[go: up one dir, main page]

WO1986004529A1 - Procede et appareil de purification de l'air par irradiation par des rayons ultra-violets - Google Patents

Procede et appareil de purification de l'air par irradiation par des rayons ultra-violets Download PDF

Info

Publication number
WO1986004529A1
WO1986004529A1 PCT/JP1986/000044 JP8600044W WO8604529A1 WO 1986004529 A1 WO1986004529 A1 WO 1986004529A1 JP 8600044 W JP8600044 W JP 8600044W WO 8604529 A1 WO8604529 A1 WO 8604529A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
air
fine particles
emitting material
cleaning method
photoelectron emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP1986/000044
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Toshiaki Fujii
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to DE8686901131T priority Critical patent/DE3685580T2/de
Publication of WO1986004529A1 publication Critical patent/WO1986004529A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/38—Particle charging or ionising stations, e.g. using electric discharge, radioactive radiation or flames
    • B03C3/383—Particle charging or ionising stations, e.g. using electric discharge, radioactive radiation or flames using radiation

Definitions

  • the present invention relates to a clean room, a clean booth, a clean tunnel, a clean bench and a safety cabinet in the electronics industry, the pharmaceutical industry, the food industry, the agriculture and forestry industry, the medical industry, the precision machinery industry, and the like.
  • the present invention relates to a method and an apparatus for cleaning air in a kit, a sterile room, a bath box, a sterile air curtain, a clean tube, and the like.
  • the conventional indoor air cleaning method or its equipment can be roughly classified into:
  • the conventional filter method is intended only for the removal of fine particles, so it can be used for industrial clean rooms.However, filters have almost always bin holes, and some of the polluted air However, the use in a noological cleanroom was limited due to the leakage.
  • a high voltage of, for example, 15 to 70 kV is required for the pre-charging unit, so that the equipment becomes large, and safety and maintenance management are not considered. There was a problem.
  • the present invention provides an air cleaning method for irradiating ultraviolet rays to charge fine particles in the air, and then removing the charged fine particles from the air.
  • An air cleaning method comprising: charging the fine particles by photoelectrons generated by irradiation; and removing the fine particles charged by the photoelectrons from the air.
  • the present invention discloses an air purifying apparatus comprising an ultraviolet irradiation unit, a photoelectron emission unit, and a charged particle collection unit provided on an air flow path from an air intake port to an air exhaust port.
  • an air purifying apparatus comprising an ultraviolet irradiation unit, a photoelectron emission unit, and a charged particle collection unit provided on an air flow path from an air intake port to an air exhaust port.
  • a substance having a small photoelectric work function, or a compound or an alloy thereof, is preferably selected as the photoelectron emitting material, and these are used alone or as a composite material in which two or more kinds are combined.
  • Fig. 1 shows a schematic diagram of a method using a clean bench in a biological clean room, that is, a method in which only a part of the working area is highly clean.
  • FIG. 2 is a schematic view showing an embodiment of an ultraviolet irradiation section and a photoelectron emission section.
  • the fan and voltage supply section 8 in the clean room 1, the ultraviolet irradiation section 9, and the work bench 13 in the clean bench 11 provided with the filter 10 are highly clean. Temperature (class 10).
  • the clean bench 11 air having a cleanliness (class) of about 100,000 in the clean room 1 is sucked by the fan and the fan of the voltage supply line section 8.
  • the ultraviolet ray irradiator 9 By irradiating the ultraviolet rays with the ultraviolet ray irradiator 9, the fine particles in the air are charged, and at the same time, viruses, bacteria, After the microorganisms such as yeasts and molds are sterilized, the charged fine particles are removed by the filter 10, so that the workbench 13 is kept at high cleanliness.
  • the ultraviolet irradiation section and the photoelectron emission section mainly include a discharge electrode 20, a metal surface 21 of a photoelectron emission material, and an ultraviolet lamp 22.
  • a voltage is applied from the fan and the voltage supply unit 8 to the metal surface 21 and the metal surface 21 is irradiated with ultraviolet light by an ultraviolet lamp 22 to discharge the electrode 20 and the metal surface 2.
  • an ultraviolet lamp 22 By passing the air 50 between the 1, the fine particles in the air 50 are efficiently loaded.
  • the distance between the discharge electrode 20 and the metal surface 21 depends on the shape of the device, but is generally 2 to 20 cm per unit cell, and is 5 cm in this example.
  • the material of the discharge electrode 20 and the structure of the discharge electrode 20 are not the ones used in a normal charging device, and a tungsten wire is also used in this embodiment.
  • reference numeral 23 denotes a coarse filter
  • reference numeral 24 denotes an electrostatic filter.
  • the metal surface 21 as a photo-emissive material and the discharge electrode 20 are formed as separate members in order to form an electric field. 1 may also be used as a discharge electrode.
  • the discharge electrode 20 is omitted from the example of FIG. 2, and the voltage is applied from the fan and the voltage supply unit 8 to the metal surface 21 of the photoemission material. Will be applied.
  • the metal surface 21 may be any one that emits photoelectrons by ultraviolet irradiation, and the smaller the photoelectric work function, the better.
  • Ba, Sr, Ca, Y, Gd, and 3, Ce, Nd, Th, Pr, Be, Zr, Fe, Ni, Zn, Cu, Ag, Pt, Cd, Pb, AS ,, C, Mg, Au, In, Bi, Nb.Si, Ti, Ta, Sn, P or a compound or alloy thereof is preferable, and these are used alone or in combination of two or more.
  • a physical composite material such as amalgam can be used.
  • the oxide as a compound, boride there are carbides, BaO in the oxide, SrO, CaO, Y 2 0 Gd 2 0 3, Nd 2 0 3, Th0 2 l Zr0 2) Fe 2 0 3.
  • BiO, NbO, BeO Nadogaa YB 6, is to also borides, GdB 6, LaB 6, CeB 6, PrB 6 l ZrB 2 and the like, and carbides such as ZrC, TaC, TiC and NbC.
  • the alloys include brass, bronze, phosphor bronze, an alloy of Ag and Mg (Mg is 2 to 20 wt%), an alloy of Cu and Be (Be is 1 to 1 Owt%), and Ba and ⁇ .
  • An alloy with £ can be used, and an alloy of Ag and Mg, an alloy of Cu and Be, and an alloy of Ba and ⁇ are preferable.
  • Oxides can also be obtained by heating the metal surface alone in air or by oxidizing it with chemicals. As another method, it is also possible to form an oxide layer on the surface by heating before use to obtain a stable oxide layer over a long period of time.
  • an alloy of Mg and Ag can form an oxide thin film on its surface in steam at a temperature of 300 to 40 O'c. Is stable over
  • These materials may be used in any shape such as a plate shape, a leaf shape, a net shape, and the like, but a shape having a large ultraviolet irradiation area and a large air contact area is preferable. From a different point of view, a net is preferred.
  • the voltage to be applied is 0.1 to 10 kV, preferably 0.1 to 5 kV, more preferably 0.1 to 1 kV.
  • the voltage may vary depending on the shape of the device, the electrode or metal used. It depends on the material, structure, efficiency, etc.
  • the kind of the ultraviolet ray may be any as long as the photoelectron emitting material can emit photoelectrons by the irradiation, but it is preferable that the ultraviolet ray also has a bactericidal action. It can be determined as appropriate according to the application field, work content, application, economy, etc. For example, in the biological field, it is preferable to use far ultraviolet rays in combination from the viewpoints of bactericidal action and efficiency.
  • Electrostatic filter 10 Charged particles, including dead organisms, are collected by the electrostatic filter 10. Any collector for charged particles may be used. Dust collection plate (dust collection electrode) in ordinary charging device ⁇ Electrostatic filter system is common, It is also effective to use a structure in which the collecting part itself constitutes an electrode, such as a steel wheel electrode. One-way electrostatic filters are effective in terms of ease of handling, performance, and economy, but they can cause clogging after a certain period of use, so use a cartridge structure if necessary. In addition, by performing replacement by detecting pressure loss, stable operation can be performed for a long period of time.
  • the positional relationship among the fan, the ultraviolet lamp, the electric field, and the photo-emissive material in the present invention varies depending on the type and scale of the air cleaning system, the method of air flow, and the like, and is not limited.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Electrostatic Separation (AREA)
  • Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)

