[go: up one dir, main page]

WO2009071502A1 - Linearführung mit schwingungsdämpfer - Google Patents

Linearführung mit schwingungsdämpfer Download PDF

Info

Publication number
WO2009071502A1
WO2009071502A1 PCT/EP2008/066505 EP2008066505W WO2009071502A1 WO 2009071502 A1 WO2009071502 A1 WO 2009071502A1 EP 2008066505 W EP2008066505 W EP 2008066505W WO 2009071502 A1 WO2009071502 A1 WO 2009071502A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
carriage
guide
linear guide
pressure chamber
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2008/066505
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Peter Lutz
Dietmar Rudy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHO Holding GmbH and Co KG
Original Assignee
Schaeffler KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schaeffler KG filed Critical Schaeffler KG
Publication of WO2009071502A1 publication Critical patent/WO2009071502A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/002Elastic or yielding linear bearings or bearing supports
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/005Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F16F15/0237Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means involving squeeze-film damping

Definitions

  • the present invention relates to linear guides, in which a carriage is arranged longitudinally displaceable on a guide rail.
  • a linear guide has become known according to the features of the preamble of claim 1.
  • the guide carriage has an upper and a lower carriage section, between which a gap is formed. Relative lateral displacements are possible between these two carriage sections in order to be able to compensate for positional tolerances, for example.
  • a lubricating film damper is formed in a further gap arranged between these two carriage sections.
  • the gap may typically be a few tens of microns in size.
  • a feed channel is connected to this gap, so that, for example, oil can be effortlessly and constantly transported into this gap to form the lubricating film damper.
  • Linear guides are predominantly used in production machines in the field of metal forming. In the continuous development of such linear guides whose power and dynamic limits are increasingly raised. As a result of this increase, the mass fractions to be moved must be significantly reduced. The omission of mass, however, causes an increased susceptibility to static deformations and, for example, regenerative chatter phenomena, which are due to vibrations that are due to the lighter components.
  • linear guides that are able to vibrate both statically and dynamically on the other hand, for example, to compensate for incorrect positioning by appropriate facilities on the linear guide.
  • the invention offers the advantage in that for an optionally required compensation of incorrect positioning on the one hand and a preferably dynamic vibration damping on the other hand is made possible by the same technical means.
  • the invention thus allows linear guides that are simple in construction, and where vibration damping and stroke adjustment are made possible by the same technical measures.
  • the gap may for example be filled with a hydraulic fluid, in which case the gap may be formed as a pressure chamber.
  • the pressure in the pressure chamber increases and the corresponding arrangement of the two carriage sections allows a stroke of the upper carriage portion relative to the lower carriage portion, for example by 70 microns.
  • a targeted vibration compensation can be generated via a suitable power unit with an appropriate control and regulation, so that in the pressure chamber targeted pressure oscillations are built up, which are opposite in an undesirable manner acting dynamic vibrations, so that a compensation is achieved, compared to a smooth running of the carriage allows the guide rail. Consequently, the described combinatorial effect of a stroke adjustment and a dynamic vibration damping can be achieved with simple means-for example hydraulic fluid-in the gap formed as a pressure chamber.
  • Alternative lifting devices of the invention provide for the use of piezoelectric materials disposed in the gap.
  • the directed deformation of a piezoelectric material forms microscopic dipoles within the unit cells; There is a shift in the charge centers.
  • the summation over all unit cells of the crystal leads to a macroscopically measurable electrical voltage.
  • Directional deformation means that the applied pressure does not act on all sides of the sample, but only on opposite sides, for example.
  • an electrical voltage for example, a crystal (or the component made of piezoceramic) can be deformed.
  • piezoelectric bodies can perform mechanical oscillations. In piezoelectric materials, these vibrations can be electrically excited on the one hand, on the other hand cause again an electrical voltage.
  • the frequency of the oscillation is only from the speed of sound and the dimensions of the piezoelectric body, the sound velocity is a material constant.
  • piezoelectric components are also suitable for oscillators.
  • the most important material parameter for the inverse piezo effect and thus for actuators is the piezoelectric charge constant. It describes the functional relationship between the applied electric field strength and the strain generated thereby.
  • the characteristic sizes of a piezoelectric transducer are different for the different directions of action.
  • the piezoelectric transverse and longitudinal effects result in three different basic elements for piezoelectric actuators: the thickness oscillator, the transverse expansion element, the bimorph.
  • the bimorph is a combination of two transverse expansion elements.
  • An opposite control of the elements causes a bending of the actuator, which is why this receives a separate name
  • the above-mentioned thickness vibrator is suitable for the present invention.
  • the deformation when applying a voltage can be used in the thickness vibrator as an actuator, which can also be referred to as a piezo-positioner.
  • a plurality of piezo positioners can also be arranged in the gap and, depending on the type of application, in parallel or series connection.
  • piezo positioners allow precise movements which, in the present case, can be used in particular for dynamic vibration damping in linear guides according to the invention.
  • the two car sections are shifted relative to each other in the lifting directions under the action of the active piezoelectric actuator. This shift can then be static, or dynamic.
  • an electroactive polymer may be used that can change its shape when an electrical voltage is applied.
  • suitable vibration dampers can be used, which are also suitable as a lifting device.
  • this pressure chamber may be variable in volume. It is possible by means of dynamic loading of the pressure chamber to set certain stroke frequencies as well as certain lifting amplitudes of the upper carriage section relative to the lower carriage section. This targeted adjustability can superimpose unwanted vibrations such that a smooth sliding of the carriage is made possible, while ensuring a certain stroke position.
  • the two carriage sections can be integrally connected to each other.
  • remaining web portions which connect the two carriage sections to one another are expediently made so thin-walled and flexible that an enlargement of the gap-for example by means of pressurization-is possible.
  • elastically deflectable wall sections can connect the upper carriage section to the lower carriage section in one piece.
  • these deflectable wall sections limit the pressure chamber. This means that no separate seals are required to keep the pressure chamber pressure-tight.
  • the carriage is preferably formed in cross-section approximately U-shaped, wherein two legs of the carriage are connected to each other via a floor, wherein the carriage with his two legs, the guide rail engages, and wherein the bottom is provided with the pressure chamber, which is bounded on both its longitudinal sides by a longitudinal direction of the guide carriage longitudinal bore, and wherein between an outer boundary surface of the guide carriage and each of the two longitudinal bores elastically deflectable wall portion is formed.
  • the longitudinal bores can be easily created in the carriage known per se, so that elastically deflectable wall sections are produced in the desired manner, in order to allow an elastic enlargement of the gap.
  • a longitudinal groove parallel to the longitudinal bore and open to the surroundings of the guide carriage can be formed which, together with the longitudinal bore, delimits at least a portion of the elastically deflectable band section.
  • This longitudinal groove is thus positioned so that it provides a suitable elasticity of the wall sections together with the longitudinal bore.
  • An alternative embodiment of the invention provides that the two car sections are formed by separate car parts, which are interconnected by means of expansion screws. In this case, these two car parts can limit the gap. Since, in this situation, the wall of the pressure chamber has a transition region from the lower carriage part to the upper carriage part, it may be expedient to provide a seal, in particular an O-ring, between the two carriage parts, which seals the pressure chamber to the surroundings of the guide carriage. Thus, the pressure chamber can be pressurized without this pressure undesirably enters the surroundings of the guide carriage.
