[go: up one dir, main page]

WO2010072526A2 - Vakuumpumpe - Google Patents

Vakuumpumpe Download PDF

Info

Publication number
WO2010072526A2
WO2010072526A2 PCT/EP2009/066252 EP2009066252W WO2010072526A2 WO 2010072526 A2 WO2010072526 A2 WO 2010072526A2 EP 2009066252 W EP2009066252 W EP 2009066252W WO 2010072526 A2 WO2010072526 A2 WO 2010072526A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
channel
vacuum pump
gas
pump according
protective
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2009/066252
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2010072526A3 (de
Inventor
Thomas Dreifert
Peter Birch
Robert Jenkins
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of WO2010072526A2 publication Critical patent/WO2010072526A2/de
Publication of WO2010072526A3 publication Critical patent/WO2010072526A3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/086—Carter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/02—Liquid sealing for high-vacuum pumps or for compressors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump, in particular a screw vacuum pump.
  • Vacuum pumps such as screw vacuum pumps, have a pumping chamber formed by a pump housing.
  • pumping elements In the suction chamber pumping elements are arranged.
  • screw vacuum pumps two helical pumping elements rotating in opposite directions are provided.
  • the Pumpeniemente are supported by shafts, which are mounted in housing elements.
  • the pump housing, which forms the pump chamber, and at least one housing element, which closes the pump chamber and, for example, acts as a gear housing, are connected to one another via a flange connection. Between a first flange, which on the pump housing, and a second flange, which is arranged on the housing element, a seal is provided.
  • a sealing groove is provided in one of the two Flanschfi Stahlen, in which a sealing element, such as an O-ring, is arranged.
  • the object of the invention is to provide a vacuum pump, in particular a screw Vakuumpe, in which a flange-sealing element is reliably protected in a simple manner.
  • the vacuum pump according to the invention has a pump housing which forms a pumping chamber in which pumping elements are arranged.
  • the pump housing is provided with a first flange, via which a housing element, such as housing cover or a transmission housing, is connected to the pump housing.
  • the housing element has for this purpose second flange on.
  • a circumferential sealing groove is arranged in at least one of the two abutting FSan5chfest.
  • a circumferential sealing groove is arranged in this is a density, such as an O-ring, provided.
  • a likewise umiaufender protective channel is arranged in at least one of the two flange surfaces.
  • the protective channel is connected to a gas channel.
  • the gas channel is not connected to the pump chamber.
  • a connecting channel in the housing element if it is a housing element, in which at least one bearing element is arranged.
  • the connecting channel is a connection between the protective channel and the bearing element, so that a possibly very small amount of protective gas flows into the Lagereiement and thus protects the bearing element from damage, for example by an aggressive medium to be conveyed.
  • a transverse connecting channel is provided in the housing element.
  • a cross-connection channel has the advantage that over this Kana! Gas too other areas can be guided via further connection channels. It is particularly preferred in this case to provide at least one further gas channel through which a further connection between the cross-connection channel and the protective channel is produced. As a result, a gieich choirere distribution of the protective gas is ensured in the protective channel.
  • a feed channel can be connected to the cross-connection channel, via which protective gas can be conducted to a bearing element arranged in the housing element.
  • a separate supply channel is provided instead of a connecting channel between the protective channel and the bearing elements in the housing element, is supplied via the inert gas to the at least one bearing element.
  • the feed channel and the protective channel are connected to the same gas source.
  • connection channels are provided for each bearing element. This makes it possible to realize short distances. It is again preferred that all supply channels for supplying protective gas to the protective channel and to the bearing elements are connected to a common gas source.
  • the gas channel connected to the protective channel is connected to a vacuum source.
  • a vacuum source As a result, if necessary, penetrating gas can be discharged into the protective channel.
  • the protective channel which in turn has no connecting channel to the pumping chamber but also no connecting channel to bearing elements in this embodiment, can thus be kept under a defined negative pressure. This also ensures that to be promoted aggressive media does not reach the density element, such as the O-ring, and damage this.
  • the negative pressure in the protective channel can be generated by connecting the protective channel to a vacuum region of the vacuum pump, such as a Einiass Kunststoff.
  • the Einiass Scheme is that area of the vacuum pump, which is arranged in the conveying direction in front of the pumping elements. It is also possible to provide a separate vacuum source, which either has its own drive or is connected to the drive of the vacuum pump.
  • the sealing groove and the at least one protective channel is arranged in the same flange surface.
  • the production is simplified.
  • the protective channel has a constant radial distance to the sealing groove.
