロセスを模式的に簡易に示している。
　光造形複合加工機の動作は、粉末層２２を形成する粉末層形成ステップ（Ｓ１）と、粉末層２２に光ビームＬを照射して固化層２４を形成する固化層形成ステップ（Ｓ２）と、造形物の表面を切削する切削ステップ（Ｓ３）とから主に構成されている。粉末層形成ステップ（Ｓ１）では、最初に造形テーブル２０をΔｔ１下げる（Ｓ１１）。次いで、粉末テーブル２５をΔｔ１上げた後、図１（ａ）に示すように、均し板２３を、矢印Ａ方向に移動させ、粉末テーブル２５に配されていた粉末（例えば「平均粒径５μｍ～１００μｍ程度の鉄粉」または「平均粒径３０μｍ～１００μｍ程度のナイロン、ポリプロピレン、ＡＢＳ等の粉末」）を造形プレート２１上へと移送させつつ（Ｓ１２）、所定厚みΔｔ１に均して粉末層２２を形成する（Ｓ１３）。次に、固化層形成ステップ（Ｓ２）に移行し、光ビーム発振器３０から光ビームＬ（例えば炭酸ガスレーザ（５００Ｗ程度）、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（５００Ｗ程度）、ファイバレーザ（５００Ｗ程度）または紫外線など）を発し（Ｓ２１）、光ビームＬをガルバノミラー３１によって粉末層２２上の任意の位置にスキャニングし（Ｓ２２）、粉末を溶融させ、固化させて造形プレート２１と一体化した固化層２４を形成する（Ｓ２３）。光ビームは、空気中を伝達させることに限定されず、光ファイバーなどで伝送させてもよい。
　固化層２４の厚みがミーリングヘッド４０の工具長さ等から求めた所定厚みになるまで粉末層形成ステップ（Ｓ１）と固化層形成ステップ（Ｓ２）とを繰り返し、固化層２４を積層する（図１（ｂ）参照）。尚、新たに積層される固化層は、焼結又は溶融固化に際して、既に形成された下層を成す固化層と一体化することになる。
　積層した固化層２４の厚みが所定の厚みになると、切削ステップ（Ｓ３）へと移行する。図１および図７に示すような態様ではミーリングヘッド４０を駆動させることによって切削ステップの実施を開始している（Ｓ３１）。例えば、ミーリングヘッド４０の工具（ボールエンドミル）が直径１ｍｍ、有効刃長さ３ｍｍである場合、深さ３ｍｍの切削加工ができるので、Δｔ１が０．０５ｍｍであれば、６０層の固化層を形成した時点でミーリングヘッド４０を駆動させる。ＸＹ駆動機構４１（４１ａ，４１ｂ）によってミーリングヘッド４０を矢印Ｘ及び矢印Ｙ方向に移動させ、積層した固化層２４から成る造形物の表面を切削加工する（Ｓ３２）。そして、三次元形状造形物の製造が依然終了していない場合では、粉末層形成ステップ（Ｓ１）へ戻ることになる。以後、Ｓ１乃至Ｓ３を繰り返して更なる固化層２４を積層することによって、三次元形状造形物の製造を行う（図７参照）。
　固化層形成ステップ（Ｓ２）における光ビームＬの照射経路と、切削ステップ（Ｓ３）における切削加工経路とは、予め三次元ＣＡＤデータから作成しておく。この時、等高線加工を適用して加工経路を決定する。例えば、固化層形成ステップ（Ｓ２）では、三次元ＣＡＤモデルから生成したＳＴＬデータを等ピッチ（例えばΔｔ１を０．０５ｍｍとした場合では０．０５ｍｍピッチ）でスライスした各断面の輪郭形状データを用いる。
［本発明の製造方法］
　本発明は、上述した粉末焼結積層法のなかでも、特に光ビーム照射時の処理に特徴を有している。具体的には、光ビームの照射によって発生するヒュームの少なくとも一部をチャンバー内の“局所的なガス流れ”に同伴させることを特徴としている（図８（ａ）参照）。これにより、チャンバー光透過窓の“曇り”を防止できると共に、“ヒュームによる光ビーム経路の遮り”を防止できる。
（局所的なガス流れの形成）
　本発明では、チャンバー内にてガスを局所的に流すことによって“局所的なガス流れ”を形成する。つまり、光造形が行われるチャンバー空間の一部の領域にガス流れを形成する。“局所的なガス流れ”のサイズについていうと、「ガス流れの断面寸法Ｄ」（図８（ｂ）参照）が好ましくは１～１００ｍｍ程度、より好ましくは１０～５０ｍｍ程度となっている。あるいは、後述する「供給ノズル６０または吸引ノズル７０の開口端サイズＤａ」（図９（ａ）または図１０（ａ）参照）もしくは「プロペラ直径Ｄｂ」（図１２）参照）が好ましくは１～１００ｍｍ程度、より好ましくは１０～５０ｍｍ程度となっている。特定の理論に拘束されるわけではないが、局所的なガス流れが形成されて、その領域の動圧が高くなると、それに応じて該領域の静圧が低くなる。その結果、静圧が低くなった領域において、周囲のガスが引き込まれることになり、発生したヒュームが局所的なガス流れに同伴されるものと考えられる。