  • a guide carriage which, seen in cross-section, is approximately U-shaped. is formed, wherein two legs of the carriage are connected to each other via a floor, wherein the guide carriage engages around the guide rail with its two legs, and wherein the bottom is provided with the pressure chamber, wherein the lower carriage part on its side facing the upper carriage part with a circumferential Is provided, and wherein the upper carriage member is provided with a flange for receiving the expansion bolts and with an engagement portion which engages in the bounded by the circumferential web receiving portion, wherein between the web and the engagement portion is a preferably endless O-ring for sealing the Pressure chamber is arranged opposite the surroundings of the carriage.
  • the pressure chamber is pressurized, takes place in the limited scope up to about 100 microns, a relative displacement of the two car parts to each other, this relative movement is made possible by an expansion of the expansion screws.
  • the expansion screws also offer the advantage of a high-precision guidance in the direction of the stroke, so that an undesirable tilting or jamming is excluded.
  • the screw axes of the expansion screws are preferably arranged parallel to the stroke direction of the upper carriage part with respect to the lower carriage part to allow the desired relative displacement between the two carriage parts by utilizing a desired elongation of the expansion screws.
  • FIG. 2 shows a representation as in FIG. 1, but with a modified carriage
  • FIG. 3 shows a representation as in FIGS. 1 and 2, but with a further guide carriage according to the invention
  • FIGS. 4 to 6 show different representations of a linear guide according to the invention, whose guide carriage is shown schematically in FIG. 1 and FIG
  • Figure 7 shows a schematic representation of a control circuit of the linear guide according to the invention.
  • FIGS. 4 to 6 illustrate a linear guide according to the invention with its essential components, while the special features according to the invention are specified in greater detail in FIGS. 1 to 3.
  • the linear guide according to the invention shown in FIGS. 4 to 6 has a guide carriage 1, which is mounted longitudinally displaceably on a guide rail 2. It can be seen from FIG. 5 that the guide jib 1 is roller-mounted on the guide rail 2 via rollers 3, these rollers 3 circulating in an endless manner in an endless roller channel 4.
  • FIG. 5 shows load sections 5 and return sections 6 of the endless roller channel 4. In the load section 5, the rollers 3 roll on raceways 7, 8 of the guide carriage 1 and the guide rail 2.
  • Figure 6 shows a perspective view of the carriage 1 without the guide rail.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a section through the guide carriage 1 along the line I - I of Figure 4.
  • the figure shows that the carriage 1 has an upper carriage section 9 and a lower carriage section 10, between which a gap 11 is formed is.
  • the gap 11 extends over at least the major part of the supporting structure of the guide carriage 1.
  • the lower carriage portion 10 is stiff and properly on the Guide rail guided without it may lead to undesirable relative displacements between the lower carriage portion 10 and the guide rail.
  • the upper carriage section 9 is also designed to be stiff and is not subject to any appreciable deformations during operation of such a linear guide.
  • the upper carriage section 9 is integrally connected by means of elastically deflectable wall sections 12 with the lower carriage section 10. These elastically deflectable wall sections 12 are bounded on the one hand by the outer contour of the guide carriage 1 and on the other hand by longitudinal bores 13 which are arranged in the longitudinal direction of the guide carriage in the edge region of the guide carriage 1.
  • the upper carriage section 9 is also provided on its longitudinal sides each with an outwardly open groove 14, so that the elastic wall portions 12 are limited by the longitudinal side of the carriage 1, and the groove 14 and further through the longitudinal bore 13.
  • the longitudinal bore 13 limited at the same time the gap 11 at its two longitudinal sides. The gap 11 thus opens into these longitudinal bores 13 a.
  • the carriage 1 is seen in cross-section approximately U-shaped. Two legs 15 of the guide carriage 1 are connected to one another via a base 16, wherein the guide carriage 1 engages around the guide rail with its two legs 15. The bottom 16 is presently provided with the gap 11 already described.
  • the gap 11 is formed as a pressure chamber 17, wherein in this pressure chamber 17 hydraulic fluid 18 is filled.
  • Control device 19 - which is merely indicated in the figure 1 - can
  • Hydraulic fluid 18 are pressurized in the pressure chamber 17.
  • the gap 11 widens, so that the upper carriage section 9 performs a lift relative to the lower carriage section 10, but away from the guide rail.
  • a lifting device 20 is provided by means of
  • Strokes are adjustable up to 100 ⁇ m.
  • Teen do it within the given limits desired stroke can be set as a fixed position of the upper carriage section 9 relative to the lower carriage section 10, wherein only a corresponding pressurization takes place.
  • FIGS filled with hydraulic fluid 18 pressure chamber 17 forms a damping device 22 which dampens vibrations.
  • This damping device 22 is suitable for substantially suppressing the transmission of vibrations between the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10.
  • the linear guide according to the invention described here is particularly suitable for a dynamic vibration damping.
  • the power, control and regulation unit 19 for example in the presence of an undesired dynamic oscillation between the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10, a targeted pulsating pressurization takes place in a frequency which superimposes the unwanted oscillation such that the upper one Carriage section 9 can run without vibrations.
  • the lifting device 20 forms with the power, control and regulating unit 19 an actuator 23. This actuator allows dynamic vibration damping in this invention Linear guide.
  • the carriage 1 can be modified to the effect that approximately in a longitudinal center plane of the carriage 1 a support element
  • the guide carriage according to the invention shown in FIG. 3 differs from that of FIG. 1 essentially in that the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10 are formed by separate carriage parts 24, 25.
  • the associated design measures are explained in more detail below.
  • the under carriage part 25 is provided on its upper carriage part 24 facing side with a circumferential ridge 26.
  • This web 26 is provided with a plurality of threaded holes 27 for receiving expansion screws 28.
  • the inner wall of the web 26 serves as a sealing surface, as will be explained in more detail below.
  • the upper carriage part 24 is provided with a peripheral flange 29 which has a plurality of bores for receiving the expansion screws 28.
  • the flange 29 rests on the circumferential web 26.
  • the upper carriage member 24 is provided with an engaging portion 30 which in a bounded by the circumferential ridge 26 receiving portion of the lower carriage portion
  • the engagement portion 30 is provided with a circumferential groove 31 into which an O-ring 32 is inserted.
  • the O-ring 32 is applied to sealing surfaces of the circumferential ridge and the groove 31, so that the pressure chamber 17 is properly sealed to the environment of the carriage 1.
  • the gap 17 increases, the expansion screws 28 being stretched along their screw axes.
  • the seal described here can be sufficient by means of an O-ring, since this O-ring is predominantly subjected to only static loading. Of course, alternative seals are possible.
  • FIG. 7 shows a schematic illustration of the actuator 23, and in particular the power, control and regulating device 19.
  • a mass 33 is attached on the guide carriage 1.
  • a signal generator 34 is arranged, which transmits vibrations occurring at the mass 33 to a controller 35.
  • the controller 35 is connected to a hydraulic unit 36, via which the hydraulic fluid provided in the gap 11 of the guide carriage 1 can be pressurized.
  • the guide carriage 1 itself acts here as a damper, which introduces into the oscillating component-here the mass 33-a "counter-oscillation" phase-shifted by 90.degree ..
  • the oscillation of the mass 33 and the corresponding "counter-oscillation" cancel each other out.
  • This active damping device 22 can - in contrast to the passive dampers - compensate over a wide frequency range, while the known passive damper works optimally only for a specific frequency.
  • the integration of the dynamic damper in the carriage 1 allows a very space-saving design. LIST OF REFERENCE NUMBERS

