WO2002054391A1

WO2002054391A1 - Bande magnetique, son procede de nettoyage et appareil de nettoyage/formation de servopiste optique

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Publication number: WO2002054391A1
Application number: PCT/JP2001/011610
Authority: WO
Inventors: Hiroyuki Ota; Haruhiko Fujisawa; Naoki Mukai; Satoru Fukiage; Kenji Sano; Shigeo Fujitani
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Ltd
Priority date: 2000-12-28
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2002-07-11
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Description

明細書

磁気テープ、そのクリ一ユング方法および光学サーポトラック形成 ·タリ一二ング装置技術分野

本発明は、バックコート層に光学サーボトラック用の凹部を設けた磁気テープと、そのクリーニング方法および光学サーボトラック形成 ·クリーニング装置に関する。従来の技術

磁気テープには、オーディオテープ、ビデオテープ、コンピュータのデータバックァップ用テープなど種々の用途がある。このうち例えばデータバックアップ用テープ（バックアツプテープ）の分野では、バックァップ対象となるハードディスクの大容量化に伴い、 1卷当たり数十 G B以上の記憶容量のものが商品化されているが、今後もハードディスクのさらなる大容量化に対応するため、その高容量化が不可欠となっている。また、アクセス速度や転送速度を大きくするため、テープの送り速度や、テープとヘッド間の相対速度も高める必要がある。

パックァップテープ 1卷当たりの高容量化のためには、①テープ全厚を薄くして 1卷あたりのテープ長さを長くすること、②磁性層の厚さを 0. 3 μιη以下と極めて薄くすることで厚さ減磁を小さくして記録波長を短くすることと共に、 ③トラック幅を 1 5 μπι 以下と狭くして幅方向の記録密度を高くすることが必要である。

磁性層の厚さを 0 . 3 μπι以下と極めて薄くすると、耐久性が劣化するので、非磁性支持体と磁性層との間に少なくとも一層の下塗層を設けることが好ましい。また、記録波長を短くすると、磁性層と磁気へッドとのスペーシングの影響が大きくなるので、磁性層に大きな突起やへこみがあると、スペーシングロスによる出力の低下により、エラーレートが高くなる。

磁性層の厚さを極めて薄くする、例えば 0 · 3 μπι以下にすると共に記録波長を短くすると、磁気記録媒体からの漏れ磁束が小さくなるため、再生へッドに微小磁束でも高い出力が得られる磁気抵抗効果型素子を使用した再生へッド（以下、 MRへッド）を使用することが好ましい。

また、トラック幅（データトラックに記録された信号のトラック幅）を 1 5 μπι以下と狭くして、 Ψ畐方向の記録密度を高くすると、オフトラックによる再生出力の低下が問題になるので、その対策としてトラックサーボが必要になる。

このようなトラックサーボ方式の一つに光学式トラックサーボ方式がある。これは、レーザー光の照射ゃスタンパによる押圧等で光学サ一ポ用の凹部を形成し、これを光学的に検出してサーボトラッキングを行うものである。

さらに、この種の光学式トラックサーボ方式には、特開平 0 3 _ 1 4 1 0 8 7号に示されているようにフロプティカルディスク（光学サーボトラック方式のフロッピーディスク）の磁性層に光学サーポ用の凹部を形成したものや、特開平 1 1— 3 3 9 2 5 4号ゃ特開平 1 1— 2 1 3 3 8 4号に示されているように磁気テープのバックコート層に光学サーポ用の凹部を形成したものなどがある。

バックコート層に光学サーボ用の凹部を形成したものでは、当該バックコート層における凹部と平坦部との光反射率の違いを検知してトラックサーボを行なう。すなわち、このような凹部を有するバックコート層に光を当てると、当該凹部では光が乱反射するために光検知器に入る反射光強度が弱く、平坦部では光が正反射するので反射光強度が強くなるが、上記の方式は、このことを利用して、凹部により形成されるサーボトラックをトラッキングするものである。具体的には、バックコート層のサーボトラッキングに連動して、磁性層の記録 ·再生を行う磁気へッドが動くことにより、磁気記録トラックのサーボを行う。

この方式では、通常のレーザーで光学サ一ボ用の凹部を形成すれば、乱反射による凹部からの光反射強度を充分小さくできる力従来公知の磁気テープにおけるバックコート層では平坦部の光反射強度が小さく、かつ平坦部の光反射率の場所による変動が大きかったため、光学サーボの S /Nを充分高く取れないという問題があった。原因は、従来の磁気テープのバックコート層においては主にテープ走行性のみが重視され、光反射率に関しては考慮されていなかったためである。

また、レーザー照射やスタンパ押圧等でバックコート層に凹部を形成すると、当該凹部の周辺部分（凹端部）に盛り上がりが生じることが避けられないため、例えば次のような問題が生じる。すなわち、テープ全厚を 6 μιη以下とする場合、テープ剛性（テープのヤング率を Ε、テープの全厚を Τとしたときの Ε Τ ³ ) が小さくなるので、テープ走行時の卷取テンションを小さくする必要があるが、その場合、磁気テープの特定の位置が上記のように盛り上がっていると、テープリールを巻き取った際にトラック形成部が極端に盛り上がり、いわゆるテープの巻き乱れ現象が起こる。

加えて、上記のような盛り上がり部があると、これらが磁気テープの記録層（磁気記録面）に裏うつりして、記録層に凹凸が形成され、その結果、再生出力が低下する。なお、光学式サーポトラック方式を採用した磁気ディスクでは、磁気テープのような卷き取りは行わないので、光学サーポ用の凹部の周辺部分が盛り上がつていても上記のようなテープの巻き乱れ現象や裏うつり現象は生じる余地がない。つまり、このような現象は、磁気テープでのみ問題となるものである。この問題を解決するためには、盛り上がり部の高さを平坦部の最大突起高さ以下にすることが好ましい。

さらに、レーザー照射によりバックコート層に凹部を形成する方法では、バックコート層にレーザー光を照射してそのエネルギーでコーティング面を焼き飛ばし、凹状のパターンを形成するので、生産性は高いものの、パターンの形成時にレーザーにより焼き飛ばされた焼きカス（燃焼カス）が粉体となって凹部およびその周辺に多数付着する。この燃焼カスをそのまま放置しておくと、走行系の汚れが起こるばかりでなく、バックコート層の光学的読み取り S/Nの低下や、燃焼カスの磁性層への付着によるドロップァゥトの発生の原因になる。また、バックコート層表面の平坦部の光反射率が小さくなり、磁気テープ長手方向の反射率の変動が大きくなる。これも光学的読み取り S ZNの低下の原因になる。このため、燃焼カスの除去は必須である。

レーザー照射により光学サーポ用の凹部を形成した際に生じる燃焼カスを除去する方法としては、光学サーボ用の凹部を形成したフロプティカルディスクの燃焼力スの除去に固体 C O ₂ を使用する方法が知られている（米国特許第 5 4 1 9 7 3 3号明細書）。ディスク形状であるフロプティカルディスクでは、クリ一ニングを行う面積が限定され、多数回ディスクを高速回転させることにより、クリーニングに必要な固体 C O ₂ を簡単に吹き付けることが可能である。

しかしながら、これを磁気テープのクリーニング手段としてそのまま用いた場合、長尺物である磁気テープでは、クリーニングを行う対象の延面積は莫大となり、なおかつ多数回固体 c o ₂ を吹き付けるにはディスク状のものに比べ c o ₂ 使用量が大量になるなど、効率面で問題がある。また、レーザー照射によりサーボパターンを生成する際に発生する燃焼カスが、磁気テープを再び巻くことで磁気テープに付着転移し、ドライブガイドローラーや磁気へッドに燃焼カスが付着するというフロプティカルディスクにはない問題点もある。

一方、テープ状の磁気テープ表面のクリーニング方法としては、テープ状のティッシュクリーニングテープを磁気テ一プ表裏面に接触させることによりクリーニングするものがある力平坦部のクリーニング効果は不十分で、レーザーにより凹状に生成されたサーボドットの内部をクリーニングする効果も小さい。また、上記のクリーニング処理にブレード処理を組み合わせる方法も考えられる力バックコ一ト層は磁性層に比べて強度が低いために強いブレード処理をするとバックコート層が傷つき、逆にプレード処理を弱くすると燃焼カス除去効果が無くなるので、条件設定が非常に難しく、大量生産には適していない。さちに、凹状に生成されたサーポドットの内部をクリーニングする効果はほとんど無い。

本発明は、従来技術の上記問題点を解消するためになされたものである。

発明の開示

本発明者らは、光学サーポ信号の S /Nの高い磁気テープについて検討した結果、 S /Nを高くするためには、パックコート層における平坦部の光反射率の平均値を 8 . 5 %以上にすると共に、平坦部の光反射率の磁気テープ位置（磁気テープ上の場所）による変動率：

[ (光反射率一光反射率の平均値）の絶対値の最大値] X I 0 0 / (光反射率の平均値）を 1 0 %以下にすれば良いことを見出した。

即ち、本発明の第 1の要旨は、非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、カーボンブラックを一成分とする非磁性粉末と結合剤とを含有したバックコート層とを含んでなり、当該バックコート層に光学サーボ用の凹部が形成された磁気テープであって、前記バックコート層における平

±且部の光反射率の平均値が 8 . 5 %以上で、平坦部の光反射率の磁気テープ位置による

[ (光反射率—光反射率の平均値）の絶対値の最大値] x l 0 0 / (光反射率の平均値）が 1 0 %以下であることを特徴とする磁気テープに関する。

バックコート層における平坦部の光反射率の平均値を ₈ . 5 %以上にすると共に、平坦部の光反射率の場所による変動を 1 0 %以下にするためには、好ましくは、バックコ一ト層の非磁性粉末の含有率：

(非磁性粉末重量） I 0 0 / (非磁性粉末重量 +結着剤重量）

を 5 0重量％以上とし、かつ原子間力顕微鏡 (A FM) で測定したパックコート層の平坦部の表面粗さ R aを 3 0 n m以下とし、当該表面粗さ R aの磁気テープ位置による変動の半値幅を 5 n m以下に制御する。

非磁性粉末の中に占めるカーボンブラックの割合を 8 0重量％以上にすると、レーザ一光によって光学サーボ用の凹部（サーボ孔）を形成しやすくなる。さらに、カーボンブラックと共に、合わせて 2 0重量％以下の酸化鉄 (例えばベンガラ) などを添加すると、バックコート層の強度が高くなる。

また、本発明者らは、全厚が 6 μηι以下と薄い磁気テープのテープ巻き乱れ問題の解決法について詳細に検討した結果、磁気テープの全厚を Τ、バックコート層の凹端部（光学サ一ボ用の凹部の周縁部分）の凸部 1 0 0個あたりの平均高さを Ηとした時の ΗΖΤ を 1ノ 5 0以下に設定すれば、テープの巻き乱れ問題を防止できることを見いだした。 Η/Τは 1 / 1 0 0以下がより好ましい。

本発明の他の目的は、磁気テープのバッタコート層表面にレーザー照射により光学サーボ用の凹部を形成した際に生じる燃焼カス（粉体等）、特に凹部の内部および周辺に付着した燃焼力スを効率よく除去できる方法およぴ装置を提供し、ひいてはエラーレートが低い磁気テープが得られるようにすることにある。

そこで、レーザー照射により生じた燃焼カスを効率よく除去する方法について検討した結果、① C O ₂ によるクリーニング方法と②起毛体等によるクリーニング方法が有効であることを見出した。①の c o ₂ によるタリ一二ング方法は比較的大掛かりな装置を必要とする反面、消耗品が co₂ のみであるので比較的ランニングコストが小さい。一方、②の起毛体によるクリーニング方法は、起毛体を消耗する反面、装置が比較的簡便である。

