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WO2010110417A1 - アクチュエータ装置及び入力装置 - Google Patents

アクチュエータ装置及び入力装置 Download PDF

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WO2010110417A1
WO2010110417A1 PCT/JP2010/055350 JP2010055350W WO2010110417A1 WO 2010110417 A1 WO2010110417 A1 WO 2010110417A1 JP 2010055350 W JP2010055350 W JP 2010055350W WO 2010110417 A1 WO2010110417 A1 WO 2010110417A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
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actuator
free end
fulcrum
base member
protrusion
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2010/055350
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
高橋 功
三森 健一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to CN201080009674.8A priority Critical patent/CN102334275B/zh
Priority to JP2011506141A priority patent/JP5097853B2/ja
Publication of WO2010110417A1 publication Critical patent/WO2010110417A1/ja
Priority to US13/230,450 priority patent/US20120001520A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0067Mechanical properties
    • B81B3/0072For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0118Cantilevers

Definitions

  • the present invention relates to an actuator device and an input device including an actuator that has one end as a fixed end and the other end as a free end and can be bent when a voltage is applied.
  • 14 (a) and 14 (b) are conceptual diagrams (cross-sectional views) of the input device for explaining the conventional problems.
  • 14A includes an actuator 2, a base member 3, a support portion 4, a key top 5, a housing 6, and the like.
  • each actuator 2 is supported by the support portion 4 in a cantilever manner.
  • the actuator 2 includes an electrolyte layer and a pair of electrode layers provided on both sides in the thickness direction of the electrolyte layer. When a voltage is applied between the pair of electrode layers on the fixed end side, it is configured to bend upward as shown in FIG. 14A (see also Patent Document 1).
  • a curved actuator is difficult to achieve both displacement and generated load.
  • the actuator 2 has a low elasticity and low rigidity compared to a piezoelectric ceramic, a shape memory alloy, and the like, and easily obtains a large displacement. There was a problem that it was difficult to exert power. Further, if the actuator 2 has a higher elastic modulus and the element thickness is increased, the generated load can be increased, but the amount of displacement is reduced accordingly.
  • an object of the present invention is to provide an actuator device and an input device that can obtain both sufficient displacement and a large generated load.
  • the present invention includes an actuator having one end as a fixed end and the other end as a free end, and is bendable when a voltage is applied;
  • An actuator device comprising a base member having a fixing portion for fixing a fixed end of the actuator;
  • a fulcrum portion serving as a fulcrum of displacement between the fixed end and the free end of the actuator when a force is applied to the free end in a direction opposite to the bending direction with the actuator being bent. Is formed.
  • the element length of the actuator when the actuator is curved, the element length of the actuator can be formed sufficiently long, and the displacement can be sufficiently obtained.
  • a fulcrum portion serving as a fulcrum of displacement is formed between the fixed end and the free end of the actuator, and the element length from the fulcrum portion to the free end is formed.
  • the generated load can be increased by the material mechanical principle.
  • both a sufficient displacement and a large generated load can be obtained.
  • a projecting portion that forms the fulcrum portion by contacting the base member can be provided between the fixed end and the free end of the actuator.
  • the protrusion is formed integrally with an electrode layer constituting the polymer actuator. As a result, the manufacturing cost can be reduced, and the reliability can be increased because of being integrated.
  • the base member may be provided with a support portion that forms the fulcrum portion by making point contact or line contact with the actuator at a portion between the fixed end and the free end of the actuator. You can also. If the fulcrum portion is provided on the base member side and not provided on the actuator side, an actuator device capable of obtaining a large generated load without changing the performance such as the displacement amount of the actuator can be obtained.
  • the actuator is a polymer actuator that has an electrolyte layer and a pair of electrodes provided on both surfaces in the thickness direction of the electrolyte layer, and bends when a voltage is applied between the pair of electrodes. It is preferably applicable to the configuration.
  • the elastic modulus or rigidity of the fulcrum portion is higher than that of the polymer actuator. A large and stable generated load can be obtained more effectively.
  • the fulcrum portion is provided near the free end of the actuator. Thereby, generated load can be made larger.
  • the base member is driven by being energized in contact with the electrode layer of the polymer actuator when the free end side of the curved polymer actuator is pressed and displaced in a direction opposite to the bending direction. It is preferable that an electrode portion capable of applying a voltage is provided. Moreover, it is preferable that the said electrode part serves as the said fulcrum part.
  • An input device includes the actuator device according to any one of the above and an operation unit provided to face the actuator in a height direction.
  • the operation unit is supported to be movable in the height direction, When the free end of the actuator is bent in the direction of the operating portion, the actuator is fixed when the operating portion is moved in the direction of the actuator and the free end side is pressed and displaced in the direction opposite to the bending direction.
  • a fulcrum portion serving as a fulcrum of displacement is formed between the end and the free end.
  • the fulcrum portion serving as a fulcrum of displacement is formed between the fixed end and the free end of the actuator, the generated load can be increased according to the material mechanical principle.
  • the feeling of pressing when the operation unit is pressed can be made better than before.