　かかる“局所的なガス流れ”の形成は、例えば、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、チャンバー５０の外部から内部へとガス供給を行うことによって達成できる。例えば、図示するように、チャンバーの壁面に取り付けた供給ノズル６０を用い、その供給ノズル６０から圧縮したガスを供給してよい。かかる場合、供給ノズル６０は、その下流側にてチャンバー壁面５０ａを介してチャンバー内部空間と流体連通状態となっていると共に、上流側では供給管６１に連結されている。供給管６１には供給ポンプ（図９には図示せず）が設けられている。従って、供給ノズル６０に間接的に取り付けられている供給ポンプを駆動することによって、チャンバー内部空間にガスを局所的に流すことができる。供給ノズル６０から供給されるガス流量（０℃、１ａｔｍの標準状態を基準にしたガス流量）は、好ましくは５～８０Ｌ／ｍｉｎ程度、より好ましくは１０～６０Ｌ／ｍｉｎ程度、更に好ましくは１５～４０Ｌ／ｍｉｎ程度である。
　また、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、チャンバー壁部５０ａを介してチャンバー内の雰囲気ガスを外部から吸引することによっても、“局所的なガス流れ”を形成することができる。例えば、図示するように、チャンバーの壁面５０ａに取り付けた吸引ノズル７０からガスを吸引してもよい。かかる場合、吸引ノズル７０は、その上流側にてチャンバー壁面５０ａを介してチャンバー内部空間と流体連通状態となっていると共に、下流側では吸引管７１に連結されている。吸引管７１には吸引ポンプ（図１０には図示せず）が設けられている。従って、吸引ノズル７０に間接的に取り付けられている吸引ポンプを駆動することによって、チャンバー内部空間に局所的なガス流れを形成できる。吸引ノズル７０から吸引されるガス流量（０℃、１ａｔｍの標準状態を基準にしたガス流量）は、好ましくは５～８０Ｌ／ｍｉｎ程度、より好ましくは１０～６０Ｌ／ｍｉｎ程度、更に好ましくは１５～４０Ｌ／ｍｉｎ程度である。
　本発明では、“ガス供給”と“ガス吸引”とを組み合わせてもよい。つまり、図１１に示すように、「供給ノズル６０を介したガス供給」と「吸引ノズル７０を介したガス吸引」とを並列的に行うことによって、局所的なガス流れを連続的に形成しつつ、そのガス流れにトラップさせたヒュームを連続的にチャンバー外へと排出する。図示するように、供給ノズル６０と吸引ノズル７０とを相互に配管８０で連結し、その配管８０に対してフィルター８５を配することが好ましい（例えば、電気集塵作用を有するフィルターを配管８０に配してよい）。この場合、吸引されたガス（特に「ヒューム」を含んだガス）をフィルター８５で集塵処理することができ、その処理されたガスを新たなガス供給に再度使用することができる。
　本発明では、図１２に示すように、チャンバー５０の内部に設けたファン９０を駆動することによっても局所的なガス流れを形成することができる。例えば、図示するように、プロペラを回転させることによって局所的なガス流れを形成できる。かかるファン駆動の態様では、チャンバー系内の雰囲気ガスが局所的に移動する態様となっており、実質的に閉鎖系で操作され得る（これに対して、図９および図１０の態様では、局所的なガス流れの形成に“チャンバー系外から系内へのガス移動”または“チャンバー系内から系外へのガス移動”を伴う）。図１２に示す態様においてプロペラの回転数は、ヒュームがガス流れに同伴されるのであれば特に制限はなく、例えば５０～３００ｒｐｍ程度であってよい。
（チャンバー内における局所的なガス流れの態様）
　チャンバー内における局所的なガス流れの態様としては、チャンバーの光透過窓の“曇り”を防止できるのであれば特に制限はなく、また、“ヒュームによる光ビーム経路の遮り”を防止できるのであれば、特に制限はない。
　典型的には、チャンバーの光透過窓から離れた位置に“局所的なガス流れ”を形成することが好ましい。例えば図１３（ａ）に示すように、光透過窓５２の下方領域を除くチャンバー内部空間に“局所的なガス流れ”を形成することが好ましい。つまり、“局所的なガス流れ”の水平方向位置が光透過窓５２の設置位置からずれるようにする。これを図１３（ａ）を用いて詳述すると、光透過窓のエッジ部（ａ点）と局所的なガス流れの側面部（ｂ点）との間の水平方向距離Ｌa-bが少なくとも１ｍｍ程度となるように局所的なガス流れを形成する（水平方向距離Ｌa-bの上限値は、チャンバー・サイズなどによって変わり得るものの、例えば１００ｍｍ程度である）。このように光透過窓の設置位置から外すと、“光透過窓の曇り”を効果的に防止することができる。