従つて、本発明の第 2の要旨は、非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、非磁性粉末と結合剤とを含有したバックコート層とを含んでなり、当該バックコート層にレーザー照射によつて形成された光学サーボ用の凹部が形成された磁気テープをクリーングする方法であって、前記バックコート層の表面に固体 C O ₂ を吹き付けることにより、前記レーザー照射によって生じた光学サーボ用の凹部およびその周辺に付着した燃焼力スを除去することからなる磁気テープのクリーニング方法に関し、第 3の要旨は、卷かれた磁気テープを所定の方向に送り出す送り出し機構部と、送り出された磁気テープのバッタコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サーボトラック形成部と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリーニングするクリーニング部と、このクリ一ユング後に磁気テープを巻き取る巻き取り機構部とを有し、前記クリーニング部には、前記レーザー光の照射により形成された光学サーボ用の凹部およびその周辺に固体 C o ₂ を吹き付ける c o ₂ 吹き付け部と、固体 c o ₂ の吹き付けにより吹き飛ばされた前記光学サーボ用の凹部およびその周辺の燃焼カスを吸引する吸引部と、この燃娆カスの吸引後にバックコート層の表面を拭き取る拭き取り部とが備えられていることを特徴する磁気テープの光学サ一ポトラック形成 ·クリーニング装置に関する。

更に、本発明の第 4の要旨は、非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、非磁性粉末と結合剤とを含有したバックコート層とを含んでなり、当該バックコート層にレーザー照射により光学サーポ用の囬部が形成された磁気テープのバックコート層表面をクリーニングする方法であつ ' て、前記凹部を有するパックコート層の表面に、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布を接触させ、前記凹部およびその周辺に付着した燃焼力スを除去する工程を含むことを特徴とする磁気テープのクリーニング方法に関し、第 5の要旨は、卷かれた磁気テープを所定の方向に送り出す送り出し機構部と、送り出された磁気テープのバックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サーポトラック形成部と、この凹部形成後にパックコート層の表面をクリーニングするクリ一二ング部と、このクリーニング後に磁気テープを巻き取る卷き取り機構部とを有し、前記クリーユング部には、バックコート層の表面をクリーニングすべく、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布をバックコート層の表面に接触させる接触部と、バックコ一ト層の表面に付着している不要な粉体を拭き取る拭き取り部とが配置されていることを特徴する磁気テープの光学サーポ卜ラック形成 ·クリ一二ング装置に関する。図面の簡単な説明

図 1は、本発明において磁気テープのパックコート層表面への固体 C O ₂ 吹き付け処理を説明するための模式図である。

図 2は、本発明において C O ₂ 吹き付け用の噴射ノズルをセットする角度を説明するための模式図である。

図 3は、本発明実施例で使用した光学サーボトラック形成 'タリ一ユング装置における co₂ 吹き付け部および吸引部の周辺を示す斜視図である。

図 4は、吸引手段（吸引ノズル）の一構成例を示す模式図である。

図 5は、吸引手段（吸引ノズル）の他の一構成例を示す模式図である。

図 6は、磁気テープのバックコート層表面に形成されるサーポパタ一ンの一例を示す斜視図である。

図 7は、本発明実施例で使用した光学サーボトラック形成'クリ一二ング装置の全体構成図である。

図 8は、本発明実施例で使用した光学サーボトラック形成 ·タリ一ユング装置における接触部周辺を示す斜視図である。

図 9は、本発明実施例で使用した光学サーポトラック形成 ·クリ一ユング装置の全体構成図である。

発明を実施するための最良の形態

初めに、①の c o ₂ によるクリーニング方法について説明する。磁気テープを長手方向に走行させながら、そのバックコート層にレーザ一光を照射して当該パックコート層に光学サーボ用の凹部を形成した後の工程において、光学サーボ用の凹部が形成されているパックコート層の表面に固体 C O ₂ を吹き付ければ、磁気テープを一度走行させるだけで光学サーボ用の凹部の内部およびその周辺に付着した燃焼力スを除去できる。図 1〜図 3に例示したように、クリーニング対象としての磁気テープ 1を高速（例えば、約 1 0 m/ sの速度）で走行させた状態で、そのバックコート層 2の表面に、固体 C O , (噴射時には液体で噴射直後に固体となる C O , ) を吹き付けることにより、バックコート層 ₂の表面に付着している粉体を効率よく除去できる。なお、図 1〜図 3 において、符号 3は非磁性支持体、 4は磁性層、 5は多数の光学サーボ用の凹部からなるサーボパターン、 6は下塗り層をそれぞれ示す。

いかなる理論にも拘束されるものではないが、このような固体 co₂ の吹き付けにより燃焼カスを効率良く除去できるのは、次のように考えられる。すなわち、バックコート層の表面に吹き付けられる co₂ は、一定の温度以下で、圧力が一定以上であれば、液体であるが、噴射後に圧力が急激に低下するため、液体から固体へと変化して粒子状もしくは微粒子状のドライアイスになる。このドライアイスは、 co₂ 吹き付け用の噴射ノズル 1 5から噴射された後に磁気テープ 1のバックコート層 2の表面の一部に当たって周辺に飛散する（短時間に炭酸ガスとなる）力そのバックコート層表面への衝突時にそこに付着していた粉体（主に燃焼カス）を吸着する。これにより、バックコート層表面における燃焼カスが分離'除去されることとなる。このとき、図 3に示したように、 C 0₂ 吹き付け領域の周辺を吸引ノズル 1 6等の吸引手段で吸引することで燃焼カスの除去を一層効率よく行うことができる。

なお、図 3の態様では、吸引手段として、テープ幅よりも大きな幅の吸引口 1 6 aを有する吸引ノズル 1 6をバックコート層面の上方に配置している力 S、吸引手段はこのようなものに限られない。例えば図 4に示すように、磁気テープ 1の走行方向と対向する方向から見て、磁気テープ 1のバックコート層 2側の面と両エッジ部（磁気テープ 1の長手方向に沿った両端部）とを覆うような吸引口 1 6 aを有する吸引手段 1 6を用いてもよいし、あるいは図 5に示すように、磁気テープ 1の走行方向と対向する方向から見て、テープ全体を取り囲むような吸引口 1 6 aをもつ吸引手段 1 6を用いてもよい。また、図示しないが、磁気テープの走行を妨げないようにしたうえで、 co₂ 吹き付け用の噴射ノズル 1 5を含めて C 0 ₂ 吹き付け領域全体を覆うような吸引手段を用いてもよい。

図 6に、レーザー照射により形成される光学サーボ用の回部の配列パターン（サーボパターン）の一例を示す。図 6は、テープ幅が 1 2 . 6 4 mm ( 1ノ 2インチ) である磁気テープ 1におけるサーボパターン 5の一例である力 S、この例では、そのテ一プ幅方向に、それぞれテープ長手方向に延びる 4列のバンド 5 aが形成されている。 1本のバンド 5 aの幅は約 0 . 4国である。各バンド 5 aは、微視的には光学サーポ用の凹部がテ一プ長手方向に並んだ状態のものを一列とし、この凹部の列がテープ幅方向に間隔を開けて複数並んだ構成とされている。レーザー照射により発生した粉体は、サーボパターンの凹部の内面に最も多く付着していることから、例えば図 3に示したように、 1つのバンド 5 aに対し 1つの C 0 ₂ 噴射孔 1 5 aを有する噴射ノズル 1 5が最も効率がよレ、。図示例の噴射ノズル 1 5は、 4バンドのパターンに対して 4つの噴射孔 1 5 aを有する。これらの噴射孔 1 5 aから均一に固体 C O ₂ (先に述べたように噴射時には液体である）を噴射することにより、サーボパターン 5を形成している凹部およびその周辺を確実にクリーニングすることができる。

また、高速（例えば、 l O mZ s ) で走行する磁気テープに対向する方向に一定の角度を持たせた co ₂ 吹き付け用の噴射ノズルから固体 c o₂ を吹き付ける。具体的には、図 2、図 3および図 7に示すように、磁気テープ 1の走行方向 Aから見てバックコート層表面における固体 c o₂ の被吹き付け部（固体 c o₂ が当たる部分）よりも前方側に、バックコート層 2の表面に対して例えば 3 0 °〜 9 0 ° (好ましくは 3 0 °〜6 0 °) 傾斜させた状態で C 0 ₂ 吹き付け用の噴射ノズル 1 5を配置し、そこから磁気テープ 1の走行方向 Aと対向する方向に固体 C O ₂ を喷射して前記被吹き付け部に当てることにより、バックコート層表面における光学サーボ用の凹部およびその周辺に付着した燃焼カスを吹き飛ばす。このようにすれば、光学サーボ用の凹部への c o₂ の流れを保ちながら、 co₂ 吹き付け相対速度を増加させることができるので、クリ一ユング効果を高めることができる。

効率よくサーボパターンを生成するには、長さ数千メ一トル以上の巻かれた磁気テ一プを走行させながら、レーザー照射によりバックコート層の表面に光学サーボ用の凹部を形成した後、クリーニング処理および表面に対する拭き取り処理を行い、その後に再び整然と巻き取りうるようなる装置が有効である。このような装置として、本発明では、図 7に例示するように、巻かれた磁気テープ 1を所定の方向に送り出す送り出し機構部 1 1と、送り出された磁気テープ 1のバックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーポ用の凹部を形成する光学サーポトラック形成部 1 2と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリーニングするクリーニング部 1 3と、このクリーニング後に磁気テープ 1を巻き取る卷き取り機構部 1 4とを有し、前記クリーニング部 1 3に、前記レーザー光の照射により形成された光学サーボ用の凹部およびその周辺に固体 C O ₂ を吹き付ける噴射ノズル 1 5を備えた C 0 ₂ 吹き付け部と、この固体 C 0 ₂ の吹き付けにより吹き飛ばされた前記光学サーボ用の凹部およぴその周辺の燃焼力スを吸引する吸引ノズル 1 6を備えた吸引部と、この燃焼カスの吸引後に例えばティッシュによりバックコート層と磁性層の表面を拭き取る拭き取り部 1 7とを備えた、磁気テープの光学サーボトラック形成 ·タリ一二ング装置を用いる。

このような装置においては、光学サーボトラック形成部 1 2、クリーニング部 1 3における C O ₂ 吹き付け部および拭き取り部のそれぞれにおいて張力口スが存在し、テープに対する最適な張力（例えば、 7 0 g〜2 0 0 g ) を超えることがある。そのため、各部別に磁気テープの張力を制御する張力制御手段を備えるのが好ましい。具体的には、後述する実施例において説明するように、第 1〜第 3吸引ロール 2 2〜 2 4により張力を絶縁し、各部に備えた張力検出器 2 7 · 2 8の値を、各吸引ロール 2 2を回転させるサーボモータにフィードバックして制御することで、磁気テープ 1に対する最適な張力を保ちながら走行させるようにした装置が有効である。

つぎに、 ②の起毛体等によるクリーニング方法について説明する。

比較的簡単な装置で、光学サーボ用にレーザー照射によって形成された凹部の内部および周辺に付着した燃焼カスを効率よく除去する方法について検討した結果、磁気テープを長手方向に走行させながら、起毛した毛を有する植毛体、織布（好ましくはベルべット）または不織布を接触させる工程を含む方法により、磁気テープを一度走行させるだけで、燃焼カスの除去に絶大な効果を発揮することが明らかになった。すなわち、本発明によれば、磁気テープを高速（例えば約 1 O m/秒）で走行させて、そのバックコート層表面に起毛した毛を有する植毛体、織布 (好ましくはベルべット）または不織布を接触させる工程を含む方法で当該バックコート層表面をクリーニングすることにより、バックコート層表面に存在する光学サーポ用の囬部の内部および周辺に付着した燃焼カス（粉体等）を効率よく除去することができる。