  • a further protective channel is provided, which surrounds the sealing groove.
  • the sealing groove is thus between two Schutzkanäien, also the second Schutzkana! is, as described above, preferably connected to a gas source or a vacuum shaft, wherein the above-described provision of connecting channels to bearing elements of the inner and / or outer Schutzkana! can go out.
  • a purge gas which is fed directly to the pump chamber and not through the protective channel through the pump chamber, in particular via a separate purge gas channel, to use air, nitrogen, argon or mixed gases.
  • the purge gas is supplied to the pumping chamber at a pressure in the range of 0.1 to 5 bar.
  • the arranged in the sealing groove seal which is in particular an O-ring, but also a sealing element with rectangular or square cross-section, or a flat sealing element may be provided, preferably has egg elastomeric material, such as Viton on.
  • the sealing element comprises PTFE material or consists of PTFE.
  • the sealing element can be made of metal and / or copper and / or aluminum or have corresponding components.
  • inventive flange gaskets can not only be arranged between a pump housing and a pumping element, which for example supports bearing elements and serves as a gearbox housing.
  • Corresponding flange seals are always advantageous in the case of vacuum pumps, which are used in particular for conveying aggressive or explosive medium, as seals, in particular seals between two housing parts, which are preferably sealed by means of flanges.
  • Fig. 2 is a schematic plan view of a flange of a
  • Fig. 3 is a schematic sectional view of that shown in Fig. 2
  • Embodiment along the line III-III, 4 is a schematic plan view of a further embodiment of a flange of a housing element in the direction of the arrow II in Fig. 1 in a further embodiment,
  • Fig. 5 is a schematic sectional view of that shown in Fig. 4
  • Fig. 6 is a schematic plan view of a further embodiment of a flange of a housing element in the direction of the arrow II in Fig. 1 in a further embodiment, and
  • Fig. 7 is a schematic sectional view of that shown in Fig. 6
  • the screw vacuum pump shown schematically in FIG. 1 has two helical pumping elements 10, which are arranged in a suction chamber 12.
  • the pump chamber 12 is formed substantially by the pump housing 14.
  • the pump housing 14 is closed on the left side in FIG. 1 via a housing element 16 designed as a housing cover.
  • the cover 16 has an inlet opening 18, through which the medium to be conveyed is sucked into the suction chamber 12.
  • the lid 16 is sealingly connected to the pump housing 14 via a flange connection.
  • the two pumping elements 10 are each supported by a shaft 28, 30.
  • the two branches 28, 30 are supported by bearing elements 32, 34 on the one hand in a housing member 36 which serves as a gear housing, and on the other stored in a housing member 38 which is formed as a housing cover.
  • One of the shafts, the shaft 28, is connected to an electric motor 40 for driving.
  • the period 28 is fixedly connected to a gear 42, which meshes with a fixedly connected to the shaft 30 gear 43.
  • the housing of the vacuum pump has four parts, the housing elements 16, 36, 38 and the pump housing 14, on.
  • the individual housing parts are connected to each other via flange 20, 44, 46.
  • a seal arrangement designed according to the invention i. a combination of a sealing element having a sealing groove and a protective channel may be provided.
  • the flange connection 44 constitutes a connection between a first flange 48 of the pump housing 14 and a second flange 50 of the housing element 36.
  • a circumferential, self-contained, essentially oval sealing groove 54 is arranged in a flange surface 52.
  • an unillustrated O-ring for sealing the two opposing flanges 48, 50 is provided.
  • a likewise circumferential protection groove 60 formed in the flange surface 52 is provided within the sealing groove 54.
  • the protection channel 60 With the protection channel 60, two gas channels 62 are connected in the illustrated embodiment.
  • the two gas channels 62 are both with a common Queritatiskana! 64 connected.
  • the channel 64 may be connected to a gas source, not shown, in order according to the first illustrated personssbeispie! (Fig. 2, 3) in the Schutzkana! 60 to generate an overpressure. It should be noted that the protective channel 60 is closed in itself in the embodiment shown in FIGS. 2 and 3 and has no outlet. Likewise, the channel 64 may be connected to a vacuum source to create a vacuum in the channel 60. This may be a separate vacuum source but also an inlet region of the vacuum pump, i. around the through the housing cover! 16 closed area, act to generate a negative pressure.
  • connection channels 66 are provided in the housing element 36.
  • the connection channels 66 connect the protective channel 60 with the bearing elements 32. This has the result that via the transverse channel 64, which is connected in this embodiment with a gas source, inert gas passes through the gas channels 62 in the protective channel 60 and from the protective channel 60 through the Connecting channels 66 in the region of the bearing element 32 flows out. This results in an additional protection of the bearing elements 32nd
  • FIGS. 6 and 7 Similar or identical components are identified by the same reference numerals.
  • 36 supply channels 70 are provided in the Gepuruseiement in thisentesbeispiei.
  • the feed channels 70 are directly connected to the Querka ⁇ al 64 and also serve to supply inert gas to the Lügerementen 32nd

