WO2005083720A1

WO2005083720A1 - 積層セラミック電子部品用の導電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法

Info

Publication number: WO2005083720A1
Application number: PCT/JP2005/002882
Authority: WO
Inventors: Shigeki Satou; Takeshi Nomura
Original assignee: TDK Corp
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Filing date: 2005-02-23
Publication date: 2005-09-09
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Description

明細書

積層セラミック電子部品用の導電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、積層セラミック電子部品用の導電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、電極層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができる導電体ペーストおよび積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] 近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。

[0003] 積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、プチラール樹脂などのバインダと、フタノレ酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルェチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製する。

[0004] 次いで、誘電体ペーストを、エタストルージョンコーターやグラビアコーターなどを用レ、て、ポリエチレンテレフタレート（PET)やポリプロピレン（PP)などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。

[0005] さらに、エッケノレなどの導電体粉末とバインダを、タービネオールなどの溶剤に溶解して、導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。

[0006] 電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シート力剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。

[0007] 最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。

[0008] 電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを 3 μ mあるいは 2 μ m以下にすることが要求され、 300以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されてレ、る。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0009] し力、しながら、セラミックグリーンシート用のバインダとして、広く用いられているプチラール樹脂を用いたセラミックグリーンシート上に、導電体ペースト用の溶剤として、最も一般的に用いられているターピネオールを用いて、調製された電極層用の導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合には、導電体ペースト中のターピネオールによって、セラミックグリーンシートのバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートにピンホールゃクラックが発生し、ショート不良の原因になるという問題があった。

[0010] 力かる問題を解決するため、導電体ペーストの溶剤として、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤を用いることが提案されているが、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、導電体ペーストに用いられるバインダ成分も溶解しないため、従来用いられているタービネオールなどの溶剤を、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤によつて完全に置換することができず、したがって、導電体ペースト中の溶剤力依然として、セラミックグリーンシートのバインダであるプチラール樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを防止することが困難であり、また、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、タービネオールに比して、粘度が低いため、導電体ペーストの粘度制御が困難になるという問題もあった。

[0011] また、特開平 5—325633公報、特開平 7—21833号公報および特開平 7—21832 号公報などは、ターピネオールに代えて、ジヒドロタ一ビネオールなどの水素添加ターピネオールや、ジヒドロターピネオールアセテートなどのテルペン系溶剤を用いた導電体ペーストを提案している力ジヒドロタ一ビネオールなどの水素添加ターピネオールや、ジヒドロターピネオールアセテートなどのテルペン系溶剤は、依然として、セラミックグリーンシートのバインダであるプチラール樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを防止することが困難であるという問題があった。

[0012] さらに、特開 2002-270456号公報は、プチラール系樹脂をバインダとして含むセラミックグリーンシート上に、プチラール系樹脂をほとんど溶解しないイソボニルァセテートを、溶剤として含む導電体ペーストを、印刷して、電極層を形成した積層セラミツク電子部品を開示し、導電体ペーストのバインダとして、ェチルセルロースを用いることが好ましい旨を開示している力バインダとして、ェチルセルロースを含み、溶剤として、イソボニルアセテートを導電体ペーストは、その粘度が低ぐ流動性が高いため、セラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、印刷する際に、スクリーン製版上から、導電体ペーストが染み出し、所望のように、電極層を印刷することができないという問題があり、また、印刷した電極層のパターンがにじみやすいという問題があった。

[0013] したがって、本発明は、電極層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、し力、も、印刷性に優れた導電体ペーストを提供することを目的とするものである。

[0014] 本発明の別の目的は、積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、所望のように、電極層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0015] 本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロース

L H

とを、 X： ( 1_X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MWおよび Xは、 X * MW

L H

+ ( 1-X) * MW 力 S 14. 5万なレ、し 21. 5万となるように選ばれる。）と、イソボニルァ

L H

セテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび卜カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を用いて、導電体ペーストを調製した場合には、印刷に適した粘度を有する導電体ペーストを調製することができるだけでなぐ所望のように、導電体ペーストのバインダを溶剤に溶解させることができ、バインダとして、ブチラ一ル系榭脂を含むセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成しても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがなぐしたがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを確実に防止し得ることを見出した。

[0016] 本発明はかかる知見に基づくものであり、したがって、本発明の前記目的は、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロース

L Η

とを、 X： ( 1_Χ)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MWおよび Xは、 X * MW

L H

セテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ一ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルアセテート、 I- ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むことを特徴とする導電体ペーストによって達成される。

[0017] 本発明の前記目的はまた、バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックダリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 M

L

W のェチルセルロースとを、 X ( 1一 X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 M W および Xは、 X * MW + (1_X) * MW 力 4. 5万ないし 21. 5万となるように選

H L H

ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群力選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、所定のパターンで、印刷して、電極層を形成することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ュニットの製造方法によって達成される。

[0018] 本発明によれば、印刷に適した粘度を有する導電体ペーストを調製することができ、所望のように、電極層を形成することが可能になるだけでなぐバインダとして、プチラール系樹脂を含むきわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によつて、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがないから、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することがなぐしたがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを確実に防止することが可能になる。

[0019] 本発明において、好ましくは、 MW、 MW および Xが、 X * MW + (1一 X) * MW

L H L

力 5. 5万なレヽし 20. 5万となるように選ば、れる。

H

[0020] 本発明において、バインダとして、セラミックグリーンシートに含まれるプチラール系樹脂の重合度が 1000以上であることが好ましい。

[0021] 本発明において、バインダとして、プチラール系樹脂のプチラール化度が 64モル

%以上、 78モル％以下であることが好ましい。

[0022] 本発明の好ましい実施態様においては、前記電極層の形成に先立って、あるいは

、前記電極層を形成し、乾燥した後に、さらに、前記セラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセル口

L H

ースとを、 X： (1_X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW および Xは、 X *

L H

MW + (1-X) * MW 力 l l万ないし 18万となるように選ばれる。）と、イソボニルァ

L H

セテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ一ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルアセテート、 I- ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、前記電極層のパターンと相補的なパターンで、印刷して、スぺーサ層が形成される。

[0023] 本発明の好ましい実施態様によれば、セラミックグリーンシート上に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層が形成されるから、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、したがって、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。

