[go: up one dir, main page]

WO1998032172A1 - Electronic component - Google Patents

Electronic component Download PDF

Info

Publication number
WO1998032172A1
WO1998032172A1 PCT/DE1997/000105 DE9700105W WO9832172A1 WO 1998032172 A1 WO1998032172 A1 WO 1998032172A1 DE 9700105 W DE9700105 W DE 9700105W WO 9832172 A1 WO9832172 A1 WO 9832172A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
island
integrated circuit
electronic component
housing
lead frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE1997/000105
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Bernhard SCHÄTZLER
Georg Ernst
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE19526010A priority Critical patent/DE19526010B4/en
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to PCT/DE1997/000105 priority patent/WO1998032172A1/en
Priority to EP97908115A priority patent/EP0954879A1/en
Publication of WO1998032172A1 publication Critical patent/WO1998032172A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Priority to US09/688,465 priority patent/US6870245B1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10W74/111
    • H10W70/411
    • H10W90/736

Definitions

  • the invention relates to an electronic component, in particular thin QFPs, in which a standardized lead frame and an integrated circuit are used and embedded in a casting or molding compound.
  • SMD components Surface-mounted electronic components, also called SMD components, are usually embedded in a housing made of a plastic molding compound, from which the electronic connections are led out.
  • these housings correspond to a standard with fixed dimensions, in order to enable standardized manufacture and automatic assembly of circuit boards.
  • the dimensions of these housings are specified in German and international standards.
  • the lead frames that are used for the precisely positioned embedding of the electrical connections are also standardized. In the middle of these lead frames, islands are provided on which the integrated circuits are attached. Lead frame and integrated circuit are then pressed together in the housing made of molding compound. Due to the different expansion coefficients of the
  • Iron / nickel alloy which is usually used for the lead frame, the silicon chip that forms the integrated circuit, and the molding compound of the housing and the reaction shrinkage of the molding compound that also occurs, leads to stresses. This results in diagonal housing curvatures of up to 100 ⁇ m, particularly in the case of large flat housings (thin QFPs, also called TQFPs).
  • the invention is therefore based on the object of providing a method and an electronic component of the type mentioned at the outset which minimizes the deflection of the housing in a structurally simple manner.
  • a standardized lead frame with a predetermined number of leads and a central island for receiving an integrated circuit is used in the method for producing an electronic component, each lead frame being suitable for a group of different sized integrated circuits.
  • the island then becomes one Size reduced that . is essentially adapted to the size of the integrated circuit used in each case.
  • the lead frame with the integrated circuit attached to it is embedded in a casting or molding compound and this is centered so that the same amount of molding compound is present above the circuit and below the island. A protrusion of the island over the base of the integrated circuit, which would result in an asymmetry in the molding compound distribution, is largely avoided.
  • Training is achieved that no stresses occur at the reaction shrinkage of the molding compound on the circumference of the integrated circuit between its edge and the island edge, which lead to a curvature of the housing.
  • the lead frame is preferably punched with the island integrally formed therein in order to bring the island to the desired size.
  • the adaptation of the island takes place favorably after the production of the standard leadframes, because then only a complete standardized lead frame has to be used.
  • the size adjustment of the island can also be integrated into the manufacturing process of the lead frame, however, then different adapted lead frames with island sizes that are adapted to the respective size of the integrated circuit must be produced.
  • the tools for manufacturing the lead frame are modular in order to easily adapt the island size.
  • the island is reduced to a size slightly larger than that of the integrated circuit.
  • the integrated circuit is namely preferably attached to the island by gluing with a silver conductive adhesive. The one that emerges between the integrated circuit and the island Glue is checked and serves as a measure for correct attachment. A fillet is formed in the area of the island overhang, which is easy to control visually.
  • the method according to the invention produces an electronic component with an integrated circuit and a standardized housing made of casting or molding compound, in which the integrated circuit is embedded, and with a lead frame which has a central island for receiving the integrated circuit.
  • This electronic component is characterized in that the island is essentially flush with the integrated circuit, and in that the distance between the top of the housing and the integrated circuit corresponds to the distance between the bottom of the housing and the island. If the island is larger than the integrated circuit attached to it, there is a different molding compound thickness in the area of the island protrusion between the top side of the island and the top side of the housing on the one hand and the bottom side of the island and the bottom side of the housing on the other. This difference in thickness, in conjunction with the rigid lead frame made of a special metal alloy, causes stresses in the housing which have an effect on the housing curvature.
  • the ratio of the base area of the integrated circuit to the island area alone determines the degree of housing warping with the same materials, manufacturing equipment, processes and process parameters.
  • the voltages between the integrated circuit, lead frame and molding compound are balanced such that the curvature of the housing is reduced or eliminated depending on the ratio of the areas to one another.
  • the island is finally flush with the brought integrated. Circuit trained.
  • the island and integrated circuit then have exactly the same size.
  • the molding compound thicknesses between the top of the integrated circuit and the upper edge of the housing and the underside of the island and the lower edge of the housing are the same at all points in the housing and the voltages compensate one another.
  • the bimetal effect, which results from the different expansion coefficients, is avoided by the symmetrical structure.
  • the island in another embodiment of the invention it can be advantageous to make the island somewhat larger than the integrated circuit, the integrated circuit being glued to the island and the emerging adhesive then forming a fillet on the protruding edge of the island, the formation of which can be checked whether the integrated circuit is correctly glued to the island. It is particularly advantageous to design the island so that the ratio of the base area of the integrated circuit to the island is less than 0.9: 1.
  • the island is designed as a continuous, unstructured surface. This ensures that the thickness of the molding compound above and below the integrated circuit and the island is the same. In addition, the structures and special designs of the island provided in the prior art are eliminated.
  • the feed lines can be designed as far as the island.
  • Figure 1 is a side sectional view of a device according to the invention with a large integrated circuit
  • FIG. 2 shows a side sectional view through a component according to the invention with a small integrated circuit
  • Figure 3 is a side sectional view through a component according to the invention with a small integrated circuit and a flush island.
  • FIG. 1 shows a cross section through an electronic component, in which a lead frame 2 is used, which consists in particular of the leads 3 and an island 4.
  • An integrated circuit 1 is attached to the island 4 and the lead frame 2 and the integrated circuit 1 are then embedded in a housing 6 made of molding compound.
  • the circuit 1 and the island 4 are arranged in terms of height so that housing areas 7 and 8 are formed, each having a thickness a and b, which are the same size.
  • the size of the island 4 has been adapted to the base area of the integrated circuit 1 so that it essentially coincides.
  • the island 4 is only a small protrusion larger than the base area of the integrated circuit 1, so that the adhesive used to attach the integrated circuit 1 to the island 4 can escape and form a fillet 5 on the protrusion.
  • This fillet 5 forms a suitable control parameter for monitoring an optimal bonding of the integrated circuit 1 to the island 4.
  • the overall lead frame 2 is arranged in height so that the leads 3 are also centered in the housing 6. Above and below the supply lines thus extend housing areas with the same thickness, which is denoted by c in the figure.
  • the island 4 is thus lowered according to the invention in relation to the feed lines 3, in a manner adapted to the height of the integrated circuit 1. This height adjustment must be taken into account when manufacturing the lead frame 2 and the connections between the feed lines 3 and the island 4.
  • FIG. 2 shows an electronic component according to the invention with a small integrated circuit 11.
  • the island 14 is adapted in accordance with the smaller integrated circuit 11 and is accordingly made smaller.
  • a suitable ratio of the base area of the integrated circuit 11 to the island 14 is, as can be seen in Table I, between 0.7 and 0.9.
  • a small protrusion of the island 14, on which stresses occur as a result of the reaction shrinkage of the molding compound, is accepted in order to be able to produce a fillet 5 on this protrusion of the island, which is an important control parameter during production.
  • FIG. 3 Another embodiment of the invention is shown in FIG. 3, in which a small integrated circuit 11 with a flush-fitting island 24 is also shown.
  • a small integrated circuit 11 with a flush-fitting island 24 is also shown.