Description

明 細 書 紫外線照射による空気清浄方法及びその装置 技術分野
本発明は、 電子工業、 薬品工業、 食品工業、 農林産 業、 医療、 精密機械工業等におけるク リ ー ンルーム、 ク リ ー ンブース、 ク リ ー ン ト ンネル、 ク リ ー ンベンチ- 安全キ ャ ビネ ッ ト、 無菌室、 バスボ ッ ク ス、 無菌エア カ ーテ ン、 ク リ ー ンチューブ等における空気清浄方法 及びその装置に関する。
背景技術
従来の室内の空気清浄方法或いはその装置を大別す る と、
(1) 機械的濾過方式 （例えば H E P Aフ ィ ルタ ー）
(2) 静電的に微粒子の捕集を行なう高電圧による荷電 及び導電性フィルタ ーによる濾過方式 （例えば M S A フ ィ ルタ ー）
があるが、 これらの方式には夫々次のような欠点があ つた。
即ち、 機械的濾過方式においては、 空気の清浄度 (クラス） をあげるためには目の細かいフィ ルターを 使用する必要があるが、 この場合圧損が高く 、 また目 づまりによる圧損の增加も著るし く、 フ ィ ルタ ー寿命 も短かく、 フィルターの維持、 管理或いは交換が面倒 であるばかりでなく、 フ ィルターの交換を行う場合、 その間作業をス ト ップする必要があり、 復帰までには 長時間を要しており、 生産能率が悪いという欠点があ つた。
また、 空気の清浄度を上げる為に換気面数 （フ ァ ン による空気循環回数） を増加することも行われている が、 この場合動力費が高くつく という欠点があった。
また、 従来のフィルターによる方法は微粒子の除去 だけを目的としているので、 工業用ク リ ー ンルーム用 としては使用できるが、 フ ィルターには必ずと言って よい程ビンホールがあり、 汚染空気の一部がリ ークす るため、 ノ 'ィ ォロジカルク リ ーンルームでの使用には 限界があった。
また、 静電的に微粒子の捕集を行う方式においては、 予備荷電部に例えば 1 5 〜 7 0 kVという高電圧を必要 とするため、 装置が大型となり、 また安全性、 維持管 理の面で問題があった。
これらの問題点を解決するために本発明者は紫外線 照射による空気清浄方式を提案したが （日本国特願昭 5 9 - 2 1 6 2 9 3号） 、 この方式は適用分野、 用途 によっては有効であるが、 超微細な粒子を舍む空気の 浄化や特定の分野への適用においては未だ十分とは言 えない。 発明の開示
本発明は、 紫外線を照射することにより、.空気中の 微粒子を荷電させ、 その後、 該荷電した微粒子を空気 中より除去する空気清浄方法に於て、 紫外線を光電子 放出材に照射すること、 該照射により発生する光電子 により前記微粒子を荷電させること、 そして前記光電 子により荷電した微粒子を前記空気中より除去するこ と、 より成る空気清浄方法である。
更に、 上記方法を実施するため、 本発明により、 空 気吸入口から空気排出口までの空気流路上に、 紫外線 照射部、 光電子放出部及び荷電微粒子捕集部を設けて なる空気清浄装置が開示されている。 . 好ま しい実施例として、 電場において、 前記光電子 ' 放出材に紫外線を照射することにより発生する光電子 により、 前記空気中の微粒子を荷電させる方法及びそ の装置が提供されている。
光電子放出材として好ましく は光電的な仕事関数の 小さい物質、 これらの化合物又は合金が選択され、 こ れらは単独で又は 2種以上を複合した複合材として用 いられる。
発明の効果
1. 光電子放出材に紫外線を照射することにより、 或 いは比較的高電圧を印加した電場において、 光電子 放出材に紫外線を照射することにより、 (1) 従来の静電的濾過方式に比較して空気中の微粒 子への荷電を効率良く行う ことができる。
(2) 微粒子への荷電を高効率で行いう るので、 後流 側に適当な荷電粒子の捕集部例えば静電フィルタ 一を設置するのみで、 高清浄度の空気を得ること ができる。
(3) 超微細粒子も荷電することにより捕集できるの— で、 超高清浄空気室 （スーパーク リ ーンルーム） を得ることが可能である。
(4) 従来の静電的に微粒子の捕集を行う方式に比較 して、 高電圧を必要としないので安全であり、 維 持管理が容易でありコス ト も低減しう る。