　また、光ビーム経路から離れた位置に“局所的なガス流れ”を形成することも好ましい。例えば図１３（ｂ）に示すように、チャンバー内に入射する光ビーム経路から水平方向にずれた位置に“局所的なガス流れ”を形成することが好ましい。図１３（ｂ）を用いて詳述すると、光ビームのエッジ部（ｃ点）と局所的なガス流れの側面部（ｄ点）との間の水平方向距離Ｌｃ-ｄが少なくとも１ｍｍ程度となるように局所的なガス流れを形成する（水平方向距離Ｌｃ-ｄの上限値は、チャンバー・サイズなどによって変わり得るものの、例えば１００ｍｍ程度である）。このように光ビーム経路から外すと、“ヒュームによる光ビーム経路の遮り”を効果的に防止することができる。
　“局所的なガス流れ”の形成位置を光透過窓または光ビーム経路から“ずらす”態様として、例えば、チャンバーの内壁に沿うように局所的なガス流れを形成してよい。つまり、図１４および図１５に示すように、チャンバーの内壁に沿ってガスが周回するように、局所的なガス流れをチャンバーの内壁近傍に形成することが好ましい。これにより、チャンバーの内壁近傍の“局所的なガス流れ”にヒュームをトラップし続けることができる。換言すれば、発生したヒュームをチャンバー内部空間の周縁領域に一定期間保持できるので、安定した光造形プロセスが実現され得る。図１４および図１５に示す態様では“局所的なガス流れ”はチャンバー内壁に沿った旋回流となり、かかる旋回流が光透過窓および光ビーム経路から外れた領域に位置する。従って、光透過窓および光ビーム経路から外れるようにヒュームが旋回流に同伴されることになるので、光透過窓の曇りや光ビームの減衰を効果的に防止できる。
　図１４および図１５に示す態様では、一定方向に旋回・周回するガス流れが形成されるように、複数のガスノズル（６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ）をチャンバーの内壁近傍に配してよく（図１４（ａ）参照）、あるいは、複数のファン（９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄ）をチャンバーの内壁近傍に配してもよい（図１４（ｂ）参照）。ガスノズル（６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ）またはファン（９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄ）は、図示するようにチャンバーの各側面の近傍に１個ずつ配されていることが好ましい。これにより、チャンバーの側壁面に沿って局所的な旋回流を効果的に形成できる。尚、チャンバー内壁に沿って局所的なガス流れを形成する場合、図１４（ａ）および（ｂ）ならびに図１５（ａ）に示すように、ガスの循環経路にフィルター８５を設けてもよい。これにより、ヒュームを含んだガスがフィルター８５で集塵処理され、比較的長くガスを循環させ続けることができる。
　別の態様として、“局所的なガス流れ”によって粉末層の粉末が巻き上げられることのないように、粉末層から少なくとも１０ｍｍ以上離した位置に“局所的なガス流れ”を形成することが好ましい。“粉末層の巻上げ”を効果的に防止できると、所望の固化層形成が容易となる。かかる態様は、例えば図９（ａ）および（ｂ）に示す距離Ｈが好ましくは１０ｍｍ以上であることを意味している。換言すれば、粉末層および／または固化層の表面Ｈａ」から「ガス流れの下端部Ｈｂ」までの距離につき下限値が１０ｍｍであること（図９（ｂ）参照）、即ち、“局所的なガス流れ”の垂直方向高さの下限値が１０ｍｍであることを実質的に意味している。“局所的なガス流れ”の垂直方向高さの下限値が１０ｍｍであれば、その上限値については特に制限はない。例えば、“局所的なガス流れ”がチャンバーの上側内壁（図９（ｂ）の参照番号“５０ｂ”参照）の直近を流れるような態様であってもよい。
　別の態様として、本発明の製造方法では、局所的なガス流れを平面状に形成してよい。つまり、図１６（ａ）に示すように、ガス流れのカーテン１０１が形成されるように平面状または並列的にガスを流してよい。これにより、いずれのポイントから発生したヒュームであっても、それをガス流れに同様に同伴させることができる。その結果、ヒューム発生ポイントの違いによる影響を比較的小さくすることができる。なお、光ビーム経路の妨げにならないように、実際には、光透過窓の下方領域を除くチャンバー内部空間にカーテン１０１を形成することが好ましい（図１６（ｂ）参照）。局所的なガス流れによるカーテン１０１の形成は、例えば、図９（ａ）に示すガス供給ノズル６０を「スリット状開口部を備えたガス供給ノズル」に変更することによって達成することができる。あるいは、「図９（ａ）に示すガス供給ノズル６０」を水平方向に複数個配して並列的なガス供給を行うことによっても達成できる。