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

The invention relates to an electronic component (1) in which a standard feeder cable mounting frame (2) is used, whose island (4) is designed to accommodate an integrated switch circuit (1) which is dimensionally adapted to the base surface of said integrated switch circuit (1) in order to minimize and prevent housing deformations.

Description

Beschreibungdescription

Elektronisches BauelementElectronic component

Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement, insbesondere dünne QFPs, bei dem ein standardisierter Zuleitungsrahmen und ein integrierter Schaltkreis verwendet und in eine Gieß- oder Preßmasse eingebettet werden.The invention relates to an electronic component, in particular thin QFPs, in which a standardized lead frame and an integrated circuit are used and embedded in a casting or molding compound.

Oberflächenmontierte elektronische Bauelemente, auch SMD-Bau- elemente genannt, werden üblicherweise in ein Gehäuse aus einer Kunststoffpreßmasse eingebettet, aus dem die elektronischen Anschlüsse herausgeführt werden. Je nach Anzahl der benötigten Anschlüsse entsprechen diese Gehäuse einer Norm mit festgelegten Abmessungen, um so eine standardisierte Herstellung und automatische Bestückung von Platinen zu ermöglichen. Die Abmessungen dieser Gehäuse sind in deutschen und internationalen Normen festgelegt. Die Zuleitungsrahmen (Lead- frames) , die zur exakt positionierten Einbettung der elek- trischen Anschlüsse verwendet werden, sind ebenfalls standardisiert. In der Mitte dieser Zuleitungsrahmen sind Inseln vorgesehen, auf denen die integrierten Schaltkreise befestigt werden. Zuleitungsrahmen und integrierter Schaltkreis werden dann zusammen in dem Gehäuse aus Preßmasse eingepreßt. Aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten derSurface-mounted electronic components, also called SMD components, are usually embedded in a housing made of a plastic molding compound, from which the electronic connections are led out. Depending on the number of connections required, these housings correspond to a standard with fixed dimensions, in order to enable standardized manufacture and automatic assembly of circuit boards. The dimensions of these housings are specified in German and international standards. The lead frames that are used for the precisely positioned embedding of the electrical connections are also standardized. In the middle of these lead frames, islands are provided on which the integrated circuits are attached. Lead frame and integrated circuit are then pressed together in the housing made of molding compound. Due to the different expansion coefficients of the

Eisen/Nickel-Legierung, die üblicherweise für den Zuleitungsrahmen verwendet wird, des Silizium-Chips, der den integrierten Schaltkreis bildet, und der Preßmasse des Gehäuses und dem außerdem noch auftretenden Reaktionsschrumpf der Preßmasse kommt es zu Spannungen. Dadurch kommt es insbesondere bei großen flachen Gehäusen (dünne QFPs, auch TQFPs genannt) zu diagonalen Gehäuseverwölbungen von bis zu 100 um.Iron / nickel alloy, which is usually used for the lead frame, the silicon chip that forms the integrated circuit, and the molding compound of the housing and the reaction shrinkage of the molding compound that also occurs, leads to stresses. This results in diagonal housing curvatures of up to 100 μm, particularly in the case of large flat housings (thin QFPs, also called TQFPs).