  • both a sufficient displacement and a large generated load can be obtained.
  • FIG. 1A and 1B are diagrams showing a configuration of an actuator device according to a first embodiment.
  • FIG. 1A is a partial cross-sectional view when the polymer actuator is not operating
  • FIG. 4C is a partial cross-sectional view illustrating a state where the free end side of the actuator is pressed and the actuator and the protrusion are in contact with each other.
  • the actuator 10 in the present embodiment includes, for example, a polymer actuator that includes an electrolyte layer 11 and electrode layers 12 and 13 formed on both side surfaces in the thickness direction of the electrolyte layer 11. It is.
  • the actuator 10 of the present embodiment includes an electrolyte layer 11 having an ionic liquid and a base polymer, and a first electrode layer 12 and a second electrode layer 13 having a conductive filler such as a carbon nanotube, an ionic liquid and a base polymer. Configured.
  • the first electrode layer 12 is an electrode layer on the side facing the base member 17.
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • PMMA polymethyl methacrylate
  • the electrolyte layer 11 may include an ion exchange resin and a polar organic solvent containing a salt or a liquid organic compound that is an ionic liquid.
  • the ion exchange resin is preferably a cation exchange resin.
  • the anion is fixed and the cation can move freely.
  • the cation exchange resin a resin obtained by introducing a functional group such as a sulfonic acid group or a carboxyl group into a resin such as polyethylene, polystyrene, or fluororesin can be preferably used.
  • the electrode layers 12 and 13 may be formed by plating or sputtering with an electrode material such as gold or platinum.
  • one end (fixed end) 14 of the actuator 10 is fixedly supported by the fixed portion 15.
  • the actuator 10 is supported in a cantilever manner, and the free end 16 side is supported so as to be able to bend upward.
  • a base member 17 is provided on the side opposite to the bending direction of the actuator 10.
  • the base member 17 and the fixing part 15 may be formed separately or integrally.
  • a protrusion (fulcrum) 60 is provided on the surface of the base member 17.
  • the first electrode layer 12 side is a negative electrode
  • the second electrode layer 13 side is a positive electrode.
  • the volume tends to expand at a position biased toward the first electrode layer 12 side. That is, since an expansion stress is generated on the first electrode layer 12 side and an expansion strain is generated based on the expansion stress, a bending stress is generated in the actuator 10 so that the actuator 10 moves upward as shown in FIG. Curving towards.
  • the actuator 10 When displaced by a predetermined amount, the actuator 10 comes into contact with the protrusion 60 as shown in FIG. As shown in FIG. 1C, the protrusion 60 is provided at a position facing the midway portion 21 between the fixed end 14 and the free end 16 of the actuator 10.
  • the protrusion 60 forms a fulcrum part that contacts the actuator 10 and serves as a fulcrum.
  • the element length of the actuator 10 from the protrusion 60 to the free end 16 is shorter than the element length from the fixed end 14 to the free end 16, and from the state of FIG. Further, a reaction force (hereinafter referred to as generated load) when a force in the direction of the base member 17 is applied to the free end 16 side of the actuator 10 can be increased.
  • generated load a reaction force
  • the element length of the actuator 10 can be made sufficiently long without increasing the elastic modulus and increasing the element thickness in order to increase the generated load. In the curved state in FIG. The sufficient displacement can be obtained. Therefore, according to the present embodiment, both a sufficient displacement and a large generated load can be obtained.
  • the second embodiment shown in FIG. 3 is an example in which a protrusion 61 is provided on the actuator 10 side, unlike FIG.
  • the protrusion 61 is provided in the middle of the lower surface of the actuator 10 (the surface facing the base member 17).
  • the generated load can be increased similarly to FIG.
  • the protrusion 61 may be bonded to the lower surface side of the actuator 10 with an adhesive or the like.
  • the protrusion 61 is formed integrally with the first electrode layer 12 as shown in FIG. Therefore, the protrusion 61 is formed with conductivity.
  • the first electrode layer 12 and the protruding portion 61 can be integrally formed with a mold.
  • the protrusion 61 protruding integrally from the first electrode layer 12 can be formed by reducing the pressure applied to the formation region of the protrusion 61.
  • the protrusion 61 may be formed separately from the same electrode material as that of the first electrode layer 12, and then the protrusion 61 may be integrated with the first electrode layer 12 by adhesion or press bonding, for example.
  • the manufacturing cost can be reduced, and the reliability can be improved, such as being difficult to remove even when the protruding portion 61 receives a force.
  • the elastic modulus or rigidity of the protrusions 60 and 61 shown in FIGS. 1 and 3 is higher than that of the actuator 10.
  • the protrusion 61 is provided on the actuator 10 side
  • casting is separately performed in two steps in order to increase the filling rate (density) of the electrode material and the like at the protrusion 61.
  • an aggregate such as a wire is put in the structure of the protrusion 61.
  • the displacement fulcrum can be strengthened, and a large and stable generated load can be obtained more effectively.
  • the protrusion 60 can be easily formed on the surface of the base member 17 by adhesion or the like. Further, when the protrusion 60 is provided on the base member 17 side and not provided on the actuator 10 side, an actuator device capable of obtaining a large generated load without changing the performance of the displacement amount of the actuator 10 can be obtained. .