（ガスの種類）
　“局所的なガス流れ”に使用されるガスの種類については、特に制限はなく、種々のガスを用いることができる。例えば、チャンバー内に仕込まれる雰囲気ガスと同じ種類のガスを用いてよい。例示すると、コスト的な観点からは“空気”を使用することが好ましい。一方、粉末層および造形物の酸化防止の観点からは窒素ガスなどの不活性ガスを用いることが好ましい。
（局所的なガス流れの種々の態様）
　上述の態様は本発明の適用範囲のうちの典型例を例示したに過ぎない。本発明では、それらに限定されず、種々の変更態様が可能である。
　例えば、チャンバー内にてヒュームが必要以上に蓄積されることを防止すべく、局所的なガス流れに同伴させたヒュームをチャンバー内から適宜排出してもよい。例えば、図１４（ａ）および（ｂ）に示すように、チャンバーの内壁面に沿って循環するガス流れを形成する場合、ある程度の量のヒュームがガス流れに蓄積された時点で排出口５５からヒュームを排出してもよい。かかるヒュームの排出は、強制的な吸引を介して行ってもよく、あるいは、閉鎖状態にあった排出口を単に開くことによって行ってもよい。この点、図１４（ａ）に示すガス供給ノズルを密閉チャンバー内で用いる場合では、ガス供給に伴ってチャンバー内圧が徐々に増加し得ることになるので、“閉”の排出口を単に“開”にすることによってヒューム排出を行うことができる。
　本発明では、より効率的にヒュームをトラップすべく、光ビームの照射時においてのみ“局所的なガス流れ”を発生させてよい。つまり、光ビームの照射時のみガス供給（図９参照）、ガス吸引（図１０参照）またはファン駆動（図１２参照）を行ってよい。これにより、ヒュームが発生する時に“局所的なガス流れ”を同期的に形成することができ、ランニング・コスト（≒操作コスト）が低減され得る。かかる態様では、光ビーム発振器へと出力される“照射時間のデータ”をガス供給ポンプ（図９の場合）、ガス吸引ポンプ（図１０の場合）またはファン駆動部（図１２の場合）にも同様に出力することによって、ヒューム発生と同期的なガス流れを形成できる。
［本発明の製造装置］
　次に、本発明の製造方法の実施に好適な装置について説明する（粉末として金属粉末を用い、固化層が焼結層となる態様を例にとって説明する）。かかる装置は、図１、図２、図４および図５に示すように、
　金属粉末層を形成するための粉末層形成手段２、
　焼結層が形成されるように金属粉末層に光ビームを照射するための光ビーム照射手段３、
　金属粉末層および／または焼結層が形成されることになる造形テーブル２０、ならびに
　金属粉末層形成手段および造形テーブルを内部に具備するチャンバー５０
を有して成り、
　局所的なガス流れをチャンバー５０内に形成するためのガス流れ形成手段を更に有して成る。
　かかる装置の動作も含めて、「粉末層形成手段２」、「造形テーブル２０」、「光ビーム照射手段３」および「チャンバー５０」等については、上述の［粉末焼結積層法］で説明しているので、重複を避けるために説明を省略する。尚、ガス流れ形成手段としては、図９に示すような供給ノズル６０（および供給ポンプ）、図１０に示すような吸引ノズル７０（および吸引ポンプ）、図１２に示すようなファン９０（および駆動装置）などであってよい。ガス流れ形成手段の個数は、１つに限定されず、必要に応じて複数個で用いてもよい。
　上述のような本発明は、次の態様を包含していることを確認的に述べておく：
　第１の態様：（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して前記所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
　（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
をチャンバー内において繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
　前記チャンバー内において局所的なガス流れを形成し、前記光ビームの照射によって発生するヒュームの少なくとも一部を前記局所的なガス流れに同伴させることを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