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

Linearführung, mit einem auf einer Führungsschiene (2) längsverschieblich angeordneten Führungswagen (1), der einen Anschluss (21) zum Aufspannen eines Maschinenteils, beispielsweise Werkzeugträger oder Maschinentisch, und wenigstens eine, von dem Anschluss (21) beabstandet angeordnete Lagerflächen zum Lagern des Führungswagens (1) an der Führungsschiene (2) aufweist, wobei der Führungswagen (1) einen den Anschluss (21) aufweisenden oberen Wagenabschnitt (9) sowie einen die wenigstens eine Lagerfläche aufweisenden unteren Wagenabschnitt (10) aufweist, und wobei zwischen dem oberen Wagenabschnitt (9) und dem unteren Wagenabschnitt (10) ein Spalt (11) vorgesehen ist, und wobei begrenzte Relativverschiebungen zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) ohne Relativverschiebungen zwischen dem unteren Wagenabschnitt (10) und der Führungsschiene (2) vorgesehen sind, und mit einem zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) wirksam angeordneten Schwingungsdämpfer zum Dämpfen von Schwingungen, wobei in dem Spalt (11) eine Hubvorrichtung (20) für einen variablen Hub des oberen Wagenabschnittes (9) gegenüber dem unteren Wagenabschnitt (10) vorgesehen ist, wobei die Hubvorrichtung (20) als Schwingungsdämpfer (22) verwendet wird.