  • FIG. 5 shows a partial cross-sectional view of the polymer actuator of the third embodiment.
  • the electrode portion 18 is provided on the surface of the base member 17.
  • the electrode portion 18 is connected to a drive circuit 20 connected between the electrode layers 12 and 13 on the fixed end 14 side of the actuator 10 via a power source.
  • the drive circuit 20 is provided with a diode.
  • the protrusion 61 provided on the actuator 10 is conductive.
  • the material of the electrode layers 12 and 13 is not limited.
  • a carbon film may be used, or an electrode material such as gold or platinum may be formed by plating or sputtering.
  • FIG. 6 shows a potential difference in the conventional structure.
  • the potential difference reduced by the voltage drop can be effectively increased from the middle part 21 of the actuator 10 to the free end 16 side as shown in FIG. Therefore, even if a carbon film is used for the electrode layers 12 and 13, if this embodiment is used, the generated load can be effectively increased.
  • the carbon film includes, for example, carbon nanotubes.
  • the driving voltage is higher than the driving voltage applied between the pair of electrode layers 12 and 13 from the driving circuit 20. If it controls so that it may apply to 21, after a contact energization, a bigger generated load can be obtained.
  • the plurality of protrusions 62 and 63 may be arranged at intervals from the fixed end 14 side of the actuator 10 toward the free end 16. With such a configuration, the generated load can be increased stepwise multiple times as the curved actuator 10 is displaced in the direction of the base member 17.
  • the actuator 10 contacts the projection 62 to form a fulcrum portion where the projection 62 serves as a fulcrum, so that an effect of increasing the generated load can be obtained.
  • a fulcrum portion where the projection 63 serves as a fulcrum is formed in contact with the projection 63 on the free end 16 side than 62, and a larger generated load can be obtained.
  • the protrusions 62 and 63 are all formed on the base member 17 side, or formed on the actuator 10 side, or some protrusions are on the base member 17 side and the remaining protrusions are on the actuator 10 side. It is also possible to form.
  • FIG. 8 is a plan view of the actuator 10 and the protrusion 60.
  • the protrusion 60 is formed to extend long in the width direction of the actuator 10.
  • the projection part 60 is formed in circular shape.
  • the planar shape of the protrusion 60 is not particularly limited, the displacement fulcrum can be provided over the entire width of the actuator 10 if the actuator 10 is formed so as to cross the width direction like the protrusion 60 in FIG. The generated load can be increased more effectively.
  • the protrusion is formed near the free end 16 of the actuator 10. By forming the protrusion on the side close to the free end 16 in this way, the displacement fulcrum can be on the side close to the free end, so that the generated load can be further increased.
  • an elastic body 65 is interposed between the protrusion 60 and the base member 17.
  • the elastic body 65 becomes a cushion when the actuator 10 comes into contact with the protrusion 60, and the actuator 10 can be protected (improvement of durability). It is also possible to change the push feeling in the device.
  • the formation position of the elastic body 65 is not limited. However, in the embodiment in which contact energization is performed between the electrode portion 18 and the protrusion 61 as in the embodiment of FIG. 5, it is necessary to form the elastic body 65 so as not to inhibit the contact energization. It is.
  • the shape of the actuator 10 is not particularly limited as long as it has a fixed end and a free end and can be bent and deformed. It may be a strip shape or a shape provided with a slit.
  • the position for supporting the actuator 10 is not limited.
  • the fixing portion 53 may be provided at an intermediate position of the actuator 10, and both sides thereof may be free ends 54 and 56 (butterfly structure).
  • the fulcrum portions are all described as protruding shapes, but the fulcrum portions are not limited to the protruding shapes.
  • base members 70 and 70 that face each other with a gap in the width direction, a fixing portion 71 that connects the base members 70 and 70 and fixes the actuator 10, and base members 70 and 70.
  • the formation position of the protrusion 60 is lower than the fixed end 14 of the actuator 10 when the actuator 10 is not operating (a position away from the bending direction of the actuator 10). May be located.
  • the free end 16 bends upward, and when the free end 16 is pressed downward, the actuator 10 contacts the protrusion 60 at a position below the fixed end 14 as shown in FIG. To do.
  • FIG. 12C shows a state further pressed from FIG. The amount of variation of the actuator 10 can be increased by the form of FIG.
  • the electrode layer of the actuator 10 and the electrode portion 18 formed on the base member 17 may be in contact or non-contact.
  • the continuity between the protruding portion 61 and the electrode portion 18 may be a structure in which crushing stress is performed.
  • the actuator device of this embodiment can be applied to the input device 50 as shown in FIG.
  • a plurality of actuators 10 are provided using the actuator device shown in FIG. 1, and a protrusion (fulcrum) 60 is provided on the base member 17.
  • a key top (operation unit) 51 is provided on the bending direction side (upper side) of the actuator 10.
  • the actuator device is housed in a housing 52, and the key top 51 is supported so as to be movable in the vertical direction through a hole 52a formed in the housing 52.