紫外線に殺菌作用を持たせることにより、
(1) 殺菌ク リ一ン空気が得られる。
(2) バイ オテクノ ロジー分野の如く微生物の存在が 特に影響を及ぼす分野において特に有効である。
(3) バイ オテクノ ロジー関係では荷電粒子の捕集は 厳密なものでなくても良く 、 少しのリ ークは許容 され、 それ故コス トの安い装置ができる。
従来技術によっては、 超高清浄度 （ク ラス 1、 ク ラス 1 0 ) を得るのは西難であつたが、 本発明では 容易に得ることができる。
本発明のその余の特徴及び効果は、 添付図面に示 す本発明を実施するための最良の形態についての以 下の説明より明らかとなるであろう。
図面の簡単な説明
第 1図はバイオロ ジカルク リ ー ンルームにおけるク リ ー ンベンチ併用方式、 即ち、 作業領域内の一部だけ を高清浄度にした方式の概略図を示すものである。
第 2図は、 紫外線照射部及び光電子放出部の実施例 を示す概略図である。
発明を実施するための最良の形態
ク リ ー ンルーム 1 内には、 配管 2から導入される外 気の粗粒子をプレフ ィ ルタ 3で濾過した後、 ク リ ー ン ルーム 1 の空気取出し口 4から取り出された空気と共 にフ ァ ン ' 5を介して空気調和装置 ·6 にて温度及び湿度 を調節した後、 Η Ε Ρ Αフ ィ ルタ — 7 により微粒子を 除去した空気が循環供給されており 、 清浄度 （ク ラ ス） 1 0 , 0 0 0程度に保持されている。
—方、 ク リ ー ンルーム 1 内のフ ァ ン及び電圧供給部 8、 紫外線照射部 9 、 フ ィ ルタ ー 1 0を設けたク リ一 ンベンチ 1 1 内の作業台 1 3上は、 高清浄度 （ク ラス 1 0 ) の無菌雰囲気に保持される。
即ち、 ク リ ー ンベンチ 1 1 においては、 ク リ ー ンル ーム 1内の清浄度 （クラス） 1 0 , 0 0 0程度の空気が フ ァ ン及び電圧供袷部 8 のフ ァ ンにより吸引され、 紫 外線照射部 9で紫外線を照射するこ とによ り空気中の 微粒子は荷電されると共に、 ウ ィ ルス、 バクテリ ャ、 酵母、 かび等の微生物が殺菌された後、 フ ィ ルタ— 10 で荷電された微粒子を除去することにより、 作業台 13 上は高清浄度に保持される。
紫外線照射部及び光電子放出部は、 その概略図が第 2図に示されている如く、 主として放電電極 2 0、 光 電子放出材の金属面 2 1 、 紫外線ランプ 2 2からなり、 放電電極 2 0 と金属面 2 1 との間にファ ン及び電圧供 給部 8から電圧を負荷し、 又、 金属面 2 1 に紫外線ラ ンプ 2 2により紫外線照射を行い、 放電電極 2 0 と金 属面 2 1間に空気 5 0を通すことにより、 空気 5 0中 の微粒子が効率良く荷鼋される。
放電電極 2 0 と金属面 2 1 の距離は、 装置の形状に もよるが、 単位セルあたり一般的には 2 〜 2 0 cmであ り、 本例では 5 cmである。
放電電極 2 0 の材料と、 その搆造は通常の荷電装置 に使用されているものでよ く 、 本実施例においてもタ ンダステン線が用いられている。 第 2図中、 符号 2 3 は粗フ ィルタ、 符号 2 4は静電フ ィルタである。
なお、 第 2図の例では電場を形成するために、 光電 子放出材としての金属面 2 1 と放電電極 2 0 とを別部 材として構成してあるが、 勿論光電子放出材の金属面 2 1を放電電極として兼用させても良い。 この場合に は、 第 2図の例から放電電極 2 0が省略され、 ファ ン 及び電圧供給部 8から電圧を光電子放出材の金属面 21 に印加する こ ととなる。
次に金属面 2 1 は、 紫外線照射により光電子を放出 するものであれば何れでも良く 、 光電的な仕事関数の 小さいもの程好ましい。 効果や経済性の面から、 Ba, Sr, Ca, Y, Gd, し 3 , Ce, Nd, Th, Pr, Be, Zr， Fe, Ni, Zn, Cu, Ag, Pt, Cd, Pb, A S, , C, Mg, Au, In, Bi, Nb.Si, Ti, Ta, Sn, P のいずれか又はこれらの 化合物又は合金が好ましく、 これらは単独で又は二種 以上を複合して用いられる。 複合材としては、 ァマル ガムの如く物理的な複合材も用いうる。