[0024] さらに、スぺーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる溶剤として、これまで用いられて来たタービネオールとケロシンの混合溶剤、ジヒドロターピネオール、タ一ビネオールなどは、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれているプチラール樹脂を溶解するため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生し、さらには、ひびや皺が生じたスぺーサ層の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、スぺーサ層が欠落した部分にボイドが生じるという問題があつたが、本発明の好ましい実施態様によれば、スぺーサ層を形成するために用いる誘電体ペーストは、重量平均分子量 M Wのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1-X

L H

)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW 、 MW および Xは、 X * MW

L H L + (1-X) *

MW 力 l l万ないし 18万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ

H

ーピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ一ターピニノレアセテート、 I- ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_メンチルアセテート、 1_ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでおり、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルェ一テル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 Iーメンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれているプチラール榭脂をほとんど溶解しないため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、したがつて、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品にボイドが発生することを、確実に防止することが可能になる。

[0025] さらに、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェ

L Η

チルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW

L、 MW およ Η

び Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 Sl l万ないし 18万となるように選ばれる。）と、ィ

L H

ソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 α—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルァセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、セラミックグリーンシート上に、電極層のパターンと相補的なパターンで、誘電体ペーストを印刷して、所望のように、スぺーサ層を形成することが可能になる。

[0026] また、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、電極層用の導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合には、導電体ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ、その一方で、セラミックグリーンシート中に、導電体ペーストが染み込むという不具合があり、短絡不良の原因になるという問題があるため、電極層を、別の支持シート上に形成し、乾燥後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着することが望ましいことが、本発明者らの研究によつて判明しているが、このように、電極層を、別の支持シート上に形成する場合には、電極層から、支持シートを剥離しやすくするため、支持シートの表面に、セラミックダリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成することが好ましい。このように、セラミックグリーンシートと同様な組成を有する剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が、プチラール樹脂をバインダとして含み、導電体ペーストが、ターピネオ一ルを溶剤として含んでいるときは、剥離層に含まれたバインダカ導電体ペーストに含まれた溶剤によって、溶解され、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層と電極層との界面に空隙が生じたり、あるいは、電極層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生するという問題があった。さらに、電極層の表面にひびや皺が生じると、その部分は、欠落しやすいため、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、電極層が欠落した部分にボイドが生じるという問題があった。

し力、しながら、本発明によれば、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量

L

平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここ

H

に、 MW、MW および Xは、 X * MW + (1_X) * MW カ 14. 5万ないし 21. 5万

L H L H

となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピエルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルァセテ一ト、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび卜カルビルァセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを用いて、電極層が形成され、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニノレメチルエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび卜カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、ノくインダとして含まれるブチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層と電極層との界面に空隙が生じたり、あるいは、電極層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品に不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

発明の効果 [0028] 本発明によれば、電極層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、しかも、印刷性に優れた導電体ペーストを提供することが可能になる。

[0029] また、本発明によれば、積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、所望のように、電極層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することが可能になる。

発明を実施するための最良の形態

[0030] 本発明の好ましい実施態様においては、まず、プチラール系樹脂をバインダとして含むセラミックグリーンシート用の誘電体ペーストが調製され、エタストルージョンコーターやワイヤーバーコ一ターなどを用いて、長尺状の支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。

セラミックグリーンシート形成用の誘電体ペーストは、通常、誘電体材料 (セラミック粉末)と、有機溶剤中にプチラール系樹脂を溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。

[0031] プチラール系樹脂の重合度は 1000以上であることが好ましい。

[0032] また、ブチラール系樹脂のブチラール化度は、 64モル％以上、 78モル％以下であることが好ましい。

有機ビヒクルに用いられる有機溶剤は、とくに限定されるものではなぐブチルカルビトール、アセトン、トルエン、酢酸ェチルなどの有機溶剤が用いられる。

誘電体材料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いること力 Sできる。誘電体材料は、通常、平均粒子径が約 0. l x mないし約 3. O x m程度の粉末として用いられる。誘電体材料の粒径は、セラミックグリーンシートの厚さより小さいことが好ましい。

誘電体ペースト中の各成分の含有量は、とくに限定されるものではなぐたとえば、誘電体材料 100重量部に対して、約 2. 5重量部ないし約 10重量部のプチラール系樹脂と、約 50重量部ないし約 320重量部の溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製すること力 Sできる。誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、帯電助剤、離型剤、ぬれ剤などの添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約 10重量％以下にすることが望ましい。

[0033] 誘電体ペーストを塗布する支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフイルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、ァノレキド樹月旨などがコーティングされてレ、てもよレ、。

[0034] 次いで、塗膜が、たとえば、約 50°Cないし約 100°Cの温度で、約 1分ないし約 20分にわたつて、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。

[0035] 乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは 3 a m以下であることが好ましぐさらに好ましくは、 1. 5 x m以下である。

[0036] 次いで、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート上に、電極層用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、乾燥されて、電極層が形成される。

[0037] 電極層は、約 0. 1 μ mないし約 5 μ mの厚さに形成されることが好ましぐより好ましくは、約 0· 1 /1 111なレヽし約1. 5 mである。

電極層用の導電体ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、溶剤中にェチルセルロースを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、調製される。

[0038] 本実施態様において、導電体ペーストは、重量平均分子量 MWのェチルセル口

L

ースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含む

H

バインダ（ここに、 MW、 MW および Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 S14. 5万な

L H L H

レヽし 21. 5万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチノレエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよびトカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

[0039] イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテノレ、ひ—ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することを効果的に防止することができ、したがつて、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックダリーンシートにピンホールやクラックが発生することを効果的に防止することが可能になる

[0040] さらに、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェ

L H

チルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW およ

L H

び Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 S14. 5万なレ、し 21. 5万となるように選ばれる。

L H

)と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I—メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、セラミックダリーンシート上に、所定のパターンで、電極層を形成することが可能になる。

[0041] 好ましくは、 MW、 MW および Xが、 X * MW + (1_X) * MW 力 15· 5万ないし

L H L H

20. 5万となるように選ばれる。

導電体ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、 Ni、 Ni合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。導電体材料の形状は、とくに限定されるものではなぐ球状でも、鱗片状でも、あるいは、これらの形状のものが混合されていてもよレ、。また、導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約 0 . 1 μ mなレヽし糸勺 2 μ m、好ましく fま、糸勺 0. 2 μ mなレヽし約 1 μ mの導電十生材料力 S用レヽられる。