  • each actuator 10 is pressed and displaced downward as shown in FIG.
  • each actuator 10 is in contact with the protrusion 60.
  • the projection 60 serves as a fulcrum of displacement, a large generated load can be obtained from each actuator 10 by the material mechanical principle, and the pressing feeling when the key top 51 is pressed is better than before. I can do it.
  • the experiment of the generated load was performed using an example of an actuator device having a protrusion on the base member and a comparative example of an actuator device having no protrusion.
  • the polymer actuator used in the experiment was applied to both the cantilever type shown in FIG. 1 and the butterfly structure.
  • the total length of the actuator 10 was 5 mm, and in the example, the protrusion 60 was formed at a position of 3 mm from the fixed end 14 toward the free end 16.
  • the total length of the actuator 10 is 10 mm, and in the case of the example, the protrusions 66 are formed at positions of 4 mm on both sides from the support portion 53 located in the center.
  • the applied voltage between the electrode layers was set to 2 V or 2.5 V, the curve was bent away from the base member, and the maximum generated load obtained by pressing the free end side of the actuator 10 toward the base member was obtained.
  • Table 1 The experimental results are shown in Table 1 below.

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Abstract

【課題】特に、変位量を損なわずに大きな発生荷重を得ることが出来るアクチュエータ装置及び入力装置を提供することを目的としている。 【解決手段】 一端を固定端14、他端を自由端16とされ、電圧を印加すると湾曲可能であるアクチュエータ10と、前記アクチュエータ10の固定端14を固定する固定部15を有するベース部材17とを備える。ベース部材17には突起部60が設けられる。前記アクチュエータ10を湾曲させた状態で前記自由端16に対して湾曲方向と逆の方向へ力が加わって変形されると、前記アクチュエータ10が突起部60に接触する。突起部60は変位と支点となり、変位量を損ねることなく材料力学的原理により、発生荷重を大きくできる。

Description

アクチュエータ装置及び入力装置
 本発明は、一端を固定端、他端を自由端とされ、電圧を印加すると湾曲可能であるアクチュエータを備えたアクチュエータ装置及び入力装置に関する。
 図14(a)(b)は従来の問題点を説明するための入力装置の概念図(断面図)である。
 図14(a)に示す入力装置1は、アクチュエータ2、ベース部材3、支持部4、キートップ5、及び、筐体6等を有して構成される。
 図14(a)に示すように、各アクチュエータ2は、支持部4に片持ちで支持されている。アクチュエータ2は、電解質層と、前記電解質層の厚さ方向の両側に設けられた一対の電極層とを有して構成されている。そして、固定端側の前記一対の電極層間に電圧を付与すると、図14(a)に示すように上方に向けて湾曲するように構成されている(特許文献1も参照)。
 一般的に湾曲型のアクチュエータは、変位と発生荷重を両立させることが難しく、アクチュエータ2は、圧電セラミックや形状記憶合金等に比べて低弾性率で低剛性であり大きな変位を得やすい半面、大きな力を発揮しづらい問題があった。また、アクチュエータ2を高弾性率化し、また素子厚を厚くすれば、発生荷重を大きくできるが、その分、変位量は小さくなった。
 すなわち、十分な変位量に加えて、図14(a)の状態から図14(b)のように、前記キートップ5を下方向に押圧したときに、良好な押し感を与えるほどの発生荷重(発生力)を得ることが困難であった。
特開2005-259488号公報 特開2008-238330号公報
 上記の特許文献に記載の発明では、良好な押し感を得ることができず、入力装置に用いるには不十分なものであった。
 そこで本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、特に、十分な変位と大きな発生荷重との双方を得ることが出来るアクチュエータ装置及び入力装置を提供することを目的としている。