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Schrauben-Vakuumpumpe handelt, weist ein Pumpengehäuse (14) auf, in dem Pumpelemente (10) angeordnet sind. Das Pumpengehäuse (14) weist einen ersten Flansch (48) auf, der mit einem zweiten Flansch (50) eines Pumpelements (10), wie eines Getriebegehäuses, verbunden ist. In einer der beiden Flanschfiächen (52) der Flanschverbindung (44) ist eine Dichtnut (54) vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist. Innerhalb der Dichtnut (54) ist ein umlaufender Schutzkanal (60) vorgesehen. Der Schutzkanal (60) ist über einen Gaskanal (62) und einen Verbindungskanal (64), beispielsweise mit einer Gasquelle oder eine Unterdruckwelle, verbunden. Durch das Vorsehen des Schutzkanals (60) erfolgt ein Schutz des in der Dichtnut (54) angeordneten Dichteiements.

Description

Unser Zeichen : 092146WO KB/so Ihr Zeichen: P08.35 WO 01.12.2009
Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben- Vakuumpumpe.
Vakuumpumpen, wie Schrauben-Vakuumpumpen, weisen einen durch ein Pumpengehäuse gebildeten Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum sind Pumpelemente angeordnet. Bei Schrauben-Vakuumpumpen sind zwei sich in entgegengesetzte Richtungen drehende schraubenförmige Pumpelemente vorgesehen. Die Pumpeiemente sind von Wellen getragen, die in Gehäuseelementen gelagert sind. Das Pumpengehäuse, das den Schöpfraum ausbildet, und zumindest ein Gehäuseelement, das den Schöpfraum verschließt und beispielweise als Getriebegehäuse fungiert, sind über eine Flanschverbindung miteinander verbunden. Zwischen einem ersten Flansch, der an dem Pumpgehäuse, und einem zweiten Flansch, der an dem Gehäuseelement angeordnet ist, ist eine Dichtung vorgesehen. Hierzu ist in einer der beiden Flanschfiächen eine Dichtnut vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist.
Insbesondere beim Fördern von aggressiven oder explosiven Medien muss eine sehr hohe Dichtigkeit gewährleistet sein. Ferner besteht beim Fördern von aggressiven Medien die Gefahr, dass der O-Ring angegriffen wird und hierdurch Undichtigkeiten entstehen. Aus EP 1 620 649 ist es bekannt, innerhalb der Dichtnut eine zweite, als Schutzkanai dienende Nut in der Flanschfiäche anzuordnen. Der Schutzkana! hat somit einen geringeren Umfang als die Dichtnut, Über eine Querbohrung ist der Schutzkanai mit einem Gas-Zuführkanai verbunden. Ferner ist der Schutzkanal mit weiteren Querbohrungen verbunden, durch die Gas aus dem Schutzkana! in den Schöpfraum strömt. Gemäß der EP 1 620 649 wird dem inneren Schutzkanal ununterbrochen Gas zugeführt, das durch den Schutzkanai und die Verbindungskanäie in den Schöpfraum strömt. Es wird somit über den Schutzkanal und die Verbindungskanäle sog. Purge-Gas dem Schöpfraum zugeführt. Wenngleich durch den in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Schutzkanal ein guter Schutz für das Dichtelement realisiert werden kann, weist diese Anordnung den Nachteil auf, dass stets eine Förderung von Purge-Gas notwendig ist, um sicherzustellen, dass der Schutzkana! während des Betriebs mit Gas gefüllt ist. Eine Unterbrechung der Gaszufuhr in den Schutzkanal kann dazu führen, dass insbesondere durch die Verbindungskanäle von der Pumpe zu förderndes Gas in den Schutzkana! und von diesem zu der Dichtung gefangt. Erfordert ein Pumpprozess beispielsweise nur eine geringe oder keine Zufuhr an Purge-Gas, ist dies mit der in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Konstruktion nicht möglich
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben-Vakuumpe, zu schaffen, bei der ein Flansch-Dichtelement auf einfache Weise zuverlässig geschützt ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse auf, das einen Schöpfraum ausbildet, in dem Pumpelemente angeordnet sind. Das Pumpengehäuse ist mit einem ersten Flansch versehen, über den ein Gehäuseelement, wie Gehäusedeckel oder ein Getriebegehäuse, mit dem Pumpengehäuse verbunden wird. Das Gehäuseelement weist hierzu einen zweiten Flansch auf. In zumindest einer der beiden aneinander anliegenden FSan5chflächen ist eine umlaufende Dichtnut angeordnet. In dieser ist ein Dichteiement, wie ein O-Ring, vorgesehen. Innerhalb der Dichtnut ist ein ebenfalls umiaufender Schutzkanal in zumindest einer der