導電体ペーストは、導電体材料 100重量部に対して、好ましくは、約 2. 5重量部なレ、し約 20重量部のバインダを含んでいる。溶剤の含有量は、導電体ペースト全体に対して、好ましくは、約 20重量％ないし約 55重量％である。

接着性を改善するために、導電体ペーストが、可塑剤を含んでいることが好ましい。導電体ペーストに含まれる可塑剤は、とくに限定されるものではなぐたとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。導電体ペーストは、バインダ 100重量部に対して、好ましくは、約 10重量部ないし約 300重量部、さらに好ましくは、約 10重量部ないし約 200重量部の可塑剤を含んでいる。可塑剤の添加量が多すぎると、電極層の強度が著しく低下する傾向があり、好ましくない。

導電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、副成分化合物などから選択される添加物が含有されてレ、てもよレ、。

[0042] 本発明において、好ましくは、電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量

L

MW のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、

H L

MW および Xは、 X * MW + (1_X) * MW 力 l万ないし 18万となるように選ば

H L H

れる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチノレエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I 一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むスぺーサ層用の誘電体ペーストが、セラミックグリーンシートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷されて、スぺーサ層が形成される。

[0043] このように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。 [0044] また、上述のように、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピエルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 I一メントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび卜カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるブチラール樹脂をほとんど溶解しないから、スぺーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる溶剤によって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することが可能になる。

[0045] さらに、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェ

L Η

L、 MW およ Η

L H

ソボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、 α—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルァセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むスぺーサ層用の誘電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、セラミツクグリーンシート上に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することが可能になる。

本実施態様においては、スぺーサ層用の誘電体ペーストは、異なるバインダおよび溶剤を用いる点を除き、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストと同様にして、調製される。

[0046] 次いで、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層が乾燥されて、支持シート上に、セラミックグリーンシートと、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層が積層された積層体ユニットが作製される。

[0047] 積層セラミックコンデンサを作製するにあたっては、積層体ユニットのセラミックダリーンシートから、支持シートが剥離され、所定のサイズに裁断されて、所定の数の積層体ユニットが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ュニット上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

[0048] こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

[0049] 次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0050] 本実施態様によれば、バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW の

L H

ェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW お

L H

よび Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 5万なレ、し 21. 5万となるように選ばれる

L H

。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルェ一テル、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 I—メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、所定のパターンで、印刷して、電極層を形成するように構成されており、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニノレメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロ力ルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミツクグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを効果的に防止して、積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサに、ショート不良が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0051] さらに、本実施態様によれば、バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 Μ

L

W のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 Μ W および Xは、 X * MW + (1— X) * MW 力 l万ないし 18万となるように選ばれる

H L H

。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルェ一テル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 Iーメンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むスぺーサ層用の誘電体ペーストを、電極層のバターンと相補的なパターンで、印刷して、スぺーサ層を形成するように構成されており、イソボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ

、ひ—ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルァセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合においても、誘電体ペーストに含まれた溶剤によつて、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されて、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スぺーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

[0052] 本発明の別の好ましい実施態様においては、セラミックグリーンシートを形成するために用いた長尺状の支持シートとは別の第二の支持シートが用意され、長尺状の第二の支持シートの表面に、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含み、セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同じバインダを含む誘電体ペーストが、ワイヤーバーコ一ターなどと用いて、塗布され、乾燥されて、剥離層が形成される。

[0053] 第二の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコ一ティングされてレ、てもよレ、。

[0054] 剥離層の厚さは、電極層の厚さ以下であることが好ましぐ好ましくは、電極層の厚さの約 60%以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約 30%以下である。

[0055] 剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、上述したのと同様にして、調製された電極層用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、乾燥されて、電極層が形成される。

[0056] 電極層は、約 0. 1 μ mないし約 5 μ mの厚さに形成されることが好ましぐより好ましくは、糸勺 0. なレヽし糸勺 1. 5 x mである。

[0057] 本実施態様において、導電体ペーストは、重量平均分子量 MWのェチルセル口

L

H

バインダ（ここに、 MW 、 MWおよび Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 S14. 5万な

L H L H

レヽし 21. 5万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチノレエーテル、ターピエルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 I-ジヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一力ルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

[0058] イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピエルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテノレ、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層と電極層との界面に空隙が生じたり、あるいは、電極層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0059] さらに、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェ

L Η

チルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW 、 MW およ

L Η

L H

)と、イソボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテル、ひ—ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 I—メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、剥離層上に、所定のパターンで、電極層を形成することが可能になる。

[0060] 好ましくは、 MW 、 MW および Xが、 X * MW + (1_X) * MW 力 Si 5. 5万ないし

L H L H

20. 5万となるように選ばれる。

[0061] 本発明において、好ましくは、電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量

L

MW のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW 、

H L

MW および Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 l l万ないし 18万となるように選ば

H L H

れる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチノレエーテル、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 I 一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含み、上述したのと同様に、調製されたスぺーサ層用の誘電体ペーストが、剥離層の表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷されて、スぺーサ層が形成される。

[0062] このように、剥離層の表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていない剥離層の表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックダリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミツクコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。

[0063] また、上述のように、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 I- メントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるブチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0064] さらに、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェ

L H

ソボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルァセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、剥離層上に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することが可能になる。

[0065] さらに、長尺状の第三の支持シートが用意され、接着剤溶液が、バーコータ、ェクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、第三の支持シートの表面に塗布され、乾燥されて、接着層が形成される。

[0066] 好ましくは、接着剤溶液は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体べ一ストに含まれるバインダと同系のバインダと、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子と実質的に同一の組成を有し、その粒径が、接着層の厚さ以下の誘電体材料の粒子と、可塑剤と、帯電防止剤と、剥離剤とを含んでいる。

[0067] 接着層は、約 0. 3 /i m以下の厚さに形成されることが好ましぐより好ましくは、約 0 . 02 z mなレヽし糸勺 0. 3 z m、さらに好ましくは、約 0. 02 x mなレヽし糸勺 0. の厚さを有するように形成される。