 本発明は、一端を固定端、他端を自由端とされ、電圧を印加すると湾曲可能であるアクチュエータと、
 前記アクチュエータの固定端を固定する固定部を有するベース部材とを備えたアクチュエータ装置において、
 前記アクチュエータを湾曲させた状態で前記自由端に対して湾曲方向と逆の方向へ力が加わって変形された際に、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成されることを特徴とするものである。
 上記により、アクチュエータが湾曲した状態では、アクチュエータの素子長さを十分に長く形成でき、変位を十分に得ることができる。そして、前記アクチュエータが湾曲方向とは逆方向に変形した際に、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成され、支点部から自由端までの素子長さが、固定端から自由端までの素子長さより短くなるため、材料力学的原理により、発生荷重を大きくすることができる。このように本発明では、十分な変位と大きな発生荷重の双方を得ることが出来る。
 本発明では、前記アクチュエータの前記固定端と前記自由端の間には、前記ベース部材と接触することによって前記支点部を形成する突起部が設けられる構成にできる。
 このとき、前記突起部は、前記高分子アクチュエータを構成する電極層と一体に形成されていることが好ましい。これにより、製造コストを低減でき、また一体化されていることから信頼性を高めることができる。
 また本発明では、前記ベース部材には、前記アクチュエータの前記固定端と前記自由端の間の部分で前記アクチュエータと点接触または線接触することによって前記支点部を形成する支持部が設けられる構成にもできる。支点部をベース部材側に設け、アクチュエータ側に設けない構成にすると、前記アクチュエータの変位量等の性能を変えることなく、大きな発生荷重を得ることが可能なアクチュエータ装置にできる。
 また本発明では、前記アクチュエータが、電解質層と、前記電解質層の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極を有し、前記一対の電極間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータである構成に好ましく適用できる。
 また本発明では、前記支点部の弾性率あるいは剛性が、前記高分子アクチュエータよりも高いことが好ましい。より効果的に、大きく且つ安定した発生荷重を得ることができる。
 また本発明では、前記支点部は、前記アクチュエータの自由端寄りに設けられていることが好ましい。これにより、発生荷重をより大きくすることができる。
 本発明では、前記ベース部材には、湾曲した前記高分子アクチュエータの前記自由端側が押圧されて前記湾曲方向と逆の方向に変位したときに前記高分子アクチュエータの前記電極層と接触通電して駆動電圧を印加可能な電極部が設けられていることが好ましい。また、前記電極部が前記支点部を兼ねることが好ましい。
 また本発明における入力装置は、上記のいずれかに記載のアクチュエータ装置と、前記アクチュエータの高さ方向に対向して設けられた操作部とを有し、
 前記操作部は前記高さ方向に移動可能に支持されており、
 前記アクチュエータの自由端が前記操作部方向に湾曲した状態で、前記操作部を前記アクチュエータ方向へ移動させ前記自由端側が押圧されて前記湾曲方向とは逆方向へ変位した際に、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成されることを特徴とするものである。
 本発明の構成によれば、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成されることで、材料力学的原理により、発生荷重を大きくすることができるため、前記操作部を押圧したときの押し感を、従来に比べて、良好にできる。
 本発明によれば、十分な変位と大きな発生荷重との双方を得ることができる。
第1実施形態のアクチュエータ装置の構成を示す図であり、(a)は、アクチュエータの非動作時における部分断面図、(b)は、アクチュエータが湾曲した状態を示す部分断面図、(c)は、前記アクチュエータの自由端側が押圧されて、前記アクチュエータと突起部とが接触した状態を示す部分断面図、 アクチュエータ(高分子アクチュエータ)の部分拡大断面図、 第2実施形態のアクチュエータ装置の構成を示す図(部分断面図)、 図3の一部を示した高分子アクチュエータの部分拡大断面図、 第3実施形態のアクチュエータ装置の構成を示す図(部分断面図)、 電極層間の電位差を説明するための図、 他の実施形態を示すアクチュエータ装置の部分断面図、 高分子アクチュエータと電極部との部分平面図、 他の実施形態を示すアクチュエータ装置の部分断面図、 他の実施形態を示すアクチュエータ装置の部分断面図、 他の実施形態を示すアクチュエータ装置の斜視図図、 他の実施形態を示すアクチュエータ装置の部分断面図、 本実施形態における入力装置の部分断面図、 従来例における入力装置の部分断面図。
 図1は、第1実施形態のアクチュエータ装置の構成を示す図であり、(a)は、高分子アクチュエータの非動作時における部分断面図、(b)は、アクチュエータが湾曲した状態を示す部分断面図、(c)は、前記アクチュエータの自由端側が押圧されて、前記アクチュエータと突起部とが接触した状態を示す部分断面図、である。
 図2に示すように、本実施形態におけるアクチュエータ10は、例えば、電解質層11と、電解質層11の厚さ方向の両側表面に形成される電極層12、13を備えて構成された高分子アクチュエータである。
 本実施形態のアクチュエータ10は、イオン液体とベースポリマーを有する電解質層11と、カーボンナノチューブ等の導電性フィラー、イオン液体及びベースポリマーとを有する第1電極層12及び第2電極層13とを有して構成される。なお、第1電極層12はベース部材17と対向する側の電極層である。