Description

Linearführung mit Schwingungsdämpfer
Die vorliegende Erfindung betrifft Linearführungen, bei denen ein Führungswagen auf einer Führungsschiene längsverschieblich angeordnet ist.
Aus DE 42 27 936 A1 beispielsweise ist eine Linearführung nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 bekannt geworden. Bei dieser Linearfüh- rung weist der Führungswagen einen oberen und einen unteren Wagenabschnitt auf, zwischen denen ein Spalt ausgebildet ist. Zwischen diesen beiden Wagenabschnitten sind seitliche Relativverschiebungen möglich, um beispielsweise Lagetoleranzen ausgleichen zu können. Zusätzlich zu dieser Schiebeeinrichtung ist in einem weiteren zwischen diesen beiden Wagenab- schnitten angeordneten Spalt ein Schmierfilmdämpfer gebildet. Der Spalt kann typischerweise eine Größe von einigen 10 μm aufweisen. Ein Speisekanal ist an diesen Spalt angeschlossen, sodass beispielsweise Öl mühelos und konstant in diesen Spalt hineintransportiert werden kann, um den Schmierfilmdämpfer zu bilden.
Linearführungen werden zu einem überwiegenden Teil in Produktionsmaschinen im Bereich der spanenden Formgebung eingesetzt. In der ständigen Weiterentwicklung derartiger Linearführungen werden deren Leistungs- und Dynamikgrenzen zunehmend angehoben. Als Folge dieser Anhebung müssen die zu bewegenden Masseanteile deutlich reduziert werden. Der Wegfall von Masse bedingt jedoch eine erhöhte Anfälligkeit für statische Verformungen und beispielsweise regenerative Rattererscheinungen, die auf Schwingungen zurückzuführen sind, die in den leichter gewordenen Bauteile zurückzuführen sind.
Demzufolge besteht ein großes Bedürfnis Linearführungen bereitzustellen, die einerseits in der Lage sind Schwingungen sowohl statisch als auch dynamisch zu dämpfen und andererseits beispielsweise Fehlpositionierungen durch entsprechende Einrichtungen an der Linearführung zu kompensieren.
Bei der bekannten geschriebenen Linearführung sind zwar seitliche Relativver- Schiebungen zwischen den beiden Wagenabschnitten des Führungswagens möglich, und weiterhin ist auch eine statische Schwingungsdämpfung mittels des eingesetzten Schmierfilmdämpfers möglich. Eine dynamische Schwingungsdämpfung ist jedoch nicht vorgesehen. Außerdem sind zwischen den beiden Wagenabschnitten Wälzkörpersätze angeordnet, die Relativverschie- bungen zwischen den beiden Wagenabschnitten begünstigen sollen, jedoch begünstigen derartige Wälzkörpersätze wiederum die Anfälligkeit derartiger Linearführungen für dynamische Schwingungen.
Die geschilderte Problematik wird mit der erfindungsgemäßen Linearführung gelöst.
Dadurch, dass in dem Spalt - der vorzugsweise als einziger Spalt zur Unterteilung in die beiden Wagenabschnitte vorgesehen ist - eine Hubvorrichtung für einen variablen Hub des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt vorgesehen ist, wobei die Hubvorrichtung als Schwingungsdämpfer verwendet wird, bietet die Erfindung den Vorteil, dass für eine gegebenenfalls erforderliche Kompensation von Fehlpositionierungen einerseits sowie eine vorzugsweise dynamische Schwingungsdämpfung andererseits durch dieselben technischen Mittel ermöglicht wird. Die Erfindung ermöglicht demzufolge Linearführungen, die einfach aufgebaut sind, und bei denen Schwingungsdämpfung und Hubverstellung durch dieselben technischen Maßnahmen ermöglicht sind.
Es wurde herausgefunden, dass Hubverstellungen bis zu 100 μm ausreichen, um Fehlpositionierungen oder spielbehaftete Toleranzen auszugleichen, beispielsweise Materialdehnungen als Folge von Temperaturänderungen. Bei einer erfindungsgemäßen Linearführung kann der Spalt beispielsweise mit einer hydraulischen Flüssigkeit gefüllt sein, wobei in diesem Fall der Spalt als Druckkammer ausgebildet sein kann. Wenn nun die Flüssigkeit mit Druck beaufschlagt wird, wächst der Druck in der Druckkammer und die entsprechende Anordnung der beiden Wagenabschnitte ermöglicht einen Hub des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt, beispielsweise um 70 μm. Gleichzeitig kann über ein geeignetes Leistungsteil mit einer entsprechenden Steuerung und Regelung eine gezielte Schwingungskompensation erzeugt werden, sodass in der Druckkammer gezielte Druckschwingungen aufgebaut werden, die in unerwünschter Weise wirkenden dynamischen Schwingungen entgegengesetzt sind, sodass eine Kompensation erzielt wird, die einen ruhigen Lauf des Führungswagens gegenüber der Führungsschiene ermöglicht. Demzufolge kann mit einfachen Mitteln - beispielsweise hydraulische Flüssigkeit - in dem als Druckkammer ausgebildeten Spalt der beschrie- bene kombinatorische Effekt einer Hubverstellung sowie einer dynamischen Schwingungsdämpfung erzielt werden.
Alternative erfindungsgemäße Hubvorrichtungen sehen die Verwendung von piezoelektrischen Materialien vor, die in dem Spalt angeordnet sind. Durch die gerichtete Verformung eines piezoelektrischen Materials bilden sich mikroskopische Dipole innerhalb der Elementarzellen; es findet eine Verschiebung der Ladungs-Schwerpunkte statt. Die Aufsummierung über alle Elementarzellen des Kristalls führt zu einer makroskopisch messbaren elektrischen Spannung. Gerichtete Verformung bedeutet, dass der angelegte Druck nicht von allen Sei- ten auf die Probe wirkt, sondern beispielsweise nur von gegenüberliegenden Seiten aus. Umgekehrt kann durch Anlegen einer elektrischen Spannung beispielsweise ein Kristall (bzw. das Bauteil aus Piezokeramik) verformt werden.
Wie auch jeder andere Festkörper können piezoelektrische Körper mechani- sehe Schwingungen ausführen. Bei piezoelektrischen Werkstoffen können diese Schwingungen einerseits elektrisch angeregt werden, bewirken andererseits auch wieder eine elektrische Spannung. Die Frequenz der Schwingung ist nur von der Schallgeschwindigkeit und den Abmessungen des piezoelektrischen Körpers abhängig, wobei die Schallgeschwindigkeit eine Material konstante ist. Dadurch sind piezoelektrische Bauteile auch für Oszillatoren geeignet.
Wichtigster Materialparameter für den inversen Piezoeffekt und damit für Aktoren ist die piezoelektrische Ladungskonstante. Sie beschreibt den funktionalen Zusammenhang zwischen der angelegten elektrischen Feldstärke und der damit erzeugten Dehnung. Die charakteristischen Größen eines piezoelektrischen Wandlers sind unterschiedlich für die verschiedenen Wirkrichtungen.
Im Bereich der Aktorik sind zwei Haupteffekte relevant: Erstens ist zu erwähnen der piezoelektrische Quer- oder Transversaleffekt, wobei die mechanische Kraft quer zum angelegten Feld wirkt. Der zweite Haupteffekt ist der piezoelektrischer Längs- oder Longitudinaleffekt. Die mechanische Kraft wirkt parallel zum angelegten Feld.
Aus dem piezoelektrischen Quer- und Längseffekt ergeben sich drei verschiedene Grundelemente für piezoelektrische Aktoren: der Dickenschwinger, das Querdehnelement, der Bimorph. Hierbei ist der Bimorph eine Kombination aus zwei Querdehnelementen. Eine entgegengesetzte Ansteuerung der Elemente bewirkt eine Verbiegung des Aktors, weshalb dieser eine getrennte Bezeichnung erhält
Für die vorliegende Erfindung eignet sich insbesondere der zuvor erwähnte Dickenschwinger. Die Verformung beim Anlegen einer Spannung kann bei dem Dickenschwinger als Aktor benutzt werden, der auch als Piezopositionierer bezeichnet werden kann. Erfindungsgemäß können auch mehrere Piezopositionierer in dem Spalt und je nach Art der Anwendung in Parallel- oder Reihenschaltung angeordnet werden. Piezopositionierer erlauben durch die Verfor- mung eines oder mehrerer Piezoelemente präzise Bewegungen, die vorliegend insbesondere zur dynamischen Schwingungsdämpfung bei erfindungsgemäßen Linearführungen eingesetzt werden können. Die beiden Wagenabschnitte werden unter der Wirkung des aktiven piezoelektrischen Aktors relativ zueinander in den Hubrichtungen verschoben. Diese Verschiebung kann dann statisch sein, oder auch dynamisch.