[0068] こうして、長尺状の第三の支持シート上に形成された接着層は、長尺状の第二の支持シート上に形成された電極層もしくは電極層およびスぺーサ層または支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に接着され、接着後、接着層から第三の支持シートが剥離されて、接着層が転写される。

[0069] 接着層が、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合には、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層の表面に接着され、接着後に、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが接着層の表面に転写され、セラミックグリーンシートならびに電極層あるいは電極層およびスぺーサ層を含む積層体ユニットが作成される。

[0070] こうして得られた積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層の表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。

[0071] 同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

[0072] 積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

[0073] その後、第二の支持シートが剥離層力剥離され、支持体上に、積層体ユニットが積層される。

[0074] 次いで、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層の表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層に、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットの剥離層から、第二の支持シートが剥離される。

[0075] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体プロックが作製される。

[0076] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、第二の支持シート上に形成された電極層あるいは電極層およびスぺーサ層が、接着層の表面に接着され、接着後に、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が接着層の表面に転写され、セラミックダリーンシートならびに電極層およびスぺーサ層を含む積層体ユニットが作成される。 [0077] こうして得られた積層体ユニットの剥離層の表面に、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。

[0078] 同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

[0079] 積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

[0080] その後、支持シートがセラミックグリーンシートから剥離され、支持体上に、積層体ュニットが積層される。

[0081] 次いで、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミツクグリーンシートに、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットのセラミックから、支持シートが剥離される。

[0082] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体プロックが作製される。

[0083] こうして作製された所定の数の積層体ユニットを含む積層体ブロックは、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ブロック上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

[0084] こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

[0085] 次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0086] 本実施態様によれば、第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層が乾燥した後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシートの表面に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合のように、導電体ペーストや誘電体ペーストがセラミックグリーンシート中に染み込むことがなぐ所望のように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層およびスぺーサ層を形成することが可能になる。

[0087] また、本実施態様によれば、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平

L

均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1— X)の重量比で含むバインダ（ここに

H

、 MW 、 MWおよび Xは、 X * MW + (1— X) * MW 力 14. 5万なレ、し 21. 5万と

L H L H

なるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルァセテ一トよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを用いて、電極層が形成され、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 I-メンチルアセテート、トペリリルアセテートおよびトカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、バインダとして含まれるプチラール系榭脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、剥離層にピンホールやクラックが発生することを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサに不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0088] さらに、本実施態様によれば、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量

L

Η

に、 MW 、 MW および Xは、 X * MW + (1-X) * MW 力 ^ 1万ないし 18万となる

L H L H

ように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 I- メントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを用いて、スぺーサ層が形成され、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 I-メンチルアセテート、トペリリルアセテートおよびトカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、バインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スぺーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

[0089] また、本実施態様によれば、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解することによって、剥離層と電極層およびスぺーサ層との間に剥離強度あるいは剥離層と第二の支持シートとの間の剥離強度が変化し、積層体ユニットを作成する際に、不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0090] 本発明の他の実施態様においては、接着層が、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックダリーンシートから支持シートが剥離されて、長尺状の第二の支持シート上に、 2つの積層体ユニットが積層される。

[0091] 次いで、 2つの積層体ユニットの表面に位置するセラミックグリーンシート上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離される。

[0092] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックダリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0093] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、長尺状の支持シート上に、 2つの積層体ユニットが積層される。

[0094] 次いで、 2つの積層体ユニットの表面に位置する剥離層上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックダリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離される。

[0095] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0096] こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0097] 本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニットを 1つずつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

[0098] 本発明のさらに他の実施態様においては、接着層が、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、第二の支持シート上に形成された電極層あるいは電極層およびスぺーサ層が接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0099] 次いで、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックダリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0100] さらに、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シートシート上に形成された電極層あるいは電極層およびスぺーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0101] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックダリーンシートの表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体プロックが作製される。

[0102] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0103] 次いで、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シート上に形成された電極層または電極層およびスぺーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0104] さらに、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シートシート上に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0105] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0106] こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0107] 本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に形成された積層体ユニットの表面上に、接着層の転写、電極層または電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層の転写、接着層の転写ならびにセラミックグリーンシートの転写を繰り返して、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ュニットを 1つずつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

[0108] 以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。実施例

[0109] 実施例 1

セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製

1. 48重量部の（BaCa) Si〇と、 1. 01重量部の Y Oと、 0. 72重量部の MgCO

3 2 3 3 と、 0. 13重量部のMn〇と、 0. 045重量部の V Oを混合して、添加物粉末を調製し

2 5

た。

[0110] こうして調製した添カ卩物粉末 100重量部に対して、 72. 3重量部のェチルアルコーノレと、 72· 3重量咅のプロピノレレーノレと、 25· 8重量咅のキシレンと、 0· 93重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、スラリー中の添加物を粉碎した。

[0111] スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、 11. 65gのスラリーと、 450gの Zr〇ビー

2 ズ（直径 2mm)を、 250ccのポリエチレン容器内に充填し、周速 45m/分で、ポリエチレン容器を回転させて、 16時間にわたって、スラリー中の添加物を粉砕して、添カロ物スラリーを調製した。

[0112] 粉砕後の添加物のメディアン径は 0. 1 μ ΐηであった。

[0113] 次いで、 15重量部のポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル %)を、 50。Cで、 42. 5重量部のエチルアルコールと 42. 5重量部のプロピルアルコールに溶解して、有機ビヒクルの 15%溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、 500ccのポリエチレン容器を用いて、 20時間にわたって、混合し、誘電体ペーストを調製した。混合にあたって、ポリエチレン容器内に、 330. lgのスラリーと、 900gの ZrOビーズ（直径 2mm)を充填し、周速 45mZ分で、ポリエチレン容器を回

2

転させた。

[0114] BaTiO粉末 (堺ィ匕学工業株式会社製:商品名「BT— 02」：粒径 0. 2 μ m)