 ベースポリマーとしては、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)や、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等を提示できる。この具体例では電解質層11内にイオン交換樹脂を含まないので、陽イオン及び陰イオンのどちらも自由に移動可能な状態となっている。
 なお、電解質層11は、イオン交換樹脂と、塩を含有する分極性有機溶媒又はイオン液体である液状有機化合物とが含まれたものであってもよい。このとき、イオン交換樹脂は陽イオン交換樹脂であることが好適である。これにより陰イオンが固定され、陽イオンが自由に移動可能となる。陽イオン交換樹脂としては、ポリエチレン、ポリスチレン、フッ素樹脂等の樹脂に、スルホン酸基、カルボキシル基等の官能基が導入されたものを好ましく使用できる。また電極層12,13は金や白金等の電極材料がメッキやスパッタ等で形成されたものでもよい。
 図1(a)に示すようにアクチュエータ10の一端部(固定端)14が固定部15に固定支持されている。アクチュエータ10は片持ちで支持されており、自由端16側が、上方に湾曲可能に支持されている。図1(b)に示すように、前記アクチュエータ10の湾曲方向とは逆面側にベース部材17が設けられている。ベース部材17と固定部15は別体で形成されてもよいし一体で形成されてもよい。
 図1(a)に示すようにベース部材17の表面には突起部(支点部)60が設けられている。
 図1(a)の非動作状態から、駆動回路20にて、アクチュエータ10の電極層12,13間に電圧を印加すると、第1電極層12側と第2電極層13側で、膨潤差が生じ、曲げ応力が発生して、アクチュエータ10が上方向に湾曲する。本実施形態では、一例として、第1電極層12側を負極、第2電極層13側を正極とした。これにより、電圧印加すると第1電極層12側に陽イオンおよび極性分子が偏移する。このとき陽イオンが陰イオンより大きいと仮定すると、第1電極層12側に偏った位置で体積が膨張しようとする。つまり、第1電極層12側において膨張応力が発生しこれに基づいて膨張歪みが発生するために、アクチュエータ10に曲げ応力が発生して、図1(b)に示すように、アクチュエータ10が上方に向けて湾曲する。
 図1(b)に示すように、アクチュエータ10の自由端16側に、ベース部材17方向への荷重Fが加わると、湾曲状態のアクチュエータ10はベース部材17方向へ変位する。
 所定量変位すると、図1(c)に示すように、アクチュエータ10が突起部60に当接する。図1(c)に示すように突起部60は、アクチュエータ10の固定端14と自由端16間の途中部21と対向する位置に設けられる。
 図1(c)の状態では、突起部60は、アクチュエータ10と接触して支点となる支点部を形成する。このとき、突起部60から自由端16までのアクチュエータ10の素子長さは、固定端14から自由端16までの素子長さより短くなり、材料力学的原理により、図1(c)の状態から、さらにアクチュエータ10の自由端16側にベース部材17方向への力を加えた際の反力(以下、発生荷重という)を大きくすることができる。
 しかも本実施形態では、発生荷重を高くすべく高弾性率化や素子厚を厚くすることなく、アクチュエータ10の素子長さを十分に長くでき、図1(b)での湾曲状態において、アクチュエータ10の変位を十分に得ることができる。したがって本実施形態によれば、十分な変位と大きな発生荷重との双方を得ることができる。
 図3に示す第2実施形態は、図1と異なって、突起部61をアクチュエータ10側に設けた例である。前記突起部61は、アクチュエータ10におけるの下面(ベース部材17との対向面)の途中部に設けられている。図2の構成でも、図1と同様に発生荷重を大きくできる。
 図3に示す突起部61は導電性でも非導電性でもどちらでもよい。非導電性の材料、例えば絶縁材料で形成する場合、突起部61をアクチュエータ10の下面側に接着剤等で接合すればよい。
 ただし、本実施形態では、前記突起部61を、図4に示すように、第1電極層12と一体で形成することが好適である。よって突起部61は導電性で形成される。例えば、第1電極層12と突起部61とを型で一体成形することができる。あるいは第1電極層12をプレスするときに突起部61の形成領域に対する加圧力を減らすことで、第1電極層12から一体に突出する突起部61を形成することもできる。
 あるいは前記突起部61を第1電極層12と同じ電極材料で別個で形成し、続いて、前記突起部61を例えば第1電極層12に接着やプレス接合して一体化してもよい。このように、前記突起部61を第1電極層12と一体化することで、製造コストを低減でき、また突起部61が力を受けても取れにくい等、信頼性を向上できる。
 また、図1や図3に示す突起部60,61の弾性率あるいは剛性をアクチュエータ10よりも高くすることが好ましい。図3のように、突起部61をアクチュエータ10側に設ける場合、型で一体成形するときは、電極材等の充填率(密度)を突起部61の部分で高めるため、2工程で別々にキャスティングしたり、あるいは突起部61の構造内にワイヤ等の骨材を入れた構成にする。これにより変位支点を強固にできるため、より効果的に、大きく且つ安定した発生荷重を得ることが可能になる。
 なお図1のように、突起部60をベース部材17側に設ける形態では、ベース部材17の表面に接着等で簡単に突起部60を形成できる。また、突起部60をベース部材17側に設け、アクチュエータ10側に設けない構成にすると、前記アクチュエータ10の変位量等の性能を変えることなく、大きな発生荷重を得ることが可能なアクチュエータ装置にできる。