例えば、 化合物としては酸化物、 ほう化物、 炭化物 があり、 酸化物には BaO, SrO, CaO, Y20 Gd 203, Nd203, Th02 l Zr02 ) Fe203. ZnO, CuO, Ag20, PtO, PbO, k & 2 3 , MgO, ln203 ) BiO, NbO, BeOなどがあ 、 またほう化物には YB6, GdB6, LaB6, CeB6, PrB6 l ZrB2などがあり、 さ らに炭化物としては ZrC, TaC, TiC, NbC などがある。
また、 合金としては黄銅， 青銅， リ ン青銅， Agと Mg との合金 （Mgが 2 〜 2 0 wt% ) 、 Cuと Beとの合金 （Be が 1 〜 1 O wt% ) 及び Baと Α £ との合金を用いること ができ、 上記 Agと Mgとの合金、 Cuと Beとの合金及び Ba と Α との合金が好ましい。 酸化物は金属表面のみを 空気中で加熱したり、 或いは薬品で酸化することによ つても得ることができる。 さらに他の方法としては使用前に加熱し、 表面に酸 化層を形成して長期にわたつて安定な酸化層を得るこ ともできる。 この例としては M gと A gとの合金を水蒸気 中で 3 0 0 〜 4 0 O 'cの温度の条件下でその表面に酸 化薄膜を形成させることができ、 この酸化薄膜は長期 間にわたって安定なものである。
これらの材料の使用形状は、 板状、 ブリ ーフ状、 網 状等何れの形伏でもよいが、 紫外線の照射面積及び空 気との接触面積の大きな形状のものが好まし く、 この ような観点からは網祅のものが好ま しい。
印加する電圧は、 0. 1 〜 1 0 k V、 好ましく は 0 . 1〜 5 k V、 より好ましく は 0 . 1〜 1 kVであるが、 該電圧は. 装置の形状、 使用する電極或いは金属の材質、 構造或 いは効率等により異なる。
紫外線の種類は、 その照射により光電子放出材が光 電子を放出しう るものであれば何れでもよいが、 殺菌 作用を併せてもつものが好ましい。 適用分野、 作業内 容、 用途、 経済性などにより適宜決めることができる。 例えば、 バイオロジカル分野においては、 殺菌作用、 効率の面から遠紫外線を併用するのが好ましい。
死滅した生物を含む荷電された微粒子は静電フィル ター 1 0で捕集される。 荷電された粒子の捕集器は、 何れでも良い。 通常の荷電装置における集じん板 （集 じん電極） ゃ静電フ ィ ルター方式が一般的であるが、 スチールゥール電極としたような捕集部自体が電極を 構成する構造のものも有効である。 静電フ ィ ルタ一方 式は取り扱いが容易であることや、 性能、 経済性の点 で有効であるが、 一定期間使用すると目詰まりを生ず るので、 必要に応じカー ト リ ッジ構造とし、 圧力損失 の検出により交換するようにするこ とによ り長期間に わたって安定した運転が可能となる。
ク リ ー ンベンチ 1 1内の作業台 1 3への器具、 製品 等の出し入れは、 ク リ ーンベンチ 1 1 に設けた可動シ ャ ッター 1 2により行う。
空気中の微粒子への荷電方式として、 比較的高電圧 •を印加した電場において、 光電子放出材金属面に紫外 線を照射し光電子を放出させて行う方式について説明 したが、 電場を形成することなく光電子放出材料に紫 外線を照射することにより、 空気中の微粒子に荷電さ せることができる。 この場合には、 第 1図乃至第 2図 の実施例において、 電場を形成する構成は省略するこ とができる。
尚、 本発明におけるフ ァ ン、 紫外線ラ ンプ、 電場、 光電子放出材料の位置関係は、 空気清浄方式の種類や 規模、 気流の方法などにより異なり、 限定されるもの ではない。
空気清浄方式の種類としては、 作業領域内の一部を 高清浄度にする方式や室全体を高清浄度にする方式等 があるが、 一般に前者の方が径済的である。
バイオテクノ ロジ一の分野で本発明を用いる場合に は、 本発明者が先に提案した窒素富化空気を用うれば より有効である （日本国特願昭 5 9 — 2 1 6 2 9 3号 参照） 。