100直量部

添加物スラリ 11. 65重量咅 B

ェチノレアノレコーノレ 35. 32重量咅

プロピルアルコール 35. 32重量咅

16. 32重量咅 B フタル酸べンジルブチル（可塑剤) 2. 61重量部ミネラルスピリット 7. 3重量部

ポリエチレングリコール系分散剤 2. 36重量咅 B

イミダゾリン系帯電助剤 0. 42重量部

有機ビヒクル 33. 74直量咅 B

43. 81重量部

2_ブトキシエチルアルコール 43. 81重量部

ポリエチレングリコール系分散剤としては、ポリエチレングリコールを脂肪酸で変性した分散剤（HLB = 5 6)を用いた。

[0115] セラミックグリーンシートの形成

得られた誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、 50m/分の塗布速度で、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布して、塗膜を生成し、 80°Cに保持された乾燥炉中で、得られた塗膜を乾燥して、 1 / mの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

[0116] 電極用の導電体ペーストの調製

1. 48重量部の（BaCa) SiOと、 1. 01重量部の Y Oと、 0. 72重量部の MgCO

3 2 3 3 と、 0. 13重量部の MnOと、 0. 045重量部の V Oを混合して、添加物粉末を調製し

2 5

た。

[0117] こうして調製した添カ卩物粉末 100重量部に対して、 150重量部のアセトンと、 104.

3重量部のイソボニルアセテートと、 1. 5重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、ァシザヮ'ファインテック株式会社製粉砕機「LMZ0. 6」 (商品名）を用いて、スラリー中の添加物を粉砕した。

[0118] スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、 Zr〇ビーズ（直径 0. 1mm)を、ベッセル

2

内に、ベッセル容量に対して、 80%になるように充填し、周速 14m/分で、ベッセルを回転させ、スラリーを、全スラリーがベッセルに滞留する時間が 30分になるまで、ベッセルとスラリータンクとの間を循環させて、スラリー中の添加物を粉砕した。

[0119] 粉砕後の添加物のメディアン径は 0. 1 mであった。

[0120] 次いで、エバポレータを用いて、アセトンを蒸発させて、スラリーから除去し、添加物がタービネオールに分散された添加物ペーストを調製した。添加物ペースト中の不揮発成分濃度は 49. 3重量％であった。

[0121] 次いで、重量平均分子量 (MW ) 23万のェチルセルロースと重量平均分子量 (M

H

W ) 13万のェチルセルロースを、 75 : 25の重量比で含む 8重量部のバインダ、すな

L

わち、 X * MW + (1-X) * MW で定義される見かけの重量平均分子量が 20. 5万

L H

のェチルセルロース 8重量部を、 70°Cで、 92重量部のイソボニルアセテートに溶解して、有機ビヒクルの 8%溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、ボールミルを用いて、 16時間わたって、分散した。分散条件は、ミル中の Zr〇（直径 2. 0

2 mm)の充填量を 30容積⁰ /₀、ミル中のスラリー量を 60容積％とし、ボールミルの周速は 45m/分とした。

[0122] 川鉄工業株式会社製のニッケル粉末 (粒径 0. 2 z m) 100重量部

添加物ペースト 1. 77重量部

BaTiO粉末 (堺化学工業株式会社製:粒径 0. 05 / m)

3

19. 14重量咅 B

有機ビヒクル 56. 25重量部

ポリエチレングリコール系分散剤 1. 19重量部

イソボニルアセテート 32. 19重量部

アセトン 56重量部

[0123] 次いで、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を用いて、こうして得られたスラリーから、アセトンを蒸発させて、混合物から除去し、導電体ペーストを得た。導電体ペースト中の導電体材料濃度は 47重量％であった。

[0124] こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 HAAKE株式会社製円錐円盤粘度計を用いて、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsecT¹ で測定した。

[0125] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 19. 4Ps ' s、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 10. 4Ps ' sであった。

[0126] 電極層の形成および積層体ユニットの作製

こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、セラミックグリーンシート上に印刷し、 90°Cで、 5分間わたり、乾燥して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0127] こうして形成した電極層の表面粗さ（Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 124 x mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわ力た。

[0128] セラミックグリーンチップの作製

上述のように、調製した誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に塗布して、塗膜を形成し、塗膜を乾燥して、 10 x mの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

[0129] こうして作製した 10 μ mの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した 5枚のセラミックグリーンシートを積層して、 50 /i mの厚さを有するカバー層を形成し、さらに、積層体ユニットを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した 50枚の積層体ユニットを、カバー層上に積層した。

[0130] 次いで、 10 μ mの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレ一トフイルムから剥離して、裁断し、裁断した 5枚のセラミックグリーンシートを、積層された積層体ユニット上に積層して、 50 μ ΐηの厚さを有する下部カバー層と、 1 /i mの厚さを有するセラミックグリーンシートと 1 μ mの厚さを有する電極層を含む 50枚の積層体ユニットが積層された 100 _β mの厚さを有する有効層と、 50 μ mの厚さを有する上部カバー層とが積層された積層体を作製した。

[0131] 次いで、こうして得られた積層体を、 70°Cの温度条件下で、 lOOMPaの圧力をカロえて、プレス成形し、ダイシンダカ卩ェ機によって、所定のサイズに裁断し、セラミックグリーンチップを作製した。

[0132] 積層セラミックコンデンササンプノレの作製

こうして作製されたセラミックグリーンチップを、空気中において、以下の条件で処理し、バインダを除去した。

[0133] 昇温速度： 50°C/時間保持温度： 240°C

保持時間： 8時間

[0134] バインダを除去した後、セラミックグリーンチップを、露点 20°Cに制御された窒素ガスと水素ガスの混合ガスの雰囲気下において、以下の条件で処理し、焼成した。混合ガス中の窒素ガスおよび水素ガスの含有量は 95容積％および 5容積％とした。

[0135] 昇温速度： 300°C/時間

保持温度： 1200°C

保持時間： 2時間

冷却速度： 300°C/時間

[0136] さらに、焼成したセラミックグリーンチップに、露点 20°Cに制御された窒素ガスの雰囲気下において、以下の条件で、ァニール処理を施した。

[0137] 昇温速度： 300°C/時間

保持温度： 1000°C

保持時間： 3時間

冷却速度： 300°C/時間

[0138] こうして得られた燒結体の端面を、サンドブラストによって研磨した後、 In— Ga合金を塗布して、端子電極を形成し、積層セラミックコンデンササンプルを作製した。