beiden Flanschflächen angeordnet. Erfindungsgemäß ist der Schutzkanal mit einem Gaskanal verbunden. Der Gaskanal ist nicht mit dem Schöpfraum verbunden. Bei einer ersten bevorzugten Ausfuhrungsform kann der Gaskana! mit einer Gasquelle zum Zuführen von Schutzgas in den Schutzkanal verbunden sein. Bei einem in sich geschlossenen Schutzkana! gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist es möglich, in diesen Schutzgas einzuleiten und unter einem vorgegebenen Druck zu halten. Somit ist auf einfache Weise ein Schutz für das in der Dichtnut vorgesehene Dichtelement realisiert. Insbesondere ist hierbei sichergestelit, dass kein oder allenfalls nur eine geringe Menge an Schutzgas in den Schöpfraum gelangt. Es ist sodann bei dieser Ausführungsform insbesondere möglich, über einen zusätzlichen Kanal Purge- Gas dem Schöpfraum zuzuführen. Die Menge an zugefuhrtem Purge-Gas kann somit sehr exakt geregelt werden.
Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist es möglich, einen Verbindungskanal in dem Gehäuseeiement vorzusehen, sofern es sich um ein Gehäuseelement handelt, in dem zumindest ein Lagerelement angeordnet ist. Der Verbindungskanal steht eine Verbindung zwischen dem Schutzkanal und dem Lagerelement dar, so dass eine ggf. sehr geringe Menge an Schutzgas in das Lagereiement strömt und somit das Lagerelement vor Beschädigungen, beispielsweise durch ein aggressives zu förderndes Medium, schützt. Bei dieser Ausführungsform ist es insbesondere bevorzugt, in dem Gehäuseelement oder dem Pumpengehäuse einen gesonderten Zuführkanal zum Zufuhren von Purge-Gas in den Schöpfraum vorzusehen. Hierdurch ist wieder eine genaue Regelung der Menge an zugefuhrtem Purge-Gas, die ggf, auch πuü sein kann, möglich. Bei einer bevorzugten Weiterbildung ist in dem Gehäuseelement ein Querverbindungskanal vorgesehen. Das Vorsehen eines Querverbindungskanals hat den Vorteil, dass über diesen Kana! Gas auch zu anderen Bereichen über weitere Verbindungskanäle gefuhrt werden kann. Besonders bevorzugt ist es hierbei, mindestens einen weiteren Gaskanal vorzusehen, durch den eine weitere Verbindung zwischen dem Querverbindungskanal und dem Schutzkanai hergestellt ist. Hierdurch ist eine gieichmäßigere Verteilung des Schutzgases in dem Schutzkanal gewährleistet. Bei einer weiteren bevorzugten Weiterbildung kann mit dem Querverbindungskanal ein Zuführkanal verbunden sein, über den Schutzgas zu einem in dem Gehäuseelement angeordneten Lagerelement geleitet werden kann.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist anstelle eines Verbindungskanals zwischen dem Schutzkanal und den Lagerelementen in dem Gehäuseelement ein gesonderter Zufuhrkanal vorgesehen, über den Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement zugeführt wird. Hierbei ist es bevorzugt, dass der Zuführkanal sowie der Schutzkanal mit derselben Gasquelle verbunden sind.
Sofern in dem Gehäuseelement mehrere, insbesondere zwei Lagerelemeπte angeordnet sind, ist es bevorzugt, dass für jedes Lagerelement gesonderte Verbindungskanäle vorgesehen sind. Hierdurch ist es möglich, kurze Wege zu realisieren. Bevorzugt ist es wiederum, dass sämtliche Zufuhrkanäle zum Zufuhren von Schutzgas zu dem Schutzkanal sowie zu den Lagerelementen mit einer gemeinsamen Gasquelle verbunden sind.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausfuhrungsform ist der mit dem Schutzkanal verbundene Gaskanal mit einer Unterdruckquelle verbunden. Hierdurch kann ggf. in den Schutzkanal eindringendes Gas abgeführt werden. Der Schutzkanal, der in dieser Ausführungsform wiederum keinen Verbinduπgskanal zum Schöpfraum aber auch keinen Verbindungskanal zu Lagerelementen aufweist, kann somit unter einem definierten Unterdruck gehalten werden. Auch hierdurch ist sichergestellt, dass zu fördernde aggressive Medien nicht zu dem DichteSement, wie dem O-Ring, gelangen und dieses beschädigen. Der Unterdruck in dem Schutzkanal kann dadurch erzeugt werden, dass der Schutzkanal mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, wie beispielsweise einem Einiassbereich, verbunden ist. Bei dem Einiassbereich handelt es sich um denjenigen Bereich der Vakuumpumpe, der in Förderrichtung vor den Pumpelementen angeordnet ist. Ebenso ist es möglich, eine gesonderte Unterdruckquelle vorzusehen, die entweder einen eigenen Antrieb aufweist oder mit dem Antrieb der Vakuumpumpe verbunden ist.