 図5は第3実施形態の高分子アクチュエータの部分断面図を示す。図5の実施形態では、ベース部材17の表面に電極部18が設けられている。図5に示すように、前記電極部18は、アクチュエータ10の固定端14側の電極層12,13間に接続される駆動回路20に電源を介して接続されている。なお前記駆動回路20にはダイオードが設けられる。
 また図5の実施形態では、前記アクチュエータ10に設けられた突起部61は導電性である。
 アクチュエータ10の自由端16が上方に湾曲した状態から自由端16側が押圧されてベース部材17方向へ変位すると、図5に示すように、導電性の突起部61と電極部18とが接触通電して、前記アクチュエータ10の途中部21に駆動電圧を印加できる。この結果、突起部61による材料力学的原理のみならず、駆動電圧の印加によって、より効果的に発生荷重を大きくすることができる。
 上記したように、本実施形態では、電極層12,13(図2)の材質を限定するものでない。カーボン膜であってもよいし、あるいは金や白金等の電極材料がメッキやスパッタ等で形成されたものであってもよい。
 ここで、電極層12,13にカーボン膜を用い、電極部18を設けない従来構造の場合、図6に示すように固定端から自由端に向けて電圧降下が非常に大きくなる(図6の実線)。よって従来構造では発生荷重が非常に小さくなる。図6の(1)は従来構造での電位差を示す。
 これに対して、本実施形態を用いれば、電圧降下により小さくなった電位差を、図6の(2)のように、アクチュエータ10の途中部21から自由端16側にかけて効果的に大きくできる。よって電極層12,13にカーボン膜を用いても本実施形態を用いれば、発生荷重を効果的に大きくすることができる。カーボン膜には、例えばカーボンナノチューブが含まれる。
 また、アクチュエータ10の突起部61が電極部18に接触通電したときに、駆動回路20から一対の電極層12,13間に印加される駆動電圧に比べて、高い駆動電圧をアクチュエータ10の途中部21に印加するように制御すれば、接触通電後に、より大きな発生荷重を得ることが出来る。
 なお、図1のように、ベース部材17側に突起部60がある形態では、前記突起部60を上記した電極部として機能させても、図5の実施形態と同様の効果を得ることが出来る。
 図7に示す実施形態のように、複数個の突起部62,63を、アクチュエータ10の固定端14側から自由端16方向に間隔を空けて配置してもよい。このような構成にすることで、湾曲したアクチュエータ10のベース部材17方向への変位に伴って、複数回にわたり段階的に発生荷重を大きくできる。図7の構成では、まずアクチュエータ10が突起部62に接触して突起部62が支点となる支点部を形成し、発生荷重の増大効果を得ることができ、さらにその後、アクチュエータ10が前記突起部62よりも自由端16側にある突起部63に接触して突起部63が支点となる支点部を形成し、より大きな発生荷重を得ることが出来る。
 なお突起部62,63を全てベース部材17側に形成したり、あるいは、アクチュエータ10側に形成したり、又は、いくつかの突起部をベース部材17側に、残りの突起部をアクチュエータ10側に形成することも可能である。
 図8は、アクチュエータ10と突起部60との平面図である。図8(a)では、突起部60は、アクチュエータ10の幅方向に長く延びて形成されている。また図8(b)では、突起部60は円形状で形成されている。特に突起部60の平面形状を限定しないが、図8(a)の突起部60のようにアクチュエータ10を幅方向に横断するように形成したほうがアクチュエータ10の幅全体にわたって変位支点を設けることができ、より効果的に、発生荷重を大きくできる。
 また、突起部は、アクチュエータ10の自由端16寄りに形成されていることが好ましい。このように自由端16に近い側に突起部を形成することで、変位の支点を自由端に近い側にできるため、発生荷重をより大きくすることができる。
 図9では、突起部60とベース部材17間に弾性体65が介在している。前記弾性体65を設けることで、突起部60にアクチュエータ10が当接したときに弾性体65がクッションとなりアクチュエータ10の保護を図ることができ(耐久性の向上)、また、次に説明する入力装置において押し感に変化を与えることも出来る。なお弾性体65の形成位置は限定されないが、特に図5の実施形態のように、電極部18と突起部61間を接触通電させる形態では、前記接触通電を阻害しないように形成することが必要である。
 またアクチュエータ10の形状は、固定端と自由端があり、湾曲変形可能であれば特に限定されない。短冊状やスリットを設けた形状等であってもよい。
 またアクチュエータ10を支持する位置も限定されない。例えば図10のようにアクチュエータ10の中間位置に固定部53が設けられ、その両側が自由端54,56となる形態(バタフライ構造)であってもよい。
 また上記では、支点部を全て突起形状で説明したが、支点部は突起形状に限定されるものでない。
 例えば、図11に示すように、幅方向に間隔を空けて対向するベース部材70,70と、ベース部材70,70間を連結し、アクチュエータ10を固定する固定部71と、ベース部材70,70間を連結し、アクチュエータ10の固定端と自由端間に位置し支点となる支点部を形成する支持部72,72とを有する構成にもできる。図11の構成では、支持部72とアクチュエータ10とが線接触する。
 また図12(a)に示すように、突起部60の形成位置は、アクチュエータ10の非動作時に、アクチュエータ10の固定端14よりも下方(アクチュエータ10の湾曲方向とは逆方向に離れた位置)に位置してもよい。アクチュエータ10を動作させると自由端16が上方に湾曲し、自由端16を下方に押圧すると、図12(b)に示すように、固定端14よりも下方位置でアクチュエータ10が突起部60と接触する。図12(b)から更に押圧した状態が図12(c)である。図12の形態によりアクチュエータ10の変異量をより大きくすることができる。