[0139] 同様にして、合計 50個の積層セラミックコンデンササンプノレを作製した。

[0140] ショート率の測定

こうして作製した 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプルのショート不良を検査した。

[0141] 得られた抵抗値が 100k Ω以下のものをショート不良とし、ショート不良が認められた積層セラミックコンデンササンプノレ数を求め、積層セラミックコンデンササンプノレの総数に対する割合（％)を算出して、ショート率を測定した。

[0142] その結果、ショート率は 12%で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかつた。

[0143] 実施例 2

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量（MW ) 23万のェチルセルロースと重量平均分子量（MW ) 13万のェチルセルロースを、 50 : 50の重量比で含むバ

L

インダ、すなわち、 X * MW + (1-X) * MW で定義される見かけの重量平均分子

L H

量が 18万のェチルセルロースを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、導電体べ一ストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8se_C_ 1で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsec—¹で測定した。

[0144] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 15. 5Ps ' s、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 8. 5Ps ' sであった。

[0145] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0146] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 089 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0147] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 4% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0148] 実施例 3

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量（MW ) 23万のェチルセルロー

H

スと重量平均分子量（MW ) 13万のェチルセルロースを、 25 : 75の重量比で含むバ

L

L H

量が 15. 5万のェチルセルロースを用いた点を除いて、実施例 1と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8 sec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsecT¹で測定した。

[0149] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 11. 2Ps ' s、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. 8Ps ' sであった。

[0150] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0151] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE— 30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 065 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0152] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 4% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0153] 実施例 4

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0154] その結果、剪断速度 Ssec—¹での粘度は 16· IPs ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 9· 3Ps ' sであった。

[0155] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0156] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. I l l z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0157] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 12 Q/oで、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。 [0158] 実施例 5

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースと重量平均分子量 13万のェチルセルロースを、 50 : 50の重量比で含むバインダを用いた点を除き、実施例 4と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 5 Osec— ¹で測定した。

[0159] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 12. 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 7. 3Ps ' sであった。

[0160] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0161] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 066 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0162] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 12

%で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0163] 実施例 6

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースと重量平均分子量 13万のェチルセルロースを、 25 : 75の重量比で含むバインダを用いた点を除き、実施例 4と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 5 Osec— ¹で測定した。

[0164] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 8. 6Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 5. 3Ps ' sであった。

[0165] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0166] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 068 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0167] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 8% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0168] 実施例 7

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0169] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 15· 6Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 9· OPs ' sであった。

[0170] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0171] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 071 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0172] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 12 Q/oで、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。 [0173] 実施例 8

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースと重量平均分子量 13万のェチルセルロースを、 50 : 50の重量比で含むバインダを用いた点を除き、実施例 7と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 5 Osec— ¹で測定した。

[0174] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 11. 7Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. 6Ps ' sであった。

[0175] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0176] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 068 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0177] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 14

[0178] 実施例 9

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースと重量平均分子量 13万のェチルセルロースを、 25 : 75の重量比で含むバインダを用いた点を除き、実施例 7と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 5 Osec— ¹で測定した。

[0179] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 8. 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 4. 78Ps ' sであった。

[0180] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0181] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE— 30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 066 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0182] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 6% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0183] 実施例 10

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ひータ一ピニルアセテートを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0184] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 12· OPs ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 5· 9Ps ' sであった。

[0185] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0186] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 061 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0187] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 8% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。 [0188] 実施例 11

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、 Iージヒドロカルビルアセテートを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsecT¹で測定した。

[0189] その結果、剪断速度 Ssec—¹での粘度は 11. 5Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. 6Ps ' sであった。

[0190] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0191] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 072 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0192] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 18 %で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0193] 実施例 12

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、 I一メントンを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0194] その結果、剪断速度 Ssec—¹での粘度は 12. 4Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. 7Ps ' sであった。

[0195] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0196] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 061 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0197] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 6% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0198] 実施例 13

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、 Iーメンチルアセテートを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0199] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 10· 6Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 5· 8Ps ' sであった。

[0200] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0201] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 059 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0202] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 14 Q/oで、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

[0203] 実施例 14

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、 I一^ iリリルアセテートを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 SsecT¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0204] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 11. 8Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. IPs ' sであった。

[0205] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0206] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE— 30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 069 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0207] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

[0208] 実施例 15

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、 I一カルビルアセテートを用いた点を除き、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 SsecT¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0209] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 10. 9Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 5. 9Ps ' sであった。

[0210] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0211] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 059 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0212] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 8% で、実用上、ショート不良は問題にならないことがわかった。

比較例

[0213] 比較例 1

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 1と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8se_C一¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0214] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 23. 2Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 12· IPs ' sであった。

[0215] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0216] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 210 /i mであり、電極層の表面粗さが高ぐ表面平滑性の高い電極層を形成することができないことがわかった。

[0217] これは、剪断速度 SOsec—¹での導電体ペーストの粘度が高すぎ、所望のように、導電体ペーストを印刷することができなかったことに起因するものと思われる。

[0218] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 36 %で、ショート率も高いことがわかった。 [0219] 比較例 2

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 13万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 1と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsec—¹で測定した。

[0220] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 7. IPs ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 4. 7Ps ' sであった。

[0221] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0222] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 071 /i mであり、電極層の表面平滑性は高かった力剪断速度 8sec^_1での導電体ペーストの粘度が低すぎて、流動化しやすかつたため、スクリーン製版上から、導電体ペーストが染み出し、所望のパターンで、電極層を形成することができな力た。

[0223] 比較例 3

セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重合度力 ¾00で、プチラールイ匕度が 69モル％のプチラール系樹脂を用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート形成用の誘電体ペーストを調製し、セラミツクグリーンシートを作製した。

さらに、実施例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50s ecT¹で測定した。

[0224] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 15. 5Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 9. 8Ps ' sであった。

[0225] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0226] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 073 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0227] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 30 %で、ショート率が高ぐ実用性がないことがわかった。

[0228] 比較例 4

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 4と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0229] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 20· 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 11 · 3Ps ' sであった。

[0230] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0231] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE— 30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 200 z mであり、電極層の表面粗さが高ぐ表面平滑性の高い電極層を形成することができないことがわかった。