Vorzugsweise ist die Dichtnut und der mindestens eine Schutzkanal in derselben Flanschfläche angeordnet. Hierdurch ist die Fertigung vereinfacht. Ferner ist es bevorzugt, dass der Schutzkanal einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut aufweist.
Bei einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein weiterer Schutzkanal vorgesehen, der die Dichtnut umgibt. Die Dichtnut liegt somit zwischen zwei Schutzkanäien, Auch der zweite Schutzkana! ist, wie vorstehend beschrieben, vorzugsweise mit einer Gasquelle oder einer Unterdruckwelle verbunden, wobei das vorstehend beschriebene Vorsehen von Verbindungskanälen zu Lagerelementen von dem inneren und/ oder dem äußeren Schutzkana! ausgehen kann. Durch das Vorsehen von zwei Schutzkanälen, zwischen denen die Dichtnut vorgesehen ist, ist der Schutz des Dichtelements weiter verbessert.
Bevorzugt ist es, dass als Purge-Gas, das insbesondere über einen gesonderten Purge-Gaskanal unmittelbar dem Schöpfraum und nicht durch den Schutzkanal hindurch dem Schöpfraum zugeleitet wird, Luft, Stickstoff, Argon oder gemischte Gase zu verwenden. Vorzugsweise wird das Purge-Gas dem Schöpfraum bei einem Druck im Bereich von 0,1 bis 5 bar zugeführt.
Die in der Dichtnut angeordnete Dichtung, bei der es sich insbesondere um einen O-Ring handelt, aber auch ein Dichtelement mit rechteckigem oder quadratischem Querschnitt, oder ein flaches Dichtelement vorgesehen sein kann, weist vorzugsweise eiastomeres Material, wie beispielsweise Viton, auf.
Ferner ist es bevorzugt, dass das Dichtelement PTFE-Material aufweist oder aus PTFE besteht Ggf. kann das Dichtelement aus Metall und/ oder Kupfer und/ oder Aluminium hergestellt sein bzw. entsprechende Bestandteile aufweisen.
Die vorstehend beschriebenen unterschiedlichen bevorzugten Ausführungsformen von erfindungsgernäßen Flanschdichtungen können nicht nur zwischen einem Pumpengehäuse und einem Pumpelement, das beispielsweise Lagerelemente trägt und als Getriebegehäuse dient, angeordnet sein. Entsprechende Flanschdichtungen sind bei Vakuumpumpen, die insbesondere zum Fördern von aggressivem oder explosivem Medium eingesetzt werden, stets als Dichtung vorteilhaft, wobei es sich insbesondere um Dichtungen zwischen zwei Gehäuseteilen handelt, die vorzugsweise mittels Flanschen abgedichtet werden.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführuπgsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer Schrauben-
Vakuumpumpe,
Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf einen Flansch eines
Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1,
Fig. 3 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 2 dargestellten
Ausführungsform entlang der Linie III-III, Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausfuhrungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1 in einer weiteren Ausführungsform,
Fig. 5 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 4 dargestellten
Ausfuhrungsform entlang des Schnitts V,
Fig. 6 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1 in einer weiteren Ausführungsform, und
Fig. 7 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 6 dargestellten
Ausführungsform entlang des Schnitts VIL
Die schematisch in Fig. i dargestellte Schrauben-Vakuumpumpe weist zwei schraubenförmige Pumpelemente 10 auf, die in einem Schöpfraum 12 angeordnet sind. Der Schöpfraum 12 ist im Wesentlichen durch das Pumpengehäuse 14 ausgebildet. Das Pumpengehäuse 14 ist auf der in Fig. 1 linken Seite über ein als Gehäusedeckel ausgebildetes Gehäuseelement 16 verschlossen. Der Deckel 16 weist eine Einlassöffnung 18 auf, durch die das zu fördernde Medium in den Schöpfraum 12 eingesaugt wird. Der Deckel 16 ist mit dem Pumpengehäuse 14 über eine Flanschverbindung abdichtend verbunden.
Das durch die Eϊnlassöffnung 18 in Richtung eines Pfeils 22 eingesaugte Fördermedium wird durch eine im Pumpengehäuse 14 vorgesehene Ausiassöffnung 24 in Richtung eines Pfeils 26 ausgestoßen.