また、上記の方法を実施するに際し、本発明では、図 9に例示するように、巻かれた磁気テープ 1を所定の方向に送り出す送り出し機構部 1 1と、送り出された磁気テープ ;Lのバックコート層 2の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サーポトラック形成部 1 2と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリ一二ングするクリーニング部 1 3と、このクリーニング後に磁気テープ 1を卷き取る卷き取り機構部 1 4とを有し、前記クリーニング部 1 3には、バックコート層の表面をタリーニングすべく、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布をバックコート層の表面に接触させる接触部 1 5 bと、バックコート層の表面に付着している不要な粉体を拭き取る拭き取り部 1 7とが配置されている磁気テープの光学サーボトラック形成 'クリーエング装置を使用する。この装置は、磁気テープのバックコート層に対する光学サーポ用の凹部の形成作業と、燃焼力スのクリーニング作業とを 1本のラインで行えるので、生産性が高い。この場合において、光学サーボトラック形成部と、クリーニング部における接触部と拭き取り部の各部別に張力制御手段を備えて、これらの張力制御手段により各部別に磁気テープの張力を制御するようにすれば、生産性を向上させることができる。

本発明によりバックコート層表面の凹部およびその周辺に存在する燃焼カスを効率良く除去できるのは、起毛した毛が凹部に進入し、かつ適正な長さと剛性を持つので、この凹部に進入した毛によって燃焼カスが凹部から効率的に搔き出されるからであると考えられる。

上記の起毛した毛の単繊維径は、 0 . 5 μπ！〜 1 0 μπιが好ましく、 1 μπι〜 8 μηιがより好ましく、 2 μιη〜 6 がさらに好ましい。単繊維径が 0 . 5 μπι未満では毛の剛性 (腰の強さ）が小さいので燃焼カスの搔き出し効果が小さく、 Ι Ο μπιを超えると毛が凹部に進入しにくくなる。

単繊維の毛足の長さは、 0 . 5腿〜 5 mmが好ましく、 1 mi！〜 4 mmがより好ましく、 1 圏〜 3 ramがさらに好ましい。毛足の長さが 0 . 5 mm未満では、毛が凹部に進入しにくく、 5圆を超えると毛の剛性（腰の強さ）が小さくなり燃焼カスの搔き出し効果が小さくなる。また、剛性を保ちながら搔きだし効果を得る手段として太い単繊維先端部を分割する方法も有効である。

起毛した毛は、綿、麻のような天然繊維、レーヨン、ポリエステルのような合成繊維の少なくとも一種が使用される。繊維は単独、混紡のいずれでもよい。また、繊維は単繊維でもよいし 2本以上撚り合わせたものでもよい。

これらの起毛した毛の材料としては、綿は適度な剛性（腰の強さ）および太さを有するので、少なくとも綿を含むことが好ましい。例えば、綿 30 %〜 70 %とレーヨン 7 0%〜30%の混紡タイプのものが使用できる。

前述の図 6で説明したように、レーザー照射により発生した粉体は、サーボパターンの凹部の内面に最も多く付着している。起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布は、図 8に示すように回転ドラム 31に起毛クロス 32を巻き付けて数千 mの長尺磁気テープ 1卷毎に取り替える方式でもよいし、起毛ク口スを連続的に供給する方式でもよいが、前者の方式によれば装置が簡便になる。そこで、以下では、前者の方式を例にとつて説明する。

図 8に示すように、高速（例えば 1 OmZ秒）で走行する磁気テープ 1のバックコート層 2の表面に一定の接触角度 90°〜140°で起毛ドラム（図 8に示したように回転ドラム 3 1の外周に起毛クロス 32を巻き付けたもの） 30を接触させるとともに、磁気テープ 1の走行方向と対向する方向に一定の速さ [30〜50 r p s (1800〜 3 000 r p m) ] で起毛ドラム 30を回転させ、入側テンションを 50〜： I 00 g、出側テンションを 1 70〜260 gにすることで、テープテンションを 1.7〜2. 5Nに調整すれば、燃焼カスの除去効果が高くなるので好ましい。

接触角度が、 90°未満では磁気テープ送り速度を小さくすることが必要になって燃焼カス除去に時間がかかり、処理時間が短い場合には磁気テープの記録'再生を繰り返すと燃焼カスが凹部から脱落して磁性層やバックコート層平坦部等に再付着するためにエラーレートの上昇やサーボ信号の SZN低下の原因になりやすく、一方 140°を超えると装置の部品配置が窮屈になりやすい。通常、 90°〜1 20度がより好ましい。起毛ドラムの回転速度は、 188.4~314ラジアン Z秒（1800〜3000 r pm) が好ましい。回転速度が 188.4ラジアン Z秒（ 1800 r pm) 未満では、磁気テープ送り速度を小さくすることが必要になって燃焼カス除去に時間がかかり、回転速度が 314ラジアン/秒（3000 r pm) を超えると、モータが高価になるからである。また、 2個以上の起毛ドラム配置する方法もあるが、装置が大きくなる。

効率よくサーボパターンを生成するには、長さ数千メ一トル以上の巻かれた磁気テープを走行させながら、レーザー照射によりバックコート層の表面に光学サーボ用の凹部を形成した後、クリーニング処理おょぴ表面に対する拭き取り処理を行い、その後に再び整然と巻き取りうるようなる装置が有効である。このような装置として、本発明では、図 9に例示するように、巻力れた磁気テープ 1を所定の方向に送り出す送り出し機構部 1 1と、送り出された磁気テープ 1のバックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の ω部を形成する光学サ一ポトラック形成部 1 2と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリーニングするクリーニング部 1 3と、このクリーニング後に磁気テープ 1を卷き取る巻き取り機構部 1 4とを有し、前記クリーニング部 1 3に、バックコート層の表面をクリーニングすべく、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布をバックコート層の表面に接触させる接触部 1 5 bと、例えばティッシュによりパッタコート層の表面に付着している不要な粉体を拭き取る拭き取り部 1 7とを配置したことを特徴する磁気テープの光学サーポトラック形成 'クリーニング装置を用いる。ただし、このような装置においては、光学サーポトラック形成部 1 2、クリーニング部 1 3における接触部 1 5 bおよび拭き取り部 1 7のそれぞれにおいて張力ロスが存在し、テープに対する最適な張力（例えば、 7 0 g〜2 0 0 g ) を超えることがある。そのため、各部別に磁気テープの張力を制御する張力制御手段を備えるのが好ましい。具体的には、後述する実施例において説明するように、第 1〜第 3吸引ロール 2 2〜2 4により張力を絶縁し、各部に備えた張力検出器 2 7、 2 8の値を、各吸引ロール 2 2〜2 4 を回転させるサーボモータにフィードパックして制御することで、磁気テープ 1に対する最適な張力を保ちながら走行させるようにした装置が有効である。

以下、磁気記録媒体の各要素に好ましい形態を説明する。

<非磁性支持体 >

非磁性支持体の厚さは、 7 . 0 μπι以下が好ましく、 2 . 0〜 7 . 0 μπιがより好ましい。非磁性支持体の厚さが 2 μπι未満では製膜が難しく、またテープ強度が小さくなり、 7 . 0 μπιを越えるとテープ: J¥が厚くなり、テープ 1卷当りの記憶容量が小さくなる。非磁性支持体の長手方向のヤング率は、非磁性支持体の厚さによって異なる力通常 5 . 0 7 G P a ( 5 0 0 kg/mm² ) 以上のものが使用される。また、非磁性支持体の厚さが、 5 . 0 μπι以下の場合は、 1 0 . 1 3 G P a ( 1 0 0 O kgZmm² ) 以上のヤング率のものが好ましく使用される。非磁性支持体のヤング率が 5 . 0 9 G P a ( 5 0 0 kg/ 匪² )未満では、磁気テープの強度が弱くなつたり、磁気テープの走行が不安定になる。非磁性支持体の長手方向のヤング率を MD、幅方向のヤング率を T Dとした時の比 (MD/T D) は、 1 . 0〜： 1 . 8が好ましく、 1 . 1〜1 . 7がより好ましい。この範囲では、ヘッドタツチが良くなる。このような非磁性支持体には、ポリエチレンテレフタレ一トフイルム、ポリエチレンナフタレートフイノレム、芳香族ポリアミドフィルム、芳香族ポリイミドフィルム等がある。

<下塗層>

非磁性支持体と磁性層との間に下塗層を設けてもよい。下塗層の厚さは、 0. 3〜3 . 0 μπιが好ましく、 0 . 3〜 2 . 5 μιηがより好ましく、 0 . 3〜 2. 0 μιηがさらに好ましい。 0. 3 μηι未満では磁気テープの耐久性が悪くなる場合があり、 3 . Ο μηιを越えると磁気テープの耐久性向上効果が飽和するばかりでなくテープ全厚が厚くなって、 1卷当りのテープ長さが短くなり、記憶容量が小さくなる。

下塗層には、導電性改良の目的でカーボンブラック（C B) 、塗料粘度やテープ剛性の制御を目的に非磁性粒子を添加することができる。下塗層に使用する非磁性粒子としては、酸化チタン、酸化鉄、アルミナ等があるが、酸化鉄単独または酸化鉄とアルミナの混合系が好ましく使用される。

下塗層に、下塗層中の全無機粉体の重量を基準にして、粒径 1 0〜1 0 0 n mのカーボンブラックを 1 5〜3 5重量⁰ /₀、長軸長 0 . 0 5〜 0. 2 0 μπι、短軸長 5〜 2 0 0 η mの非磁性の酸化鉄を 3 5〜 8 3重量⁰ /。、必要に応じて粒径 1 0〜： 1 0 0 n mのァ /レミナを 0〜2 0重量％含有させると、ゥエツトオンゥエツトで、その上に形成した磁性層の表面粗さが小さくなるので好ましい。なお、非磁性酸化鉄としては針状の他、粒状または無定形の非磁性酸化鉄を使用してもよレヽ。粒状または無定形の非磁性酸化鉄を使用する場合には粒径 5〜2 0 0 n mの酸化鉄が好ましい。なお、表面の平滑性を損なわない範囲で 1 0 0 n m以上の大粒径 C Bを添加することを排除するものではない。その場合の C B量は、小粒径 C Bと大粒径 C Bの和を上記範囲内にすることが好ましい。

下塗層に添加するカーボンブラック（C B) としては、アセチレンブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック等を使用できる。通常、粒径が 5 n m〜2 0 0 n mのものが使用されるが、粒径 10〜100 nmのものが好ましい。力一ボンブラックがストラクチャ一を持っているため、粒径が 10 nm以下になると CBの分散が難しく、 1 00 nm以上では平滑性が悪くなる。

CB添加量は、 CBの粒子径によって異なるが、 15〜35重量％が好ましい。 1 5 重量％未満では導電性向上効果が乏しく、 35重量％を越えると効果が飽和する。粒径 1 5 nm〜80 nmの CBを 15〜35重量⁰ /₀使用するのがより好ましく、粒径 20 n m〜50 nmの CBを 20〜30重量％用いるのがさらに好ましレ、。このような粒径 · 量のカーボンブラックを添加することにより電気抵抗が低減され、かつ走行むらが小さくなる。

下塗層に添加する非磁性の酸化鉄としては、針状の場合、長軸長 0.05-0. 2 Ομ m、短軸長（粒径） 5〜200 nmのものが好ましく、粒状または無定形のものでは、粒径 5〜 200 n mが好ましい。粒径 5〜 1 50 n がより好ましく、粒径 5〜 100 nmがさらに好ましい。なお、針状のものが磁性層の配向がよくなるのでより好ましい。添加量は、 35〜 83重量％が好ましく、 40〜 80重量％がより好ましい。粒径（針状の場合は短軸長）が 5 n m未満では均一分散が難しく、 200nmを越えると下塗層と磁性層の界面の凹凸が増加する。添加量 35重量％未満では塗膜強度向上効果が小さく、 83重量％を越えると反つて塗膜強度が低下する。