[0232] これは、剪断速度 SOsec—¹での導電体ペーストの粘度が高すぎ、所望のように、導電体ペーストを印刷することができなかったことに起因するものと思われる。

[0233] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 34 %で、ショート率も高いことがわかった。

[0234] 比較例 5

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 13万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 4と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsec—¹で測定した。

[0235] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 5. 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 3. 2Ps ' sであった。

[0236] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0237] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 064 /i mであり、電極層の表面平滑性は高かった力剪断速度 8sec^_1での導電体ペーストの粘度が低すぎて、流動化しやすかつたため、スクリーン製版上から、導電体ペーストが染み出し、所望のパターンで、電極層を形成することができな力た。

[0238] 比較例 6

さらに、実施例 5と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50s ecT¹で測定した。

[0239] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 12. 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 7. 3Ps ' sであった。 [0240] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0241] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 078 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0242] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 34 %で、ショート率が高ぐ実用性がないことがわかった。

[0243] 比較例 7

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 23万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 7と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0244] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 21 · 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 11 · 75Ps ' sであった。

[0245] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0246] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE— 30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 192 z mであり、電極層の表面粗さが高ぐ表面平滑性の高い電極層を形成することができないことがわかった。

[0247] これは、剪断速度 SOsec—¹での導電体ペーストの粘度が高すぎ、所望のように、導電体ペーストを印刷することができなかったことに起因するものと思われる。 [0248] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 40 %で、ショート率も高いことがわかった。

[0249] 比較例 8

導電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量 13万のェチルセルロースを用レ、た点を除き、実施例 7と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 Ssec—¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 SOsec—¹で測定した。

[0250] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 5. 3Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 3. OPs ' sであった。

[0251] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0252] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 071 /i mであり、電極層の表面平滑性は高かった力剪断速度 8sec^_1での導電体ペーストの粘度が低すぎて、流動化しやすかつたため、スクリーン製版上から、導電体ペーストが染み出し、所望のパターンで、電極層を形成することができな力た。

[0253] 比較例 9

セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重合度が 800で、ブチラールイ匕度が 69モル％のブチラール系樹脂を用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート形成用の誘電体ペーストを調製し、セラミツクグリーンシートを作製した。

さらに、実施例 8と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50s ec— ¹で測定した。 [0254] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 11 · 7Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6· 6Ps ' sであった。

[0255] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0256] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 091 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0257] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 30

%で、ショート率が高ぐ実用性がないことがわかった。

[0258] 比較例 10

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピネオールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50)を用いた点を除き、比較例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8sec— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した

[0259] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 10· 7Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6· 7Ps ' sであった。

[0260] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0261] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 129 z mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。 [0262] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 76 %で、ショート率が著しく高ぐ実用性がないことがわかった。

[0263] これは、導電体ペーストの溶剤であるタービネオールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50) 、セラミックグリーンシートのバインダであるポリビュルブチラールを溶解したためと考えられる。

[0264] 比較例 11

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピネオールを用いた点を除き、比較例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 8se_C— ¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0265] その結果、剪断速度 Ssec—¹での粘度は 13· IPs ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6· 9Ps ' sであった。

[0266] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 1 μ ΐηの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0267] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 192 /i mであり、電極層の表面粗さが高ぐ表面平滑性の高い電極層を形成することができないことがわかった。

[0268] これは、導電体ペーストの溶剤であるタービネオール力セラミックグリーンシートのバインダであるポリビュルブチラールを溶解したためと考えられる。

[0269] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 88 %で、ショート率が著しく高ぐ実用性がないことがわかった。 [0270] これは、導電体ペーストの溶剤であるタービネオール力セラミックグリーンシートのバインダであるポリビュルブチラールを溶解したためと考えられる。

[0271] 比較例 12

導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピネオールを用いた点を除き、比較例 2と同様にして、導電体ペーストを調製し、こうして調製された導電体ペーストの粘度を、 25°C、剪断速度 SsecT¹で測定するとともに、 25°C、剪断速度 50sec— ¹で測定した。

[0272] その結果、剪断速度 8sec— ¹での粘度は 13. 4Ps ' sであり、剪断速度 50sec— ¹での粘度は 6. 8Ps ' sであった。

[0273] 次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例 1と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0274] 実施例 1と同様にして、電極層の表面粗さ (Ra)を、株式会社小阪研究所製「サーフコーダ一（SE-30D)」（商品名）を用いて、測定したところ、 0. 129 /i mであり、表面平滑性の高レ、電極層が形成されてレ、ることがわかった。

[0275] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 56 %で、ショート率が著しく高ぐ実用性がないことがわかった。

[0276] これは、導電体ペーストの溶剤であるジヒドロタ一ビネオール力 S、セラミックグリーンシートのバインダであるポリビュルブチラールを溶解したためと考えられる。

[0277] 実施例 1ないし 15ならびに比較例 10ないし 12から、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル⁰ /₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 13万のェチルセルロースをバインダとして含み、タービネオールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50 )を溶剤として含む導電体ペースト、重量平均分子量 13万のェチルセルロースをバインダとして含み、ターピネオールを溶剤として含む導電体ペーストあるいは重量平均分子量 13万のェチルセルロースをバインダとして含み、ジヒドロタ一ビネオールを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストの溶剤が、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれたポリビュルブチラールを溶解するため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生し、その結果、積層セラミックコンデンサのショート率が著しく高くなるのに対して、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 1450、プチラール化度 69モル％)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、 X * MW + (1-X) * MWで定義される見かけの重

L H

量平均分子量が 15. 5万なレ、し 20. 5万のェチルセルロースをバインダとして含み、イソボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ

、ひ—ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルァセテート、 I ペリリルアセテートあるいは I カルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストの溶剤力セラミックグリーンシートにバインダとして含まれたポリビエルプチラールをほとんど溶解せず、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミツクグリーンシートにピンホールやクラックが発生することが防止されるため、積層セラミックコンデンサのショート率を大幅に低下させることが可能になることが判明した。また、実施例 1ないし 15ならびに比較例 1、 4および 7から、バインダとして、ポリビニルブチラール (重合度 1450、プチラール化度 69モル％)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 23万のェチルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテートを溶剤として含む導電体ペースト、重量平均分子量 23万のェチルセルロースをバインダとして含み、ジヒドロターピニルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストあるいは重量平均分子量 23万のェチルセルロースをバインダとして含み、ターピニルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストの粘度が高すぎ、所望のように、導電体ペーストを印刷して、表面平滑性の高い電極層を形成することができな力たため、積層セラミックコンデンサのショート率が著しく高くなるのに対し、バインダとして、ポリビエルプチラール (重合度 1450、プチラール化度 69モル⁰ /₀) を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、 X * MW + (