Claims

請求の範囲
1. 紫外線を照射するこ とにより、 空気中の微粒子を 荷電させ、 その後、 該荷電した微粒子を空気中より 除去する空気清浄方法に於て、
紫外線を光電子放出材に照射すること、
前記照射により発生する光電子により前記微粒子 を荷電させること、 そして
前記光電子により荷電した微粒子を前記空気中よ り除去するこ と、 より成る空気清浄方法。
2. 電場において、 前記光電子放出材に紫外線を照射 することにより発生する光電子により、 前記空気中 の微粒子を荷電させる， 請求の範囲第 1項記載の空 気清净方法。
3. 前記光電子放出材が、 光電的な仕事関数の小さい 物質より成る、 請求の範囲第 1項又は第 2項記載の 空気清净方法。
4. 前記光電子放出材が、 Ba, Sr, Ca, Y, Gd, La, Ce,Nd, Th, Pr, Be, Zr, Fe, Ni, Zn, Cu, Ag, Pt, Cd, Pb, A i , C, Mg, Au, In, Bi , Nb, Si, Ta, Ti, Sn, P 及びその化合物から選ばれた材料の 1 つより成る、 請求の範囲第 3項記載の空気清浄方法。
5. 前記光電子放出材が、 Ba, Sr, Ca, Y, Gd, La, Ce, d, Th, Pr, Be, Zr, Fe, Ni , Zn, Cu, Ag, Pt, Cd, Pb, A & , C, Mg, Au, In, Bi, Nb, Si , Ta, Ti, Sn, P 及びその化合物から選ばれた材料の少 な く とも二種以上の複合材より成る、 請求の範囲第 3項記載の空気清浄方法。
6. 前記光電子放出材が、 Ag と Mg との合金である、 請求の範囲第 3項記載の空気清浄方法。
7. 前記光電子放出材が、 Cu と Be との合金である、 請求の範囲第 3項記載の空気清浄方法。
8. 前記光電子放出材が、 Ba と A J2 との合金である、 請求の範囲第 3項記載の空気清淨方法。 '
9. 前記光電子放出材が、 黄銅， 青銅， りん青銅から 選ばれた材料の 1つより成る、 請求の範囲第 3項記 載の空気清浄方法。
10. 前記光電子放出材が網状である、 請求の範囲第 1 項乃至第 9項の何れか 1項記載の空気清浄方法。
11 前記電場電圧が、 0.1 〜 ： L 0 kV、 好まし く は 0.1 〜 5 kV、 より好ましく は 0.1 〜 1 kVである、 請求の 範囲第 2項乃至第 1 0項の何れか 1項記載の空気清 浄方法。
12. 空気吸入口から空気排出口までの空気流路上に、 紫外線照射部、 光電子放出部及び荷電微粒子捕集部 を設けてなる空気清浄装置。
13. 空気吸入口から空気排岀口までの空気流路上に、 紫外線照射部、 電場、 光電子放出部及び荷電微粒子 捕集部を設けてなる空気清浄装置。
PCT/JP1986/000044 1985-02-04 1986-02-04 Procede et appareil de purification de l'air par irradiation par des rayons ultra-violets Ceased WO1986004529A1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8686901131T DE3685580T2 (de) 1985-02-04 1986-02-04 Verfahren und vorrichtung zur reinigung von luft durch bestrahlen mittels ultraviolettstrahlen.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60018723A JPS61178050A (ja) 1985-02-04 1985-02-04 紫外線照射による空気清浄方法及びその装置
JP60/18723 1985-02-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1986004529A1 true WO1986004529A1 (fr) 1986-08-14