下塗層には酸化鉄に加えてアルミナを添カ卩してもよレ、。アルミナの粒径は、 10〜1 O Onmが好ましく、 20〜： L 0 Onmがより好ましく、 30〜： I 00 n mがさらに好ましい。粒径 10 n m未満では均一分散が難しく、 100 n mを越えると下塗層と磁性層の界面の凹凸が増加する。アルミナの添加量は、通常 0〜20重量％であるが、 2〜 10重量％がより好ましい。

ぐ潤滑剤〉

下塗層と磁性層からなる塗布層に、役割の異なる潤滑剤を使用することができる。例えば、下塗層には全粉体に対して 0. 5〜4.0重量％の高級脂肪酸を含有させ、かつ 0. 2〜3.0重量。 /₀の高級脂肪酸のエステルを含有させると、磁気テープと走行系のガイド等との摩擦係数が小さくなるので好ましレ、。高級脂肪酸の添加量が、 0. 5重量％未満では、摩擦係数低減効果が小さく、 4.0重量。 /。を越えると下塗層が可塑化してしまい強靭性が失われる。また、高級脂肪酸のエステルの添加量が 0 . 5重量％未満では、摩擦係数低減効果が小さく、 3 . 0重量％を越えると磁性層への移入量が多すぎるため、磁気テープと走行系のガイド等が貼り付く等の副作用がある。

脂肪酸としては、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン酸、ォレイン酸、リノール酸などの高級脂肪酸が使用される。脂肪酸エステルとしては、ステアリン酸プチル、ステアリン酸ォクチル、ステアリン酸アミル、ステアリン酸イソォクチル、ミリスチン酸ォクチル、ステアリン酸プトキシェチル、モノーステアリン酸無水ソルビタン、ジ一ステアリン酸無水ソルビタン、トリーステアリン酸無水ソルビタンなどが使用される。

磁性層には、強磁性粉末に対して 0 . 2〜3 . 0重量。 /₀の脂肪酸アミドを含有させ、かつ 0 . 2〜3 . 0重量⁰ /₀の高級脂肪酸のエステルを含有させると、磁気テープと走行系のガイドゃ MRへッドのスライダ等との摩擦係数が小さくなるので好ましい。脂肪酸ァミドの量が、 0 . 2重量％未満ではヘッドスライダ Z磁性層の摩擦係数（動摩擦係数）が大きくなりやすく、 3 . 0重量。 /。を越えるとプリードアウトしてしまいドロップアゥトなどの欠陥が発生する。また、高級脂肪酸のエステルの添加量が 0 . 2重量％未満では摩擦係数低減効果が小さく、 3 . 0重量。 /。を越えると磁気テープと走行系のガイド等が貼り付く等の副作用がある。

脂肪酸ァミドとしてはパルミチン酸、ステアリン酸等の上記高級脂肪酸のァミドが使用可能である。

なお、磁性層の潤滑剤と下塗層の潤滑剤の相互移動を排除するものではない。

MRヘッドのスライダとの摩擦係数（μ^ ) は 0 . 3 0以下が好ましく、 0 . 2 5以下がより好ましレ、。 0 . 3 0を越えると、スライダ汚れによるスペーシングロスが起こりやすい。なお、 0 . 1 0未満は実現が困難である。

S U Sとの摩擦係数（μ, は 0 . 1 0〜0 . 2 5が好ましく、 0 . 1 2〜0 . 2 0がより好ましい。 0 . 1 0未満になるとガイド部分で滑りやすく走行が不安定になり、 0 . 2 5を越えるとガイドが汚れやすくなる。

また、 [ (μ^ ) Ζ (μ^) ] は 0 . 7〜1 . 3が好ましく、 0 . 8〜 1 . 2力 Sより好ましい。この範囲では、磁気テープの蛇行によるトラッキングずれ（オフトラック）が小さくなる。

ぐ磁性層 >

磁性層の厚さは上述のように、通常 3μπι以下で、 0.01〜0.3μπιが好ましく、 0.01—0.25μπιがより好ましく、 0.01〜0.1 Ομπιがさらに好ましい。磁性層の厚さ力 0.0 Ιμπι未満では均一な磁性層が得にくく、 0.3μχηを越えると厚さ損失により、再生出力が小さくなつたり、残留磁束密度と厚さの積が大きくなり過ぎて、 Μ Rへッドの飽和による再生出力の歪が起こりやすくなる。

また、磁性層の保磁力は、 120〜 320k AZmが好ましく、 140〜320kA /παがより好ましい。 120k A/m未満では記録波長を短くすると反磁界減磁で出力低下が起こり、 320 k AZmを越えると磁気へッドによる記録が困難になる。

長手方向の残留磁束密度と厚さの積は 0.0018μΤπι〜0.06μΤηΐιが好ましく、 0.0036— 0.05 ΟμΤιηがより好ましい。 0.0018μΤπι未満では、 MRへッドによる再生出力が小さく、 0.06μΤιηを越えると MRへッドによる再生出力が歪みやすい。

磁性層の平均面粗さ R aが 3.2 nm以下 1.0 nm以上で、該磁性層の凹凸の中心値を P。、該磁 14層の最大の突起の高さをとした時の（Ρ — P。）が 30nm以下 10nm以上で、第 20番目の突起の高さを P₂₀とした時の — P₂₀) を 5n m以下にすれば、 MRへッドとのコンタクトがよくなり、 MRへッドを使用した時の再生出力が高くなるので好ましい。

磁性層に添加する磁性粉には、強磁性鉄系金属粉末、六方晶パリゥムフェライト粉末が使用される。強磁性鉄系金属粉末、六方晶バリゥムフェライト粉末の保磁力は、 12 0〜 320 k AZmが好ましく、飽和磁化量は、強磁性鉄系金属粉末では、 120〜 2 00 A · m kg (1 20〜200 emuZg) が好ましく、 130〜180Α · m² /kg (130〜180 emu/g) がより好ましい。六方晶バリゥムフェライト粉末では、 50〜70A ' m²Zkg (50~70 emu/g) が好ましい。なお、この磁性層の磁気特性と、強磁性粉末の磁気特性は、いずれも試料振動形磁束計で外部磁場 1.2 8MA/m (16 kO e) での測定値をいうものである。

強磁性鉄系金属粉末の平均長軸長としては、 0.03〜0.2μπιが好ましく、 0.03 〜0. 18μπιがより好ましく、 0.03〜0. 10がさらに好ましい。平均長軸長が 0. 03μπι未満となると、磁性粉の凝集力が増大するため塗料中への分散が困難になり、 0. 2 μπιより大きいと、保磁力が低下し、また粒子の大きさに基づく粒子ノイズが大きくなる。また、六方晶バリウムフェライト粉末では、同様な理由により、板径 5〜20 O nmが好ましく、 10〜： 100 nmがより好まく、 10〜 50 nmがさらに好ましい。なお、上記の平均長軸長、粒径は、走査型電子顕微鏡 (SEM) にて撮影した写真の粒子サイズを実測し、 100個の平均値により求めたものである。また、この強磁性鉄系金属粉末の BET比表面積は、 35m²/g以上が好ましく、 40m²/g以上がより好ましく、 5 Om²/g以上が最も好ましい。六方晶バリウムフェライト粉末の BET 比表面積は、 1〜10 Om²/gが好ましく用いられる。

下塗層、磁性層には、ポリウレタン樹脂と、塩ィ匕ビニル樹脂、塩ィ匕ビニル一酢酸ビニル共重合体、塩化ビュル—ビュルアルコール共重合体、塩化ビニル—酢酸ビニルーピ二ルアルコール共重合体、塩化ビルー酢酸ビニル—無水マレイン酸共重合体、塩化ビニル—水酸基含有アルキルァクリレート共重合体、二トロセルロースなどの中から選ばれる少なくとも 1種との組み合わせがある。中でも、塩化ビュル一水酸基含有アルキルァクリレート共重合体とポリウレタン樹脂を併用するのが好ましい。ポリウレタン樹脂には、ポリエステルポリウレタン、ポリエーテルポリウレタン、ポリエーテルポリエステルポリウレタン、ポリカーボネートポリウレタン、ポリエステルポリカーボネートポリウレタンなどがある。

官能基として COOH、 S0₃ M、 0S0₂ M， P = 0 (OM) ₃ 、 0-P = 0 (O M) ₂ [式中、 Mは、水素原子、アルカリ金属イオン又はアミン塩を表す。 ] 、 OH、 NR^², N⁺R³R⁴R⁵ [式中、 I ¹、 R²、 R³、 R⁴及び R⁵は、それぞれ独立に水素または炭化水素基を表す。 ]、エポキシ基を有する高分子からなるウレタン樹脂等の結合剤が使用される。このような結合剤を使用すると、上述のように磁性粉等の分散性カ垧上する。 2種以上の樹脂を併用する場合には、官能基の極性を一致させるのが好ましく、中でも一 S0₃ M基同士の組み合わせが好ましい。

これらの結合剤は、強磁性粉末 100重量部に対して、 7~50重量部、好ましくは 10〜35重量部の範囲で用いられる。特に、結合剤として、塩化ビニル系樹脂 5〜3 0重量部とポリウレタン樹脂 2〜 20重量部とを併用するのが最も好ましい。

これらの結合剤とともに、結合剤中に含まれる官能基などと結合させて架橋する熱硬化性の架橋剤を併用するのが望ましい。この架橋剤としては、トリレンジィソシァネート、へキサメチレンジイソシァネート、イソホロンジイソシァネートなどや、これらのィソシァネート類とトリメチロールプロパンなどの水酸基を複数個有するものとの反応生成物、上記ィソシァネート類の縮合生成物などの各種のポリィソシァネートが好ましい。

これらの架橋剤は、結合剤 100重量部に対して、通常 10〜50重量部の割合で用いられる。より好ましくは 10〜35重量部である。なお、磁性層に使用する架橋剤の量を下塗層に使用する量の 1/2程度（30%〜60%) にすれば、 MRへッドのスラィダに対する摩擦係数が小さくなるので好ましい。架橋剤の量が 30 %未満では、磁性層の塗膜強度が弱くなりやすく、 60%を越えるとスライダに対する摩擦係数を小さくするために、ティッシュによる拭き取り処理条件（LRT処理条件）を強くする必要があり、コストアップにつながる。

導電性向上と表面潤滑性向上を目的に従来公知の C Bを添加することができる。これらの CBとしては、アセチレンブラック、ファーネスプラック、サーマルブラック等を使用できる。粒子径が 5 ηπ！〜 200 nmのものが使用される力粒径 10 nm〜l 0 0 nmのものが好ましい。 CBの粒径が 5 nm以下になると CBの分散が難しく、 20 0 n m以上では多量の C Bを添加することが必要になり、何れの場合も表面が粗くなり、出力低下の原因になる。添加量は強磁性粉末に対して 0. 2〜5重量％が好ましく、 0. 5 ~4重量％がより好ましい。 0. 2重量％未満では効果が小さく、 5重量％を越える CBを添加すると、磁性層表面が粗くなりやすい。

<ノック n—卜層 >

バックコート層の厚さは、 0. 25〜0.8μπιが好ましく、 0.4〜0.8μιηがより好ましく、 0.4〜0. 6μπιがさらに好ましい。バックコート層の厚さが、 0. 25μπι未満では、光学サーボ用の凹部の形成ための条件（レーザーパワー等）の制御が難しく、 0.8 μπιを越えるとテープ全厚が厚くなり、 1卷当たりの記憶容量が小さくなる。

