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WO2010099998A3 - Procédé pour produire des composants semi-conducteurs à l'aide de techniques de dopage - Google Patents

Procédé pour produire des composants semi-conducteurs à l'aide de techniques de dopage Download PDF

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WO2010099998A3
WO2010099998A3 PCT/EP2010/050765 EP2010050765W WO2010099998A3 WO 2010099998 A3 WO2010099998 A3 WO 2010099998A3 EP 2010050765 W EP2010050765 W EP 2010050765W WO 2010099998 A3 WO2010099998 A3 WO 2010099998A3
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Mathias Weiss
Jan Lossen
Karsten Meyer
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

L'invention concerne un procédé pour produire des composants semi-conducteurs à l'aide de techniques de dopage, une série de couches étant générée pendant le traitement et ces couches devant être positionnées entre elles avec précision. Selon l'invention, la position d'une structure sélectivement dopée, générée dans le substrat semi-conducteur est déterminée, au moyen d'un dispositif de caméra sensible aux infrarouges, la position ainsi détectée étant utilisée de manière directe ou indirecte pour l'alignement lors de l'étape de traitement suivante.
PCT/EP2010/050765 2009-03-04 2010-01-25 Procédé pour produire des composants semi-conducteurs à l'aide de techniques de dopage Ceased WO2010099998A2 (fr)

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