Selbstverständlich sind andere Hubvorrichtungen denkbar. Beispielsweise kann in dem zwischen den beiden Wagenabschnitten ausgebildeten Spalt ein elektroaktives Polymer eingesetzt sein, dass beim Anlegen einer elektrischen Spannung seine Form ändern kann. Je nach den Anforderungen an eine dynamische Schwingungsdämpfung können geeignete Schwingungsdämpfer zu Einsatz kommen, die zugleich auch als Hubvorrichtung geeignet sind.
Im Fall des als Druckkammer ausgebildeten Spaltes kann diese Druckkammer volumenveränderlich sein. Es ist möglich mittels dynamischer Beaufschlagung der Druckkammer mit Druck bestimmte Hubfrequenzen, sowie bestimmte Hub- amplituden des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt einzustellen. Diese gezielte Einstellbarkeit kann unerwünschte Schwingungen derart überlagern, dass ein ruhiges Gleiten des Führungswagens ermöglicht ist, und zugleich eine bestimmte Hubposition sicherstellen.
Die beiden Wagenabschnitte können einstückig miteinander verbunden sein. In diesem Fall sind zweckmäßigerweise verbleibende Stegbereiche, die die beiden Wagenabschnitt miteinander verbinden, derart dünnwandig und flexibel ausgeführt, dass eine Vergrößerung des Spaltes - beispielsweise mittels Druckbeaufschlagung - möglich ist. Das bedeutet, es können elastisch aus- lenkbare Wandabschnitte den oberen Wagenabschnitt mit dem unteren Wagenabschnitt einstückig verbinden. Vorzugsweise begrenzen diese auslenkbaren Wandabschnitte die Druckkammer. Das bedeutet, es sind keine separaten Dichtungen erforderlich, um die Druckkammer druckdicht zu halten.
In bekannter Weise ist der Führungswagen vorzugsweise im Querschnitt gesehen etwa U-förmig ausgebildet, wobei zwei Schenkel des Führungswagens über einen Boden miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen mit seinen beiden Schenkeln die Führungsschiene umgreift, und wobei der Boden mit der Druckkammer versehen ist, die an ihren beiden Längsseiten jeweils von einer in Längsrichtung des Führungswagens angeordneten Längsbohrung begrenzt ist, und wobei zwischen einer äußeren Begrenzungsfläche des Füh- rungswagens und jeder der beiden Längsbohrungen ein elastisch auslenkbarer Wandabschnitt ausgebildet ist. Fertigungstechnisch gesehen können die Längsbohrungen in dem ansich bekannten Führungswagen problemlos erstellt werden, sodass in erwünschter Weise elastisch auslenkbare Wandabschnitte hergestellt sind, um eine elastische Vergrößerung des Spaltes zu ermöglichen.
An der äußeren Kontur des Führungswagens kann eine zu der Längsbohrung parallel angeordnete und zur Umgebung des Führungswagens hin geöffnete Längsnut ausgebildet sein, die gemeinsam mit der Längsbohrung wenigstens einen Abschnitt des elastisch auslenkbaren Bandabschnitts begrenzt. Diese Längsnut ist also so positioniert, dass sie gemeinsam mit der Längsbohrung eine geeignete Elastizität der Wandabschnitte bereitstellt.
Eine alternative erfindungsgemäße Weiterbildung sieht vor, dass die beiden Wagenabschnitte durch voneinander getrennte Wagenteile gebildet sind, die mittels Dehnschrauben miteinander verbunden sind. In diesem Fall können diese beiden Wagenteile den Spalt begrenzen. Da in dieser Situation die Wandung der Druckkammer einen Übergangsbereich von dem unteren Wagenteil zu dem oberen Wagenteil aufweist, kann es zweckmäßig sein, zwischen den beiden Wagenteilen eine Dichtung, insbesondere einen O-Ring vorzusehen, der die Druckkammer gegenüber der Umgebung des Führungswagens abdichtet. So kann die Druckkammer mit Druck beaufschlagt werden, ohne dass dieser Druck in unerwünschter Weise in die Umgebung des Führungswagens gelangt.
Sofern die beiden Wagenabschnitte durch voneinander getrennte Wagenteile gebildet sind, sind nach einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung ein Führungswagen vorgesehen, der im Querschnitt gesehen etwa u-förmig aus- gebildet ist, wobei zwei Schenkel des Führungswagens über eine Boden miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen mit seinen beiden Schenkeln die Führungsschiene umgreift, und wobei der Boden mit der Druckkammer versehen ist, wobei das untere Wagenteil an seiner dem oberen Wagenteil zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg versehen ist, und wobei das obere Wagenteil mit einem Flansch zur Aufnahme der Dehnschrauben und mit einem Eingriffsabschnitt versehen ist, der in den von dem umlaufenden Steg begrenzten Aufnahmeabschnitt eingreift, wobei zwischen dem Steg und dem Eingriffsabschnitt ein vorzugsweise endloser O-Ring zum Abdichten der Druck- kammer gegenüber der Umgebung des Führungswagens angeordnet ist. Wenn nun die Druckkammer mit Druck beaufschlagt wird, findet in dem begrenzten Umfang bis zu etwa 100 μm eine Relativverschiebung der beiden Wagenteile zueinander statt, wobei diese Relativbewegung durch eine Dehnung der Dehnschrauben ermöglicht wird. Die Dehnschrauben bieten zudem den Vorteil einer hochgenauen Führung in Richtung des Hubes, sodass ein unerwünschtes Verkanten oder Klemmen ausgeschlossen ist. Die Schraubenachsen der Dehnschrauben sind vorzugsweise parallel zu der Hubrichtung des oberen Wagenteils gegenüber dem unteren Wagenteil angeordnet, um die erwünschte Relativverschiebung zwischen den beiden Wagenteilen unter Ausnutzung einer erwünschten Dehnung der Dehnschrauben zu ermöglichen.
Nachstehend wird die Erfindung anhand von drei in insgesamt sieben Figuren abgebildeten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 einen Querschnitt durch einen Führungswagen einer erfindungsgemäßen Linearführung,
Figur 2 eine Darstellung wie in Figur 1 , jedoch mit einem modifizieren Führungswagen,
Figur 3 eine Darstellung wie in den Figuren 1 und 2, jedoch mit einem weiteren erfindungemäßen Führungswagen, Figuren 4 - 6 unterschiedliche Darstellungen einer erfindungsgemäßen Linearführung, deren Führungswagen in Figur 1 schema- tisch abgebildet ist und
Figur 7 in schematischer Darstellung einen Regelkreis der erfindungsgemäßen Linearführung.
In den Figuren 4 bis 6 ist eine erfindungsgemäße Linearführung mit ihren we- sentlichen Komponanten abgebildet, während die erfindungsgemäßen besonderen Merkmale in den Figuren 1 bis 3 näher spezifiziert sind.
Die in den Figuren 4 bis 6 abgebildete erfindungsgemäße Linearführung weist einen Führungswagen 1 auf, der auf einer Führungsschiene 2 längsver- schieblich gelagert ist. Der Figur 5 ist zu entnehmen, dass der Führungswgen 1 über Rollen 3 an der Führungsschiene 2 wälzgelagert ist, wobei diese Rollen 3 in bekannter Weise in einem endlosen Rollenkanal 4 umlaufen. Figur 5 zeigt Lastabschnitte 5 und Rücklaufabschnitte 6 des endlosen Rollenkanals 4. In dem Lastabschnitt 5 wälzen die Rollen 3 an Laufbahnen 7, 8 des Führungswa- gens 1 sowie der Führungsschiene 2 ab.
Figur 6 zeigt in perspektivischer Darstellung den Führungswagen 1 ohne die Führungsschiene.
Figur 1 zeigt nun in schematischer Darstellung einen Schnitt durch den Führungswagen 1 entlang der Linie I - I aus Figur 4. Der Abbildung ist zu entnehmen, dass der Führungswagen 1 einen oberen Wagenabschnitt 9 und einen unteren Wagenabschnitt 10 aufweist, zwischen denen ein Spalt 11 ausgebildet ist. Der Spalt 11 erstreckt sich über wenigstens den größten Teil der tragenden Struktur des Führungswagens 1.