バックコート層と SUSとの摩擦係数（ _Bsus) は 0. 10〜0. 30が好ましく、 0. 10〜0.25がより好ましい。この摩擦係数が、 0. 10未満になるとガイド部分で滑りやすく走行が不安定になり、 0. 30を越えるとガイドが汚れやすくなる。また、 [ (μ^ ) / _sus) ] は 0.8〜1· 5が好ましく、 0. 9~1.4がより好ましい。磁気テープの蛇行によるトラッキングずれ（オフトラック）が小さくなる。

バックコート層の平坦部の光反射率の平均値は 8. 5%以上が好ましく、 9.0%以上がより好ましく、 10 %以上がさらに好ましい。光反射率の平均値が 8. 5 %未満ではサーボ信号（S) が小さくなりトラッキング不良の原因になる。通常の実用的なバックコート層の光反射率の平均値の上限値は 15%である。バックコート層の光反射率の平均値が 15%を越えると、均一なバックコート層では一般に耐久性が劣化する。光反射率の平均値が 15%を越えるバックコート層を使用する場合には、光学サーボ用の凹部が形成されている部分以外の平坦部の光反射率の平均値を 1 5 %以下にすることで耐久性が劣化しないように必要がある。

光反射率の平均値の平均を 8. 5%以上にすると共に、平坦部の光反射率の場所（磁気テープ位置）による変動率：

(光反射率の平均値からの光反射率変動の絶対値の最大値) lOO/ (光反射率の平均値）を 10 %以下にすることが好ましく、 5 %以下がより好ましく、 3 %以下がさらに好ましく、最も好ましいのは 0%である。この変動率が 10 %を越えるとサーボ信号の S / Nが小さくなりトラッキングエラーの原因になる。

なお、光反射率の場所による変動率を評価するに当たっては長さ 4 Omm 当りの光反射率変動を調べれば足りる。これは、長さ 4 Omm 当りの光反射率変動が、磁気テープ全長当りの光反射率変動とほぼ等しいからである。

平坦部の光反射率の平均値を 8. 5 %以上にすると共に、平坦部の光反射率の場所による変動率を 10%以下にするための好ましい方法には、バックコート層の非磁性粉末の含有率：

(非磁性粉末重量） xl 00/ (非磁性粉末重量 +結着剤重量）

を 50重量％以上とし、かつ AFM法で測定したバックコート層の平坦部の表面粗さ R aを 3 Onm以下、当該表面粗さ R aの磁気テープ位置による変動の半値幅を 5 n m以下に制御する方法がある。また、平坦部の表面粗さ R aは通常 10 nm以上が好ましく、 20 nm以上がより好ましい。 R aが 10 nm未満になると耐久性が劣化しやすい。平 ±且部の表面粗さ R a力 S 10 nm未満のバックコート層を使用する場合には、光学サーボ用の凹部が形成されている部分以外の平坦部の表面粗さ R aを 10 nm以上にする必要がある。なお、 40μιηχ4 Ομπι当りの表面粗さ Raを 100個所で AFMにより測定すれば、磁気テープ全長当りの Raおよび Ra変動とほぼ等しい結果が得られる。このようにバックコート層平坦部の光反射率は、非磁性粉末の含有率を 50重量％以上として、かつ表面を平滑にすれば高くなる力バックコート層の非磁'性粉末の含有率を 6 0重量％以上にすると、平坦部の表面粗さ R aを 30 n m以下にし難くいばかりでなく、カレンダ条件等を強くして平坦部の粗さ Raを 30nm以下にすると、バックコート層の耐久性が悪くなりやすレ、。このような理由から、バックコート層の非磁性粉末の含有率は実用上 50-60重量％の範囲が好ましく、 50〜 58重量％がより好ましく、 5 0〜56重量％がさらに好ましく、 53〜56重量％がいつそう好ましい。

また、非磁性粉末の中に占めるカーボンブラックの割合を 80重量％以上にすると、レーザー光によって光学サーボ用の凹部を形成しやすくなるので好ましく、 85重量％以上がより好ましい。さらに、カーボンブラックと共に、合わせて 20重量％以下の酸化鉄（例えばベンガラ）等を添加すると、バックコート層の強度が高くなるので好ましい。

バックコ一ト層のカーボンブラック (CB) としては、アセチレンブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック等を使用できる。通常、小粒径カーボンと大粒径カーボンを使用する。小粒径カーボンには、粒子径が 5 nm〜20 Onmのものが使用される力粒径 1 Onm〜l 00 nmのものがより好ましレヽ。粒径が 1 O nm以下になると C Bの分散が難しく、粒径が 100 n m以上では多量の C Bを添加することが必要になり、何れの場合も表面粗さ R aが 30 n m以上になり、平坦部の光反射率が小さくなる。大粒径カーボンとして、全カーボン (小粒径力一ボンと大粒径カ一ボンの合計) の 5〜 1 5重量％の割合で、粒径 200〜400 nmの大粒径カーボンを使用すると、表面も粗くならず、走行性向上効果も大きくなる。大粒径カーボンの量が 5重量％未満では耐久性向上効果が小さく、 15重量％を越えると平坦部の光反射率の変動が大きくなる。小粒径カーボンと大粒径カーボン合計の添加量は非磁性粉末重量を基準にして 80〜 1 0 0重量％が好ましく、 8 5〜1 0 0重量％がより好ましい。 A F Mで測定した表面粗さ R aは上述のように 3 O n m以下が好ましく、通常 1 O n m以上である。

バックコート層には、強度向上を目的に、無機粉体重量を基準にして合わせて 2 0重量％以下の酸化鉄などの無機添加剤（例えば、酸化鉄、アルミナのような通常バックコート層に添加されている添加剤）を添加する。添加量は 2〜 2 0重量％がより好ましく、 5〜 1 5重量％がさらに好ましい。 2重量％未満では強度向上効果が小さく、 2 0重量％を越えるとレーザーによる光学サーボ用の 00部の形成が難しくなる。なお、酸化鉄を主成分とした酸化物が好ましく使用される力 S、酸化鉄とアルミナを同時に添加することもできる。後者の場合のアルミナ添加量は、酸化鉄の 2 0重量％以下とするのがよい。アルミナ添加量が酸化鉄の 2 0重量％を超えると燃焼ガス除去のためのクリーニング条件を厳しくする必要がある。酸化鉄（粒状）などの粒子径は 0 . 0 5 μπι〜0 . 4 μπιが好ましく、 0 . 0 7 μη！〜 0 . 3 5 μχηがより好ましい。 0 . 0 5 μπα未満では強度向上効果が小さく、 0 . 4 μπιを超えると平坦部の反射率の変動が大きくなる。

バックコート層には、結合剤として、前述した磁性層や下塗層に用いるのと同じ樹脂を用いることができるが、これらの中でも摩擦係数を低減し走行性を向上するため、セルロース系樹脂とポリゥレタン樹脂を併用することが好ましい。結合剤の含有量は通常、カーボンブラックと前記無機非磁性粉末との合計量 1 0 0重量部に対して 4 0〜 1 5 0重量部で、 5 0〜： 1 2 0重量部が好ましく、 5 0〜： 1 1 0重量部がより好ましく、 5 0〜1 0 0重量部がさらに好ましい。 5 0重量部未満では、バックコート層の強度が不十分で、 1 2 0重量部を越えると摩擦係数が高くなりやすい。セルロース系樹脂を 3 0 〜7 0重量部、ポリウレタン系樹脂を 2 0〜 5 0重量部使用することが好ましい。また、さらに結合剤を硬化するために、ポリイソシァネ一ト化合物などの架橋剤を用いることが好ましい。

バックコート層には架橋剤として、前述した磁性層や下塗層に用いる架橋剤を使用する。架橋剤の量は、結合剤 1 0 0重量部に対して、通常 1 0〜 5 0重量部の割合で用いられる。好ましくは 1 0〜3 5重量部、より好ましくは 1 0〜 3 0重量部である。 1 0 重量部未満では、バックコート層の塗膜強度が弱くなりやすく、 5 0重量部を越えると S U Sに対する動摩擦係数が大きくなる。 <LRT処理（ラッピング/口一タリー Zティッシュ処理） >

磁性層については、 LRT処理を施すことにより表面の平滑性、 MRへッドのスライダ材料やシリンダ材料との摩擦係数や表面粗さ、表面形状が最適化され、磁気テープの走行性、スペーシングロスの低減、 MR再生出力の向上ができる。

L R T処理の各工程について説明する。

(1) ラッピング処理

研磨テープ（ラッピングテープ）は、回転ロールによってテープ送り（標準： 400 m/min. ) と反対方向に一定の速さ（標準： 14.4cmZmin.) で移動し、上部からガイドブロックによって押さえられることによつてテープ磁性層表面と接触し、この時の磁気テープ卷き出しテンションおよびラッピングテープのテンションを一定（標準：各 100 g、 250 g) として研磨処理が行われる。

この工程で使用する研磨テープ (ラッピングテープ) 3は、例えば、 M20000番、 WA 10000番あるいは K10000番のような研磨砥粒の細かい研磨テープ（ラッビングテープ）である。なお、研磨ホイール（ラッピングホイール）を研磨テープ（ラッビングテープ) の代りにまたは併用して使用することを排除するものではないが、頻繁に交換を要する場合は、研磨テープ (ラッピングテープ) のみを使用する。

(2) ロータリー処理

空気抜き用溝付ホイール [標準：幅 1吋（25.4讓）、直径 60mm< 空気抜き用溝 2腿幅、溝の角度 45度、協和精ェ株式会社製] と磁性層とを一定の接触角度（標準： 90度）でテープと反対方向に一定の回転速度（通常： 200〜3000 r pm、標準： 1100 r pm) で接触させて処理を行う。

(3) ティッシュ処理：ティッシュ [例えば東レ株式会社製の織布トレシー] を回転棒で各々バックコート層及び磁気層面をテープ送りと反対方向に一定の速度（標準： 1 4.0 mm/min. ) で送り、クリーニング処理を行う。

本楽明の磁気テープを組み込んだカセットテープは、光学的サーボ信号の S/Nが高いので、サーボトラッキング性能が優れており、ハードディスクドライブのバックアツプ用テープとして、信頼性が高い。実施例

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例、比較例において、「部」は「重量部」を示す。

実施例 1

《下塗層用塗料成分》

(1)

酸化鉄粉末（粒径： 0. 1 1 X 0.02 μιη) 68部 ct—アルミナ（粒径： 0.07μπι) 8部カーボンブラック（粒径： 25 nm、吸油量： 55 g/cc) 24部ステアリン酸 2. 0咅 |5 塩化ビニルーヒドロキシプロピルァクリレート共重合体 8. 8部

(含有— S0₃ Na基： 0. 7x10— ⁴当量 Zg)

ポリエステルポリウレタン樹月旨 4.4咅 |5

(Tg ： 40°C、含有—S0₃ Na基： lxl 0—⁴当量/ g)

シク口へキサノン 25部メチルェチルケトン 40部トルエン 10部

(2)

ステアリン酸プチル 1部シク口へキサノン 70部メチルェチルケトン 50部トルエン 20部

(3)

ポリイソシァネート（日本ポリウレタン工業社製コロネート L) 4.4咅 |5 シク口へキサノン 10部メチノレエチノレケトン 15部トルエン 10部

《磁性層用塗料成分》 (A)

強磁性鉄系金属粉 100部

(C oZF e ： 30 a t %、 Y/ (F e +C ο) ： 3 a t %、 A 1 Z (F e + C o ) 5 w t%、 C a/F e : 0、 as ： 155 A · m²Zkgヽ He ： 188.2 k A/m, pH： 9.4、長軸長 : 0. 10 μηι)