Die beiden Pumpelemente 10 sind jeweils von einer Welle 28, 30 getragen. Die beiden Weilen 28, 30 sind über Lagerelemente 32, 34 einerseits in einem Gehäuseelement 36 gelagert, das als Getriebegehäuse dient, und andererseits in einem Gehäuseelement 38 gelagert, das als Gehäusedeckel ausgebildet ist. Eine der Wellen, die Welle 28, ist zum Antrieb mit einem Elektromotor 40 verbunden. Ferner ist die Weile 28 mit einem Zahnrad 42 fest verbunden, das mit einem mit der Welle 30 fest verbundenen Zahnrad 43 kämmt. Hierdurch ist ein Synchronlauf der beiden Pumpelemente 10 in entgegengesetzter Richtung gewährleistet.
Im dargestellten Ausfuhrungsbeispiel weist das Gehäuse der Vakuumpumpe vier Teile, die Gehäuseelemente 16, 36, 38 und das Pumpengehäuse 14, auf. Die einzelnen Gehäuseteile sind über Flanschverbindungen 20, 44, 46 miteinander verbunden. In jeder der Flanschverbindungen 20, 44, 46 kann eine erfindungsgemäß ausgestaltete Dichtungsanordnung, d.h. eine Kombination aus einer ein Dichtelement aufweisenden Dichtnut und einem Schutzkanal, vorgesehen sein. In den nachstehend anhand der Fig. 2 bis 7 beschriebenen Ausführungsformen wird die Ausgestaltung der Dichtungsanordnung anhand der Flanschverbindung 44 näher erläutert. Die Flanschverbindung 44 stellt eine Verbindung zwischen einem ersten Flansch 48 des Pumpengehäuses 14 und einem zweiten Flansch 50 des Gehäuseelements 36 dar.
Bei einer ersten bevorzugten Ausfuhrungsform (Fig. 2 und 3) ist in einer Flanschfläche 52 eine umlaufende, in sich geschlossene, im Wesentlichen ovale Dichtnut 54 angeordnet. In der Dichtnut 54 ist ein nicht dargestellter O- Ring zur Dichtung der beiden einander gegenüberliegenden Flansche 48, 50 vorgesehen.
Durch die beiden im Gehäuseelement 36 vorgesehenen Öffnungen 56 sind die beiden Wellen 28, 30 geführt und in den Lagerelementen 32 gelagert. Wie ferner aus Fig. 3 ersichtlich ist, sind zur Verbindung der beiden Flansche 44, 48 Bohrungen 58 zum Vorsehen von Schrauben oder Bolzen vorgesehen. Erfindungsgemäß ist innerhalb der Dichtnut 54 in der Flanschfläche 52 ein ebenfalls umlaufender, ats Nut ausgebildeter Schutzkanal 60 vorgesehen.
Mit dem Schutzkanal 60 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Gaskanäle 62 verbunden. Die beiden Gaskanäle 62 sind beide mit einem gemeinsamen Querverbindungskana! 64 verbunden.
Der Kanal 64 kann mit einer nicht dargestellten Gasquelle verbunden werden, um gemäß dem ersten dargestellten Ausführungsbeispie! (Fig. 2, 3) in dem Schutzkana! 60 einen Überdruck zu erzeugen. Hierbei ist zu berücksichtigen, dass der Schutzkanal 60 in dem in Fig. 2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel in sich geschlossen ist und keinen Auslass aufweist. Ebenso kann der Kanal 64 mit einer Unterdruckquelle verbunden sein, um in dem Kanal 60 einen Unterdruck zu erzeugen. Hierbei kann es sich um eine gesonderte Unterdruckquelie aber auch um einen Einlassbereich der Vakuumpumpe, d.h. um den durch den Gehäusedecke! 16 verschlossenen Bereich, zur Erzeugung eines Unterdrucks handeln.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (Fig. 4 und 5) sind identische oder ähnliche Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
Zusätzlich zu der anhand der Fig. 2 und 3 beschriebenen Ausgestaltung des zweiten Flansches 44 sind in dem Gehäuseelement 36 zwei Verbindungskanäle 66 vorgesehen. Die Verbindungskanäle 66 verbinden den Schutzkanal 60 mit den Lagerelementen 32. Dies hat zur Folge, dass über den Querkanal 64, der in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Gasquelle verbunden ist, Schutzgas durch die Gaskanäle 62 in den Schutzkanal 60 gelangt und aus dem Schutzkanal 60 durch die Verbindungskanäle 66 im Bereich des Lagerelements 32 ausströmt. Hierdurch erfolgt ein zusätzlicher Schutz der Lagerelemente 32.
Bei einer weiteren alternativen Ausfύhrungsform (Fig. 6 und 7) sind ähnliche oder identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet. Anstelle der in Fig. 4 und 5 gezeigten Verbindungskanäle 66 sind in diesem Ausführungsbeispiei in dem Gehäuseeiement 36 Zufuhrkanäle 70 vorgesehen. Die Zuführkanäle 70 sind unmittelbar mit dem Querkaπal 64 verbunden und dienen ebenfalls zur Zufuhr von Schutzgas zu den Lagereiementen 32.
In sämtlichen dargestellten Ausführungsbeϊspielen ist es möglich, insbesondere in dem Pumpengehäuse 14 einen Zufuhrkanal zum Zuführen von Purge-Gas in den Schöpfraum 12 vorzusehen.