L

1-X) * MWで定義される見かけの重量平均分子量が 15. 5万なレ、し 20. 5万のェ

H

チルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチノレエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートあるいはトカルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストは印刷に適した粘度を有しており、スクリーン印刷機を用いて、所望のように、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層を形成することができ、ショート率の低い積層セラミックコンデンサを作成し得ることがわ力た。さらに、実施例 1ないし 15ならびに比較例 2、 5および 8から、バインダとして、ポリビ二ルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル⁰ /₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 13万のェチルセル口ースをバインダとして含み、イソボニルアセテートを溶剤として含む導電体ペースト、重量平均分子量 13万のェチルセルロースをバインダとして含み、ジヒドロタ一ピエルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストあるいは重量平均分子量 13万のェチルセルロースをバインダとして含み、ターピエルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製した場合には、導電体ペーストの粘度が低すぎて、流動化しやすかつたため、スクリーン製版上から、導電体ペーストが染み出し、所望のパターンで、電極層を形成することができなかったのに対し、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル⁰ /₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、 X * MW + (1-X

L

) * MWで定義される見かけの重量平均分子量が 15. 5万なレ、し 20. 5万のェチノレ

H

セルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルェ一テル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートあるいは I一力ルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、

50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストは印刷に適した粘度を有しており、スクリーン印刷機を用いて、所望のように、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層を形成することができ、ショート率の低い積層セラミックコンデンサを作成し得ることが判明した。

また、実施例 1ない 15ならびに比較例 3、 6および 9力、ら、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 800、ブチラール化度 69モル⁰ /₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、見かけの重量平均分子量が 18万のェチルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテートを溶剤として含む導電体ぺースト、見かけの重量平均分子量が重量平均分子量 18万のェチルセルロースをバインダとして含み、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストあるいは見かけの重量平均分子量が 18万のェチルセルロースをバインダとして含み、ターピニルメチルエーテルを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ュニットを作製した場合には、積層セラミックコンデンサのショート率が著しく高くなるのに対して、バインダとして、ポリビエルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル％)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、 X * M W + (1-X) * MWで定義される見かけの重量平均分子量が 15· 5万ないし 20· 5

L H

万のェチルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニノレメチルエーテル、ターピエルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートあるいは I一カルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、導電体ペーストの溶剤力セラミックグリーンシートにバインダとして含まれたポリビュルブチラールをほとんど溶解せず、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することが防止されるため、積層セラミックコンデンサのショート率を大幅に低下させることが可能になることがわかった。 [0281] X * MW + (1— X) * MWで定義される見かけの重量平均分子量が 11万ないし

L H

18万のェチルセルロースを、バインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルアセテート、 1_ペリリルアセテートあるいは I一カルビルアセテートを溶剤として含むスぺーサ層用の誘電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に、電極層のパターンと相補的なパターンで印刷して、スぺーサ層を形成した場合にも、同様の結果が得られた。

[0282] 本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなぐ特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

[0283] 本発明によれば、電極層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、しかも、印刷性に優れた導電体ペーストを提供することが可能になる。

[0284] また、本発明によれば、積層セラミック電子部品に、ショート不良が発生することを確実に防止することができ、所望のように、電極層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することが可能になる。

Claims

請求の範囲

[1] 重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセノレ

L H

ロースとを、 X： (1_X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW および Xは、 X

L H

* MW + (1-X) * MW 力 5万なレ、し 21. 5万となるように選ばれる。）と、イソ

L H

ボニノレアセテート、ジヒドロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルァセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むことを特徴とする導電体ペースト。

[2] MW、 MW および Xが、 X * MW + (1-X) * MW 力 15· 5万ないし 20. 5万とな

L H L H

るように選ばれたことを特徴とする請求項 1に記載の導電体ペースト。

[3] バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X

L H

： (1一 X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW および Xは、 X * MW + (1

L H L

一 X) * MW 力 5万ないし 21. 5万となるように選ばれる。）と、イソボニルァセテ

H

ート、ジヒドロタ一ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、 α—ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_メンチルアセテート、 1_ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、所定のパターンで、印刷して、電極層を形成することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。

[4] MW、 MW および Xが、 X * MW + (1-X) * MW 力 Si 5. 5万なレ、し 20. 5万とな

L H L H

るように選ばれたことを特徴とする請求項 3に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。

[5] さらに、電極層の乾燥後に、前記セラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MW

のェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1-X)

L H

の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、 MW および Xは、 X * MW + (1-X) * M

L H L

W 力 1万ないし 18万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロタ一

H

ピニルメチルエーテル、ターピニルメチルエーテル、ひ—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルアセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、前記電極層のパターンと相補的なパターンで、印刷して、スぺーサ層を形成することを特徴とする請求項 3または 4に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。

[6] 前記電極層の形成に先立って、前記セラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 MWのェチルセルロースと、重量平均分子量 MW のェチルセルロースとを、 X： (1

L H

—X)の重量比で含むバインダ（ここに、 MW、MW および Xは、 X * MW + (1-X)

L H L

* MW 力 Sl l万ないし 18万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒド

H

ロターピニノレメチノレエーテノレ、ターピニノレメチノレエーテノレ、ひ一ターピニノレアセテート

、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一メンチルアセテート、 I一ペリリルァセテートおよび I一カルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、前記電極層のパターンと相補的なパターンで、印刷して、スぺーサ層を形成することを特徴とする請求項 3または 4に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。

[7] 前記プチラール系樹脂の重合度が 1000以上であることを特徴とする請求項 3ないし

6のいずれ力 1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。

[8] 前記プチラール系樹脂のプチラールイ匕度が 64モル％以上、 78モル％以下であることを特徴とする請求項 3ないし 7のいずれ力 1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。