Family

ID=11979579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1986/000044 Ceased WO1986004529A1 (fr) 1985-02-04 1986-02-04 Procede et appareil de purification de l'air par irradiation par des rayons ultra-violets

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4750917A (ja)
EP (1) EP0241555B1 (ja)
JP (1) JPS61178050A (ja)
DE (1) DE3685580T2 (ja)
WO (1) WO1986004529A1 (ja)

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6354958A (ja) * 1986-08-26 1988-03-09 Ebara Res Co Ltd ガス流の清浄方法及びその装置
JPH0687997B2 (ja) * 1986-09-22 1994-11-09 株式会社荏原製作所 ガス流の清浄方法及びその装置
JPH0810616B2 (ja) * 1986-09-22 1996-01-31 株式会社荏原製作所 陰イオンを含有するガスを得る方法及びその装置
JPH07110342B2 (ja) * 1986-12-11 1995-11-29 株式会社荏原製作所 気体の清浄方法及びその装置
DE3711312A1 (de) * 1987-04-03 1988-10-13 Daimler Benz Ag Dieselbrennkraftmaschine mit einem abgasleitungssystem
JPS63258693A (ja) * 1987-04-16 1988-10-26 Yasunobu Yoshida 空気と水の浄化方法及びその装置
JPH01159032A (ja) * 1987-12-17 1989-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空気清浄装置
JPH01262953A (ja) * 1988-04-13 1989-10-19 Ebara Res Co Ltd 空気中の微生物を殺菌除去する方法及びその装置
JP2750694B2 (ja) * 1988-04-13 1998-05-13 株式会社荏原製作所 気体の清浄方法及びその装置
JPH02303557A (ja) * 1989-05-16 1990-12-17 Ebara Res Co Ltd 光電子による気体中の微粒子の荷電方法
US5060805A (en) * 1989-06-20 1991-10-29 Ebara Research Co., Ltd. Photoelectron emitting member
US5030422A (en) * 1989-10-30 1991-07-09 Eichhorn Cathy D S Smog control system
US5295182A (en) * 1989-11-20 1994-03-15 Sharp Kabushiki Kaisha Facsimile device having self-diagnostic function and maintenance and control method thereof
US5154733A (en) * 1990-03-06 1992-10-13 Ebara Research Co., Ltd. Photoelectron emitting member and method of electrically charging fine particles with photoelectrons
JPH0793098B2 (ja) * 1990-11-02 1995-10-09 株式会社荏原総合研究所 光電子放出材を用いた微粒子の荷電方法
JPH08211B2 (ja) * 1990-11-02 1996-01-10 株式会社荏原総合研究所 密閉空間の清浄方法及び装置
US5074894A (en) * 1991-02-01 1991-12-24 Component Systems, Inc. Apparatus for isolating contagious respiratory hospital patients
US5152814A (en) * 1991-02-01 1992-10-06 Component Systems, Inc. Apparatus for isolating contagious respiratory hospital patients
EP0504452B1 (de) * 1991-03-20 1995-06-28 Asea Brown Boveri Ag Verfahren und Einrichtung zur Aufladung von Partikeln
JPH0822393B2 (ja) * 1991-09-13 1996-03-06 株式会社荏原総合研究所 微粒子の荷電・捕集ユニット装置
US5380503A (en) * 1992-03-13 1995-01-10 Ebara Research Co., Ltd. Stocker
US6264888B1 (en) * 1992-10-09 2001-07-24 National Jewish Center For Immunology And Respiratory Medicine Ultraviolet germicidal apparatus and method
DE4305704B4 (de) * 1993-02-25 2006-02-16 Matter + Siegmann Ag Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von in einem Gas befindlichen Partikeln
JP3329891B2 (ja) * 1993-07-13 2002-09-30 日本原子力研究所 放射線効果によるエアロゾルの除去方法
WO1995025250A1 (en) * 1994-03-15 1995-09-21 Medical Air Technology Corporation Source capture air filtering device
US5449443A (en) * 1994-06-13 1995-09-12 Jacoby; William A. Photocatalytic reactor with flexible supports
US5835840A (en) * 1995-09-06 1998-11-10 Universal Air Technology Photocatalytic system for indoor air quality
KR19990036000A (ko) * 1995-09-06 1999-05-25 루이스 에이. 코헨 광촉매식 공기 살균 방법 및 장치
US6159421A (en) * 1995-10-17 2000-12-12 Ebara Corporation Method of cleaning gases
KR100466293B1 (ko) 1996-02-23 2005-05-17 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 화학증착방법및증착장치
JP3405439B2 (ja) 1996-11-05 2003-05-12 株式会社荏原製作所 固体表面の清浄化方法
US5879435A (en) * 1997-01-06 1999-03-09 Carrier Corporation Electronic air cleaner with germicidal lamp