　第２の態様：上記第１の態様において、前記チャンバーの光透過窓から離れた位置に前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第３の態様：上記第１または第２の態様において、前記チャンバー内に入射した光ビーム経路に対して離れた位置に前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第４の態様：上記第１～第３の態様のいずれかにおいて、前記チャンバーの外部から内部へとガスを供給することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第５の態様：上記第１～第３の態様のいずれかにおいて、前記チャンバーの内部に設けたファンを駆動することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第６の態様：上記第１～第３の態様のいずれかにおいて、前記チャンバーの壁部を介して前記チャンバー内の雰囲気ガスを外部から吸引することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第７の態様：上記第１～第６の態様のいずれかにおいて、前記局所的なガス流れに同伴させたヒュームを前記チャンバーから排出することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第８の態様：上記第１～第７の態様のいずれかにおいて、前記局所的なガス流れを前記粉末層から少なくとも１０ｍｍ以上離して形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第９の態様：上記第１～第８の態様のいずれかにおいて、前記局所的なガス流れを前記チャンバーの内壁に沿うように周回させることを特徴とする三次元造形物の製造方法。
　第１０の態様：上記第１～第８の態様のいずれかにおいて、前記局所的なガス流れを平面状に形成することを特徴とする三次元造形物の製造方法。
　第１１の態様：上記第１～第１０の態様のいずれかにおいて、前記光ビームの照射時においてのみ前記局所的なガス流れを発生させることを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第１２の態様：上記第１～第１１の態様のいずれかにおいて、不活性ガスを用いて前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
　第１３の態様：粉末層を形成するための粉末層形成手段、
　固化層が形成されるように粉末層に光ビームを照射するための光ビーム照射手段、
　粉末層および／または固化層が形成されることになる造形テーブル、ならびに
　粉末層形成手段および造形テーブルを内部に具備するチャンバー
を有して成り、
　局所的なガス流れをチャンバー内に形成するためのガス流れ形成手段を更に有して成ることを特徴とする、三次元形状造形物の製造装置。
（従来技術について）
　最後に、本発明の技術的思想と本質的に異なるものであるが、特表平９－５１１６９３について付言しておく。特表平９－５１１６９３には「レーザー焼結を用いて物体を層状に製造するための装置」が開示されている。開示されている装置では、ビームを収束させるレンズに対して窒素を流している。特にレンズ表面全体に流れるように工夫を施しており、『局所的なガス流れに同伴させる』といった本発明の思想については開示も示唆もされていない点に留意されたい。
　本発明の三次元形状造形物の製造装置および製造方法では、種々の物品を製造することができる。例えば、『粉末層が無機質の金属粉末層であって、固化層が焼結層となる場合』では、得られる三次元形状造形物をプラスチック射出成形用金型、プレス金型、ダイカスト金型、鋳造金型、鍛造金型などの金型として用いることができる。また、『粉末層が有機質の樹脂粉末層であって、固化層が硬化層となる場合』では、得られる三次元形状造形物を樹脂成形品して用いることができる。
関連出願の相互参照
　本出願は、日本国特許出願第２００９－２４２６８５号（出願日：２００９年１０月２１日、発明の名称：「三次元形状造形物の製造方法およびその製造装置」）に基づくパリ条約上の優先権を主張する。当該出願に開示された内容は全て、この引用により、本明細書に含まれるものとする。
１　　光造形複合加工機
２　　粉末層形成手段
３　　光ビーム照射手段
４　　切削手段
８　　ヒューム
１９　粉末／粉末層（例えば金属粉末/金属粉末層または樹脂粉末／樹脂粉末層）
２０　造形テーブル
２１　造形プレート
