WO2009000598A3 - Halbleitergassensor mit zusätzlichen funktionalitäten der signalbildenden elektrode - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Halbleiter-Gassensors (1), wobei der Gassensor mindestens eine gassensitive Elektrode (5) umfasst und wobei der gassensitiven Elektrode eine Spannungssequenz (Ugs) aufgeprägt werden kann, und wobei der Betrieb in einem Messzyklus abläuft, der in mindestens eine Initialisierungsphase und mindestens eine nachfolgende Messphase unterteilt ist, wobei der gassensitiven Elektrode während der Initialisierungsphase eine erste Spannungssequenz (U1) aufgeprägt wird, der gassensitiven Elektrode während der Messphase eine zweite Spannungssequenz (U2) aufgeprägt wird und wobei die erste Spannungssequenz von der zweiten Spannungssequenz verschieden ist. Sie betrifft weiterhin einen Halbleiter-Gassensor zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie die Verwendung eines solchen Sensors.
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