Man versucht diese Gehäusedurchbiegung oder Wölbung, auch Warpage genannt, durch Verwendung von speziellen Inseldesigns zu unterbinden. Dabei werden in die Inseln, die zentral in den Zuleitungsrahmen (Leadframes) angeordnet sind, Löcher oder Schlitze angebracht oder die Inseln unterätzt oder Riefen in die Inseln eingeätzt. Auch die Verwendung von Kupferzuleitungsrahmen ist schon versucht worden, um die Gehäuseverwölbung zu minimieren. All diese Lösungen erfordern jedoch entweder neue oder geänderte Montageprozesse, oder sie sind nur mit geätzten und nicht mit gestanzten Leadframes durchführbar, oder sie führen zu einer Reduzierung der Stei- figkeit der Außenanschlüsse.One tries to prevent this housing deflection or curvature, also called warpage, by using special island designs. The islands that are centrally located in the lead frames are Holes or slots are made or the islands are under-etched or grooves are etched into the islands. Attempts have also been made to use copper lead frames to minimize the curvature of the housing. However, all of these solutions either require new or modified assembly processes, or can only be carried out with etched lead frames and not with punched leadframes, or they lead to a reduction in the rigidity of the external connections.

Aus der DE 36 35 375 AI ist die Verwendung eines standardisierten Zuleitungsrahmen bekannt. Hierbei wird zur Anpassung der Trägerinsel an das Halbleiterbauelement eine entsprechende Trägerinsel auf dem Mittelteil des Rahmens befestigt.From DE 36 35 375 AI the use of a standardized lead frame is known. In order to adapt the carrier island to the semiconductor component, a corresponding carrier island is attached to the central part of the frame.

Um Verbiegungen eines umgossenen Elements zu vermeiden ist aus der EP 0261324 AI bekannt, den Leiterrahmen höhenmäßig zentriert in der Vergußform anzuordnen, damit oberhalb und unterhalb des integrierten Schaltkreises gleichviel Kunststoff gelangt.In order to avoid bending of a cast element, it is known from EP 0261324 AI to arrange the height of the lead frame in the potting mold so that the same amount of plastic is obtained above and below the integrated circuit.

Der Erfindung liegt daher die A u f g b e zugrunde, ein Verfahren und ein elektronisches Bauelement der eingangs genannten Art zu schaffen, welches auf konstruktiv einfache Weise die Gehäusedurchbiegung minimiert.The invention is therefore based on the object of providing a method and an electronic component of the type mentioned at the outset which minimizes the deflection of the housing in a structurally simple manner.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt verfahrensmäßig gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 und vorrichtungsmäßig gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 5. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.This object is achieved procedurally according to the features of claim 1 and device-wise according to the characterizing features of claim 5. Advantageous further developments are described in the subclaims.

Nach dem Grundgedanken der Erfindung wird bei dem Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements ein standardisierter Zuleitungsrahmen mit einer vorgegebenen Anzahl von Zuleitungen und einer zentralen Insel zur Aufnahme eines in- tegrierten Schaltkreises verwendet, wobei jeder Zuleitungsrahmen für eine Gruppe von verschieden großen integrierten Schaltkreisen geeignet ist. Die Insel wird dann auf eine Größe reduziert, die .im wesentlichen der Größe des jeweils verwendeten integrierten Schaltkreises angepaßt ist. Anschließend wird der Zuleitungsrahmen mit dem darauf befestigten integrierten Schaltkreis in eine Gieß- oder Preßmasse eingebettet und diese wird so zentriert, daß oberhalb des Schaltkreises und unterhalb der Insel jeweils gleich viel Preßmasse vorhanden ist. Ein Überstand der Insel über die Grundfläche des integrierten Schaltkreises, durch den eine Asymmetrie in der Preßmassenverteilung entstehen würde, wird dabei weitestgehend vermieden. Durch dieseAccording to the basic idea of the invention, a standardized lead frame with a predetermined number of leads and a central island for receiving an integrated circuit is used in the method for producing an electronic component, each lead frame being suitable for a group of different sized integrated circuits. The island then becomes one Size reduced that . is essentially adapted to the size of the integrated circuit used in each case. Then the lead frame with the integrated circuit attached to it is embedded in a casting or molding compound and this is centered so that the same amount of molding compound is present above the circuit and below the island. A protrusion of the island over the base of the integrated circuit, which would result in an asymmetry in the molding compound distribution, is largely avoided. Through this

Ausbildung wird erreicht, daß beim auftretenden Reaktionsschrumpf der Preßmasse am Umfang des integrierten Schaltkreises zwischen dessen Rand und dem Inselrand keine Spannungen auftreten, die zu einer Gehäuseverwölbung führen.Training is achieved that no stresses occur at the reaction shrinkage of the molding compound on the circumference of the integrated circuit between its edge and the island edge, which lead to a curvature of the housing.

Bevorzugt wird der Zuleitungsrahmen mit der darin einstückig ausgebildeten Insel gestanzt, um die Insel auf die erwünschte Größe zu bringen. Alternativ ist auch die Bearbeitung des Zuleitungsrahmens und der Insel mit Ätzprozessen möglich.The lead frame is preferably punched with the island integrally formed therein in order to bring the island to the desired size. Alternatively, it is also possible to process the lead frame and the island using etching processes.

Die Anpassung der Insel findet günstigerweise nach Herstellung der Standardleadframes statt, weil dann weiterhin nur ein kompletter standardisierter Zuleitungsrahmen verwendet werden muß. Andererseits kann die Größenanpassung der Insel auch bereits in den Herstellungsprozeß des Zuleitungsrahmens integriert werden, wobei dann jedoch verschiedene angepaßte Zuleitungsrahmen mit Inselgrößen, die an die jeweilige Größe des integrierten Schaltkreises angepaßt sind, hergestellt werden müssen. Die Werkzeuge zur Herstellung des Zuleitungs- rahmens sind modular aufgebaut, um eine Anpassung der Insel- große einfach durchführen zu können.The adaptation of the island takes place favorably after the production of the standard leadframes, because then only a complete standardized lead frame has to be used. On the other hand, the size adjustment of the island can also be integrated into the manufacturing process of the lead frame, however, then different adapted lead frames with island sizes that are adapted to the respective size of the integrated circuit must be produced. The tools for manufacturing the lead frame are modular in order to easily adapt the island size.