２２　粉末層（例えば金属粉末層または樹脂粉末層）
２３　スキージング用ブレード
２４　固化層（例えば焼結層または樹脂層）またはそれから得られる造形物
２５　粉末テーブル
２６　粉末材料タンクの壁部分
２７　造形タンクの壁部分
２８　粉末材料タンク
２９　造形タンク
３０　光ビーム発振器
３１　ガルバノミラー
４０　ミーリングヘッド
４１　ＸＹ駆動機構
５０　チャンバー
５０ａ　チャンバー壁面
５０ｂ　チャンバーの上側内壁
５２　光透過窓またはレンズ
５５　排出口
６０　供給ノズル
６０ａ,６０ｂ,６０ｃ,６０ｄ　供給ノズル
６１　供給管
６２　供給ポンプ
７０　吸引ノズル
７１　吸引管
７２　吸引ポンプ
８０　配管
８５　フィルター
９０　ファン
９０ａ,９０ｂ,９０ｃ,９０ｄ　ファン
１００　局所的なガス流れ
Ｌ　光ビーム

Claims (13)

  1. 　（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して前記所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
    　（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
    をチャンバー内において繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
    　前記チャンバー内において局所的なガス流れを形成し、前記光ビームの照射によって発生するヒュームの少なくとも一部を前記局所的なガス流れに同伴させることを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
  2. 　前記チャンバーの光透過窓から離れた位置に前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  3. 　前記チャンバー内に入射した光ビーム経路に対して離れた位置に前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  4. 　前記チャンバーの外部から内部へとガスを供給することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  5. 　前記チャンバーの内部に設けたファンを駆動することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  6. 　前記チャンバーの壁部を介して前記チャンバー内の雰囲気ガスを外部から吸引することによって、前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  7. 　前記局所的なガス流れに同伴させたヒュームを前記チャンバーから排出することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  8. 　前記局所的なガス流れを前記粉末層から少なくとも１０ｍｍ以上離して形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  9. 　前記局所的なガス流れを前記チャンバーの内壁に沿うように周回させることを特徴とする、請求項１に記載の三次元造形物の製造方法。
  10. 　前記局所的なガス流れを平面状に形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元造形物の製造方法。
  11. 　前記光ビームの照射時においてのみ前記局所的なガス流れを発生させることを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  12. 　不活性ガスを用いて前記局所的なガス流れを形成することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
  13. 　粉末層を形成するための粉末層形成手段、
    　固化層が形成されるように粉末層に光ビームを照射するための光ビーム照射手段、
    　粉末層および／または固化層が形成されることになる造形テーブル、ならびに
    　粉末層形成手段および造形テーブルを内部に具備するチャンバー
    を有して成り、
    　局所的なガス流れをチャンバー内に形成するためのガス流れ形成手段を更に有して成ることを特徴とする、三次元形状造形物の製造装置。
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