US6149717A (en) * 1997-01-06 2000-11-21 Carrier Corporation Electronic air cleaner with germicidal lamp
US5837207A (en) * 1997-04-17 1998-11-17 Engineering Dynamics Limited Portable germicidal air filter
US5993738A (en) * 1997-05-13 1999-11-30 Universal Air Technology Electrostatic photocatalytic air disinfection
US5997619A (en) * 1997-09-04 1999-12-07 Nq Environmental, Inc. Air purification system
US6221314B1 (en) 1997-11-04 2001-04-24 Wil Bigelow Air actinism chamber apparatus and method
RU2129908C1 (ru) * 1998-06-09 1999-05-10 Российская академия естественных наук Реактор термического окисления газовых выбросов
US6544485B1 (en) 2001-01-29 2003-04-08 Sharper Image Corporation Electro-kinetic device with enhanced anti-microorganism capability
US6086657A (en) * 1999-02-16 2000-07-11 Freije; Joseph P. Exhaust emissions filtering system
JP2001239131A (ja) * 2000-02-29 2001-09-04 Mamoru Nakasuji 脱硫・脱硝装置及びボイラー装置
US6500387B1 (en) 2000-05-19 2002-12-31 Nukuest, Inc. Air actinism chamber apparatus and method
US6464760B1 (en) 2000-09-27 2002-10-15 John C. K. Sham Ultraviolet air purifier
US6804327B2 (en) 2001-04-03 2004-10-12 Lambda Physik Ag Method and apparatus for generating high output power gas discharge based source of extreme ultraviolet radiation and/or soft x-rays
ITMI20010968A1 (it) * 2001-05-10 2002-11-10 Centonze Nicola Film mono o coestruso per la protezione temporanea o permanente di superfici in genere avente un aspetto estetico-funzionale simile alla car
DE10133831C1 (de) * 2001-07-12 2003-04-10 Eads Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum selektiven Entfernen gasförmiger Schadstoffe aus der Raumluft
US20040028561A1 (en) * 2001-11-09 2004-02-12 Lockheed Martin Corporation System for the detection of pathogens in the mail stream
US6797042B2 (en) 2002-06-21 2004-09-28 Pyramid Air Solutions, Inc. Pyramid air cleaner
USD475444S1 (en) 2002-06-26 2003-06-03 Martin Air Solutions, L.L.C. Pyramid air cleaner
US6623544B1 (en) * 2002-10-31 2003-09-23 Kamaljit S. Kaura Air purification system and method of operation
US6783578B2 (en) * 2002-12-17 2004-08-31 Isolate, Inc. Air purification unit
US7175814B2 (en) * 2003-06-16 2007-02-13 Dionisio James L Air disinfecting system and cartridge device containing ultraviolet light
US6980434B2 (en) * 2003-10-22 2005-12-27 Chieh Ou Yang Computer fan assembly mechanism having filtering and sterilizing functions
WO2005056064A1 (en) * 2003-11-28 2005-06-23 Zhi Zhu A device for sterilizing the air efficiently
US20060005703A1 (en) * 2004-06-30 2006-01-12 Chi-Hsiang Wang Ultraviolet air purifier having multiple charged collection plates
JP2009521282A (ja) * 2005-12-23 2009-06-04 ユニバーシティ オブ ノース ダコタ 光触媒流動床式空気清浄機
US9457119B2 (en) 2012-12-11 2016-10-04 Aerobiotix, Inc. Fluid sterilization system
WO2014190066A1 (en) 2013-05-22 2014-11-27 Aerobiotix, Llc An air-surface disinfection system, unit and method
CN109414711A (zh) * 2016-02-19 2019-03-01 华盛顿大学 使用静电除尘和光电离的气体清洁的系统和方法
KR102633318B1 (ko) * 2017-11-27 2024-02-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 청정 소형 구역을 포함한 장치
EP4076547A1 (en) 2019-12-17 2022-10-26 Aerobiotix, Inc. Medical air handling system with laminar flow and energy-based air decontamination
USD978313S1 (en) 2020-05-11 2023-02-14 Aerobiotix, Llc Air cleaner
WO2021243371A1 (en) * 2020-05-29 2021-12-02 Aa Plasma Llc Food and fresh produce disinfection chamber utilizing fast mixed liquid and nonequilibrium plasma-generated species
US11629872B2 (en) 2021-04-12 2023-04-18 NQ Industries, Inc. Single pass kill air purifier system and process of operation