Der untere Wagenabschnitt 10 ist steif ausgebildet und einwandfrei an der Führungsschiene geführt, ohne dass es zu unerwünschten Relativverschiebungen zwischen dem unteren Wagenabschnitt 10 und der Führungsschiene kommen kann. Ebenso ist der obere Wagenabschnitt 9 ansich ebenfalls steif ausgeführt und unterliegt im Betrieb einer derartigen Linearführung keinen nennenswerten Verformungen. Der obere Wagenabschnitt 9 ist mittels elastisch auslenkbarer Wandabschnitte 12 einstückig mit dem unteren Wagenschnitt 10 verbunden. Diese elastisch auslenkbaren Wandabschnitte 12 sind einerseits begrenzt durch die äußere Kontur des Führungswagens 1 und andererseits durch Längsbohrungen 13, die in Längsrichtung des Führungswagens im Randbereich des Führungswagens 1 angeordnet sind. Der obere Wagenabschnitt 9 ist zudem an seinen Längsseiten jeweils mit einer nach außen hin geöffneten Nut 14 versehen, sodass die elastischen Wandabschnitte 12 begrenzt sind durch die Längsseite des Führungswagens 1 , sowie die Nut 14 und ferner durch die Längsbohrung 13. Die Längsbohrung 13 begrenzt zugleich den Spalt 11 an dessen beiden Längsseiten. Der Spalt 11 mündet demzufolge in diese Längsbohrungen 13 ein.
Der Führungswagen 1 ist im Querschnitt gesehen etwa u-förmig ausgebildet. Zwei Schenkel 15 des Führungswagens 1 sind über einen Boden 16 miteinan- der verbunden, wobei der Führungswagen 1 mit seinen beiden Schenkeln 15 die Führungsschiene umgreift. Der Boden 16 ist vorliegend mit dem bereits beschriebenen Spalt 11 versehen.
Der Spalt 11 ist als Druckkammer 17 ausgebildet, wobei in dieser Druckkam- mer 17 Hydraulikflüssigkeit 18 eingefüllt ist. Über eine Leistungs-, Steuer- und
Regeleinrichtung 19 - die in der Figur 1 lediglich angedeutet ist - kann die
Hydraulikflüssigkeit 18 in der Druckkammer 17 mit Druck beaufschlagt werden.
Unter einer hinreichenden Beaufschlagung mit Druck weitet sich der Spalt 11 auf, so dass der obere Wagenabschnitt 9 gegenüber dem unteren Wagenab- schnitt 10 einen Hub verrichtet, aber weg der Führungsschiene nach oben.
Demzufolge ist in dem Spalt 11 eine Hubvorrichtung 20 geschaffen, mittels der
Hübe bis ca. 100 μm einstellbar sind. In den gegebenen Grenzen kann jeder gewünschte Hub als fixe Position des oberen Wagenabschnitts 9 gegenüber dem unteren Wagenabschnitt 10 eingestellt werden, wobei lediglich eine entsprechende Druckbeaufschlagung erfolgt.
Unter der Druckbeaufschlagung der Druckkammer 11 mit Druck erfolgt eine Veränderung des Volumens der Druckkammer 11. Diese Vergrößerung der Druckkammer 11 wird möglich, weil die die Druckkammer 11 begrenzenden Wandabschnitte 12 elastisch auslenkbar sind. Insbesondere die gemäß der Figur 1 vorgesehene winkelförmige Ausbildung des elastischen Wandab- Schnitts 12 ermöglicht eine flexible elastische Auslenkung.
Während die zuvor beschriebene erfindungemäße Wirkungsweise einen Aspekt der Erfindung beschreibt, der geeignet ist, beispielsweise Fehlstellungen des oberen Wagenabschnitts 9 gegenüber einem anzuschließenden Maschi- nenteil an einem Anschluss 21 des Führungswagens 1 auszugleichen, kann ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung darin gesehen werden, dass die mit Hydraulikflüssigkeit 18 gefüllte Druckkammer 17 eine Dämpfungseinrichtung 22 bildet, die Schwingungen dämpft. Diese Dämpfungseinrichtung 22 ist geeignet, die Übertragung von Schwingungen zwischen dem oberen Wa- genabschnitt 9 und dem unteren Wagenabschnitt 10 im Wesentlichen Umfang zu unterbinden. Neben einer statischen Dämpfung eignet sich die hier beschriebene erfindungsgemäße Linearführung insbesondere für eine dynamische Schwingungsdämpfung.
Zu diesem Zweck kann über die Leistungs-, Steuer- und Regeleinheit 19 beispielsweise bei Vorliegen einer unerwünschten dynamischen Schwingung zwischen dem oberen Wagenabschnitt 9 und dem unteren Wagenabschnitt 10 eine gezielte pulsierende Druckbeaufschlagung in einer Frequenz erfolgen, die die unerwünschte Schwingung derart überlagert, dass der obere Wagenab- schnitt 9 ohne Vibrationen laufen kann. Die Hubvorrichtung 20 bildet mit der Leistungs-, Steuer- und Regeleinheit 19 einen Aktor 23. Dieser Aktor ermöglicht eine dynamische Schwingungsdämpfung bei dieser erfindungsgemäßen Linearführung.
Mit dem Aktor 23 ist eine dynamische Beaufschlagung der Druckkammer 11 mit Druck derart möglich, dass bestimmte Hubfrequenzen sowie bestimmte Hub- amplituden des oberen Wagenabschnitts 9 einstellbar sind.
Der Führungswagen 1 kann gemäß Figur 2 dahingehend modifiziert werden, dass etwa in einer Längsmittelebene des Führungswagens 1 ein Stützelement
24 in dem Spalt 11 angeordnet ist, um ein Abstützten des oberen Wagenab- Schnitts 9 gegenüber dem unteren Wagenabschnitt 10 zu ermöglichen, und somit ein unerwünschtes Durchbiegen zu verhindern.
Der in der Figur 3 abgebildete erfindungsgemäße Führungswagen unterscheidet sich von dem aus der Figur 1 im Wesentlichen dadurch, dass der obere Wagenabschnitt 9 sowie der untere Wagenabschnitt 10 durch getrennte Wagenteile 24, 25 gebildet sind. Die damit verbundenen konstruktiven Maßnahmen werden nachstehend näher erläutert. Das unter Wagenteil 25 ist an seiner dem oberen Wagenteil 24 zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg 26 versehen. Dieser Steg 26 ist mit einer Vielzahl von Gewindebohrungen 27 zur Aufnahme von Dehnschrauben 28 versehen. Die Innenwandung des Stegs 26 dient als Dichtungsfläche, wie nachstehend näher erläutert wird.
Das obere Wagenteil 24 ist mit einem umlaufenden Flansch 29 versehen, der eine Vielzahl von Bohrungen zur Aufnahme der Dehnschrauben 28 aufweist. Der Flansch 29 liegt auf dem umlaufenden Steg 26 auf. Ferner ist das obere Wagenteil 24 mit einem Eingriffsabschnitt 30 versehen, der in einen von dem umlaufenden Steg 26 begrenzten Aufnahmeabschnitt des unteren Wagenteils
25 eingreift. Der Eingriffsabschnitt 30 ist mit einer umlaufenden Nut 31 versehen in die ein O-Ring 32 eingesetzt ist. Wenn die beiden Wagenteile 24, 25 miteinander verbunden sind, ist der O-Ring 32 an Dichtungsflächen des umlaufenden Steges und der Nut 31 angelegt, so dass die Druckkammer 17 einwandfrei zur Umgebung des Führungswagens 1 abgedichtet ist. Unter Beaufschlagung der Druckkammer 17 mit Druck vergrößert sich der Spalt 17, wobei die Dehnschrauben 28 entlang ihrer Schraubenachsen gedehnt werden. Bei geringen Hubbewegungen von etwa 100 μm kann die hier beschrie- bene Dichtung mittels eines O-Ringes genügen, da dieser O-Ring vorwiegend einer lediglich statischen Belastung ausgesetzt ist. Selbstverständlich sind alternative Dichtungen möglich.
Da der O-Ring umlaufend ausgebildet ist, sind keine weiteren Dichtungen er- forderlich, um den Druckraum hinreichend druckfest zu halten.
Figur 7 zeigt in schematischer Abbildung den Aktor 23, und insbesondere die Leistungs-, Steuer- und Regeleinrichtung 19. An dem Führungswagen 1 ist eine Masse 33 befestigt. An dieser Masse 33 ist ein Signalgeber 34 angeord- net, der an der Masse 33 auftretende Schwingungen an einen Regler 35 überträgt. Der Regler 35 ist an ein Hydraulikaggregat 36 angeschlossen, über das die in dem Spalt 11 des Führungswagens 1 vorgesehene Hydraulikflüssigkeit mit Druck beaufschlagt werden kann. Der Führungswagen 1 ansich wirkt hier als Dämpfer, der in das schwingende Bauteil - hier die Masse 33 - eine um 90° phasenverschobene „Gegenschwingung" einleitet. Die Schwingung der Masse 33 und die korrespondierende „Gegenschwingung" heben sich dadurch auf. Diese aktive Dämpfungseinrichtung 22 kann - im Gegensatz zu den passiven Dämpfern - über einen großen Frequenzbereich kompensieren, während der bekannte passive Dämpfer nur für eine konkrete Frequenz optimal arbeitet. Die Integration des dynamischen Dämpfers in den Führungswagen 1 ermöglicht eine äußerst platzsparende Bauweise. Bezugszahlenliste
1 Führungswagen 27 Gewindebohrung
2 Führungsschiene 28 Dehnschraube
3 Rolle 29 Flansch
4 Rollenkanal 30 Eingriffsabschnitt
5 Lastabschnitt 31 Nut
6 Rücklaufabschnitt 32 O-Ring
7 Laufbahn 33 Masse
8 Laufbahn 34 Signalgeber
9 oberer Wagenabschnitt 35 Regler
10 unterer Wagenabschnitt 36 Hydraulikaggregat
11 Spalt
12 Wandabschnitt
13 Längsbohrung
14 Nut
15 Schenkel
16 Boden
17 Druckkammer
18 Hydraulikflüssigkeit
19 Leistungs-, Steuer- und Regeleinrichtung
20 Hubvorrichtung
21 Anschluss
22 Dämpfungseinrichtung
23 Aktor
24 oberer Wagenteil
25 unterer Wagenteil
26 umlaufender Steg