Üblicherweise wird die Insel auf eine Größe reduziert, die etwas größer als die des integrierten Schaltkreises ist. Der integrierte Schaltkreis wird nämlich bevorzugt durch Kleben mit einem Silberleitkleber auf der Insel befestigt. Der dann zwischen integriertem Schaltkreis und Insel hervortretende Kleber wird kontrolliert und dient als Maß für eine korrekte Befestigung. Im Bereich des Inselüberstands bildet sich eine Hohlkehle aus, die optisch gut zu kontrollieren ist.Typically, the island is reduced to a size slightly larger than that of the integrated circuit. The integrated circuit is namely preferably attached to the island by gluing with a silver conductive adhesive. The one that emerges between the integrated circuit and the island Glue is checked and serves as a measure for correct attachment. A fillet is formed in the area of the island overhang, which is easy to control visually.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird ein elektronisches Bauelement mit einem integrierten Schaltkreis und einem standardisierten Gehäuse aus Gieß- oder Preßmasse, in welches der integrierte Schaltkreis eingebettet ist, und mit einem Zuleitungsrahmen, der eine zentrale Insel zur Aufnahme des inte- grierten Schaltkreises aufweist, hergestellt. Dieses elektronische Bauelement zeichnet sich dadurch aus, daß die Insel im wesentlichen bündig mit dem integrierten Schaltkreis abschließt, und daß der Abstand zwischen der Oberseite des Gehäuses und dem integrierten Schaltkreis dem Abstand zwischen der Unterseite des Gehäuses und der Insel entspricht. Falls die Insel größer als der darauf befestigte integrierte Schaltkreis ist, so ergeben sich im Bereich des Inselüber- standes eine unterschiedliche Preßmassendicke zwischen der Inseloberseite und der Gehäuseoberseite einerseits und der Inselunterseite und der Gehäuseunterseite andererseits. Dieser Dickenunterschied verursacht im Zusammenwirken mit dem steifen Zuleitungsrahmen aus einer speziellen Metallegierung Spannungen in dem Gehäuse, die sich in der Gehäuseverwölbung auswirken.The method according to the invention produces an electronic component with an integrated circuit and a standardized housing made of casting or molding compound, in which the integrated circuit is embedded, and with a lead frame which has a central island for receiving the integrated circuit. This electronic component is characterized in that the island is essentially flush with the integrated circuit, and in that the distance between the top of the housing and the integrated circuit corresponds to the distance between the bottom of the housing and the island. If the island is larger than the integrated circuit attached to it, there is a different molding compound thickness in the area of the island protrusion between the top side of the island and the top side of the housing on the one hand and the bottom side of the island and the bottom side of the housing on the other. This difference in thickness, in conjunction with the rigid lead frame made of a special metal alloy, causes stresses in the housing which have an effect on the housing curvature.

Allein das Verhältnis von der Grundfläche des integrierten Schaltkreises zur Inselfläche bestimmt bei sonst gleichen Materialien, Fertigungsequipment , Prozessen und Prozeßparametern den Grad der Gehäuseverwölbung. Durch die Anpassung der Inselgröße an die jeweilige Grundfläche des integrierten Schaltkreises werden die Spannungen zwischen integriertem Schaltkreis, Zuleitungsrahmen und Preßmasse so ausbalanciert, daß die Gehäuseverwölbung je nach Verhältnis der Flächen zueinander reduziert oder beseitigt wird.The ratio of the base area of the integrated circuit to the island area alone determines the degree of housing warping with the same materials, manufacturing equipment, processes and process parameters. By adapting the island size to the respective base area of the integrated circuit, the voltages between the integrated circuit, lead frame and molding compound are balanced such that the curvature of the housing is reduced or eliminated depending on the ratio of the areas to one another.

Um zu einer besonders guten Minimierung der Gehäusewölbung zu gelangen, wird die Insel bündig abschließend mit dem aufge- brachten integrierten. Schaltkreis ausgebildet. Insel und integrierter Schaltkreis weisen dann also exakt die gleiche Größe auf. Dadurch sind an allen Stellen im Gehäuse die Preßmassendicken zwischen der Oberseite des integrierten Schaltkreises und dem oberen Gehäuserand und der Unterseite der Insel und dem unteren Gehäuserand gleich groß und die Spannungen kompensieren sich gegenseitig. Der Bimetall-Effekt, der sich durch die verschiedenen Ausdehnungskoeffizienten ergibt, wird durch den symmetrischen Aufbau vermieden.In order to achieve a particularly good minimization of the housing curvature, the island is finally flush with the brought integrated. Circuit trained. The island and integrated circuit then have exactly the same size. As a result, the molding compound thicknesses between the top of the integrated circuit and the upper edge of the housing and the underside of the island and the lower edge of the housing are the same at all points in the housing and the voltages compensate one another. The bimetal effect, which results from the different expansion coefficients, is avoided by the symmetrical structure.

In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann es vorteilhaft sein, die Insel etwas größer als den integrierten Schaltkreis auszubilden, wobei der integrierte Schaltkreis auf die Insel aufgeklebt wird und der austretende Kleber dann auf dem überstehenden Inselrand eine Hohlkehle bildet, mit deren Ausbildung kontrolliert werden kann, ob der integrierte Schaltkreis korrekt auf der Insel verklebt ist. Besonders günstig ist es dabei, die Insel so auszubilden, daß das Verhältnis von der Grundfläche des integrierten Schaltkreises zu der Insel kleiner 0,9 : 1 beträgt.In another embodiment of the invention it can be advantageous to make the island somewhat larger than the integrated circuit, the integrated circuit being glued to the island and the emerging adhesive then forming a fillet on the protruding edge of the island, the formation of which can be checked whether the integrated circuit is correctly glued to the island. It is particularly advantageous to design the island so that the ratio of the base area of the integrated circuit to the island is less than 0.9: 1.