塩ィ匕ビュル一ヒドロキシプロピルァクリレート共重合体 12. 3咅 |5

(含有— S0₃ Na基： 0.7x1 (Γ⁴当量/ g)

ポリエステノレポリウレタン樹月旨 5. 5咅 [5

(含有一 S0₃ Na基： 1.0x10— ⁴当量 Zg)

α—アルミナ（平均粒径： 0. 12μπι) 8部 α—アルミナ（平均粒径： 0.07μιη) 2部カーボンブラック 1.0咅

(平均粒径： 75 n m、 DB P吸油量： 72 cc/ 100 g)

メチノレアシッドホスフェート 2部パルミチン酸アミド 1. 5¾ ステアリン酸 n—ブチル 1.0咅 [5 テトラヒドロフラン 65部メチノレエチノレケトン 245部トルエン 85部

(B)

ポリイソシァネート（日本ポリウレタン工業社製コロネート L) 2.0咅^ シク口へキサノン 1 67部上記の下塗層用塗料成分の中の群（1) の成分をニーダで混練したのち、群（2) の成分を加えて攪拌の後サンドミルで滞留時間を 60分として分散処理を行い、これに群 (3) の成分を加え攪拌 '濾過した後、下塗層用塗料とした。

これとは別に、上記の磁性層用塗料成分の群（A) の成分を-一ダで混練したのち、サンドミルで滞留時間を 45分として分散し、これに群（B) の成分を加え攪拌'濾過後、磁性塗料とした。

上記の下塗層用塗料を、ポリエチレンナフタレートフィルム（厚さ 6.2μπι、 MD = 6.08Pa、 MD/TD=1. 1、帝人製）からなる非磁性支持体上に、乾燥、カレンダ後の厚さが 1.8μπιとなるように塗布し、この下塗層上に、さらに上記の磁性塗料を磁場配向処理、乾燥、カレンダー処理後の磁性層の厚さが 0.15 μπιとなるようにゥェット ·オン ·ゥエツトで塗布し、磁場配向処理後、ドライヤを用いて乾燥し、磁気シ一トを得た。なお、磁場配向処理は、ドライヤ前に Ν— Ν対向磁石（5kG) を設置し、ドライヤ内で塗膜の指蝕乾燥位置の手前側 75 cmから N— N対向磁石（ 5 k G) を 2 基 5 Ocm間隔で設置して行った。塗布速度は 10 Om/分とした。

《バックコート層用塗料成分》

カーボンブラック（粒径： 25 nm) 78部（41.5重量％) カーボンブラック（粒径： 350 nm) 10部（ 5.3重量％)

[カーボンブラック計 88部（46.8重量部） ] ベンガラ A (粒状： 0. Ιμιη) 10部（ 5.3重量％) ベンガラ Β (粒径： 0.27μηι) 2部（ 1.1重量％)

[非磁性粉末計 100部（53.2重量部） ] 二トロセルロース（NC) 44部（23.4重量％) ポリウレタン樹脂（一 S0₃ Na基含有） 31部（16.4重量％) シク口へキサノン 260部

卜ノレェン 260部

メチルェチノレケトン 525部上記バックコ一ト層用塗料成分をサンドミルで滞留時間 45分として分散した後、ポリイソシァネート 13部（6.9重量％) を加えてバックコート層用塗料を調整し濾過後、上記で作製した磁気シートの磁性層の反対面に、乾燥、カレンダ後の厚さが 0.5μ mとなるように塗布し、乾燥した。このようにして得られた磁気シートを金属口ールからなる 7段カレンダで、温度 100°C、線圧 147 kNZm ( 150 kg f /cm) の条件で鏡面化処理し、磁気シートをコアに巻いた状態で 70°Cで 72時間エージングしたのち、 1 Z 2幅に裁断し、下記の条件で L R T処理を行った後、図 7に示す光学サーボトラック形成 ·クリーニング装置を用！/、てバックコート層に光学サーボ用の凹部を形成し、固体 c o ₂ の吹き付け処理とクリーニング処理とを行った。このようにして得られた磁気テープを、カートリッジに糸且み込み、コンピュータ用テープを作製した。なお、光学サーボトラック形成'クリーニング装置およびこの装置を用いた処理については後述する。

< L R T (ラッピング/ロータリー/ティッシュ）処理〉

( 1 ) ラッピング処理

研磨テープ（ラッピングテープ）は、回転ロールによってテープ送り（4 0 0 m/min. ) と反対方向に 1 4 . 4 cm/分の速さで移動させ、上部からガイドブロック 4によって押さえることによってテープ磁性層表面と接触させる。この時の磁気テープ卷き出しテンシヨンを 1 0 0 g及びラッピングテープのテンションを 2 5 0 gとして研磨処理を行つた。

( 2 ) ロータリーアルミホイール処理：幅 1インチ（2 5 . 4讓）、直径 6 0 で 2 讓幅の空気抜き用溝付きのホイール（溝の角度 4 5度、協和精ェ株式会社製）と磁性層とを接触角度 9 0度でテープと反対方向に回転速度 1 1 0 0 r p mで接触させて処理を行った。

( 3 )ティッシュ処理：東レ株式会社製の織布トレシ一を回転棒で各々バック層及び磁気層面をテープ送りと反対方向に 1 4 . O mm/分の速度で送り、クリーニング処理を行った。

ここで、先に述べた光学サ一ボトラック形成 ·クリーニング装置およびこの装置を用いた処理について説明する。

この光学サーボトラック形成 ·クリーニング装置は、図 7に示すように、巻かれた磁気テープ 1を所定の方向に送り出す送り出し機構部 1 1と、送り出された磁気テープ 1 のバックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サ一ボトラック形成部 1 2と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリーニングするクリーニング部 1 3と、このクリーニング後に磁気テープ 1を巻き取る巻き取り機構部 1 4とを有する。クリーニング部 1 3には、前記レーザー光の照射により形成された光学サーボ用の凹部おょぴその周辺に固体 C 0 ₂ を吹き付ける噴射ノズル 1 5を備えた C 0 ₂ 吹き付け部と、この固体 C O ₂ の吹き付けにより吹き飛ばされた前記光学サーボ用の凹部およびその周辺の燃焼カスを吸引する吸引ノズル（吸引手段） 1 6を備えた吸引部と、この燃焼カスの吸引後にバックコート層の表面をティッシュクリーナーで拭き取る拭き取り部 1 7とが配置されている。

このうち C 0 ₂ 吹き付け部に備えられた嘖射ノズル 1 5は、図 3に示したように、磁気テープ 1の幅方向における光学サーボ用の凹部の配列パターンに合致した c o ₂ 噴射孔 1 5 aを有し、磁気テープ 1のバックコート層 2の面に対して 3 0。傾斜した状態にセットされている（図 3参照）。そして、磁気テープ 1の走行方向と対向する方向に向けてバックコート層 2における C 0 ₂ の被吹き付け部 Bの前方上部斜め方向から当該被吹き付け部 Bに固体 C 0 ₂ を噴射するようになっている。また、吸引部に備えられた吸引ノズル 1 6は、前記被吹き付け部 Bの近傍に配置される吸引口 1 6 aを有し、固体 C 0 ₂ の吹き付けによりバックコート層表面から分離された燃焼カスを吸引口 1 6 aから吸引して除去するようになっている。

一方、拭き取り部 1 7は、磁気テープ 1の磁性層とバックコート層の各表面にそれぞれ接触するように配置されたティッシュクリーナー 1 8 · 1 9と、このティッシュタリーナー 1 8 · 1 9を所定の速さで巻き取り可能に保持する各一対のローラ 2 0 · 2 1とを有する。そして、各ティッシュクリーナー 1 8 · 1 9を磁気テープ 1の磁性層とパッタコート層の各表面に押し当てることにより、そこに付着している不要な粉体を拭き取るようになっている。

カロえて、本発明でいう張力制御手段を構成するものとして、図 7に示した装置には、以下のような手段が備えられている。すなわち、光学サーボトラック形成部 1 2と吸引ノズル 1 6との間には第 1吸引口ール 2 2力噴射ノズノレ 1 5とき取り部 1 7との間には第 2吸引ロール 2 3力拭き取り部 1 7と巻き取り部 1 4との間には第 3吸引ロール 2 4がそれぞれ配置されている。また、送り出し機構部 1 1と光学サーボトラック形成部 1 2との間、および第 3吸引ロール 2 4と巻き取り機構部 1 4との間には、磁気テープ 1の張力を調節する張力アーム 2 5 · 2 6がそれぞれ備えられ、さらに第 2吸引口一ノレ 2 3と噴射ノズル 1 5および拭き取り部 1 7との各間には、磁気テープ 1の張力を検出するとともに張力の調節が可能な張力検出器 2 7 · 2 8が設けられている。そして、各吸引ロール 2 2〜 2 4によって磁気テープ 1の張力を絶縁するとともに、前記張力検出器 2 7 · 2 8の値を、各吸引ロール 2 2〜2 4を回転させるサーボモータにフィードバックすることで、光学サーボトラック形成部 1 2、クリーニング部 1 3における C O 2 吹き付け部と拭き取り部 1 7の各部別に、磁気テープに対する最適な張力を得ることができるように構成されている。

本発明の実施例では、このような装置を用いて、磁気テープの張力を 1 5 0 gに保ちながら、 1 0 m/ sの速度で磁気テープを走行させ、以下に述べるような光学サーボ用の凹部パターンの形成、固体 co₂ の吹き付け処理、燃焼カスのクリーニング処理を行つた。

<光学サーボ用凹部パターンの形成 >

図 7に示した光学サーポトラック形成'クリ一二ング装置の光学サーボトラック形成部 1 2において磁気テープ 1のバックコート層の表面にレーザー光を照射し、光学サーボ用の凹部を形成した。このとき、光学サーボ用の凹部パターンとして、図 6に示したように、 1 2. 6 4面のテープ幅方向に 4バンドが並ぶように形成し、 1バンドの幅が約 0 . 4瞧となるように光学サーボ用の凹部群を形成した。

<固体 c o₂ の吹き付け処理〉

つぎに、固体 C 0₂ 吹き付け用の噴射ノズル 1 5と、吸引ノズル 1 6とを用いて、上記レーザー光の照射により生成した燃焼カスを大略除去した。なお、バックコート層面に対する嘖射ノズル 1 5の角度は先に述べたように 3 0。に設定した。

<クリーニング処理 >

最後に、拭き取り部 1 7に備えたティシュクリーナー 1 8， 1 9を用いて、残存している燃焼カスを完全に除去して、 B r δ (磁性層におけるテープ長手方向の残留磁束密度と厚みの積）が 0 . 0 4 5 μΤπι、保磁力 H cが 1 9 2 k A^mである上述の磁気テープを作製した。

実施例 2

カレンダ条件を、温度 1 0 0 °C、線圧 1 4 7 k /m ( 1 5 O kg f /cm) から、温度 90°C、線圧 294 kNZm (30 Okgf /cm) に変更したことを除き実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

実施例 3

カレンダ条件を、温度 100°C、線圧 147 kN/m (15 Okgf /cm) から、温度 120°C、線圧 294 kN/m (30 Okgf /cm) に変更したことを除き実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

実施例 4

バックコート層の厚さを 0. 5μπιから、 0.4μηιに変更したことを除き、実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

実施例 5

バックコート層の厚さを 0. 5μηιから、 0.6 μηιに変更したことを除き、実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