Claims

Patentansprüche
1, Vakuumpumpe, insbesondere Schrauben-Vakuumpumpe, mit
in einem einen Schöpfraum (12) ausbildenden Pumpengehäuse (14) angeordneten mindestens einen Pumpelement (10),
einem an dem Pumpengehäuse (14) vorgesehenen ersten Flansch (48),
einem Gehäuseelement (36), das zur Verbindung mit dem ersten Flansch (48) eine zweiten Flansch (50) aufweist,
einer in einer der beiden aneinander anliegenden Flanschflächen (52) vorgesehenen, umlaufenden Dichtnut (54), in der ein Dichtelement angeordnet ist, und
einem von der Dichtnut (54) umgebenen, umlaufenden Schutzkanal (60),
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Schutzkana! mit einem Gaskanal (62) verbunden ist, wobei weder der Schutzkanal (60) noch der Gaskana! (62) mit dem Schöpfraum (12) verbunden ist.
2, Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskana! (62) mit einer Gasquelle zum Zufuhren eines Schutzgases in den Schutzkanal (60) verbunden ist,
3, Vakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mindestens ein Lagerelement (32) angeordnet ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) mit einem Verbindungskanal (66) zum Zuführen von Schutzgas zu dem Lagerelement (32) verbunden ist.
5. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen in dem Gehäuseelement (36) angeordneten gesonderten Zuführkanal (70) zum Zufuhren von Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement (32), wobei der Zufύhrkanal (70) und der Gaskanal (62) mit derselben Gasquelle verbunden sind.
6. Vakuumpumpe nach Anspruch 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) über einen im Gehäuseeiement (36) vorgesehenen Querverbindungskanal (64) mit einer Gasquelle verbunden ist.
7. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Querverbindungskanal (64) über mindestens zwei Gaskanäle (62) mit dem Schutzkanal (60) verbunden ist.
8. Vakuumpumpe nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Zufύhrkana! (70) zum Zuführen von Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerkanal mit dem Querverbindungskanal (64) verbunden ist,
9. Vakuumpumpe nach Anspruch 5-8, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere gesonderte Zuführkanäle (70) vorgesehen sind, die jeweils mit einem Lagerelement (32) verbunden sind.
10. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mehrere Lagerelemente (32) angeordnet sind, die über einen gemeinsamen Verbindungskanal oder gesonderte Verbindungskanäle (66) mit dem Schutzkanal (60) verbunden sind.
11. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (60) mit einer Unterdruckquelle zum Absaugen von Gas aus dem Schutzkana! (60) verbunden ist.
12. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) zur Erzeugung des Unterdrucks mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, insbesondere deren Einlassbereich, verbunden ist,
13. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtnut (54) und der Schutzkana! (60) in derselben Flanschfläche (52) angeordnet sind.
14. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut (54) aufweist.
15. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch mehrere, insbesondere zwei mit dem Schutzkanal (60) verbundene Gaskanäle (62).
16. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch einen im Pumpengehäuse (14) angeordneten, unmittelbar mit dem Schöpfraum verbundenen Purge-Gaskanal.
17. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch einen weiteren, die Dichtnut (54) umgebenden Schutzkanal (60).
PCT/EP2009/066252 2008-12-24 2009-12-02 Vakuumpumpe Ceased WO2010072526A2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810063133 DE102008063133A1 (de) 2008-12-24 2008-12-24 Vakuumpumpe
DE102008063133.7 2008-12-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2010072526A2 true WO2010072526A2 (de) 2010-07-01
WO2010072526A3 WO2010072526A3 (de) 2010-12-09