Die Insel ist in der vorliegenden Erfindung als durchgehende, unstrukturierte Fläche ausgebildet. Dadurch wird sichergestellt, daß die Dicke der Preßmasse oberhalb und unterhalb des integrierten Schaltkreises und der Insel gleich groß ist. Außerdem entfallen die im Stand der Technik vorgesehenen Strukturierungen und speziellen Designs der Insel.In the present invention, the island is designed as a continuous, unstructured surface. This ensures that the thickness of the molding compound above and below the integrated circuit and the island is the same. In addition, the structures and special designs of the island provided in the prior art are eliminated.

In einer anderen Ausführungsform der Erfindung können die Zu- leitungen bis an die Insel herangeführt ausgebildet sein.In another embodiment of the invention, the feed lines can be designed as far as the island.

Dies ist insbesondere bei sehr kleinen integrierten Schaltkreisen vorteilhaft, bei denen sonst ein zu großer Abstand von den Zuleitungen bis zur Insel entstehen würde und Probleme bei der weiteren Kontaktierung auftreten könnten. Nachfolgend werden verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung weiter erläutert . Im einzelnen zeigen die schematischen Darstellungen in:This is particularly advantageous in the case of very small integrated circuits in which there would otherwise be too great a distance from the supply lines to the island and problems could arise in the further contacting. Various exemplary embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to a drawing. In detail, the schematic representations show in:

Figur 1 eine seitliche Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Bauelements mit großem integrierten Schaltkreis;Figure 1 is a side sectional view of a device according to the invention with a large integrated circuit;

Figur 2 eine seitliche Schnittansicht durch ein erfindungsgemäßes Bauelement mit einem kleinen integrierten Schaltkreis; undFIG. 2 shows a side sectional view through a component according to the invention with a small integrated circuit; and

Figur 3 eine seitliche Schnittansicht durch ein erfindungsgemäßes Bauelement mit einem kleinen integrierten Schaltkreis und bündig abschließender Insel.Figure 3 is a side sectional view through a component according to the invention with a small integrated circuit and a flush island.

In Figur 1 ist ein Querschnitt durch ein elektronisches Bauelement dargestellt, in dem ein Zuleitungsrahmen 2 verwendet wird, der insbesondere aus den Zuleitungen 3 und einer Insel 4 besteht. Auf der Insel 4 wird ein integrierter Schaltkreis 1 befestigt und Zuleitungsrahmen 2 und integrierter Schaltkreis 1 dann in ein Gehäuse 6 aus Preßmasse eingebettet. Dabei wird der Schaltkreis 1 und die Insel 4 höhenmäßig so angeordnet, daß Gehäusebereiche 7 und 8 entstehen, die jeweils eine Dicke a und b aufweisen, die gleich groß sind. Dabei ist erfindungsgemäß die Größe der Insel 4 der Grundfläche des integrierten Schaltkreises 1 angepaßt worden, so daß diese im wesentlichen übereinstimmen. Die Insel 4 ist lediglich um einen kleinen Überstand größer als die Grundfläche des inte- grierten Schaltkreises 1, so daß der zum Befestigen des integrierten Schaltkreises 1 auf der Insel 4 verwendete Klebstoff ausweichen kann und auf dem Überstand eine Hohlkehle 5 bildet. Diese Hohlkehle 5 bildet einen geeigneten Kontrollparameter zur Überwachung einer optimalen Verklebung des inte- grierten Schaltkreises 1 mit der Insel 4. Der Gesamtzulei- tungsrahmen 2 ist höhenmäßig so angeordnet, daß die Zuleitungen 3 ebenfalls zentriert in dem Gehäuse 6 angeordnet sind. Oberhalb und unterhalb der Zuleitungen erstrecken sich also Gehäusebereiche mit gleicher Dicke, die in der Figur mit c bezeichnet ist. Die Insel 4 ist also gegenüber den Zuleitungen 3 erfindungsgemäß abgesenkt und zwar in einer der Höhe des integrierten Schaltkreises 1 angepaßten Weise. Diese höhenmäßige Anpassung ist bei der Herstellung des Zuleitungsrahmens 2 und der Verbindungen zwischen den Zuleitungen 3 und der Insel 4 zu berücksichtigen.1 shows a cross section through an electronic component, in which a lead frame 2 is used, which consists in particular of the leads 3 and an island 4. An integrated circuit 1 is attached to the island 4 and the lead frame 2 and the integrated circuit 1 are then embedded in a housing 6 made of molding compound. The circuit 1 and the island 4 are arranged in terms of height so that housing areas 7 and 8 are formed, each having a thickness a and b, which are the same size. According to the invention, the size of the island 4 has been adapted to the base area of the integrated circuit 1 so that it essentially coincides. The island 4 is only a small protrusion larger than the base area of the integrated circuit 1, so that the adhesive used to attach the integrated circuit 1 to the island 4 can escape and form a fillet 5 on the protrusion. This fillet 5 forms a suitable control parameter for monitoring an optimal bonding of the integrated circuit 1 to the island 4. The overall lead frame 2 is arranged in height so that the leads 3 are also centered in the housing 6. Above and below the supply lines thus extend housing areas with the same thickness, which is denoted by c in the figure. The island 4 is thus lowered according to the invention in relation to the feed lines 3, in a manner adapted to the height of the integrated circuit 1. This height adjustment must be taken into account when manufacturing the lead frame 2 and the connections between the feed lines 3 and the island 4.

In Figur 2 ist ein erfindungsgemäßes elektronisches Bauelement mit einem kleinen integrierten Schaltkreis 11 dargestellt. Dazu wird die Insel 14 entsprechend dem kleineren integrierten Schaltkreis 11 angepaßt und dementsprechend kleiner ausgebildet. Ein geeignetes Verhältnis der Grundfläche des integrierten Schaltkreises 11 zur Insel 14 liegt, wie Tabelle I zu entnehmen ist zwischen 0,7 und 0,9.FIG. 2 shows an electronic component according to the invention with a small integrated circuit 11. For this purpose, the island 14 is adapted in accordance with the smaller integrated circuit 11 and is accordingly made smaller. A suitable ratio of the base area of the integrated circuit 11 to the island 14 is, as can be seen in Table I, between 0.7 and 0.9.

