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WO2009069509A1 - 加工対象物研削方法 - Google Patents

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Abstract

加工対象物を確実に研削することができる加工対象物研削方法を提供する。加工対象物（１）の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射することにより、加工対象物（１）の外縁から所定の距離内側に外縁に沿って設定された改質領域形成ラインに沿って、加工対象物（１）に改質領域（７）を形成し、加工対象物（１）の裏面（１２）を研削する。この結果、この改質領域（７）又は改質領域（７）から延びる亀裂（Ｃ１）によって、加工対象物（１）の研削に起因して外縁部（２５）で生じた亀裂が内側に伸展するのを抑制することができ、加工対象物（１）の割れを防止することが可能である。
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