Claims

Patentansprüche
1. Linearführung, mit einem auf einer Führungsschiene (2) längsver- schieblich angeordneten Führungswagen (1 ), der einen Anschluss (21 ) zum Aufspannen eines Maschinenteils, beispielsweise Werkzeugträger oder Maschinentisch, und wenigstens eine, von dem Anschluss (21 ) beabstandet angeordnete Lagerflächen zum Lagern des Führungswagens (1 ) an der Führungsschiene (2) aufweist, wobei der Führungswagen (1 ) einen den Anschluss (21 ) aufweisenden oberen Wagenabschnitt (9) sowie einen die wenigstens eine Lagerfläche aufweisenden unteren
Wagenabschnitt (10) aufweist, und wobei zwischen dem oberen Wagenabschnitt (9) und dem unteren Wagenabschnitt (10) ein Spalt (11 ) vorgesehen ist, und wobei begrenzte Relativverschiebungen zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) ohne Relativverschiebungen zwi- sehen dem unteren Wagenabschnitt (10) und der Führungsschiene (2) vorgesehen sind, und mit einem zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) wirksam angeordneten Schwingungsdämpfer zum Dämpfen von Schwingungen, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Spalt (11 ) eine Hubvorrichtung (20) für einen variablen Hub des oberen Wagenab- Schnittes (9) gegenüber dem unteren Wagenabschnitt (10) vorgesehen ist, wobei die Hubvorrichtung (20) als Schwingungsdämpfer (22) verwendet wird.
2. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der Spalt (11 ) als mit Druck beaufschlagbare, vorzugsweise volumenveränderliche Druckkammer
(17) ausgebildet ist.
3. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der Spalt (11 ) als Druckkammer (17) ausgebildet ist, wobei mittels dynamischer Beaufschlagung der Druckkammer (17) mit Druck bestimmte Hubfrequenzen sowie bestimmte Hubamplituden des oberen Wagenabschnittes (9) einstellbar sind.
4. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der obere Wagenabschnitt (9) mit dem unteren Wagenabschnitt (10) einstückig verbunden ist.
5. Linearführung nach Anspruch 4, bei der der obere Wagenabschnitt (9) mittels elastisch auslenkbarer Wandabschnitte (12) einstückig mit dem unteren Wagenabschnitt (10) verbunden ist.
6. Linearführung nach Anspruch 5, bei der die auslenkbaren Wandabschnitte (12) die Druckkammer (17) begrenzen.
7. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der obere Wagenabschnitt (9) und der untere Wagenabschnitt (10) durch voneinander getrennte Wagenteile (24, 25) gebildet sind, die vorzugsweise mittels Dehnschrauben (28) miteinander verbunden sind.
8. Linearführung nach den Ansprüchen 2 und 7, bei der zur Abdichtung der Druckkammer (17) zwischen den beiden Wagenteilen (24, 25) eine Dichtung, insbesondere ein O-Ring (32) angeordnet ist.
9. Linearführung nach Anspruch 2, bei der der Führungswagen (1 ) im Querschnitt gesehen etwa u-förmig gebildet ist, wobei zwei Schenkel (15) des Führungswagens (1 ) über einen Boden (16) miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen (1 ) mit seinen beiden Schenkeln (15) die Führungsschiene (2) umgreift, wobei der Boden (16) mit der Druckkammer (17) versehen ist, die an ihren beiden Längsseiten jeweils von einer in Längsrichtung des Führungswagens (1 ) angeordneten Längsbohrung (13) begrenzt ist, wobei zwischen einer äußeren Begrenzungsfläche des Führungswagens (1 ) und jeder der beiden Längsbohrungen (13) ein elastisch auslenkbarer Wandabschnitt (12) ausgebildet ist.
10. Linearführung nach Anspruch 9, bei der eine zu der Längsbohrung (13) parallel angeordnete und zur Umgebung des Führungswagens (1 ) hin geöffnete Längsnut (14) ausgebildet ist, die gemeinsam mit der Längsbohrung (13) wenigstens einen Abschnitt des elastisch auslenkbaren Wandabschnitts (12) begrenzt.
11. Linearführung nach Anspruch 2, bei der der Führungswagen (1 ) im Querschnitt gesehen etwa u-förmig gebildet ist, wobei zwei Schenkel (15) des Führungswagens (1 ) über einen Boden (16) miteinander ver- bunden sind, wobei der Führungswagen (1 ) mit seinen beiden Schenkeln (15) die Führungsschiene (2) umgreift, und wobei der Boden (16) mit der Druckkammer (17) versehen ist, wobei das untere Wagenteil (10) an seiner dem oberen Wagenteil (9) zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg (26) versehen ist, und wobei das obere Wagenteil (24) mit einem Flansch (29) zur Aufnahme der Dehnschrauben (28) und mit einem Eingriffsabschnitt (30) versehen ist, der in den von dem umlaufenden Steg (26) begrenzten Aufnahmeabschnitt eingreift, wobei zwischen dem Steg (26) und dem Eingriffsabschnitt ein vorzugsweise endloser O-Ring (32) zum Abdichten der Druckkammer (17) gegenüber der Umgebung des Führungswagens (1 ) angeordnet ist.
12. Linearführung nach den Ansprüchen 2 und 7, bei der die Schraubenachsen der Dehnschrauben (28) parallel zu der Hubrichtung des oberen Wagenteils (24) gegenüber dem unteren Wagenteil (25) angeordnet sind.
PCT/EP2008/066505 2007-12-06 2008-12-01 Linearführung mit schwingungsdämpfer Ceased WO2009071502A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007059156.1A DE102007059156B4 (de) 2007-12-06 2007-12-06 Linearführung mit Schwingungsdämpfer
DE102007059156.1 2007-12-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009071502A1 true WO2009071502A1 (de) 2009-06-11