In Versuchen mit verschiedenen TQFP 20 x 20 x 1,4 mm - Gehäusen, Alloy42 Leadframe und Preßmasse Aratronic 2188 wurden folgende Zusammenhänge ermittelt.The following correlations were determined in tests with various TQFP 20 x 20 x 1.4 mm housings, Alloy42 leadframe and Aratronic 2188 molding compound.

Inselgröße Verhältnis ChipGehäuseverwölbung in mm x mm fläche/Inselfl che diagonal (Mittelwert)Island size Ratio of chip housing warpage in mm x mm area / island area diagonally (average)

13,8 x 13, 0,7 < 80μm 13,8 x 13, 0,8 < 60μm 13,8 x 13, 0,9 < 20μm13.8 x 13, 0.7 <80μm 13.8 x 13, 0.8 <60μm 13.8 x 13, 0.9 <20μm

11,6 x 11,6 0,6 > 70μm11.6 x 11.6 0.6> 70μm

9,4 x 9,4 0,6 > 80μm 9,4 x 9,4 0,9 < 30μm9.4 x 9.4 0.6> 80μm 9.4 x 9.4 0.9 <30μm

Die Insel 14 ist innerhalb des Zuleitungsrahmens 2 gegenüber den Zuleitungen 3 so abgesenkt, daß sowohl oberhalb und unterhalb der Zuleitungen 3 Gehäusebereiche mit gleicher Dicke c entstehen und auch oberhalb und unterhalb des integrierten Schaltkreises 11 und der Insel 14 Gehäusebereiche 7 mit der Dicke a und Gehäusebereiche 8 mit der Dicke b entstehen, wobei a = b gilt. Auch in diesem Ausführungsbeispiel wird ein geringer Überstand der Insel 14, an dem infolge des Reaktionsschrumpfes der Preßmasse Spannungen auftreten, in Kauf genommen, um auf diesem Inselüberstand eine Hohlkehle 5 erzeugen zu können, die ein wichtiger Kontrollparameter bei der Herstellung ist.The island 14 is lowered within the lead frame 2 with respect to the leads 3 so that 3 housing areas with the same thickness c are formed both above and below the leads and also above and below the Integrated circuit 11 and the island 14 housing areas 7 with the thickness a and housing areas 8 with the thickness b arise, where a = b applies. In this exemplary embodiment too, a small protrusion of the island 14, on which stresses occur as a result of the reaction shrinkage of the molding compound, is accepted in order to be able to produce a fillet 5 on this protrusion of the island, which is an important control parameter during production.

Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist in Figur 3 dargestellt, in der ebenfalls ein kleiner integrierter Schaltkreis 11 mit einer bündig abschließenden Insel 24 dargestellt ist. In diesem Beispiel sind überhaupt keine überstehenden Inselbereiche vorhanden, an denen Spannungen infolge des Reaktionsschrumpfes der Preßmasse auftreten könnten.Another embodiment of the invention is shown in FIG. 3, in which a small integrated circuit 11 with a flush-fitting island 24 is also shown. In this example there are no protruding island areas at all, where stresses could occur due to the reaction shrinkage of the molding compound.

In den Figuren sind lediglich integrierte Schaltkreise 1 und 11 mit zwei verschiedenen Größen dargestellt. Es versteht sich jedoch, daß für ein standardisiertes und genormtes Ge- häuse 6 eine ganze Gruppe von integrierten Schaltkreisen mit unterschiedlichen Größen zum Einsatz kommt. Entsprechend der Größe der Grundfläche des integrierten Schaltkreises wird die Insel größenmäßig angepaßt, so daß der Standardzuleitungsrahmen erfindungsgemäß weiterverarbeitet wird und für eine ganze Gruppe unterschiedlicher integrierter Schaltkreise einsetzbar ist, ohne daß es zu einer Gehäuseverwölbung kommen würde. Bei den vorstehend beschriebenen Gehäusen handelt es sich um große dünne quadratische Gehäuse, sog. TQFPs, mit beispielsweise 176 Zuleitungen, die an allen vier Seiten aus dem qua- dratischen Gehäuse herausgeführt werden. In the figures, only integrated circuits 1 and 11 with two different sizes are shown. However, it goes without saying that a whole group of integrated circuits with different sizes is used for a standardized and standardized housing 6. The size of the island is adjusted in accordance with the size of the base area of the integrated circuit, so that the standard lead frame is further processed according to the invention and can be used for a whole group of different integrated circuits without causing a housing warping. The housings described above are large, thin, square housings, so-called TQFPs, with, for example, 176 supply lines which are led out of the square housing on all four sides.