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05183278A (ja) * 1991-06-08 1993-07-23 Robert Bosch Gmbh 電気機器

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3247374A (en) * 1962-08-29 1966-04-19 Carlton H Wintermute Air treating device having means for producing negative ions
US3653185A (en) * 1968-10-08 1972-04-04 Resource Control Airborne contaminant removal by electro-photoionization
US3744216A (en) * 1970-08-07 1973-07-10 Environmental Technology Air purifier
US3948625A (en) * 1972-07-24 1976-04-06 Environmental Master Systems, Inc. Irradiation and electrostatic separator
JPS5183278A (ja) * 1975-01-20 1976-07-21 Nippon Steel Corp Denshibiimukadengatadenkishujinsochi
CH649231A5 (de) * 1980-10-28 1985-05-15 Hans Christoph Siegmann Prof D Verfahren zum elektrischen aufladen von schwebeteilchen in gasen.
US4477263A (en) * 1982-06-28 1984-10-16 Shaver John D Apparatus and method for neutralizing static electric charges in sensitive manufacturing areas
US4553992A (en) * 1984-10-17 1985-11-19 Boissinot Jean Guy Scrubber apparatus for purifying foul air produced during an embalming, an autopsy or the like

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05183278A (ja) * 1991-06-08 1993-07-23 Robert Bosch Gmbh 電気機器

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0241555A4 *
Wada Masanobu "Tohoku Daigaku Kiso Denshikogaku Nyumon Koza. Vol. 13, Koden Sochi" 15 December, 1959 (15. 12. 59) KINDAI KAGAKUSHA, p. 1 - 3, p. 41 - 44 *

Also Published As

Publication number Publication date
JPH035859B2 (ja) 1991-01-28
US4750917A (en) 1988-06-14
DE3685580D1 (de) 1992-07-09
JPS61178050A (ja) 1986-08-09
EP0241555B1 (en) 1992-06-03
DE3685580T2 (de) 1993-01-21
EP0241555A1 (en) 1987-10-21
EP0241555A4 (en) 1988-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1986004529A1 (fr) Procede et appareil de purification de l'air par irradiation par des rayons ultra-violets
EP0483855A1 (en) Method for cleaning closed spaces
EP0445787B1 (en) Photoelectron emitting member and uses thereof
JP2623290B2 (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JPH0634941B2 (ja) 紫外線又は放射線照射による空気の清浄方法及びその装置
JP2750694B2 (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JPS62244459A (ja) 放射線照射による空気の清浄方法及びその装置
JPH0674908B2 (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JPS63147566A (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JP2999221B2 (ja) 気体中の微粒子の捕集方法と装置
JPH0674909B2 (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JPS6397247A (ja) 紫外線照射による空気の清浄方法及びその装置
JPH0810616B2 (ja) 陰イオンを含有するガスを得る方法及びその装置
JPS63147565A (ja) 気体の清浄方法及びその装置
JPH01262953A (ja) 空気中の微生物を殺菌除去する方法及びその装置
JPS63100956A (ja) 気流の清浄装置
JP2993991B2 (ja) 気体の清浄方法
JPH059123B2 (ja)
JPH07256141A (ja) 室内の無菌化方法及び無菌室
JPH03288559A (ja) 気体の清浄方法
JP2004330193A (ja) 生活空間における太陽光利用の負イオン発生方法と装置
JPH04190860A (ja) 微粒子の荷電方法及び装置
JPH0568910A (ja) 微粒子の荷電・捕集ユニツト装置及び荷電・捕集方法
JP3434651B2 (ja) 微粒子の荷電方法及び装置
JPH07318129A (ja) クリーンルーム

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1986901131

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1986901131

Country of ref document: EP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1986901131

Country of ref document: EP