Family

ID=40336431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/066505 Ceased WO2009071502A1 (de) 2007-12-06 2008-12-01 Linearführung mit schwingungsdämpfer

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007059156B4 (de)
WO (1) WO2009071502A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140137776A1 (en) * 2011-07-12 2014-05-22 Micro-Controle-Spectra Physics Device for the translational guidance of a load and method of creating such a device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010020032A1 (de) * 2010-05-11 2011-11-17 J. Eberspächer GmbH & Co. KG Schwingungstilger
DE102012205762A1 (de) 2012-04-10 2013-10-10 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Linearführung mit einem Schwingungsdämpfer
DE102013225328A1 (de) * 2013-12-10 2015-06-11 Aktiebolaget Skf Linearlager mit Schwingungsdämpfung
CN104006081B (zh) * 2014-06-11 2016-06-01 上海雄联精密机械配件有限公司 一种直线导轨副的高防尘性能结构
DE102019111000A1 (de) 2019-04-29 2020-10-29 Airbus Operations Gmbh Luftfahrzeugsitzbefestigungsbaugruppe, damit versehene Sitzanordnung und Luftfahrzeugkabine sowie Luftfahrzeug

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4304950A1 (de) * 1993-02-18 1994-08-25 Schaeffler Waelzlager Kg Führungswagen für eine Linearführung
CH684434A5 (de) * 1991-03-06 1994-09-15 Schneeberger Ag Maschf Dämpfungsvorrichtung für gegenseitig geführt bewegbare Maschinenteile.

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0560133A (ja) 1991-08-23 1993-03-09 Nippon Thompson Co Ltd 防振性を有する直動案内摺動ユニツト

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH684434A5 (de) * 1991-03-06 1994-09-15 Schneeberger Ag Maschf Dämpfungsvorrichtung für gegenseitig geführt bewegbare Maschinenteile.
DE4304950A1 (de) * 1993-02-18 1994-08-25 Schaeffler Waelzlager Kg Führungswagen für eine Linearführung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140137776A1 (en) * 2011-07-12 2014-05-22 Micro-Controle-Spectra Physics Device for the translational guidance of a load and method of creating such a device
US9080717B2 (en) * 2011-07-12 2015-07-14 Micro-Controle-Spectra Physics Device for the translational guidance of a load and method of creating such a device

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007059156A1 (de) 2009-06-10
DE102007059156B4 (de) 2015-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005053244B4 (de) Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung
DE102007059156B4 (de) Linearführung mit Schwingungsdämpfer
EP2615325A1 (de) Aktives Lager
EP3117120B1 (de) Hydrobuchsenanordnung
DE202010008979U1 (de) Einrichtung zur Lagekorrektur von Elementen einer Werkzeugmaschine und Kompensationselement dafür
EP0646223B1 (de) Führung eines objekts auf einem schienentisch mittels einer gruppe von rollenden schienenlaufelementen
DE102005053243B4 (de) Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung
DE69106165T2 (de) Führungsvorrichtung.
DE10351243B4 (de) Adaptiver Schwingungstilger
DE102013010595A1 (de) Flüssigkeitssäulendämpfungssystem
EP1803964B1 (de) Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit
DE3916539C2 (de)
EP2745028A1 (de) Temperaturunabhängiger schwingungstilger
EP3158217A1 (de) Hydrolager sowie kraftfahrzeug mit einem derartigen hydrolager
EP3334953B1 (de) Vorrichtung zur mechanischen kopplung wenigstens eines schwingend gelagerten körpers
EP3158218B1 (de) Hydrolager sowie kraftfahrzeug mit einem derartigen hydrolager
EP2620302B1 (de) Hydraulisch dämpfendes Lager für ein Fahrwerk eines Fahrzeuges, insbesondere eines Kraftfahrzeugs, sowie Verfahren zur Veränderung der Position eines Fahrwerklagers
DE102008055535B4 (de) Aktives, hydraulisch dämpfendes Lager, insbesondere Motorlager
DE102014223403A1 (de) Hydrolager sowie Kraftfahrzeug mit einem derartigen Hydrolager
DE102012208713A1 (de) Träger mit einstellbarer Biegesteifigkeit
EP3653895B1 (de) Aerostatisches lager
DE102004011896B4 (de) Schwingungsisolator
EP2080931A2 (de) Aktiv gedämpfte Lageranordnung
EP3800369A1 (de) Hydrolager
DE102006040932A1 (de) Hydraulisch gedämpftes Aggregatlager

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08856480

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08856480

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1