Claims

Patentansprüche claims 1. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere einen dünnes QFPs, bei dem1. A method for producing an electronic component, in particular a thin QFP, in which - ein standardisierter Zuleitungsrahmen (2) mit einer vorgegebenen Anzahl von Zuleitungen (3) für eine Gruppe von verschieden großen integrierten Schaltkreisen (1, 11) hergestellt wird, wobei der standardisierte Zuleitungsrahmen (2) mit einer zentralen Insel (4, 14, 24) vorgegebener maximaler Größe zur Aufnahme von einem der integrierten Schaltkreise (1, 11) aus dieser Gruppe ausgebildet wird,- A standardized lead frame (2) with a predetermined number of leads (3) for a group of different sized integrated circuits (1, 11) is produced, the standardized lead frame (2) with a central island (4, 14, 24) predetermined maximum size for receiving one of the integrated circuits (1, 11) from this group, - die Insel (4, 14, 24) entsprechend der Grundfläche des je- weils verwendeten integrierten Schaltkreises (1, 11) auf ein geeignetes Größenverhältnis verkleinert wird,the island (4, 14, 24) is reduced to a suitable size ratio in accordance with the base area of the integrated circuit (1, 11) used in each case, - der integrierte Schaltkreis (1, 11) auf der Insel (4, 14, 24) befestigt wird, und- The integrated circuit (1, 11) on the island (4, 14, 24) is attached, and - der Zuleitungsrahmen (2) mit dem auf der Insel (4, 14, 24) befestigten integrierten Schaltkreis (1, 11) in eine Gießoder Preßmasse eingebettet wird, wobei die Einheit aus Insel und integriertem Schaltkreis höhenmäßig zentriert wird.- The lead frame (2) with the on the island (4, 14, 24) attached integrated circuit (1, 11) is embedded in a casting or molding compound, the unit of island and integrated circuit centering in height. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß der Zuleitungsrahmen mit der darin ausgebildeten Insel (4, 14, 24) gestanzt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the lead frame is punched with the island (4, 14, 24) formed therein. 3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß der integrierte Schaltkreis (1, 11) auf die Insel (4, 14, 24) aufgeklebt wird.3. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the integrated circuit (1, 11) is glued to the island (4, 14, 24). 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Befestigung des integrierten Schaltkreises (1, 11) auf der Insel (4, 14, 24) anhand heraustretenden Klebers kontrolliert wird.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the attachment of the integrated circuit (1, 11) on the island (4, 14, 24) is checked by means of emerging adhesive. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß das geeignete Größenverhältnis zwischen 0,7 und 0,9 liegt .5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the suitable size ratio is between 0.7 and 0.9. 6. Elektronisches Bauelement mit einem integrierten Schaltkreis (1, 11) und einem standardisierten Gehäuse (6) aus Gieß- oder Preßmasse, in welches der integrierte Schaltkreis (1, 11) eingebettet ist, und mit einem Zuleitungsrahmen (2), der eine zentrale Insel (4, 14, 24) zur Aufnahme des inte- grierten Schaltkreises aufweist, wobei die Insel so ausgebildet ist, daß eine Gehäusedurchbiegung vermieden wird, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Insel (4, 14, 24) im wesentlichen bündig abschließend mit dem integrierten Schaltkreis (1, 11) ausgebildet ist, und daß die Dicke des Gehäusebereiches (7) oberhalb des integrierten Schaltkreises (1, 11) gleich der Dicke des Gehäusebereiches (8) unterhalb der Insel (4, 14, 24) ist.6. Electronic component with an integrated circuit (1, 11) and a standardized housing (6) made of casting or molding compound, in which the integrated circuit (1, 11) is embedded, and with a lead frame (2), which is a central Has island (4, 14, 24) for receiving the integrated circuit, the island being designed so that a housing deflection is avoided, characterized in that the island (4, 14, 24) is essentially flush with the integrated Circuit (1, 11) is formed, and that the thickness of the housing area (7) above the integrated circuit (1, 11) is equal to the thickness of the housing area (8) below the island (4, 14, 24). 7. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Insel (4, 14) etwas größer als der Chip (1, 11) ist.7. Electronic component according to claim 6, characterized in that the island (4, 14) is somewhat larger than the chip (1, 11). 8. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 oder 7 , dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß der integrierte Schaltkreis (1, 11) auf die Insel (4, 14) aufgeklebt ist und der ausgetretene Klebstoff am integrierten Schaltkreis (1, 11) eine Hohlkehle (5) bildet.8. Electronic component according to one of claims 6 or 7, characterized in that the integrated circuit (1, 11) on the island (4, 14) is glued and the leaked adhesive on the integrated circuit (1, 11) a fillet (5th ) forms. 9. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß das Verhältnis der Grundfläche des integrierten Schaltkreises zur Inselfläche kleiner 0,9 : 1 beträgt.9. Electronic component according to one of claims 6 to 8, characterized in that that the ratio of the base area of the integrated circuit to the island area is less than 0.9: 1. 10. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß das Verhältnis der Grundfläche des integrierten10. Electronic component according to one of claims 6 to 9, characterized in that the ratio of the base area of the integrated device Schaltkreises zur Inselfläche im Bereich 0,9 - 0,7 liegt.Circuit to the island surface is in the range 0.9 - 0.7. 11. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Insel (4, 14, 24) als durchgehende, unstrukturierte11. Electronic component according to one of claims 6 to 10, characterized in that the island (4, 14, 24) as a continuous, unstructured Fläche ausgebildet ist.Surface is formed. 12. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Zuleitungen (3) bis an die Insel (4, 14, 24) herange- führt ausgebildet sind.12. Electronic component according to one of claims 6 to 11, characterized in that the feed lines (3) are designed up to the island (4, 14, 24). 13. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Zuleitungen (3) höhenmäßig zentriert in dem Gehäuse (6) angeordnet sind und die Insel (4, 14, 24) gegenüber den Zuleitungen (3) etwas abgesenkt ist. 13. Electronic component according to one of claims 6 to 12, characterized in that the feed lines (3) are arranged in height centered in the housing (6) and the island (4, 14, 24) is somewhat lowered relative to the feed lines (3) .
PCT/DE1997/000105 1995-07-17 1997-01-22 Electronic component Ceased WO1998032172A1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19526010A DE19526010B4 (en) 1995-07-17 1995-07-17 Electronic component
PCT/DE1997/000105 WO1998032172A1 (en) 1995-07-17 1997-01-22 Electronic component
EP97908115A EP0954879A1 (en) 1997-01-22 1997-01-22 Electronic component
US09/688,465 US6870245B1 (en) 1997-01-22 2000-10-16 Electric component with an integrated circuit mounted on an island of a lead frame

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19526010A DE19526010B4 (en) 1995-07-17 1995-07-17 Electronic component
PCT/DE1997/000105 WO1998032172A1 (en) 1995-07-17 1997-01-22 Electronic component