 また、アクチュエータ10の非動作時、アクチュエータ10の電極層とベース部材17に形成された電極部18とが接触していても非接触でもどちらでもよい。
 また図5の形態において、突起部61と電極部18との導通が、つぶし応力によって行われる構造としてもよい。
 本実施形態のアクチュエータ装置は、図13に示すように入力装置50に適用できる。図13の入力装置50では、図1に示すアクチュエータ装置を利用して、複数本のアクチュエータ10を設け、ベース部材17には突起部(支点部)60を設けている。図13に示すように、アクチュエータ10の湾曲方向側(上方側)にキートップ(操作部)51が設けている。アクチュエータ装置は筐体52内に収納され、前記筐体52に形成された穴52aを介して上下方向に移動可能に前記キートップ51が支持されている。
 図13(a)の部分断面図では、アクチュエータ10を構成する電極層間に電圧が印加されて、各アクチュエータ10が上方に向けて湾曲し、各アクチュエータ10の変位動作によりキートップ51が上方に持上げられている。
 例えば人が前記キートップ51を指で下方向に向けて押圧すると、キートップ51が下方へ移動する。それに伴い、各アクチュエータ10の自由端16が押圧され図13(b)に示すように下方向へ変位する。
 図13(b)の状態では、各アクチュエータ10が突起部60に接触している。これにより、前記突起部60が変位の支点となるため、材料力学的原理により各アクチュエータ10から大きな発生荷重を得ることができ、キートップ51を押圧したときの押し感を、従来に比べて良好に出来る。
 ベース部材に突起部を備えるアクチュエータ装置の実施例、及び、突起部が設けられていないアクチュエータ装置の比較例を用いて、発生荷重(発生力)の実験を行った。なお実験で使用した高分子アクチュエータは、図1に示す片持ち型と、バタフライ構造の双方に対して行った。
 まず図1に示す片持ち型の場合、アクチュエータ10の全長を5mmとし、実施例では、突起部60を固定端14から自由端16に向って3mmの位置に形成した。
 また、図10に示すバタフライ構造の場合、アクチュエータ10の全長を10mmとし、実施例の場合、中央に位置する支持部53から両側に4mmの位置に突起部66を形成した。
 実験では、電極層間の印加電圧を2Vあるいは2.5Vとしてベース部材から離れる方向に湾曲させ、アクチュエータ10の自由端側をベース部材方向に押圧して得られた最大発生荷重を求めた。
 その実験結果が以下の表1に示されている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 突起部を設けた実施例は、突起部を設けていない比較例に比べて発生荷重を大きくできることがわかった。
10 アクチュエータ
11 電解質層
12 第1電極層
13 第2電極層
14 固定端
16、54、56 自由端
17、70 ベース部材
18 電極部
20 駆動回路
21 途中部
50 入力装置
51 キートップ
60、61、62、63 突起部(支点部)
65 弾性体
72 支持部(支点部)

Claims (10)

  1.  一端を固定端、他端を自由端とされ、電圧を印加すると湾曲可能であるアクチュエータと、
     前記アクチュエータの固定端を固定する固定部を有するベース部材とを備えたアクチュエータ装置において、
     前記アクチュエータを湾曲させた状態で前記自由端に対して湾曲方向と逆の方向へ力が加わって変形された際に、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成されることを特徴とするアクチュエータ装置。
  2.  前記アクチュエータの前記固定端と前記自由端の間には、前記ベース部材と接触することによって前記支点部を形成する突起部が設けられる請求項1記載のアクチュエータ装置。
  3.  前記突起部は、前記高分子アクチュエータを構成する電極層と一体に形成されている請求項2記載のアクチュエータ装置。
  4.  前記ベース部材には、前記アクチュエータの前記固定端と前記自由端の間の部分で前記アクチュエータと点接触または線接触することによって前記支点部を形成する支持部が設けられる請求項1記載のアクチュエータ装置。
  5.  前記アクチュエータが、電解質層と、前記電解質層の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極を有し、前記一対の電極間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータである請求項1に記載のアクチュエータ装置。
  6.  前記支点部の弾性率あるいは剛性が、前記アクチュエータよりも高い請求項1に記載のアクチュエータ装置。
  7.  前記支点部は、前記アクチュエータの自由端寄りに形成される請求項1に記載のアクチュエータ装置。
  8.  前記ベース部材には、湾曲した前記高分子アクチュエータの前記自由端側が押圧されて前記湾曲方向と逆の方向に変位したときに前記高分子アクチュエータの前記電極層と接触通電して駆動電圧を印加可能な電極部が設けられている請求項5記載の高分子アクチュエータ装置。
  9.  前記電極部が前記支点部を兼ねる請求項8記載の高分子アクチュエータ装置。
  10.  請求項1ないし9のいずれか1項に記載のアクチュエータ装置と、前記アクチュエータの高さ方向に対向して設けられた操作部とを有し、
     前記操作部は前記高さ方向に移動可能に支持されており、
     前記アクチュエータの自由端が前記操作部方向に湾曲した状態で、前記操作部を前記アクチュエータ方向へ移動させ前記自由端側が押圧されて前記湾曲方向とは逆方向へ変位した際に、前記アクチュエータの固定端と自由端との間で変位の支点となる支点部が形成されることを特徴とする入力装置。
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