実施例 6

4. Ομιηの非磁性支持体を使用し、下塗層の厚さを 1.0μπι、磁性層の厚さを 0. 1 μιη、バックコート層の厚さを 0. 5μπιから 0. 6 μπιに変更したことを除き、実施例 1 と同様にして全厚が 5. 7 μπι、 B r δが 0. 030 μΤπι、保磁力 H cカ 192 k A/m の磁気テープを作製した。

実施例 7〜実施例 10

表 1に示した組成のパックコ一ト層を使用したことを除き、実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。固体 co₂ 吹き付け処理をしなかったことを除き、実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

比較例 1〜比較例 6

表 2に示した組成と厚さのバックコート層を使用したことを除き、実施例 1と同様にして磁気テープを作製した。

比較例 7

4.0 μιηの非磁性支持体を使用し、下塗層の厚さを 1.0 μπι、磁性層の厚さを 0. 1 μπι、バックコート層の厚さを 0. 5μπιから 0. 6 μπιに変更したことを除き、比較例 3 と同様にして全厚が 5. 7 μπιの磁気テープを作製した。

* 1) 力一ボンブラック中の大粒径カーボンブラックの比率

* 2 ) 非磁性粉末中のカーボンブラックの比率

表 2

* 1 ) カーボンブラック中の大粒径カ一ボンブラックの比率

* 2 ) 非磁性粉末中のカーボンブラックの比率実施例 1 1

図 9に示す光学サーボトラック形成 'クリーニング装置を用いて、バックコート層に光学サーボ用の凹部を形成し、その後につぎに述べる植毛体等を使用した接触処理とクリーユング処理を行ったことを除き実施例 1と同様にして、コンピュータ用テープを作製した。

ここで、図 9に示す光学サーボトラック形成'クリーニング装置およびこの装置を用いた処理について説明する。

実施例 1 1で使用した光学サーポトラック形成 'タリ一二ング装置は、図 9に示すように、卷かれた磁気テープ 1を所定の方向に送り出す送り出し機構部 1 1と、送り出された磁気テープ 1のバックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サーボトラック形成部 1 2と、この凹部形成後にバックコート層 2の表面をクリーニングするクリーニング部 1 3と、このクリーニング後に磁気テープ 1を巻き取る巻き取り機構部 1 4とを有する。

クリーニング部 1 3には、バックコート層の表面をクリーニングすべく、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布などの起毛クロスをバックコート層の表面に接触させる接触部 1 5 bと、その後にバックコート層と磁性層の表面をティッシュクリーナーで拭き取る拭き取り部 1 7とが配置されている。

接触部 1 5 bには、図 8に示したような起毛ドラム 3 0が設けられている。この起毛ドラム 3 0は、磁気テープ 1の走行方向と対向する方向に回転する回転ドラム（この実施例では直径 1 0 O mmのドラム） 3 1の周面に起毛クロス 3 2を巻き付けたものである。起毛ドラム 3 0の前後には、磁気テープ 1のバックコート層表面に所定の状態で起毛ドラム 3 0を接触させるための一対のガイドローラ 4 1 · 4 1が設けられている。一方、拭き取り部 1 7は、磁気テープ 1の磁性層とバックコート層の各表面にそれぞれ接触するように配置されたティッシュクリーナー 1 8 · 1 9と、このティッシュクリーナー 1 8 · 1 9を所定の速さで巻き取り可能に保持する各一対のローラ 2 0 · 2 1とを有する。そして、各ティッシュクリーナー 1 8 · 1 9を磁気テープ 1の磁性層とバックコート層の各表面に押し当てることにより、そこに付着している不要な粉体を拭き取るようになっている

加えて、本発明装置でいう張力制御手段を構成するものとして、図 9に示した装置には、以下のような手段が備えられている。すなわち、光学サーポトラック形成部 1 2と接触部 1 5 bとの間には第 1吸引ロール 2 2力 S、接触部 1 5 bと拭き取り部 1 7との間には第 2吸引ロール 2 3力 S、拭き取り部 1 7と巻き取り機構部 1 4との間には第 3吸引ロール 2 4がそれぞれ配置されている。また、送り出し機構部 1 1と光学サーボトラック形成部 1 2との間、および第 3吸引ロール 2 4と卷き取り機構部 1 4との間には、磁気テープ 1の張力を調節する張力アーム 2 5 · 2 6がそれぞれ備えられ、さらに第 2吸引ロール 2 3と接触部 1 5 bおよび拭き取り部 1 7との各間には、磁気テープ 1の張力を検出するとともに張力の調節が可能な張力検出器 2 7 · 2 8が設けられている。そして、各吸引ロール 2 2〜 2 4によって磁気テープ 1の張力を絶縁するとともに、前記張力検出器 2 7 · 2 8の値を、各吸引ロール 2 2〜 2 4を回転させるサーボモータにフィードバックすることで、光学サーボトラック形成部 1 2、クリーニング部 1 3における接触部 1 5 bおよび拭き取り部 1 7の各部別に、磁気テープ 1に対する最適な張力が得られるように構成されている。

本発明の実施例では、このような装置を用いて、磁気テープの張力を一定に保ちながら、 1 O mZ秒の速度で磁気テープを走行させ、以下に述べるような光学サーボ用の凹部パターンの形成、起毛ドラム 3 0による接触処理、およびティッシュクリーナー 1 8， 1 9による拭き取り処理を行った。

<光学サーボ用凹部パターンの形成 >

図 9に示した光学サーボトラック形成 ·クリ一二ング装置の光学サーボトラック形成 · 部 1 2において磁気テープ 1のバックコート層の表面にレーザー光を照射し、所定のサーボパターンとなるように光学サーボ用の凹部を形成した。このとき、光学サーボ用の凹部パターンとして、図 6に示したように、 1 2 . 6 4画のテープ幅方向に 4バンドが並ぶように形成し、 1バンドの幅が約 0 . 4 mmとなるように光学サーボ用の凹部群を形成した。

<起毛ドラムによる接触処理 >

つぎに、接触部 1 5 bにおいて図 8に示すように起毛ドラム 3 0を磁気テープ走行方向と対向する方向に 3 1 4ラジアン Z秒（3 0 0 0 r p m) で回転させて、 2 . O Nのテンションをかけながら磁気テープ 1のバックコート層 2の表面に、起毛ドラム 3 0の外周に装着されている起毛クロス 3 2を接触させることにより、サーボパターン形成時にレーザー焼成により生成されたバックコート層の凹部の内部やその周辺から燃焼力スを大略除去した。起毛ドラム 3 0における起毛クロス 3 2には、単繊維径が 4 μπιの綿 4本を撚り合わせた長さ 2 . 5 mmの繊維を植毛したベルベットを使用した。なお、このときの入側テンシヨンは 8 6 g、出側テンシヨンは 2 0 8 g、起毛ドラム 3 0と磁気テープ 1との接触角度は 1 2 0。であった。

<クリーニング処理 >

最後に、拭き取り部 1 7に備えたティシュクリーナー 1 8， 1 9を用いて、残存している燃焼カスを完全に除去して、 B r δが 0 . 0 4 5 μΤπι、保磁力 H cが 1 9 2 k A/ mである上述の磁気テープを作製した。この磁気テープの平均反射率は 9 . 0 %、変動率は 3 . 0 %、 A FM表面粗度 R aは 2 5 . l n m、 R aの半値幅は 3 . 3 n m、実施例 11のサーボ信号の SZNは参考例 2の S/Nを 0 d Bとしたとき 1. 5 dB (比較例 1の S/Nを 0 d Bとしたときは 6. 1 d B) であった。

実施例 12

磁気テープ 1と起毛ドラム 30との接触角度を 90°にしたことを除き、実施例 11 と同様にして磁気テープの作製および処理を行った。

実施例 13

起毛ドラム 30の回転速度を 188.⁴ラジアン/秒 (1800 r p m) にしたことを除き、実施例 11と同様にして磁気テープに対する処理を行った。なお、接触処理（接触部での処理）時の入側テンションは 95 g、出側テンションは 188 gであった。実施例 14

起毛ドラムにより接触処理を行う際のテ一プテンシヨンを 1.8Nとしたことを除き、実施例 11と同様にして磁気テープの作製および処理を行った。なお、接触処理時の入側テンションは 80 g、出側テンションは 188 であった。

実施例 15

4.0 μπιの非磁性支持体を使用し、下塗層の厚さを 1.0 μπι、磁性層の厚さを 0.1 μπι、バックコート層の厚さを 0.5μχηから 0.6 μπιに変更したことを除き、実施例 1 1と同様にして全厚が 5.7μπι、 B r δが 0.03 ΟμΤπι、保磁力 Heが 192 k A/ mである磁気テープの作製およぴ処理を行つた。

実施例 16〜： 19

表 3に示した、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布を起毛クロスとして用いたこと、起毛ドラムの数を表 8に示した数としたことを除き、実施例 11と同様にして磁気テープの作製および処理を行った。

参考例 2

起毛ドラム 30による接触処理をしなかったことを除き、実施例 11と同様にして磁気テープの作製おょぴ処理を行った。この磁気テープのバックコート層の反射率は 8. 5%、変動率は 4. 0%、 A FM表面粗度 R aは 25. 2nm、 R aの半値幅は 4. 5 nmであった。表 3

*先端部分が 8本に別れている _c 測定および評価は、以下のようにして行った。

<反射率 >

ュニソフ社製分光計を用いて、磁気テープの平坦部について、入射角 20度、反射角 20度での反射率を評価した。入射光源には波長 880 nmの LEDを使用した。スポット径は 10 Ομπιとした。磁気テープについて、上記の反射率測定を 4 Omm当たり 4 00点の測定を行い、平均反射率と最大変動率の評価を行った。平均反射率は反射率の単純平均値、最大変動率は平均反射率からのズレの最大値を平均反射率で除した値の百分率である。なお、磁気テープ走行後の平坦部の反射率と最大変動率は、 L TOドライブで磁気テープを 2回走行させ、走行後の磁気テープを一部切取り測定を行った。く AFMによる R aの評価 >

Digital-Instrument社製 DimensionTM 3100 A FM測定装置を使用して平均表面粗さ R aを測定した。走査モ一ドはタッビング ·モード AFM とした。タッビング ·モ一ドではピエゾ加振器を用いて、先端に探針をつけたカンチレバーを共振周波数近傍 (約 50〜500 kHz) で加振させ、サンプル表面上を断続的に軽く触れながら（タップしな力 Sら）走査する。サンプル表面の四凸によるカンチレバーの振幅の変化量をレ一ザ一光を使って評価する。測定視野は 40μηιχ4 Ομηιである。また、場所による R aの変動は、長さ 40 mm当り等間隔 100点の R a測定を行い、各測定点の R aを横軸、頻度（l nmピッチ）を縦軸にプロットし、この図から R a変動の半値幅を求めた。

<サーボトラックの SZN>

F l o t i c a l ドライブのサーボ信号測定部を利用して、中心波長 880 nmの光をバックコート層に入射角 20度で照射して、その反射光よりサーボ信号 S/Nを測定した。実施例 1〜10、参考例 1、比較例 2〜7のサーボ信号 S/Nは、比較例 1を基準（ 0 d B) として、相対値で表した。実施例 11〜： I 9のサーボ信号の SZNは参考例 2の S /Nを 0 d Bとしたときの相対値で表した。

<エラーレートの測定 >

エラーレート（ERT) の測定は、薄手テープも測定できるように改善した LTOドライブを用いて記録（記録波長 0.37μπι) ·再生することによって行った。 ERTはテストモ一ドでの値である。