Family

ID=42220744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2009/066252 Ceased WO2010072526A2 (de) 2008-12-24 2009-12-02 Vakuumpumpe

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE102008063133A1 (de)
TW (1) TW201033467A (de)
WO (1) WO2010072526A2 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2649277B1 (de) 2010-12-10 2017-01-25 Ateliers Busch S.A. Vakuumpumpe für anwendungen bei vakuumverpackungsmaschinen
DE102017006206A1 (de) * 2017-06-30 2019-01-03 Ralf Steffens Verdrängerverdichtersystem für R-718

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BR0008357A (pt) * 1999-01-11 2001-11-27 Du Pont Método e aparelho de lubrificação e vedação derolamentos e engrenagens
GB0310615D0 (en) 2003-05-08 2003-06-11 Boc Group Plc Improvements in seal assemblies
GB2442738B (en) * 2006-10-09 2011-08-03 Boc Group Plc A sealing system

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008063133A1 (de) 2010-07-01
WO2010072526A3 (de) 2010-12-09
TW201033467A (en) 2010-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2013519B1 (de) Dichtanordnung
EP3029333B1 (de) Axial geteilte pumpe
DE102008048942A1 (de) Anordnung mit einer Wellendichtung
DE69614225T2 (de) Abdichtung eines brennkraftmaschinen getriebenen Laders
DE60300051T2 (de) Wellendichtung
DE10349968A1 (de) Radiale Drehdurchführung
DE3622963A1 (de) Pumpe, vorzugsweise behaelterpumpe
CH626950A5 (de)
EP0558888B1 (de) Einrichtung zur Verarbeitung von hochviskosem Kautschuk oder thermoplastischem Kunststoff
EP3029334A1 (de) Axial geteilte pumpe
EP3029332A1 (de) Axial geteilte pumpe
WO2010072526A2 (de) Vakuumpumpe
WO2020182921A9 (de) Ventilanordnungen für eine membranpumpe
DE102022118557A1 (de) Kreiselpumpe mit Gleitringdichtung zur Abdichtung des Laufradspaltes sowie Verfahren zur Herstellung eines Pumpenlaufrades
DE602004008120T2 (de) Homogenisierapparat zur dauerbehandlung von fluiden bei sehr hohem druck
EP4072737B1 (de) Reinigungsvorrichtung
DE102011078247A1 (de) Lagervorrichtung
EP3581803B1 (de) Kreiselpumpe mit regelung des spaltes zwischen deckel und laufrad
EP0072366B1 (de) Dichtung zum Abdichten von Hochdruckeinrichtungen
DE102008003240B4 (de) Förderaggregat
DE19809957A1 (de) Mehrwellenvakuumpumpe
DE3816280C2 (de) Gehäuseteil für Kreiselpumpen
DE2818664C2 (de) Dichtungsanordnung für eine Wellendurchführung
DE602004009152T2 (de) Wellendichtung
DE2724732C3 (de) Hochvakuumdichte Lageranordnung der Drehanode in einem Drehanoden-Röntgengenerator

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09763957

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 09763957

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2