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US35917899A Continuation 1997-01-22 1999-07-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1998032172A1 true WO1998032172A1 (en) 1998-07-23

Family

ID=25962889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE1997/000105 Ceased WO1998032172A1 (en) 1995-07-17 1997-01-22 Electronic component

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE19526010B4 (en)
WO (1) WO1998032172A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19526010B4 (en) * 1995-07-17 2005-10-13 Infineon Technologies Ag Electronic component
EP0954879A1 (en) 1997-01-22 1999-11-10 Siemens Aktiengesellschaft Electronic component

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4258381A (en) * 1977-12-07 1981-03-24 Steag, Kernergie Gmbh Lead frame for a semiconductor device suitable for mass production
JPS60119756A (en) * 1983-12-01 1985-06-27 New Japan Radio Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPS60189956A (en) * 1984-03-09 1985-09-27 Nec Corp Manufacture of lead frame for semiconductor device
JPS6132435A (en) * 1984-07-24 1986-02-15 Nec Corp Method for fixing of semiconductor element
JPH04101437A (en) * 1990-08-21 1992-04-02 Seiko Instr Inc Mounting of semiconductor device
DE4041346A1 (en) * 1990-12-21 1992-06-25 Siemens Ag Plastic housing containing encapsulated semiconductor chips - has chips protruding on all sides beyond metal islands below
US5191403A (en) * 1991-02-05 1993-03-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Resin-sealed semiconductor device having a particular mold resin structure
DE19526010A1 (en) * 1995-07-17 1997-01-23 Siemens Ag Surface-mounted electronic component mfr., esp. thin quad- flat package prodn.

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3029667A1 (en) * 1980-08-05 1982-03-11 GAO Gesellschaft für Automation und Organisation mbH, 8000 München CARRIER ELEMENT FOR AN IC COMPONENT
US4884124A (en) * 1986-08-19 1989-11-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Resin-encapsulated semiconductor device
EP0261324A1 (en) * 1986-09-26 1988-03-30 Texas Instruments Incorporated Plastic package for large chip size integrated circuit
DE3635375A1 (en) * 1986-10-17 1988-04-28 Heraeus Gmbh W C Lead frame for electronic components
JPH0521655A (en) * 1990-11-28 1993-01-29 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device and package for semiconductor device
DE4204286A1 (en) * 1992-02-13 1993-08-19 Siemens Ag Electronic surface mounted device mfr. - using only lead frame stamping out and housing moulding stations dependent on size of device being mfd.

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4258381A (en) * 1977-12-07 1981-03-24 Steag, Kernergie Gmbh Lead frame for a semiconductor device suitable for mass production
JPS60119756A (en) * 1983-12-01 1985-06-27 New Japan Radio Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPS60189956A (en) * 1984-03-09 1985-09-27 Nec Corp Manufacture of lead frame for semiconductor device
JPS6132435A (en) * 1984-07-24 1986-02-15 Nec Corp Method for fixing of semiconductor element
JPH04101437A (en) * 1990-08-21 1992-04-02 Seiko Instr Inc Mounting of semiconductor device
DE4041346A1 (en) * 1990-12-21 1992-06-25 Siemens Ag Plastic housing containing encapsulated semiconductor chips - has chips protruding on all sides beyond metal islands below
US5191403A (en) * 1991-02-05 1993-03-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Resin-sealed semiconductor device having a particular mold resin structure
DE19526010A1 (en) * 1995-07-17 1997-01-23 Siemens Ag Surface-mounted electronic component mfr., esp. thin quad- flat package prodn.

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 009, no. 277 (E - 355) 6 November 1985 (1985-11-06) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 010, no. 032 (E - 379) 7 February 1986 (1986-02-07) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 010, no. 184 (E - 415) 27 June 1986 (1986-06-27) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 016, no. 336 (E - 1237) 21 July 1992 (1992-07-21) *

Also Published As

Publication number Publication date
DE19526010A1 (en) 1997-01-23
DE19526010B4 (en) 2005-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69737588T2 (en) Semiconductor device and manufacturing method therefor
DE68927295T2 (en) SYNTHETIC-SEALED SEMICONDUCTOR COMPONENT
DE19747105B4 (en) Component with stacked semiconductor chips
DE68928185T2 (en) Manufacture of electronic components with the help of lead frames
DE102014104399B4 (en) Semiconductor chip package comprising a leadframe
DE69313596T2 (en) Electrical connector with a supported arched design
DE19634202C2 (en) Semiconductor device
DE4446566A1 (en) Multipole, surface-mountable, electronic component
DE4207198C2 (en) Lead frame and its use in a semiconductor device
EP0513410A1 (en) Semiconductor power module and method of making such a module
DE3937996A1 (en) METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR ARRANGEMENTS
DE2247902A1 (en) Printed circuit board and process for making same
DE19928788A1 (en) Ceramic electronic component such as a laminated ceramic capacitor
DE10234778A1 (en) Chip circuit board arrangement for optical mice and associated lens cover
DE3810899C2 (en)
DE19808193A1 (en) Leadframe device and corresponding manufacturing process
DE19743537A1 (en) Semiconductor package for surface mounting and method for its production
DE69723801T2 (en) Manufacturing process of a contact grid semiconductor package
DE19819217B4 (en) Printed circuit board for an electronic component
EP0645953B1 (en) Method of producing a two or multilayer wiring structure and two or multilayer structure made thereof
DE19732807B4 (en) Integrated circuit component
DE102019127007A1 (en) STACK OF ELECTRICAL COMPONENTS AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
DE19749539B4 (en) Semiconductor device with lead frame and alignment aids
WO1998032172A1 (en) Electronic component
EP0954879A1 (en) Electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1997908115

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 09359178

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1997908115

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

Ref document number: 1998533488

Format of ref document f/p: F

WWR Wipo information: refused in national office

Ref document number: 1997908115

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1997908115

Country of ref document: EP