<磁気特性の評価 >

磁性層の磁気特性、強磁性粉末の磁気特性は、いずれも東英工業社製試料振動形磁束計で評価した。外部磁場は 1 , 28 MA/m (16 kO e) である。

実施例 1〜 10および比較例 1〜 7の磁気テープを評価した結果を表 4〜表 7に示す。

表 4

実施例 1 実施例 2 実施例 3 実施例 4 実施例 5 反射率（初期）

平均反射率（％) 9.0 10.2 11.5 8.8 9.5 変動率（％) 3.0 3.4 5.0 3.5 2.8 反射率： 2回走行後

平均反射率（％) 9.2 9.8 10.0 8.6 9.4 変動率（％) 3.5 3.8 7.5 3.7 3.1 非磁性粉末比率 53.2wt 53.2wt 53.2wt 53.2 t 53.2wt

AFM表面粗度（初期）

R a nm) 25.2 23.4 21.5 29.5 24.1

R aの半値幅（nm) 3.0 3.8 4.8 4.1 2.7 粗度： 2回走行後

R a l.n m) 25.1 23.8 25.2 29.5 23.9

R aの半値幅（nm) 3.3 4.0 8.5 4.5 3.0 サーボ信号（初期）

S/N (相対値） 6.1 6.1 5.0 5.4 6.6 サーボ信号： 2回走行後

S/N (相対値） 5.5 5.5 2.6 5.0 6.2 エラーレート（初期）

X 10—⁸ 0.5 表 5

大ノ JIB 17 U O 六隶倫ノ Λϋ 1711| 71 偷ノ JC1湖リ s o ^rJIIi |/'J丄リ反射率（初期）

平均反射率（％) 9.1 8.5 10.5 12.3 14.9 変動率（％) o o

.丄 1

4.0 0.丄 O. 4.0 反射率： 2回走行後

平均反射率（％) 9.1 8.6 10.4 11.2 13.4 変動率（％) 3.6 5.0 4.7 4.9 5.0 非磁性粉末比率 53.2wt 50. Owt 55.4wt 55.4wt 59.5wt

AFM表面粗度（初期）

R a {ri m) 25.0 22.5 27.5 24.7 29.4 R aの半値幅（nm) 2.9 4.9 4.4 3.9 4.7 粗度： 2回走行後

R a ι,η m) 24.9 23.1 27.2 28.2 29.9 R aの半値幅（nm) 3.1 4.0 4.5 5.5 5.0 サーボ信号（初期）

S/N (相対値） 6.0 4.1 5.3 7.2 6.5 サーボ信号： 2回走行後

S/N (相対値) 5.4 3.7 4.8 4.9 5.6 表 6

参考例 1 比較例 1 比較例 2 比較例 3 比較例 4 反射率（初期）

平均反射率（％) 8.5 7.7 6.8 7.0 7.4 変動率（％) 4.0 10.5 10.4 10.0 10.4 反射率： 2回走行後

平均反射率（。） 8.7 7.2 6.4 6.8 7.2 変動率（％) 12.5 15.6 16.1 15.4 13.9 非磁性粉末比率 53.2wt 44.5wt 33.8wt 35.9wt 43. Owt

AFM表面粗度（初期）

R a (n m) 25.2 19.7 32.4 25.6 21.9 R aの半値幅（nm) 4.5 7.1 10.5 7.0 7.7 粗度： 2回走行後

R a ι,η m) 25.1 19.9 33.1 27.2 23.1 R aの半値幅（nm) 7.2 8.3 12.6 8.2 8.0 サーボ信号（初期）

S/N (相対値） 4.6 0.0 - 0.5 - 0.2 -0.1 サーボ信号： 2回走行後

S/N (相対値） - 0.2 - 2.0 -2.7 -2.2 -1.5 エラーレート（初期）

X 10— ⁸ 1200 表 7

表 4〜表 7に示した実施例 1〜 1 0および比較例 1〜 7の結果から明らかなように、平坦部の光反射率の平均値が 8. 5%以上で、平坦部の光反射率の磁気テープ位置による光反射率の最大変動率 [ (光反射率一光反射率の平均値）の絶対値の最大値] l 0 0/ (光反射率の平均値）が 1 0%以下である磁気テープは、サーボ信号の初期の S/ Nが高く、かつ 2回走行後のサーボ信号の S/Nも高い。また、実施例 1と参考例 1から明らかなように、固体 C0₂ 吹き付け処理を施すことによって、エラーレートと 2回走行後のサ一ボ信号の SZNが高くなることから、この処理法は凹部中の燃焼カスを除去する有効な処理法であることがわかる。

実施例 1 1〜 1 9および参考例 2の磁気テープを評価した結果を表 8に示す。

表 8

実施例 1 1 実施例 1 2 実施例 1 3 実施例 1 4 実施例 1 5 エラーレ—卜（初期） X 1 0ー⁸ 0. 5 1. 0 2. 0 5 0. 6 起毛ドラムの数（個） 1 1 1 1 1

実施例 1 6 実施例 1 7 実施列 1 8 実施例 1 9 参考例 2 エラ—レ"ト（初期） X 1 0-8 0. 5 2. 0 1. 0 0. 5 1 2 0 0 起毛ドラムの数（個） 2 4 2 2 0 表 8に示した実施例 1〜 1 9および考例 2の結果から明らかなように、バックコート層に光学サーボ用の凹部を設けた磁気テープのバックコート層表面をクリーニングするに当たり、前記凹部を有するバックコート層の表面に、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布を接触させ、前記凹部およびその周辺に付着した燃焼力スを除去する工程を含む方法を実施することにより、前記凹部中に存在する燃焼カスが除去される結果、エラーレートが低い磁気テープが得られる。非磁性支持体上の一面に、磁性層が形成され、反対面に非磁性粉末と結合剤を含有するバックコート層が形成され、前記バックコート層に光学サーボ用の凹部を設けた磁気テープにおいて、平坦部の光反射率の平均値が 8. 5 %以上で、平坦部の光反射率の磁気テープ位置による光反射率の最大変動率 [ (光反射率一光反射率の平均値）の絶対値の最大値] l 0 0/ (光反射率の平均値）が 1 0 %以下である磁気テープは、サーボ信号の初期の S /Nが高く、かつ 2回走行後のサーボ信号の S /Nも高い。また、固体 c o ₂ 吹き付けや起毛体の接触によるクリーニング処理を施すことによって、エラーレート、サーボ信号の S ZNが高くなることから、この処理法は凹部中の燃焼カスを除去する有効な処理法であることがわかる。

Claims

請求の範囲

1 . 非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、カーボンブラックを一成分とする非磁性粉末と結合剤とを含有したバックコート層とを含んでなり、当該バックコート層に光学サーボ用の凹部が形成された磁気テープであって、前記バッタコート層における平坦部の光反射率の平均値が 8 . 5 %以上で、平坦部の光反射率の磁気テープ位置による最大変動率：

[ (光反射率一光反射率の平均値）の絶対値の最大値] χ ΐ ο οζ (光反射率の平均値）が 1 0 %以下であることを特徴とする磁気テープ。

2. バックコート層における非磁性粉末の含有率：

(非磁性粉末重量） x l 0 0ノ（非磁性粉末重量 +結合剤重量）

が 5 0重量。 /₀以上で、かつ原子間力顕微鏡で測定したバックコート層の平坦部の表面平均粗さ R aが 3 0 n m以下で、当該表面平均粗さ R aの磁気テープ位置による変動の半値幅が 5 n m以下である請求項 1に記載の磁気テープ。

3 . 非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、非磁性粉末と結合剤とを含有したパックコート層とを含んでなり、当該バックコート層にレーザ一照射によって形成された光学サーボ用の凹部が形成された磁気テープをクリ一ユングする方法であって、前記バックコート層の表面に固体 C O ₂ を吹き付けることにより、前記レーザー照射によって生じた光学サーボ用の凹部およぴその周辺に付着した燃焼力スを除去することからなる磁気テープのクリーニング方法。

4 . 固体 C 0 ₂ を、磁気テープの幅方向における光学サ一ボ用の凹部の配列パターンに合致した C O ₂ 嘖射孔を有する噴射ノズルを用いて吹き付ける請求項 3に記載の磁気テープのクリーニング方法。

5 .磁気テープの走行方向と対向する方向に角度を持たせてバックコート層の表面に固体 co₂ を吹き付けることにより、バックコート層表面における光学サーボ用の凹部およびその周辺に付着した燃焼カスを吹き飛ばすとともに、吹き飛ばされた燃焼カスを吸引して除去する請求項 3または 4に記載の磁気テープのクリ一二ング方法。

6 .巻かれた磁気テープを所定の方向に送り出す送り出し機構部と、送り出された磁気テープのパックコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーポ用の凹部を形成する光学サーボトラック形成部と、この凹部形成後にバックコート層の表面をタリー二ングするクリーニング部と、このクリーニング後に磁気テープを巻き取る巻き取り機構部とを有し、前記クリーニング部には、前記レーザー光の照射により形成された光学サーボ用の凹部およびその周辺に固体 C O ₂ を吹き付ける c o ₂ 吹き付け部と、固体 C o ₂ の吹き付けにより吹き飛ばされた前記光学サーボ用の凹部およびその周辺の燃焼カスを吸引する吸引部と、この燃焼カスの吸引後にバックコート層の表面を拭き取る拭き取り部とが備えられていることを特徴する磁気テープの光学サーボトラック形成-クリーニング装置。

7 .光学サーポトラック形成部と、クリーニング部における C 0₂ 吹き付け部と拭き取り部の各部別に磁気テープの張力を制御する張力制御手段が備えられている請求項 6に記載の磁気テープの光学サーボトラック形成 ·クリ一二ング装置。

8 . 非磁性支持体と、該非磁性支持体の一面上に形成された磁性層と、該非磁性支持体の他面に形成された、非磁性粉末と結合剤とを含有したバックコート層とを含んでなり、当該バックコート層にレーザー照射により光学サーボ用の凹部が形成された磁気テープのバックコート層表面をクリ一二ングする方法であって、前記凹部を有するバックコート層の表面に、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布を接触させ、前記凹部およびその周辺に付着した燃焼力スを除去する工程を含むことを特徴とする磁気テープのクリーニング方法。

9 . 起毛した毛が、毛径 0 . 5 μπ！〜 1 Ο μπι、毛足長さ 0 . 5 Μ！〜 5 mmの単繊維を含む請求項 8に記載の磁気テープのクリ一二ング方法。

1 0 . 起毛した毛が、天然繊維、合成繊維の少なくとも一種からなる請求項 8または 9に記載の磁気テープのクリ一二ング方法。

1 1 .起毛した毛が綿を含んでいる請求項 8〜1 0のいずれかに記載の磁気テープのクリーニング方法。

1 2 . 磁気テープの走行方向と対向する方向に、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布を回転または移動させることにより、バックコート層表面における光学サーボ用の凹部おょぴその周辺に付着した燃焼力スを搔きだして除去する請求項 8〜 1 1 のいずれかに記載の磁気テープのクリ一二ング方法。

1 3 . 卷かれた磁気テープを所定の方向に送り出す送り出し機構部と、送り出された磁気テープのバッタコート層の表面にレーザー光を照射して光学サーボ用の凹部を形成する光学サーボトラック形成部と、この凹部形成後にバックコート層の表面をクリーニングするクリーニング部と、このクリーニング後に磁気テープを巻き取る巻き取り機構部とを有し、前記クリーニング部には、バックコート層の表面をクリーニングすべく、起毛した毛を有する植毛体、織布または不織布をバックコート層の表面に接触させる接触部と、バックコート層の表面に付着している不要な粉体を拭き取る拭き取り部とが配置されていることを特徴する磁気テープの光学サーボトラック形成 'クリーニング装置。

1 4 . 光学サーボトラック形成部と、クリーニング部における接触部と拭き取り部の各部別に磁気テープの張力を制御する張力制御手段が備えられている請求項 1 3に記載の磁気テープの光学サーボトラック形成 ·クリーニング装置。